KR101628788B1 - 태양전지 기판상의 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성방법 - Google Patents

태양전지 기판상의 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 태양전지 기판(223)상의 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크는 태양전지 기판(223)상에 인쇄될 컨택의 프린팅 비트맵(213)을 형성함으로써 생성될 수 있다. 컨택은 잉크젯 프린터(220)에 위치하는 태양전지 기판(223)의 좌표로 프린팅 비트맵(213)의 좌표를 매핑함으로써 태양전지 기판(223)상에 위치(214)될 수 있다. 태양전지 기판(223)상의 컨택의 위치는, 질량 중심에 대한 것과 같이, 태양전지 기판(203)상의 위치에 대응하여 규정될 수 있다. 컨택 마스크는 컨택의 위치 정보(214) 및 프린팅 비트맵(213)을 사용하여 잉크젯 프린터(220)에 의해 인쇄될 수 있다.

Description

태양전지 기판상의 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성방법{GENERATION OF CONTACT MASKS FOR INKJET PRINTING ON SOLAR CELL SUBSTRATES}
본 발명은 일반적으로 태양전지의 제조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하지만 비독점적으로 태양전지용 컨택 마스크의 형성방법에 관한 것이다.
잉크젯 프린터는 복수의 노즐을 구비한 프린트 헤드를 포함하며, 각각의 노즐은 표면에 잉크의 도트를 분배하도록 구성된다. 분배된 도트에 의해 형성된 패턴은 표면을 가로지르는 잉크젯의 프린트 헤드의 적절한 이동에 의해 인쇄될 수 있다. 잉크젯 프린팅은 종래의 리소그래피 기술에 비하여 비교적 저비용이어서, 태양전지 제조와 같은 비용에 민감한 용례에 적합하다.
잉크젯 프린팅은 태양전지상에 컨택 마스크를 형성하기 위해 사용되어 왔다. 컨택 마스크는 컨택홀이 형성될 태양전지 기판의 영역을 규정한다. 컨택 마스크는 컨택홀의 에칭 동안 태양전지의 다른 영역을 보호한다. 일단 에칭되면, 외부 전기회로가 태양전지의 확산 영역에 전기적으로 연결되도록, 컨택홀은 소위 "금속 컨택" 이라는 전기 전도성 재료로 충전된다. 본 발명의 실시예들은 태양전지 상의 잉크젯 프린팅에 적합한 컨택 마스크를 형성하는 개선된 방법을 위한 것이다.
태양전지 기판상의 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크는 태양전지 기판상에 인쇄될 컨택의 프린팅 비트맵을 형성함으로써 생성된다. 컨택은 프린팅 비트맵의 좌표를 잉크젯 프린터에 위치하는 태양전지 기판의 좌표로 매핑(mapping)함으로써 태양전지 기판상에 위치될 수 있다. 태양전지 기판상의 컨택의 위치는, 질량 중심에 대한 것과 같이, 태양전지 기판상의 위치에 대응하여 규정될 수 있다. 컨택 마스크는 컨택의 위치 정보 및 프린팅 비트맵을 사용하여 잉크젯 프린터에 의해 인쇄될 수 있다.
본 발명의 이러한 특징들 및 다른 특징들은 첨부 도면 및 특허청구범위를 포함하는 본 명세서 전체를 읽어봄으로써 본 기술분야의 통상의 기술자에게 쉽게 분명해질 것이다.
도 1a는 컨택 마스크 상의 컨택의 도안을 개략적으로 도시한다.
도 1b는 도 1a의 도안으로부터 결과적인 컨택홀의 사진을 개략적으로 도시한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지 기판상의 컨택 마스크를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2a의 잉크젯 프린팅 시스템의 컴퓨터를 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지에 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크를 형성하는 방법의 순서도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택을 규정하는 비트맵 부분을 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 비트맵 부분에 의해 규정된 컨택을 도시한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 직교좌표계에 대하여 사분면으로 분할된 태양전지 기판을 도시한다.
도 8은 도 7의 태양전지 기판의 부분의 확대도를 도시한다.
도 9는 타겟 태양전지 기판의 좌표로의 프린팅 비트맵에 규정된 태양전지 기판의 좌표의 매핑을 개략적으로 도시한다.
도 10은 인쇄된 컨택 마스크상의 래스터화(rasterization)의 효과를 설명하기 위해 도 5의 비트맵 부분의 프린팅 셀을 개략적으로 도시한다.
다른 도면에서 동일한 도면부호를 사용하는 것은 동일하거나 유사한 구성요소를 지시하는 것이다. 도면은 축척대로 도시되지 않는다.
본 명세서에는 본 발명의 실시예의 철저한 이해를 제공하기 위해 장치, 구조, 및 방법의 예와 같은 특정한 많은 상세사항이 제공된다. 그러나 본 발명의 통상의 기술자는 하나 이상의 특정 상세사항 없이 본 발명이 실시될 수 있음을 인지할 것이다. 다른 예에서는 본 발명의 양태를 모호하게 하는 것을 방지하기 위해 잘 알려진 상세사항들은 도시 또는 설명되지 않는다.
컨택 마스크를 형성하는 종래의 접근법은 컨택 마스크의 도안(drawing)을 형성한 다음 잉크젯 프린터에 도안을 제공하는 것이다. 잉크젯 프린터는 도안을 프린팅 비트맵으로 변환하는데, 프린팅 비트맵은 태양전지에 컨택 마스크를 인쇄하기 위해 프린터가 사용하는 것이다. 본 발명자는 이러한 접근법이 이용할 수는 있더라도 특정 상황에서 인쇄 부정확성을 야기할 수 있다는 것을 발견하였다. 더욱 구체적으로, 인쇄될 특정 크기가 잉크젯 프린터의 인쇄 해상도에 거의 근접할 때, 비트맵으로의 도안의 변환이 신뢰성 있게 정확하지 않다. 이러한 문제는 도 1a 및 도 1b에 개략적으로 설명된다.
도 1a는 컨택(151 내지 154)의 도안(150)을 개략적으로 도시한다. 각각의 컨택(151 내지 154)은 컨택홀을 위한 것이다. 도안(150)은 예컨대 오토캐드(Autocad™) 소프트웨어와 같은 도안 프로그램을 사용하여 형성될 수 있다. 도안 프로그램은 도안(150)을 TIFF(Tagged Image File Format) 파일로서 출력한다. TIFF 파일은 잉크의 도트의 관점에서 인쇄하는 잉크젯 프린터를 사용하여 컨택(151 내지 154)을 인쇄하는 방법을 나타내지 않는다. TIFF 파일은 잉크젯 프린터로 제공되며, 잉크젯 프린터는 TIFF 파일을 비트맵으로 변환하고, 비트맵은 도트-바이-도트(dot-by-dot)를 기초로, 즉 프린트 헤드 노즐에 의해 분배되는 도트의 관점에서 컨택(151 내지 154)이 어떻게 도안화되는지를 나타낸다. 도안(150)으로부터 비트맵으로의 변환의 부정확성 때문에, 기판에 실제로 인쇄된 컨택은 도안(150)의 컨택을 정확하게 묘사하지 못한다. 도 1b는 도안(150)으로부터의 결과적인 컨택홀(161 내지 164)의 사진을 도시한다. 컨택홀(161 내지 164)은 태양전지 기판(160)상에 형성된다. 도 1b에서, 컨택홀(161 내지 164)은 각각 컨택(151 내지 54)에 대응한다. 컨택(151 내지 153)들은 동일한 크기이지만, 결과적인 컨택홀(161 내지 163)들은 상이한데, 컨택홀(161)은 컨택(151)보다 작고 컨택홀(163)은 컨택(153)보다 크다는 것을 유념해야 한다. 일반적으로, 컨택 도안과 결과적인 컨택홀 사이의 부정확성은 지나치게 크거나 폐쇄된 컨택홀을 초래할 수 있다.
이제 도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 시스템(200)이 개략적으로 도시된다. 이 시스템(200)은 컴퓨터(100)와 잉크젯 프린터(220)를 포함할 수 있다. 컴퓨터(100)는 태양전지 기판(223)상에 컨택 마스크(250)를 인쇄하기 위해 잉크젯 프린터(220)에 의해 사용될 수 있는 컨택 마스크 데이터(212)를 생성하도록 구성될 수 있다.
컨택 마스크 데이터(212)는 프린팅 비트맵(213)과 컨택 위치 정보(214)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 프린팅 비트맵(213)은 잉크젯 프린터(220)에 의해 인쇄될 도트의 관점에서 컨택 마스크상에 컨택의 표시(representation)를 포함한다. 일 실시예에서, 컨택 위치 정보(214)는 프린팅 비트맵(213) 내의 각각의 컨택의 위치를 식별한다. 컨택 위치 정보(214)는 예컨대 기판(223)의 질량 중심과 같은 기판(223)상의 위치에 대응하여 컨택의 위치를 식별할 수도 있다.
잉크젯 프린터(220)는 프린트 헤드(221), 스테이지(222), 제어기(224), 및 저장 매체(226)를 포함할 수 있다. 컨택 마스크 데이터(212)는 예컨대 컴퓨터 네트워크를 통한 데이터 전송, 제거가능한 데이터 저장 매체(예컨대, CD-ROM, 플래시 메모리, DVD, USB 드라이브 또는 메모리), 또는 I/O 버스(예컨대, USB, 파이어와이어)와 같은 다양한 방법으로 컴퓨터(210)로부터 잉크젯 프린터(220)로 전송될 수 있다. 컨택 마스크 데이터(212)는 제어기(224)에 의해 접속가능한 저장 매체(226)(예컨대, 데이터 저장 장치 또는 메인 메모리/RAM)에 저장될 수 있다. 프린팅 비트맵(213)에 기초하여 인쇄될 컨택을 식별하고 컨택 위치 정보(214)에 기초하여 인쇄될 컨택의 기판(223) 상의 위치를 식별하기 위해, 제어기(224)는 컨택 마스크 데이터(212)를 처리한다. 제어기(224)는 프린트 헤드 노즐(225)로부터 잉크의 분배를 제어하고, 기판(223)상에 컨택 마스크(250)를 인쇄하기 위해 프린트 헤드(221)와 스테이지(222)의 이동을 제어한다. 일 실시예에서, 잉크젯 프린터(220)는 DoD 300™ 잉크젯 프린터를 포함하며, 이 잉크젯 프린터는 독일 프로이덴슈타트의 Gebr. Schmid GmbH로부터 시판된다. 다른 잉크젯 프린터 역시 본 발명의 장점을 훼손하지 않으면서 사용될 수 있다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지 기판(223)상의 컨택 마스크(250)의 확대도를 개략적으로 도시한다. 컨택 마스크(250)는 컨택(252)을 포함하며, 컨택은 컨택홀이 형성될 태양전지 기판(223)상의 영역을 규정한다. 컨택(252)에 의해 노출된 태양전지 기판(223)의 일부는 태양전지 기판(223)의 확산 영역으로 컨택홀을 형성하기 위해 후속적으로 에칭된다. 도 2b의 태양전지 기판(223)은 스테이지(222)에 의해 지지되는 것으로 도시된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2a의 컴퓨터(100)를 개략적으로 도시한다. 컴퓨터(100)는 예컨대 인텔 코포레이션 또는 어드밴스드 마이크로 디바이시즈의 프로세서와 같은 프로세서(101)를 포함할 수 있다. 컴퓨터(100)는 컴퓨터의 다양한 구성요소를 연결하는 하나 이상의 버스(103)를 가질 수 있다. 컴퓨터(100)는 하나 이상의 입/출력 장치(102)(예컨대, 키보드, 마우스, I/O 버스에 의해 연결된 외부 장치), 하나 이상의 데이터 저장 장치(106)(예컨대, 하드 드라이브, 광학 디스크, USB 메모리), 디스플레이 모니터(104)(예컨대, LCD, 평판 모니터, CRT), 컴퓨터 네트워크 인터페이스(105)(예컨대, 네트워크 어댑터, 모뎀), 및 메인 메모리(108)(예컨대, RAM)를 포함할 수 있다. 컴퓨터 네트워크 인터페이스(105)는 잉크젯 프린터(220)를 포함할 수 있는 컴퓨터 네트워크(109)에 연결될 수 있다. 컴퓨터(100)는 특정 용례의 요구를 충족하기 위해 더 많거나 더 적은 구성요소를 가질 수 있다.
도 3의 예에서, 메인 메모리(108)는 컨택 마스크 데이터 생성기(120)와 컨택 마스크 라이브러리(122)를 포함한다. 컨택 마스크 생성기(120)와 컨택 마스크 라이브러리는 프로세서(101)에 의한 실행을 위해 데이터 저장 장치(106)로부터 메인 메모리(108)로 로딩될 수 있다. 컨택 마스크 데이터 생성기(120)는 컨택 마스크 데이터(212)를 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 프로그램 코드를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 컨택 마스크 데이터 생성기(120)는 컨택 마스크 라이브러리(122)로부터 미리 규정된 컨택에 접근(access)하도록 구성된다. 컨택 마스크를 설계하는 기술자가 컨택 마스크 라이브러리(122)로부터 컨택을 선택하도록, 선택된 컨택을 컨택 마스크에 추가하도록, 그리고 컨택 마스크 내의 컨택의 위치를 규정하기 위해, 컨택 마스크 데이터 생성기(120)는 사용자 인터페이스를 제공할 수 있다. 컨택 마스크 데이터 생성기(120)는 방금 언급된 기술자로부터의 입력을 컨택 마스크 데이터(212)로서 잉크젯 프린터(220)가 판독가능한 형태로 변환(format)할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지 기판에 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크를 생성하는 방법(400)의 순서도를 도시한다. 도 4는 단지 설명을 위해 도 2a 및 도 3에 도시된 구성요소들을 사용하여 설명된다. 다른 구성요소들 역시 본 발명의 장점을 훼손하지 않으면서 사용될 수 있다.
단계(401)에서, 프린팅 비트맵(213)의 각각의 컨택이 규정된다. 단계(401)는 컨택 마스크 데이터 생성기(120)를 사용하여 기술자와 같은 사람에 의해 실시될 수 있다. 컨택은 태양전지 기판상에 컨택홀(및 컨택홀을 채우는 금속 컨택)이 형성될 위치를 규정한다. 규정된 컨택은 컨택 마스크 라이브러리(122)에 저장될 수 있다. 도 5 및 도 6은 단계(401)를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택을 규정하는 비트맵 부분(500)을 도시한다. 그 명칭이 암시하는 바와 같이, 비트맵 부분(500)은 프린팅 비트맵(213)의 일부이다. 도 5의 예에서, 비트맵 부분(500)은 프린팅 비트맵(213)의 프린팅 셀(501)(즉, 501-1, 501-2,..., 501-16)을 나타내며, 각각의 프린팅 셀(501)은 잉크젯 프린터(220)에 의해 도트가 인쇄될 수 있는 위치를 식별한다. 이해될 수 있는 바와 같이, 프린팅 비트맵(213)은 도 5에 도시된 것보다 더 많은 프린팅 셀(501)을 가질 것이다. 프린팅 셀(501)의 크기 및 그 간격(spacing)은 사용되는 특정 잉크젯 프린터에 의존한다. 또한, 도트의 형상은 노즐(225)의 구성에 의존하기 때문에, 도트의 형상은 반드시 라운드형 또는 원형이 아니다.
잉크젯 프린터(220)는 도트의 중심이 프린팅 셀(501)의 중심과 사실상 일치하도록 도트를 인쇄할 수 있다. 도 5의 예에서, 프린팅 셀(501)상의 "X"는 도트가 인쇄될 위치를 지시하며, 프린팅 셀(501)상의 "-"는 도트가 인쇄되지 않을 위치를 지시한다. 도 5의 예에서, 도트는 셀(501-1, 501-2, 501-3, 501-4, 501-5, 501-8, 501-9, 501-12, 501-13, 501-14, 501-15, 및 501-16)들에 인쇄될 것이다. 프린팅 셀(501-6, 501-7, 501-10, 및 501-11)들에는 도트가 인쇄되지 않을 것이다.
프린팅 비트맵(213)은 태양전지 기판상에 인쇄될 모든 컨택의 비트맵 정의(definition)를 가질 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 각각의 컨택은 잉크젯 프린터에 의해 인쇄가능한 도트의 관점에서 규정될 수 있다. 프린팅 맵(213)에 컨택을 규정함으로써, 잉크젯 프린터(220)는 컨택 도안을 반드시 비트맵으로 변환할 필요가 없으며, 이로써 더욱 정교하게 잉크젯 인쇄된 컨택이 얻어진다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 비트맵 부분(500)에 의해 규정된 컨택(600)을 도시한다. 도트(601)(601-1, 601-2 등)는 "X"로 표시되었던 프린팅 셀(501)에 대응한다. 즉, 도트(601-1)는 프린팅 셀(501-1)에 대응하며, 도트(601-2)는 프린팅 셀(501-2)에 대응한다(기타 등등). 컨택(600)의 중앙부에는 도트가 없으며, 에칭에 의해 컨택홀이 형성될 태양전지 기판의 영역을 노출시킨다.
계속하여 도 4의 단계(402)에서, 프린팅 비트맵의 각각의 컨택의 위치는 태양전지 기판상의 위치에 대해 규정된다. 일 실시예에서, 프린팅 비트맵(213) 내의 각 컨택의 중심은 태양전지 기판의 질량 중심에 대해 규정된다. 이는 도 7 및 도 8에 개략적으로 도시된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 7에서, 태양전지 기판(700)은 직각좌표계에 따라 4개의 사분면(Ⅰ, Ⅱ, Ⅲ, 및 Ⅳ)으로 분할된다. 태양전지 기판(700)의 질량 중심은 좌표(0, 0)이며, Y축은 720-1로 표시되고 X축은 720-2로 표시된다. 도 8은 태양전지 기판(700)의 부분(710)의 확대도를 도시한다. 도 8의 예에서, 컨택의 중심은 좌표(0, 0)에서의 질량 중심에 대하여 좌표(-02.5, 0.6)로서 규정된다. 프린팅 비트맵(213) 내의 컨택의 위치는 컨택 위치 정보(214)로서 저장될 수 있다.
계속하여 도 4의 단계(403)에서, 프린팅 비트맵(213)과 컨택 위치 정보(214)는 잉크젯 프린터(220)로 제공된다. 이 예에서, 컨택 위치 정보(214)는 인쇄될 각각의 컨택의 위치를 태양전지 기판(223)의 질량 중심에 대해 식별한다.
단계(404)에서, 잉크젯 프린터(220)는 인쇄될 타겟 태양전지 기판상의 컨택의 위치를 결정한다. 이 예에서, 타겟 기판은 스테이지(222)상에 위치한 태양전지 기판(223)이다(도 2a 참조). 이상적으로, 태양전지 기판(223)은 스테이지(222)상에 정확하게 위치한다. 그러나 이는 실제 일어날 수 있는 경우가 아니다. 더욱 구체적으로, 태양전지 기판(223)은 스테이지(222)상의 정렬 위치에 대하여 삐뚤어질 수 있다.
일 실시예에서, 단계(404)는 프린팅 비트맵(213)의 좌표를 스테이지(222)상에 위치한 태양전지 기판(223)의 좌표로 매핑함으로써 잉크젯 프린터(220)에 의해 실시된다. 이는 도 9에 개략적으로 도시되는데, 도 9에서는 예컨대 위치설정 에러로 인해 프린팅 비트맵(213)의 좌표[축(720-1 및 720-2)]가 태양전지 기판(223)의 좌표[축(740-1 및 740-2)]와 일치하지 않는다. 잉크젯 프린터(220)는 스테이지(222)상의 태양전지 기판(223)의 정렬을 결정하고, 태양전지 기판(223)의 질량 중심을 식별한 후, 프린팅 비트맵(213)의 질량 중심을 태양전지 기판(223)의 질량 중심에 중첩시키도록 구성될 수 있다. 이후, 잉크젯 프린터(220)는 프린팅 비트맵(213)에 규정된 컨택의 위치를 태양전지 기판(223)의 좌표로 변환한다. 도 9의 예에서, 프린팅 비트맵(213) 내의 컨택의 위치는 태양전지 기판(223)상의 대응 위치에 부합하도록 회전될 수 있다.
계속하여 도 4의 단계(405)에서, 잉크젯 프린터(220)는 프린팅 비트맵(213)에 규정된 컨택을 태양전지 기판(223)의 대응 위치에 인쇄한다. 잉크젯 프린터(220)는 컨택을 개별 도트로서 인쇄하기 위해 레지스트(resist)를 사용할 수 있으며, 이로 인해 도트가 인쇄되지 않는 태양전지 기판(223)의 부분을 노출시키는 컨택 마스크(250)가 얻어진다. 이후, 태양전지 기판(223)의 노출 부분은 컨택홀을 형성하기 위해 에칭된다. 태양전지에 의해 외부 전기 회로에 연결되고 태양전지에 의해 구동되도록(powered) 태양전지 기판(223)의 확산 영역으로의 금속 컨택을 형성하기 위해, 컨택홀은 전기 전도성 재료로 채워질 수 있다.
프린팅 비트맵(213)은 이미 도트 바이 도트를 기초로 컨택의 비트맵 정의를 보유하기 때문에, 잉크젯 프린터(220)는 도안을 비트맵으로 변환할 필요가 없다. 이는 컨택 마스크가 태양전지 기판상에 정확하게 잉크젯 인쇄될 수 있도록 유리하게 보조한다. 또한, 태양전지 기판상의 위치에 대해 각 컨택의 위치를 규정함으로써, 잉크젯 프린터(220)는 기판이 스테이지(222)상에 완벽하게 정렬되지 않은 경우에도 컨택이 인쇄될 기판상의 위치를 식별할 수 있다.
잉크젯 프린터(220)는 래스터 스캐닝에 의해 컨택 마스크를 인쇄한다. 잉크젯 프린터는 비트맵을 형성할 필요가 없기 때문에, 래스터화는 컨택 크기가 아니라 컨택 위치에 영향을 줄 수 있다.
도 10은 도 6에 도시된 컨택(600)을 위한 도 5에 도시된 비트맵 부분(500)의 프린팅 셀(501-6, 501-7, 501-10, 및 501-11)들을 개략적으로 도시한다. 도 10의 예에서, 프린팅 셀(501)의 "+"는 프린팅 셀의 중심을 지시한다. 이상적으로, 컨택의 중심은 위치(520)상에 존재한다. 그러나 래스터화 에러는 컨택의 중심을 프린팅 셀(501) 중 하나의 중심과 같은 다른 위치로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 결과적인 최악의 경우의 컨택 위치 오정렬은 하기의 식으로 제공되며,
Figure 112011029682485-pct00001
(식 1)
여기서 DPI_X2는 x축 상의 잉크젯 프린터(220)의 인치당 도트(DPI) 해상도이며 DPI_Y2는 y축 상의 잉크젯 프린터(220)의 인치당 도트 해상도이다. 35㎛ 프린팅 비트맵(213)에 대해 720 DPI 해상도를 가정하면, 컨택 위치의 최대 편차는 ±25㎛이며, 이는 종래의 컨택 마스크 형성 기술을 사용하여 얻을 수 있는 ±35㎛ 최대 편차보다 양호하다.
태양전지에 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크를 형성하는 개선된 기술이 개시되었다. 본 발명의 구체적인 실시예들이 제공되었지만, 이 실시예들은 제한을 위한 것이 아니라 설명을 위해 제공된 것으로 이해되어야 한다. 본 명세서를 읽음으로써 많은 추가적인 실시예들이 본 기술분야의 통상의 기술자에게 분명해질 것이다.

Claims (20)

  1. 태양전지 기판상에 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크를 형성하는 방법이며,
    프린팅 비트맵 내에 복수의 컨택을 컴퓨터가 규정하는 단계로서, 복수의 컨택의 각각의 컨택은 잉크젯 프린터에 의해 인쇄될 수 있는 개별 도트의 관점에서 규정되는 복수의 컨택 규정 단계와,
    태양전지 기판상의 위치에 대하여 복수의 컨택의 각각의 컨택의 위치를 규정하는 컨택 위치 정보를 컴퓨터가 생성하는 단계와,
    프린팅 비트맵과 컨택 위치 정보를 컴퓨터가 잉크젯 프린터에 제공하는 단계와,
    프린팅 비트맵과 컨택 위치 정보에 따라 타겟 태양전지 기판상에 복수의 컨택을 잉크젯 인쇄함으로써 잉크젯 프린터가 타겟 태양전지 기판상에 컨택 마스크를 형성하는 단계를 포함하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    잉크젯 프린터가 프린팅 맵에 규정된 복수의 컨택의 각각의 컨택을 타겟 태양전지 기판상의 대응 위치로 위치시키는 단계를 더 포함하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    잉크젯 프린터가 프린팅 비트맵에 규정된 복수의 컨택의 각각의 컨택을 타겟 태양전지 기판 상의 대응 위치로 위치시키는 단계는 잉크젯 프린터가 프린팅 비트맵의 좌표를 잉크젯 프린터에 배치된 타겟 태양전지 기판의 좌표로 매핑하는 단계를 포함하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    잉크젯 프린터가 프린팅 비트맵에 규정된 복수의 컨택의 각각의 컨택을 타겟 태양전지 기판 상의 대응 위치로 위치시키는 단계는 잉크젯 프린터가 복수의 컨택의 각각의 컨택의 위치를 회전시키는 단계를 포함하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    컨택 위치 정보는 태양전지 기판의 위치에 대해 복수의 컨택의 각각의 컨택의 중심을 식별하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  7. 삭제
  8. 잉크젯 프린팅 시스템이며,
    컨택 마스크의 컨택을 규정하는 프린팅 비트맵을 생성하도록 구성된 컴퓨터와,
    프린팅 비트맵을 수신하도록 구성된 잉크젯 프린터를 포함하며,
    프린팅 비트맵은 잉크젯 프린터의 노즐에 의해 인쇄가능한 개별 도트의 관점에서 컨택을 규정하며,
    잉크젯 프린터는 타겟 태양전지 기판상에 컨택 마스크를 인쇄하기 위해 프린팅 비트맵에 따라 타겟 태양전지 기판상에 도트를 분배하도록 구성되는
    잉크젯 프린팅 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    잉크젯 프린터는 프린팅 비트맵에 규정된 컨택의 컨택 위치 정보를 수신하도록 추가로 구성되는
    잉크젯 프린팅 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    컨택 위치 정보는 타겟 태양전지 기판상의 위치에 대해 컨택을 위치시키는
    잉크젯 프린팅 시스템.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 태양전지 기판상에 잉크젯 프린팅용 컨택 마스크를 형성하는 방법이며,
    컨택 마스크로서 태양전지 기판상에 인쇄될 컨택을 규정하는 프린팅 비트맵을 컴퓨터가 잉크젯 프린터로 제공하는 단계와,
    잉크젯 프린터에서 프린팅 비트맵을 수신하는 단계와,
    잉크젯 프린터가 프린팅 비트맵에 따라 태양전지 기판상에 컨택 마스크를 잉크젯 인쇄하는 단계를 포함하고,
    프린팅 비트맵은 잉크젯 프린터의 노즐에 의해 인쇄가능한 개별 도트의 관점에서 컨택을 규정하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    태양전지 기판상의 위치에 대해 컨택의 위치를 식별하는 컨택 위치 정보를 컴퓨터가 잉크젯 프린터로 제공하는 단계를 더 포함하는
    잉크젯 프린팅용 컨택 마스크 형성 방법.
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
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