KR101624367B1 - 압축기 밸브들을 왕복 운동하기 위한 전기기계 액추에이터의 위치를 제어하기 위한 방법 - Google Patents

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Abstract

왕복 압축기 밸브들을 위한 전기기계 액추에이터의 위치를 제어하기 위한 방법으로서, 상기 액추에이터는 상기 밸브(12)의 밀폐구 수단의 개방 및 폐쇄의 방향에 평행한 방향으로 폐쇄 위치에 대응하는 위치 및 상기 밀폐구(11) 수단의 개방 위치에 대응하는 위치 사이에서 이동 가능한 부재(302)를 포함하고, 상기 부재(302)에는 상기 밀폐구 수단(11) 상에서 동작 가능하고 전자석들(102, 202)과 공동 동작하는 자화 가능 부분(312)이 제공되고 적절한 수단에 의해 상기 후자들 사이에 평행하게 배열된다.

Description

압축기 밸브들을 왕복 운동하기 위한 전기기계 액추에이터의 위치를 제어하기 위한 방법{METHOD FOR CONTROLLING THE POSITION OF AN ELECTROMECHANICAL ACTUATOR FOR RECIPROCATING COMPRESSOR VALVES}
본 발명은 밸브들, 특히 압축기들을 왕복 운동시키기 위한 밸브들에 관한 것이고; 특히 본 발명은 상기 밸브들에 대한 전기기계적 액추에이터를 제어하기 위한 방법에 관한 것이다.
동일한 출원인에 의해 출원된 특허 출원 공개번호 WO-A-2008 000698는 왕복 운동하는 압축기의 전달을 연속해서 조정하기 위한 장치를 기술하고, 상기 압축기는 압축 동작으로 이동 가능한 피스톤 수단을 슬라이딩 식으로 수용하는 적어도 하나의 챔버를 갖고, 상기 챔버에는 적어도 하나의 유체용 흡입 밸브 및 적어도 하나의 압축된 유체용의 방출 밸브가 제공되고, 상기 방출 밸브는 압축된 유체를 저장하기 위한 탱크(tank)와 연결되고, 상기 흡입 밸브에는 상기 밸브의 밀폐구 상에서 동작할 수 있는 변위 수단(displacement means)이 제공되고, 상기 변위 수단은 상기 밀폐구와 수직인 방향으로 이동 가능하고 상기 방향으로 적절한 동작 수단에 의해 왕복 동작으로 이동 가능한 액추에이터 수단과 공동 동작하고; 상기 동작 수단은 이들의 이동의 양 방향들로 상기 액추에이터 수단의 변위의 속도의 제어가 가능하고; 상기 액추에이터의 위치를 검출하기 위한 수단, 상기 압축 챔버 내의 피스톤의 위치를 검출하기 위한 수단이 제공되고, 상기 검출 수단 및 상기 액추에이터 수단을 동작시키기 위한 수단은 중앙 처리 장치에 접속된다.
액추에이터는 최대 전달 동안 폐쇄(닫음) 지점에 대하여 흡입 밸브의 폐쇄를 제어하는데 사용된다. 실린더에 진입하는 가스는 흡입 밸브들이 개방(열음) 상태를 유지하는 압축 스트로크(compression stroke)의 섹션에 양적으로 비례하여 흡입 라인으로 역으로 흐른다.
동작 중에, 제어 유닛은 사용될 제어의 유형을 결정하기 위해서 프로세싱되는 많은 수의 신호들(인에이블(enable), 시동(start-up), 포지셔닝(positioning), 개방 위치)를 자체의 입력부에서 수신한다.
상기 액추에이터의 이동 가능 부분들을 동작시키기 위해서 두 전자석들이 제공되고, 이들의 전압은 상술한 이동 가능 부분들의 위치들을 제어하도록 조정된다.
전기기계 액추에이터를 사용할 때, 접촉 지점의 부근에서는 평형의 안정된 지점들이 존재하지 않는다는 사실로 인해, 이동 가능 부분의 이동을 제어하는 것은 극도로 어렵다. 더욱이, 저 전이 시간 및 액추에이터에 의해 사용되는 전력은 압축기에 의해 절약되었던 것과 비교하면 무시해도 좋을 만큼 작아야 한다.
전자석 주위에서의 평형 위치들, 즉 스프링들의 힘 및 자석에 의한 힘 사이의 교차의 지점들은, 불안정하다. 실제로, 거리를 감소시키는 장애들은 자력이 거리의 제곱에 좌우되기 때문에 자석에 대한 아마추어(armature)을 촉진하고, 반면에 스프링들의 힘은 위치에 선형 방식으로 좌우한다. 이 상황에서, 높은 접촉 속도들은 전류가 빠르게 변화하지 않는 경우에 달성된다. 자석으로부터 멀어지는 이동은 힘을 감소시킬 것이고, 전류가 적절하게 제어되지 않으면, 아마추어는 중간 위치에 가까운 평형 위치를 취할 것이다.
더욱이, 아마추어가 자석에 접근하면, 전기 부품의 시상수는 전이 시간들과 비교 가능하므로, 출력부들에서의 입력들이 제한된다.
본 발명의 목적은 액추에이터의 이동 가능 부분들의 위치의 제어를 가능하게 하면서도, 접촉 속도를 제한하고 밸브의 기능적 요건과 관련하여 액추에이터 자체의 이동을 최적화하는 방법을 제공하는 것이다.
그러므로 본 발명은 왕복 압축기들의 밸브들을 위한 전기기계 액추에이터의 위치를 제어하기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 액추에이터는 상기 밸브의 밀폐구 수단의 개방 및 폐쇄의 방향에 평행한 방향으로 폐쇄 위치에 대응하는 위치 및 상기 밀폐구 수단의 개방 위치에 대응하는 위치 사이에서 이동 가능한 부재를 포함하고, 상기 부재에는 두 솔레노이드(solenoid)들과 공동 동작하는 자화 가능 부분이 제공되고 적절한 수단에 의해 이들 사이에서 균형을 이루도록 구성되고, 상기 방법은:
a) 개방을 위한 릴리스(release): 상기 솔레노이드들은 상기 솔레노이드들 중 하나로부터 이동 가능한 부재 부분의 분리를 가능하게 하고 다른 솔레노이드 방향으로 자체의 변위를 일으키도록 활성화(energising)된다;
b) 전류 제어 개방 : 이동 가능 부재는, 상기 솔레노이드들의 동작의 결과로, 상기 밸브 밀폐구 수단을 개방하기 위한 위치 방향으로 이동한다;
c) 위치 제어 개방 : 상기 솔레노이드들에서의 전류는 상기 스트로크의 최종 섹션 동안 상기 이동 가능 부재를 제동하기 위해서 조정된다;
d) 개방 위치에서의 유지 : 상기 이동 가능 부재는 소정의 시간 간격 동안 상기 밸브 밀폐구 수단을 개방하기 위한 위치에서 유지된다;
e) 폐쇄에 대한 릴리스 : 상기 솔레노이드들은 상기 두 솔레노이드들 중 하나로부터 이동 가능한 부재 부분의 분리를 가능하게 하고 다른 솔레노이드 방향으로 자체의 변위를 일으키도록 활성화된다;
f) 전류 제어 폐쇄 : 상기 이동 가능 부재는, 상기 솔레노이드들의 동작의 결과로, 상기 밸브 밀폐구 수단을 폐쇄하기 위한 위치 방향으로 이동한다;
g) 위치 제어 폐쇄 : 상기 솔레노이드들에서의 전류는 상기 스트로크의 최종 섹션 동안 상기 이동 가능 부재를 제동하기 위해서 조정된다;
h) 폐쇄 위치에서의 유지 : 상기 이동 가능 부재는 단계 a)를 다시 수행하기 위해서 새 전이 신호가 발생될 때까지 상기 밸브 밀폐구 수단을 폐쇄하기 위한 위치에서 유지되는 것을 포함한다.
본 발명은 또한 상술한 방법을 구현할 수 있는 디바이스에 관한 것으로서, 상기 디바이스는 상기 액추에이터의 이동 가능 부재의 위치를 검출하기 위한 수단, 및 상기 두 솔레노이드들 내에서 흐르는 전류의 강도를 검출하기 위한 수단에 접속되는 프로세싱 유닛을 포함하고, 상기 프로세싱 유닛은: 시동 신호들을 입력하기 위한 모듈; 획득된 데이터 및 사전 결정된 기준 값을 프로세싱하기 위한 프로그램을 저장하는 비휘발성 메모리 모듈, 상기 이동 가능 부재의 궤도를 생성하기 위한 모듈, 상기 이동 가능 부재의 위치를 조정하기 위한 모듈, 전력 공급 입렵부에 접속되고 상기 솔레노이드들에서 흐르는 전류의 강도를 검출하기 위한 수단과 인터페이스하는 전력 공급 섹션을 제어하는 전류를 조정하기 위한 모듈을 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의해 액추에이터의 이동 가능 부분들의 위치의 제어를 가능하게 하면서도, 접촉 속도를 제한하고 밸브의 기능적 요건과 관련하여 액추에이터 자체의 이동을 최적화하는 방법이 제공된다.
부가적인 특징적인 특성들은 일련의 첨부 도면들을 참조하여 비제한적인 예로 제공되는 본 발명의 실시예의 다음의 상세한 설명으로부터 알려질 것이다:
도 1은 본 발명에 따라 액추에이터를 제어하기 위한 디바이스를 도시하는 개략적인 블록도; 및
도 2는 본 발명에 따른 방법의 단계들의 시퀀스를 도시한 개략적인 도.
도 1에서 번호(1)은 본 발명에 따라 액추에이터를 제어하는 디바이스를 나타내고: 상기 디바이스에는 논리 메모리 모듈(301), 즉 본 발명에 따른 방법의 수행을 관리하는 프로그램을 저장하는 모듈과 통신하는 인에이블, 시동 및 개방 락킹 신호들을 입력하기 위한 모듈(101)이 제공된다. 모듈(301)은 차례로 위치 조정 모듈(501)과 통신하는 이동 가능 부재의 궤도를 생성하기 위한 모듈(601)에 접속되고; 더욱이 모듈(401)은 사전 결정된 위치 및 현재 값들을 저장한다. 센서(901)에 의해 공급되는 실제 위치 데이터는 위치 조정 모듈(501)을 통해 전류 조정 모듈(701)에 대한 기준값의 규정을 가능하게 한다.
전력 공급 입력부(201)에 접속되는 전력 공급 섹션(801)에 의해 공급되는 실제 현재 데이터는 전류 조정 모듈(701)에 의해 사용되어 두 자석들 내에서 흐르는 전류를 제어할 수 있다. 센서(901) 및 모듈(601)에 의해 공급되는 위치 데이터에 의해, 모듈(101)은 선택 모듈(311)에 의해 전류 조정 모듈(701)의 기준 값을 관리한다.
액추에이터(2)는 밸브 시트(12)의 맞은 편의 압축기의 챔버(10)에 접속되고, 도시된 예에서 로드(rod)로서 이동 가능 부재(302)를 포함하며, 이러한 이동 가능 부재(302)는 한 단부에서는 밸브의 밀폐구(11) 상에서 동작할 수 있는 핑거(finger)(322)을 가지고, 맞은 편 단부에서는 마이크로프로세서(1)에 접속되는 위치 센서(901)와 협력한다. 이동 가능 부재에는 마이크로프로세서(1)의 전력 공급 섹션(801)과 인터페이스되는 2개의 솔레노이드(102 및 202) 사이에 구성되는 자화 가능 방사형 평판(312)이 제공된다.
도 2는 본 발명에 따른 방법의 단계들을 개략적으로 도시한다; 도면에서, X축을 따른 라인들(20, 21) 모두는 시간 간격을 나타내고, 반면에 커브(22)는 자석(202)을 통해 흐르는 전류에 대한 커브이고, 커브(23)는 자석(102) 내의 전류에 대한 커브이고, 커브(24)는 이동 가능 부재(302)의 위치에 대한 커브이다. 문자 a내지 h에 의해 표시되는 다양한 단계들은 30 내지 37로 번호가 매겨진 도면들에 의해 기호적으로 도시되고, 상기 번호 30 내지 37은 두 자석들(102, 202)에 대하여 이동 가능한 부재(302)의 자화 가능 평판(312)에 의해 취해지는 위치들을 나타낸다.
a) 개방 릴리스 : 두 전자석들의 전력 공급 전압의 제어는 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다: 위의 전자석에서 상기 전류는 음일 것이고, 반면에 하부 전자석에서 전류는 양일 것이다. 다음 단계로의 전이는 이동 가능부가 사전 결정된 위치를 통과할 때 발생한다. 필수적으로, 이 단계에서 자석들(102, 202)은 활성화 되고 위치들은 도(30)에 의해 도시되는 위치들이다; 단계는 자화 가능 평판(312)이 자석(102)으로부터 분리될 때 종료된다.
b) 전류 제어 개방 : 두 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다: 상부 전자석에서 상기 전류는 영(0)이 될 것이고, 반면에 하부 전자석에서 전류는 양이 될 것이다. 다음 단계로의 전이는 자화 가능 평판이 평형 위치의 영역에서 사전 설정된 위치를 통과할 때 발생한다.
c) 위치 제어 개방 : 상부 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다. 하부 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 위치 제어기에 의해 공급되는 기준 전류에 좌우되고; 주목될 수 있는 바와 같이, 하부 전자석 내의 전류는 자화 가능 평판이 동일한 하부 자석에 접근할수록 감소한다.다음 단계로의 전이는 이동 가능부가 도(32)로부터 알 수 있는 바와 같이 자화 가능 평판 및 하부 자석이 서로 접촉하게 되는 위치인 사전 결정된 위치를 통과할 때 발생한다.
d) 개방 위치에서의 유지 : 상부 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다. 하부 전자석의 전력 공급의 제어는 위치 제어에 의해 공급되는 기준 전류에 좌우된다. 다음 단계로의 전이는 제어 유닛에서 설정된 시간이 초가될 때 발생한다. 이 단계는 마이크로프로세서 모듈(101)로부터의 개방 신호의 입력에 의한 지속기간 측면에서 필요에 따라 연장될 수 있음이 주목되어야 한다. 상기 절차는 적절한 명령이 입력될 때 재개될 것이다.
e) 폐쇄 릴리스 : 두 전자석들의 전력 공급 전압들은 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다: 상부 전자석에서 상기 전류는 양일 것이며, 반면에 하부 전자석에서 전류는 음일 것이다. 도(34) 및 커브들(22 및 23)에서 알 수 있는 바와 같이, 이 단계는 실질적으로 단계 a의 반대이므로, 두 자석들에서의 전류는 실질적으로 반대이다. 다음 단계로의 전이는 이동 가능부의 하부 자석으로부터의 분리와 일치하는 사전 규정된 위치를 이동 가능부가 통과할 때 발생한다.
f) 두 전자석의 전력 공급 전압들은 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다: 하부 전자석에서 상기 전류는 영일 것이고, 반면에 상부 전자석에서 전류는 양일 것이다. 다음 단계로의 전이는 이동 가능부가 사전 규정된 위치를 통과할 때 발생한다. 이 단계는 도(35) 그리고 커브들(22, 23, 및 24) 이 둘로부터 주목될 수 있는 바와 같이, 단계 b의 실질적인 좌우대칭 이미지이다.
g) 위치 제어 폐쇄 : 하부 전자석의 전력 공급 전압은 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다. 상부 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 위치 제어기에 의해 공급되는 기준 전류에 좌우된다. 다음 단계로의 전이는 이동 가능부가 사전 설정된 위치를 통과할 때 발생한다. 단계 c에 대하여 기술된 것과 유사하게, 이 단계에서도 자화 가능 평판(312)은 상부 자석(102)에 접촉할 때까지 상부 자석(102)으로 이동하지만, 동일한 자석을 통하여 흐르는 전류는 상기 평판의 접근 이동에 따라 감소한다.
h) 폐쇄 위치에서의 유지 : 하부 전자석(202)의 전력 공급 전압의 제어는 설정되어 있는 기준 전류에 좌우된다. 하부 전자석의 전력 공급 전압의 제어는 위치 제어기에 의해 공급되는 기준 전류에 좌우된다. 단계 a)로의 전이는 포지셔닝 실행 신호가 변경될 때 발생한다.
시스템의 반복성을 증가시켜서, 잔여 유도의 영향을 제거하기 위해서, 위치 제어 방법은 더욱이 시스템의 기계적 다이나믹스를 변경하지 않는 전류 입력에 의해 특징된다. 상기 전류 입력은 이동 가능부가 관련된 전자석으로부터 충분히 제거될 때 활성화되고; 도 2의 그래프로부터 확인될 수 있는 바와 같이, 단계 c 및 단계 d 사이 그리고 단계 g 및 단계 h 사이의 각각의 전이 동안, 자화 가능 평판(312)와 접촉하는 자석과 반대쪽의 자석, 즉 첫번째 경우에 상부 자석(102) 및 두번째 경우에 하부 자석(202)은 두 피크(peak)들(230 및 220)에 의해 각각 표시되는 바와 같이, 소정의 시간 간격 동안 큰 음의 전류를 겪게 된다.
더 일반적으로, 이동 가능 부재와 전자석과의 거리가 미리 정해진 값보다 더 클 때, 음의 기준 전류가 소정의 시간 간격 동안 상기 전자석에 적용된다고 진술될 수 있다.
본 발명에 따른 방법은 마이크로프로세서(1)의 모듈(301)에서의 적절한 프로그램의 형태로 편리하게 구현되고, 이러한 프로그램은 주어진 궤도에 따라 2개의 전자석(102, 202)에 의해 생성되는 힘을 제어할 수 있는 적절한 출력 신호를 리턴(return)하기 위해 모듈(601)에 의해 생성되는 기준 위치 및 검출 수단(901)에 의해 검출되는 실제 위치를 입력으로서 갖는 위치 제어 루프와, 사전 설정된 값(401) 또는 위치 모듈의 출력으로부터 생성되는 기준 전류 및 검출 수단(811)에 의해 검출되는 실제 전류를 입력으로서 갖는 전류 제어 루프에 의해 데이터를 처리한다.

Claims (10)

  1. 왕복 압축기의 밸브 시트(12)를 위한 전기기계 액추에이터의 위치 제어 방법으로서, 상기 액추에이터는 밸브 시트(12)의 밀폐구(11)의 폐쇄(닫음) 위치에 대응하는 위치와 상기 밀폐구(11)의 개방(열음) 위치에 대응하는 위치 사이에서 상기 밸브 시트(12)의 밀폐구의 개방 및 폐쇄(열음 및 닫음)를 위한 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 부재(302)를 포함하고, 상기 이동 가능 부재(302)에는 상기 밀폐구(11) 상에서 동작할 수 있는 핑거(322)와, 2개의 전자석(102, 202)과 협력하고, 2개의 전자석(102, 202) 사이에서 균형을 이루도록 구성되는 자화 가능 부분(312)이 제공되는 상기 위치 제어 방법에 있어서,
    a) 상기 전자석(102, 202)은 상기 밸브 시트(12)로부터 떨어진 상기 전자석(102)으로부터 이동 가능한 부재(302)의 자화 가능 부분(312)을 분리하고, 다른 전자석(202)으로 변위하도록 활성화되는 개방을 위한 릴리스 단계;
    b) 상기 이동 가능 부재(302)는, 상기 전자석(102, 202)의 활성화의 결과로서, 상기 밸브 시트(12)의 밀폐구(11)를 개방하기(열기) 위한 위치로 이동하는 전류 제어 개방 단계;
    c) 상기 전자석(102, 202)에서의 전류는 스트로크(stroke)의 최종 섹션 동안 상기 이동 가능 부재(302)를 제동하기 위해 조정되는 위치 제어 개방 단계;
    d) 상기 이동 가능 부재(302)는 주어진 시간 간격 동안 상기 밸브 시트의 밀폐구(11)를 개방하기 위한 위치에 유지되는 개방 위치의 유지 단계;
    e) 상기 전자석(102, 202)은 상기 밸브 시트(12)로 지향되는 상기 전자석(202)으로부터 상기 이동 가능한 부재의 자화 가능 부분을 분리하고, 다른 전자석(102)으로 변위하도록 활성화되는 폐쇄를 위한 릴리스 단계;
    f) 상기 이동 가능 부재(302)는, 상기 전자석(102, 202)의 활성화의 결과로서, 상기 밸브 시트(12)의 밀폐구(11)를 폐쇄하기(닫기) 위한 위치로 이동하는 전류 제어 폐쇄 단계;
    g) 상기 전자석(102, 202)에서의 전류는 상기 스트로크의 최종 섹션 동안 상기 이동 가능 부재(302)를 제동하기 위해 조정되는 위치 제어 폐쇄 단계;
    h) 상기 이동 가능 부재(302)는 단계 a)를 다시 실행하기 위해 새로운 전이 신호가 발생될 때까지 상기 밸브 시트(12)의 밀폐구(11)를 폐쇄하기 위한 위치에 유지되는 폐쇄 위치의 유지 단계를 포함하는 위치 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 a)에서, 전자석(102)으로부터의 상기 이동 가능 부재(302)의 거리는 미리 정해진 값보다 더 크고, 음의 기준 전류는 주어진 시간 간격 동안 상기 전자석(102 또는 202)에 인가되는 위치 제어 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 a)는 상기 밸브 시트(12)로부터 떨어진 전자석(102)에는 음의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(202)에는 양의 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 b)는 상기 밸브 시트(12)로부터 떨어진 전자석(102)에는 영의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(202)에는 양의 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 c)는 상기 밸브 시트(12)로부터 떨어진 전자석(102)에는 영의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(202)에는 상기 전자석(202)으로부터 상기 이동 가능 부재(302)의 자화 가능 부분(312)의 거리에 따라 변하는 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 e)는 상기 밸브 시트(12)로 지향되는 전자석(202)에는 음의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(102)에는 양의 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 f)는 상기 밸브 시트(12)로 지향되는 전자석(202)에는 영의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(102)에는 양의 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 g)는 상기 밸브 시트(12)로 지향되는 전자석(202)에는 영의 기준 전류를 인가하고, 다른 전자석(102)에는 상기 전자석(102)으로부터 상기 이동 가능 부재(302)의 자화 가능 부분(312)의 거리에 따라 변하는 기준 전류를 인가함으로써 수행되는 위치 제어 방법.
  9. 제 1 항에 따른 방법을 실행할 수 있는 디바이스에 있어서,
    상기 액추에이터(2)의 이동 가능 부재(302)의 위치를 검출하기 위한 수단(901)과, 상기 두 전자석(102, 202) 내에 흐르는 전류의 강도를 검출하기 위한 수단(811)에 접속되는 처리 유닛(1)을 포함하고, 상기 처리 유닛(1)은 시동 신호를 입력하기 위한 모듈(101), 상기 방법의 실행을 관리하는 프로그램을 저장하는 비휘발성 메모리 모듈(301), 상기 이동 가능 부재(302)의 궤도를 생성하기 위한 모듈(601), 상기 이동 가능 부재(302)의 위치를 조정하기 위한 모듈(501), 전력 공급 입렵부(201)에 접속되고, 상기 전자석(102, 202)에 흐르는 전류의 강도를 검출하기 위한 수단(811)과 인터페이스되는 전력 공급 섹션(801)을 제어하는 전류를 조정하기 위한 모듈(701)을 포함하는 디바이스.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 프로그램은 주어진 궤도에 따라 2개의 전자석(102, 202)에 의해 생성되는 힘을 제어할 수 있는 적절한 출력 신호를 리턴하기 위해 상기 모듈(601)에 의해 생성되는 기준 위치 및 검출 수단(901)에 의해 검출되는 실제 위치를 입력으로서 갖는 위치 제어 루프와, 사전 설정된 값 또는 상기 모듈(501)의 출력으로부터 생성되는 기준 전류 및 검출 수단(811)에 의해 검출되는 실제 전류를 입력으로서 갖는 전류 제어 루프에 의해 데이터를 처리하는 디바이스.
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