KR101621666B1 - 원터치 결합형 피커 어셈블리 - Google Patents

원터치 결합형 피커 어셈블리 Download PDF

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KR101621666B1
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Abstract

본 발명은 진공 흡착 방식으로 자재를 이송하는 피커 어셈블리에 관한 것으로서, 내부에 공기통로가 마련된 피커 몸체, 상기 피커 몸체의 하부에 결합되며, 상기 이젝터핀의 하부를 감싸는 헤드부 및 상기 헤드부에 끼워지는 탄성 재질의 패드부를 포함하며, 상기 피커 몸체의 하부는 원통 형태로 이루어지며, 상기 연장부의 외측면에 함몰부가 마련되며, 상기 상기 헤드부의 내측에는 상기 원통 형태에 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 삽입부의 일측에 돌출부재가 마련되어 상기 함몰부에 상기 돌출부재가 끼워지는 것을 특징으로 한다.

Description

원터치 결합형 피커 어셈블리 {one-touch type picker assembly}
본 발명은 로딩-스퍼터링-언로딩 장비에서 사용되는 원터치 결합형 피커 이셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피커 헤드의 결합을 정밀하면서 간편하게 수행할 수 있는 원터치 결합형 피커 헤드 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명은 로딩-스퍼터링-언로딩 장비에서 사용되는 원터치 결합형 피커 이셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지 등의 자재에 스퍼터링 공정을 수행하기 위하여 제덱(JEDEC) 트레이로부터 도너(DONOR) 트레이 등에 자재를 ?기는 로딩 작업이 요구되며, 로딩된 상태에서 스퍼티링 공정을 거치고, 반대로 도너 트레이로부터 제덱 트레이로 자재를 ?기는 언로딩 작업이 요구된다.
로딩 및 언로딩 과정에서 각각의 자재는 피커를 이용하여 픽 앤 플레이스 공정을 수반한다
종래의 픽 앤 플레이스에 이용되는 피커는 피커 몸체와 피커 헤드가 나사 결합된 상태로 조립된다. 피커 헤드는 유지 보수 시 잦은 착탈이 요구되는데 나사 결합을 반복하여야 하는 불편이 존재한다.
또한, 피커 헤드의 단부는 일반적으로 정사각형 등의 다각형으로 이루어지는데, 나사 결합 후 다각형의 각 면의 결합 각도의 정렬을 맞추기 어려운 문제점이 존재한다.
이러한 문제점으로 기인하여 픽 앤 플레이스의 정밀도의 문제가 발생되며, 나아가 자재 이송에 있어서 잦은 오류가 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 피커 헤드의 장착을 용이하게 하고, 나아가 피커 헤드의 장착 후 결합 각도의 정렬을 용이하게 함으로써, 궁극적으로 픽 앤 플레이스 공정의 정밀도를 향상시키고 자재 이송 상의 오류를 최소화하여 공정 효율을 높이는 원터치 결합형 피커 헤드 어셈블리를 제공하고자 한다.
본 발명은 진공 흡착 방식으로 자재를 이송하는 피커 어셈블리에 관한 것으로서, 내부에 공기통로가 마련된 피커 몸체, 상기 피커 몸체의 하부에 결합되며, 상기 이젝터핀의 하부를 감싸는 헤드부 및 상기 헤드부에 끼워지는 탄성 재질의 패드부를 포함하며, 상기 피커 몸체의 하부는 원통 형태로 이루어지며, 상기 연장부의 외측면에 함몰부가 마련되며, 상기 상기 헤드부의 내측에는 상기 원통 형태에 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 삽입부의 일측에 돌출부재가 마련되어 상기 함몰부에 상기 돌출부재가 끼워지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 돌출부재는 상기 삽입부에 마련된 환형홈에 끼워진 복 수개의 볼인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 볼의 외측을 둘러싸며 상기 환형홈의 끼워지는 밴드부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 헤드부와 패드부가 일체로 형성되어, 상기 피커 몸체에 상기 헤드부와 패드부가 한번에 장착될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 원터치 결합형 피커 어셈블리는 피커 헤드를 피커 몸체에 장착함에 있어서 나사 조립 등의 불편함이 없이 상하 이동에 따른 원터치로 간편하면서도 정교하고 장착할 수 있는 효과가 있다.
또한, 피커 헤드와 패드부가 일체로 형성되므로 패드부의 장착에 따른 불편을 덜 수 있으며, 장착 시 발생되는 오차를 최소화 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 및 정렬 장치를 적용한 로딩 장비의 평면도 나타낸다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 및 정렬 장치를 적용한 언로딩 장비의 평면도를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 및 정렬 장치의 정렬부를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 및 정렬 장치의 가변형 피커부를 나타낸다.
도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 및 정렬 장치의 일 피커부를 나타낸다.
도 6 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 피커 어셈블리를 나타낸다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 발명에 따른 자재 이송 및 정렬 장치는, 제1위치(예를 들어, 도너 트레이)로부터 제2위치(제덱 트레이)로 자재를 이송하는 동시에 자재 정확한 상호 간의 위치를 정렬하는 것이다. 로딩 및 언로딩의 제1위치 또는 제2위치의 일 예시로서 제덱 트레이와 도너 트레이를 언급하였지만, 웨이퍼 링 등 자재가 탑재 될 수 있는 다양한 대상물에서의 이송을 고려할 수 있다.
도 1 및 도 2에서는 로딩 장비 및 언로딩 장비를 나타내고 있으며, 본 발명의 기술적 사상은 두 가지 경우 모두에 적용될 수 있다고 할 것이다.
이하에서는 각각의 도면을 참조하여 각 실시예에 대하여 살펴보기로 한다.
본 발명은 기본적으로 복수개의 피커 어셈블리(410)로 이루어지며 진공 흡착 방식으로 복수개의 자재의 일면을 흡착하여 이송하는 피커부(400)와 상기 피커부(400)에 의해 이송된 자재의 위치를 정렬하는 정렬부(125, 126, 300)를 포함한다.
도 1은 로딩 장비(100)를 나타내며, 보다 구체적으로 제덱 트레이(133)로부터 자재를 픽업하여 자재를 정렬시키고 최종적으로 도너 트레이(210)에 이송하는 것을 나타낸다. 먼저, 제덱 트레이(133)에 자재가 탑재된 상태로 피딩되고, 1차적으로 상기 피커부(121, 123)에 의해 복수개의 자재가 동시에 픽업되어 상기 정렬부(125, 126)의 상방으로 이송된다. 정렬부(125, 126)에는 복수개의 정렬홈(도 4의 313)이 마련되며, 상기 피커부(121, 123))의 복수개의 피커 어셈블리는 각각 대응되는 하방의 정렬홈(125, 126)에 자재를 내려놓게 된다.
이와 같이, 자재가 내려진 상태에서 상기 정렬부(125, 126)에서 정밀한 정렬이 이루어지며, 보다 구체적으로는 정밀홈 내측에 마련된 치합홈에 자재가 안착됨으로써 정렬이 완성된다. 정렬부(125, 126)에 대하여는 도 4을 참조하여 상세히 후설하기로 한다.
이와 같이 정렬이 완성된 상태에서 다시 피커부(121, 123)에 의해 픽업되어 최종적으로 도너 트레이(112)에 플레이싱된다.
여기서 피커부(121, 123)는 2개 이상이 마련되어 제1피커부는 제덱 트레이(133)에서 정렬부(125, 126)까지 이송을 수행하며, 제2피커부는 정렬부(125, 126)에서 도너 트레이(112)까지 이송을 수행하도록 구간을 나눌 수 있으며, 다른 한편으로는 각각의 피커부가 제덱 트레이(1133)에서 정렬부(125, 126), 정렬부(125, 126)에서 도너 트레이(112)까지 이송을 수행하는 것을 고려할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 피커부(121, 123)가 장착되는 이송부(122, 124)가 2개 이상 마련되고, 각각의 이송부(122, 124)에 2개의 피커부가 장착되는 것 또한 고려할 수 있다.
3가지 경우 모두 하나의 피커부에 의한 이송부 보다 이송 작업 속도를 크게 높일 수 있다.
한편, 도 2는 언로딩 장비(200)를 나타내며, 보다 구체적으로 스퍼터링 공정이 완료된 도너 트레이(210)로부터 자재를 픽업한 후 자재를 정렬시키고, 비젼검사부(240)를 거쳐 최종적으로 제덱 트레이(133)로 이송시키는 것을 나타낸다. 자재의 정렬부(225, 226)와 비젼검사부(240)의 순서는 바뀔 수 있으며, 비젼검사를 먼저 수행하고 정렬을 수행하는 것 또한 고려할 수 있다.
먼저, 자재가 탑재된 도너 트레이(210)가 준비되며, 피커부(221, 223)가 도너 트레이로(210)부터 자재를 픽업하여 상기 정렬부(225, 226)의 상방으로 이송된다. 정렬부(225, 226)에는 복수개의 정렬홈이 마련되며, 상기 피커부(221, 223)의 복수개의 피커는 각각 대응되는 하방의 정렬홈에 자재를 내려놓게 된다. 이와 같이, 자재가 내려진 상태에서 상기 정렬부(225, 226)에서 정밀한 정렬이 이루어지며, 보다 구체적으로는 정밀홈 내측에 마련된 치합홈에 자재가 안착됨으로써 정렬이 완성된다. 정렬부에 대하여는 도 4을 참조하여 상세히 후설하기로 한다.
한편, 정렬된 상태에서 픽업이 이루어지기 전에 자재 상면에 대하여 룩다운(look down) 비전 검사를 수행하는 것이 바람직하다.
한편, 이와 같이 정렬이 완성된 상태에서 다시 피커부(221, 223)에 의해 픽업되어 제덱 트레이(234)로 이송되며, 이동되는 과정에서 비젼검사부(240)를 거치게 된다. 상술한 바와 같이 정렬부(225, 226)로 이송되는 과정에서 비젼검사부(240)를 거치는 것 또한 고려할 수 있다.
여기서의 비젼검사부(240)는 룩업 (look up) 검사부이며, 상면을 제외한 전, 후, 좌, 우, 하면을 검사하게 된다. 특히 프리즘과 같이 빛을 굴절시키는 광학계를 마련하여 자재의 이송 경로 하방에 마련된 비젼검사부를 통하여 전, 후, 좌, 우, 하면을 동시에 검사할 수 있다.
한편, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬부(300)를 나타낸다. 정렬부(300)는 도 5에 도시된 바와 같이 하부로부터 받침대(330), 수직지지대(320), 정렬판(310)으로 나누어 볼 수 있다.
정렬판(310)에 대하여 보다 상세히 살펴보면, 자재의 이송 방향과 평행하도록(또는 피커의 나열 방향과 평행하도록) 일정 길이를 가지는 판부재로 이루어지며, 상면에 길이 방향을 따라서 복 수개의 정렬홈(313)이 형성된다. 이와 같은 정렬홈(313)에 자재가 내려진다.
한편, 정렬홈은, 도 5에 도시된 바와 같이, 하부로 갈수록 좁아지는 테이퍼 형상(b)을 가지며, 상기 테이퍼 형상(b)의 하부에 상기 자재가 안착되는 치합홈(c, d)을 포함하는 것이 바람직하다.
테이퍼 형상(a)의 상부는 자재가 들어갈 수 있도록 자재의 평면보다 넓은 면을 가지며, 테이퍼 형상(b)을 따라 하부로 갈수록 좁아져 최종적으로 치합홈(c, d)에 이르게 된다.
상기 치합홈(c, d)은 이상적으로는 자재의 크기와 동일한 것을 고려할 수 있지만, 현실적으로 자재의 최종 정렬 위치의 허용 오차 범위 내에서 틈을 가지는 것이 바람직하다. 다시 말해서, 상기 치합홈(c, d)은 자재가 안착되었을 때 상기 자재와의 사이에 0 이상 허용 오차 미만의 간격을 가지는 것이 바림작하다.
한편, 상기 정렬부(300)는 일측에 진동수단을 포함하며, 진동에 의하여 상기 정렬홈(313)에 높여진 자재가 상기 치합홈(c, d)에 안착될 수 있도록 유도하는 것이 바람직하다. 일반적인 반도체 패키지 등의 자재의 경우, 매우 중량이 가볍기 때문에 자중에 의하여 치합홈(c, d)에 안착되는 것이 쉽지 않다. 따라서, 진동 수단을 마련하여 정렬부(313)에 진동을 가하여 치합홈(c, d)에 안착될 수 있도록 유도하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 치합홈(c, d)에 안착된 상태에서 정렬의 완성 여부는 치합홈(c, d)에 자재가 완전히 끼워졌는지 여부로 판단될 수 있다.
이에, 상기 자재가 정렬홈(313)에 안착된 상태에서 자재의 상부의 높이를 검사하는 돌출검사부(315)를 포함하는 것이 바람직하다.
자재는 최종적으로 치합홈(c, d)에 안착되는데, 정렬판(310)의 상면(311, 312)을 기준으로 치합홈(c, d)의 상면은 하방으로 함몰된 위치에 존재하므로 돌출검사를 위한 길이방향의 도광홈(314)을 마련하는 것이 바람직하다.
상기 도광홈(314)은 복수개의 정렬부(313)를 관통하여 상기 정렬판(310)의 상면(311, 312)을 좌우로 나누며 적어도 상기 테이퍼 형상(b)의 깊이 만큼 함몰되어야 한다. 이러한 도광홈(214)의 양측 단부 또는 일측 단부에 적외선센서 등을 장착하여 자재의 돌출 여부를 검출한 수 있다.
제어 방법으로서, 자재가 돌출되지 않을 때까지 진동을 계속 부여하는 것을 고려할 수 있으며, 일정 시간이 지나도 돌출된 자재가 존재하는 경우 정렬 실패로 인식하여 픽업 및 플레이싱을 다시 수행하거나, 폐기하는 것을 고려할 수 있다.
한편, 도 5는 본 발명에 따른 일 피커부를 나타내며 도 8은 도 7의 피커부의 하단부를 상세히 나타낸 것이다.
도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 피커 어셈블리는, 내부에 공기통로(429)가 마련된 피커 몸체(421)를 포함한다. 그리고, 상기 공기통로(429) 내부에 상부가 설치되고 하부는 상기 피커 몸체(421)의 하방으로 돌출되는 이젝터핀(424)과, 상기 공기통로(429) 내부에 마련되어 상기 이젝터 핀(424)을 하방으로 밀어내는 스프링을 포함한다. 상기 이젝터핀은 도 8에 도시된 바와 같이 공기통로(429)가 진공이 될 때 상측으로 이동되며, 도 9에 도시된 바와 같이 진공이 해제되었을 때 하측으로 이동되어 흡착된 자재를 하방으로 밀어낸다.
한편, 상기 이젝터핀(424)은 공기압으로 대체될 수 있으며, 이 경우 이젝터핀과 스프링 대신 공기 주입부를 마련하여 자재를 탈거할 때 내부 공기통로(429)를 통하여 공기를 분사하는 것이다.
다른 한편으로는, 상술한 이젝터핀과 스프링, 공기 주입구를 동시에 마련하여 동시에 적용하는 것 또한 가능하다
그리고, 상기 피커 몸체(421)의 하부에 결합되며, 상기 이젝터핀(424)의 하부를 감싸는 헤드부(422)과 상기 헤드부(422)에 끼워지는 탄성 재질의 패드부(423)를 포함한다.
한편, 도 10은 피커 어셈블리의 결합 관계를 나타낸다. 도 10에 도시된 바와 같이 상기 헤드부(422)와 패드부(423)는 일체로 형성되어, 상기 피커 몸체(421)에 상기 헤드부(422)와 패드부(423)가 한번에 장착될 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다.
상기 피커 몸체(421)의 하부는 원통 형태로 이루어지며, 상기 연장부의 외측면에 함몰부(425)가 마련되며, 상기 헤드부(422)의 내측에는 상기 원통 형태에 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 삽입부의 일측에 돌출부재(426)가 마련되어 상기 함몰부(425)에 상기 돌출부재가 끼워지는 것이다.
한편, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부재는 상기 삽입부에 마련된 환형홈에 끼워진 복 수개의 볼(426)로 이루어지며, 상기 볼의 외측을 둘러싸며 상기 환형홈의 끼워지는 밴드부(427)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합하거나 결합하여 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. 또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 로딩 장치
111, 112 : 도너 트레이
114, 115 : 레일
121, 123 : 피커부
122, 124 : 이송부
125, 126 : 정렬부
131 : 제덱 트레이 공급부
132 : 제덱 트레이 수거부
133, 134 : 제덱 트레이
200 : 언로딩 장치
210, 212 : 도너 트레이
214, 215 : 레일
221, 223 : 피커부
222, 224 : 이송부
225, 226 : 정렬부
233 : 제덱 트레이 공급부
232 : 제덱 트레이 수거부
231, 234 : 제덱 트레이
240 : 비젼검사부
300 : 정렬부
310 : 정렬판
311, 312 : 상면
313 : 정렬홈
314 : 도광홈
315 : 돌출검사부
320 : 수직지지대
330 : 받침대
400 : 피커부
410 : 피커 어셈블리
420 : 하단부
421 : 피커 몸체
422 : 헤드부
423 : 패드부
424 : 이젝터핀
425 : 함몰부
426 : 볼
427 : 밴드부
428 : 고정부
429 : 공기통로
430 : 중간부

Claims (4)

  1. 자재 이송 시스템에 있어서,
    제덱 트레이에 자재가 탑재된 상태로 피딩되고, 피커 어셈블리에 의해 복수개의 자재가 동시에 픽업되어 정렬부의 상방으로 이송되고,
    상기 정렬부에서 정렬이 완료된 후 상기 피커 어셈블리에 의해 복수개의 자재가 동시에 픽업되어 비젼검사부를 거쳐 도너 트레이로 이송되며,
    상기 피커 어셈블리는
    내부에 공기통로가 마련된 피커 몸체;
    상기 피커 몸체의 하부에 결합되며, 이젝터핀의 하부를 감싸는 헤드부;
    상기 헤드부에 끼워지는 탄성 재질의 패드부;
    을 포함하며,
    상기 피커 몸체의 하부는 원통 형태로 이루어지며, 상기 원통 형태의 외측면에 함몰부가 마련되며, 상기 헤드부의 내측에는 상기 원통 형태에 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 삽입부의 일측에 돌출부재가 마련되어 상기 함몰부에 상기 돌출부재가 끼워지며,
    상기 비젼검사부는 프리즘을 포함한 광학계를 이용하며 자재의 이송 경로 하방에서 자재의 전, 후, 좌, 우 및 하면을 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 원터치 결합형 피커 어셈블리를 포함하는 자재 이송 시스템
  2. 제1항에 있어서,
    상기 돌출부재는 상기 삽입부에 마련된 환형홈에 끼워진 복 수개의 볼로 이루어지며,
    상기 볼의 외측을 둘러싸며 상기 환형홈의 끼워지는 밴드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원터치 결합형 피커 어셈블리를 포함하는 자재 이송 시스템
  3. 제2항에 있어서,
    상기 헤드부와 패드부가 일체로 형성되어, 상기 피커 몸체에 상기 헤드부와 패드부가 한번에 장착될 수 있는 것을 특징으로 하는 원터치 결합형 피커 어셈블리를 포함하는 자재 이송 시스템
  4. 자재 이송 시스템에 있어서,
    도너 트레이에 자재가 탑재된 상태로 복수개의 피커 어셈블리에 의해 복수개의 자재가 동시에 픽업되어 정렬부의 상방으로 이송되고,
    상기 정렬부에서 정렬이 완료된 후 상기 복수개의 피커 어셈블리에 의해 복수개의 자재가 동시에 픽업되어 비젼검사부를 거쳐 제덱 트레이로 이송되며,
    상기 피커 어셈블리는
    내부에 공기통로가 마련된 피커 몸체;
    상기 피커 몸체의 하부에 결합되며, 이젝터핀의 하부를 감싸는 헤드부;
    상기 헤드부에 끼워지는 탄성 재질의 패드부;
    을 포함하며,
    상기 피커 몸체의 하부는 원통 형태로 이루어지며, 상기 원통 형태의 외측면에 함몰부가 마련되며, 상기 상기 헤드부의 내측에는 상기 원통 형태에 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 삽입부의 일측에 돌출부재가 마련되어 상기 함몰부에 상기 돌출부재가 끼워지며,
    상기 비젼검사부는 프리즘을 포함한 광학계를 이용하며 자재의 이송 경로 하방에서 자재의 전, 후, 좌, 우 및 하면을 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 원터치 결합형 피커 어셈블리를 포함하는 자재 이송 시스템
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101743746B1 (ko) * 2016-06-16 2017-06-05 주식회사 티에프이 반도체 패키지 흡착 픽커 어셈블리
KR101791787B1 (ko) * 2016-05-27 2017-10-30 세메스 주식회사 이젝터 핀 조립체 및 이를 포함하는 다이 이젝팅 장치
KR102363354B1 (ko) * 2021-11-03 2022-02-15 제너셈(주) 픽커 장치
KR102446564B1 (ko) * 2021-11-03 2022-09-26 제너셈(주) 픽커 장치

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