KR101613537B1 - 고압 펄스 변조 전원 및 방법 - Google Patents

고압 펄스 변조 전원 및 방법 Download PDF

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Abstract

직류 안정화 전원(PS), 복수개의 솔리드 스테이트 스위치(Q?), 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 대응되는 복수개의 트리거 및 타이밍 제어 모듈을 포함하는 전압 교번 펄스 출력용 설비 및 장치에 있어서, 각 트리거는 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되로록 해당 대응되는 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하고, 복수개의 트리거는 적어도 두개 그룹으로 나누어지며, 타이밍 제어 모듈은 시각(t1)에 트리거 신호가 생성되도록 복수개의 트리거를 제어하여, 동시에 복수개의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하고, 또한 시각(t2)에 트리거 신호가 생성되도록 적어도 두 그룹 트리거 중 한개 그룹을 제어하여 해당 한개 그룹에 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하며, 시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나며, 그룹별 교번 트리거링을 통해 단일 에너지 가속기를 듀얼/ 멀티 전압 교번 출력에 응용할 수 있다.

Description

고압 펄스 변조 전원 및 방법{POWER SOURCE FOR OUTPUTTING HIGH VOLTAGE PULSE MUDULATION AND METHOD THEROF}
본 발명은 고압 펄스 변조 전원 및 그 방법에 관한 것으로서, 구체적으로 막스 발생기 원리를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원에 있어서 듀얼(멀티) 전압 교번 펄스 출력을 실현하는 기술에 관한 것이다.
막스 발생기는 펄스 변조 전원을 실현하는 방법 중의 하나이며, 커패시티를 이용하여 병렬로 충전하고 직렬로 방전하는 장치이다. 막스 발생기는 나노초급의 좁은 펄스와 상당히 높은 펄스 주파수를 실현할 수 있다. 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원은 솔리드 스테이트 스위치, 예를 들어 IGBT(절연 게이트 쌍극성 트랜지스터)로 펄스 변조를 진행하는 전원이다.
현재 보편적으로 듀얼 에너지 가속기 영역에 응용되는 변조기는 대부분 선형 변조기이다. 선형 변조기는 인접한 두 펄스의 충전 전압을 조절하는 것을 통해 교번 듀얼 에너지 펄스 전력 공급을 실현할 수 있다. 그러나 솔리드 스테이트 펄스 변조기를 이용한 가속기는 대부분 단일 에너지 가속기이며, 또한 현재 직선 가속기에 응용되는 막스 발생기 원리를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원은 일반적으로 거이 다 각 IGBT를 동시에 트리거링하는 작동 방식을 적용하고 있다.
따라서 막스 발생기 원리를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원에 듀얼(멀티)전압의 교번 출력을 실현하고, 이를 교번 듀얼 에너지 빔 출력 전자 직선 가속기에 이용하는 것을 필요로 한다.
본 발명은 그룹별 교번 트리거링을 이용한 전압 교번 펄스 출력용 설비 및 방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 고압 펄스 변조 전원에 전력을 공급하기 위한 직류 안정화 전원, 복수개의 솔리드 스테이트 스위치, 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 대응되며 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 각자는 해당 대응되는 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하며, 적어도 두개 그룹의 트리거로 나뉘어지는 복수개의 트리거, 및 시각(t1)에 트리거 신호가 생성되도록 상기 복수개의 트리거를 제어하여 동시에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하고, 또한 시각(t2)에 트리거 신호가 생성되도록 상기 적어도 두개 그룹의 트리거 중 한개 그룹을 제어하여 해당 한개 그룹에 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하되, 그 중, 시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나는 타이밍 제어 모듈을 포함하는 그룹별 교번 트리거링을 이용한 고압 펄스 변조 전원을 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 고압 펄스 변조 전원은 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치 중 한개 또는 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 단독으로 전력을 공급하기 위한 전압강하장치를 추가로 포함한다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 복수개의 솔리드 스테이트 스위치를 포함하는 고압 펄스 변조 전원을 그룹별로 교번으로 트리거링 하기 위한 방법에 있어서, 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치를 적어도 두개 그룹으로 나누는 단계, 시각(t1)에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하여 동시에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하는 단계, 및 시각(t2)에 상기 적어도 두개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치 중 한개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하여 해당 한개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하는 단계를 포함하며, 그 중, 시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나는 고압 펄스 변조 전원을 그룹별로 교번으로 트리거링하기 위한 방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 상기 방법에 있어서, 또 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치 중 한개 또는 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 단독으로 전력를 공급한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 막스 발생기 원리를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원에 듀얼(멀티) 전압 교번 출력을 실현하고, 이를 교번 듀얼 에너지 빔 출력 전자 직선 가속기에 이용한다.
본 발명에 근거하여, 그룹별 교번 트리거링을 통해 단일 에너지 가속기를 듀얼(멀티) 전압 교번 출력　구현에 응용할 수 있다.
본 발명을 더욱 완벽하게 이해하기 위하여, 도면을 결합하여 뒤의 명세서에 대해 서술하며 그 중,
도 1은 막스 발생기를 이용한 고압 펄스 변조 전원의 원리를 보여주는 모식도이다.
도 2는 막스 발생기를 이용한 고압 펄스 변조 전원 동작 타이밍을 보여주는 모식도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원을 보여주는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원 동작 타이밍을 보여주는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원의 원리를 보여주는 모식도이다.
본 발명에서 도 1 내지 도 5는 단지 해당 특허 문서 중 본 발명 원리의 각종 실시예를 설명하는데 목적을 두며, 어떠한 방식으로도 본 발명의 범위를 한정하는 것으로 이해해서는 안된다. 본 기술분야의 당업자는 본 발명의 원리가 임의의 유형의 적합하게 배치된 설비 또는 시스템으로 실현할 수 있음을 이해해야 한다.
도 1은 막스 발생기를 이용한 고압 펄스 변조 전원의 원리를 보여주는 모식도이다. 해당 도면 중, PS는 하이 파워 직류 정전압 전원이며, 고압 펄스 변조 전원의 전력 공급 전원이며, 전원 전압은 Vin이다. M1~Mm는 m개의 IGBT 모듈 유닛이다. Trig(1)~ Trig(m)는 IGBT 모듈 그룹에 대응되는 트리거 신호이다. Vout는 고압 펄스 변조 전원의 출력단 전압이다.
두차례 트리거링의 간격 기간 내에, PS는 충전 인덕턴스(L) 및 다이오드를 통해 IGBT 모듈 유닛의 캐퍼시티(C)에 대해 충전하며, 하나의 병렬 충전하는 캐퍼시티 어레이를 형성하고, 또한 다음 트리거링 전까지 캐퍼시티(C)의 전압이 Vin을 유지하도록 한다. 트리거링 시, 각 IGBT 모듈은 ON 되며, 모듈의 캐퍼시티(C)는 각 IGBT 모듈 유닛을 통해 하나의 직렬 연결 방전 회로를 형성하며, 이 때, 고압 펄스 변조 전원의 출력 전압(Vout)=n* Vin이며, 그 중, n는 현재 시각에 ON 되는 IGBT 모듈의 수량이다.
도 2는 막스 발생기를 이용한 고압 펄스 변조 전원 작동 타이밍을 보여주는 모식도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 트리거링 시각(t)에 트리거 신호(Trig)가 생성되며, 막스 발생기 원리를 이용한 고압 펄스 변조 전원은 각 솔리드 스테이트 스위치(예를 들어 IGBT)가 트리거 신호(Trig)에 의해 동시에 트리거링되는 방식을 이용하여, 높은 출력단 전압(Voh)을 얻는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원을 보여주는 도면이다. 도 3 에서 나타낸 고압 펄스 변조 전원은 예를 들어 도 1에서 나타낸 바와 같은 막스 발생기를 이용한 전형적인 고압 펄스 변조 전원이며, 그 중, m개의 트리거(1)…트리거(n), 트리거(n+1)…트리거(m)는 고압 펄스 변조 전원에 트리거 신호(Trig1)…(Trign), (Trign+1)…(Trigm)을 제공한다. 하나의 바람직한 실시예에 있어서, 트리거(1)~트리거(m)는 두개 그룹 즉 트리거(1)~트리거(n)와 트리거(n+1)~트리거(m)로 나뉘어질 수 있다. 또 다른 바람직한 실시예에 있어서, 트리거(1)~트리거(m)는 두개 이상의 그룹으로 나뉘어질 수 있다. 트리거(1)~트리거(m)는 타이밍 제어 모듈의 제어를 받는다. 타이밍 제어 모듈은 트리거(1)~트리거(m)에 의해 생성된 트리거 신호(Trig1)~(Trigm)를 제어하는 것을 통해, 고압 펄스 변조 전원 중의 m개 IGBT 모듈 유닛이 그룹별로 ON 되도록 한다.
하나의 바람직한 실시예에 있어서, 트리거(1)~트리거(m)는 두개 그룹 즉 트리거(1)~트리거(n)와 트리거(n+1)~트리거(m)로 나뉘어진다. 시각(t1)에 타이밍 제어 모듈은 동시에 트리거 신호(Trig1)~(Trigm)가 생성되도록 트리거(1)~트리거(m)를 제어하여, 두개 그룹의 트리거에 대응되는 두개 그룹의 IGBT 모듈(M1)~(M2)이 동시에 트리거링되도록 하며, 높은 출력단 전압(Voh)(Voh=m*Vin)을 얻는다.
시각(t2)에 타이밍 제어 모듈은 트리거 신호(Trig1)~(Trign)가 생성되도록 제1 그룹의 트리거(1)~트리거(n)를 제어하고, 또한 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)가 트리거 신호가 생성되지 않도록 제어하여, 제1 그룹의 트리거 신호(Trig1)~(Trign)에 대응되는 제1 그룹 IGBT 모듈(M1)~(Mn)은 트리거링되지만 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)에 대응되는 제2 그룹 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)은 트리거링되지 않도록 하여, 낮은 출력단 전압(Vol)(Vol=n*Vin)을 얻는다.
또는 시각(t2)에 타이밍 제어 모듈은 트리거 신호(Trign+1)~(Trigm)가 생성되도록 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)를 제어하고, 또한 트리거 신호가 생성되지 않도록 제1 그룹의 트리거(1~n)를 제어하여, 제1 그룹의 트리거 신호(Trig1)~(Trign)에 대응되는 제1 그룹 IGBT 모듈(M1)~(Mn)은 트리거링되지 않지만 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)에 대응되는 제2 그룹 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)은 트리거링 되어, 낮은 출력단 전압(Vol')(Vol'=(m-n)*Vin)을 얻는다.
시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나며, 출력 전압(Voh)과 (Vol) 또는 전압(Voh)과 (Vol')이 교번으로 변화되는 듀얼 전압 펄스 전원을 구성한다.
또 다른 바람직한 실시예에 있어서, 트리거(1)~트리거(m)는 두개 이상의 그룹 예를 들어 세개 그룹으로 나뉘어질 수 있다. 타이밍 제어 모듈은시각(t1)에 트리거 신호가 생성되도록 세개 그룹의 트리거를 제어하고, 시각(t2)에 트리거 신호가 생성되도록 세개 그룹 중 두개 그룹의 트리거를 제어하고 나머지 한개 그룹의 트리거는 트리거 신호가 생성되지 않도록 제어하며, 또한 시각(t3)에 트리거 신호가 생성되도록 세개 그룹 중 한개 그룹의 트리거를 제어하고 나머지 두개 그룹의 트리거는 트리거 신호가 생성되지 않도록 제어하는 것을 통해, 대응되는 IGBT 모듈을 제어하여, 고, 중, 저 출력단 전압을 얻는다. 시각(t1), (t2), (t3)은 교번으로 나타나며, 고, 중, 저 출력단 전압이 교번으로 변화하는 트리플 전압 펄스 전원을 구성한다. 본 기술분야의 당업자는 상기 실시예의 계시에 근거하여, 트리거를 복수개의 그룹으로 나누며, 또한 멀티 전압 교번 펄스 출력을 실현하는 방법을 용이하게 이해할 수 있다.
도 3에서 본 발명에 따른 고압 펄스 변조 전원의 일 예를 설명하였지만, 도 3에 대해 여러가지 변형을 진행할 수 있다. 도 3에서 나타낸 막스 발생기를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원은 단지 고압 펄스 변조를 실현하는 전원의 한가지 방식이다. 실제로, 본 발명은 임의의 트리거링을 이용한 고압 펄스 변조 전원에 적용될 수 있다. 그 외, 고압 펄스 변조 전원 중의 솔리드 스테이트 스위치는 IGBT(절연 게이트 쌍극성 트랜지스터)형 솔리드 스테이트 스위치에 한정되지 않고, 솔리드 스테이트 스위치로 사용하기에 적합한 임의의 디바이스와 장치일 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원의 동작 타이밍을 보여주는 모식도이다. 트리거(1)~트리거(m)는 두개 그룹 즉 트리거(1)~트리거(n)와 트리거(n+1)~트리거(m)로 나뉘어진다. 트리거 시각(t1)에 트리거 신호(TrigA)가 생성되며, 고압 펄스 변조 전원 중 모든 트리거(1)~(m)에 대응되는 IGBT 모듈(M1)~(Mm)은 트리거 신호(TrigA)에 의해 동시에 트리거링되며, 높은 출력단 전압(Voh)을 얻는다. 트리거 시각(t2)에 트리거 신호(TrigB)가 생성되고, 고압 펄스 변조 전원 중 제1 그룹의 트리거(1)~(n)에 대응되는 IGBT 모듈(M1)~(Mn)은 트리거 신호(TrigB)에 의해 트리거링되지만, 기타 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)은 트리거링되지 않아, 낮은 출력단 전압(Voh)을 얻으며, 또는 M고압 펄스 변조 전원 중 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)에 대응되는 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)은 트리거 신호(TrigB)에 의해 트리거링되지만, 기타 IGBT 모듈(M1)~(Mn)은 트리거링되지 않아, 낮은 출력단 전압(Voh')(미도시)을 얻는다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고압 펄스 변조 전원의 원리를 보여주는 도면이다. 막스 발생기를 이용한 고압 펄스 변조 전원 중, IGBT 모듈의 수량이 비교적 적거나 또는 교번 출력 전압의 정밀도 요구가 비교적 높을 경우, 출력단 전압(Voh)과 (Vol)을 정밀하게 제어하기 위하여, 도 3에서 나타낸 고압 펄스 변조 전원의 기초상에서 하나의 전압강하장치를 추가한다. 하나의 바람직한 실시예로 도 5에서 나타낸 고압 펄스 변조 전원은 교번 듀얼 전압 출력이다. 상기 변조 전원에 하나의 전압강하장치를 추가하며, 해당 전압강하장치는 단독적으로 예를 들어 제 m개 IGBT 모듈 유닛에 전력을 공급한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 전압강하장치는 하이 파워 직류 안정화 전원으로부터 출력전압(Vin)을 제공받으며, 전압강하 처리를 거친 후, 제 m개 IGBT 모듈 유닛에 출력전압(Vin')을 제공한다.
상기 바람직한 실시예에 있어서, 트리거(1)~트리거(m)는 두개 그룹 즉 트리거(1)~트리거(n)와 트리거(n+1)~트리거(m)로 나뉘어진다. 시각(t1)에 타이밍 제어 모듈은 동시에 트리거 신호(Trig1)~(Trigm)가 생성되도록 트리거(1)~트리거(m)를 제어하여, 두개 그룹의 트리거에 대응되는 두 그룹의 IGBT 모듈(M1)~(Mm)은 동시에 트리거링되며, 그 중 IGBT 모듈(Mm)은 전압강하장치에 의해 단독으로 전력을 공급 받으며, 높은 출력단 전압(Voh)(Voh=(m-1)*Vin+Vin')을 얻는다.
시각(t2)에 타이밍 제어 모듈은 제1 그룹의 트리거 신호(Trig1)~(Trign)가 생성되도록 제1 그룹의 트리거(1)~트리거(n)를 제어하고, 또한 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)는 트리거 신호가 생성되지 않도록 제어하여, 제1 그룹의 트리거 신호(Trig1)~(Trign)에 대응되는 제1 그룹 IGBT 모듈(M1)~(Mn)는 트리거링되지만 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)에 대응되는 제2 그룹 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)는 트리거링되지 않도록 하여, 낮은 출력단 전압(Vol)(Vol=n*Vin)을 얻는다.
또는 시각(t2)에 타이밍 제어 모듈은 제2 그룹의 트리거 신호(Trign+1)~(Trigm)가 생성되도록 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)를 제어하고, 또한 제1 그룹의 트리거(1~n)는 트리거 신호가 생성되지 않도록 제어하여, 제1 그룹의 트리거 신호(Trig1)~(Trign)에 대응되는 제1 그룹 IGBT 모듈(M1)~(Mn)는 트리거링되지 않지만 제2 그룹의 트리거(n+1)~(m)에 대응되는 제2 그룹 IGBT 모듈(Mn+1)~(Mm)는 트리거링 되도록 하되, 그 중, IGBT 모듈(Mm)은 전압강하장치에 의해 단독으로 전력을 공급 받아, 낮은 출력단 전압(Vol')(Vol'=((m-n-1)*Vin+ Vin')을 얻는다.
시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나며, 출력전압(Voh)과 (Vol) 또는, (Voh)과 (Vol')이 교번으로 변화되는 듀얼 전압 펄스 전원을 구성한다.
전압강하장치를 통해 제 m개 IGBT 모듈 유닛에 단독으로 출력 전압(Vin')을 제공하도록 조절하여, 출력전압(Voh), (Vol) 또는 (Vol')을 정밀하게 제어할 수 있다.
기타 바람직한 실시예에 있어서, 전압강하장치는 m개 IGBT 모듈 유닛 중 임의의 한개 또는 복수개에 단독으로 전력을 공급할 수 있어, 출력전압을 정밀하게 제어할 수 있다.
이로부터 알 수 있다시피, 본 발명에서 제공하는 그룹별 교번 트리거링을 통해 전압 교번 펄스를 출력하는 것을 이용하여 단일 에너지 가속기를 듀얼 (멀티) 전압 교번 출력에 응용할 수 있다.
본 발명의 기본 구조를 나타내기 위하여 구조의 일부 구성을 설명하였지만, 본 기술분야의 당업자는 본 발명의 특허청구범위에 속하는 기타 변형도 가능하다는 것을 이해할 수 있다. 본 발명은 현재 제일 실용적이고 바람직하다고 생각되는 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 공개된 실시예에 한정되지 않으며, 그 취지는 특허청구의 요지 및 범위 내의 각종 변경 및 등가의 방안을 포함하는데 있다.

Claims (8)

  1. 고압 펄스 변조 전원에 전력을 공급하기 위한 직류 안정화 전원,
    복수개의 솔리드 스테이트 스위치,
    상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 대응되며, 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 각자는 해당 대응되는 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하며, 적어도 두개 그룹의 트리거로 나뉘어지는 복수개의 트리거, 및
    시각(t1)에 트리거 신호가 생성되도록 상기 복수개의 트리거를 제어하여, 동시에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하여 상기 시각(t1)에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치의 캐퍼시티 모두가 각 솔리드 스테이트 스위치를 통해 하나의 직렬 연결 방전 회로를 형성하고, 또한 시각(t2)에 트리거 신호가 생성되도록 상기 적어도 두개 그룹의 트리거 중 한개 그룹을 제어하여, 해당 한개 그룹에 대응되는 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하여 상기 시각(t2)에 상기 한개 그룹에 대응되는 솔리드 스테이트 스위치의 캐퍼시티만 각 솔리드 스테이트 스위치를 통해 하나의 직렬 연결 방전 회로를 형성하되, 그 중, 시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나는 타이밍 제어 모듈을 포함하는 그룹별 교번 트리거링을 이용하며, 상기 고압 펄스 변조 전원은 막스 발생기를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원인 듀얼 에너지 가속기에 응용되는 고압 펄스 변조 전원.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치 중 한개 또는 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 단독으로 전력을 공급하기 위한 전압강하장치를 추가로 포함하는 고압 펄스 변조 전원.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 솔리드 스테이트 스위치는 IGBT 모듈 인 고압 펄스 변조 전원.
  5. 복수개의 솔리드 스테이트 스위치를 포함하는 고압 펄스 변조 전원을 그룹별로 교번으로 트리거링하기 위한 방법에 있어서,
    상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치를 적어도 두개 그룹으로 나누는 단계,
    시각(t1)에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하여 동시에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하여 상기 시각(t1)에 상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치의 캐퍼시티 모두가 각 솔리드 스테이트 스위치를 통해 하나의 직렬 연결 방전 회로를 형성하는 단계,
    시각(t2)에 상기 적어도 두개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치 중 한개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치에 트리거 신호를 제공하여 해당 한개 그룹의 솔리드 스테이트 스위치가 ON 되도록 하여 상기 시각(t2)에 상기 한개 그룹에 대응되는 솔리드 스테이트 스위치의 캐퍼시티만 각 솔리드 스테이트 스위치를 통해 하나의 직렬 연결 방전 회로를 형성하는 단계를 포함하며,
    그 중, 시각(t1)과 시각(t2)이 교번으로 나타나는 고압 펄스 변조 전원을 그룹별로 교번으로 트리거링하기 위한 것이며, 상기 고압 펄스 변조 전원은 막스 발생기를 이용한 솔리드 스테이트 펄스 변조 전원인 듀얼 에너지 가속기에 응용되는 고압 펄스 변조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수개의 솔리드 스테이트 스위치 중 적어도 한개 또는 복수개의 솔리드 스테이트 스위치에 단독으로 전력을 공급하는 단계를 추가로 포함하는 고압 펄스 변조 방법.
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 솔리드 스테이트 스위치는 IGBT 모듈인 고압 펄스 변조 방법.
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