KR101613125B1 - 기준 원점 설정 장치 및 그 방법 - Google Patents

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reflection mirror
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이동호
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장중수
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Abstract

기준 원점 설정 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기준 원점 설정 장치는, 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛; 스테이지유닛에 결합되되, 광조사유닛으로부터 이격되거나 광조사유닛에 접촉되어 광조사유닛으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛; 및 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 복수의 반사유닛 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러를 포함한다.

Description

기준 원점 설정 장치 및 그 방법{APPARATUS FOR SETTING ORIGIN POINT AND ITS METHOD}
본 발명은, 기준 원점 설정 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 스테이지유닛에 광조사유닛과 복수의 반사유닛이 결합되고, 광조사유닛으로부터 조사되어 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 정합되도록 반사유닛을 조절하여 스테이지유닛의 정확한 기준 원점을 용이하게 설정할 수 있는 기준 원점 설정 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였는데, 평면디스플레이는 TV나 컴퓨터의 모니터, 혹은 핸드폰(mobile phone), PDA, 디지털 카메라 등과 같은 기기의 표시장치로 사용되고 있다.
평면 디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
상기와 같은 평면 디스플레이의 제조공정은, 기판을 제조하는 공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정 등 수많은 공정들로 구성된다. 여기서 기판을 제조하는 공정의 경우 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등을 거치게 되며, 또한 기판은 증착 공정 내지 합착 공정을 통해 제품으로 출시된다.
그런데 이러한 공정에서는 제품 품질과 정밀도의 향상을 위해 기판을 정렬한 후 공정을 진행할 필요가 있는데, 예를 들어 증착 공정의 경우 기판에 마스크를 정확하게 부착시키기 위해 기판 내지 마스크를 정렬하게 된다.
그리고 이러한 기판 내지 마스크의 정렬을 위해 X축으로의 직선운동과, Y축으로의 직선운동 및 θ축 방향의 회전이 가능하도록 마련되는 UVW 스테이지가 사용될 수 있다.
즉, UVW 스테이지에 기판 내지 마스크를 올려두고 UVW 스테이지를 여러 방향으로 구동하여 요구되는 위치로 기판 내지 마스크를 정렬하게 된다.
하지만 UVW 스테이지의 제작 단계에서 UVW 스테이지의 최초 기준 원점이 정확하게 설정되지 않으면 서보모터의 제어가 어려워지고 서보모터의 과부하에 의해 떨리게 되는 헌팅이 발생될 수 있으며, 또한 서보모터의 제어불능으로 동작이 정지되어 기판 내지 마스크의 정확한 정렬을 할 수 없게 되는 문제점이 있다.
없음
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 스테이지유닛의 정확한 기준 원점을 용이하게 설정할 수 있으며, 이에 의해 서보모터의 과부하 방지를 통한 정밀 제어가 가능하여 기판 내지 마스크의 정확한 정렬이 가능한 기준 원점 설정 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛; 상기 스테이지유닛에 결합되되, 상기 광조사유닛으로부터 이격되거나 상기 광조사유닛에 접촉되어 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛; 및 상기 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러를 포함하는 기준 원점 설정 장치가 제공될 수 있다.
또한 상기 스테이지유닛은, 하측에 배치되는 받침판; 및 상기 받침판의 가장자리에 각각 결합되는 복수의 구동유닛을 포함할 수 있다.
그리고 상기 구동유닛은, 상기 받침판에 결합되는 구동모터; 상기 구동모터의 회전축에 결합되어 상기 구동모터의 회전운동시 직선운동하도록 마련되는 제1슬라이더유닛; 및 상기 제1슬라이더유닛에 결합되어 상기 제1슬라이더유닛의 직선운동방향에 교차하는 방향으로 이동하도록 마련되는 제2슬라이더유닛을 포함할 수 있다.
또한 상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나는 상기 제2슬라이더유닛에 결합되며, 상기 반사유닛컨트롤러는 상기 구동모터로 마련될 수 있다.
그리고 상기 제2슬라이더유닛에 결합되며 상기 반사유닛이 삽입되도록 마련되는 반사유닛고정지그를 더 포함할 수 있다.
또한 상기 복수의 반사유닛은, 상기 광조사유닛에 이격되거나 접촉되게 배치되는 제1반사미러; 상기 제1반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제1반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제2반사미러; 상기 제2반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제2반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제3반사미러; 및 상기 제3반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제3반사미러로부터 진행되는 빛을 상기 제1반사미러측으로 반사하는 제4반사미러를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제1반사미러는 빛의 일부를 투과하고 빛의 일부를 반사하는 하프미러로 마련되고, 상기 제2반사미러, 상기 제3반사미러 및 상기 제4반사미러 중 적어도 하나는 전반사미러로 마련될 수 있다.
또한 빛의 경로가 서로 정합될 수 있도록 기준 위치를 제공하기 위해, 상기 스테이지유닛에 결합되며 상기 광조사유닛과 상기 제1반사미러가 안착되는 고정지지유닛을 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 고정지지유닛은, 상기 광조사유닛과 상기 제1반사미러가 안착되는 안착플레이트; 및 상기 안착플레이트에 일측이 결합되고 상기 스테이지유닛에 타측이 결합되어 상기 안착플레이트를 지지하는 지지부재를 포함할 수 있다.
또한 상기 안착플레이트의 중심부에는 기준 위치를 표시하는 기준위치표시부가 마련될 수 있다.
그리고 상기 복수의 반사유닛에는, 상기 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 반사유닛을 조절하기 위한 세팅용 눈금이 형성될 수 있다.
또한 상기 복수의 반사유닛은 상기 스테이지유닛에 착탈가능하게 결합될 수 있다.
한편 본 발명의 다른 측면에 따르면, 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛으로부터 빛을 조사하는 단계; 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 복수의 반사유닛에 의해 반사하는 단계; 및 상기 복수의 반사유닛에서 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛이 반사유닛컨트롤러에 의해 조절되는 단계를 포함하는 기준 원점 설정 방법이 제공될 수 있다.
또한 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 상기 복수의 반사유닛에 의해 반사하는 단계는, 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 제1반사미러를 통과하는 단계; 상기 제1반사미러를 통과한 빛이 제2반사미러로 진행하는 단계; 상기 제2반사미러로 진행하여 상기 제2반사미러로부터 반사되는 빛이 제3반사미러로 진행하는 단계; 상기 제3반사미러로 진행하여 상기 제3반사미러로부터 반사되는 빛이 제4반사미러로 진행하는 단계; 및 상기 제4반사미러로 진행하여 상기 제4반사미러로부터 반사되는 빛이 상기 제1반사미러로 진행하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제1반사미러는 빛의 일부를 투과하고 빛의 나머지를 반사하는 하프미러로 마련되며, 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 제1반사미러를 통과하는 단계는, 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛의 일부가 상기 제1반사미러를 통해 투과되어 상기 제2반사미러를 향해 진행하는 단계; 및 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛의 나머지가 상기 제1반사미러로부터 반사되어 상기 제4반사미러를 향해 진행하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 상기 복수의 반사유닛에서 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛이 반사유닛컨트롤러에 의해 조절되는 단계는, 상기 제1반사미러로부터 반사되어 상기 제4반사미러를 향해 진행하는 빛과, 상기 제4반사미러로부터 반사되어 상기 제1반사미러로 진행하는 빛의 경로가 동일 선상에 중첩되도록 반사유닛이 조절되는 단계를 포함할 수 있다.
그리고 상기 스테이지유닛에는 구동모터가 설치되고, 상기 반사유닛은 구동모터에 결합되며, 상기 빛의 경로가 동일 선상에 중첩되도록 반사유닛이 조절되는 단계는, 상기 구동모터를 구동하여 빛의 경로를 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 스테이지유닛에 광조사유닛과 복수의 반사유닛이 결합되고, 광조사유닛으로부터 조사되어 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 정합되도록 반사유닛을 조절하여 스테이지유닛의 정확한 기준 원점을 용이하게 설정할 수 있으며, 이에 의해 서보모터의 과부하 방지를 통한 정밀 제어가 가능하여 기판 내지 마스크의 정확한 정렬이 가능한 효과가 있다.
도 1은 일반적인 4축 UVW 스테이지의 개략적인 사시도이다.
도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치가 받침판에 장착된 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 구동유닛과 반사유닛의 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정되기 전의 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정된 후의 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정된 후 광조사유닛과 반사유닛이 제거된 모습을 도시한 도면이다.
도 7(a)는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 반사유닛이 반사유닛고정지그에 삽입되어 있는 모습의 사시도이고, 도 7(b)는 반사유닛이 반사유닛고정지그로부터 분리되어 있는 모습을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 고정지지유닛의 다른 실시예에 대한 사시도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 명세서에서 사용되는 '일측'과 '타측'의 용어는 특정된 측면을 의미할 수도 있고, 또는, 특정된 측면을 의미하는 것이 아니라 복수의 측면 중 임의의 측면을 일측이라 지칭하면, 이에 대응되는 다른 측면을 타측이라 지칭하는 것으로 이해되어질 수 있다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 '결합'되거나 직접 '연결'되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함될 수 있다.
도 1은 일반적인 4축 UVW 스테이지의 개략적인 사시도이고, 도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치가 받침판에 장착된 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 구동유닛과 반사유닛의 확대도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정되기 전의 모습을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정된 후의 모습을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에 의해 기준 원점이 설정된 후 광조사유닛과 반사유닛이 제거된 모습을 도시한 도면이며, 도 7(a)는 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 반사유닛이 반사유닛고정지그에 삽입되어 있는 모습의 사시도이고, 도 7(b)는 반사유닛이 반사유닛고정지그로부터 분리되어 있는 모습을 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 고정지지유닛의 다른 실시예에 대한 사시도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치는, 스테이지유닛(100)에 결합되는 광조사유닛(200)과, 스테이지유닛(100)에 결합되되, 광조사유닛(200)으로부터 이격되거나 광조사유닛(200)에 접촉되어 광조사유닛(200)으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛(300)과, 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 복수의 반사유닛(300) 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러(400)를 포함한다.
일반적으로 기판을 제조하기 위해서는 다양한 공정을 거치게 되며, 고품질의 기판을 제작하기 위해 각각의 공정마다 필요한 경우에 기판을 정렬하는데, 예를 들어 증착 공정, 합착 공정, 노광 공정 등에서 기판을 정렬하게 된다. 또한, 필요에 따라 마스크도 정렬하게 된다.
그리고 이러한 기판 등의 정렬을 위해, 통상, X축으로의 직선운동과, Y축으로의 직선운동 및 θ축 방향의 회전이 가능하도록 마련되는 UVW 스테이지가 사용될 수 있다.
이러한 UVW 스테이지는 3축으로 구성될 수도 있고, 또는 4축으로 구성될 수도 있으며 필요에 따라 축의 개수는 달라질 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위해 이하에서는 스테이지유닛(100)이 4축 UVW 스테이지인 것을 중심으로 설명하데, 본 발명의 권리범위가 4축 UVW 스테이지에 한정되는 것은 아님을 밝혀 둔다.
여기서 4축을 사용하는 UVW 스테이지는, UVW 스테이지의 제작시 4축간의 기준 원점이 정확하게 설정되어져야 기판의 정렬의 정확도가 충족될 수 있다.
즉, 4축이 정렬플레이트(130, 도 1 참조)에 의해 서로 연결되어 있으므로 정확한 기준 원점의 설정없이 임의의 지점을 기준으로 4축 UVW 스테이지를 제작하게 되면, 직선운동 내지 회전운동시 서보모터에 과부하가 걸리게 되어 제어가 용이하지 않을 뿐만 아니라 서보모터가 부분적으로 손상되거나 정지해버리는 문제가 발생될 수 있다.
따라서 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치는 4축 UVW 스테이지의 제작 과정에서 4축의 기준 원점, 특히 구동모터(121, 도 2 참조)에 결합되는 제2슬라이더유닛(123, 도 2 참조)의 기준 원점을 정확하게 설정하여 궁극적으로 각 공정에서의 기판 내지 마스크의 정렬의 정확도를 향상시킬 수 있는 바, 이하 이에 대해 상세히 설명한다.
본 명세서에서 사용되는 기판은 각종 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD), 즉, LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 또는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판. LED(Light Emitting Diodes) 기판, TSP(Touch Screen Panel) 기판, PCB(Printed Circuit Board) 기판 및 각종 반도체에 사용되는 기판을 포함할 수 있다.
그리고, 이러한 다양한 공정에서 사용되는 기판은 유리(Glass)를 사용할 수도 있고, 경우에 따라, 휘어짐 또는 구부림이 가능한 플라스틱(Plastic)이나 필름(Film) 종류를 사용할 수도 있다.
도 1을 참조하면, 스테이지유닛(100)은, 받침판(110)과, 복수의 구동유닛(120)을 포함하며, 또한 복수의 구동유닛(120)의 상측에 결합되는 정렬플레이트(130)를 포함할 수 있다.
받침판(110)은 하측에 배치되어 바닥 등에 놓여지며 구동유닛(120)과 정렬플레이트(130)를 지지하도록 마련된다. 여기서 받침판(110)은 다양한 형상으로 마련될 수 있지만 사각형의 평평한 플레이트 형태로 마련될 수 있다.
그리고 도 2에서는 받침판(110)이 정사각형의 형태로 마련되지만 이에 한정되는 것은 아니며 직사각형의 형태로 마련될 수도 있다.
구동유닛(120)은 복수로 마련되어 받침판(110)의 가장자리에 각각 결합되도록 마련될 수 있다. 즉 도 2를 참조하면, 4축 UVW 스테이지의 경우 4개의 구동유닛(120)이 받침판(110)의 가장자리에 결함되며, 한 쌍의 구동유닛(120)은 받침판(110)의 대향되는 위치에서 각각 받침판(110)에 결합될 수 있다.
즉 받침판(110)의 좌측가장자리와 우측가장자리에 각각 결합되는 구동유닛(120)은 동일한 위상을 가지면서 서로 마주보도록 배치되며, 또한 받침판(110)의 상측가장자리와 하측가장자리에 각각 결합되는 구동유닛(120) 역시 동일한 위상을 가지면서 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
도 1을 참조하면 정렬플레이트(130)는 4개의 구동유닛(120)의 상측에서 4개의 구동유닛(120)에 결합되며 구동유닛(120)의 구동에 따라 X축으로의 직선운동과, Y축으로의 직선운동 및 θ축 방향의 회전이 가능하게 마련된다.
여기서 정렬이 필요한 기판 내지 마스크는 정렬플레이트(130) 상측에 안착되는데, 구동유닛(120)의 구동에 따라 정렬플레이트(130)가 다양한 방향으로 움직이게 되면 정렬플레이트(130)의 상측에 안착되어 있는 기판 내지 마스크 역시 다양한 방향으로 움직이면서 원하는 방향으로 정렬될 수 있게 된다.
그런데 기판 내지 마스크의 정렬이 정확해지려면 정렬플레이트(130)가 결합되는 구동유닛(120), 보다 구체적으로는 후술하는 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 정확하게 설정할 필요가 있다.
즉 4축 UVW 스테이지의 제작과정에서 받침판(110) 상측에 4개의 구동유닛(120)이 결합되면 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치를 통해 4개 구동유닛(120)의 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 정확하게 설정하게 되는데, 4개의 제2슬라이더유닛(123) 모두의 원점이 정확하게 설정된 상태에서 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)가 결합되면, 정렬플레이트(130) 역시 정확한 움직임이 가능해지므로 정렬플레이트(130)의 상측에 안착되어 있는 기판 내지 마스크도 정확하게 정렬될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면 구동유닛(120)은 구동모터(121)와, 제1슬라이더유닛(122)과, 제2슬라이더유닛(123)을 포함한다.
구동모터(121)는 받침판(110)에 결합되며 회전에 의해 구동력을 제공하도록 마련되는데, 여기서 구동모터(121)는 서보모터로 마련될 수 있다.
그리고, 도 3을 참조하면, 제1슬라이더유닛(122)은 구동모터(121)의 회전축(125)에 결합되어 구동모터(121)의 회전운동시 직선운동하도록 마련될 수 있다.
즉 제1슬라이더유닛(122)은 스크류형태로 나사산(미도시)이 형성될 수 있으며 구동모터(121)의 회전축(125)에는 이에 대응되도록 나사골(미도시)이 형성되어 제1슬라이더유닛(122)의 나사산(미도시)에 결합될 수 있다.
여기서 도 3을 참조하면, 구동모터(121)가 회전하게 되는 경우 제1슬라이더유닛(122)은 구동모터(121)의 회전축(125)을 따라 도 3의 화살표 A 방향으로 직선운동을 하게 된다.
그리고 도 3을 참조하면 제1슬라이더유닛(122)의 직선운동을 가이드할 수 있도록 제1슬라이더유닛(122)에는 LM가이드(Linear Motion Guide, 126)가 결합될 수 있다.
또한 제2슬라이더유닛(123)은 제1슬라이더유닛(122)에 결합되어 제1슬라이더유닛(122)의 직선운동방향에 교차하는 방향으로 이동하도록 마련될 수 있다.
즉 예를 들어 제1슬라이더유닛(122)이 도 3의 화살표 A 방향으로 직선운동하게 된다면 제2슬라이더유닛(123)은 도 3의 화살표 B 방향으로 직선운동하도록 마련될 수 있다.
여기서 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)가 결합되는 경우 정렬플레이트(130)의 움직임에 따라 제2슬라이더유닛(123)도 도 3의 화살표 B 방향으로 직선운동할 수 있게 된다.
그리고 도 3을 참조하면 제2슬라이더유닛(123) 역시 직선운동을 가이드할 수 있도록 제2슬라이더유닛(123)에는 LM가이드(127)가 결합될 수 있다.
여기서 제2슬라이더유닛(123)에는 반사유닛(300)이 결합될 수 있는데, 광조사유닛(200)으로부터 조사되어 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합되기 위해서는 반사유닛(300)이 기준 원점에 해당되는 정위치에 있어야한다.
이를 위해 구동모터(121)를 구동하여 반사유닛(300)이 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 이동을 조절하게 되며, 이에 의해 반사유닛(300)이 기준 원점에 위치할 수 있게 된다.
즉 반사유닛(300)이 기준 원점에 해당되는 정위치에서 벗어나 있는 경우 제2슬라이더유닛(123)을 움직이게 되면 제2슬라이더유닛(123)에 결합되어 있는 반사유닛(300)도 함께 움직이게 되는데, 여기서 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합될 때까지 제2슬라이더유닛(123)을 움직이게 된다.
그리고 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합되는 지점에서 제2슬라이더유닛(123)의 구동을 정지하게 되면 반사유닛(300)이 기준 원점에 위치할 수 있게 된다.
그리고 반사유닛(300)이 기준 원점에 위치하게 되면 반사유닛(300)이 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123) 역시 기준 원점에 위치하게 되므로, 이에 의해 제2슬라이더유닛(123)이 기준 원점에 해당되는 정위치로 이동할 수 있게 되는데, 이에 대해 아래에서 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면 광조사유닛(200)은 스테이지유닛(100)의 받침판(110)에 결합되도록 마련된다.
여기서 광조사유닛(200)은 다양한 종류의 빛을 조사하도록 마련될 수 있는데, 특히 한 방향으로 집중하여 곧게 뻗어나가는 지향성이 우수한 레이저가 광조사유닛(200)으로부터 조사되도록 마련될 수 있다. 이하에서는 광조사유닛(200)에서 조사되는 빛이 레이저인 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
그리고 광조사유닛(200)은 후술하는 고정지지유닛(600)에 안착되고 고정지지유닛(600)이 스테이지유닛(100)에 결합되도록 마련될 수 있다(도 2 참조).
도 2를 참조하면 복수의 반사유닛(300)은 스테이지유닛(100)의 받침판(110)에 결합될 수 있다. 즉 복수의 반사유닛(300)은 광조사유닛(200)에 근접하게 배치되는 제1반사미러(310)를 포함할 수 있으며, 또한 광조사유닛(200)으로부터 이격되게 배치되는 제2반사미러(320), 제3반사미러(330) 및 제4반사미러(340)를 포함할 수 있다.
여기서 제1반사미러(310)는 도 2에 도시된 바와 같이 광조사유닛(200)에 접촉될 수도 있고 또는 도 8에 도시된 바와 같이 광조사유닛(200)으로부터 소정 간격 이격되어 근접 배치될 수도 있다.
그리고 제2반사미러(320)와 제4반사미러(340)는, 제1반사미러(310)로부터 이격되어 제1반사미러(310)의 대각선 방향에 각각 위치하도록 마련될 수 있고 제3반사미러(330)는 제1반사미러(310)로부터 이격되어 제1반사미러(310)의 대향되는 방향에 위치하도록 마련될 수 있다.
즉 제1반사미러(310)와, 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340) 각각은 서로 이격되어 배치되며, 제1반사미러(310)와, 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340)를 연결하는 가상의 직선은 사각형의 형상을 가지도록 배치될 수 있다.
도 2를 참조하면 광조사유닛(200)은 제1반사미러(310)에 근접하게 배치되어 제2반사미러(320)가 배치되는 방향을 향하도록 배치될 수 있는데 이 경우 제1반사미러(310)는 제2반사미러(320)와 제4반사미러(340)를 향하도록 배치될 수 있다.
그리고 제2반사미러(320)는 제1반사미러(310)와 제3반사미러(330)를 향하도록 배치될 수 있고 제3반사미러(330)는 제2반사미러(320)와 제4반사미러(340)를 향하도록 배치될 수 있으며, 제4반사미러(340)는 제3반사미러(330)와 제1반사미러(310)를 향하도록 배치될 수 있다.
여기서 제1반사미러(310)는 빛의 일부를 투과하고 빛의 일부를 반사하는 하프미러로 마련될 수 있다. 그리고 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340)는 모든 빛을 반사하는 전반사미러로 마련될 수도 있고 하프미러로 마련될 수도 있지만 설명의 편의를 위해 이하에서는 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340) 모두가 전반사미러임을 전제로 설명하기로 한다.
도 4 및 도 5를 참조하면 광조사유닛(200)으로부터 조사되는 레이저는 하프미러인 제1반사미러(310)를 통과하면서 조사된 빛의 50%는 그대로 투과하여 직진방향으로 진행(도 4의 화살표 D의 점선 참조)하게 되고 조사된 빛의 나머지 50%는 제1반사미러(310)에서 90˚반사되는 방향으로 진행(도 4의 화살표 E의 일점쇄선 참조)하게 된다.
즉 도 4의 화살표 D의 점선을 참조하면, 광조사유닛(200)으로부터 제1반사미러(310)를 향해 조사된 후 제1반사미러(310)에서 투과되어 직진방향으로 진행하는 50%의 레이저는 제2반사미러(320)를 향해 진행한다.
그리고 제2반사미러(320)를 향해 진행한 레이저는 제2반사미러(320)에서 반사되어 제3반사미러(330)를 향해 진행하고 제3반사미러(330)를 향해 진행한 레이저는 제3반사미러(330)에서 반사되어 제4반사미러(340)를 향해 진행한다.
그리고 제4반사미러(340)를 향해 진행한 레이저는 제4반사미러(340)에서 반사되어 제1반사미러(310)를 향해 진행하게 된다.
한편 도 4의 화살표 E의 일점쇄선 참조하면, 광조사유닛(200)으로부터 제1반사미러(310)를 향해 조사된 후 제1반사미러(310)에서 90˚반사되는 방향으로 진행하는 나머지 50%의 레이저는 제4반사미러(340)를 향해 진행한다.
그리고 제4반사미러(340)로 진행한 나머지 50%의 레이저는 제4반사미러(340)에서 반사되어 제3반사미러(330)로 진행하고, 또한 제3반사미러(330)에서 반사되어 제2반사미러(320)로 진행하며 제2반사미러(320)에서 반사된 후 제1반사미러(310)로 진행하게 된다.
여기서 제1반사미러(310)는 고정된 채 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340)를 움직여 조절하게 되면, 제1반사미러(310)를 투과 후 그대로 직진하여 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와 제4반사미러(340)를 거쳐서 다시 제1반사미러(310)로 진행하는 50%의 레이저의 경로(도 4의 화살표 D의 점선 참조)와, 제1반사미러(310)에서 반사된 후 제4반사미러(340)와, 제3반사미러(330)와 제2반사미러(320)를 거쳐서 다시 제1반사미러(310)로 진행하는 나머지 50%의 레이저의 경로(도 4의 화살표 E의 일점쇄선 참조)가 일치될 수 있다. 이에 대해 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
도 4를 참조하여 제2반사미러(320)가 정확한 원점보다 상측에 위치하고 있는 경우를 예를 들어 설명하면, 광조사유닛(200)에서 조사된 후 제1반사미러(310)에서 투과되는 레이저의 경로(도 4 화살표 D의 점선 참조)와, 광조사유닛(200)에서 조사된 후 제1반사미러(310)에서 반사되는 레이저의 경로(도 4 화살표 E의 일점 쇄선 참조)가 일치하지 않게 된다.
여기서 구동모터(121)의 구동에 의해 제2반사미러(320)가 결합된 제2슬라이더유닛(123)이 움직여 제2반사미러(320)를 도 4의 화살표 C 방향으로 이동시키며, 이에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 광조사유닛(200)에서 조사된 후 제1반사미러(310)에서 투과되는 레이저의 경로와, 광조사유닛(200)에서 조사된 후 제1반사미러(310)에서 반사되는 레이저의 경로가 일치하도록 레이저의 경로를 정합시키게 되면 복수의 반사미러(320, 330, 340)가 결합되어 있는 각각의 제2슬라이더유닛(123)의 원점이 정확하게 맞추어지게 된다.
한편 도 7을 참조하면, 복수의 반사유닛(300)에는 빛의 경로가 서로 정합되도록 반사유닛(300)을 조절하기 위한 세팅용 눈금(370)이 형성되어 있다.
즉 광조사유닛(200)으로부터 조사되거나 반사되는 레이저가 반사유닛(300)의 중심부를 투과하거나 중심부에서 반사되도록 반사유닛(300)의 중심부에 세팅용 눈금(370)이 형성되어 있다.
그리고 구동모터(121)를 구동하여 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 레이저의 경로를 정합시킬 수 있으므로, 구동모터(121)는 레이저 경로의 정합을 위해 반사유닛(300)의 움직임을 조절할 수 있는 반사유닛컨트롤러(400)로 작동될 수 있게 된다.
한편 구동모터(121)가 구동되어 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 레이저의 경로가 정합되고 제2슬라이더유닛(123)의 원점이 정확하게 맞추어지게 되면, 도 6에 도시된 바와 같이 복수의 반사유닛(300)과 광조사유닛(200)을 스테이지유닛(100)으로부터 제거하게 된다.
이를 위해 복수의 반사유닛(300)은 스테이지유닛(100) 중 제2슬라이더유닛(123)에 착탈가능하게 결합될 수 있다.
그리고 반사유닛(300)과 광조사유닛(200)이 제2슬라이더유닛(123)으로부터 제거된 후, 도 6을 참조하면 구동유닛(120) 중 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)가 결합된다.
여기서 제2슬라이더유닛(123)의 원점이 정확하게 맞추어져 있으므로 구동유닛(120)이 작동하게 되는 경우 정렬플레이트(130)의 정확한 움직임을 확보할 수 있으며, 이에 의해 서보모터의 과부하를 방지할 수 있다.
그리고 정렬플레이트(130)는 사용자가 제어하는 위치 및 방향으로 정확하게 움직이므로 정렬플레이트(130) 상측에 안착되는 기판 내지 마스크의 정확한 정렬이 가능해지는 효과가 있다.
한편 반사유닛(300)은 반사유닛고정지그(500)를 통해 제2슬라이더유닛(123)에 결합되도록 마련될 수 있다.
즉 도 7(a)를 참조하면 반사유닛고정지그(500)는 제2슬라이더유닛(123)에 결합되며 반사유닛(300)이 삽입되도록 마련된다. 즉 반사유닛고정지그(500)는 반사유닛(300)이 보다 용이하게 제2슬라이더유닛(123)에 결합되어 제2슬라이더유닛(123)과 함께 움직일 수 있도록 마련된다.
도 7(b)를 참조하면, 반사유닛고정지그(500)는 삽입홈(510)이 형성될 수 있으며 반사유닛(300)이 상기 삽입홈(510)에 삽입되도록 결합된다.
여기서 반사유닛고정지그(500)는 제2슬라이더유닛(123)에 착탈가능하게 결합될 수 있는데 제2슬라이더유닛(123)의 원점이 정확하게 맞추어지게 되면 반사유닛고정지그(500)는 제거되고 전술한 바와 같이 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)가 결합된다.
한편 제1반사미러(310)는 기준 반사미러로 마련될 수 있는데, 이 경우 광조사유닛(200)과 마찬가지로 제1반사미러(310)는 고정지지유닛(600)에 안착될 수 있으며, 이에 의해 제1반사미러(310)는 해당 위치에서 고정되게 된다.
다만 고정지지유닛(600)은 스테이지유닛(100)에 착탈가능하도록 결합될 수 있으므로, 고정지지유닛(600)이 스테이지유닛(100)으로부터 제거되면 고정지지유닛(600)에 안착되어있는 제1반사미러(310)와 광조사유닛(200)도 스테이지유닛(100)으로부터 제거될 수 있게 된다.
이에 대해 도 2 및 도 8을 참조하여 설명하면, 고정지지유닛(600)은 빛의 경로가 서로 정합될 수 있는 기준 위치를 제공하기 위해 스테이지유닛(100)에 결합되며 광조사유닛(200)과 제1반사미러(310)가 안착된다.
만약 복수의 반사유닛(300) 모두가 구동가능하도록 마련된다면, 복수의 반사유닛(300)에서 반사되는 빛의 경로를 정합시키는 것이 용이하지 않을 수 있다. 따라서, 복수의 반사유닛(300) 중 하나를 기준 반사유닛(300)으로 설정하여 고정하고 이렇게 고정된 기준 반사유닛(300)을 기준위치로 하여 나머지 반사유닛(300)을 움직여서 빛의 경로를 정합시키게 된다.
이를 위해 도 2를 참조하면 고정지지유닛(600)이 스테이지유닛(100)의 받침판(110)에 착탈가능하게 고정되며 고정지지유닛(600)의 상측에 광조사유닛(200)과 제1반사미러(310)가 안착된다.
즉 제1반사미러(310)가 기준 반사미러가 되어 고정지지유닛(600)의 상측에서 고정되며, 제2반사미러(320)와, 제3반사미러(330)와, 제4반사미러(340)를 움직여 빛의 경로를 정합시키게 된다.
여기서 도 2 및 도 8을 참조하면 고정지지유닛(600)은 안착플레이트(610)와 지지부재(620)를 포함할 수 있다.
안착플레이트(610)는 광조사유닛(200)과 제1반사미러(310)가 안착되도록 평평한 플레이트로 마련될 수 있다. 그리고 지지부재(620)는 안착플레이트(610)에 일측이 결합되고 스테이지유닛(100)에 타측이 결합되어 안착플레이트(610)를 지지하도록 마련될 수 있는데 지지부재(620)는 복수로 마련되어 안착플레이트(610)의 각 모서리에 결합될 수 있다.
여기서 전술한 바와 같이 광조사유닛(200)은 제1반사미러(310)에 접촉될 수도 있고(도 2 참조), 제1반사미러(310)로부터 이격되어 근접 배치될 수도 있다(도 8 참조).
한편 제1반사미러(310)는 제2슬라이더유닛(123)에 결합되지 않고 제2슬라이더유닛(123)과 별개로 제2슬라이더유닛(123)로부터 이격되어 고정지지유닛(600)에 안착되므로 제1반사미러(310)를 통해 빛의 경로가 정합되어 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 설정하였더라도 이는 제2반사미러(320)에 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123)과, 제3반사미러(330)에 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123)과, 제4반사미러(340)에 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 설정한 것이며, 제1반사미러(310)에 근접하게 배치되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 원점은 설정되지 않은 상태이다.
여기서 도 2를 참조하면, 제1반사미러(310)에 근접하게 배치되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 설정하기 위해 안착플레이트(610)의 중심부에는 기준 위치를 표시하는 기준위치표시부(611)가 마련될 수 있다.
즉 제1반사미러(310)에 근접하게 배치되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 중심부가 안착플레이트(610)의 중심부에 표시되어 있는 기준위치표시부(611)에 정렬되도록 제2슬라이더유닛(123)을 움직이게 되면 제1반사미러(310)에 근접하게 배치되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 원점도 설정될 수 있게 되며, 이에 의해 모든 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 설정할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서, 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 정합되도록 반사유닛(300)을 조절하여 스테이지유닛(100)의 정확한 기준 원점을 용이하게 설정할 수 있는 작용 및 효과에 대해 설명한다.
기판의 제조 공정에서 다양한 원인으로 인해 기판 등을 정렬해야하는 경우가 있으며, 이때 기판의 정렬을 위해, X축으로의 직선운동과, Y축으로의 직선운동 및 θ축 방향의 회전이 가능하도록 마련되는 UVW 스테이지가 사용될 수 있다.
여기서 4축 UVW 스테이지는 제작시 4축간의 기준 원점이 정확하게 설정되어져야 기판의 정렬의 정확도가 확보될 수 있는데, 이를 위해 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치는 빛의 경로를 통해 UVW 스테이지에 포함되는 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 정확하게 설정 후 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)를 결합하게 된다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 제2슬라이더유닛(123)의 원점을 정확하게 설정하기 위해 제2슬라이더유닛(123)에 각각 결합되는 복수의 반사유닛(300), 즉, 복수의 반사미러를 통해 반사되는 레이저의 경로를 조절하여 레이저의 경로를 정합시키게 되는데, 이에 의해 복수의 반사미러의 위치가 정확하게 조절될 수 있다.
그리고 복수의 반사미러의 위치가 정확하게 조절되면 복수의 반사미러에 결합되어 있는 제2슬라이더유닛(123)의 원점도 정확하게 조절될 수 있게 되며 이후 제2슬라이더유닛(123)의 상측에 정렬플레이트(130)를 결합하고 기판 내지 마스크 등을 정렬플레이트(130) 상측에 안착하여 기판 내지 마스크 등을 정렬하게 된다.
이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 기준 원점 설정 방법과 관련하여, 복수의 반사유닛(300)에 의해 반사되는 빛의 경로가 정합되도록 반사유닛(300)을 조절하여 스테이지유닛(100)의 정확한 기준 원점을 용이하게 설정할 수 있는 작용 및 효과에 대해 설명한다.
다만, 본 발명의 제1실시예에 따른 기준 원점 설정 장치에서 설명한 내용과 공통되는 내용은 전술한 설명으로 대체하도록 한다.
우선 스테이지유닛(100)에 결합되는 광조사유닛(200)으로부터 빛을 조사하게 되는데, 광조사유닛(200)으로부터 조사된 빛은 광조사유닛(200)에 근접하게 배치되어 있는 제1반사미러(310)로 진행하게 된다.
그리고 광조사유닛(200)으로부터 조사되어 제1반사미러(310)로 진행하는 빛은 제1반사미러(310)를 통과하는데, 이 경우 제1반사미러(310)는 빛의 일부를 투과하고 빛의 일부를 반사하는 하프미러로 마련될 수 있다.
광조사유닛(200)으로부터 조사되는 빛은 하프미러인 제1반사미러(310)를 통과하면서, 조사된 빛의 50%는 그대로 투과 후 직진방향으로 진행하여 제2반사미러(320)에서 반사된다. 그리고 제1반사미러(310)를 통과하면서 조사된 빛의 나머지 50%는 제1반사미러(310)에서 90˚반사되는 방향으로 진행하여 제4반사미러(340)에서 반사된다.
여기서 제1반사미러(310)를 통해 제2반사미러(320)로 진행하여 제2반사미러(320)에서 반사되는 빛은 제3반사미러(330)로 진행 후 제3반사미러(330)에서 반사되어 제4반사미러(340)로 진행하며 제4반사미러(340)에서 반사 후 제1반사미러(310)로 진행하게 된다.
그리고 제1반사미러(310)를 통해 제4반사미러(340)로 진행하여 제4반사미러(340)에서 반사되는 빛은 제3반사미러(330)로 진행 후 제3반사미러(330)에서 반사되어 제2반사미러(320)로 진행하며 제2반사미러(320)에서 반사 후 제1반사미러(310)로 진행하게 된다.
여기서 스테이지유닛(100)에는 반사유닛컨트롤러(400)로 작동될 수 있는 구동모터(121)가 설치되며, 반사미러(320, 330, 340)는 각각의 구동모터(121)의 제2슬라이더유닛(123)에 결합될 수 있는데, 제2슬라이더유닛(123)을 구동하여 제2슬라이더유닛(123)에 결합되어 있는 반사미러(320, 330, 340)를 움직이게 되면 복수의 반사유닛(320, 330, 340)을 통해 투과되거나 반사되는 빛의 경로가 정합될 수 있다.
즉 제1반사미러(310)로부터 반사되어 제4반사미러(340)를 향해 진행하는 빛과, 제4반사미러(340)로부터 반사되어 제1반사미러(310)로 진행하는 빛의 경로가 동일 선상에 중첩되도록 반사미러(320, 330, 340)의 구동을 조절할 수 있으며, 이에 의해 제2슬라이더유닛(123)의 정확한 원점을 설정할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 스테이지유닛 110 : 받침판
120 : 구동유닛 121 : 구동모터
122 : 제1슬라이더유닛 123 : 제2슬라이더유닛
200 : 광조사유닛 300 : 반사유닛
310 : 제1반사미러 320 : 제2반사미러
330 : 제3반사미러 340 : 제4반사미러
370 : 세팅용 눈금 400 : 반사유닛컨트롤러
500 : 반사유닛고정지그 600 : 고정지지유닛
610 : 안착플레이트 611 : 기준위치표시부
620 : 지지부재

Claims (17)

  1. 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛;
    상기 스테이지유닛에 결합되되, 상기 광조사유닛으로부터 이격되거나 상기 광조사유닛에 접촉되어 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛; 및
    상기 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러를 포함하며,
    상기 복수의 반사유닛은,
    상기 광조사유닛에 이격되거나 접촉되게 배치되는 제1반사미러;
    상기 제1반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제1반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제2반사미러;
    상기 제2반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제2반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제3반사미러; 및
    상기 제3반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제3반사미러로부터 진행되는 빛을 상기 제1반사미러측으로 반사하는 제4반사미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  2. 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛;
    상기 스테이지유닛에 결합되되, 상기 광조사유닛으로부터 이격되거나 상기 광조사유닛에 접촉되어 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛; 및
    상기 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러를 포함하며,
    상기 스테이지유닛은,
    하측에 배치되는 받침판; 및
    상기 받침판의 가장자리에 각각 결합되는 복수의 구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 받침판에 결합되는 구동모터;
    상기 구동모터의 회전축에 결합되어 상기 구동모터의 회전운동시 직선운동하도록 마련되는 제1슬라이더유닛; 및
    상기 제1슬라이더유닛에 결합되어 상기 제1슬라이더유닛의 직선운동방향에 교차하는 방향으로 이동하도록 마련되는 제2슬라이더유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나는 상기 제2슬라이더유닛에 결합되며, 상기 반사유닛컨트롤러는 상기 구동모터로 마련되는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2슬라이더유닛에 결합되며 상기 반사유닛이 삽입되도록 마련되는 반사유닛고정지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 반사유닛은,
    상기 광조사유닛에 이격되거나 접촉되게 배치되는 제1반사미러;
    상기 제1반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제1반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제2반사미러;
    상기 제2반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제2반사미러로부터 진행되는 빛을 반사하는 제3반사미러; 및
    상기 제3반사미러로부터 이격되어 배치되며, 상기 제3반사미러로부터 진행되는 빛을 상기 제1반사미러측으로 반사하는 제4반사미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  7. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1반사미러는 빛의 일부를 투과하고 빛의 일부를 반사하는 하프미러로 마련되고,
    상기 제2반사미러, 상기 제3반사미러 및 상기 제4반사미러 중 적어도 하나는 전반사미러로 마련되는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  8. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    빛의 경로가 서로 정합될 수 있도록 기준 위치를 제공하기 위해, 상기 스테이지유닛에 결합되며 상기 광조사유닛과 상기 제1반사미러가 안착되는 고정지지유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고정지지유닛은,
    상기 광조사유닛과 상기 제1반사미러가 안착되는 안착플레이트; 및
    상기 안착플레이트에 일측이 결합되고 상기 스테이지유닛에 타측이 결합되어 상기 안착플레이트를 지지하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 안착플레이트의 중심부에는 기준 위치를 표시하는 기준위치표시부가 마련되는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  11. 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛;
    상기 스테이지유닛에 결합되되, 상기 광조사유닛으로부터 이격되거나 상기 광조사유닛에 접촉되어 상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛을 반사하는 복수의 반사유닛; 및
    상기 복수의 반사유닛에 의해 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛 중 적어도 하나를 조절하여 기준 원점을 설정하는 반사유닛컨트롤러를 포함하며,
    상기 복수의 반사유닛에는, 상기 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 반사유닛을 조절하기 위한 세팅용 눈금이 형성되는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  12. 제1항, 제2항 또는 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 반사유닛은 상기 스테이지유닛에 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 장치.
  13. 스테이지유닛에 결합되는 광조사유닛으로부터 빛을 조사하는 단계;
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 복수의 반사유닛에 의해 반사하는 단계; 및
    상기 복수의 반사유닛에서 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛이 반사유닛컨트롤러에 의해 조절되는 단계를 포함하며,
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 상기 복수의 반사유닛에 의해 반사하는 단계는,
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 제1반사미러를 통과하는 단계;
    상기 제1반사미러를 통과한 빛이 제2반사미러로 진행하는 단계;
    상기 제2반사미러로 진행하여 상기 제2반사미러로부터 반사되는 빛이 제3반사미러로 진행하는 단계;
    상기 제3반사미러로 진행하여 상기 제3반사미러로부터 반사되는 빛이 제4반사미러로 진행하는 단계; 및
    상기 제4반사미러로 진행하여 상기 제4반사미러로부터 반사되는 빛이 상기 제1반사미러로 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 방법.
  14. 삭제
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제1반사미러는 빛의 일부를 투과하고 빛의 나머지를 반사하는 하프미러로 마련되며,
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛이 제1반사미러를 통과하는 단계는,
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛의 일부가 상기 제1반사미러를 통해 투과되어 상기 제2반사미러를 향해 진행하는 단계; 및
    상기 광조사유닛으로부터 조사되는 빛의 나머지가 상기 제1반사미러로부터 반사되어 상기 제4반사미러를 향해 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 복수의 반사유닛에서 반사되는 빛의 경로가 서로 정합(整合)되도록 상기 복수의 반사유닛이 반사유닛컨트롤러에 의해 조절되는 단계는,
    상기 제1반사미러로부터 반사되어 상기 제4반사미러를 향해 진행하는 빛과, 상기 제4반사미러로부터 반사되어 상기 제1반사미러로 진행하는 빛의 경로가 동일 선상에 중첩되도록 반사유닛이 조절되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 스테이지유닛에는 구동모터가 설치되고, 상기 반사유닛은 구동모터에 결합되며,
    상기 빛의 경로가 동일 선상에 중첩되도록 반사유닛이 조절되는 단계는, 상기 구동모터를 구동하여 빛의 경로를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기준 원점 설정 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20030136309A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-24 Ebara Corporation Stage device and angle detecting device
JP2007025887A (ja) 2005-07-13 2007-02-01 Sumitomo Heavy Ind Ltd 平面ステージ装置及びその制御方法

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