KR20090006977A - Uv 레이저를 이용한 기판의 절단 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 레이저 빔을 이용하여 기판을 절단하는 장치에 있어서,기판을 지지하는 테이블;UV 레이저를 발진하는 레이저 발진기;상기 레이저 발진기로부터 발진된 빔의 초점 깊이(Depth of Focus, DOF)를 조절할 수 있는 광학계; 및상기 빔이 상기 광학계로 조사될 수 있도록 광경로를 조절하는 미러;를 포함하는 것을 특징으로 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저 빔의 초점을 1차 이미지 면에 맺히게 하는 결상 광학계;상기 1차 이미지 면을 지난 레이저 빔의 조사 범위를 적게 하거나 동일하게 하면서 빔을 평행하게 출력하는 빔 전달 광학계; 및상기 레이저 빔을 상기 기판에 초점이 정밀하게 맺히도록 상기 테이블과의 간격을 조절하는 대물렌즈;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 빔의 펄스 에너지는 0.5mJ ~ 1mJ인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저의 반복주파수는 50KHz ~ 1MHz인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저의 파장은 300nm ~ 400nm인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저 빔의 초점이 흐려지는 경우 초점을 조절하는 초점조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저 발진기에서 발진된 빔을 분할하는 빔 스플리터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 테이블은 X축 또는 Y축 방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 테이블은 상기 기판을 이송할 수 있는 롤러가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 9항에 있어서,상기 롤러는 승강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저 발진기를 X축 또는 Y축 방향으로 구동하는 갠트리가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 레이저 발진기는 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학계와 미러는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학계는 초점거리를 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학계의 후면에 기판의 절단 여부를 확인하는 모니터링 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 15항에 있어서,상기 모니터링 장치는 레이저 변위 센서 또는 실시간 카메라인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 레이저 빔을 이용한 기판의 절단 방법에 있어서,1) 절단하고자 하는 기판을 스테이지상에 정렬하고 상기 기판에 UV 레이저를 조사하는 단계;2) 상기 기판의 두께에 따라 상기 레이저 빔의 초점 두께(DOF)를 결정하는 단계; 및3) 상기 레이저 빔을 절단하고자 하는 곳에 조사하여 기판을 절단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 2)단계 이후에,상기 레이저 빔을 복수 개로 분할한 후, 빔 경로를 좌우(X축) 또는 상하(Y 축)로 조정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 3)단계 이후에,상기 기판의 절단 여부를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
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