KR101611972B1 - 내구성 개선을 위한 공기유량센서 - Google Patents

내구성 개선을 위한 공기유량센서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 내구성을 높여 손상을 최소화할 수 있도록 한 내구성 개선을 위한 공기유량센서에 관한 것으로, 실리콘기판; 상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막; 상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부; 상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되, 상기 리드패턴은, 그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치된다.

Description

내구성 개선을 위한 공기유량센서{ air flow sensor for improving durability }
본 발명은 공기유량센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내구성을 높여 충격 및 진동에 의한 손상을 최소화할 수 있도록 한 내구성 개선을 위한 공기유량센서에 관한 것이다.
차량의 흡기 라인에 등록특허 제10-0559129호(공고일 2006. 03. 10.)에 개시된 바와 같은 공기유량센서가 설치되고 있다.
따라서, 흡기 라인상의 공기유량센서를 통해 엔진으로 흡입되는 공기의 양을 측정할 수 있게 되므로 제어부를 통해 엔진으로 흡입되는 공기의 양을 감안하여 연소작용을 제어함에 따라 엔진의 연소작용이 원활히 이루어질 수 있다.
한편, 일반 공기유량센서(A')는 도 7에 도시된 바와 같이 실리콘기판(10'); 상기 실리콘기판(10') 상부에 적층되는 지지막(20'); 상기 지지막(20') 상부에 적층되고, 마이크로히터(31')와, 상기 마이크로히터(31') 양측 각각에 배치되는 측온저항(32')과, 상기 마이크로히터(31') 및 측온저항(32')으로부터 이어지는 리드패턴(33')을 구비하는 센서부(30)'); 상기 센서부(30') 상부에 적층되는 보호막(40');을 포함한다.
이와 같은 공기유량센서는 사용 과정에서 쉽게 손상되는 문제가 있었다.
즉, 센서부가 실리콘기판의 개방홈 상부에 위치함에 따라 개방홈의 에지부에 인접하는 센서부 저면의 지지력이 미미하였으므로 센서부에 인접하여 공기가 유동할 때 센서부에 미치게 되는 충격 및 진동에 의해 개방홈의 에지부에 인접하는 센서부 자체가 쉽게 손상되는 문제가 있었다.
또한, 센서부의 리드패턴이 지지막으로부터 상부로 돌출됨에 따라 센서부 상부에서 공기가 유동할 때 리드패턴의 모서리에 층격 및 진동이 집중되어 센서부의 리드패턴 모서리가 쉽게 손상되는 문제가 있었다.
또한, 센서부 상부에서 공기가 유동할 때 마이크로히터 및 측온저항에 미치는 충격 및 진동이 상당하여 마이크로히터 및 측온저항이 쉽게 손상되는 문제가 있었다.
상기의 이유로 해당분야에서는 개방홈에 에지부에 인접하는 센서부 자체의 손상, 센서부의 리드기판 모서리, 마이크로히터 및 측온저항의 손상을 방지할 수 있도록 하는 공기유량센서의 개발을 시도하고 있으나, 현재까지는 만족할만한 결과를 얻지 못하고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 제안된 것으로, 종래 공기유량센서에서 센서부에 인접하여 공기가 유동할 때 센서부에 미치게 되는 충격 및 진동에 의해 개방홈의 에지부에 인접하는 센서부 자체가 쉽게 손상되었던 문제를 해소할 수 있도록 한 내구성 개선을 위한 공기유량센서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 종래 공기유량센서에서 센서부에 인접하여 공기가 유동할 때 센서부의 리드패턴 모서리부에 충격 및 진동이 집중되어 센서부의 리드패턴 모서리가 쉽게 손상되었던 문제를 해소할 수 있도록 한 내구성 개선을 위한 공기유량센서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 종래 공기유량센서에서 센서부에 인접하여 공기가 유동할 때 센서부의 마이크로히터 및 측온저항에 상당한 충격 및 진동이 미쳐 마이크로히터 및 측온저항이 쉽게 손상되었던 문제를 해소할 수 있도록 한 내구성 개선을 위한 공기유량센서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명 제1 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 실리콘기판; 상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막; 상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부; 상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되, 상기 리드패턴은, 그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치된다.
여기서, 상기 리드패턴은, 상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어진다.
상기 리드패턴은 다수의 쪽으로 분할된다.
상기 리드패턴은 일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치된다.
본 발명 제2 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 실리콘기판; 상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막; 상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부; 상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되, 상기 리드패턴은, 상기 마이크로히터 및 측온저항에 인접하는 일부 모서리부가 평면상 호형으로 형성된다.
여기서, 상기 리드패턴은 그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치될 수 있다.
상기 리드패턴은 상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어진다.
상기 리드패턴은 다수의 쪽으로 분할된다.
상기 리드패턴은 일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치된다.
본 발명 제3 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 실리콘기판; 상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막; 상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부; 상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되, 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 상기 보호막의 상면에 폴리머층이 형성된다.
여기서, 상기 폴리머층은 감광성 폴리머로 형성될 수 있다.
상기 리드패턴은 그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치될 수 있다.
상기 리드패턴은 상기 마이크로히터 및 측온저항에 인접하는 일부 모서리부가 평면상 호형으로 형성될 수 있다.
상기 리드패턴은 상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어진다.
상기 리드패턴은 다수의 쪽으로 분할된다.
상기 리드패턴은 일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치된다.
본 발명에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 리드패턴의 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치되는바, 에지부의 상부가 리드패턴에 의해 지지되어 강성이 향상되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 마이크로히터 및 측온저항에 인접하는 리드패턴의 일부 모서리부가 평면상 호형으로 형성되는바, 리드패턴의 모서리부에 미치는 충격 및 진동이 분산되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서는, 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막의 상면에 폴리머층이 형성되는바, 폴리머층에 의해 마이크로히터 및 측온저항에 미치는 충격 및 진동이 완화되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명 제1 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서의 구조를 설명하기 위한 단면도.
도 2는 본 발명 제1 실시예에서 리드패턴 일 쪽의 폭 확장을 설명하기 위한 예시도.
도 3은 본 발명 제1 실시예에서 리드패턴 일 쪽의 배치 간격 확장을 설명하기 위한 예시도.
도 4는 본 발명 제2 실시예에 의한 공기유량센서에서 리드패턴 모서리부의 형태를 보인 예시도.
도 5는 본 발명 제3 실시예에 의한 공기유량센서에서 폴리머층 형성을 설명하기 위한 예시도.
도 6은 본 발명 제3 실시예에 의한 공기유량센서에서 폴리머층 형성을 설명하기 위한 단면도
도 7은 일반 공기유량센서의 구조를 설명하기 위한 단면도.
이하, 첨부 도면에 의거 본 발명에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명 제1 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서(A)는 실리콘기판(10)과, 지지막(20)과, 센서부(30)와, 보호막(40)을 포함한다.
상기 실리콘기판(10)은 중간부에 개방홈(11)이 형성된다.
실리콘기판(10)의 중간부에 개방홈(11)이 형성됨으로써 실리콘기판(10) 상부에 위치되는 센서부(30)의 하측이 개방되므로 실리콘기판(10)과 센서부(30) 사이에서의 열전달이 최소화될 수 있다.
상기 지지막(20)은 실리콘기판(10) 상부에 적층되는 것으로, 질화막 실리콘으로 형성된다.
지지막(20)이 질화막 실리콘으로 형성됨으로써 재질 특성상 센서부(30)와 절연될 수 있다.
상기 센서부(30)는 지지막(20) 상부에 적층되는 것으로, 마이크로히터(31)와, 마이크로히터(31) 양측 각각에 배치되는 측온저항(32)과, 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 이어지는 리드패턴(33)을 구비한다.
센서부(30)가 마이크로히터(31)와, 마이크로히터(31) 양측 각각에 배치되는 측온저항(32)과, 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 이어지는 리드패턴(33)을 구비함으로써 마이크로히터(31)에 의해 센서부(30)에 인접하여 유동하는 공기가 가열될 수 있고, 측온저항(32)에 의해 센서부(30)에 인접하여 유동하는 공기 중의 상류층 공기 및 하류층 공기의 온도가 각각 측정될 수 있으며, 리드패턴(33)에 의해 마이크로히터(31) 및 상기 측온저항(32)이 별도 인쇄회로기판(도면상 미도시) 등에 전기적으로 연결될 수 있다.
여기서, 상기 리드패턴(33)은, 그 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치된다.
리드패턴(33)의 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치됨으로써 에지부(11a) 상부가 리드패턴(33)에 의해 지지되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
상기 리드패턴(33)은 에지부(11a)의 상부에 걸치는 부위가 에지부(11a)의 길이 방향을 따라 이어지는 것이 바람직하다.
리드패턴(33)에서 에지부(11a)의 상부에 걸치는 부위가 에지부(11a)의 길이 방향을 따라 이어짐으로써 에지부(11a)의 전 구간이 리드패턴(33)에 의해 지지될 수 있다.
상기 리드패턴(33)은 다수의 쪽으로 분할되는 것이 바람직하다.
리드패턴(33)이 다수의 쪽으로 분할됨으로써 마이크로히터(31) 및 측온저항(32) 각각에 리드패턴(33)이 연결될 수 있다.
상기 리드패턴(33)은 도 2 또는 도 3에 도시된 바와 같이 일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치간격이 확장될 수 있다.
리드패턴(33)의 일부 쪽 폭이 확장되거나 일부 쪽 배치 간격이 확장됨으로써 리드패턴(33)의 일부가 에지부(11a) 상부에 배치될 수 있다.
상기 보호막(40)은 센서부(30) 상부에 적층되는 것으로, 실리카로 형성된다.
보호막(40)이 실리카로 형성됨으로써 재질 특성상 센서부(30)와 절연될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이 본 발명 제2 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서(A) 또한 실리콘기판(10)과, 지지막(20)과, 센서부(30)와, 보호막(40)을 포함한다.
상기 실리콘기판(10)과, 지지막(20)과, 센서부(30)와, 보호막(40)은 이전의 본 발명 제1 실시예에서 설명한 것과 동일한 것이므로 더 이상의 설명은 생략한다.
다만, 상기 센서부(30)의 리드패턴(33)은, 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성된다.
리드패턴(33)의 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성됨으로써 리드패턴(33) 일부 모서리부(33a)의 형태적 특성상 리드패턴(33)의 일부 모서리부(33a)에 미치는 충격 및 진동이 분산되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
한편, 상기 리드패턴(33)은 그 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치될 수 있다.
리드패턴(33)의 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치됨으로써 에지부(11a) 상부가 리드패턴(33)에 의해 지지되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명 제3 실시예에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서(A) 또한 실리콘기판(10)과, 지지막(20)과, 센서부(30)와, 보호막(40)을 포함한다.
상기 실리콘기판(10)과, 지지막(20)과, 센서부(30)와, 보호막(40)은 이전의 본 발명 제1 실시예에서 설명한 것과 동일한 것이므로 더 이상의 설명은 생략한다.
다만, 상기 보호막(40)은 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 상면에 폴리머층(41)이 형성된다.
실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막(40)의 상면에 폴리머층(41)이 형성됨으로써 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 미치는 충격 및 진동이 폴리머층(41)에 의해 완화되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
여기서, 상기 폴리머층(41)은 감광성 폴리머로 형성될 수 있다.
폴리머층(41)이 감광성 폴리머로 형성되면 보호막(40) 상면에서 포토 공정을 실시할 때 미감광되어 포토 공정의 마지막 단계, 즉 현상화단계(develop)에서 남게 되므로 폴리머층(41)이 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하여 형성될 수 있다.
한편, 상기 리드패턴(33)은 그 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치될 수 있다.
리드패턴(33)의 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치됨으로써 에지부(11a) 상부가 리드패턴(33)에 의해 지지되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
또한, 상기 리드패턴(33)은 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성될 수 있다
리드패턴(33)의 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성됨으로써 리드패턴(33) 일부 모서리부(33a)의 형태적 특성상 리드패턴(33)의 일부 모서리부(33a)에 미치는 충격 및 진동이 분산되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있다.
본 발명에 따른 공기유량센서(A)에서의 내구성 개선에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명 제1 실시예에 따르면 센서부(30)의 리드패턴(33)은 그 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치된다.
이때, 센서부(30)의 리드패턴(33)은 통상 백금 등의 금속으로 형성되는바, 센서부(30)의 리드패턴(33) 일부가 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치됨으로써 에지부(11a) 상부가 금속으로 형성된 리드패턴(33)에 의해 지지되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있어 공기 유량 측정 과정에서 손상이 최소화될 수 있다.
또한, 본 발명 제2 실시예에 따르면 센서부(30)의 리드패턴(33)은, 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성된다.
센서부(30)의 리드패턴(33)에서 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성됨으로써 리드패턴(33) 일부 모서리부(33a)가 각지게 형성되는 것에 비해 리드패턴(33)의 일부 모서리부(33a)에 미치는 충격 및 진동이 분산되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있어 공기 유량 측정 과정에서 손상이 최소화될 수 있다.
또한, 본 발명 제3 실시예에 따르면 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막(40)의 상면에 폴리머층(41)이 형성된다.
실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막(40)의 상면에 폴리머층(41)이 형성됨으로써 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 미치는 충격 및 진동이 폴리머층(41)에 의해 완화되므로 이에 의해 내구성이 향상될 수 있어 공기 유량 측정 과정에서 손상이 최소화될 수 있다.
상기에서와 같이 본 발명에 의한 내구성 개선을 위한 공기유량센서(A)는, 리드패턴(33)의 일부가 상기 실리콘기판(10)의 개방홈(11) 양측 에지부(11a) 상부에 걸치도록 배치되는바, 에지부(11a)의 상부가 리드패턴(33)에 의해 지지되어 강성이 향상되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있게 되고, 리드패턴(33)의 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 인접하는 일부 모서리부(33a)가 평면상 호형으로 형성되는바, 리드패턴(33)의 일부 모서리부(33a)에 미치는 충격 및 진동이 분산되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있게 되며, 에지부(11a) 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막(40)의 상면에 폴리머층(41)이 형성되는바, 폴리머층(41)에 의해 마이크로히터(31) 및 측온저항(32)에 미치는 충격 및 진동이 완화되므로 이에 의해 내구성이 개선되어 손상이 방지될 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하므로 이하 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 안에서 변경 가능한 것이며, 그와 같은 변경은 이하 특허청구범위 기재에 의하여 정의되는 본 발명의 보호범위 내에 있게 된다.
10, 10' : 실리콘기판 11 : 개방홈
11a : 에지부 20, 20' : 지지막
30, 30' : 센서부 31, 31' : 마이크로히터
32, 32' : 측온저항 33, 33' : 리드패턴
33a : 모서리부 40, 40' : 보호막
41 : 폴리머층 A, A' : 공기유량센서

Claims (9)

  1. 실리콘기판;
    상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막;
    상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부;
    상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되,
    상기 리드패턴은,
    그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치되고,
    상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어지고,
    다수의 쪽으로 분할되고,
    일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
  2. 실리콘기판;
    상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막;
    상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부;
    상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되,
    상기 리드패턴은,
    상기 마이크로히터 및 측온저항에 인접하는 일부 모서리부가 평면상 호형으로 형성되고,
    상기 리드패턴의 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치되고,
    상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어지고,
    다수의 쪽으로 분할되고,
    일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
  3. 실리콘기판;
    상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막;
    상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항으로부터 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부;
    상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되,
    상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸쳐진 일부를 포함하는 보호막의 상면에 폴리머층이 형성되고,
    상기 리드패턴은,
    상기 에지부의 상부에 걸치는 부위가 상기 에지부의 길이 방향을 따라 이어지고,
    다수의 쪽으로 분할되고,
    일부 쪽의 폭이 확장되거나 일부 쪽의 배치 간격이 확장됨에 따라 상기 에지부의 상부에 배치되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
  4. 제3항에 있어서, 상기 리드패턴은,
    그 일부가 상기 실리콘기판의 개방홈 양측 에지부 상부에 걸치도록 배치되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
  5. 제3항에 있어서, 상기 폴리머층은,
    감광성 폴리머로 형성되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
  6. 제3항에 있어서, 상기 리드패턴은,
    상기 마이크로히터 및 측온저항에 인접하는 일부 모서리부가 평면상 호형으로 형성되는 것
    인 내구성 개선을 위한 공기유량센서.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317315A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Fujikin Inc 耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器
JP3906689B2 (ja) * 1999-12-22 2007-04-18 三菱電機株式会社 センサ素子

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3906689B2 (ja) * 1999-12-22 2007-04-18 三菱電機株式会社 センサ素子
JP2004317315A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Fujikin Inc 耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器

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