KR970702478A - 유량 센서(Flow rate sensor) - Google Patents

Abstract

히터(2)가 다이아프램(1) 상에 배치되어 있는 유량 센서가 제안된다. 히터의 각 측에는 온도 센서(3, 4)가 설치되어 있다. 또한 히터(2)의 각 측에는 별도의 온도 센서(5, 6)가 설치되어 있고, 이 온도 센서는 접속 저항(7)에 의해 접속되어 있다.

Description

유량 센서(Flow rate sensor)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 측정 소자의 평면도,

제2도 및 제3도는 따른 실시예,

제4도는 측정 브리지의 등가회로를 나타내는 도면.

Claims (8)

1. 측정 소자는 다이아프램 (1)과 다이아프램(1) 위의 저항층을 가지고, 상기 저항층에서 1개 이상의 히터(2)와 온도 센서(3, 4)는 잘라 내어져서 상기 히터(2)의 양측에 성형되는 형식의 측정 소자를 가지는 유량 센서에 있어서, 히터의 양측에 별도의 온도 센서(5, 6)를 가지며, 접속 저항(7)이 설치되어 있고, 상기 접속 저항은 별도의 2개의 온도센서(3, 4)를 서로 접속하고, 상기 별도의 온도 센서(3, 4)와 접속 저항(7)은 다이아프램에 올려놓여져 있고, 상기 별도의 온도 센서(3, 4)와 접속 저항(7)은 저항층으로부터 잘라 내어져서 성형되는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
2. 제1항에 있어서, 온도 센서(3, 4)와 별도의 온도 센서(5, 6)는 구불구불한 형상으로 서로 접속된 저항 소자로서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
3. 제1항에 있어서, 온도 센서(3, 4)는 별도의 온도 센서(5, 6)보다도 히터(2) 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
4. 제1항에 있어서, 별도의 온도 센서(5, 6)는 온도 센서(3, 4)보다도 히터(2) 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 히터(2), 온도 센서(3, 4), 별도의 온도 센서(5, 6) 및 접속저항(7)을 접촉 접속하기 위한 도체로(8)가 설치되어 있고, 상기 도체로(8)는 저항층으로부터 잘라 내어 성형되는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 측정 브리지가 형성되고, 온도 센서(3, 4)는 측정 브리지의 제1분기로를 형성하고, 제2분기로는 해당 2개의 온도 센서 사이에 중간 탭(33)을 가지고 있고, 별도의 온도센서(5, 6)는 접속 저항(7)과 함께 측정 브리지의 제2분기로를 형성하고, 상기 접속 저항은 2개의 별도의 온도센서(5, 6) 사이에 배치되며, 측정 브리지의 제2분기로는 2개의 탭(34, 35)을 가지며, 해당 탭은 각각, 접속저항(7)과 2개의 별도의 온도 센서(5, 6)의 각각 한쪽 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
7. 제6항에 있어서, 2개의 조정 저항(15, 16)이 설치되며, 해당2개의 조정 저항(15, 16)은 제2브리지 분기로의 2개의 탭(34, 35) 사이에 직렬로 배치되어 있고, 조정 저항(15, 16) 사이에 조정된 탭(36)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서.
8. 제7항에 있어서, 조정 저항(15, 16)은 접속 저항(7)과 비교하여 고저항인 것을 특징으로 하는 유량 센서.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.