KR101609764B1 - 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 개시는 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 베이스 위에 개구가 형성된 댐을 구비하는 단계; 그리고 반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;로서, 제1 반도체층, 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부와, 전극을 가지며, 반도체 발광부의 기능과 관련된 기능성 소자와, 반도체 발광부 및 기능성 소자의 둘레에 형성되어 반도체 발광부 및 기능성 소자를 고정하는 고정부를 개구 내에 구비하되, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 고정부로부터 같은 방향으로 노출되도록 반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

반도체 발광소자 및 이의 제조 방법{SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 기능성 소자를 가지는 칩 스케일(chip scale)의 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

반도체 발광소자로는 3족 질화물 반도체 발광소자를 예로 들 수 있다. 3족 질화물 반도체는 Al(x)Ga(y)In(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 된 화합물로 이루어진다. 이외에도 적색 발광에 사용되는 GaAs계 반도체 발광소자 등을 예로 들 수 있다.

여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).

반도체 발광소자(semiconductor light emitting device)는 에피(EPI) 공정, 칩 형성(Fabrication) 공정 및 패키지(Package) 공정 등을 거쳐 제조되는데, 각 제조 공정에서는 예기치 못한 여러 원인으로 인해 불량품이 발생하게 된다. 만약 각 제조 공정에서 발생되는 불량이 적절하게 제거되지 못하는 경우에는 불량품이 후속 공정을 불필요하게 거치게 되어 생산효율이 저하된다.

도 1은 웨이퍼로부터 반도체 발광칩을 생산하는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 실리콘이나 사파이어 등 원료물질을 사용하여 원판 웨이퍼를 만들고, 원판 웨이퍼에 에피성장 공정을 통해 PN 접합을 가지는 복수의 반도체층을 성장한다. 이후, 전극 형성, 식각 공정, 보호막 형성 등을 통에 반도체 발광칩이 형성된 에피 웨이퍼(1)를 형성한다(도 1a 참조), 이후, 도 1b 및 도 1c에 제시된 바와 같이, 에피 웨이퍼(1)를 다이싱(dicing) 테이프(3)에 붙이고, 도 1d에 제시된 바와 같이, 스크라이빙(scribing) 공정으로 개별 반도체 발광칩(101)으로 분리한다. 계속해서, 검사 및 등급 분류를 하고, 도 1e와 같이 쏘터(5; sorter)를 사용하여, 패키지 공정과 같은 후공정을 위해 요구되는 사양으로 도 1f에 제시된 바와 같이 고정층(13; 예: 테이프) 위에 반도체 발광칩(101)이 쏘팅될 수 있으며, 이후, 외관 검사를 거칠 수 있다.

도 2는 반도체 발광칩을 사용하여 반도체 발광소자 패키지를 제조하는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 패키지 공정에서, 예를 들어, 도 2a에 제시된 바와 같이, 다이본더(501; die bonder)를 사용하여 반도체 발광칩(101)을 리드프레임(4)에 다이본딩하고, 와이어본딩, 형광체 봉입, 특성시험, 트리밍, 테이핑 등을 통해 도 2b에 제시된 바와 같이 반도체 발광소자 패키지가 생산된다. 또는, PCB와 같은 외부 전극이 형성된 서브마운트 위에 반도체 발광칩(101)을 SMD 방식으로 실장하여 반도체 발광소자 패키지가 제작될 수 있다. 반도체 발광칩(101)을 리드프레임(예: 4), PCB 또는, 회로 테이프 위에 붙이는 공정을 다이본딩이라고 하며 이때, 사용되는 장비를 다이본더(예: 501)라고 한다. 반도체 발광칩(101)의 크기가 갈수록 작아지는 추세이므로 반도체 발광칩(101)의 접착위치와 각도의 정밀성이 더욱 요구되는 실정이다.

도 3은 쏘터에 의해 테이프 위에 배열된 반도체 발광칩의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 도 1f에서 설명된 바와 같이, 반도체 발광칩(101)은 패키지 공정과 같은 후공정을 위해 요구되는 사양으로 쏘팅되어 제공된다. 쏘터(5)는 평탄한 테이프(13) 위에 처음에 배열된 반도체 발광칩(101)을 기준으로 얼마의 간격으로 지시된 행 및 열로 반도체 발광칩(101)을 배열하게 된다. 배열의 과정에서 약간씩 반도체 발광칩(101)의 각도가 틀어진 경우(15)가 발생할 수 있고, 쏘터(5)가 고속 동작을 함에 따라 테이프(13)에서 튕겨 나가 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14)도 발생하는 경우가 있다. 또는, 검사 결과 불량인 반도체 발광칩(16)을 빼내어서 빈 곳도 발생한다. 이러한 문제를 줄이기 위해 쏘터(5)의 동작을 저속으로 하면, 공정 시간이 증가하는 문제가 있다.

쏘터(5)에 의한 행 및 열의 배열의 정확성이 부족하면, 후공정의 방식에 따라 제품의 품질에 영향을 크게 미질 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광칩(101)을 다이본더(501)로 리드프레임(4)에 접합하는 경우, 다이본더(501)는 테이프(13)에 접착된 반도체 발광칩(101)의 전극의 형상을 인식하고, 리드프레임(4)의 형상을 인식하여 위치, 각도 등을 보정하여 접합할 수 있다. 따라서, 쏘터(5)에 의한 반도체 발광칩(101)의 배열 상태가 심하게 나쁘지 않는 한 패키지 공정에 크게 영향을 주지는 않는다. 그러나 후공정이 테이프(13) 위에 배열된 반도체 발광칩(101)을 그대로 공정에 사용하거나, 쏘터(5)를 사용하여 요구되는 사양으로 다시 배열하는 경우, 각도가 허용 오차 이상으로 틀어진 반도체 발광칩(101)은 다시 수정해야하고, 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14)은 채워 넣는 공정을 추가로 해야하므로 공정효율이 저하되는 문제가 있다.

도 4는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 기판(1200), LED 및 봉지재(1000)를 포함한다. LED는 플립 칩(flip chip)의 형태로, 성장 기판(100), 성장 기판(100) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(300), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(400), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(500)이 순차로 증착되어 있다. 제2 반도체층(500) 위에 성장 기판(100) 측으로 빛을 반사하기 위한 금속 반사막(950)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(300) 위에 전극(800)이 형성되어 있다. 봉지재(1000)는 형광체를 함유하며, 성장 기판(100) 및 반도체층(300,400,500)을 둘러싸도록 형성된다. LED는 전기적 콘택(820,960)이 구비된 기판(1200)에 도전성 접착제(830,970)에 의해 접합된다.

도 5는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 나타내는 도면으로서, 먼저, 기판(1200) 위에 복수의 LED(2A-2F)를 배치한다. 기판(1200)은 실리콘으로 이루어지며, 각 LED의 성장 기판(100; 도 4 참조)은 사파이어 또는 실리콘 카바이드로 이루어진다. 기판(1200)에는 전기적 콘택(820,960; 도 4 참조)이 형성되어 있고, 각 LED는 전기적 콘택(820,960)에 접합된다. 이후, 각 LED에 대응하는 개구(8A-8F)가 형성된 스텐실(6)을 기판(1200)에 구비한 후, 전기적 콘택(820,960)의 일부가 노출되도록 봉지재(1000; 도 4 참조)를 형성한다. 이후, 스텐실(6)을 제거하고, 큐어링 공정을 수행한 후에, 기판(1200)을 쏘잉(sawing) 또는, 스크라이빙(scribing)해서 개별 반도체 발광소자로 분리한다.

도 6은 복수의 반도체 발광칩에 대해 한꺼번에 봉지재를 형성할 때 문제점을 설명하기 위한 도면으로서, 테이프(13)나 기판의 가장자리에 가이드(21)를 배치하고, 봉지재(17)로 복수의 반도체 발광칩(101)을 덮고, 봉지재(17)를 밀어서 평탄화할 수 있다. 그런데 전술된 바와 같이, 테이프(13) 위에는 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14)이 있을 수 있다. 이 경우 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14)에서 봉지재(17)가 약간 아래로 쳐지는 현상이 발생할 수 있고, 이로 인해 주변의 반도체 발광칩(101) 둘레의 봉지재(17)에 좋지 않은 영향을 준다. 그 결과, 영향을 받은 반도체 발광소자(봉지재(17) 및 반도체 발광칩(101)의 결합체)의 색좌표나 광특성이 설계된 값과 차이가 발생하는 문제가 있다.

한편, 이러한 문제로 인해 테이프(13) 위에 빈 곳(14)에 반도체 발광칩(101)을 다시 배치하는 공정을 추가하기도 하는데, 이로 인해 공정수가 증가하며 공정효율이 저하한다. 한편, 상기 봉지재(17) 상태에 영향을 주는 것을 피하기 위해 불량 반도체 발광칩(16)을 빼지 않고 봉지재(17)를 형성하는 공정을 하는 경우도 있다. 그러나 이 경우 외관 검사로 불량 반도체 발광소자를 빼내야 하여서 공정수가 추가로 들어가고, 재료가 낭비된다.

한편, 봉지재(17)를 형성한 후, 커터(31)로 봉지재(17)를 절단하여 개별 반도체 발광소자로 분리할 수 있다. 이 경우, 커터(31)에 의한 봉지재(17)의 절단면은 커터(31)에 의해 갈려짐에 따라 광취출효율이 저하되는 문제가 있다. 또한, 테이프(13) 위의 반도체 발광칩(101)의 배열이 조금 틀어지면, 커터(31)에 의해 절단시 다수의 반도체 발광소자에서 불량이 발생하는 문제가 있다.

이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.

여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).

본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 베이스 위에 개구가 형성된 댐을 구비하는 단계; 그리고 반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;로서, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부와, 전극을 가지며, 반도체 발광부의 기능과 관련된 기능성 소자와, 반도체 발광부 및 기능성 소자의 둘레에 형성되어 반도체 발광부 및 기능성 소자를 고정하는 고정부를 개구 내에 구비하되, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 고정부로부터 같은 방향으로 노출되도록 반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법이 제공된다.

본 개시에 따른 다른 하나의 태양에 의하면(According to another aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자에 있어서, 고정부; 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부;로서, 전극이 노출되도록 고정부에 의해 적어도 일부가 둘러싸인 반도체 발광부; 그리고 전극을 가지며, 반도체 발광부의 기능과 관련된 기능성 소자;로서, 반도체 발광부의 전극의 노출 방향으로 기능성 소자의 전극이 노출되도록 고정부에 의해 둘러싸인 기능성 소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자가 제공된다.

이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.

도 1은 웨이퍼로부터 반도체 발광칩을 생산하는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 2는 반도체 발광칩을 사용하여 반도체 발광소자 패키지를 제조하는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 3은 쏘터(sorter)에 의해 테이프 위에 배열된 반도체 발광칩의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 4는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면,
도 5는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 나타내는 도면,
도 6은 복수의 반도체 발광칩에 대해 한꺼번에 봉지재를 형성할 때 문제점을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 9는 반도체 발광칩을 개구에 형성된 제1 봉지재에 놓는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 10은 소자 이송 장치가 마스크의 형상 또는 패턴을 인식하여 각도 및 위치를 보정하는 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에서 베이스에 구비된 댐의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 12는 베이스 위에 댐 및 제1 봉지재를 구비하는 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 14는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 15는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면,
도 16은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 17a는 반도체 발광소자를 아래에서 본 예(bottom view)를 나타내는 도면,
도 17b는 반도체 발광소자를 위에서 본 예(top view)를 나타내는 도면,
도 18은 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 19는 기능성 소자를 반도체 발광부와 댐 사이의 고정부에 넣는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 20은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면,
도 21은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 22a는 반도체 발광소자를 아래에서 본 예(bottom view)를 나타내는 도면,
도 22b는 반도체 발광소자를 위에서 본 예(top view)를 나타내는 도면,
도 23은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 24는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면,
도 25는 본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 26은 본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 27은 및 도 28은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 검사 방법의 일 예를 나타내는 도면들,
도 29는 베이스 및 댐으로부터 반도체 발광소자를 분리하는 방법의 예들을 설명하기 위한 도면.

이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).

도 7은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 먼저, 베이스(201) 위에 개구(305)가 형성된 댐(301) 및 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 제1 봉지재(180)를 구비한다. 다음으로, 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180) 위에 놓는다. 반도체 발광칩(101)은 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50), 및 제1 반도체층(30)과 제2 반도체층(50)의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층(40)을 가지는 복수의 반도체층(30,40,50)과, 복수의 반도체층(30,40,50)에 전류를 공급하는 적어도 하나의 전극(80,70)을 포함한다(도 8 참조). 적어도 하나의 전극(80,70)이 위로 노출되며 적어도 하나의 전극(80,70)의 반대 측의 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 접촉하도록 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180)에 놓는다.

본 예에서, 반도체 발광칩(101)은 플립칩(flip chip)으로서, 적어도 하나의 전극(80,70)은 복수의 반도체층(30,40,50)의 일 측에 제1 반도체층(30)과 전기적으로 연통된 제1 전극(80), 및 제2 반도체층(50)과 전기적으로 연통된 제2 전극(70)을 포함한다. 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180)에 놓는 과정에서, 복수의 반도체층(30,40,50)을 기준으로 제1 봉지재(180)의 반대 측에 제1 전극(80) 및 제2 전극(70)이 위로 노출되며, 제1 전극(80) 및 제2 전극(70)의 반대 측의 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 접촉하도록 놓인다. 제1 봉지재(180)는 형광체를 함유할 수 있으며, 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180)에 놓기 전에 제1 봉지재(180)를 소프트 큐어링(soft curing)하는 과정이 추가될 수 있다.

예를 들어, 도 7a에 제시된 바와 같이 베이스(201) 위에 마스크 또는 댐(301)을 구비한 후, 도 7b에 제시된 바와 같이, 댐(301)의 개구(305)에 제1 봉지재(180)를 공급한다. 여기서, 베이스(201) 및 댐(301)은 별개의 부재로서 분리되거나 결합할 수 있지만, 이와 다르게, 베이스(201)와 댐(301)이 하나의 틀(frame)의 바닥과 벽일 수 있다. 또한, 본 예와 다르게, 베이스(201) 위에 제1 봉지재(180)를 먼저 형성하고, 댐(301)을 제1 봉지재(180) 위에 놓아 댐(301)의 개구(305)로 제1 봉지재(180)가 들어가도록 하는 실시예도 가능하다. 또한, 도 7에서 댐(301)에는 복수의 개구(305)가 형성되어 있지만, 본 예와 다르게, 하나의 개구(305)를 가지는 댐(301)을 사용하는 것도 물론 가능하다. 또한, 본 예에서, 반도체 발광칩(101)으로는 플립 칩(flip chip)이 적합하지만, 레터럴 칩(lateral chip)이나 수직형 칩(vertical chip)을 배제하는 것은 아니다.

개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 제1 봉지재(180)를 형성하는 방법의 일 예로, 디스펜싱, 프린팅 등의 방법으로 각 개구(305)에 제1 봉지재(180)를 공급한다. 제1 봉지재(180)는 형광체를 함유할 수 있다. 제1 봉지재(180)의 높이 또는 두께를 필요에 따라 조절할 수 있다. 본 예에서 제1 봉지재(180)는 개구(305)보다 낮은 높이로 형성된다.

제1 봉지재(180)에 반도체 발광칩(101)을 놓는 과정에서 복수의 반도체층(30,40,50)의 적어도 일부가 제1 봉지재(180)에 묻힐 수 있다. 제1 봉지재(180)는 전극(80,70)의 반대 측에서 복수의 반도체층(30,40,50)을 덮는다. 제1 봉지재(180)는 도 7c에 제시된 바와 같이, 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면을 일부 덮어서 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면의 나머지가 노출될 수 있다. 이와 다르게, 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면이 제1 봉지재(180)에 의해 전부 덮일 수도 있다. 또한, 이와 다르게, 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 묻히지 않고 접촉하기만 하는 실시예도 물론 가능하다.

이후, 반도체 발광칩(101), 및 제1 봉지재(180)를 포함하는 반도체 발광소자를 베이스(201) 및 댐(301)과 분리하여 반도체 발광소자가 제조된다.

본 예에 의하면, 바람직하게는 형광체를 함유하는 제1 봉지재(180)는 반도체 발광칩(101)의 표면에 얇게 형성될 수 있어서, 반도체 발광소자가 거의 칩 스케일(chip scale)로 형성된다. 또한, 개구(305)에 형성되는 제1 봉지재(180)를 높이를 조절하여 필요한 양만 사용할 수 있어서, 반도체 발광칩(101)으로부터의 빛이 대부분 나가는 기판 측에 형광체를 함유하는 제1 봉지재(180)를 균일한 두께와 높이로 형성하기에 유리하며, 제1 봉지재(180)가 제1 전극(80) 및 제2 전극(70) 측으로 유입되는 것이 방지된다. 또한, 제1 봉지재(180)는 접합력이 있으므로 반도체 발광칩(101)을 놓는데 있어서 편리하다.

도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광소자는 반도체 발광칩(101)과 제1 봉지재(180)를 포함한다. 반도체 발광칩은 복수의 반도체층(30,40,50) 및 복수의 반도체층(30,40,50)의 일 측에 형성되어 복수의 반도체층(30,40,50)에 전류를 공급하는 적어도 하나의 전극(80,70)을 포함한다. 제1 봉지재(180)는 복수의 반도체층(30,40,50)을 기준으로 적어도 하나의 전극(80,70) 측과 적어도 하나의 전극(80,70)의 반대 측 사이의 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면의 일부가 노출되도록, 적어도 하나의 전극(80,70)의 반대 측에서 복수의 반도체층(30,40,50)을 덮는다. 제1 봉지재(180)는 도 8에 제시된 바와 같이, 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면을 일부 덮어서 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면의 나머지가 노출될 수 있다.

본 예에서, 반도체 발광칩(101)은 플립 칩 소자로서, 성장 기판(10), 복수의 반도체층(30,40,50), 광반사층(R), 및 전극(80,70)을 포함한다. 3족 질화물 반도체 발광소자를 예로 들면, 성장 기판(10)으로 주로 사파이어, SiC, Si, GaN 등이 이용되며, 성장 기판(10)은 최종적으로 제거될 수도 있다. 복수의 반도체층(30,40,50)은 성장 기판(10) 위에 형성된 버퍼층(도시되지 않음), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: Si 도핑된 GaN), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: Mg 도핑된 GaN) 및 제1 반도체층(30)과 제2 반도체층(50) 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예: InGaN/(In)GaN 다중양자우물구조)을 포함한다. 복수의 반도체층(30,40,50) 각각은 다층으로 이루어질 수 있고, 버퍼층은 생략될 수 있다. 제1 반도체층(30)과 제2 반도체층(50)은 그 위치가 바뀔 수 있으며, 3족 질화물 반도체 발광소자에 있어서 주로 GaN으로 이루어진다. 제1 전극(80)은 전기적 연결(81)에 의해 제1 반도체층(30)과 전기적으로 연통되어 전자를 공급한다. 제2 전극(70)은 전기적 연결(71)에 의해 제2 반도체층(50)과 전기적으로 연통되어 정공을 공급한다. 제2 반도체층(50)과 전극(70,80) 사이에는 광반사층(R)이 개재되며, 광반사층(R)은 SiO₂와 같은 절연층, DBR(Distributed Bragg Reflector) 또는 ODR(Omni-Directional Reflector)을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.

제1 봉지재(180)는 형광체를 함유할 수 있으며, 형광체의 종류는 반도체 발광칩(101)이 내는 빛과 반도체 발광소자로부터 얻고자하는 빛의 특성에 따라 선택된다. 예를 들어, 단일 칩을 사용하는 방법으로써 청색 LED 칩(예: GaN 칩 또는 InGaN 칩)이나 혹은 NUV(근자외선) LED 칩 위에 형광층을 도포하여 백색을 얻는 방법들은 패키지 공정이 단순하고 전력 소모를 줄일 수 있어서 가장 많이 이용하고 있다. 일 예로, 청색 LED로부터 발산하는 청색광과 그 빛의 일부를 이용해서 Y₃Al₅O₁₂:Ce³⁺(YAG:Ce) 형광 소재를 여기시켜 얻어지는 황색광을 사용함으로써 백색을 발산하는 백색 LED가 만들어진다. 다른 예로, 근자외선 LED와 이 근자외선을 청색, 녹색 그리고 적색으로 전환하는 형광 소재를 조합하여 태양광의 광 분포와 유사한 광을 방사하도록 구성된다.

도 9는 반도체 발광칩을 개구에 형성된 제1 봉지재에 놓는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 소자 이송 장치(501)는 고정부(13; 예: 테이프) 위의 각 반도체 발광칩(101)을 픽업(pick-up)하여 바람직하게는 소프트 큐어링된 제1 봉지재(180) 위에 놓는다. 이 과정보다 먼저, 소자 배열 장치(예: 쏘터; sorter)를 사용하여, 복수의 반도체 발광칩(101)을 테이프(13) 위에 제공하는 과정이 선행될 수 있으며, 일 예로 도 3에 제시된 예를 참조할 수 있다. 도 9a에 제시된 바와 같이, 테이프(13)의 아래에서 핀 또는 봉이 반도체 발광칩(101)을 치면 테이프(13)로부터 반도체 발광칩(101)이 떨어지며, 그 순간 소자 이송 장치(501)가 반도체 발광칩(101)을 전기적 흡착 또는 진공 흡착할 수 있다.

도 9b에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)는 베이스(201) 위로 이동하여 각 개구(305)에 형성된 제1 봉지재(180) 위에 반도체 발광칩(101)을 놓는다. 반도체 발광칩(101)은 전극(80,70)이 위로 향하고 전극(80,70)의 반대 측 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 접촉하거나 일부가 제1 봉지재(180)에 묻히도록 놓이며, 이에 따라, 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면의 일부가 제1 봉지재(180)로부터 노출된다. 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 묻히는 경우, 형광체가 분산된 제1 봉지재(180)의 재질, 소프트 큐어링의 정도, 소자 이송 장치(501)의 동작 등을 조절하여 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 묻히는 깊이를 조절할 수 있다. 예를 들어, 복수의 반도체층(30,40,50)이 제1 봉지재(180)에 모두 묻히거나 기판(10)의 표면까지만 묻히게 하는 경우 모두 가능하며, 색온도 균일성을 고려했을 때 기판(10)의 표면까지 묻히게 하는 방법을 고려할 수 있다.

댐(301) 및 개구(305)는 미리 정확도가 매우 높게 정밀하게 형성한 틀(frame)이므로, 쏘터(예: 도 2의 5 참조)를 사용하여 그 때 그 때의 지시에 따라 댐(301)이 구비되지 않은 베이스(201) 또는 평탄한 테이프(13; 도 3 참조) 위에 소자를 배열할 때보다 반도체 발광칩(101) 정렬(alignment)의 정확도가 높다. 따라서, 정렬의 부정확으로 인한 불량이 감소한다. 또한, 테이프(13)에 부착하여 반도체 발광칩(101)을 소자 이송 장치(501)에게 제공할 때(도 9a 참조), 반드시 요구된 규격에 정확히 일치하는 상태로 메이드하여 제공하지 않아도, 소자 이송 장치(501)가 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14; 도 9a 참조)을 인식하고 다른 반도체 발광칩(101)을 이송할 수 있고, 반도체 발광칩(101)의 틀어진 각도를 보정하여 베이스(201)에 놓을 수 있다. 따라서, 소자 이송 장치(501)에게 반도체 발광칩(101)을 제공시 부담이 줄어든다.

소자 이송 장치(501)의 일 예로, 다이본더와 유사하게, 패턴 또는 형상을 인식하며, 이송할 위치나 대상물의 각도를 보정할 수 있는 장치라면 그 명칭에 무관하게 사용 가능할 것이다.

도 10은 소자 이송 장치가 댐의 형상 또는 패턴을 인식하여 각도 및 위치를 보정하는 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 쏘터(5; 도 2 참조)에 의해 고속으로 배열하는 과정에서 테이프(13) 위에는 반도체 발광칩(101)이 빈 곳(14: 도 3 참조)가 있을 수 있으며, 약간 각도가 틀어지도록 배열된 반도체 발광칩(16; 도 3 참조)가 있을 수 있다. 소자 이송 장치(501)는 도 9a에 제시된 바와 같이, 빈 곳(14)을 인식하고 다음 위치의 반도체 발광칩(101)을 픽업할 수 있다. 소자 이송 장치(501)는 반도체 발광칩(101)을 픽업할 때, 반도체 발광칩(101)의 전극(80,70)의 패턴(예: 전극 분리선)을 인식하여, 각도를 보정할 수 있다. 또한, 소자 이송 장치(501)는 도 10에 제시된 바와 같이 댐(301) 형상을 인식하여 위치나 각도를 보정하여 개구(305)에 형성된 제1 봉지재(180) 위에 반도체 발광칩(101)을 정확하게 놓는다. 이를 위해 소자 이송 장치(501)는 카메라나 광학센서 등을 이용할 수 있다. 예를 들어, 소자 이송 장치(501)는 댐(301)과 제1 봉지재(180)의 명암의 차이, 광반사율 차이 또는, 반사광의 차이를 감지하거나 개구(305)의 형태를 인식할 수 있다. 반드시 개구(305)를 전체적으로 인식하지 않더라도 일 부분만을 인식할 수도 있으며, 소자 이송 장치(501)는 개구(305)로 인한 댐(301)의 면, 에지, 및 점 중 적어도 하나로부터 지시된 거리 또는 좌표에 해당하는 위치에 반도체 발광칩(101)을 놓을 수 있다. 이 외에도, 댐(301)이나 개구(305)의 패턴을 인식하고, 이를 기준으로 반도체 발광칩(101)을 놓을 좌표를 결정하는 다양한 방법이 설계될 수 있을 것이다. 본 예에서는 베이스(201)에 특별한 패턴이 없고, 댐(301)이나 개구(305)를 반도체 발광칩(101)의 좌표 결정의 기준으로 한다.

따라서, 단순히 평탄한 베이스(201) 위에 쏘터(5)를 사용하여 처음 배치된 반도체 발광칩(101)을 기준으로 미리 지시된 간격대로 소자를 배열하는 경우에 비하여 반도체 발광칩(101)의 정렬(예: 위치와 각도)이 더욱 정확하게 된다.

도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에서 베이스에 구비된 댐의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 베이스(201) 위에 복수의 개구(305)가 형성된 마스크 또는 댐(301)을 구비할 수 있다. 베이스(201)는 리지드(rigid)한 금속 판 또는 비금속 판이거나, 플렉시블한 필름 또는 테이프일 수 있다. 금속 판으로는 특별한 한정이 있는 것은 아니며, 예를 들어, Al, Cu, Ag, Cu-Al 합금, Cu-Ag 합금, Cu-Au 합금, SUS(스테인리스스틸) 등이 사용될 수 있으며, 도금된 판도 물론 사용 가능하다. 비금속 판으로는 플라스틱이 사용될 수 있으며, 다양한 색상이나 광반사율을 선택할 수 있다. 필름 또는 테이프도 특별한 제한은 없으며, 점착성 또는 접착성을 가지며 내열성을 가지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 내열성 테이프, 블루테이프 등이 사용될 수 있으며, 다양한 색상이나 광반사율을 선택할 수 있다.

댐(301)은 플라스틱, 금속, 또는, 표면이 도금된 부재일 수 있으며, 복수의 개구(305)가 형성되어 있다. 댐(301)에 형성된 복수의 개구(305)는 일 예로, 복수의 행과 열로 배열되어 있다. 개구(305)의 개수, 형상 및 배열 방식은 필요에 따라 적절하게 변경할 수 있음은 물론이다. 개구(305)는 반도체 발광칩(101)의 형상을 따를 수도 있지만, 반도체 발광칩(101)과 다른 형상을 가질 수도 있다. 댐(301)의 재질은 상기 베이스(201)의 재질로 예시된 예들이 사용될 수 있지만, 댐(301) 및 개구(305)의 형태 유지에 좋도록 어느 정도 딱딱한 재질이 바람직하고, 크랙이나 갈라짐 방지에 효과적인 재질로 선택하는 것이 바람직하다.

한편, 바람직하게는, 전술된 소자 이송 장치(501)를 사용하여, 각 개구(305)로 형성된 제1 봉지재(180) 위에 반도체 발광칩(101)을 놓을 수 있다(도 9 참조). 댐(301)은 소자 이송 장치(501)가 반도체 발광칩(101)을 놓을 위치나 각도를 보정하기 위한 패턴으로 인식될 수 있으며, 이와 함께 제1 봉지재(180)의 댐으로 기능한다. 본 예에서는 개구(305)에 미리 제1 봉지재(180)가 형성되므로, 베이스(201)와 댐(301)이 동일 재질이어도 소자 이송 장치(501)는 댐(301)과 제1 봉지재(180)를 구별할 수 있어서, 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180) 상의 정확한 위치에 놓는 것에 지장을 주지 않는다. 또한, 댐(301)이 반도체 발광칩(101) 배열의 가이드가 되므로 베이스(201)에 추가적인 패턴 형성 공정이 필요 없다.

도 12는 베이스 위에 댐 및 제1 봉지재(180)를 구비하는 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 예를 들어, 본 예에서, 베이스(201)와 댐(301)은 외력에 의해 가압되어 서로 접촉하게 된다. 예를 들어, 도 12a에 제시된 바와 같이, 클램프(401)를 사용하여 베이스(201)와 댐(301)을 접촉시킬 수 있다. 이와 같이, 본 예에 의하면, 베이스(201)와 댐(301)을 접촉시키 위한 방법이 간편하고, 클램프(401)를 풀어서 베이스(201)로부터 댐(301)을 제거할 수 있으므로 편리한 장점이 있다. 베이스(201)와 댐(301) 사이에 접착 물질을 개재시키는 실시예도 물론 가능하다. 예를 들어, 접착 물질은 도전성 패이스트, 절연성 패이스트, 폴리머 접착제 등 다양하게 선택가능하며, 특별히 제한되지는 않는다. 어느 온도 범위에서는 접착력을 상실하는 물질을 사용하면 베이스(201)와 댐(301)의 분리시에 상기 온도 범위에서 분리가 쉽게 될 수 있다. 또는, 자외선을 조사받은 이후 접착력을 상실하는 테이프를 베이스(201)로 사용할 수도 있다. 도 12b를 참조하면, 개구(305)로 노출된 베이스(201)에 제1 봉지재(180)를 공급하는 방법으로는 디스펜싱, 프린팅 등의 방법으로 제1 봉지재(180)를 필요한 높이로 형성한다.

이후, 반도체 발광칩(101), 및 제1 봉지재(180)를 포함하는 반도체 발광소자를 베이스(201) 및 댐(301)과 분리하여 반도체 발광소자가 제조된다.

도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광소자의 제조 방법에서, 먼저, 베이스(201) 위에 개구(305)가 형성된 댐(301) 및 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 형광체를 함유한 제1 봉지재(180)를 구비한다. 다음으로, 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180)에 놓는다. 반도체 발광칩(101)을 제1 봉지재(180)에 놓는 과정에서, 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면의 일부가 노출될 수 있다. 이러한 과정은 도 7 내지 도 12에서 설명된 예가 적용될 수 있다.

이후, 도 13a에 제시된 바와 같이, 댐(301)과 복수의 반도체층(30,40,50)의 노출된 측면 사이에 복수의 반도체층(30,40,50)의 노출된 측면을 덮도록 제2 봉지재(170)를 형성한다. 제2 봉지재(170)는 실리콘계 물질, 에폭시계 물질, 또는 전자기 간섭을 방지하기 위해 EMC(electro magnetic compatibility) 물질 등으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 봉지재(170)는 화이트 실리콘(White Silicon), 및 고반사 에폭시(epoxy) 중 적어도 하나로 이루어지는 경우, 제2 봉지재(170)는 빛을 제1 봉지재(180) 측으로 빛을 반사할 수 있다. 제2 봉지재(170)가 고반사 물질인 경우 불투명할 수 있지만, 투명한 물질인 경우도 물론 가능하다. 이와 다르게, 단순히 제2 봉지재(170)는 투명한 실리콘과 같은 물질로 형성될 수도 있다.

한편, 제2 봉지재(170)는 디스펜싱, 프린팅 등의 방식으로 반도체 발광칩(101)과 댐(301)의 사이에 제공될 수 있지만, 도 13a에 제시된 바와 같이 전극(80,70) 측으로 올라오거나 전극(80,70) 주변의 복수의 반도체층(30,40,50)을 덮거나 제2 전극(70)이 덮이지 않더라도 오염되는 경우도 있을 수 있다. 따라서, 제2 봉지재(170)를 일부 제거하여 전극(80,70)을 노출시키거나, 오염을 제거하는 과정이 추가될 수 있다. 예를 들어, 위로 향하는 전극(80,70) 및 제2 봉지재(170)에 대해, 플라즈마 에칭(plasma etching), 기계적 브러싱(mechanical brushing), 또는, 폴리싱(polishing) 등의 방법을 통해 도 13b에 제시된 바와 같이, 전극(80,70)이 노출되도록 하며 오염을 제거한다.

다음으로, 도 13c에 제시된 바와 같이, 반도체 발광칩(101), 제1 봉지재(180), 및 제2 봉지재(170)로 이루어진 반도체 발광소자를 베이스(201) 및 댐(301)으로부터 분리하여 도 14에 제시된 바와 같은 반도체 발광소자가 제조된다. 분리의 방법으로는 베이스(201)를 제거하고 댐(301)으로부터 반도체 발광소자를 빼내는 방법이 사용될 수 있다. 한편, 도 13a에서 설명된 제2 봉지재(170)를 형성하기 전에, 제1 봉지재(180)에 반도체 발광칩(101)이 놓고 제1 봉지재(180)을 경화한 후에, 베이스(201)을 제거하고 이후, 도 13에서 설명된 과정을 수행할 수도 있다.

도 15는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면으로서, 도 15a에 제시된 바와 같이, 반도체 발광소자는 제1 봉지재(180)가 복수의 반도체층(30,40,50)의 측면을 전부 덮고, 제2 봉지재(170)는 전극(80,70) 측 복수의 반도체층(30,40,50)을 덮도록 형성되는 예가 가능하며, 이때, 제2 봉지재(170)는 광반사율이 좋은 물질이나 EMC 물질로 이루어지거나 단순히 투명 실리콘으로 이루어질 수도 있다. 또 다른 예로, 도 15b에 제시된 바와 같이, 댐(301)을 쏘잉, 또는 스크라이빙 및 브레이킹 등의 방법으로 절단하고, 베이스(201)를 제거하여 제1 봉지재(180) 및 제2 봉지재(170)의 외면에 접합부(302; 절단된 댐)가 구비된 반도체 발광소자가 제조될 수 있다. 접합부(302)는 금속으로 이루어질 수 있으며, 전극(80,70)과 외부 전극의 접합시에 접합부(302)도 외부와 접하되어 접합력을 향상할 수 있다.

도 16은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면이고, 도 17a는 반도체 발광소자를 아래에서 본 예(bottom view)이고, 도 17b는 반도체 발광소자를 위에서 본 예(top view)를 나타낸다. 도 16a, 도 16b, 및 도 16d는 도 17a에서 A-A 선을 따라 절단한 방향, 도 16c는 도 17a에서 B-B 선을 따라 절단한 방향을 기준으로 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.

반도체 발광소자의 제조 방법에서, 먼저, 베이스(201) 위에 개구(305)가 형성된 댐(301)을 구비한다. 이후, 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401; functional element), 및 고정부(190)를 개구(305) 내에 구비한다. 기능성 소자(401)는 전극(470,480)을 가지며 반도체 발광부(105)의 기능과 관련된다. 고정부(190)는 반도체 발광부(105) 및 기능성 소자(401)의 둘레에 형성되어 반도체 발광부(105) 및 기능성 소자(401)를 고정하고 보호한다. 개구(305) 내에 이들을 구비하되, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 고정부(190)로부터 같은 방향으로 노출되도록 한다.

도 16에는 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 개구(305) 내에 구비할 때, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 베이스(201)의 반대 측으로 노출되는 예가 제시되어 있다. 물론, 본 예와 다르게, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 베이스(201)와 마주하거나 접하는 예도 가능하다. 본 예에서, 기능성 소자(401)는 반도체 발광부(105)를 손상으로부터 보호하는 소자로서, 예를 들어, ESD(ElectroStatic Discharge) 및/또는 EOS(Electrical Over-Stress)로부터 반도체 발광부(105)를 보호하는 보호 소자(protecting element: 예: zener diode)이다. 이와 다르게, 기능성 소자(401)로는 반도체 발광부(105)가 내는 광과 기능적으로 관련된 소자일 수도 있다. 본 예에서, 기능성 소자(401)는 플립 타입(flip-type) 구조를 가지는 것이 바람직하며, 이러한 구조를 가지는 소자라면, 다양한 소자가 기능성소자로 사용될 수 있다.

개구(305) 내에 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 구비하는 여러 가지 방법들이 적용될 수 있다. 일 예로, 먼저, 도 16a에 제시된 바와 같이, 베이스(201) 위에 개구(305)가 형성된 댐(301)을 구비하고, 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 반도체 발광부(105)를 놓는다. 베이스(201)에 댐(301)을 구비하는 예로는 도 12에서 설명된 예가 적용될 수 있다. 댐(301)으로는 도 11에 제시된 예보다 개구(305)가 더 크게 형성된 댐(301)이 사용될 수 있다. 여기서, 베이스(201) 및 댐(301)은 별개의 부재로서 분리되거나 결합할 수 있지만, 이와 다르게, 베이스(201)와 댐(301)이 하나의 틀(frame)의 바닥과 벽일 수 있다. 반도체 발광부(105)는 반도체 발광칩(101) 및 봉지재를 포함하며, 반도체 발광부(105)로는 도 7 내지 도 15에서 설명된 반도체 발광소자가 사용될 수 있다. 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 반도체 발광부(105)를 놓는 과정은 전술된 소자 이송 장치(501)가 사용될 수 있으며, 전극(80,70)의 반대 측에서 복수의 반도체층(30,40,50)을 덮는 제1 봉지재(180)가 베이스(201)와 마주하고, 전극(80,70)이 위로 향하도록 놓인다.

이후, 도 16b 및 도 16c에 제시된 바와 같이, 댐(301)과 반도체 발광부(105) 사이에 고정부(190)를 형성한다. 반도체 발광부(105)가 도 8에 제시된 예인 경우, 고정부(190)는 복수의 반도체층(30,40,50)의 노출된 측면 및 제1 봉지재(180)와 접촉한다. 반도체 발광부(105)가 도 14에 제시된 예인 경우, 고정부(190)는 제1 봉지재(180) 및 제2 봉지재(170)와 접촉한다. 고정부(190)는 실리콘계, 에폭시계 등 다양한 물질이 사용될 수 있다. 고정부(190)는 불투명하거나 투명한 광반사율이 우수한 물질로 이루어져 빛을 반사할 수 있다. 예를 들어, 고정부(190)는 화이트 실리콘(White Silicon), 및 고반사 에폭시(epoxy) 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다. 이 경우, 고정부(190)는 리플렉터 또는, 반사벽으로 사용될 수 있다. 이와 다르게, 단순히 고정부(190)는 투명한 실리콘과 같은 물질로 형성될 수도 있다. 한편, 고정부(190)는 전자기 간섭을 방지하기 위해 EMC(electro magnetic compatibility) 물질로 이루어질 수 있다. 제2 봉지재(170)도 광반사율이 우수한 물질, 투명한 물질, EMC 물질 등으로 이루어질 수 있다.

다음으로, 도 16d에 제시된 바와 같이, 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 같이 베이스(201)의 반대 측으로 노출되도록 기능성 소자(401)를 댐(301)과 반도체 발광부(105) 사이의 고정부(190)에 넣는다(insert). 일 예로, 고정부(190)는 액상으로 개구(305)에 공급될 수 있으며, 고정부(190)의 점도 등의 특성에 따라 달라질 수 있지만, 기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣기 전에, 고정부(190)를 소프트 큐어링(soft curing)하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 고정부(190)를 소프트 큐어링하면, 기능성 소자(401)를 설계된 위치에 구비하는 것에 도움이 된다.

도 17을 참조하면, 본 예에서, 반도체 발광부(105) 및 기능성 소자(401)는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부(105)는 n측 전극(80; 제1 전극) 및 p측 전극(70; 제2 전극)을 가지며, 기능성 소자(401)는 n측 전극(480) 및 p측 전극(470)을 가진다. 기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣는 과정에서, 바람직하게는 반도체 발광부(105)의 n측 전극(80) 및 p측 전극(70))의 사이 및 기능성 소자(401)의 n측 전극(480) 및 p측 전극(470)의 사이가 동일 선상에 위치하도록 놓인다(도 17a 참조). 본 예에서, 기능성 소자(401)는 ESD 및/또는 EOS 보호소자이며, 반도체 발광부(105)의 n측 전극(80)과 기능성 소자(401)의 p측 전극(470)이 대응하며, 반도체 발광부(105)의 p측 전극(70)과 기능성 소자(401)의 n측 전극(480)이 대응한다. 반도체 발광부(105)를 베이스(201) 위에 놓는 과정에서 전술된 소자 이송 장치(501)를 사용한 것과 마찬가지로, 기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣는 과정에서도 소자 이송 장치(501)를 사용할 수 있다. 이에 대해서는 더 후술된다.

한편, 고정부(190)는 디스펜싱, 프린팅 등의 방식으로 개구(305)에 제공될 수 있지만, 고정부(190)가 반도체 발광부(105)의 전극(80,70) 측으로 올라오거나 전극(80,70) 주변의 복수의 반도체 반도체층을 덮거나, 전극(80,70)이 덮이지 않더라도 오염되는 경우도 있을 수 있다. 또는, 기능성 소자(401)가 고정부(190)에 너무 깊이 들어가서 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 고정부(190)에 의해 일부 덮이거나 오염될 수도 있다. 따라서, 고정부(190)를 일부 제거하여 반도체 발광부(105)의 전극(80,70) 및 기능성 소자(401)의 전극(470,480)을 더 잘 노출시키거나, 오염을 제거하는 과정으로서, 예를 들어, 플라스마 에칭(plasma etching), 기계적 브러싱(mechanical brushing), 또는, 폴리싱(polishing) 과정이 추가될 수 있다.

본 예의 반도체 발광소자의 제조 방법은 반도체 발광부(105)를 준비하는 과정을 포함할 수 있으며, 반도체 발광부(105)를 준비하는 방법으로는 도 7 내지 도 15에서 설명된 방법이 사용될 수 있다.

도 18은 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 도 16 및 도 17에서 제시된 반도체 발광부(105)의 전극(80,70) 및 기능성 소자(401)의 전극(470,480)은 외부 전극을 통해 서로 전기적으로 연결되어 사용될 수 있다. 따라서, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70) 및 기능성 소자(401)의 전극(470,480)은 기준면(예: 베이스(201))을 기준으로 동일한 높이에 위치하는 것이 바람직하다.

기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣는 방법의 일 예로서, 도 18a에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)는 기능성 소자(401)가 고정부(190)에 접촉한 때를 감지할 수 있다. 예를 들어, 소자 이송 장치(501)가 고정부(190) 위에서 아래로 하강하면서 기능성 소자(401)가 고정부(190)에 접촉할 때, 소자 이송 장치(501)의 움직임에 저항이 발생하고, 소자 이송 장치(501)에는 이러한 저항을 감지하는 센서를 구비할 수 있다. 접촉한 순간의 높이를 기준(예: 고정부(190)에 접촉한 기능성 소자(401)의 위치를 zero(0)로 설정)으로 잡을 수 있다. 또한, 기능성 소자(401)의 높이(h1)을 알고 있으므로, 상기 접촉한 때로부터, 도 18c에 제시된 바와 같이, 기능성 소자(401)의 높이(h1) 만큼 고정부(190) 내로 집어넣도록 소자 이송 장치(501)를 조절 또는 세팅할 수 있다.

기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣는 방법의 다른 예로서, 도 18b에 제시된 바와 같이, 기능성 소자(401)가 고정부(190)에 접촉한 때를 감지하여 기준면에 대한 기능성 소자(401)의 높이를 인식할 수 있다. 예를 들어, 소자 이송 장치(501)가 고정부(190) 위에서 아래로 하강하면서 기능성 소자(401)가 고정부(190)에 접촉한 때에 기준면으로부터 소자 이송 장치(501)까지의 높이, 또는 기능성 소자(401)의 전극(470,480)까지의 높이(h3)를 인식할 수 있다. 기준면으로부터 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)까지의 높이(h2)는 측정하거나 주어질 수 있으며, 따라서 상기 접촉한 때에 기능성 소자(401)의 전극(470,480)과 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)의 높이차(h3-h2)를 알 수 있다. 따라서, 도 18c에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)는 이러한 높이차(h3-h2) 만큼 기능성 소자(401)를 고정부(190)에 넣게 되고, 그 결과, 기능성 소자(401)의 전극(470,480)과 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)의 높이가 동일한 높이가 될 수 있다.

도 19는 기능성 소자를 반도체 발광부와 댐 사이의 고정부에 넣는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 개구(305)에 반도체 발광부(105)가 배치되고, 고정부(190)를 공급한 이후, 소자 이송 장치(501)는 도 19에 제시된 바와 같이, 댐(301)과 반도체 발광부(105)의 사이의 고정부(190)에 기능성 소자(401)를 넣는다. 반도체 발광부(105) 및 기능성 소자(401)가 모두 소자 이송 장치(501)에 의해 배열되며, 소자 이송 장치(501)는 댐(301)의 형상 또는 패턴을 인식하여 각도 및 위치를 보정하므로, 행과 열로의 정렬의 정확도가 향상된다. 예를 들어, 소자 이송 장치(501)는 댐(301)과 고정부(190)의 명암의 차이, 광반사율 차이 또는, 반사광의 차이를 감지하거나 개구(305)의 형태를 인식할 수 있다. 반드시 개구(305)를 전체적으로 인식하지 않더라도 일 부분만을 인식할 수도 있으며, 소자 이송 장치(501)는 개구(305)로 인한 댐(301)의 면, 에지, 및 점 중 적어도 하나로부터 지시된 거리 또는 좌표에 해당하는 위치의 고정부(190)에 기능성 소자(401)를 넣을 수 있다. 이 외에도, 댐(301)이나 개구(305)의 패턴을 인식하고, 이를 기준으로 기능성 소자(401)를 놓을 좌표를 결정하는 다양한 방법이 설계될 수 있을 것이다. 본 예에서는 베이스(201)에 특별한 패턴이 없고, 댐(301)이나 개구(305)를 기능성 소자(401)의 좌표 결정의 기준으로 한다. 이와 다르게, 댐(301)이나 개구(305)의 형상과, 미리 배치된 반도체 발광부(105)의 형상(예: 전극(80,70))을 함께 인식하여 기능성 소자(401)를 배치하는 것도 물론 가능하다. 따라서, 단순히 쏘터(5)를 사용하여 배열하는 경우에 비하여 정렬(예: 위치와 각도)이 더욱 정확하게 된다.

이후, 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 포함하는 반도체 발광소자를 베이스(201) 및 댐(301)으로부터 분리하여 도 20에 제시된 바와 같은 반도체 발광소자가 제조된다. 분리의 방법으로는 베이스(201)를 제거하고 댐(301)으로부터 반도체 발광소자를 빼내는 방법이 사용될 수 있다.

도 20은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면으로서, 도 16 내지 19에서 설명된 반도체 발광소자의 제조방법에 의해 제조될 수 있다. 도 20a에 제시된 예는 반도체 발광부(105)로서 도 8에 제시된 소자를 사용한 예이고, 도 20b에 제시된 예는 반도체 발광부(105)로서 도 14에 제시된 소자를 사용한 예이다. 이러한 예들에서, 형광체를 함유하는 제1 봉지재(180) 또는 형광층은 필요한 두께와 필요한 부분에만 형성되어 경제적이며, 두께를 균일하게 할 수 있어서 빛의 색좌표 등의 특성이 균일하게 하는 데에 유리하다. 제2 봉지재(170)가 고반사 물질로 형성된 경우, 전극(80,70) 주변의 복수의 반도체층으로 누설되는 빛도 위로 반사되어 광취출효율이 향상된다. 한편, 고정부(190)가 전술된 바와 같이, 고반사 물질로 형성된 경우, 반도체 발광부(105)로부터 나온 빛은 고정부(190)에서 반사되므로, 고정부(190)에 둘러싸인 기능성 소자(401)에 의한 광흡수 손실이 방지된다. 또한, 고정부(190)가 반도체 발광부(105)의 사이즈에 비해 너무 크지 않게 형성되어 칩 스케일(chip scale)의 소자 제조에도 적합한 구조가 된다.

한편, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70) 및 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 모두 동일한 방향으로 고정부(190)로부터 노출되어 있고, 바람직하게는 전극(80,70,470,480)이 외부 전극에 함께 접촉할 수 있도록 형성되어 있다. 따라서, 도 20c에 제시된 바와 같이, PCB와 같은 서브마운트(1500)의 외부 전극(1580,1570)에 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 함께 접촉하여 반도체 발광부(105)와 기능성 소자(401)가 전기적으로 연결된다. 일 예로, 제1 외부 전극(1580)에 반도체 발광부(105)의 n측 전극(80)과, 기능성 소자(401)의 p측 전극(470)이 접합되고, 제2 외부 전극(1570)에 반도체 발광부(105)의 p측 전극(70)과, 기능성 소자(401)의 n측 전극(480)이 접합되며, 그 결과, 반도체 발광부(105)와 기능성 소자(401)는 역방향으로 연결된다. 접합의 방법으로는 접합제를 사용하지 않는 방법(예: 유테틱 본딩)과 솔더나 도전성 페이스트와 같은 접합제(1541,1542,1543,1544)를 사용하는 방법 모두 가능하다.

도 21은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면이고, 도 22a는 반도체 발광소자를 아래에서 본 예(bottom view)이고, 도 22b는 반도체 발광소자를 위에서 본 예(top view)를 나타낸다.

본 예에서, 반도체 발광소자의 제조 방법은 도 16 내지 도 19에서 설명된 방법에 더하여 개구(305) 내에 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 구비한 이후, 제1 도전부(141) 및 제2 도전부(142)를 형성하는 과정을 추가로 수행한다. 예를 들어, 전술된 플라스마 에칭 등을 통해 전극(80,70,470,480)을 더 잘 노출하거나 오염을 제거한 이후, 증착, 도금 등의 방법으로 반도체 발광부(105) n측 전극(80), 기능성 소자(401)의 p측 전극(470), 및 고정부(190)의 일부를 덮는 제1 도전부(141)와, 반도체 발광부(105) p측 전극(70), 기능성 소자(401)의 n측 전극(480), 및 고정부(190)의 다른 일부를 덮는 제2 도전부(142)를 형성한다. 도전부(141,142) 형성 공정은 베이스(201)를 제거한 이후에 수행할 수도 있다.

제1 도전부(141) 및 제2 도전부(142)는 고정부(190)의 가장자리까지 형성될 수도 있지만, 가장자리로부터 떨어지도록 형성될 수도 있다. 따라서, 반도체 발광부(105) 및 기능성 소자(401)는 전기적으로 역방향으로 연결되어 있다. 이러한 반도체 발광소자는 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)이 같은 방향으로 노출되거나 도전부(141,142)에 의해 전기적으로 연결되어 SMD 타입으로 서브마운트(1500)에 편리하게 실장이 가능하다. 고정부(190)가 제1 도전부(141)와 제2 도전부(142) 사이를 채울 수 있고, 이 경우, 고정부(190)가 제1 도전부(141)와 제2 도전부(142)를 서로 절연한다. 따라서, 제1 도전부(141) 와 제2 도전부(142) 사이의 거리는 필요에 따라 적절하게 변경될 수 있다. 도 22a와 같이 제1 도전부(141)와 제2 도전부(142)의 간격이 제1 전극(80) 및 제2 전극(70)의 간격과 같거나 작을 수도 있지만, 더 멀게 형성하는 것도 물론 가능하다.

반도체 발광소자는 봉지재(180,170), 및 고정부(190)가 반도체 발광칩(101)에 콤팩트하게 형성되어서 전체적으로 사이즈가 불필요하게 커지지 않고, 칩스케일(chip scale)로 형성된다. 이러한 반도체 발광소자는 SMD 타입으로 서브마운트에 실장될 수 있다. 실장시에는 접합제가 없이 본딩되거나(예: 유테틱 본딩) 솔더나 도전성 페이스트와 같은 접합제를 사용하여 서브마운트의 외부 전극에 접합될 수 있다. 도전부(141,142)는 접합의 면적을 증가시켜 접합을 쉽게 해주며, 접합강도를 증가시키고 방열 면적도 증가시키는 장점이 있다.

도 23은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광부(105)는 반도체 발광칩(101), 제1 봉지재(180), 및 제2 봉지재(170)를 포함한다. 제1 봉지재(180)는 형광체를 함유하며, 전극(80,70)을 노출하도록 반도체 발광칩(101)을 감싸며, 제2 봉지재(170)는 전극(80,70)을 노출하도록 제1 봉지재(180)를 감싼다. 제2 봉지재(170)는 투명 실리콘으로 이루어질 수 있다. 도 23a, 도 23b, 및 도 23c에 제시된 바와 같이, 이러한 반도체 발광부(105)를 전극이 위로 향하도록 개구(305)로 노출된 베이스(201)에 놓고, 고정부(190)를 형성하고, 기능성 소자(401)를 댐(301)과 반도체 발광부(105) 사이의 고정부(190)에 넣는 과정은 도 16 내지 도 19에서 설명된 예가 적용될 수 있다. 도 23d에 제시된 바와 같이 제1 도전부(141) 및 제2 도전부(142)를 형성하는 과정은 도 21 및 도 22에서 설명된 예가 적용될 수 있다.

도 24는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 예들을 설명하기 위한 도면으로서, 도 21 내지 도 23에서 설명된 제조 방법에 의해 제조될 수 있다. 도 24a에 제시된 예는 반도체 발광부(105)로서 도 8에 제시된 소자를 사용한 예이고, 도 24b에 제시된 예는 반도체 발광부(105)로서 도 14에 제시된 소자를 사용한 예이다. 도 24c에 제시된 예는 제2 봉지재(170)가 삭제되고 제1 봉지재(180)가 반도체 발광칩(101)을 감싸는 예이며, 도 24d에 제시된 예는 도 23d에서 설명된 도전부(141,142) 형성과정 이후, 반도체 발광소자를 베이스(201) 및 댐(301)에서 분리한 예이다.

도 25는 본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광소자의 제조 방법은 전술된 예들과 다르게, 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 개구(305) 내에 구비하는 과정에서, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)을 베이스(201)와 접하도록 놓는다. 예를 들어, 도 25a에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)를 사용하여, 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 반도체 발광부(105)를 놓고, 이후, 도 25b에 제시된 바와 같이, 댐(301)과 반도체 발광부(105) 사이에 기능성 소자(401)를 놓는다. 여기서, 반도체 발광부(105)는 도 7 내지 도 15에서 설명된 반도체 발광부(105)가 사용될 수 있다. 계속해서, 도 25c에 제시된 바와 같이, 고정부(190)를 개구(305)에 제공하여 기능성 소자(401)를 덮는다. 여기서, 고정부(190)가 투광성 재질인 경우, 반도체 발광부(105)까지 덮도록 형성하는 것도 가능하다. 다음으로, 고정부(190)를 경화한 후, 반도체 발광소자를 댐(301) 및 베이스(201)와 분리하여 도 25d에 제시된 바와 같은 반도체 발광소자가 제조된다.

도 26은 본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광소자의 제조 방법은 반도체 발광부(105), 기능성 소자(401), 및 고정부(190)를 개구(305) 내에 구비하는 과정에서, 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)을 베이스(201)와 접하도록 놓는다. 예를 들어, 도 26a에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)를 사용하여, 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 반도체 발광부(105)를 놓고, 이후, 댐(301)과 반도체 발광부(105) 사이에 기능성 소자(401)를 놓는다. 여기서, 반도체 발광부(105)는 도 23에서 설명된 반도체 발광부(105)가 사용될 수 있다. 계속해서, 도 26b에 제시된 바와 같이, 고정부(190)를 개구(305)에 제공하여 기능성 소자(401)를 덮는다. 여기서, 고정부(190)가 전술된 고반사 물질인 경우 반도체 발광부(105)의 봉지재(180,170)의 상측은 덮지 않도록 형성한다. 다음으로, 도 26c에 제시된 바와 같이, 고정부(190)를 경화한 후, 베이스(201)를 제거하고, 베이스(201)가 제거됨에 따라 노출된 반도체 발광부(105)의 전극(80,70)과 기능성 소자(401)의 전극(470,480)에 도전부(141,142)를 형성하여 전기적으로 연결한다. 이후, 반도체 발광소자를 댐(301) 및 베이스(201)와 분리하여 도 26d에 제시된 바와 같은 반도체 발광소자가 제조된다.

도 27은 및 도 28은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 검사 방법의 일 예를 나타내는 도면들로서, 반도체 발광소자의 제조 방법에 포함되는 과정으로 볼 수도 있다. 반도체 발광소자의 검사 방법에 있어서, 도 7 내지 도 26에서 설명된 반도체 발광소자가 댐(301)과 결합된 상태에서 검사를 수행할 수 있다. 예를 들어, 베이스(201)를 제거하고, 도 27a에 제시된 바와 같이, 반도체 발광부(105)의 광을 검사할 수 있다. 또한, 도 27b에 제시된 바와 같이, 반도체 발광부(105)와 기능성 소자(401)에 전류를 인가하여 전기적 연결 상태 등을 검사할 수 있다.

예를 들어, 전극(80,70) 측의 반대 측에 반도체 발광소자로부터의 빛을 수광하는 광측정기(701)를 구비한다. 다음으로, 선택된 반도체 발광소자의 전극(80,70)이나 도전부(141,142)에 프로브(707)를 통해 전류를 인가하여 반도체 발광칩(101)으로부터의 빛을 광측정기(701)에 의해 측정하거나, 기능성 소자(401)를 검사할 수 있다. 반도체 발광소자로는 도 7 내지 도 26에서 설명된 반도체 발광소자가 적용될 수 있다.

반도체 발광소자의 광측정이 정확하게 되기 위해서는 반도체 발광소자로부터 나오는 광을 가능한 한 많이 수광하고, 주변의 간섭이 없이 측정하는 것이 바람직하다. 도 27에 제시된 예들에서는 광을 측정할 때, 반도체 발광부(105) 둘레의 고정부(190)가 반도체 발광부(105)로부터의 빛의 일부를 광측정기(701) 측으로 반사하며, 고정부(190)가 이웃한 반도체 발광부(105)로 빛이 입사되는 것을 차단한다. 또한, 기능성 소자(401)는 고정부(190)에 의해 둘러싸여 광흡수가 방지되므로 광측정이 더 정확해진다. 고정부(190)가 투광성 재질인 경우 댐(301)이 이러한 반사 기능을 할 수 있다. 또한, 고반사 물질로 제2 봉지재(170)를 구비하는 경우, 빛이 전극(80,70) 측으로 누설되는 것이 방지되므로 전극(80,70) 측에 추가의 광측정기가 필요 없다. 따라서, 개별 반도체 발광소자를 광측정기(701) 내로 넣어 검사하지 않아도 누설되는 광이 현저히 감소되며 또한, 주변의 형광체에 의한 간섭 없이 측정할 수 있으며, 개별 반도체 발광소자를 광측정기(701) 내에 완전히 넣고 측정하는 것과 거의 마찬가지로 정확하게 광을 측정할 수 있다. 또한, 광측정기(701)를 이동하거나, 상기 결합체를 이동시키면서 검사할 수 있어서 검사를 신속히 할 수 있다.

광측정기(701)로는 적분구(integrating sphere)를 사용할 수 있다. 예를 들어, 적분구는 내측에 중공부를 가진 구형의 장치로서, 중공부 내로 광을 받아들여 그 특성을 측정하는 장치이다. 일 예로, 적분구에는 광특성측정기가 장착될 수 있다. 광특성측정기는 반도체 발광소자에서 나오는 광의 휘도, 파장, 광도, 조도, 분광분포, 색온도, 색좌표 등을 측정할 수 있으며, 이들 중에서 적어도 어느 한 개 이상을 측정하는 방식으로 반도체 발광소자의 광 특성을 측정한다. 광특성측정기로는 분광기(spectrometer) 또는 광검출기(photo detector)를 사용할 수 있다.

한편, 도 27에는 베이스(201)가 제거된 상태로 측정되는 예가 제시되어 있지만, 베이스(201)가 투명하거나 투광성이 우수한 재질인 경우, 베이스(201)를 그대로 두고 광측정을 하는 방법도 고려할 수 있다.

도 28을 참조하면, 본 예에 따른 반도체 발광소자의 검사 방법에 의하면, 광측정 검사는 댐(301)의 내측의 반도체 발광소자와 가장 자리의 반도체 발광소자를 검사할 때, 종래의 오류를 제거할 수 있다. 예를 들어, 댐(301)이 없이 테이프에 복수의 반도체 발광소자를 부착하고 검사하거나, 봉지재를 전체적으로 봉지하고 각 반도체 발광소자를 검사할 수 있다. 이때, 복수의 반도체 발광소자들의 배열 중에서 내측에서는 측정되는 반도체 발광소자의 둘레로 대체로 스케터링하는 구조가 균등하게 분포한다. 반면, 가장자리 반도체 발광소자는 주변에 반도체 발광소자가 있는 방향과 없는 방향에서 광의 스케터링이 차이가 나고 결국, 테이프의 내측과 가장자리에서 광이 서로 다르게 측정된다. 그러나 내측의 반도체 발광소자와 가장자리 반도체 발광소자를 적분구의 내에 개별로 넣어 검사하면 거의 비슷하게 광이 측정된다.

본 예에 따른 반도체 발광소자의 검사 방법에 의하면, 각 반도체 발광부(105)를 둘러싸는 고정부(190) 또는 댐(301)이 리플렉터로 기능하므로, 내측과 가장자리에서 조건의 차이가 없어지고, 따라서 더 정확한 광측정이 가능하다.

도 29는 베이스 및 댐으로부터 반도체 발광소자를 분리하는 방법의 예들을 설명하기 위한 도면으로서, 도 7 내지 도 28에서 설명된 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 적용될 수 있다.

예를 들어, 도 29a를 참조하면, 도 7 내지 도 15에서 설명된 반도체 발광소자의 경우, 봉지재(180,170)를 경화한 이후, 봉지재(180,170), 및 반도체 발광칩(101)을 포함하는 반도체 발광소자를 베이스(201)와 분리한다. 이후, 쏘터나 또는, 이와 유사한 장치를 사용하여, 핀(802) 또는 봉으로 아래에서 반도체 발광소자를 때려서 댐(301)으로부터 반도체 발광소자를 밀어내면, 위에서 진공 흡착, 또는, 전기적 고정 수단(801)을 사용하여 반도체 발광소자를 잡아서 이송할 수 있다. 도 27 및 도 28에서 설명된 것과 같은 검사 과정이 선행된 경우, 검사 결과를 바탕으로, 반도체 발광소자를 빼내어 동시에 쏘팅을 할 수 있다.

도 29b를 참조하면, 양각 판(1005)을 사용하여 댐(301)으로부터 각 반도체 발광소자를 빼낼 수 있다. 양각 판(1005)에는 각 개구(305)에 대응하는 돌기1007)가 구비되어 있다. 돌기(1007)로 복수의 반도체 발광소자를 한꺼번에 밀어서 빼내거나, 미리 양각 판(1005)의 반대 측에 테이프를 붙이고 빼낼 수도 있다. 돌기(1007)는 반도체 발광소자를 손상하지 않도록 적절한 면을 가진다.

도 29c를 참조하면, 댐(301)과 고정부(190) 간의 접합력이 있기 때문에 너무 강한 힘으로 빼면 반도체 발광소자가 손상될 수 있으므로, 손상 없이 댐(301)으로부터 잘 빠지도록 접합력 조절막이 형성된 댐(301)을 사용하며, 전술된 양각판(1005)을 사용한다. 여기서, 접합력 조절막은 층(layer)로서 댐(301) 표면에 형성되는 경우뿐만 아니라, 듬성듬성 형성되거나, 단순히 접합력 조절 물질이 파티클 형태로 댐(301) 표면에 붙어 있는 형태도 포함한다. 예를 들어, 접합력 조절막(350)은 댐(301)의 표면에 형성된 이형코팅층(350; release coating layer)이다. 이형코팅층(350)은 스프레이 방식, 또는 페인트 방식 등이 사용될 수 있다. 댐(301)을 베이스(201)에 구비하기 전에 이형코팅될 수도 있다. 이와 다르게, 베이스(201)에 댐(301)을 배치한 후에 이형코팅을 할 수도 있는데, 이 경우, 댐(301)과 베이스(201)의 상면 모두에 이형코팅이 된다. 댐(301)은 플라스틱 및 금속 모두 가능하고, 고정부(190)는 전술한 예들이 사용될 수 있으므로, 이형코팅 물질은 금속 또는 플라스틱에 대해 수지 또는 실리콘의 접합시 이형성 또는 윤활성을 제공하고, 내열성을 가지고, 전기적 절연성을 가지는 재질이 바람직하다. 이러한 이형재료는 판매되는 다양한 제품 중에서 적합한 것을 선택할 수 있다. 일 예로, 스프레이 방식이 적용될 수 있으며, 이형물질은 에어로솔(aerosol) 형태일 수 있다. 도 29c와 같이, 베이스(201)가 결합된 상태로 반도체 발광소자를 댐(301)으로부터 빼낼 수도 있다.

다시 도 6을 참조하면, 봉지재(17)를 절단(sawing)하는 경우, 커터(31)에 의해 절단된 봉지재(17)의 절단면은 커터(31)에 의해 갈려짐에 따라 광취출효율이 저하되는 문제가 있다. 한편, 테이프(예: 도 3의 13) 위에 배열된 반도체 발광칩(101)의 배열이 조금 틀어지면, 커터(31)에 의해 절단시 다수의 반도체 발광소자에서 불량이 발생할 수 있다.

도 29c에 제시된 예에서는 접합력 조절막 또는 이형코팅층(350)에 의해 댐(301)으로부터 고정부(190)가 손상 없이 잘 빼내진다. 또한, 고정부(190)의 외측면은 빛의 반사와 무관하므로 쏘잉 공정으로 고정부(190)를 자르는 방법도 가능하며, 고정부(190)와 접하는 봉지재(180, 170) 표면은 쏘잉 공정에서 커터에 의해 갈려진 면이 아니므로 커터에 의해 갈려져서 광취출효율이 저하되는 것이 방지된다. 또한, 반도체 발광칩(101) 정렬의 가이드로서 댐(301)을 사용하여 정렬의 정확도가 향상되므로 정렬의 오류로 인한 불량이 감소한다.

이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.

(1) 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 베이스 위에 개구가 형성된 댐을 구비하는 단계; 그리고 반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;로서, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부와, 전극을 가지며, 반도체 발광부의 기능과 관련된 기능성 소자와, 반도체 발광부 및 기능성 소자의 둘레에 형성되어 반도체 발광부 및 기능성 소자를 고정하는 고정부를 개구 내에 구비하되, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 고정부로부터 같은 방향으로 노출되도록 구비하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(2) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 베이스의 반대 측으로 노출되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(3) 기능성 소자는 전기적 충격 및/또는 전기적 스트레스로부터 반도체 발광부를 보호하는 보호 소자(protecting element)인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

(4) 고정부는 반도체 발광부로부터의 빛을 반사하는 물질 및 EMC(electro magnetic compatibility) 물질 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(5) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 베이스를 기준으로 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(6) 반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지고, 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서, 반도체 발광부의 n측 전극 및 p측 전극의 사이 및 기능성 소자의 n측 전극 및 p측 전극의 사이가 동일 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(7) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는: 개구로 노출된 베이스 위에 반도체 발광부의 전극이 복수의 반도체층을 기준으로 베이스의 반대 측으로 향하도록 반도체 발광부를 놓는 과정; 댐과 반도체 발광부 사이에 고정부를 형성하는 과정; 그리고 기능성 소자의 전극이 반도체 발광부의 전극과 같은 방향을 향하도록 기능성 소자를 고정부에 넣는(insert) 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(8) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는: 고정부를 형성하는 과정 이후, 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정 전에, 고정부를 소프트 큐어링(soft curing)하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(9) 반도체 발광부를 놓는 과정 및 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정은 댐의 형상을 인식하여 반도체 발광부 및 기능성 소자가 놓일 위치 및 각도를 보정하는 소자 이송 장치를 사용하여 이루어지며, 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정에서, 소자 이송 장치는 기능성 소자가 고정부에 접촉한 때를 감지하여 베이스에 대한 기능성 소자의 높이를 인식함으로써, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 베이스를 기준으로 동일 높이에 위치하도록 고정부에 기능성 소자를 넣는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(10) 반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지며, 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정에서, 반도체 발광부의 n측 전극 및 p측 전극의 사이 및 기능성 소자의 n측 전극 및 p측 전극의 사이가 동일 선상에 위치하도록 놓이며, 반도체 발광부 n측 전극, 기능성 소자의 p측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제1 도전부와, 반도체 발광부 p측 전극, 기능성 소자의 n측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제2 도전부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(11) 반도체 발광부는: 전극의 반대 측에서 복수의 반도체층을 덮는 형광층;을 포함하며, 반도체 발광부를 놓는 과정에서, 형광층이 베이스에 접합도록 반도체 발광부를 베이스 위에 놓는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(12) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는: 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극을 베이스와 접하도록 놓는 과정; 그리고 개구에 고정부를 공급하여 반도체 발광부 및 기능성 소자 둘레에 고정부를 형성하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(13) 반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 포함하는 반도체 발광소자를 베이스 및 댐과 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.

(14) 반도체 발광소자에 있어서, 고정부; 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부;로서, 전극이 노출되도록 고정부에 의해 적어도 일부가 둘러싸인 반도체 발광부; 그리고 전극을 가지며, 반도체 발광부의 기능과 관련된 기능성 소자;로서, 반도체 발광부의 전극의 노출 방향으로 기능성 소자의 전극이 노출되도록 고정부에 의해 둘러싸인 기능성 소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

(15) 고정부는 반도체 발광부로부터의 빛을 반사하는 물질 및 EMC(electro magnetic compatibility) 물질 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

(16) 기능성 소자는 ESD(electro static discharge) 및 EOS(Electrical Over-Stress) 중 적어도 하나로부터 반도체 발광부를 보호하는 보호 소자(protecting element)인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

(17) 반도체 발광부는: 전극의 반대 측에서 복수의 반도체층을 덮는 형광층;을 포함하며, 형광층은 전극의 반대 측으로 고정부로부터 노출된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

(18) 반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지며, 반도체 발광부 n측 전극, 기능성 소자의 p측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제1 도전부; 그리고 반도체 발광부 p측 전극, 기능성 소자의 n측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제2 도전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 의하면, 칩 스케일로 반도체 발광소자를 제조할 수 있고, 고정부에 의해 광흡수 손실이 방지되면서 ESD및/또는 EOS 보호 소자와 같은 소자를 콤팩트하게 구비할 수 있다.

또한, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 같은 방향으로 노출되거나 도전부에 의해 전기적으로 연결되어 SMD 타입으로 편리하게 실장이 가능하다.

또한, 형광체를 함유하는 제1 봉지재는 반도체 발광칩의 표면에 얇게 형성될 수 있어서, 반도체 발광소자가 거의 칩 스케일(chip scale)로 형성된다.

또한, 개구에 형성되는 제1 봉지재를 높이를 조절하여 필요한 양만 사용할 수 있는 장점이 있으며, 제1 봉지재가 전극 측으로 유입되는 것이 방지된다. 또한, 제1 봉지재는 접합력이 있으므로 반도체 발광칩을 놓는데 있어서 편리하다.

또한, 댐을 반도체 발광칩의 정렬을 위한 소자 이송 장치의 가이드 패턴으로 사용하고 봉지재의 댐으로 사용함으로써, 반도체 발광칩의 정렬의 정확도가 향상된다.

또한, 이로 인해 개별 소자로의 분리 공정(예: 쏘잉 등)에서 반도체 발광칩들의 정렬의 오차로 인해 불량이 발생하는 것이 감소한다.

또한, 테이프에 빈 곳을 채우거나 틀어진 반도체 발광칩의 각도를 보정하는 추가 공정을 한 후에 마스크를 반도체 발광칩들이 배열된 테이프 위에 배치하고 봉지재를 공급하는 방식과 비교하면, 본 예에 따른 방법은 상기 추가 공정이 필요 없어서 효율적이다.

또한, 이형코팅층이 형성된 마스크로부터 봉지재가 잘 빼내어지므로 봉지재 표면이 갈려서 광취출효율이 저하되는 것이 방지된다.

또한, 고정부 또는 댐이 광측정기 측으로 빛을 반사하므로 더 정확하고, 신속하게 반도체 발광소자를 검사할 수 있다.

또한, 이러한 반도체 발광소자의 제조 방법에 의해 제조된 반도체 발광소자는, 전극이 옆으로 돌출되지 않아서 반도체 발광소자는 거의 봉지재의 윤곽을 따른 사이즈를 가져서, 거의 반도체 발광칩 수준의 사이즈를 가지는 반도체 발광소자 및/또는 반도체 발광소자 패키지를 제공할 수 있다.

70,80: 전극 101: 반도체 발광칩 201: 베이스
301: 댐 305: 개구 180: 제1 봉지재, 형광층
170: 제2 봉지재 190: 고정부 401: 기능성 소자
501: 소자 이송 장치 701: 광 측정기 141,142: 도전부

Claims (18)

1. 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서,
   베이스 위에 개구가 형성된 댐을 구비하는 단계; 그리고
   반도체 발광부, 기능성 소자(functional element), 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계;로서,
   제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부와,
   전극을 가지며, 보호 소자인 기능성 소자와,
   반도체 발광부 및 기능성 소자의 둘레에 형성되어 반도체 발광부 및 기능성 소자를 고정하는 고정부를 개구 내에 구비하되,
   반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 고정부로부터 같은 방향으로 노출되도록 구비하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
2. 청구항 1에 있어서,
   반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서,
   반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 베이스의 반대 측으로 노출되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   고정부는 반도체 발광부로부터의 빛을 반사하는 물질 및 EMC(electro magnetic compatibility) 물질 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
5. 청구항 1에 있어서,
   반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서,
   반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 베이스를 기준으로 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
6. 청구항 1에 있어서,
   반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지고,
   반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계에서,
   반도체 발광부의 n측 전극 및 p측 전극의 사이 및 기능성 소자의 n측 전극 및 p측 전극의 사이가 동일 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
7. 청구항 2에 있어서,
   반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는:
   개구로 노출된 베이스 위에 반도체 발광부의 전극이 복수의 반도체층을 기준으로 베이스의 반대 측으로 향하도록 반도체 발광부를 놓는 과정;
   댐과 반도체 발광부 사이에 고정부를 형성하는 과정; 그리고
   기능성 소자의 전극이 반도체 발광부의 전극과 같은 방향을 향하도록 기능성 소자를 고정부에 넣는(insert) 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
8. 청구항 7에 있어서,
   반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는:
   고정부를 형성하는 과정 이후, 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정 전에,
   고정부를 소프트 큐어링(soft curing)하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
9. 청구항 7에 있어서,
   반도체 발광부를 놓는 과정 및 기능성 소자를 고정부에 넣는 과정은 댐의 형상을 인식하여 반도체 발광부 및 기능성 소자가 놓일 위치 및 각도를 보정하는 소자 이송 장치를 사용하여 이루어지며,
   기능성 소자를 고정부에 넣는 과정에서, 소자 이송 장치는 기능성 소자가 고정부에 접촉한 때를 감지하여 베이스에 대한 기능성 소자의 높이를 인식함으로써, 반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극이 베이스를 기준으로 동일 높이에 위치하도록 고정부에 기능성 소자를 넣는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
10. 청구항 7에 있어서,
    반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지며,
    기능성 소자를 고정부에 넣는 과정에서,
    반도체 발광부의 n측 전극 및 p측 전극의 사이 및 기능성 소자의 n측 전극 및 p측 전극의 사이가 동일 선상에 위치하도록 놓이며,
    반도체 발광부 n측 전극, 기능성 소자의 p측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제1 도전부와, 반도체 발광부 p측 전극, 기능성 소자의 n측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제2 도전부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
11. 청구항 7에 있어서,
    반도체 발광부는: 전극의 반대 측에서 복수의 반도체층을 덮는 형광층;을 포함하며,
    반도체 발광부를 놓는 과정에서,
    형광층이 베이스에 접합도록 반도체 발광부를 베이스 위에 놓는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
12. 청구항 1에 있어서,
    반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 개구 내에 구비하는 단계는:
    반도체 발광부의 전극과 기능성 소자의 전극을 베이스와 접하도록 놓는 과정; 그리고
    개구에 고정부를 공급하여 반도체 발광부 및 기능성 소자 둘레에 고정부를 형성하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
13. 청구항 1에 있어서,
    반도체 발광부, 기능성 소자, 및 고정부를 포함하는 반도체 발광소자를 베이스 및 댐과 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.
14. 반도체 발광소자에 있어서,
    고정부;
    제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 및 제1 반도체층과 제2 반도체층의 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 가지는 복수의 반도체층, 그리고 복수의 반도체층에 전류를 공급하는 전극을 가지는 반도체 발광부;로서, 전극이 노출되도록 고정부에 의해 적어도 일부가 둘러싸인 반도체 발광부; 그리고
    전극을 가지며, 보호 소자인 기능성 소자;로서,
    반도체 발광부의 전극의 노출 방향으로 기능성 소자의 전극이 노출되도록 고정부에 의해 둘러싸인 기능성 소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
15. 청구항 14에 있어서,
    고정부는 반도체 발광부로부터의 빛을 반사하는 물질 및 EMC(electro magnetic compatibility) 물질 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
16. 삭제
17. 청구항 14에 있어서,
    반도체 발광부는: 전극의 반대 측에서 복수의 반도체층을 덮는 형광층;을 포함하며,
    형광층은 전극의 반대 측으로 고정부로부터 노출된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
18. 청구항 14에 있어서,
    반도체 발광부 및 기능성 소자는 플립칩(flip chip)으로서, 반도체 발광부의 전극 및 기능성 소자의 전극은 각각 n측 전극 및 p측 전극을 가지며,
    반도체 발광부 n측 전극, 기능성 소자의 p측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제1 도전부; 그리고
    반도체 발광부 p측 전극, 기능성 소자의 n측 전극, 및 고정부의 일부를 덮는 제2 도전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.

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