KR101599936B1 - Lens unit, the light irradiation unit, the light irradiation apparatus - Google Patents

Lens unit, the light irradiation unit, the light irradiation apparatus Download PDF

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Abstract

조립 및 설치가 용이한 라인 형상의 조도 분포를 가지는 조사광을 출사하는 렌즈 유닛, 광조사 유닛 및 광조사 장치를 제공한다.
렌즈 유닛은 각각 제1면에 볼록 렌즈면이 형성된 실린드리컬 렌즈인 제1 및 제2 렌즈와, 제1 및 제2 렌즈를 볼록 렌즈면끼리가 소정의 거리를 두고 대향하고, 또한 각 광축이 일치하도록 유지하는 경통을 구비하고, 경통이 제1 및 제2 렌즈 사이에 배치되고, 각 렌즈의 볼록 렌즈면과 맞닿음으로써 각 렌즈를 위치 결정하는 중간 경통부를 구비하고, 제1 및 제2 렌즈가 광축에 수직인 제1 방향에 있어서 굴절력을 가지고, 광축 및 제1 방향에 수직인 제2 방향에 있어서는 굴절력을 가지지 않도록 배치되고, 중간 경통부의 외주면에는 광축을 통과하여 제1 또는 제2 방향으로 연장되는 직선 상의 적어도 1개소에 마커가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Provided are a lens unit, a light irradiation unit, and a light irradiation device which emit irradiation light having a line-shaped illumination distribution easy to assemble and install.
The lens unit includes first and second lenses which are cylindrical lenses each having a convex lens surface formed on a first surface thereof and first and second lenses which are arranged so that their convex lens surfaces face each other with a predetermined distance therebetween, And a middle barrel portion disposed between the first and second lenses to position the respective lenses by abutting against the convex lens surfaces of the respective lenses, Is arranged so as not to have a refracting power in a first direction perpendicular to the optical axis and in a second direction perpendicular to the first direction and to have no refracting power in the first direction or in the first or second direction And a marker is formed on at least one point on a straight line extending from the marker.

Figure R1020130029687
Figure R1020130029687

Description

렌즈 유닛, 광조사 유닛 및 광조사 장치{LENS UNIT, THE LIGHT IRRADIATION UNIT, THE LIGHT IRRADIATION APPARATUS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a lens unit, a light irradiating unit,

본 발명은 조사광의 조도 분포를 가늘고 긴 라인 형상으로 성형하는 렌즈 유닛 및 이 렌즈 유닛을 구비한 광조사 유닛 및 광조사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lens unit for shaping an illuminance distribution of irradiation light into an elongated line shape, and a light irradiation unit and a light irradiation apparatus provided with this lens unit.

공업 제품의 코팅이나 광학 부품 등의 조립용 접착제로서, 자외선 경화형 수지가 사용되고 있다. 자외선 경화형 수지는 유동성을 가지는 모노머나 올리고머가 자외선(자외광)을 흡수하여 광중합 반응을 일으키고, 고체의 폴리머로 변화하는 수지이다. 그리고, 이 자외선 경화형 수지를 경화시키기 위한 광원으로서 자외선 조사 장치(이하 「UV 조사 장치」라고 함)가 개발되어 있다.BACKGROUND ART [0002] An ultraviolet curable resin is used as an adhesive for assembling industrial products such as coatings and optical parts. The ultraviolet curable resin is a resin in which a monomer or oligomer having fluidity absorbs ultraviolet rays (ultraviolet light) to cause a photopolymerization reaction and changes into a solid polymer. An ultraviolet irradiation device (hereinafter referred to as " UV irradiation device ") has been developed as a light source for curing the ultraviolet curable resin.

UV 조사 장치로서는 고압 수은 램프나 수은 크세논 램프 등을 광원으로 하는 램프형 조사 장치가 알려져 있지만, 최근, 소비 전력의 삭감이나 장치 사이즈의 컴팩트화의 요청으로부터, 자외광을 발광 가능한 발광 다이오드(LED)를 광원으로 하는 UV 조사 장치가 개발되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1).In recent years, there has been known a lamp-type irradiating device using a high-pressure mercury lamp or a mercury-xenon lamp as a UV irradiating device. However, in order to reduce power consumption and reduce the size of the device, (See, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2007-27295호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-27295

특허문헌 1에 개시되는 UV 조사 장치는 조사 헤드 내에 직렬로 배치된 2장의 구면 렌즈를 구비하고 있고, LED광을 스팟 형상으로 집광한다. 이러한 UV 조사 장치를 사용하여 액정 패널의 맞붙임 공정과 같은 대면적의 접착을 행하는 경우에는, 인접하는 조사 헤드의 스팟의 아래쪽끼리가 중첩되도록 복수의 조사 헤드를 일렬로 배열하여 사용하면 효율적으로 접착제의 경화를 행할 수 있다. 그러나, 특허문헌 1의 UV 조사 장치는 구면 렌즈에 의해 직교 2방향으로 집광되기 때문에, 조사광의 스팟 사이즈가 작고, 다수의 조사 헤드를 배열해야 한다.The UV irradiation device disclosed in Patent Document 1 has two spherical lenses arranged in series in an irradiation head, and collects the LED light in a spot shape. When a large area such as an alignment process of a liquid crystal panel is performed by using such a UV irradiation apparatus, if a plurality of irradiation heads are arranged in a line so as to overlap the lower portions of spots of adjacent irradiation heads, Can be cured. However, since the UV irradiation apparatus of Patent Document 1 is focused in two orthogonal directions by the spherical lens, the spot size of the irradiation light is small and a plurality of irradiation heads must be arranged.

또, 구면 렌즈를 실린드리컬 렌즈로 바꿈으로써, 실린드리컬 렌즈의 초선(焦線) 방향에 있어서의 빔 폭이 긴 라인 형상의 조사광을 얻을 수 있지만, 라인 방향(빔의 장경 방향)에 있어서 강도(조도)가 균일한 조사광을 얻기 위해서는, 2장의 실린드리컬 렌즈의 초선 방향을 높은 정밀도로 맞출 필요가 있다. 종래, 실린드리컬 렌즈의 초선 방향의 조정은 복잡한 광학적 얼라`인먼트에 의해 행해지고 있었기 때문에, 구면 렌즈로부터 실린드리컬 렌즈로의 치환은 제조 비용의 대폭적인 증대를 수반했다.In addition, by changing the spherical lens to a cylindrical lens, irradiated light in the form of a line having a long beam width in the focal line direction of the cylindrical lens can be obtained. However, in the line direction In order to obtain irradiation light having uniform intensity (roughness), it is necessary to align the super-direction of two cylindrical lenses with high precision. Conventionally, the adjustment of the cylindrical lens in the direction of the superposition has been performed by a complicated optical superlining. Therefore, the replacement of the spherical lens with the cylindrical lens has accompanied a remarkable increase in manufacturing cost.

또, 라인 형상의 조사광을 출사하는 조사 헤드를 복수 배열하여 사용하는 경우에는, 조사 헤드를 배열하는 방향에 조사광의 장경 방향을 정확하게 일치시킬 필요가 있는데, 자외광은 눈으로 볼 수 없기 때문에, 예를 들면 형광판에 조사광을 쏘면서 조사 헤드의 방향을 조정해야 하여, 번잡한 조정 작업을 필요로 했다.When a plurality of irradiation heads for emitting line-shaped irradiation light are used, it is necessary to accurately align the long-diameter direction of the irradiation light in the direction in which the irradiation heads are arranged. Since the ultraviolet light can not be seen by the eyes, For example, the direction of the irradiation head has to be adjusted while irradiating the fluorescent plate with the irradiation light, which necessitates troublesome adjustment work.

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 조립 및 설치가 용이한 라인 형상이 균일한 조도 분포를 가지는 조사광을 출사하는 렌즈 유닛, 광조사 유닛 및 광조사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a lens unit, a light irradiating unit and a light irradiating apparatus which emit irradiating light having a uniform illuminance distribution in a line shape that is easy to assemble and install.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 실시형태에 따른 렌즈 유닛은, 각각 제1면에 볼록 렌즈면이 형성된 실린드리컬 렌즈인 제1 및 제2 렌즈와, 제1 및 제2 렌즈를 볼록 렌즈면끼리가 소정의 거리를 두고 대향하고, 또한 각 광축이 일치하도록 유지하는 경통을 구비하고, 경통이 제1 및 제2 렌즈 사이에 배치되고, 각 렌즈의 볼록 렌즈면과 맞닿음으로써 각 렌즈를 위치 결정하는 중간 경통부를 구비하고, 제1 및 제2 렌즈가 광축에 수직인 제1 방향에 있어서 굴절력을 가지고, 광축 및 제1 방향에 수직인 제2 방향에 있어서는 굴절력을 가지지 않도록 배치되고, 중간 경통부의 외주면에는 광축을 통과하여 제1 또는 제2 방향으로 연장되는 직선 상의 적어도 1개소에 마커가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a lens unit according to an embodiment of the present invention includes first and second lenses which are cylindrical lenses each having a convex lens surface formed on a first surface thereof, first and second lenses, The lens barrel is disposed between the first and second lenses, and abuts on the convex lens surfaces of the respective lenses. The lens barrel is disposed between the first lens barrel and the second lens barrel, Wherein the first and second lenses are arranged so as not to have a refractive power in a first direction perpendicular to the optical axis and in a second direction perpendicular to the optical axis and the first direction, And markers are formed on the outer peripheral surface of the barrel section at at least one position on a straight line passing through the optical axis and extending in the first or second direction.

상기한 구성에 의하면, 중간 경통부의 외주면에 설치된 마커에 의해, 렌즈 유닛의 집광 방향을 정확하게 인식할 수 있고, 렌즈 유닛을 설치할 때의 위치 결정을 정확하고 또한 용이하게 행하는 것이 가능하게 된다. 또, 상기한 구성에 의하면, 광속이 제2 방향(장경 방향)으로 집광되지 않기 때문에, 제2 방향의 빔 폭을 짧게 하지 않고 출사광의 강도를 높일 수 있다. 또, 상기한 구성에 의하면, 조립시에 2장의 실린드리컬 렌즈의 초선의 방향을 정확하고 또한 용이하게 맞출 수 있다.According to the above configuration, the light converging direction of the lens unit can be accurately recognized by the marker provided on the outer peripheral surface of the intermediate barrel portion, and positioning at the time of installing the lens unit can be accurately and easily performed. According to the above configuration, since the light flux is not condensed in the second direction (longitudinal direction), the intensity of the outgoing light can be increased without shortening the beam width in the second direction. Further, according to the above-described configuration, it is possible to precisely and easily align the directions of the super-lines of the two cylindrical lenses at the time of assembling.

중간 경통부가 중간 경통부의 내주면으로부터 중심축을 향하여 돌출하는 돌출부를 가지고, 돌출부에는 광축을 통과하여 제2 방향으로 연장되는 직선 상에, 광축을 끼우고 한 쌍의 절결부가 설치되어 있고, 제1 및 제2 렌즈의 볼록 렌즈면의 선단부가 각각 한 쌍의 절결부에 끼워져 들어감으로써, 제1 및 제2 렌즈가 제1 및 제2 방향에 대하여 각각 위치 결정된 구성으로 해도 된다.The intermediate barrel section has a protrusion protruding from the inner circumferential surface of the intermediate barrel section toward the central axis, and the protruding section is provided with a pair of notches on the straight line passing through the optical axis and extending in the second direction, And the front end portions of the convex lens surfaces of the second lens are respectively inserted into the pair of cutouts so that the first and second lenses are positioned with respect to the first and second directions, respectively.

이 구성에 의하면, 각 렌즈의 볼록 렌즈면을 중간 경통부의 돌출부에 누르면서 중심축의 둘레에 회전시킬 뿐의 간단한 작업에 의해, 볼록 렌즈면의 선단부가 절결부에 끼워져들어가, 각 렌즈의 방향을 고정밀도로 위치 결정할 수 있다.According to this configuration, by the simple operation of simply rotating the convex lens surface of each lens against the projection of the intermediate lens barrel and around the central axis, the tip of the convex lens surface is fitted into the notch, Can be positioned.

제1 및 제2 렌즈가 각각 원기둥 형상(圓柱狀)의 측면을 가지고, 중간 경통부가 제1 및 제2 렌즈의 외경보다 조금 내경이 넓은 내주면을 가지는 대략 원통 형상이며, 제1 및 제2 렌즈의 볼록 렌즈면측의 적어도 일부를 각각 이 중간 경통부의 중공부 내에 수용하고, 돌출부가 제1 및 제2 렌즈의 외경보다 좁은 내경을 가지는 대략 원환 형상으로 형성되어 있는 구성으로 해도 된다.Wherein the first and second lenses each have a columnar side surface and the intermediate lens barrel is a substantially cylindrical shape having an inner peripheral surface slightly larger in inner diameter than the outer diameters of the first and second lenses, At least a part of the convex lens surface side may be respectively housed in the hollow portion of the intermediate barrel portion and the projecting portion is formed in a substantially annular shape having an inner diameter narrower than the outer diameter of the first and second lenses.

또, 중간 경통부의 내주면에는 광축을 끼운 제2 방향의 양측에, 광축 방향의 일단으로부터 돌출부를 횡단하여 광축 방향으로 연장되는 한 쌍의 홈이 형성되어 있고, 이 한 쌍의 홈을 형성함으로써, 돌출부에 한 쌍의 절결부가 설치된 구성으로 해도 된다.A pair of grooves extending in the optical axis direction are formed on the inner peripheral surface of the intermediate barrel section on both sides in the second direction sandwiching the optical axis from one end in the optical axis direction. A pair of notched portions may be provided in a pair.

상기한 구성에 의하면, 절결부를 용이하게 형성할 수 있다.According to the above configuration, the notch can be easily formed.

또, 마커가 중간 경통부의 축 방향으로 연장되는 마커 홈인 구성으로 해도 된다.The marker may be a marker groove extending in the axial direction of the intermediate barrel section.

상기한 구성에 의하면, 예를 들면 머시닝 센터를 사용하여 중간 경통부를 가공함으로써, 높은 상대 위치 정밀도로 절결부와 마커를 형성할 수 있음과 아울러, 시인성이 양호한 마커가 실현된다.According to the above-described configuration, for example, by machining the intermediate barrel portion using a machining center, notches and markers can be formed with high relative positional accuracy, and a marker with good visibility can be realized.

또, 제1 및 제2 실린드리컬 렌즈의 외경이 동일한 구성으로 해도 된다.The outer diameter of the first and second cylindrical lenses may be the same.

상기한 구성에 의하면, 부품의 종류가 적고, 또 적은 공정으로 중간 경통부를 가공할 수 있기 때문에, 렌즈 유닛을 저비용으로 제조하는 것이 가능하게 된다.According to the above configuration, since the kinds of parts are small and the intermediate lens barrel can be machined with a small number of steps, it is possible to manufacture the lens unit at low cost.

본 발명의 실시형태에 따른 광조사 유닛은 광원 유닛과, 광원 유닛이 출사한 광속을 제1 방향으로 집광하는 상기한 렌즈 유닛을 구비하고, 제2 방향으로 긴 라인 형상의 조사 영역을 가지는 조사광을 생성한다.A light irradiation unit according to an embodiment of the present invention includes a light source unit and the lens unit for condensing the light beam emitted from the light source unit in the first direction, .

또, 광원 유닛이 2차원 배열된 복수의 LED 소자를 구비한 구성으로 해도 된다. 또, 광원 유닛이 제1 및 제2 방향으로 각각 평행한 두 변을 가지는 직사각형 형상(矩形狀)의 발광면을 구비한 구성으로 해도 된다.Further, the light source unit may be configured to include a plurality of LED elements arranged two-dimensionally. Further, the light source unit may have a rectangular light-emitting surface having two sides parallel to each other in the first and second directions.

상기한 구성에 의하면, 실린드리컬 렌즈에 의해 1방향으로만 집광해도, 충분히 높은 강도의 조사광을 얻을 수 있다.According to the above-described configuration, even when the light is condensed only in one direction by the cylindrical lens, irradiation light of sufficiently high intensity can be obtained.

본 발명의 실시형태에 따른 광조사 장치는 상기한 광조사 유닛을 복수 구비하고, 복수의 광조사 유닛은 광축을 서로 평행하게 하여 제2 방향으로 소정 간격으로 배열되어 있고, 소정 간격은 광조사 유닛의 조사광의 조사 영역에 있어서의 제2 방향의 전체폭의 절반값(半値全幅)과 동일한 길이인 것을 특징으로 한다.The light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention includes a plurality of light irradiation units as described above, and the plurality of light irradiation units are arranged at predetermined intervals in the second direction with their optical axes parallel to each other, Is equal to a half value (half value total width) of the entire width in the second direction in the irradiation area of the irradiation light.

상기한 구성에 의하면, 제2 방향에 있어서 조사 영역이 길고 또한 강도가 균일한 광원이 실현된다.According to the above configuration, a light source having a long irradiation area and uniform intensity in the second direction is realized.

이상과 같이, 본 발명의 실시형태의 구성에 의하면, 조립 및 설치가 용이한 조사광의 조도 분포를 가늘고 긴 라인 형상으로 성형하는 조사 헤드 및 이 조사 헤드를 구비한 광조사 장치가 실현된다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the configuration of the embodiment of the present invention, an irradiation head for shaping the illuminance distribution of irradiation light, which is easy to assemble and install, into an elongated line shape, and a light irradiation apparatus including the irradiation head are realized.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 UV 조사 장치(1)의 외관도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 UV 조사 장치(1)의 렌즈 유닛(120)의 개략 구성을 나타내는 분해도이다.
도 3은 출사측으로부터 본 중간 경통부(30)의 정면도이다.
도 4는 중간 경통부(30)의 측면도이다.
도 5는 입사측으로부터 본 중간 경통부(30)의 배면도이다.
도 6은 중간 경통부(30)의 종단면도이다.
도 7은 초선(F)을 Z축 방향을 향하여 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)를 중공부에 삽입한 상태의 중간 경통부(30)의 종단면도이다.
도 8은 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)를 올바르게 장착한 상태의 중간 경통부(30)의 종단면도이다.
도 9는 조사 모듈(300)의 외관도이다.
도 10은 조사 모듈(300)의 조사 영역에 있어서의 조도 분포를 설명하는 도면이다.
도 11은 실린드리컬 렌즈의 종류를 변경한 중간 경통부(30)의 다양한 변형예의 종단면도이다.1 is an external view of a UV irradiation apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded view showing a schematic structure of a lens unit 120 of a UV irradiation apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view of the intermediate barrel section 30 viewed from the emission side.
4 is a side view of the intermediate barrel section 30. FIG.
5 is a rear view of the intermediate barrel section 30 seen from the incidence side.
6 is a longitudinal sectional view of the intermediate barrel section 30. Fig.
7 is a longitudinal sectional view of the intermediate lens barrel portion 30 in a state where the first lens 20 and the second lens 40 are inserted into the hollow portion toward the Z-axis direction.
8 is a longitudinal sectional view of the intermediate lens barrel 30 in a state in which the first lens 20 and the second lens 40 are correctly mounted.
Fig. 9 is an external view of the irradiation module 300. Fig.
Fig. 10 is a view for explaining the illuminance distribution in the irradiation area of the irradiation module 300. Fig.
11 is a longitudinal sectional view of various modified examples of the intermediate lens barrel 30 in which the types of cylindrical lenses are changed.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 따른 UV 조사 장치(1)에 대해서 설명한다. 도 1은 UV 조사 장치(1)의 외관도이며, 도 2는 그 분해도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 후술하는 렌즈 유닛(120)의 광축 방향을 X축 방향, 후술하는 평볼록 실린드리컬 렌즈(제1 렌즈(20), 제2 렌즈(40))의 초선(F)의 방향을 Y축 방향, 평볼록 실린드리컬 렌즈의 집광 방향을 Z축 방향이라고 한다. 또한, 평볼록 실린드리컬 렌즈는 초선(F)의 방향(Y축 방향)으로는 굴절력을 가지지 않고, 초선(F)과 수직인 방향(Z축 방향)으로 굴절력을 가지고 있다.Hereinafter, a UV irradiation apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is an external view of the UV irradiation apparatus 1, and Fig. 2 is an exploded view thereof. In the following description, the direction of the optical axis of the lens unit 120 to be described later is referred to as the X-axis direction, the direction of the F-axis of the flat convex cylindrical lens (first lens 20, second lens 40) ) Is referred to as the Y axis direction, and the converging direction of the flat convex cylindrical lens is referred to as the Z axis direction. The flat convex cylindrical lens has a refractive power in a direction perpendicular to the first line F (Z-axis direction) without refracting power in the direction of the first line F (Y-axis direction).

본 실시형태의 UV 조사 장치(1)는 상자형의 전원 유닛(200)과, 전원 유닛(200)의 정면으로부터 연장되는 가늘고 긴 본체 유닛(100)을 구비하고 있다. 또, 본체 유닛(100)은 렌즈 유닛(120), 광원 유닛(140) 및 케이블부(160)를 구비하고 있다. 케이블(160)은 광원 유닛(140)에 급전하기 위한 전력선이나 광원 유닛(140)의 동작을 제어하기 위한 신호를 보내는 신호선이 금속 가요관에 의해 피복 보호된 것이며, 전원 유닛(200)과 본체 유닛(100)을 접속한다. 광원 유닛(140)은 대략 원통 형상의 케이싱(141)을 가지고, 일단에 LED 소자(142)가 배치되어 있다. 광원 유닛(140)의 케이싱(141) 내에는 LED 소자(142)를 구동하는 구동 회로(도시하지 않음)가 수용되어 있고, 광원 유닛(140)의 타단은 케이블(160)을 통하여 전원 유닛(200)에 접속되어 있다. 또, 광원 유닛(140)의 일단에는 렌즈 유닛(120)이 부착되어 있다.The UV irradiation apparatus 1 of the present embodiment includes a box-shaped power source unit 200 and an elongated main body unit 100 extending from the front face of the power source unit 200. The main body unit 100 includes a lens unit 120, a light source unit 140, and a cable unit 160. The cable 160 is formed by covering a power line for supplying power to the light source unit 140 or a signal line for sending a signal for controlling the operation of the light source unit 140 by a metal flexible tube, (100). The light source unit 140 has a substantially cylindrical casing 141, and an LED element 142 is disposed at one end. A driving circuit (not shown) for driving the LED element 142 is accommodated in the casing 141 of the light source unit 140. The other end of the light source unit 140 is connected to the power unit 200 . A lens unit 120 is attached to one end of the light source unit 140.

렌즈 유닛(120)은 광원 유닛(140)의 케이싱(141)과 대략 동일한 외경을 가지는 경통(121)과, 경통(121) 내에 유지된 한 쌍의 평볼록 실린드리컬 렌즈(제1 렌즈(20), 제2 렌즈(40))를 구비하고 있다. 제1 렌즈(20)와 제2 렌즈(40)는 동일한 형상 및 광학 특성을 가지고 있다. 경통(121)은 광축 방향에 있어서 3개의 부재(광원 유닛(140)측으로부터 순서대로 입사측 경통부(10), 중간 경통부(30), 출사측 경통부(50))로 분할되어 있다. 또, 제1 렌즈(20)는 입사측 경통부(10)와 중간 경통부(30) 사이에서 끼워져 들어가고, 제2 렌즈(40)는 중간 경통부(30)와 출사측 경통부(50) 사이에서 끼워져 들어가고, 각각 경통(121) 내에서 유지되어 있다.The lens unit 120 includes a lens barrel 121 having substantially the same outer diameter as the casing 141 of the light source unit 140 and a pair of flat convex cylindrical lenses held in the lens barrel 121 ), And a second lens 40). The first lens 20 and the second lens 40 have the same shape and optical characteristics. The barrel 121 is divided into three members in the direction of the optical axis (the incoming-side barrel section 10, the intermediate barrel section 30, and the exit-side barrel section 50) sequentially from the light source unit 140 side. The first lens 20 is sandwiched between the incidence side barrel section 10 and the intermediate barrel section 30 and the second lens 40 is sandwiched between the intermediate barrel section 30 and the exit side barrel section 50, And are held in the barrel 121, respectively.

다음에, 중간 경통부(30)의 구성에 대해서 설명한다. 도 3~5는 순서대로 중간 경통부(30)의 정면도, 측면도, 및 배면도이다. 또, 도 6은 중간 경통부(30)의 종단면도이다. 중간 경통부(30)는 대략 원통 형상의 부재이지만, 그 내주면의 X축 방향 중앙부에는 내측으로 돌출하는 대략 환 형상의 돌출부(32)가 형성되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 평볼록 실린드리컬 렌즈인 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)는 각각 볼록면(볼록 렌즈면)을 중간 경통부(30)를 향하여 배치되고, 볼록면측의 일부가 중간 경통부(30)의 중공부 내에 수용된다. 도 7 및 도 8은 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 볼록면측의 일부가 중간 경통부(30)의 중공부 내에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다. 구체적으로는, 도 7은 제1 렌즈(20)의 초선(F20) 및 제2 렌즈(40)의 초선(F40)을 각각 Z축 방향을 향하여 각 렌즈를 중간 경통부(30)에 삽입한 상태를 나타내고, 도 8은 초선(F20 및 F40)을 각각 Y축 방향을 향하여 각 렌즈를 중간 경통부(30)에 삽입한 상태를 나타낸다. 도 8에 나타내는 배치가 광원 유닛(140)의 완성시의 배치이다.Next, the configuration of the intermediate barrel section 30 will be described. 3 to 5 are a front view, a side view, and a rear view of the intermediate barrel section 30 in order. 6 is a longitudinal sectional view of the intermediate barrel section 30. Fig. The intermediate barrel section 30 is a substantially cylindrical member, and a substantially annular protrusion 32 protruding inward is formed at the center of the inner peripheral surface in the X-axis direction. As shown in Fig. 2, the first lens 20 and the second lens 40, which are a pair of flat convex cylindrical lenses, are each provided with a convex surface (convex lens surface) toward the intermediate barrel section 30, A part of the convex surface side is accommodated in the hollow portion of the intermediate barrel section 30. [ 7 and 8 are views showing a state where a part of the convex surface side of the first lens 20 and the second lens 40 is inserted into the hollow portion of the intermediate barrel section 30. FIG. Specifically, Figure 7 toward the focal line (F 20) and a second focal line (F 40) Z-axis direction to each lens 40 of the first lens 20 for inserting the respective lenses in the middle barrel 30 It indicates a state, Figure 8 shows a state of inserting the lens in the middle of each rack portion 30 towards the Y-axis direction, the focal line (F 20 and F 40) respectively. The arrangement shown in Fig. 8 is the arrangement at the completion of the light source unit 140. Fig.

중간 경통부(30)의 내주면에는 Y축 방향 양단부(도 3에 있어서 화살표 Rw로 나타내는 개소)에 홈(34)이 형성되어 있다. 홈(34)은 중간 경통부(30)의 X축 정방향측의 단(도 6에 있어서의 우측단)으로부터 돌출부(32)를 넘은 위치까지 형성되어 있다. 그 때문에, 돌출부(32)의 Y축 방향 양단부에는 절결부(35)(도 5)가 설치되어 있다.Grooves 34 are formed in the inner peripheral surface of the intermediate barrel section 30 at both end portions in the Y-axis direction (portions indicated by arrow Rw in Fig. 3). The grooves 34 are formed from the end of the intermediate barrel section 30 on the positive X-axis side (the right end in Fig. 6) to the position beyond the protruding section 32. Therefore, cutouts 35 (Fig. 5) are provided at both end portions of the projecting portion 32 in the Y-axis direction.

도 3 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 돌출부(32)에 있어서의 중간 경통부(30)의 내경(Rn)(예를 들면 φ7.5mm)은 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 외경(예를 들면 φ8.2mm)보다 좁게 성형되어 있다. 또, 돌출부(32)가 형성되어 있지 않은 개소에 있어서의 중간 경통부(30)의 내경(Rw)(예를 들면 φ8.2[플러스 공차]mm)은 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 외경보다 약간 넓게 성형되어 있다. 따라서, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)를 중간 경통부(30)의 중공부에 삽입해도, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 볼록면의 적어도 일부가 돌출부(32)에 맞닿아, 그 이상 안쪽으로는 들어가지 않는 상태가 된다.3 and 8, the inner diameter Rn (for example,? 7.5 mm) of the intermediate lens barrel portion 30 in the protruding portion 32 is smaller than the inner diameter Rn of the first lens 20 and the second lens 40 And is narrower than the outer diameter (for example,? 8.2 mm). The inner diameter Rw (e.g.,? 8.2 [positive tolerance] mm) of the intermediate lens barrel portion 30 at the portion where the protruding portion 32 is not formed is smaller than the inner diameter Rw of the first lens 20 and the second lens 40). Therefore, even if the first lens 20 and the second lens 40 are inserted into the hollow portion of the middle barrel portion 30, at least a part of the convex surface of the first lens 20 and the second lens 40 is projected 32), so that it does not enter any more inside.

도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)를 각 초선(F20 및 F40)을 돌출부(32)의 홈(34)이 형성되어 있지 않은 방향(예를 들면 Z축 방향)을 향하여, 중간 경통부(30)의 중공부에 삽입하면, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 볼록면의 정점(V)이 돌출부(32)에 맞닿는다. 이 상태에서, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)를 돌출부(32)에 대고 누르면서, 중간 경통부(30)의 중심축(C)의 둘레에 회전시켜, 각 초선(F20 및 F40)의 방향을 홈(34)이 형성된 Y축 방향에 맞추면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 돌출부(32)가 형성되어 있지 않은 절결부(35)에 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 볼록면의 선단부(정점(V) 및 그 근방의 부분)가 끼워져 들어가고, 이것에 의해 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)가 올바른 위치에 위치 결정된다. 즉, 제1 렌즈(20)와 제2 렌즈(40)의 광축(C) 및 초선(F20, F40)의 방향이 대략 완전히 일치한다. 또, 각 렌즈(20, 40)의 볼록면의 선단부가 절결부(35)에 끼워져 들어감으로써, 각 렌즈를 중간 경통부(30)에 밀어넣은 상태에서는, 각 렌즈는 중심축(C)의 둘레에 회전하기 어려워진다. 그 때문에, 제1 렌즈(20) 및 제2 렌즈(40)의 초선(F20 및 F40)의 방향은 각각 중간 경통부(30)에 대하여 올바른 방향으로 유지된다. 또, 홈(34)의 Z축 방향의 치수에 따라, 제1 렌즈(20)와 제2 렌즈(40)의 간격도 정확하게 설정할 수 있다.As shown in Figure 7, the first lens 20 and second lens 40, each focal line (F 20 and F 40) a groove (34) of the protrusions 32, for direction (for example, not forming a The vertex V of the convex surface of the first lens 20 and the second lens 40 comes into contact with the protruding portion 32 when the protruding portion 32 is inserted into the hollow portion of the intermediate barrel portion 30 toward the Z- In this state, the first lens 20 and second lens 40 for pressing down against the protrusion 32, and is rotated round the central axis (C) of the middle barrel 30, each focal line (F 20 and F when setting the direction of the 40) in the Y-axis groove 34 is formed, the first lens 20 and second lens on as shown in Figure 8, the cut-away portion (35 that does not have the protrusion 32 is formed) ( (The vertex V and a portion in the vicinity thereof) of the convex surface of the first lens 20 and the second lens 40 are positioned in the correct positions. That is, the directions of the optical axis C of the first lens 20 and the direction of the superfine lines F 20 , F 40 of the second lens 40 are substantially coincident with each other. In the state in which each lens is pushed into the intermediate barrel section 30 by pushing the distal end portion of the convex surface of each lens 20 and 40 into the notch portion 35, It becomes difficult to rotate. Therefore, the directions of the superfine lines F 20 and F 40 of the first lens 20 and the second lens 40 are maintained in the correct direction with respect to the intermediate lens barrel 30, respectively. In addition, the interval between the first lens 20 and the second lens 40 can be accurately set in accordance with the dimension of the groove 34 in the Z-axis direction.

또, 중간 경통부(30)의 측면에 있어서의 Z축 방향 양단에는 광축 방향으로 연장되는 마커 홈(36)이 높은 위치 정밀도로 형성되어 있다. 유저는 본체 유닛(100)을 설치할 때에, 마커 홈(36)의 방향에 따라, 본체 유닛(100)으로부터 조사되는 조사광의 장경 방향을 정확하게 인식할 수 있기 때문에, UV 조사 장치(1)를 작동시키지 않고, 본체 유닛(100)의 위치 결정을 정확하고 또한 용이하게 행할 수 있다.Marker grooves 36 extending in the optical axis direction are formed at both ends in the Z-axis direction on the side surface of the intermediate barrel section 30 with high positional accuracy. The user can accurately recognize the long-diameter direction of the irradiation light emitted from the main unit 100 along the direction of the marker groove 36 when the main body unit 100 is installed. Therefore, the user can operate the UV irradiation device 1 The main body unit 100 can be positioned accurately and easily.

상기에 설명한 본 실시형태의 본체 유닛(100)을 Y축 방향으로 소정 간격으로 복수 배열함으로써, 긴 라인 형상의 조사 영역을 형성할 수 있다. 도 9는 복수의 본체 유닛(100(100A~D))을 구비한 조사 모듈(1000)의 외관도이다. 조사 모듈(1000)은 Y축 방향으로 배열된 4개의 본체 유닛(100A~D)과, 이들을 연결하는 연결 블록(300)을 구비한다. 연결 블록(300)에는 X축 방향으로 관통하는 4개의 관통 구멍(310)이 Y축 방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 관통 구멍(310)은 렌즈 유닛(120)의 외경보다 약간 큰 내경을 가지고 있고, 각 관통 구멍(310)에는 각각 본체 유닛(100A~D)의 렌즈 유닛(120)이 삽입되어 있다. 또, 연결 블록(300)에는 각 관통 구멍(310)의 중심축을 통과하는 Z축 상에 탭 구멍(320)이 관통하고 있다. 본체 유닛(100A~D)은 탭 구멍(320)에 비틀어넣어진 고정 나사(도시하지 않음)에 의해 연결 블록(300)에 고정되어 있다. 또, 연결 블록(300)의 출사측(X축 정방향측)의 면에는 각 관통 구멍(310)의 상단으로부터 Z축 방향으로 연장되는 마커 홈(330)이 형성되어 있다.By arranging a plurality of the main unit 100 of the present embodiment described above at predetermined intervals in the Y-axis direction, a long line-shaped irradiation area can be formed. 9 is an external view of an irradiation module 1000 having a plurality of main unit 100 (100A to 100D). The irradiation module 1000 includes four main body units 100A to 100D arranged in the Y axis direction and a connection block 300 connecting them. Four through holes 310 passing through the connection block 300 in the X-axis direction are formed at regular intervals in the Y-axis direction. Each of the through holes 310 has an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the lens unit 120 and the lens units 120 of the main units 100A to 100D are inserted into the respective through holes 310. [ The connection block 300 has a tapped hole 320 passing through the Z axis passing through the center axis of each of the through holes 310. The main body units 100A to 100D are fixed to the connection block 300 by a fixing screw (not shown) screwed into the tapped hole 320. [ A marker groove 330 extending from the upper end of each of the through holes 310 in the Z-axis direction is formed on the surface of the connection block 300 on the emission side (X-axis positive direction side).

조사 모듈(1000)은 다음과 같이 하여 조립된다. 우선, 연결 블록(300)의 각 관통 구멍(310)에 본체 유닛(100A)의 렌즈 유닛(120)을 출사측 경통부(50)로부터 입사측 경통부(10)까지(중간 경통부(30)가 관통 구멍(310)을 빠져나갈 때까지) 삽입한다. 이 때, 각 렌즈 유닛(120)으로부터의 조사광의 조사 영역에 있어서의 강도가 균일해지도록, 연결 블록(300)의 출사측의 단면으로부터 각 렌즈 유닛(120)의 선단이 X축 방향으로 돌출하는 길이를 정확하게 일치시킨다. 다음에, 본체 유닛(100A)을 회전시켜, 중간 경통부(30)의 측면에 설치된 마커 홈(36)을 연결 블록(300)의 출사측면에 형성된 마커 홈(330)의 위치에 맞추고, 그 상태에서 고정 나사에 의해 본체 유닛(100A)을 연결 블록(300)에 고정한다. 이 순서를 본체 유닛(100B~D)에 대해서도 행함으로써, 조사 모듈(1000)이 완성된다.The survey module 1000 is assembled as follows. The lens unit 120 of the main unit 100A is attached to the through-hole 310 of the connection block 300 from the exit-side barrel section 50 to the incidence-side barrel section 10 (Until it exits through the opening 310). At this time, the distal ends of the lens units 120 protrude in the X-axis direction from the exit-side end face of the connection block 300 so that the intensity in the irradiation area of the irradiation light from each lens unit 120 becomes uniform Match the length exactly. The main body unit 100A is rotated so that the marker grooves 36 provided on the side of the intermediate barrel section 30 are aligned with the positions of the marker grooves 330 formed on the exit side of the connection block 300, And the main body unit 100A is fixed to the connection block 300 by a fixing screw. The irradiation module 1000 is completed by performing this procedure also for the main body units 100B to 100D.

상기 서술한 바와 같이, 마커 홈(36)은 렌즈 유닛(120)의 광축(X축)을 통과하고, 초선 방향(Y축 방향)과 직교하는 평면(ZX 평면) 상에 형성되어 있다. 또, 마커 홈(330)은 관통 구멍(310)의 중심축을 통과하고, 관통 구멍(310)의 배열 방향과 직교하는 평면 상에 형성되어 있다. 렌즈 유닛(120)은 관통 구멍(310) 내에 대략 간극없이 수용되기 때문에, 렌즈 유닛(120)의 광축(X축)은 관통 구멍(310)의 중심축 상에 배치된다. 또, 본체 유닛(100A~D)을 회전시켜 마커 홈(36)을 마커 홈(330)의 위치에 맞춤으로써, 렌즈 유닛(120)의 초선 방향(Y축 방향)이 관통 구멍(310)의 배열 방향과 일치한다. 따라서, 4개의 본체 유닛(100A~D)으로부터 출사하는 라인 형상의 조명광은 인접하는 조명광과 아래쪽의 부분이 중첩하여, Y축 방향으로 연장되는 1개의 라인 형상의 조명광을 형성한다.As described above, the marker grooves 36 are formed on a plane (ZX plane) passing through the optical axis (X axis) of the lens unit 120 and orthogonal to the superposition direction (Y axis direction). The marker grooves 330 are formed on a plane passing through the central axis of the through holes 310 and perpendicular to the arranging direction of the through holes 310. The optical axis (X axis) of the lens unit 120 is disposed on the central axis of the through hole 310 because the lens unit 120 is accommodated in the through hole 310 with almost no clearance. By aligning the marker grooves 36 with the positions of the marker grooves 330 by rotating the main unit units 100A to 100D, the direction of Y (axial direction) of the lens unit 120 is aligned with the arrangement of the through holes 310 Direction. Therefore, the line-shaped illumination light emitted from the four main body units 100A to 100D overlaps the adjacent illumination light and forms one line-shaped illumination light extending in the Y-axis direction.

도 10은 조사 모듈(1000)로부터 출사하는 조명광의 Y축 방향에 있어서의 빔 프로파일을 설명하는 그래프이다. 도 10의 그래프의 가로축은 Y축 방향의 위치를 나타내고, 세로축은 각 위치에 있어서의 조사 모듈(1000)의 조사광의 강도(조도)를 나타낸다. 또한, 조사광의 강도 분포(조도 분포)는 조사 모듈(1000)로부터의 거리에 따라 변화한다. 도 10의 그래프는 조사 모듈(1000)의 선단으로부터 소정의 설계 거리(예를 들면 28mm) 떨어진 위치에 있어서의 강도를 나타낸다.10 is a graph for explaining the beam profile in the Y-axis direction of the illumination light emitted from the irradiation module 1000. Fig. The abscissa of the graph in Fig. 10 shows the position in the Y-axis direction, and the ordinate shows the intensity (illumination) of the irradiation light of the irradiation module 1000 at each position. In addition, the intensity distribution (illumination distribution) of the irradiation light changes according to the distance from the irradiation module 1000. The graph of FIG. 10 shows the intensity at a position away from the tip of the irradiation module 1000 by a predetermined design distance (for example, 28 mm).

도 10에 있어서의 실선(PSUM)은 조사 모듈(1000) 전체의 빔 프로파일이며, 파선(PA~PD)은 각각 본체 유닛(100A~D)의 단체가 조사하는 광속의 빔 프로파일이다. 본 실시형태에 있어서는, 각 본체 유닛(100)의 빔 프로파일의 Y축 방향에 있어서의 전체폭의 절반값과 동일한 간격으로 본체 유닛(100A~D)이 Y축 방향으로 배열되어 있다. 그 때문에, 인접하는 각 본체 유닛(100)의 조사광의 아래쪽의 부분이 중첩하고, 각 본체 유닛(100)의 조사광의 경계 부분에 있어서도 대략 평탄한 빔 프로파일이 얻어지고 있다. 액정 패널의 맞붙임 공정과 같은 넓은 면적의 접착을 행할 때에는 이와 같이 1방향으로 길게 평탄한 빔 프로파일을 가지는 자외선 조사광을 사용함으로써, 균질한 접착을 효율적으로 행하는 것이 가능하게 된다.The solid line P SUM in Fig. 10 is the beam profile of the entire irradiation module 1000, and the broken lines P A to P D are the beam profiles of the light beams irradiated by the main body units 100A to 100D, respectively. In the present embodiment, the main unit units 100A to 100D are arranged in the Y-axis direction at the same interval as half of the total width of the beam profiles of the main unit units 100 in the Y-axis direction. As a result, a portion below the irradiated light of each adjacent main unit 100 overlaps, and a substantially flat beam profile is obtained at the boundary portion of the irradiated light of each main unit 100. [ In the case of adhering a large area such as the alignment process of the liquid crystal panel, it is possible to efficiently perform homogeneous adhesion by using ultraviolet irradiation light having a flat beam profile in one direction.

이상이 본 발명의 실시형태의 일례의 설명인데, 본 발명은 상기한 실시형태의 구성에 한정되는 것은 아니며, 특허청구의 범위의 기재에 의해 표현된 기술적 사상의 범위 내에 있어서 다양한 변형이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible within the scope of the technical idea expressed by the description of the claims.

상기한 실시형태에서는, 렌즈 유닛(120)에 볼록 렌즈면끼리를 마주하게 하여 배치한 한 쌍의 평볼록 실린드리컬 렌즈가 사용되고 있지만, 외측의 렌즈면의 형상은 평면에 한정되지 않고, 예를 들면 외측의 렌즈면도 볼록면으로 한 양 볼록 렌즈(도 11(A)를 참조)나, 외측의 렌즈면을 오목면으로 한 정의 굴절력을 가지는 요철 렌즈를 사용한 구성(도 11(B)를 참조)으로 해도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 볼록 렌즈면끼리를 마주하게 하여 배치한 각각의 렌즈가 동일한 형상을 나타내고 있지만, 반드시 동일 형상에 한정되지 않고, 이형인 것을 조합하여 채용하는 것(도 11(C)를 참조)이 가능하다.In the embodiment described above, a pair of flat convex cylindrical lenses in which the convex lens surfaces face each other are used in the lens unit 120. However, the shape of the outer lens surface is not limited to the plane, (See Fig. 11 (A)) formed by the convex lens surface on the outer side and a concave-convex lens having positive refractive power with the concave surface on the outer side (see Fig. 11 (B) . In the above-described embodiment, although the respective lenses arranged in such a manner that the convex lens surfaces face each other have the same shape, they are not necessarily limited to the same shape, ).

또, 상기한 실시형태는 광원으로서 LED를 사용한 것이지만, 다른 종류의 광원(예를 들면, 수은 램프나 메탈 할라이드 램프 등의 방전 램프나 반도체 레이저)을 사용할 수도 있다. 또, 상기한 실시형태는, 광원 유닛에 렌즈 유닛이 직접 접속된 구성인 것이지만, 번들 파이버 등의 라이트 가이드를 통하여 광원 유닛에 렌즈 유닛이 접속된 구성으로 할 수도 있다.In the above-described embodiment, an LED is used as a light source, but a different type of light source (for example, a discharge lamp such as a mercury lamp or a metal halide lamp or a semiconductor laser) may be used. In the above-described embodiment, the lens unit is directly connected to the light source unit. Alternatively, the lens unit may be connected to the light source unit through a light guide such as a bundle fiber.

또, 상기한 실시형태는 마커 홈(36)이 중간 경통부(30)의 측면에 있어서의 Z축 방향(조사광의 장경 방향)의 양단에 형성된 구성이지만, 편측단에만 마커 홈을 형성한 구성으로 해도 된다. 또, 마커 홈(36)을 중간 경통부(30)의 측면에 있어서의 Y축 방향(조사광의 단경 방향)의 적어도 일단에 형성하는 구성으로 해도 된다.In the above embodiment, the marker grooves 36 are formed at both ends in the Z-axis direction (long diameter direction of the irradiation light) on the side surface of the intermediate barrel section 30, but even if the marker grooves are formed only on the one- do. The marker grooves 36 may be formed on at least one end in the Y-axis direction (the radial direction of the irradiated light) on the side surface of the intermediate barrel section 30.

1…UV 조사 장치
10…입사측 경통부
20…제1 렌즈
30…중간 경통부
32…돌출부
34…홈
36…마커 홈
40…제2 렌즈
50…출사측 경통부
100…본체 유닛
120…렌즈 유닛
121…경통
140…광원 유닛
141…케이싱
142…LED 소자
160…케이블
200…전원 유닛
300…연결 블록
310…관통 구멍
330…마커 홈
1000…조사 모듈
F20, F40…초선
Rn…내경(돌출부)
Rw…내경(절결부)One… UV irradiation device
10 ... Incoming side
20 ... The first lens
30 ... Intermediate cylinder section
32 ... projection part
34 ... home
36 ... Marker home
40 ... The second lens
50 ... [0031]
100 ... Body unit
120 ... Lens unit
121 ... Barrel
140 ... The light source unit
141 ... Casing
142 ... LED element
160 ... cable
200 ... Power unit
300 ... Connection block
310 ... Through hole
330 ... Marker home
1000 ... Investigation module
F 20 , F 40 ... First line
Rn ... Inner diameter (projection)
Rw ... Inner diameter (cutout)

Claims (14)

입사한 광속을 집광하여, 라인 형상의 조도 분포를 가지는 조명광을 출사하는 렌즈 유닛으로서,
각각 제1면에 볼록 렌즈면이 형성된 실린드리컬 렌즈인 제1 및 제2 렌즈와,
상기 제1 및 상기 제2 렌즈를 상기 볼록 렌즈면끼리가 소정의 거리를 두고 대향하고, 또한 각 광축이 일치하도록 유지하는 경통
을 구비하고,
상기 경통은 상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 초선이 상기 광축에 수직인 제1방향을 향하도록 각 렌즈의 상기 볼록 렌즈면의 선단부와 끼워 맞춰지고, 각 렌즈의 회전을 규제함과 아울러 각 렌즈를 위치 결정하는 중간 경통부를 구비하고,
상기 중간 경통부의 외주면에는 상기 광축을 통과하여, 상기 제1방향 또는 상기 광축 및 상기 제1방향에 수직인 상기 제2 방향으로 연장되는 직선 상의 적어도 1개소에 마커가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.A lens unit for condensing an incident light beam and emitting illumination light having a line-shaped illumination distribution,
A first lens and a second lens which are cylindrical lenses each having a convex lens surface formed on a first surface thereof,
Wherein the first lens and the second lens are arranged such that the convex lens surfaces face each other with a predetermined distance therebetween,
And,
Wherein the barrel is fitted with the tip end of the convex lens surface of each lens so that the super-lines of the first and second lenses are directed in a first direction perpendicular to the optical axis, and the rotation of each lens is regulated, And an intermediate lens barrel portion for positioning the lens barrel,
And a marker is formed on an outer circumferential surface of the intermediate barrel section at at least one position on a straight line passing through the optical axis and extending in the first direction or in the second direction perpendicular to the optical axis and the first direction. unit. 제 1 항에 있어서, 상기 중간 경통부가 이 중간 경통부의 내주면으로부터 중심축을 향하여 돌출하는 돌출부를 가지고,
상기 돌출부에는 상기 광축을 통과하여 상기 제1 방향으로 연장되는 직선 상에, 상기 광축을 끼우고 한 쌍의 절결부가 설치되어 있고,
상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 상기 볼록 렌즈면의 선단부가 각각 상기 한 쌍의 절결부에 끼워 넣는 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.2. The apparatus according to claim 1, wherein the intermediate barrel section has a protrusion protruding from the inner peripheral surface of the intermediate barrel section toward the central axis,
The projecting portion is provided with a pair of notches on the straight line passing through the optical axis and extending in the first direction and sandwiching the optical axis,
And the front ends of the convex lens surfaces of the first and second lenses are fitted in the pair of notches, respectively. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 및 상기 제2 렌즈가 각각 원기둥 형상의 측면을 가지고,
상기 중간 경통부가 상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 외경보다 약간 내경이 넓은 내주면을 가지는 원통 형상이며, 상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 상기 볼록 렌즈면측의 적어도 일부를 각각 이 중간 경통부의 중공부 내에 수용하고,
상기 돌출부가 상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 외경보다 좁은 내경을 가지는 원환 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.3. The zoom lens according to claim 2, wherein the first and second lenses each have a cylindrical side surface,
Wherein the intermediate lens barrel is in the shape of a cylinder having an inner peripheral surface slightly larger in outer diameter than the outer diameters of the first and second lenses and at least a part of the convex lens surface side of the first lens and the second lens, Lt; / RTI >
Wherein the protruding portion is formed in an annular shape having an inner diameter narrower than an outer diameter of the first and second lenses. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 중간 경통부의 내주면에는, 상기 광축을 끼운 상기 제1 방향의 양측에, 상기 광축 방향의 일단으로부터 상기 돌출부를 횡단하여 상기 광축 방향으로 연장되는 한 쌍의 홈이 형성되어 있고, 이 한 쌍의 홈을 형성함으로써, 상기 돌출부에 상기 한 쌍의 절결부가 설치된 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.The optical device according to claim 2 or 3, wherein an inner peripheral surface of the intermediate barrel portion is provided with a pair of grooves extending in the optical axis direction from one end in the optical axis direction to both sides in the first direction sandwiching the optical axis, And the pair of notches are formed in the projecting portion by forming the pair of grooves. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 마커가 상기 광축 방향으로 연장되는 마커 홈인 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.The lens unit according to claim 1 or 2, wherein the marker is a marker groove extending in the optical axis direction. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1 및 상기 제2 렌즈의 외경이 동일한 것을 특징으로 하는 렌즈 유닛.The lens unit according to claim 1 or 2, wherein the first and second lenses have the same outer diameter. 광원 유닛과,
상기 광원 유닛이 출사한 광속을 상기 제2 방향으로 집광하는 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 렌즈 유닛
을 구비하고, 상기 제1 방향으로 긴 라인 형상의 조사 영역을 가지는 조사광을 생성하는 것을 특징으로 하는 광조사 유닛.A light source unit,
The lens unit according to claim 1 or 2, which condenses the light beam emitted from the light source unit in the second direction
, And generates irradiation light having a long line-shaped irradiation region in the first direction. 제 7 항에 있어서, 상기 광원 유닛이 2차원 배열된 복수의 LED 소자를 구비한 것을 특징으로 하는 광조사 유닛.8. The light irradiation unit according to claim 7, wherein the light source unit comprises a plurality of LED elements arranged two-dimensionally. 제 7 항에 있어서, 상기 광원 유닛이 상기 제1 및 상기 제2 방향에 각각 평행한 두 변을 가지는 직사각형 형상의 발광면을 구비한 것을 특징으로 하는 광조사 유닛.The light irradiation unit according to claim 7, wherein the light source unit has a rectangular light emitting surface having two sides parallel to the first and second directions, respectively. 제 7 항에 기재된 광조사 유닛을 복수 구비하고,
상기 복수의 광조사 유닛은 상기 광축을 서로 평행하게 하여 상기 제1 방향으로 소정 간격으로 배열되어 있고,
상기 소정 간격은 상기 광조사 유닛의 조사광의 조사 영역에 있어서의 상기 제1 방향의 전체폭의 절반값과 동일한 길이인 것을 특징으로 하는 광조사 장치.A light emitting device comprising a plurality of light irradiation units according to claim 7,
Wherein the plurality of light irradiation units are arranged at predetermined intervals in the first direction with the optical axes parallel to each other,
Wherein the predetermined interval is equal to a half value of the entire width of the first direction in the irradiation area of the irradiation light of the light irradiation unit. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6139450B2 (en) * 2014-03-27 2017-05-31 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 Light irradiation unit and light irradiation device
JP6125456B2 (en) * 2014-03-31 2017-05-10 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 Light irradiation unit
CN104483816B (en) * 2014-12-19 2016-10-26 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 A kind of class critical illumination system for extreme ultraviolet photolithographic
KR200490462Y1 (en) * 2017-09-15 2019-11-14 이태호 Projection-typed Luminescent Display Apparatus adaptable for billiard table

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006139874A (en) 2004-11-12 2006-06-01 Konica Minolta Opto Inc Lens unit and optical pickup device
JP2007097177A (en) 2005-09-28 2007-04-12 Xerox Corp Image forming apparatus with haptic interface
JP2010097177A (en) 2008-09-19 2010-04-30 Mitsubishi Electric Corp Light source unit and image display apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2044353U (en) * 1988-12-30 1989-09-13 大连医学院 Multi-purpose jionter for endoscope camera
JP2007027295A (en) 2005-07-14 2007-02-01 Ushio Inc Uv-ray irradiator
JP2008090260A (en) * 2006-09-07 2008-04-17 Seiko Epson Corp Ultraviolet-light irradiation device and manufacturing apparatus for optical device
JP4741017B2 (en) * 2008-09-22 2011-08-03 三菱電機株式会社 Light source unit and image display device
JP2010097178A (en) * 2008-09-22 2010-04-30 Mitsubishi Electric Corp Light source unit and image display apparatus
JP3151132U (en) * 2009-03-30 2009-06-11 扶桑電機工業株式会社 Line irradiation type ultraviolet irradiation device
JP2011175058A (en) * 2010-02-24 2011-09-08 Kyocera Mita Corp Optical scanner and image forming apparatus
WO2012011166A1 (en) * 2010-07-20 2012-01-26 株式会社 アルバック Light irradiation device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006139874A (en) 2004-11-12 2006-06-01 Konica Minolta Opto Inc Lens unit and optical pickup device
JP2007097177A (en) 2005-09-28 2007-04-12 Xerox Corp Image forming apparatus with haptic interface
JP2010097177A (en) 2008-09-19 2010-04-30 Mitsubishi Electric Corp Light source unit and image display apparatus

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