KR101594054B1 - Heat treatment apparatus - Google Patents

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토시타카 후지타
노리히데 후지야마
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Abstract

열처리장치(10)는 순환팬(32), 히터(34), 셔터(14), 유로형성부재(20) 및 안내판(38)을 구비한다. 셔터(14)는 복수의 셔터편(141~146)로 구성되어 있어, 화로본체에 설치된 화로구의 일부를 차지하는 영역을 선택적으로 개폐한다. 유로형성부재(20)는 셔터편(142~145)에 각각 설치할 수 있다. 유로형성부재(20)는 셔터편(142~145)의 화로본체 내부에 대향하는 이면을 따라 수평방향으로 흐르고 또한 윗쪽으로 개방된 순환공기의 경로를 형성하도록 구성된다. 안내판(38)은 순환 팬(32)에 의해 발생한 순환공기를 유로형성부재(20)의 일단부로 안내한다.The heat treatment apparatus 10 includes a circulation fan 32, a heater 34, a shutter 14, a flow path forming member 20 and a guide plate 38. The shutter 14 is composed of a plurality of shutter pieces 141 to 146 and selectively opens and closes a region occupying a part of the furnace aperture provided in the furnace main body. The flow path forming member 20 can be provided on the shutter pieces 142 to 145, respectively. The flow path forming member 20 is configured to form a path of circulating air that flows horizontally along the back surface opposite to the inside of the main body of the shutter pieces 142 to 145 and also opens upward. The guide plate (38) guides the circulating air generated by the circulating fan (32) to one end of the flow path forming member (20).

열처리장치, 순환팬, 히터, 셔터, 유로형성부재, 안내판 A heat treatment apparatus, a circulating fan, a heater, a shutter, a flow path forming member,

Description

열처리장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}[0001] HEAT TREATMENT APPARATUS [0002]

본 발명은 화로본체의 내부를 순환시킨 열풍에 의해 화로본체 내부에 배치된 가공물을 가열하도록 구성된 열풍순환식의 열처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hot air circulation type heat treatment apparatus configured to heat a workpiece disposed inside a furnace body by hot air circulating the inside of the furnace body.

열처리장치의 한 유형으로서 열풍순환식 열처리장치가 있다. 열풍순환식 열처리장치는 통상 순환팬에 의해 순환공기를 생성하고, 이 순환공기를 히터로 가열함으로써 순환하는 열풍을 발생시키고, 이 순환하는 열풍에 의해 화로본체 내부의 가공물을 가열하도록 구성된다. 그리고, 이러한 열풍순환식 열처리장치로 가공물을 균일하게 가열하기 위해, 열풍의 순환 경로에 대한 설계를 여러가지로 하는 창의적인 연구가 진행되어왔다.One type of heat treatment apparatus is a hot air circulation type heat treatment apparatus. In the hot air circulation type heat treatment apparatus, circulating air is generally generated by a circulating fan, and hot air circulating by heating the circulating air with a heater is generated, and the work inside the furnace main body is heated by the circulating hot air. In order to uniformly heat workpieces with such a hot-air circulation type heat treatment apparatus, various researches have been made to design various circulation paths of hot air.

그런데, 열풍의 순환 경로가 적절하게 구축되어 있는 경우에도, 화로구 측에서의 방열 때문에 화로본체 내부에 있어서 화로구 근방의 온도가 다른 영역보다 낮아져 화로본체 내부에 온도차이가 발생하는 문제가 생긴다.However, even if the circulation path of the hot air is appropriately constructed, the temperature in the vicinity of the furnace inside the furnace body becomes lower than that of the other furnace inside due to the heat radiation from the furnace side, thereby causing a problem of temperature difference inside the furnace body.

종래기술 중에는 열처리실의 양측단에 설치된 취출판 및 흡입판의 화로구 부 근의 개구비율을 높게 하는 한편, 화로구 부근이외의 개구비율을 낮춤으로써, 열풍의 양이 화로구 부근으로 많아지게 하는 열처치 장치가 존재한다(예를 들면, 일본특허공개공보 제2004-251534호 참조). 그리고, 이 기술에 따르면 셔터로부터의 방열에 기인하는 화로구 부근의 온도저하 영향을 경감할 수 있다라고 하고 있다.In the prior art, the opening ratios of the furnace rods of the blanket and suction plates provided at both ends of the heat treatment chamber are increased while the opening ratios other than the vicinity of the furnace are lowered so that the amount of hot air is increased to the vicinity of the furnace There is a thermal treatment apparatus (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-251534). According to this technique, it is possible to reduce the influence of the temperature drop in the vicinity of the furnace caused by the heat radiation from the shutter.

상술의 특허문헌에 따른 기술에 있어서, 셔터 개폐시에 화로본체의 내부에 진입한 외기가 가공물까지 도달하는 것을 방지하기 위해서는, 화로구 부근에서의 열풍의 양을 충분히 증가시킬 필요가 있다. 그런데, 열풍의 양을 증가시키기 위해서는 강력한 히터나 강력한 순환 팬이 필요하기 때문에, 부품 가격이 높아지는 것 뿐만아니라 소비 전력이 커지는 문제가 생길 수 있다.It is necessary to sufficiently increase the amount of hot air in the vicinity of the furnace in order to prevent the outside air entering into the furnace body from reaching the workpiece at the time of shutter opening and closing. However, in order to increase the amount of hot air, a powerful heater or a strong circulating fan is required, so that not only the cost of parts is increased but also the power consumption is increased.

본 발명의 목적은 셔터의 개폐시에 화로본체 내부에 진입한 외기가 가공물에 닿는 것을 간단한 구성으로 방지하고, 외기의 진입에 의한 화로내 온도 저하를 억제함으로써 화로내 온도차이를 없애서 균일하게 할 수 있는 열처리장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to prevent the outside air entering the inside of the furnace main body from touching the workpiece at the time of opening and closing of the shutter with a simple structure and to suppress the temperature drop in the furnace due to the entry of outside air, And to provide a heat treatment apparatus.

본원발명에 따른 열처리장치는, 화로본체의 내부를 순환시킨 열풍에 의해 화로본체 내부의 열처리부에 상하 다단으로 지지된 판형태의 가공물을 가열하도록 구성된 열처리장치다. 이 열처리장치는 순환팬, 히터, 셔터, 유로형성부재 및 안내부재를 구비한다.A heat treatment apparatus according to the present invention is a heat treatment apparatus configured to heat a workpiece in a plate shape supported by upper and lower ends of a heat treatment unit inside a furnace body by hot air circulated inside the furnace body. This heat treatment apparatus includes a circulating fan, a heater, a shutter, a flow path forming member, and a guide member.

순환팬은 화로본체의 내부에 순환공기를 발생시키도록 구성된다. 히터는 화로본체의 내부의 순환공기를 가열하도록 구성된다.The circulating fan is configured to generate circulating air inside the furnace body. The heater is configured to heat the circulating air inside the furnace body.

셔터는 서로 이간 또는 접촉할 수 있게 구성된 복수의 셔터편을 구비한다. 셔터는 이웃하는 2개의 셔터편을 이간 또는 접촉시킴으로써 화로본체의 일측면에 마련되어져, 각 단의 가공물을 출납할 수 있게 하는 화로구의 일부를 차지하는 영역으로서 출납 되는 가공물의 하나 이상의 단에 대응하는 수평방향으로 긴 형상의 영역을 선택적으로 개폐하도록 구성된다.The shutters have a plurality of shutter pieces configured to be spaced apart or in contact with each other. The shutter is provided on one side of the furnace main body by causing two adjacent shutter pieces to be separated or brought into contact with each other so as to form a horizontal portion corresponding to one or more ends of the workpiece And selectively open and close the area of the long shape in the direction of the arrow.

유로형성부재는 복수의 셔터편의 적어도 일부에 각각 설치될 수 있다. 유로형성부재는 복수의 셔터편 모두에 각각 설치하는 것이 바람직하지만, 화로본체 구조상의 이유로 일부에 유로형성부재를 달 수 없는 셔터편이 생길 경우에도 본 발명을 실시할 수 있다. 또한, 유로형성부재는 셔터편의 화로본체 내부에 대향하는 이면을 따라 수평방향으로 흐르고 또한 윗쪽으로 개방된 순환공기의 경로를 형성하도록 구성된다. 여기에서, 순환공기의 경로를 윗쪽으로 개방시키는 이유는 외기가 화로본체 내부의 공기와 비교하여 온도가 낮으므로 화로에 진입한 후에 강하하는 것을 고려하여 외기가 가공물에 도달하기 전에 이를 보충할 수 있도록 하기 위해서이다. 구체적으로, 유로형성부재는 상기 셔터편의 이면에 대해서 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 대향하는 측벽부와, 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 상기 셔터편의 하부와 상기 측벽부의 하부를 연결하는 저부를 구비한다. 또한 상기 유로형성부재는 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 상기 측벽부의 상부와 상기 셔터편의 상부와의 사이가 단면으로 볼 때 열린 형상이다. 상하에 인접하는 셔터편들이 접촉했을 때, 상방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재의 저부가, 하방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재에 의한 순환공기 경로의 상면을 형성한다. 상하에 인접하는 셔터편들이 이간했을 때, 하방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재에 의한 순환공기의 경로가 위쪽으로 개방되도록 구성되는 것이 바람직하다.The flow path forming member may be provided at least on each of the plurality of shutter pieces. It is preferable that the flow path forming member is provided on each of the plurality of shutter pieces, but the present invention can be also applied to a case in which a shutter piece that can not give a flow path forming member to a part is generated for reasons of the furnace body structure. Further, the flow path forming member is configured to form a path of circulating air that flows horizontally along the rear surface opposite to the inside of the main body of the shutter member and also opens upward. Here, the reason why the circulating air path is opened upward is that the outside air is lower in temperature than the air inside the furnace body, so that it may fall after entering the furnace, so that the outside air can be supplemented before reaching the workpiece . Specifically, the flow path forming member includes a sidewall portion opposed to both sides in the horizontal direction of the shutter piece with respect to the back side of the shutter piece, and a bottom portion connecting the lower portion of the shutter piece and the lower portion of the sidewall portion, Respectively. The flow path forming member is open when viewed in cross section between an upper portion of the side wall portion and an upper portion of the shutter member over both end portions in the horizontal direction of the shutter piece. When the shutter pieces adjacent to the upper and lower sides come into contact with each other, the bottom of the flow path forming member provided on the upper shutter piece forms the upper surface of the circulating air path formed by the flow path forming member provided on the lower shutter piece. The path of the circulating air by the flow path forming member provided on the lower shutter piece is opened upward when the shutter pieces adjacent to the upper and lower sides are separated from each other.

안내부재는 순환팬으로 발생한 순환공기를 상기 유로형성부재에 의해 형성되는 경로의 일단측으로 안내한다. 안내부재의 작용에 의해, 순환팬으로부터 나오는 열풍이 유로형성부재에 의해 형성되는 순환공기의 경로로 인도된다.The guide member guides the circulating air generated in the circulating fan to one end side of the path formed by the flow path forming member. By the action of the guide member, the hot air from the circulating fan is guided to the path of the circulating air formed by the flow path forming member.

이 구성에 있어서, 셔터편의 이면을 따라 수평으로 흐르는 열풍의 유로가 각 셔터편의 이면측에 각각 구축된다. 즉, 셔터의 이면측에 사이드 플로우의 열풍 커튼이 구축된다. 게다가, 유로형성부재에 의해 열풍의 유로가 구분(획정)되어 있기 때문에, 유로형성부재 내의 열풍의 유속을 국소적으로 증가시킬 수 있게 된다. 또한, 유로형성부재가 윗쪽으로 개방된 순환공기의 경로를 형성하기 때문에, 강하하는 냉기를 유로형성부재 내에 포착하기가 쉽다. 그리고, 포착한 냉기를 경로 내의 순환공기 흐름에 태워서 재빠르게 열처리부 밖으로 내보낼 수 있다.In this configuration, a flow path of hot air flowing horizontally along the back side of the shutter piece is formed on the back side of each shutter piece. That is, a hot air curtain of the side flow is formed on the back side of the shutter. In addition, since the flow path of hot air is defined by the flow path forming member, the flow velocity of hot air in the flow path forming member can be locally increased. Further, since the flow path forming member forms the path of the circulated air that is opened upward, the falling cool air is easily captured in the flow path forming member. Then, the captured cool air can be burned in the circulating air flow in the path and quickly released from the heat treatment unit.

이 때문에 가공물의 출납시 차가운 외기가 화로내에 진입했을 경우에도 이 외기가 유로형성부재 내부를 흐르는 열풍 속에 흡수되기 때문에, 이 외기가 가공물 에 도달하는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 유로형성부재 내의 열풍의 유속을 국소적으로 증가시킬 수 있기 때문에, 히터나 순환팬을 보다 강력한 것으로 대체하지 않아도 화로구 부근에서 열풍의 속도를 충분히 증가시킬 수 있다.Therefore, even when the cold outside air enters the furnace at the time of inserting the workpiece, the outside air is absorbed in the hot air flowing inside the flow path forming member, so that the outside air can be prevented from reaching the workpiece. In addition, since the flow rate of the hot air in the flow path forming member can be locally increased, the speed of the hot air can be sufficiently increased in the vicinity of the furnace without replacing the heater or the circulating fan with a stronger one.

그 결과, 외부의 찬 공기가 화로내에 빨려 들어와서, 온도를 올리는 중에 그리고 온도를 올리는 것을 완료한 후에 가공물의 온도가 일부 떨어짐으로써, 유리기판 전체의 온도분포가 불균일하게 되는 불량을 막을 수 있다.As a result, it is possible to prevent defects such that the temperature distribution of the entire glass substrate becomes uneven due to the external cold air sucked into the furnace, and the temperature of the workpiece is partially lowered while the temperature is raised and after the temperature is raised.

또한, 유로형성부재는 순환공기 경로의 저부에 화로본체 안쪽으로 내려가는 경사부를 형성되는 것이 바람직하다. 그 이유는 유로형성부재 내로 들어온 냉기가 유로형성부재로부터 흘러나와 그 외의 부분, 즉 열처리부 내로 달아나기가 어려워지기 때문이다. 이 구성을 채용함으로써, 유로형성부재에 의해 형성되는 순환공기의 경로가 보다 깊어지기 때문에, 일단 유로형성부재 내로 들어간 냉기가 넘치는 것을 방지할 수 있다.It is also preferable that the flow path forming member is formed with an inclined portion that descends into the furnace body at the bottom of the circulating air path. This is because the cold air entering the flow path forming member flows out of the flow path forming member and escapes to other portions, that is, into the heat treatment portion. By employing this configuration, the path of the circulating air formed by the flow path forming member becomes deeper, so that it is possible to prevent the cold air once entering the flow path forming member from overflowing.

유로형성부재쪽으로 향하는 순환공기의 풍속이, 열처리부쪽으로 향하는 순환공기의 풍속보다 커지도록 풍속조정을 하는 풍속조정부재를 더 구비하는 것이 바람직하다. 풍속조정부재의 예로서, 내뿜는 측의 풍량을 개구비율에 의해 조정하는 취출판이나, 빨아들이는 측의 흡입량을 개구비율에 의해 조정하는 흡입판이 있다. 이러한 구성을 사용함으로써, 유로형성부재 내 열풍의 유속을 국소적으로 증가시키는 것이 쉬워진다. It is preferable to further include an air speed adjusting member for adjusting the air speed so that the air velocity of the circulating air directed toward the flow path forming member becomes larger than the air velocity of the circulating air directed toward the heat treatment unit. As an example of the wind speed adjusting member, there is a suction plate for adjusting the air volume on the blowing side by the opening ratio, and a suction plate for adjusting the suction amount on the sucking side by the opening ratio. By using such a configuration, it becomes easy to locally increase the flow rate of the hot air in the flow path forming member.

본 발명에 따르면 셔터의 개폐시에 화로본체의 내부에 진입한 외기가 가공물에 닿는 것을 간단한 구성으로 방지하고, 외기의 진입에 의한 온도저하를 억제함으 로써, 화로 내 온도차이를 없애서 균일하게 할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to prevent the outside air entering the inside of the furnace body at the time of opening and closing the shutter with a simple configuration and suppress temperature drop due to entering of the outside air, .

본 발명의 열처리장치에 의하면, 간단한 구성으로 열풍을 효율적으로 사용하여 제조 가격 및 전력소모량을 절감할 수 있다.According to the heat treatment apparatus of the present invention, it is possible to efficiently use hot air with a simple structure and to reduce the manufacturing cost and power consumption.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열풍순환식 열처리장치(10)의 개략도이다.열처리장치(10)는 가공물로서 유리기판(16)을 서로 간격을 두고 적층해서 수용할 수 있는 열처리부(12)를 구비하는 화로본체(11)를 구비한다. 열처리부(12)에서는 화살표(60)로 가리키는 방향으로 열풍이 흐로도록 하여 이 열풍으로 유리기판(16)을 가열한다.1 is a schematic view of a hot air circulation type heat treatment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. The heat treatment apparatus 10 includes a heat treatment unit 12 And a furnace main body 11 provided with the furnace body 11. In the heat treatment section 12, hot air flows in a direction indicated by the arrow 60, and the glass substrate 16 is heated by this hot air.

화로본체(11)의 아래쪽에는 열처리부(12)의 동작을 제어하도록 구성된 제어부(도시 안함)가 배치되어 있다. 열처리장치(10)의 화로본체(11)의 화로구에는 열처리부(12)에 대하여 유리기판(16)을 출납할 때 개폐하도록 구성된 셔터(14)가 설치되어 있다.A control section (not shown) configured to control the operation of the heat treatment section 12 is disposed below the furnace main body 11. The furnace of the furnace body 11 of the heat treatment apparatus 10 is provided with a shutter 14 which is configured to open and close the glass substrate 16 when the glass substrate 16 is put in and out of the furnace 12.

도 2에 도시된 것처럼, 셔터(14)는 복수의 셔터편(141~146)으로 구성되어 있다. 복수의 셔터편(141~146)은 각각 수직방향으로 뻗어나가는 축에 상하방향으로 이동할 수 있게 지지되어 있어, 각각 서로 독립적으로 올라가고 내려가도록 구성되어 있다.As shown in Fig. 2, the shutter 14 is composed of a plurality of shutter pieces 141-146. The plurality of shutter pieces 141 to 146 extend in the vertical direction, respectively, and are supported so as to be movable up and down on a small axis, so that they are independently raised and lowered.

또한, 셔터편(142~145)의 이면에는 셔터(14)의 이면을 따라 수평으로 흐르는 열풍의 유로를 획정하는 유로형성부재(20)를 설치할수 있다. 또한 열처리부(12)의 상부 및 저면에는 셔터(14)와 평행하고 그리고 수평방향으로 배치된 차풍판(18, 19)이 설치되어 있다.On the rear surface of the shutter pieces 142 to 145, a flow path forming member 20 for defining a flow path of hot air flowing horizontally along the back surface of the shutter 14 can be provided. On the upper and lower surfaces of the heat treatment section 12, car windshields 18 and 19 arranged parallel to the shutter 14 and arranged in the horizontal direction are provided.

도 3은 유로형성부재(20)의 개략도이다. 이하 셔터편(142~145)을 대표해서 셔터편(145)의 이면에 설치된 유로형성부재(20)에 대해서 설명하고, 셔터편(142~144)의 이면에 설치된 유로형성부재(20)에 대해서는 구성이 동일하므로 설명을 생략하기로 한다.3 is a schematic view of the flow path forming member 20. The flow path forming member 20 provided on the back surface of the shutter piece 145 on the basis of the shutter pieces 142 to 145 will be described below and the flow path forming member 20 provided on the back surface of the shutter pieces 142 to 144 The description is omitted.

유로형성부재(20)는 금속판을 변형시켜 소정의 형상으로 가공하여 이루어지는 판금부재(202)와, 판금부재(202)의 상부를 셔터편(145)에 연결하는 동시에 유로형성부재(20)를 보강하는 2개의 브라켓(22)을 구비한다. 판금부재(202)의 소재로서 예를 들면 스텐레스판을 들 수 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.The flow path forming member 20 includes a sheet metal member 202 formed by deforming a metal plate into a predetermined shape and a plate member 202 connecting the upper portion of the sheet metal member 202 to the shutter piece 145 and reinforcing the flow path forming member 20 And two brackets (22). The material of the sheet metal member 202 may be, for example, a stainless steel sheet, but is not limited thereto.

도 4a 및 도 4b에 도시된 것처럼 판금부재(202)는 셔터편(145)에 고착된 고착부(203), 순환 열풍의 경로의 저면을 획정하는 저부(204) 및 저부(204)로부터 수직으로 뻗어나가는, 순환 열풍 경로의 측면을 획정하는 측벽부(206)로 구성된다.4A and 4B, the sheet metal member 202 includes a fixing portion 203 fixed to the shutter piece 145, a bottom portion 204 defining a bottom surface of the path of the circulating hot air, And a sidewall portion 206 for defining a side surface of the circulating hot air path extending.

고착부(203)는 셔터편(145)을 구성하는 프레임부재에 비스(vis, 나사)고정 등의 방법으로 고정된다. 저부(204)에는 화로본체(11)의 안쪽을 향해 내려가도록 형성된 경사부가 배치되어 있다. 이 경사부를 마련한 이유는 순환 열풍의 경로에 깊게 쑥 들어간 부분을 마련함으로써 외기가 측벽부(206)를 넘어 열처리부(12)로 들어가는 문제가 일어나기 어렵게 하기 위해서이다. 측벽부(206)는 외기가 열처리 부(12)에 진입하는 것을 방지하는 차풍판으로 할 수도 있다.The fixing portion 203 is fixed to a frame member constituting the shutter piece 145 by a method such as fixing screws or screws. The bottom portion 204 is provided with an inclined portion formed so as to descend toward the inside of the furnace body 11. [ The inclined portion is provided so as to prevent the problem of entering the heat treatment unit 12 beyond the side wall portion 206 by providing a deeply protruding portion in the path of the circulating hot air. The side wall portion 206 may be a car windshield for preventing the outside air from entering the heat treatment portion 12. [

상술한 바와 같이, 셔터편(145)에 판금부재(202)를 설치함으로써, 셔터편(145)의 이면, 저부(204) 및 측벽부(206)로 둘러싸인, 즉 단면으로 보았을 때 U자 형상의 윗쪽으로 개방된 풍동이 형성된다.As described above, by providing the sheet metal member 202 on the shutter piece 145, the rear surface of the shutter piece 145 is surrounded by the bottom portion 204 and the side wall portion 206, that is, a U- An open top wind tunnel is formed.

도 5a 및 도 5b는 화로본체(11) 내부에 있어서 열풍의 순환 경로의 한 예를 나타낸다. 도 5a는 열처리장치(10)의 측면도이며, 도 5b는 열처리장치(10)의 평면도이다. 열처리장치(10)는 화로본체(11) 내부에 순환공기를 발생시키도록 구성된 복수의 순환팬(32) 및 화로본체(11) 내부의 순환공기를 가열하도록 구성된 복수의 히터(35)를 구비한다.5A and 5B show an example of the circulation path of the hot air inside the furnace main body 11. As shown in Fig. 5A is a side view of the heat treatment apparatus 10, and FIG. 5B is a plan view of the heat treatment apparatus 10. As shown in FIG. The heat treatment apparatus 10 includes a plurality of circulating fans 32 configured to generate circulating air in the furnace main body 11 and a plurality of heaters 35 configured to heat the circulating air in the furnace main body 11 .

순환팬(32)으로부터 불어나오는 열풍은 필터(34)(예를 들면, HEPA필터)를 통과하여 열처리부(12)로 인도되고, 열처리부(12)로부터 상부 및 하부의 순환 경로를 경유하여 순환팬(32)이 배치된 곳으로 돌아온다. 또한, 도 5b에 도시된 것처럼 순환팬(32)으로부터 불어나오는 열풍의 일부는 필터(34)를 통과한 후 수직방향으로 설치된 안내판(38)에 의해 유로형성부재(20)의 일단부로 안내된다. 또한, 유로형성부재(20)의 흡입측 단부근방에는 위아래로 뻗어나가는 차풍판(36)이 설치되어 있다. 차풍판(36), 차풍판(18) 및 차풍판(19)에 의해, 유로형성부재(20)와 흡입구의 틈을 막고, 유로형성부재(20)에 의해 획정된 열풍의 순환 경로의 흡입량의 증가를 도모하고 있다.The hot air blowing from the circulating fan 32 passes through the filter 34 (for example, a HEPA filter) and is led to the heat treatment section 12 and circulates from the heat treatment section 12 via the upper and lower circulation paths And returns to the place where the fan 32 is disposed. 5B, part of the hot air blowing from the circulating fan 32 is guided to one end of the flow path forming member 20 by the guide plate 38 provided in the vertical direction after passing through the filter 34. [ Further, a diaphragm 36 extending upward and downward is provided near the suction-side end portion of the flow path forming member 20. The gap between the flow path forming member 20 and the inlet port is closed by the car plate 36, car plate 18 and car plate 19 so that the amount of suction of the hot air circulation path defined by the channel forming member 20 .

또한, 도 6에 도시된 것 처럼, 화로본체(11) 내부에는 취출판(42) 및 흡입판(40)이 설치되어 있다. 취출판(42)은 화로구 부근의 개구비율이 크고(예를 들면, 80~100%), 화로구 부근을 제외한 부분의 개구비율이 작게(예를 들면, 20~60%) 되도록 구성되어 있다. 마찬가지로 흡입판(40)에 대해서도 화로구 부근의 개구비율이 크고(예를 들면, 80~100%), 화로구 부근을 제외한 부분의 개구비율이 작게(예를 들면, 6~18%) 되도록 구성되어 있다. 개구비율은 취출판(42) 및 흡입판(40)에 형성된 관통구멍의 크기나 수를 조정함으로써 조정된다. 본 실시예에서는 유로형성부재(20)에 의해 획정되는 열풍의 순환 경로 상류 및 하류에는, 취출판(42) 및 흡입판(40)을 배치하지 않도록 하고 있다(개구비율 100%). 단, 여기에서 표시하는 개구비율은 단지 하나의 예일뿐, 다른 구성을 사용할 수도 있다.Further, as shown in Fig. 6, a bake tray 42 and a suction plate 40 are installed in the furnace main body 11. As shown in Fig. The blanking plate 42 is configured such that the opening ratio in the vicinity of the furnace is large (for example, 80 to 100%) and the opening ratio in the portion excluding the furnace is small (for example, 20 to 60%) . Similarly, with respect to the suction plate 40, the opening ratio in the vicinity of the furnace passage is made large (for example, 80 to 100%) and the opening ratio in the portion excluding the furnace passage is made small (for example, 6 to 18% . The opening ratio is adjusted by adjusting the size and the number of the through holes formed in the blanket plate 42 and the suction plate 40. In the present embodiment, the air baffle plate 42 and the suction plate 40 are not disposed upstream and downstream of the hot air circulation path defined by the flow path forming member 20 (opening ratio is 100%). However, the aperture ratio shown here is only one example, and other configurations may be used.

또한, 흡입측 화로내 중앙부에는 차풍판(44)이 배치되고 있어, 취출판(42)의 개구비율이 작은 영역의 상하의 흡입부를 차풍판(44)으로 차단하고 하고 있다. 차풍판(44)을 설치한 이유는 유로형성부재(20) 부근의 흡입량을 화로본체(11)의 다른 부분의 흡입량보다 증가시키기 위함이다.In addition, the car windshield 44 is disposed in the center of the suction side furnace, and the upper and lower suction portions of the region where the opening ratio of the book cover 42 is small are blocked by the car windshield 44. The reason why the car windshield (44) is provided is to increase the suction amount near the flow path forming member (20) beyond the suction amount of the other part of the furnace main body (11).

이상의 구성을 사용함으로써, 유로형성부재(20)로 획정된 열풍의 순환 경로의 풍속을 국소적으로 증가시킬 수 있게 된다. 또한, 셔터(14)가 개방되었을 때 외기가 진입해도 진입한 외기를 유리기판(16)에 전달되기 전 유로형성부재(20)에서 포착하기 쉬워진다.By using the above-described configuration, it becomes possible to locally increase the air velocity of the hot air circulation path defined by the flow path forming member 20. [ Further, when the shutter 14 is opened, the outside air entering even when entering the outside air can be easily captured by the flow path forming member 20 before being transmitted to the glass substrate 16. [

도 7a 및 도 7b는 셔터(14)를 개방한 상태를 나타내고 있다. 도 7a에 도시된 것처럼 셔터편(145, 146)을 강하시켜 셔터(14)의 일부를 개방하면, 외기가 화로본체(11) 내부에 진입하게 된다. 이 외기는 화로본체(11)의 내부의 공기와 비교하여 온도가 낮기 때문에, 화로본체(11)에 진입할 때 강하하면서 진입하게 된다. 그 결 과 화로본체(11)에 진입한 외기는 유로형성부재(20)의 측벽부(206)에서 차단되어, 유로형성부재(20)에 의해 획정된 열풍의 순환 경로내에 포착된다. 그리고, 도 7b에 도시된 것처럼, 열풍과 함께 흡입측에 흡입되어 순환공기의 일부로서 회수된다.7A and 7B show a state in which the shutter 14 is opened. When the shutter pieces 145 and 146 are lowered to open the shutter 14 as shown in FIG. 7A, the outside air enters the inside of the furnace main body 11. Since the outside air has a lower temperature than the air inside the furnace main body 11, the outside air enters the furnace main body 11 while entering the furnace main body 11. As a result, the outside air entering the furnace main body 11 is blocked by the side wall portion 206 of the flow path forming member 20, and is captured in the circulating path of the hot air defined by the flow path forming member 20. [ Then, as shown in FIG. 7B, it is sucked to the suction side together with the hot air, and is recovered as a part of the circulated air.

이상과 같이, 셔터(14)의 이면에 열풍이 통과하는 열풍순환 경로를 형성하고, 그 열풍순환 경로의 풍속을 국소적으로 올림으로써 외기가 화로본체(11) 내부에 진입했을 경우에도 화로본체(11) 내부에 진입한 거의 모든 외기가 열풍경로에 포착된다. 이 때문에 화로본체(11) 내부에 진입한 차가운 외기가 유리기판(16)까지 도달하게 되는 문제는 거의 발생하지 않게 된다. 이 결과 유리기판(16)의 온도분포의 변화량을 줄일수 있게 된다.As described above, even when the outside air enters the furnace main body 11 by forming a hot air circulation path through which hot air passes on the rear surface of the shutter 14 and locally raising the wind speed of the hot air circulation path, 11) are captured in the hot air path. Therefore, the problem that the cold outside air entering the furnace main body 11 reaches the glass substrate 16 hardly occurs. As a result, the amount of change in the temperature distribution of the glass substrate 16 can be reduced.

상술한 실시예에 대한 설명은 모든 점에서 예시일 뿐 제한적인 것이 아니다. 본 발명의 범위는 상술한 실시예가 아니라 특허청구의 범위에 의해 정해진다. 또한, 본 발명의 범위에는 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서 가능한 모든 변경사항이 포함될 수 있다.The foregoing description of the embodiments is illustrative, but not limiting, in all respects. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims rather than the above-described embodiments. In addition, the scope of the present invention includes all possible modifications within the meaning and range of equivalents of the claims.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열처리장치의 개략도이다.1 is a schematic view of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 열처리장치의 셔터의 개략도이다.2 is a schematic view of the shutter of the heat treatment apparatus.

도 3은 유로형성부재의 개략도이다.3 is a schematic view of the flow path forming member.

도 4a 및 도 4b는 유로형성부재의 개략도이다.4A and 4B are schematic views of the flow path forming member.

도 5a 및 도 5b는 열처리장치에 있어서 열풍의 순환상태를 나타내는 도면이다.5A and 5B are views showing the circulation state of hot air in the heat treatment apparatus.

도 6은 열처리장치에 있어서 열풍의 순환상태를 나타내는 도면이다.6 is a diagram showing the circulation state of hot air in the heat treatment apparatus.

도 7a 및 도 7b는 외기가 유로형성부재내에 포착되는 상태를 나타내는 도면이다.7A and 7B are views showing a state in which outside air is trapped in the flow path forming member.

Claims (3)

화로본체의 내부를 순환하는 열풍에 의해, 화로본체 내부의 열처리부에 상하 여러단으로 지지된 판형 가공물을 가열하도록 구성된 열처리장치에 있어서,A heat treatment apparatus configured to heat a plate-shaped workpiece supported by a plurality of upper and lower stages in a heat treatment section inside a furnace body by hot air circulating inside the furnace body, 상기 화로본체 내부에 순환공기를 발생시키는 순환팬과,A circulation fan for generating circulating air inside the furnace body, 상기 화로본체 내부의 순환공기를 가열하는 히터와,A heater for heating the circulating air in the furnace body, 복수의 셔터편으로 이루어져 있고, 이웃하는 2개의 셔터편을 이간 또는 접촉시킴으로써, 상기 화로본체의 일측면에 설치된 각 단의 가공물의 출납을 가능하게 하는 화로구의 일부를 차지하는 영역으로서 출납되는 가공물의 하나 이상의 단에 대응되는 수평방향으로 긴 형상의 영역을 선택적으로 개폐하도록 구성된 셔터와,One of the work pieces housed and received as an area occupying a part of the furnace mouth allowing the work pieces of each stage installed on one side of the furnace main body to be put in and out by making two adjacent shutter pieces come apart or in contact with each other, A shutter configured to selectively open and close a horizontally elongated area corresponding to the stage; 상기 복수의 셔터편의 적어도 일부에 각각 설치된 유로형성부재로서, 상기 셔터편의 화로본체 내부에 대향하는 이면을 따라 수평방향으로 흐르는 순환공기의 경로를 형성하기 위한 유로형성부재와,A flow path forming member for forming a path of circulating air flowing in a horizontal direction along the back surface facing the inside of the main body in the manner of the shutter piece; 상기 순환팬으로 발생한 순환공기를 상기 유로형성부재에 의해 형성되는 상기 경로의 일단측으로 안내하도록 구성된 안내부재를 구비하고, And a guide member configured to guide the circulating air generated in the circulating fan to one end side of the path formed by the flow path forming member, 상기 유로형성부재는, 상기 셔터편의 이면에 대해서 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 대향하는 측벽부와, 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 상기 셔터편의 하부와 상기 측벽부의 하부를 연결하는 저부를 구비하고,Wherein the flow path forming member includes a side wall portion opposed to both sides in the horizontal direction of the shutter piece with respect to the back side of the shutter piece and a bottom portion connecting the lower portion of the shutter piece and the lower portion of the side wall portion across both ends in the horizontal direction Respectively, 상기 유로형성부재는, 상기 셔터편의 수평방향의 양단부에 걸쳐 상기 측벽부의 상부와 상기 셔터편의 상부와의 사이가 단면으로 볼 때 열린 형상이고,Wherein the flow path forming member has an open shape in cross section between an upper portion of the side wall portion and an upper portion of the shutter member over both end portions in the horizontal direction of the shutter piece, 상하에 인접하는 셔터편들이 접촉했을 때, 상방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재의 저부가, 하방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재에 의한 순환공기 경로의 상면을 형성하고,The lower portion of the flow path forming member provided on the upper shutter piece forms the upper surface of the circulating air path formed by the flow path forming member provided on the lower shutter piece when the upper and lower adjacent shutter pieces come into contact with each other, 상하에 인접하는 셔터편들이 이간했을 때, 하방의 셔터편에 설치된 상기 유로형성부재에 의한 순환공기의 경로가 위쪽으로 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 열처리장치.Wherein when the shutter pieces adjacent to the upper and lower sides are separated from each other, the path of the circulating air by the flow path forming member provided on the lower shutter piece is opened upward. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 유로형성부재는 상기 순환공기의 경로의 저부에 화로본체 안쪽을 향해 내려가는 경사부가 형성되도록 구성된 것을 특징으로 하는 열처리장치.Wherein the flow path forming member is formed at a bottom portion of a path of the circulating air so that an inclined portion descending toward the inside of the furnace body is formed. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 유로형성부재쪽으로 향하는 순환공기의 풍속이 상기 열처리부쪽으로 향하는 순환공기의 풍속보다 커지도록 풍속을 조정하는 풍속조정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리장치.Further comprising an air velocity adjusting member for adjusting the air velocity so that the air velocity of the circulating air toward the flow path forming member becomes larger than the air velocity of the circulating air toward the heat treatment unit.
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