KR101586259B1 - 증착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 증발입자를 증착하기 위한 증착 장치로서, 증착챔버와; 상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 하나의 중심점에서 제1 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제1 기판안착부와; 상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 상기 중심점에서 제2 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제2 기판안착부와; 상기 증착챔버 내부에 배치되고, 상기 중심점을 중심으로 회전하며 상기 제1 기판안착부 또는 상기 제2 기판안착부에 방사 방향으로 상기 기판을 이송하는 기판이송부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다.

Description

증착 장치{Depositon Apparatus}

본 발명은 증착 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 하나의 증착챔버 내에서 복수의 기판에 대한 증착이 수행될 수 있으며 증착챔버 내에 기판을 이송하는 기판이송부를 배치함으로써 증착 장치의 부피를 줄일 수 있고, 증착 장비를 컴팩트하게 구성할 수 있는 증착장치에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.

진공열증착방법에 의하여 유기 박막이나 금속 박막을 형성하기 위한 증착 장치로 클러스터형 증착 장치가 알려져 있다. 클러스터형 증착 장치는 각 유기박막의 증착공정을 진행하기 위한 각각의 증착챔버를 내부에 로봇암이 구비된 트랜스퍼 챔버를 중심으로 클러스터형으로 만들어서 기판에 대한 유기박막을 증착하는 방식이다.

이러한 종래 기술에 따른 유기물의 증착 장치는 기판에 증착을 수행하는 증착챔버와, 증착챔버에 기판을 인입 및 인출하는 로봇암이 구비되는 트랜스퍼 챔버와, 인입되기 위한 기판 및 인출된 기판을 이송시키는 버퍼 챔버 등으로 구성된다. 이와 같이 종래의 유기물의 증착 장치는 다수의 챔버의 결합으로 인해 증착 장치가 대형화되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제2012-0105838호 (2012.09.26 공개)

본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 증착챔버 내에서 복수의 기판에 대한 증착이 수행될 수 있으며 증착챔버 내에 기판을 이송하는 기판이송부를 배치함으로써 증착 장치의 부피를 줄일 수 있고, 증착 장비를 컴팩트하게 구성할 수 있는 증착장치를 제공한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 증발입자를 증착하기 위한 증착 장치로서, 증착챔버와; 상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 하나의 중심점에서 제1 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제1 기판안착부와; 상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 상기 중심점에서 제2 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제2 기판안착부와; 상기 증착챔버 내부에 배치되고, 상기 중심점을 중심으로 회전하며 상기 제1 기판안착부 또는 상기 제2 기판안착부에 방사 방향으로 상기 기판을 이송하는 기판이송부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다.

상기 제1 기판안착부 및 상기 제2 기판안착부에 각각 대향하여 배치되는 제1 증발원 및 제2 증발원을 더 포함할 수 있다.

일단이 상기 증착챔버의 상측 벽을 관통하는 회전축과; 상기 회전축의 타단에 결합되어 상기 회전축을 회전시키는 제1 회전모터와; 상기 회전축의 일단에 결합되며, 상기 기판이송부가 결합되는 지지프레임을 더 포함할 수 있다.

상기 기판이송부는, 상기 지지프레임에 횡방향으로 결합되는 직선 가이드부와; 상기 직선가이부를 따라 직선 이동하는 직선 슬라이더와; 상기 직선 슬라이더에 결합되며, 상기 기판이 안착되는 이송플레이트를 포함할 수 있다.

상기 직선 가이드부는, 상기 지지프레임에 횡방향으로 결합되는 선형의 본체와; 상기 선형의 본체를 따라 결합되며, 상기 직선 슬라이이더를 가이드하는 LM 가이드와; 상기 선형의 본체에 양단이 회전가능하게 결합되며, 상기 직선 슬라이더가 나사결합되는 볼스크류바와; 상기 볼스크류바의 일단에 결합되며, 상기 볼스크류를 회전시키는 제2 회전모터를 포함할 수 있다.

상기 증착챔버의 상측 벽에서 상향으로 연장되며, 서로 이격되는 한 쌍의 승강 가이드부와; 상기 한 쌍의 승강 가이드부를 따라 이동하는 한 쌍의 승강 슬라이더와; 상기 한 쌍의 승강 슬라이더에 양단이 각각 결합되며, 상기 회전축의 타단이 관통하는 승강플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 승강플레이트에서 상향으로 연장되는 지지바와; 상기 지지바에 횡방향으로 결합되며, 상기 제1 회전모터가 결합되는 지지플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 증착챔버와 연통되도록 상기 증착챔버에 결합되며, 상기 기판이 수용되는 스톡챔버를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 증착챔버 내에서 복수의 기판에 대한 증착이 수행될 수 있으며 증착챔버 내에 기판을 이송하는 기판이송부를 배치함으로써 증착 장치의 부피를 줄일 수 있고, 증착 장비를 컴팩트하게 구성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 간략히 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 간략히 도시한 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 기판이송부의 작동과정을 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송부의 측면도.
도 5는 본 발명의 일 시시예에 따른 기판이송부의 단면도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

이하, 본 발명에 따른 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송을 설명하기 위한 도면이다.

도 1 및 도 2에는 증착챔버(10), 제1 기판안착부(12), 제2 기판안착부(14), 기판이송부(16), 제1 증발원(18), 제2 증발원(20), 기판(22), 제1 기판(23), 제2 기판(25), 중심점(28), 제1 방사방향(24), 제2 방사방향(26), 스톡챔버(30), 이송플레이트(42), 지지프레임(36)이 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 증착 장치는, 기판(22)에 증발입자를 증착하기 위한 증착 장치로서, 증착챔버(10)와; 증착챔버(10)의 내부에 배치되며, 하나의 중심점(28)에서 제1 방사방향(24)으로 기판(22)이 로딩되어 안착되는 제1 기판안착부(12)와; 증착챔버(10)의 내부에 배치되며, 중심점(28)에서 제2 방사방향(26)으로 기판(22)이 로딩되어 안착되는 제2 기판안착부(14)와; 증착챔버(10) 내부에 배치되고, 중심점(28)을 중심으로 회전하며 제1 기판안착부(12) 또는 제2 기판안착부(14)에 방사 방향으로 기판(22)을 이송하는 기판이송부(16)를 포함하여, 하나의 챔버에서 복수의 기판(22)에 대한 로딩 및 증착 공정을 수행할 수 있다.

증착챔버(10)는, 그 내부에서 기판(22)에 대해 증발입자의 증착이 이루어지는 곳으로, 진공 펌프에 의하여 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 대기압 상태에서 유기물 증착이 이루어지는 경우에는 내부가 대기압 상태로 유지되는 것도 가능하다. 하나의 증착챔버(10) 내에서 복수의 기판(22)을 로딩하고, 복수의 기판(22)에 대해 증착이 이루어질 수 있도록 구성된다.

또한, 증착챔버(10) 내에는 후술할 기판이송부(16)가 배치되어 기판(22)을 로딩하거나 언로딩한다.

제1 기판안착부(12) 및 제2 기판안착부(14)는 증착챔버(10)의 내부에 서로 이격되어 배치되고, 기판(22)(이하 '제1 기판'이라 함)이 하나의 중심점(28)에서 제1 방사방향(24)으로 로딩되어 제1 기판안착부(12)에 안착되고, 또 다른 기판(22)(이하 '제2 기판'이라 함)이 상기 중심점(28)에서 제2 방사방향(26)으로 로딩되어 제2 기판안착부(14)에 안착된다.

제1 기판(23)은 하나의 중심점(28)에서 제1 방사방향(24)으로 제1 기판안착부(12)에 로딩되어 안착되며, 제2 기판(25)은 상기 중심점(28)에서 제2 방사방향(26)으로 제2 기판안착부(14)에 로딩되어 안착된다.

기판(22)은 후술할 기판이송부(16)에 의해 증착챔버(10) 내로 로딩되거나 언로딩될 수 있는데, 기판이송부(16)의 회전 중심에서 방사 방향으로 기판(22)이 로딩 및 언로딩 된다.

기판이송부(16)는, 증착챔버(10) 내부에 배치되고, 제1 기판안착부(12) 또는 제2 기판안착부(14)에 기판(22)을 로딩시키거나 언로딩시키기 위하여 상기 중심점(28)을 중심으로 회전하여 제1 기판안착부(12) 또는 제2 기판안착부(14)에 방사 방향으로 기판(22)을 이송한다.

중심점(28)은, 가상의 제1 방사방향(24)과 제2 방사방향(26)의 교차점을 의미하며, 중심점(28)이 후술할 기판이송부(16)의 회전 중심을 구성하게 된다.

상술한 바와 같이, 하나의 챔버의 내부에 복수의 기판안착부(12)(14)가 배치되어 있어, 하나의 챔버에서 복수의 기판(22)에 대한 증착이 가능하다. 또한, 기판이송부(16)를 증착챔버(10) 내부에 배치함으로써 증착 장비의 부피를 줄일 수 있고, 증착 장비의 구성이 간소화되어 제조 단가를 낮출 수 있다.

본 실시예에 따른 증착 장치를 이용하여 실험실 등에 소규모의 증착 시스템을 구축할 수 있다.

본 실시예에 따른 증착 장치는, 제1 기판안착부(12) 및 제2 기판안착부(14)에 증발물질의 증착을 수행하기 위해 제1 기판안착부(12) 및 제2 기판안착부(14)에 각각 대향하여 배치되는 제1 증발원(18) 및 제2 증발원(20)을 더 포함할 수 있다. 제1 증발원(18)은 제1 기판안착부(12)에 대향하여 배치되어 제1 기판(23)에 대한 증착을 수행하며, 제2 증발원(20)은 제2 기판안착부(14)에 대향하여 배치되어 제2 기판(25)에 대한 증착을 수행한다.

제1 증발원(18)에서 분출되는 증발입자가 제2 기판안착부(14)의 제2 기판(25)에 증착되는 것을 방지하기 위하여 제1 기판안착부(12)와 제2 기판안착부(14) 사이에 증착챔버(10)를 분할하는 격벽(미도시)을 형성할 수 있다.

한편, 제1 기판안착부(12) 및 제2 기판안착부(14)에 상응하여 제1 증발원(18) 및 제2 증발원(20)을 각각 배치함으로써, 제1 기판안착부(12)의 제1 기판(23) 및 제2 기판안착부(14)의 제2 기판(25)에 서로 다른 각각의 증발물질을 증착할 수 있다.

본 실시예에 따른 증착 장비는, 증착챔버(10)와 연통되도록 증착챔버(10)에 결합되며, 기판(22)이 수용되는 스톡챔버(30)를 더 포함할 수 있다. 스톡챔버(30) 내부에는 다수의 기판(22)이 적층되어 있으며, 기판이송부(16)에 의해 스톡챔버(30)에서 기판(22)을 이송하여 증착챔버(10) 내의 제1 및 제2 기판안착부(12)(14)에 기판(22)을 로딩한다.

스톡챔버(30)는, 중심점(28)에 대해 방사방향으로 기판(22)이 이동될 수 있도록 증착챔버(10)의 일측에 결합된다. 스톡챔버(30)와 증착챔버(10) 사이에는 게이트 밸브가 마련되어 증착챔버(10)와 스톡챔버(30) 사이를 개폐한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 기판이송부의 작동과정을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송부의 측면도이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 시시예에 따른 기판이송부의 단면도이다.

도3 내지 도5에는, 증착챔버(10), 기판(22), 제1 회전모터(34), 지지프레임(36), 회전축(32), 직선 슬라이더(40), 직선 가이드부(38), 이송플레이트(42), 선형의 본체(44), LM 가이드(43), 볼스크류바(47), 제2 회전모터(56), 승강 가이드부(46), 승강 슬라이더(48), 승강플레이트(50), 지지바(52), 지지플레이트(54)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 증착 장치는, 일단이 증착챔버(10)의 상측 벽을 관통하는 회전축(32)과, 회전축(32)의 타단에 결합되어 회전축(32)을 회전시키는 제1 회전모터(34)와, 회전축(32)의 일단에 결합되며 기판이송부(16)가 결합되는 지지프레임(36)을 더 포함할 수 있다.

회전축(32)은, 그 일단이 증착챔버(10)의 상측 벽을 관통하여 일단은 증착챔버(10)의 내부에 위치하며 타단은 외부에 위치한다. 외부에 위치한 회전축(32)의 타단에는 회전축(32)을 회전시키기 위한 제1 회전모터(34)가 결합되어 회전축(32)을 회전시킨다. 그리고, 내부에 위치한 회전축(32)의 일단에는 기판이송부(16)를 결합할 수 있는 지지프레임(36)이 결합된다.

제1 회전모터(34)에 의해 회전축(32)이 회전을 하고, 회전축(32)에 결합된 지지프레임(36)이 회전하여 기판이송부(16)가 중심점(28)을 중심으로 회전하게 된다. 회전축(32)의 회전에 의하여 기판이송부(16)가 제1 방사방향(24) 및 제2 방사방향(26)으로 회전하게 되며, 회전된 상태에서 기판이송부(16)가 기판(22)을 기판안착부(12)(14)에 이송시킨다.

기판이송부(16)는, 지지프레임(36)에 횡방향으로 결합되는 직선 가이드부(38)와, 직선 가이드부(38)를 따라 직선 이동하는 직선 슬라이더(40) 및 직선 슬라이더(40)의 상부에 결합되며 기판(22)이 안착되는 이송플레이트(42)를 포함한다. 기판(22)이 이송플레이트(42)의 상부에 안착된 상태에서 직선 슬라이더(40)가 직선 가이드부(38)를 따라 직선 이동함에 따라 제1 기판안착부(12) 및 제2 기판안착부(14)에 기판(22)을 로딩 및 언로딩할 수 있다.

직선 가이드부(38)는, 지지프레임(36)에 횡방향으로 결합되는 선형의 본체(44)와, 선형의 본체(44)의 길이방향을 따라 결합되는 LM 가이드(43)(linear motion guide)와, 선형의 본체(44)에 양단이 회전가능하게 결합되며 직선 슬라이더(40)가 나사 결합되는 볼스크류바(47)와, 볼스크류바(47)의 일단에 결합되며 볼스크류바(47)를 회전시키는 제2 회전모터(56)를 포함할 수 있다.

선형의 본체(44)는 지지프레임(36)에 대해 횡방향으로 결합되며, 지지프레임(36)의 회전에 따라 제1 방사방향(24) 및 제2 방사방향(26)으로 회전하게 된다.

LM 가이드(43)는 선형의 본체(44)의 길이 방향으로 따라 결합되어 있으며, 직선 슬라이더(40)가 LM 가이드(43)에 의해 안내되어 직선 왕복이동을 하게 된다.

볼스크류바(47)의 양단은 선형의 본체(44)에 회전 가능하게 결합되며, 볼스크류바(47)의 일단에 밸트로 연결되는 제2 회전모터(56)에 의해 볼스크류바(47)가 회전하게 된다. 볼스크류바(47)에는 직선 슬라이더(40)가 나사결합되며, 볼스크류바(47)의 회전에 따라 직선 슬라이더(40)가 LM 가이드(43)에 의해 안내되어 직선 이동한다. 볼스크류바(47)의 일단에는 제2 회전모터(56)가 결합되며 제2 회전모터(56)의 정역회전에 따라 직선 슬라이더(40)가 직선 왕복운동을 하게 된다.

직선 슬라이더(40)의 상부에는 기판(22)이 안착되는 이송플레이트(42)가 결합되며, 직선 슬라이더(40)의 직선운동에 따라 이송플레이트(42)의 상부에 놓여진 기판(22)을 이송하게 된다.

한편, 본 실시예에 따른 증착 장치는, 증착챔버(10)의 상측 벽에 상향으로 연장되며 서로 이격되는 한 쌍의 승강 가이드부(46)와, 한 쌍의 승강 가이드부(46)를 따라 승강 및 하강 이동하는 한 쌍의 승강 슬라이더(48)와, 한 쌍의 승강 슬라이더(48)에 양단이 각각 결합되며 회전축(32)의 타단이 관통하는 승강플레이트(50)를 더 포함할 수 있다.

승강 가이드부(46)는, 서로 쌍을 이루어 증착챔버(10)의 상측 벽에 상향으로 연장되도록 결합된다. 승강 슬라이더(48)는, 한 쌍의 승강 가이드부(46)에 슬라이딩 가능하게 각각 결합되고, 승강 가이드부(46)를 따라 승강 및 하강 이동한다.

승강 가이드부(46)에는 양단이 회전 가능하게 결합되며, 승강 슬라이더(48)가 나사결합되는 볼스크류바(미도시)를 구비할 수 있다. 볼스크류바(미도시)의 정역회전에 따라 승강 슬라이더(48)는 승강 가이드부(46)를 따라 상승하거나 하강하게 된다.

승강플레이트(50)는, 한 쌍의 승강 슬라이더(48)에 양단이 각각 결합되고, 승강 슬라이더(48)의 승강 및 하강에 따라 승강플레이트(50)가 승강 및 하강 이동할 수 있다.

본 실시예에 따른 증착 장치는, 승강플레이트(50)에서 상향으로 연장되는 지지바(52)와, 지지바(52)에 횡방향으로 결합되며 제1 회전모터(34)가 결합되는 지지플레이트(54)를 포함할 수 있다.

지지바(52)는 승강플레이트(50)에 상향으로 연장되도록 결합되고, 지지바(52)의 단부에는 제1 회전모터(34)가 결합되는 지지플레이트(54)가 횡방향으로 결합된다. 승강플레이트(50)의 승강에 따라 지지플레이트(54)가 승강이 이루어지며 지지플레이트(54)의 승강에 따라 증착챔버(10)의 내부에 위치하는 기판이송부(16)가 상승 또는 하강하게 된다.

지지플레이트(54)는 승강플레이트(50)의 상부로 연장되는 지지바(52)에 결합되어, 승강플레이트(50)의 승강 및 하강에 따라 지지플레이트(54)가 승강 및 하강할 수 있다. 지지플레이트(54)의 승강 및 하강에 의하여 지지플레이트(54)에 결합된 회전축(32)이 승강 및 하강을 하게 되며, 회전축(32)의 타단에 결합된 지지프레임(36)과, 지지프레임(36)에 결합된 기판이송부(16)가 승강 및 하강하게 된다. 따라서, 증착챔버(10)의 외부에 위치한 승강 슬라이더(48)의 승강 및 하강에 의하여 증착챔버(10)의 내부에 위치한 기판이송부(16)가 승강 및 하강할 수 있다.

이하에서는 도 2를 참조하여 기판(22)의 로딩 과정을 살펴보기로 한다.

먼저, 기판이송부(16)가 스톡챔버(30)를 향하도록 기판이송부(16)를 중심점(28)을 중심으로 회전시킨다. 다음에, 볼스크류바(47)의 회전을 통해 기판이송부(16)에서 이송플레이트(42)가 스톡챔버(30)의 내부로 연장되어 기판(22)을 향해 이동하게 된다. 다음에, 이송플레이트(42)가 스톡챔버(30) 내부에 위치한 기판(22)의 하부까지 이동된 상태에서 승강 슬라이더(48)의 승강으로 인해 기판이송부(16)가 승강하면서 기판(22)을 들어올리게 된다. 다음에, 기판(22)을 들어올린 상태에서 볼스크류바(47)의 회전을 통해 기판이송부(16)를 향하도록 이송플레이트(42)를 이동시켜 기판(22)을 증착챔버(10)의 내부로 이송시킨다. 다음에, 기판(22)이 증착챔버(10)의 내부로 이송되면 기판이송부(16)가 제1 기판안착부(12)를 향하도록 제1 방사방향(24)으로 회전시킨다. 다음에, 볼스크류바(47)의 회전을 통해 기판이송부(16)에서 기판(22)이 탑재된 이송플레이트(42)가 제1 기판안착부(12)로 연장되어 이동하게 된다. 다음에, 승강 슬라이더(48)의 하강으로 인해 기판이송부(16)가 하강하면서 기판(22)을 제1 기판안착부(12)에 로딩한다. 기판(22)이 로딩되면 이송플레이트(42)는 중심점(28)을 향해 다시 이동된다. 제1 기판안착부(12)에 로딩된 기판(22)은 증착과정을 거치게 된다.

제2 기판안착부(14)에 기판(22)을 로딩하는 경우는 상술한 제1 기판안착부(12)에 기판(22)을 로딩하는 과정과 유사하므로 그 설명을 생략하기로 한다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.

10 : 증착챔버 12 : 제1 기판안착부
14 : 제2 기판안착부 16 : 기판이송부
18 : 제1 증발원 20 : 제2 증발원
22 : 기판 23 : 제1 기판
24 : 제1 방사방향 25 : 제2 기판
26 : 제2 방사방향 28 : 중심점
30 : 스톡챔버 32 : 회전축
34 : 제1 회전모터 36 : 지지프레임
38 : 직선 가이드부 40 : 직선 슬라이더
42 : 이송플레이트 43 : LM 가이드
44 : 선형의 본체 46 : 승강 가이드부
47 : 볼스크류바 48 : 승강 슬라이더
50 : 승강플레이트 52 : 지지바
54 : 지지플레이트 56 : 제2 회전모터

Claims (8)

1. 기판에 증발입자를 증착하기 위한 증착 장치로서,
   증착챔버와;
   상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 하나의 중심점에서 제1 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제1 기판안착부와;
   상기 증착챔버의 내부에 배치되며, 상기 중심점에서 제2 방사방향으로 상기 기판이 로딩되어 안착되는 제2 기판안착부와;
   상기 증착챔버 내부에 배치되고, 상기 중심점을 중심으로 회전하며 상기 제1 기판안착부 또는 상기 제2 기판안착부에 방사 방향으로 상기 기판을 이송하는 기판이송부와;
   일단이 상기 증착챔버의 상측 벽을 관통하는 회전축과;
   상기 회전축의 타단에 결합되어 상기 회전축을 회전시키는 제1 회전모터와;
   상기 회전축의 일단에 결합되며, 상기 기판이송부가 결합되는 지지프레임과;
   상기 증착챔버의 상측 벽에서 상향으로 연장되며, 서로 이격되는 한 쌍의 승강 가이드부와;
   상기 한 쌍의 승강 가이드부를 따라 이동하는 한 쌍의 승강 슬라이더와;
   상기 한 쌍의 승강 슬라이더에 양단이 각각 결합되며, 상기 회전축의 타단이 관통하는 승강플레이트를 포함하는, 증착장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 기판안착부 및 상기 제2 기판안착부에 각각 대향하여 배치되는 제1 증발원 및 제2 증발원을 더 포함하는, 증착 장치.
   
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 기판이송부는,
   상기 지지프레임에 횡방향으로 결합되는 직선 가이드부와;
   상기 직선가이드부를 따라 직선 이동하는 직선 슬라이더와;
   상기 직선 슬라이더에 결합되며, 상기 기판이 안착되는 이송플레이트를 포함하는, 증착 장치
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 직선 가이드부는,
   상기 지지프레임에 횡방향으로 결합되는 선형의 본체와;
   상기 선형의 본체를 따라 결합되며, 상기 직선 슬라이더를 가이드하는 LM 가이드와;
   상기 선형의 본체에 양단이 회전가능하게 결합되며, 상기 직선 슬라이더가 나사결합되는 볼스크류바와;
   상기 볼스크류바의 일단에 결합되며, 상기 볼스크류바를 회전시키는 제2 회전모터를 포함하는, 증착 장치
   
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,
   상기 승강플레이트에서 상향으로 연장되는 지지바와;
   상기 지지바에 횡방향으로 결합되며, 상기 제1 회전모터가 결합되는 지지플레이트를 더 포함하는, 증착장치.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 증착챔버와 연통되도록 상기 증착챔버에 결합되며, 상기 기판이 수용되는 스톡챔버를 더 포함하는, 증착장치.
   

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