KR101571627B1 - 스토핑 모듈 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이송롤러에 의해 이송되는 기판을 지지하는 지지 롤러부 및 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 기판의 이탈을 방지하는 스토퍼를 포함하는 스토핑 모듈과 이러한 스토핑 모듈을 적어도 하나 이상 포함하는 기판 이송장치를 제공함으로써 기판의 파손을 방지하고 스토퍼 헤드의 마모를 감소시킬 수 있는 효과를 가지게 된다.

Description

스토핑 모듈 및 이를 포함하는 기판 이송장치 {STOPPING MODULE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판 이송장치 기술분야에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 이송 롤러에 의해 이송된 기판을 지지 롤러부를 통해 가이드 및 지지하고, 스토퍼에 의해 기판의 이탈을 방지함으로써, 기판 끝단의 처짐 현상에 의한 스토퍼 헤드 하부로의 인입을 차단하여 로봇 핸드 등에 의한 기판 반출시 기판의 파손을 방지할 수 있는 스토핑 모듈 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
이송장치란 피이송물을 이송하는 장치이다. 여기서, 피이송물이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer) 뿐 아니라 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트 등도 될 수 있지만, 설명의 편의를 위해 이하에서는 LCD 기판을 피이송물이라 하여 설명하기로 한다.
널리 알려진 바와 같이, LCD는 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다. LCD는 현재, 전자시계를 비롯하여, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.
종전만 하더라도 LCD TV는 20 인치 내지 30 인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17인치 이하의 크기를 갖는 것이 주류였다. 하지만, 근자에 들어서는 40인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아지고 있다. 따라서, LCD를 제조하는 제조사의 경우, 보다 크고 얇은 유리기판을 제조하기에 이르렀다.
LCD의 제조 과정은 기판의 이송 과정과 공정 과정으로 나누어질 수 있다. 상기 공정 과정은 LCD 패널을 제조하기 위한 실질적인 공정이 진행되는 과정으로서 각 유리기판의 증착공정, 배향막 형성공정, 합착공정, 절단공정, 세정공정 등의 다양한 공정을 포함한다. 또한, 상기 이송 과정은 상기 각 공정들의 사이에서 기판을 이송하는 과정을 말한다.
한편, LCD는 전술한 바와 같이 상하 유리기판을 베이스로 하므로 LCD의 제조공정시 각 공정단계로 상기 유리기판을 이동시키는 기판 이송장치의 개발이 수행되고 있다. 여기서, 상기 각 공정 사이에서 기판의 이송 과정 중에, 상기 각 공정이 수행되는 장비로 기판이 로딩되기 위하여 이송장치의 상면에서 기판을 안정적으로 정지되어야 한다. 만일, 기판이 정확하게 정지되지 않은 채로 공정단계로 진입된다면, 로봇 암이나 로봇 핸드 등에 의하여 기판이 파손, 스크래치되거나 정확한 공정 수행이 이루어지지 않게 되어 제품 불량이 발생할 수 있다.
도 1은 종래의 스토퍼에 의해 기판이 정지된 상태를 도시한 측면도이다.
도 1을 참조하면, 기판(10)은 이송 롤러(20)의 회전에 따라 이동되고, 이송장치의 일측에 도달하면 기판(10)이 특정위치에 진입함을 감지한 센서 등과 같은 감지장치(미도시)에 의해 이후의 공정장비로 로딩되기 위하여 정지된다.
이때, 스토퍼(30)는 이동되던 기판(10)이 관성에 의하여 상기 이송장치의 외측으로 떨어지는 것을 방지하고, 정확한 위치에 상기 기판(10)을 정지시킨다. 상기 스토퍼(30)에 의해 기판(10)이 정지되면, 상기 기판(10)의 하부로부터 로봇 핸드(미도시) 등이 상측으로 상승하면서 기판(10)을 들어올려 각 공정장비 내부로 상기 기판(10)을 로딩한다.
상기 스토퍼(30)는, 이송된 기판(10)과 접촉하여 정지시키는 헤드(31)와 이송장치의 하부 프레임에 체결부재를 통해 고정되어 상기 헤드(31)를 지지하는 고정 지지대(32)를 포함한다.
종래기술에 따른 헤드(31)는 도 1에서와 같이 상부로 갈수록 직경이 작아지는 원추 사다리꼴 뿐 아니라 원통형 등의 다양한 형상으로 이루어질 수 있는데, 상기 헤드(31)는 상기 고정 지지대(32)의 상부에 고정된 상태로 결합되어 있다.
하지만, 상술한 바와 같이 기판(10)은 점차 커지는 대형화와 두께가 얇아지는 박형화 경향에 따라 이송 롤러(20)에 의해 이송된 기판(10)의 끝단은 도 1(a)에서와 같이 하부로 처지는 현상이 발생하여 기판(10) 끝단이 헤드(31)의 하부에 위치하게 된다. 이에 따라, 로봇 핸드 등이 이후의 공정장비로 로딩하기 위해 상기 기판(10)을 들어올리면 기판(10)의 끝단이 헤드(31)에 걸려 파손되는 문제점을 내포하고 있다.
또한, 도 1(a)와 달리 도 1(b)에서와 같이 기판(10)의 끝단이 하부로 처지지 않는 경우라 하더라도, 상기 헤드(31)가 고정된 상태로 상기 고정 지지대(32)에 결합되어 있어, 상기 기판(10)은 항상 헤드(31)의 일정한 위치와 접촉되므로, 상기 헤드(31)에서 기판(10)과 접촉하는 부분은 계속적인 접촉으로 용이하게 마모되어 내측으로 함몰된다. 이에 따라 기판(10)은 상기 함몰된 부분으로 삽입되어 로봇 핸드가 기판(10)을 들어올리면 기판(10)의 끝단이 상기 헤드(31)의 마모된 부분에 걸려 파손될 뿐 아니라, 마모에 따라 상기 헤드(31)를 이루는 물질이 기판(10)의 표면에 부착되어 제품의 불량을 야기하는 문제점을 내포하고 있다.
한국공개특허 제10-2005-0061873호
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 이송되는 기판을 가이드 및 지지하는 지지 롤러부를 구비함으로써 기판 끝단의 처짐 현상을 차단하여 로봇 핸드 등에 의한 기판 이동시 기판의 파손을 방지하며, 이송 롤러의 회전 정지 후 관성에 의한 기판의 이동력을 약화시킴에 따라 기판의 끝단과 스토퍼 헤드와의 접촉력 또는 접촉수를 감소시켜 헤드의 마모에 따른 기판의 파손 및 불량을 방지할 수 있는 스토핑 모듈 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 스토핑 모듈은, 이송롤러에 의해 이송되는 기판을 지지하는 지지 롤러부; 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 기판의 이탈을 방지하는 스토퍼;를 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 지지 롤러부는, 상기 이송되는 기판을 가이드하는 제 1 롤러; 상기 제 1 롤러에 의해 가이드된 상기 기판 끝단의 처짐을 방지하도록 지지하는 제 2 롤러; 및 상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러를 지지하는 제 1 고정 지지대;를 포함할 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 제 2 롤러의 상기 기판과의 접촉면은, 상기 제 1 롤러의 상기 기판과의 접촉면보다 상부에 위치될 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 제 2 롤러의 중심축은, 상기 제 1 롤러의 중심축보다 상부에 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 제 2 롤러의 직경은, 상기 제 1 롤러의 직경보다 크도록 형성될 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 제 2 롤러와 상기 기판과의 접촉 면적은, 상기 제 1 롤러와 상기 기판과의 접촉 면적보다 큰 것이 바람직하다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 스토퍼는, 상기 이송되는 기판과 접촉하여 정지시키는 헤드; 및 상기 헤드를 지지하는 제 2 고정 지지대;를 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 헤드는, 상부로 갈수로 직경이 작아지도록 형성된 테이퍼 형상일 수 있다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 헤드의 상부 끝단은, 상기 제 2 롤러에서의 기판 접촉면보다 높게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 헤드는, 내측에 베어링을 장착하여 회전 가능한 것이 바람직하다.
본 발명의 스토핑 모듈에 있어서, 상기 헤드는, 상기 제 1 롤러를 기준으로 상기 제 2 롤러보다 후방에 위치하는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 이송장치에 있어서, 상술한 스토핑 모듈을 적어도 하나 이상 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따르면, 이송되는 기판을 가이드하면서 지지하는 지지 롤러부와 기판을 정지시키는 스토퍼를 구비함으로써 기판 끝단의 처짐 현상을 차단하여 로봇 핸드 등에 의한 기판 이동시 기판의 파손을 방지할 수 있는 효과를 가지게 된다.
또한, 제 2 롤러를 제 1 롤러보다 높게 형성함으로써, 구동력에 의한 이송 롤러의 작동 정지 후 관성에 의한 기판의 이동력을 약화시켜 기판과의 접촉에 따른 헤드의 마모를 방지할 수 있는 효과, 기판의 안정적인 로딩을 보장할 수 있는 효과를 갖게 된다.
아울러, 스토퍼의 헤드가 회전 가능하게 형성됨으로써, 기판과 헤드의 접촉 위치가 가변되어 헤드의 마모를 방지할 수 있는 효과를 갖게 된다.
도 1은 종래의 스토퍼에 의해 기판이 정지된 상태를 도시한 측면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스토핑 모듈이 결합된 기판 이송장치의 개략적인 요부 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지지 롤러부의 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스토퍼의 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토핑 모듈에 의해 기판이 정지된 상태를 도시한 측면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.
소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", 하부(lower)", "위(above)", 상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성요소들과 다른 소자 또는 구성요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스토핑 모듈이 결합된 기판 이송장치의 개략적인 요부 확대 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지지 롤러부의 구조를 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스토퍼의 구조를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토핑 모듈에 의해 기판이 정지된 상태를 도시한 측면도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 스토핑 모듈은 이송 롤러(20)에 의해 이송되는 기판(10)을 가이드하면서 지지하는 지지 롤러부(200) 및 상기 지지 롤러부(200)에 의해 가이드 및 지지되는 기판(10)의 이탈을 방지하는 스토퍼(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
지지 롤러부(200)는 제 1 롤러(210), 제 2 롤러(220) 및 제 1 고정 지지대(230)를 포함하여 이루어지며, 기판 이송장치의 하부 프레임(40)에 결합되어 이송되는 기판(10)을 가이드 및 지지한다.
상기 제 1 롤러(210)는 이송 롤러(20)에 의해 이송되는 기판(10)을 지지하면서 상기 제 2 롤러(220)로 가이드하며, 상기 제 2 롤러(220)는 상기 제 1 롤러(210)에 의해 가이드된 기판(10) 끝단의 처짐을 방지하면서 기판(10) 끝단을 지지한다. 따라서, 기판(10) 끝단은 상기 제 2 롤러(220)와 접촉한 채로 정지하거나, 스토퍼(300)의 헤드(310)로 상기 제 2 롤러(220)에 의해 가이드되어 헤드(310)와 접촉 후 정지하게 된다.
보다 구체적으로, 상기 제 2 롤러(220)의 기판(10)과의 접촉면(제 2 롤러의 최상단)은 상기 제 1 롤러(210)의 기판(10)과의 접촉면(제 1 롤러의 최상단)보다 높게 위치할 수 있으며, 상기 제 2 롤러(220)의 중심축은 상기 제 1 롤러(210)의 중심축보다 상부에 형성되도록 하여 기판(10) 끝단이 상기 제 1 롤러(210) 통과 후 상기 제 2 롤러(220)에 의해 상부로 이동되면서 지지될 수 있게 된다.
또한, 상기 제 2 롤러(220)의 직경은 상기 제 1 롤러(210)의 직경보다 클 수 있으며, 상기 제 2 롤러(220)와 기판(10)과의 접촉 면적은 상기 제 1 롤러(210)와 기판(10)과의 접촉 면적보다 크도록 하여 기판(10) 끝단이 안정적으로 지지될 수 있도록 할 수 있다.
또한, 상기 제 1 고정 지지대(230)는 상기 제 1 롤러(210) 및 제 2 롤러(220)가 결합되어 이를 지지하는 것으로, 기판 이송장치의 하부 프레임(40)에 체결부재에 의해 결합된 수평바(233), 상기 제 1 롤러(210) 및 제 2 롤러(220)가 결합되어 상기 수평바(233)와 수직을 이루는 수직바(231) 및 상기 수평바(233)와 상기 수직바(231)를 체결부재(235)에 의해 결합시켜 연결시키는 결합바(232)를 포함하여 이루어질 수 있다. 다만, 이러한 제 1 고정 지지대(230)의 형상은 하나의 예시이며, 도 4에서의 제 2 고정 지지대(320)와 같이 결합바를 구비하지 않고 수평바(322)와 수직바(321)에 의해 구성될 수 있을 뿐 아니라, 기판 이송장치의 하부 프레임(40)과 결합되고 상기 제 1 롤러(210) 및 제 2 롤러(220)와 결합되어 이를 지지할 수 있는 구조이면, 그 형상에는 제한이 없음은 당업자에게 자명하다 할 것이다.
기판의 대형화와 박형화 경향에 따라, 기판의 끝단이 하부로 처지는 현상이 발생하여 종래에는 기판 끝단이 스토퍼 헤드의 하부에 위치하게 되었다. 이때, 이후의 공정장비로 기판을 로딩하기 위해 로봇 핸드 등이 상측으로 상승하면서 기판을 들어올릴때 기판 끝단이 헤드에 걸려 파손되는 문제점이 발생하였다.
하지만, 본원발명과 같이 최외각 이송 롤러(20)와 스토퍼(300) 사이의 공간에 지지 롤러부(200)를 형성함으로써 기판(10) 끝단이 처지는 현상을 방지할 수 있게 된다.
보다 구체적으로, 이송롤러(20)에 의해 이송되는 기판(10)이 기판 이송장치의 일측에 도달하면, 기판(10)이 특정 위치에 진입한 것이 센서 등과 같은 감지장치(미도시)에 의해 감지되어 이후의 공정장비로 로딩되기 위하여 이송 롤러(20)의 작동은 정지된다. 이때, 구동력에 의한 이송 롤러(20)의 작동은 정지되었지만, 관성력에 의해 기판(10)의 이동이 계속되어, 이동되는 기판(10)은 상기 제 1 롤러(210)에 의해 지지되면서 상기 제 2 롤러(220)로 가이드된다. 제 1 롤러(210)보다 상부에 위치한 제 2 롤러(220)에 의해 이동되는 기판(10)은 관성에 의한 이동력이 감소되어 상기 제 2 롤러(220)와 접촉한 채로 정지하게 된다. 물론 도 5에서와 같이 기판(10) 끝단이 상기 제 2 롤러(220)에 의해 지지되면서 가이드되어 스토퍼(300) 헤드(310)와 접촉한 후 정지될 수도 있다.
이와 같이, 지지 롤러부(200)에 의해 기판(10) 끝단이 지지되면서 관성에 의한 이동력을 약화시켜, 기판(10) 끝단이 처지는 현상을 방지하고 제 2 롤러(220)와 접촉한 채로 기판(10)의 이동이 정지하거나 헤드(310)와의 접촉에 의해 정지함으로써, 로봇 핸드 등에 의한 기판(10) 이동시 기판(10) 끝단의 파손을 방지할 뿐 아니라 헤드(310)와의 접촉수나 접촉력 감소에 따른 헤드(310)의 마모를 방지하고, 헤드(310) 마모에 따른 기판(10) 끝단의 파손 및 제품 불량을 방지할 수 있어 기판(10)의 안정적인 로딩을 보장할 수 있게 된다.
스토퍼(300)는 상기 지지 롤러부(200)에 의해 지지되면서 가이드된 기판(10)의 끝단과 접촉하여 기판(10)의 이동을 정지시키는 헤드(310)와 상기 헤드(310)를 지지하는 제 2 고정 지지대(320)를 포함하여 이루어질 수 있으며, 상기 제 2 고정 지지대(320)는 기판 이송장치의 하부 프레임(40)에 체결부재에 의해 결합된 수평바(322), 상기 헤드(310)가 결합되어 상기 수평바(322)와 체결부재에 의해 체결되며 상기 수평바(322)와 수직을 이루는 수직바(321)를 포함하여 이루어질 수 있다. 다만, 이러한 제 2 고정 지지대(320)의 형상은 하나의 예시이며, 도 3에서의 제 1 고정 지지대(230)와 같이 결합바를 구비하면서 수평바와 수직바를 결합하여 구성될 수 있을 뿐 아니라, 기판 이송장치의 하부 프레임(40)과 결합되고 상기 헤드(310)와 결합되어 이를 지지할 수 있는 구조이면, 그 형상에는 제한이 없음은 당업자에게 자명하다 할 것이다.
상기 헤드(310)는 사각주나 원통형 등 다양한 형상으로 이루어질 수 있지만, 도면에 도시한 바와 같이 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 작아지는 테이퍼진 형상인 것이 바람직하다. 이에 따라, 로봇 핸드 등에 의해 기판(10)이 상향 이동되더라도 헤드(310)와의 접촉에 의한 기판(10) 끝단의 파손을 방지할 수 있게 된다.
상기 헤드(310)는 유리기판 등과의 접촉을 통해 기판(10)의 이탈을 방지하는 것이므로 그 재질은 기판(10)과의 접촉에 의해 쉽게 파손되지 않는 PET 재질이나 테프론 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 헤드(310)는 상기 제 1 롤러(210)를 기준으로 상기 제 2 롤러(220)보다 후방, 즉 기판(10) 이송방향에서의 최외각에 위치하도록 형성하며, 상기 헤드(310)의 최상단은 상기 제 2 롤러(220)에서의 기판(10) 접촉면(제 2 롤러의 최상단)보다 높게 형성되도록 하여 상기 제 2 롤러(220)에 의해 이동된 기판(10) 끝단이 헤드(310)와 접촉하도록 위치하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 헤드(310)는 상기 제 1 롤러(210)와 제 2 롤러(220)와 같이 내부에 볼 베이링 등과 같은 베어링이 장착되어 회전 가능한 것이 바람직하다. 이와 같이, 상기 헤드(310)와 제 2 고정 지지대(320)가 베어링에 의해 결합하여, 기판(10) 끝단과의 접촉에 의해 상기 헤드(310)는 회전이 가능해짐으로써, 상기 헤드(310)와 기판(10) 끝단과의 접촉 위치가 가변되어 헤드(310)의 마모를 방지할 수 있게 된다. 이때, 상기 헤드(310)의 회전 여부를 확인할 수 있도록 상기 헤드(310)에 회전 확인 라인(311)을 형성할 수 있으며, 상기 회전 확인 라인은 도면에는 도시하지 않았지만, 제 1 롤러(210)나 제 2 롤러(220)에도 형성할 수 있다.
기판 이송장치는 이송하는 기판(10)의 크기나 형상에 따라 상술한 스토핑 모듈을 적어도 하나 이상 포함하여 이루어질 수 있는데, 상기 스토핑 모듈을 기판 이송방향의 외각에 결합할 수도 있지만, 이송 방향과 반대로 기판을 이동시켜야 할 때 즉, 역물류하는 경우를 대비하여 기판 이송방향과 반대측에 결합하여 장착할 수도 있다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것은 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함 없이 본 발명에 대해 다수의 적절한 변형 및 수정이 가능함을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변형 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
10: 기판
20: 이송롤러
30, 300: 스토퍼
40: 하부 프레임
200: 지지 롤러부
210: 제 1 롤러
220: 제 2 롤러
230: 제 1 고정 지지대
310: 헤드
311: 회전확인 라인
320: 제 2 고정 지지대

Claims (12)

  1. 이송롤러(20)에 의해 이송되는 기판(10)을 지지하되, 상기 이송되는 기판(10)을 가이드하는 제 1 롤러(210)와, 상기 제 1 롤러(210)에 의해 가이드된 상기 기판(10) 끝단의 처짐을 방지하도록 지지하는 제 2 롤러(220)와, 상기 제 1 롤러(210) 및 상기 제 2 롤러(220)를 지지하는 제 1 고정 지지대(230)를 구비하는 지지 롤러부(200); 및
    상기 지지 롤러부(200)에 의해 지지되는 상기 기판(10)의 이탈을 방지하되, 상기 이송되는 기판(10)과 접촉하여 정지시키며, 상부로 갈수록 직경이 작아지도록 형성된 테이퍼 형상이고, 내측에 베어링을 장착하여 회전 가능한 헤드(310)와, 상기 헤드(310)를 지지하는 제 2 고정 지지대(320)를 구비하는 스토퍼(300);를 포함하며,
    상기 제 2 롤러(220)의 상기 기판(10)과의 접촉면은 상기 제 1 롤러(210)의 상기 기판(10)과의 접촉면보다 상부에 위치되고, 상기 제 2 롤러(220)의 중심축은 상기 제 1 롤러(210)의 중심축보다 상부에 형성되고, 상기 제 2 롤러(220)의 직경은 상기 제 1 롤러(210)의 직경보다 더 크고, 상기 제 2 롤러(220)와 상기 기판(10)과의 접촉 면적은 상기 제 1 롤러(210)와 상기 기판(10)과의 접촉 면적보다 더 크며, 상기 헤드(310)의 상부 끝단은 상기 제 2 롤러(220)에서의 상기 기판(10) 접촉면보다 더 높게 형성되고, 상기 헤드(310)는 상기 제 1 롤러(210)를 기준으로 상기 제 2 롤러(220)보다 후방에 위치하는 것을 특징으로 하는 스토핑 모듈.
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  12. 청구항 1에서의 스토핑 모듈을 적어도 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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