KR101567522B1 - 레이저 가공 용 진동 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레이저 가공기의 광학계 초점 조절을 위한 진동 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광학계의 진동을 위해 선형 스프링 구조를 적용하여 가공 방향 이외의 변위를 최소화하고, 가공 정밀도를 향상시킨 레이저 가공 용 진동 장치에 관한 것이다.

Description

레이저 가공 용 진동 장치{Vibrator for Laser Cutting}

본 발명은 레이저 가공기의 광학계 초점 조절을 위한 진동 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광학계의 진동을 위해 선형 스프링 구조를 적용하여 가공 방향 이외의 변위를 최소화하고, 가공 정밀도를 향상시킨 레이저 가공 용 진동 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서, 웨이퍼 상에는 다수 개의 칩이 될 회로들이 한꺼번에 형성되고, 회로 형성이 완료된 이후 웨이퍼를 절단하여 개별 칩으로 분리하게 된다. 웨이퍼의 절단 공정은 대부분 웨이퍼 상에 일차적으로 절단선(scribe line)을 형성하고, 절단선 양측으로 힘을 가하여 절단선을 중심으로 완전히 절단이 일어나도록 하는 방식이 일반적으로 널리 사용된다.

웨이퍼에 절단선을 형성하는 방법은 크게 접촉식 및 비접촉식으로 나누어진다. 접촉식은 회전 블레이드가 직접 웨이퍼에 접촉하여 절단선을 형성하는 방식인데, 이러한 방식은 장치를 구현하기가 쉽고 경제적이라는 장점은 있겠으나 가공 부위의 품질이 좋지 않고 (블레이드의 두께 때문에) 절단 폭을 어느 수준 이하까지 낮출 수가 없어 정밀한 작업이나 소형 칩을 위한 작업 등에 사용하기 어려운 등의 제한이 있다. 비접촉식은 절단선 부위에 레이저를 조사함으로써 절단선을 형성하는 것으로서, 칩의 크기에 전혀 구애받지 않을 뿐 아니라 절단 부위의 품질도 향상되고 절단 속도도 빨라지는 등의 장점이 있다.

레이저 가공은, 위에서 설명한 바와 같은 웨이퍼에 절단선을 형성하는 공정 외에도, 매우 다양한 분야에서 가공 대상물에 정밀한 구멍이나 홈을 형성하거나 정교한 형상을 따라 절단하는 등의 작업에 널리 사용된다. 레이저 가공을 이용하여 웨이퍼에 절단선을 형성하는 공정과 관련된 기술은, 한국특허공개 제2012-0005375호("레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법", 2012.01.16), 한국특허공개 제2008-0090639호("레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법", 2008.10.09) 등과 같이 다양하게 개시되어 있다.

그런데, 웨이퍼 재료로 널리 사용되어 왔던 유리(glass)나 최근 그 사용이 확대되고 있는 사파이어(sappier) 등과 같은 투명 재료의 가공에 있어서, 보다 정밀한 가공 품질이 요구되어 오고 있다. 기존의 레이저 가공 시, 금속과 같은 가공 대상물의 경우에는 레이저 특성에 크게 구애받지 않고 상대적으로 쉽게 가공을 수행할 수 있는 반면, 투명 재료를 가공할 때에는 가공이 일어나지 않고 레이저가 가공 대상물을 통과해 버리거나, 또는 불필요하게 큰 크랙을 유발시키는 경우가 발생하는 등의 문제가 있었다. 이에 따라 투명 재료 가공 시에는 레이저의 파장이나 조사 시간 등의 여러 특성들을 여러 가지로 조절해 보아야 하는 등의 불편함이 있었다. 뿐만 아니라 종래의 레이저 가공은 가공의 주 원리가 열적 가공으로서, 즉 레이저가 조사되는 부위가 에너지에 의해 용융이 일어남으로써 재료가 제거되는 원리를 사용하고 있는데, 이러한 가공 원리에 의하여 가공된 부위의 품질이 현재 요구되고 있는 품질에 비하여 (요구되는 품질 수준이 점차 향상되고 있기 때문에) 현저히 낮다는 문제점 또한 있었다.

1. 한국특허공개 제2012-0005375호("레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법", 2012.01.16) 2. 한국특허공개 제2008-0090639호("레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법", 2008.10.09)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 레이저 가공 시에 레이저가 관통하는 렌즈에 레이저의 조사 방향과 동일한 방향으로 진동을 가하여 대상물의 가공성 및 가공 정밀성을 향상하게 하는 레이저 가공 용 진동 장치를 제공함에 있다.

특히, 액추에이터에 의한 진동을 렌즈에 전달하는 수단으로 원통형 선형스프링 구조를 적용하여 레이저 가공 방향(조사방향) 이외의 변위를 최소화한 레이저 가공 용 진동 장치를 제공함에 있다.

본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치는, 레이저 가공을 위한 레이저를 집광하여 대상물을 향해 조사하는 광학계와, 상기 광학계에 진동을 가하는 액추에이터를 포함하는 레이저 가공 용 진동 장치에 있어서, 레이저 조사 방향 및 상기 대상물의 두께 방향을 종축방향, 상기 종축방향에 수직한 방향을 평면 방향이라 할 때, 상기 진동 장치는, 상기 광학계를 고정하는 젠더; 및 종축방향의 레이저 조사 위치를 변경시키도록 상기 젠더의 평면 방향 둘레에 결합되어 상기 액추에이터의 변위에 따른 종축방향 진동을 상기 젠더에 전달하는 진동 몸체; 를 포함한다.

또한, 상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합된다.

보다 상세하게 상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 폐곡선을 이루며 결합된다.

또한, 상기 진동 몸체는, 젠더의 둘레면에 결합되는 고정프레임; 상기 고정프레임의 평면 방향 양측에서 평면 방향 외측으로 일정거리 이격 배치되는 수직프레임; 및 상기 고정프레임의 평면 방향 양측과 상기 수직프레임을 연결하며, 종축방향에 수직하게 형성된 탄성프레임; 을 포함한다.

또한, 상기 진동 몸체는, 상기 한 쌍의 수직프레임의 상측을 연결하는 상부 수평프레임; 및 상기 한 쌍의 수직프레임의 하측을 연결하는 하부 수평프레임; 을 포함하며, 상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시 복수 개의 상부 수평프레임 및 복수 개의 하부 수평프레임이 서로 결합되어 폐곡선을 이루도록 상기 상부 수평프레임 및 하부 수평프레임은 평면 방향으로 호를 이룬다.

또한, 상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시 상기 수직프레임의 원주방향 측면에 결합면이 형성된다.

또한, 상기 진동 장치는, 내부에 상기 진동 몸체가 수용되는 서포트; 를 더 포함하며, 상기 액추에이터는, 상기 서포트의 상측과 상기 젠더 사이에 구비되어 상기 젠더에 종축방향 변위를 가한다.

아울러, 상기 액추에이터는, 상측 내주면이 상기 서포트의 상단에서 하측으로 연장 형성된 액추에이터 고정부의 외주면에 결합되고, 하측 외주면이 상기 젠더의 상측에서 하방으로 함몰된 액추에이터 고정턱에 결합된다.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치는, 레이저를 이용하여 홈 형성 또는 절단을 수행하는 과정에서 집광렌즈를 진동시킴으로써, 가공에 의하여 만들어지는 대상물의 홈 깊이 또는 절단 두께를 종래에 비해 훨씬 늘릴 수 있게 하는 큰 효과가 있으며, 궁극적으로는 동일한 조건의 레이저를 사용하여 홈 깊이 또는 절단 두께를 자유롭게 조절할 수 있는 기본적 효과가 있다.

또한, 종래에 레이저 가공에 의하여 만들어지는 홈이나 절단부의 내부 가공 표면의 거칠기를 전혀 제어할 수 없었던 것과는 달리, 레이저 가공에 진동을 도입함으로써 홈이나 절단부의 가공 품질이 비약적으로 향상되는 큰 효과가 있다. 보다 상세히 설명하자면, 본 발명에서는 대상물의 두께 방향으로의 연속적 또는 불연속적인 다수의 미소 크랙들을 형성하도록 하기 때문에, 유리, 사파이어와 같은 취성 재료의 절단에 있어서 불필요하게 큰 크랙이 형성되거나 크랙이 의도치 않은 방향으로 전파되는 등의 문제가 없이 향상된 품질 및 정확도를 가지는 절단부를 얻을 수 있게 되는 것이다.

특히 본 발명은 레이저 조사 방향 이외의 진동 변위를 최소화하여 렌즈 진동 시 조사 방향 이외의 변위로 진동함에 대상물의 가공성 및 가공 정밀도가 저하되는 것을 예방하여 대상물의 가공이 용이하고, 가공 정밀도가 향상되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치가 적용되는 레이저 가공기 개략도
도 2는 본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치 전체사시도
도 3은 본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치 분해사시도
도 4는 본 발명의 레이저 가공 용 진동 장치 종단면도(도 2의 AA')
도 5는 본 발명의 원통형 진동몸체에 적용된 선형스프링 구조도
도 6은 본 발명의 진동 장치의 원통형 진동몸체 사시도
도 7은 본 발명의 진동 장치의 젠더 사시도
도 8은 본 발명의 진동 장치의 서포트 사시도

본 발명의 일실시 예에 따른 레이저 가공 용 진동 장치(이하, 진동 장치)를 설명하기에 앞서 상기 진동 장치가 적용되는 레이저 가공기에 대하여 간단히 설명하기로 한다.

도 1에는 본 발명의 진동 장치가 적용되는 레이저 가공기(M)의 개략도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 레이저 가공기(M)는, 레이저를 발생시키는 레이저 발생부(10)와, 레이저 발생부(10)에서 발생된 레이저의 경로를 스테이지(40) 상에 놓인 대상물(P)을 향하도록 변경하는 편광판(20)과, 편광판(20)으로부터 반사된 레이저를 집광하여 대상물(P)을 향해 조사하는 광학계(30) 및 스테이지(40)를 이동시키는 이동수단(50)을 포함하여 이루어지며, 광학계(30)로 집광되어 조사되는 레이저로 대상물(P)의 표면이나 내부에 미소 크랙을 형성하게 된다. 이때, 본 발명의 진동 장치(1000)를 통해 레이저 가공기(M)는, 레이저 절단 공정을 비약적으로 개선시킨다.

본 발명의 진동 장치(1000)가 적용된 레이저 가공기(M)는, 진동 장치(1000)의 진동을 이용하여 레이저 조사 위치를 변경시켜 줌으로써 대상물(P)의 절단 부위의 품질을 향상시킨 장점이 있다.

특히 본 발명의 진동 장치(1000)는, 가공 방향 이외의 진동 변위(기생 변위)를 최소화하여 대상물(P)의 가공이 용이하고, 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다.

이하, 상기와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 진동 장치(1000)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2에는 본 발명의 일실시 예에 따른 진동 장치(1000)의 전체사시도가 도시되어 있고, 도 3에는 본 발명의 일실시 예에 따른 진동 장치(1000)의 분해사시도가 도시되어 있다. 또한, 도 4에는 본 발명의 일실시 예에 따른 진동 장치(1000)의 종단면도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 진동 장치(1000)는 한 쌍의 진동 몸체(100, 200)와, 광학계가 고정되는 젠더(300)와, 젠더(300)에 구동력을 가하는 액추에이터(400)와, 진동 몸체(100, 200)가 수용되는 서포트(500)로 구성된다.

여기서 레이저 조사 방향 및 대상물의 두께 방향을 종축방향(도면상의 상하방향), 상기 종축방향에 수직한 방향을 평면 방향으로 정의하여 설명하기로 한다.

진동 몸체(100, 200)는 액추에이터(400)에서 젠더(300)에 가해지는 구동력을 진동력으로 변환하며, 상기 진동력이 젠더(300)에 종축방향으로만 작용하도록 젠더(300)를 고정시킨다. 즉 진동 몸체(100, 200)는 액추에이터(400)의 구동력에 의해 젠더(300)를 종축방향으로 진동 시키도록 구성된다. 젠더(300)는 광학계를 고정하며, 진동 몸체(100, 200) 및 액추에이터(400)에 의해 종축방향으로 진동하도록 구성된다.

액추에이터(400)는 서포트(500)의 종축방향 상측과, 젠더(300) 사이에 구비될 수 있고, 레이저 조사에 방해되지 않도록 환형으로 이루어질 수 있다. 액추에이터는 진동 장치(1000)의 진동 요구조건에 따라 다양한 액추에이터가 적용될 수 있으나, 본실시 예에서는 압전소자가 적용될 수 있다. 도 4를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 액추에이터(400)의 상측은 내주면이 서포트(500)의 상단에서 하측으로 연장 형성된 액추에이터 고정부(541)의 외주면에 끼움 결합되고, 액추에이터(400)의 하측은 외주면이 젠더(300) 상측에서 하방으로 함몰된 액추에이터 고정턱(311)에 끼움 결합될 수 있다. 따라서 액추에이터(400)의 종축방향 구동력이 젠더(300)에 전달되도록 구성된다.

서포트(500)에는 진동 몸체(100, 200)가 수용되며, 진동 몸체(100, 200) 및 젠더(300)를 보호한다. 또한, 서포트(500) 상에는 서포트(500)의 상단 하측과, 젠더(300)의 상측 사이에 액추에이터(400)를 구비하여 액추에이터(400)의 구동력을 젠더(300)에 전달하도록 구성될 수 있다. 특히 액추에이터(400)의 구동력에 의해 젠더(300)를 고정하는 진동 몸체(100, 200)가 진동하여 진동 몸체(100, 200)가 젠더(300)에 진동을 가진함에 있어서, 레이저 조사 방향(종축방향) 이외의 진동 변위를 최소화하도록 견인한다.

상술한 구성을 정리하면, 액추에이터(400)의 종축방향 변위가 젠더(300)에 전달되며, 젠더(300)를 고정하는 진동 몸체(100, 200)의 탄성력에 의해 젠더(300)가 진동하게 된다. 이때 본 발명의 진동 몸체(100, 200)는 상기와 같은 기능을 수행하기 위해 선형 스프링 구조를 적용하였다.

이하, 액추에이터의 변위를 종축방향 이외의 변위를 최소화 하면서, 종축방향으로만 진동시키기 위한 본원의 핵심 구성인 진동 몸체(100, 200)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 5에는 본 발명의 진동 몸체(100, 200)에 적용되는 선형 스프링 구조가 도시되어 있으며, 보다 상세하게는 이중 복합 선형 스프링(S) 구조에 대한 정면도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 이중 복합 선형 스프링 구조는, 젠더를 고정시키며 종축방향으로 회동하는 고정프레임(1)과, 고정프레임(1)에서 상하 방향으로 이격되는 수평프레임(2)과, 고정프레임(1)에서 양측 방향으로 이격되는 수직프레임(3, 4)을 포함하여 이루어지며, 고정프레임(1)에 상하 방향으로 탄성력을 전달하기 위해 고정프레임(1)과 수직프레임(3, 4)을 연결하는 복수의 탄성프레임(5, 6, 5a, 6a)을 포함하여 구성된다.

이때 탄성프레임(5, 6, 5a, 6a)은 고정프레임(1)의 일측 상단과 일측 수직프레임(3)을 연결하는 제1 탄성프레임(5), 고정프레임(1)의 일측 하단과 일측 수직프레임(3)을 연결하는 제2 탄성프레임(5a), 고정프레임(1)의 타측 상단과 타측 수직프레임(4)을 연결하는 제3 탄성프레임(6) 및 고정프레임(1)의 타측 하단과 타측 수직프레임(4)을 연결하는 제4 탄성프레임(6a)으로 구성된다.

또한, 각각의 탄성프레임(5, 6, 5a, 6a)은 종축방향만으로 고정프레임(1)에 진동 변위를 제공하기 위해 종축방향에 수직한 방향 즉 평면 방향을 길이방향으로 하여 형성될 수 있다.

탄성프레임(5, 6, 5a, 6a)은 고정프레임(1)에 탄성력에 따른 진동 변위를 제공할 수 있는 금속 재질 또는 수지 재질로 이루어질 수 있으며, 고정프레임(1), 수평프레임(2) 및 수직프레임(3, 4)도 탄성프레임(5, 6, 5a, 6a)과 동일 유사한 재질로 이루어질 수 있다.

상기와 같은 이중 복합 선형 스프링(S) 구조를 본 발명의 일실시 예에 따른 진동 몸체(100, 200)에 적용하여 종축방향 이외의 변위를 최소화 하면서, 종축방향으로만 진동시키기 위한 본원의 핵심 구성을 구현할 수 있다.

이때, 단일의 이중 복합 선형 스프링(S) 구조를 적용하여 젠더(300)를 진동시킬 경우 젠더(300)의 평면 방향 어느 한 측에 진동 몸체를 고정시키게 되는데, 젠더(300)의 자중에 의해 젠더(300)가 평면 방향 다른 한 측으로 기울어 종축방향 이외의 변위가 발생될 수 있으므로, 본 발명의 진동 몸체(100, 200)는 다음과 같은 구성을 갖는다.

도 6에는 본 발명의 일실시 예에 따른 진동 몸체(100, 200)의 사시도가 도시되어 있다. 진동 몸체(100, 200)는 한 쌍의 제1 진동몸체(100) 및 제2 진동몸체(200)의 결합을 통해 구성되며, 제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체(200)는 그 형상이 동일하므로, 이하 제1 진동몸체(100)를 기준으로 설명한다.

제1 진동몸체(100)는 젠더(300, 도 3 참조)를 고정시키며 종축방향으로 회동하는 고정프레임(110)과, 고정프레임(110)에서 상측 방향으로 이격되는 상부 수평프레임(120)과, 고정프레임(110)에서 하측 방향으로 이격되는 하부 수평프레임(130)과, 고정프레임(110)에서 양측 방향으로 이격되는 수직프레임(140)을 포함하여 이루어진다.

고정프레임(110) 상에는 젠더(300)와의 결합을 위한 젠더 결합홀(111)이 복수 개 형성될 수 있다, 복수 개의 젠더 결합홀(111)은 평면 방향에 수평하게 이격되는 것이 바람직하다.

상부 수평프레임(120) 상에는 후술되는 서포트(500)와의 결합을 위한 상부 서포트 결합홀(121)이 상하 방향으로 복수 개 관통 형성된다. 하부 수평프레임(130) 상에도 후술되는 서포트(500)와의 결합을 위한 하부 서포트 결합홀(131)이 상하 방향으로 복수 개 관통 형성된다.

또한, 고정프레임(110)에 상하 방향으로 탄성력을 전달하기 위해 고정프레임(110)과 수직프레임(140)을 연결하는 복수의 탄성프레임(150)을 포함하여 구성된다.

이때, 제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체(200)가 결합되었을 때, 고정프레임(110)이 젠더(300)의 평면 방향 둘레 면에 서로 대향하여 감싸도록 형성되며, 상부 수평프레임(120)과 하부 수평프레임(130)은 제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체(200)가 결합되었을 때, 원형을 이루도록 평면 방향으로 호를 이루도록 형성된다.

즉 제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체(200)가 결합된 상태에서 젠더(300)가 고정프레임(110)에 결합될 경우 젠더(300)의 평면 방향 둘레면이 고정프레임(110)을 통해 감싸도록 구성되어 젠더(300)의 자중에 의한 종축방향 이외의 변위를 최소화하게 된다.

제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체(200)의 결합을 위한 결합면은 수직프레임(140)의 원주방향 측면에 형성되며, 수직프레임(140) 상에는 제2 진동몸체(200)와의 나사 또는 볼트 결합을 위한 진동몸체 결합홀(141)이 형성될 수 있다. 진동몸체 결합홀(141)은 상하 길이방향을 따라 복수 개가 이격 배치될 수 있다.

도 7에는 본 발명의 일실시 예에 따른 젠더(300)의 사시도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 젠더(300)는 광학계(L)의 평면 방향 둘레면이 결합 수용되는 젠더 몸체(310)와 젠더(300)가 고정프레임(110)에 결합되도록 젠더 결합홀(111)에 끼워지는 젠더고정돌기(320)가 형성될 수 있다. 젠더 몸체(310)에는 상술된 액추에이터(400, 도 3 참조)의 외주면이 끼워지는 액추에이터 고정턱(311)과, 광학계(L)의 둘레면이 끼워지는 광학계 고정홈(312)을 포함하여 구성된다. 젠더고정돌기(320)는 제1 진동몸체(100)와 제2 진동몸체에 각각 결합되도록 2개가 한 쌍으로 형성될 수 있다. 젠더고정돌기(320)는 평면 방향에 수평하게 연장 형성될 수 있다.

도 8에는 본 발명의 일실시 예에 따른 서포트(500)의 사시도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 서포트(500) 내부에는 진동 몸체(100, 200), 젠더(300) 및 액추에이터(400)가 수용되도록 구성된다. 서포트(500)는 상부 서포트(510)와, 상부 서포트(510)의 하방으로 일정거리 이격 배치되는 하부 서포트(520) 및 상부 서포트(510)와 하부 서포트(520)를 연결하는 수직 서포트(530)를 포함한다.

상부 서포트(510)는 일정한 직경을 갖는 링 형으로 이루어지며, 상부 서포트(510)의 중심에는 중앙으로 레이저가 조사되며, 하측에 액추에이터(400)가 고정되는 링 형의 고정서포트(540)가 수용된다. 고정서포트(540)에는 액추에이터(400)의 상단 내주면이 끼움 결합되도록 액추에이터 고정부(541)가 상부 서포트(510)의 하방으로 연장 형성된다.

상부 서포트(510) 상에는 고정서포트(540)를 연결하며, 진동 몸체(100, 200)의 상측을 고정시키기 위한 제1 플랜지(511)가 상부 서포트(510)의 평면 방향 내측으로 연장 형성된다. 제1 플랜지(511)는 복수 개가 방사상으로 배치되며, 제1 플랜지(511) 상에는 상부 서포트 결합홀(121)과의 나사 또는 볼트 결합을 위한 제1 서포트 결합홀(512)이 형성될 수 있다.

하부 서포트(520)는 상부 서포트(520)의 하방으로 일정거리 이격 배치되며, 일정한 직경을 갖는 링 형으로 이루어진다. 하부 서포트(520) 상에는 진동 몸체(100, 200)의 하측을 고정시키기 위한 제2 플랜지(521)가 하부 서포트(520)의 평면 방향 내측으로 연장 형성된다. 제2 플랜지(521)는 복수 개가 방사상으로 배치되며, 제2 플랜지(521) 상에는 하부 수평프레임(130)에 형성된 하부 서포트 결합홀(131)과의 볼트 결합을 위한 제2 서포트 결합홀(522)이 형성될 수 있다.

수직 서포트(530)는 상하 길이방향을 따라 형성된 로드 상으로 이루어지며, 상단이 상부 서포트(510)에 결합되고 하단이 하부 서포트(520)에 결합되어 상부 서포트(510)와 하부 서포트(520)를 연결한다. 수직 서포트(530)는 상부 서포트(510)와 하부 서포트(520)의 안정적인 결합을 위해 복수 개가 방사상으로 배치될 수 있다. 또한, 상술된 제1 플랜지(511) 및 제2 플랜지(521)는 구조적 안정성을 위해 수직 서포트(530)에 대응되는 상부 서포트(510) 및 하부 서포트(520) 상에 형성될 수 있다.

본 발명의 상기한 실시 예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안 된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.

1000 : 진동 장치
100 : 제1 진동몸체 110 : 젠더 고정프레임
120 : 상부 수평프레임 130 : 하부 수평프레임
140 : 수직프레임 150 : 탄성프레임
200 : 제2 진동몸체
300 : 젠더 310 : 젠더몸체
320 : 젠더고정돌기
500 : 서포트 510 : 상부 서포트
520 : 하부 서포트 530 : 수직 서포트
540 : 고정 서포트

Claims (8)

1. 레이저 가공을 위한 레이저를 집광하여 대상물을 향해 조사하는 광학계와, 상기 광학계에 진동을 가하는 액추에이터를 포함하는 레이저 가공 용 진동 장치에 있어서,
   레이저 조사 방향 및 상기 대상물의 두께 방향을 종축방향, 상기 종축방향에 수직한 방향을 평면 방향이라 할 때,
   상기 레이저 가공 용 진동 장치는,
   상기 광학계를 고정하는 젠더; 및
   종축방향의 레이저 조사 위치를 변경시키도록 상기 젠더의 평면 방향 둘레에 결합되어 상기 액추에이터의 변위에 따른 종축방향 진동을 상기 젠더에 전달하는 진동 몸체; 를 포함하되,
   상기 진동 몸체는,
   젠더의 둘레면에 결합되는 고정프레임;
   상기 고정프레임의 평면 방향 양측에서 평면 방향 외측으로 일정거리 이격 배치되는 수직프레임; 및
   상기 고정프레임의 평면 방향 양측과 상기 수직프레임을 연결하며, 종축방향에 수직하게 형성된 탄성프레임;
   를 포함하는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 진동 몸체는,
   복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 진동 몸체는,
   복수 개가 상기 젠더의 둘레에 폐곡선을 이루며 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
4. 삭제
5. 제 1항에 있어서,
   상기 진동 몸체는,
   상기 한 쌍의 수직프레임의 상측을 연결하는 상부 수평프레임; 및
   상기 한 쌍의 수직프레임의 하측을 연결하는 하부 수평프레임; 을 포함하며,
   상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시
   복수 개의 상부 수평프레임 및 복수 개의 하부 수평프레임이 서로 결합되어 폐곡선을 이루도록 상기 상부 수평프레임 및 하부 수평프레임은 평면 방향으로 호를 이루는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
6. 제 1항에 있어서,
   상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시 상기 수직프레임의 원주방향 측면에 결합면이 형성되는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
7. 제 1항에 있어서,
   상기 레이저 가공 용 진동 장치는,
   내부에 상기 진동 몸체가 수용되는 서포트; 를 더 포함하며,
   상기 액추에이터는, 상기 서포트의 상측과 상기 젠더 사이에 구비되어 상기 젠더에 종축방향 변위를 가하는, 레이저 가공 용 진동 장치.
   
8. 제 7항에 있어서,
   상기 액추에이터는,
   상측 내주면이 상기 서포트의 상단에서 하측으로 연장 형성된 액추에이터 고정부의 외주면에 결합되고, 하측 외주면이 상기 젠더의 상측에서 하방으로 함몰된 액추에이터 고정턱에 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치.

Images