KR101567407B1 - Composition for Removing Thermosetting Solder Masks and Method for Forming Resist Patterns Using the Same - Google Patents

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Abstract

Disclosed are an alkaline developer capable of effectively removing a solder mask in a thermosetting resin, and a method for forming a solder mask pattern of a printed circuit board using the same. The alkaline developer of the present invention comprises: 200-500 g/L of water soluble aliphatic amine; 200-500 g/L of an alkaline metal hydroxide; 50-200 g/L of a glycol ether solvent; 1-50 g/L of an azole-based corrosion inhibitor; 0.1~50 g/L of a surfactant; 50 g/L or less of an inorganic additive as an optional ingredient; and the remainder consisting of water. The alkaline developer and the method for forming the solder mask pattern of the printed circuit board of the present invention are suitable to manufacture an ultrathin high strength printed circuit board capable of realizing micropatterning.

Description

열경화성 솔더마스크 제거용 조성물과 이를 이용한 레지스트 패턴의 형성 방법{Composition for Removing Thermosetting Solder Masks and Method for Forming Resist Patterns Using the Same}TECHNICAL FIELD The present invention relates to a composition for removing a thermosetting solder mask and a method for forming a resist pattern using the composition.

본 발명은 인쇄회로기판의 제조에 관한 것이다. 더 구체적으로 본 발명은 인쇄회로기판의 솔더레지스트 패턴의 형성 방법과 이를 위한 알칼리 현상액에 관한 것이다.The present invention relates to the manufacture of printed circuit boards. More particularly, the present invention relates to a method for forming a solder resist pattern on a printed circuit board and an alkaline developer for the method.

휴대폰을 포함한 각종 전자 장치의 급속한 발전에 있어서 개발 방향은 얇은 장치 두께에 고기능성으로 향하고 있다. 이에 따라, 전자 장치의 핵심 부품인 인쇄회로기판 또한 극박 미세화에 요청이 절대적이다. 하지만 인쇄회로기판에 각종 자동, 수동 소자들이 실장되어 신호 전달을 하기 위해서는 단순히 얇기만 해서는 곤란하고 강성도(stiffness)도 충분하여야 하는데, 이를 위해서는 솔더레지스트의 강도가 수반되어야 한다. 0.15 t 이하의 초박판 인쇄회로기판을 제조하는데 있어서, 기존의 아크릴 수지 계열의 감광성 솔더레지스트로는 얇은 두께에서 충분한 강성도를 확보할 수 없어서, 기판 제조 공정간 휨(Warpage) 불량 등이 발생하고 양산 수율이 떨어지는 문제점이 있었다. In the rapid development of various electronic devices, including mobile phones, the direction of development is toward high functionality with thin device thickness. As a result, the demand for miniaturization of printed circuit boards, which are core components of electronic devices, is also critical. However, various automatic and passive components are mounted on a printed circuit board, so that it is difficult to simply transfer the signal to be transmitted, and the stiffness must be sufficient. For this, the strength of the solder resist must be accompanied. In manufacturing an ultra thin plate printed circuit board with a thickness of 0.15 t or less, a conventional acrylic resin-based photosensitive solder resist can not secure sufficient stiffness at a thin thickness, resulting in defective warpage during the substrate manufacturing process, There is a problem that the yield is low.

지금까지 이러한 문제점을 대체하기 위하여 에폭시 계열의 열경화성 솔더마스크 레지스트가 검토되었으나, 습식 공정으로 열경화성 솔더마스크를 제거할 수 있는 효과적인 수단이 없는 실정이었다. 예를 들어 종래 기술의 습식 공정(대한민국 공개 특허 10-2008-0016462)에 따르면 솔더마스크를 선택적으로 제거하기 위하여, 1% 탄산나트륨 수용액을 사용하여 광경화성 레지스트를 선택적으로 현상하는 방법을 개시하고 있으나, 이러한 광경화성 레지스트로는 극박 인쇄 회로 기판에서 강성도 확보가 불가능하다. 또한 이러한 1% 탄산나트륨 수용액으로는 열경화성 레지스트의 제거도 불가능하다.So far, epoxy-based thermoset solder mask resists have been reviewed to replace these problems, but there has been no effective means to remove thermoset solder masks by wet processes. For example, according to a conventional wet process (Korean Patent Laid-Open No. 10-2008-0016462), a method of selectively developing a photocurable resist using a 1% aqueous solution of sodium carbonate to selectively remove a solder mask has been disclosed, Such a photo-curing resist can not secure stiffness in an ultra-thin printed circuit board. Also, it is impossible to remove the thermosetting resist by using this 1% aqueous solution of sodium carbonate.

이 때문에 한편으로 레이져를 통한 열경화성 수지 솔더레지스트의 선택 제거가 시도되었다. 그러나 레이져를 통한 열경화성 솔더레지스트 제거 공법에서는 가공 조건 설정의 어려움으로 인한 솔더마스크 레지스트의 잔존, 동 배선 회로 손상 등의 불량 발생 및 과도한 공정 시간 등의 단점이 있었다.For this reason, selective removal of the thermosetting resin solder resist through the laser has been attempted on the other hand. However, in the method of removing a thermosetting solder resist through a laser, there are disadvantages such as remaining of a solder mask resist due to difficulty in setting processing conditions, defects such as copper wiring damage, and excessive process time.

요컨대, 현재까지 이 분야에서 초박판 패키지 기판을 뒷받침할 수 있는 열경화성 수지 소재의 솔더마스크를 제거할 수 있는 효과적인 습식 공정에 대한 수요는 충족되지 못하고 있는 실정이다.In short, to date, the demand for an effective wet process to remove the solder mask of the thermosetting resin material which can support the ultra thin plate package substrate in this field is not satisfied.

본 발명의 기술적 과제는 고강성, 고신뢰성 초박판 패키지 기판 제조를 위한 열경화성 수지 소재의 솔더마스크 패턴 형성 방법과 이러한 솔더마스크를 습식 공정으로 효과적으로 제공할 수 있는 현상액을 제공하는 데에 있다.The present invention provides a method of forming a solder mask pattern of a thermosetting resin material for manufacturing a highly rigid and highly reliable ultra thin plate package substrate, and a developer capable of effectively providing such a solder mask by a wet process.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 한 측면에서는 수용성 지방족 아민 200~500 g/L, 알칼리금속 수산화물 200~500 g/L, 글리콜에테르계 용매 50~200 g/L, 아졸계 부식 억제제 1~50 g/L 및 계면활성제 0.1~50 g/L 및 잔부의 물을 포함하는 알칼리 현상액 조성물을 제공한다. 이러한 본 발명의 알칼리 현상액은 나트륨, 칼륨 또는 암모늄 양이온의 규산염, 인산염 또는 질산염 중에서 선택하는 한 종 이상의 무기염 첨가제를 50 g/L 이하의 함량으로 더 포함할 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a water-soluble organic solvent comprising 200 to 500 g / L of a water-soluble aliphatic amine, 200 to 500 g / L of an alkali metal hydroxide, 50 to 200 g / L of a glycol ether solvent, To 50 g / L and 0.1 to 50 g / L of a surfactant and the balance water. The alkali developer of the present invention may further contain at least one inorganic salt additive selected from silicates, phosphates or nitrates of sodium, potassium or ammonium cations in an amount of 50 g / L or less.

본 발명의 다른 하나의 측면에서는 인쇄회로기판의 솔더마스크 패턴 형성 방법을 개시한다. 본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법은 이하의 단계를 포함한다:In another aspect of the present invention, a method of forming a solder mask pattern on a printed circuit board is disclosed. The solder mask pattern forming method of the present invention includes the following steps:

(가) 내층 기재 위에 전도성 배선이 형성된 기판에 열경화성 수지의 층과 동박층을 차례로 적층하는 레이업(lay-up) 단계,(A) a lay-up step of sequentially laminating a layer of a thermosetting resin and a copper foil layer on a substrate on which conductive wirings are formed on an inner layer substrate,

(나) (가)에서 적층한 열경화성 수지의 경화가 50~90% 진행되도록 가열하는 열압착 단계,(B) a thermocompression step of heating the thermosetting resin laminated in (A) so that the curing of the thermosetting resin proceeds 50 to 90%

(다) 이 동박을 에칭하여 패턴을 형성하는 컨포멀 마스크(Conformal mask) 형성 단계,.(C) a conformal mask forming step of etching the copper foil to form a pattern, and

(라) 이 열경화성 수지층에서 (다)에서 형성한 컨포멀 마스크로 보호받지 못하는 부분을 지방족 아민과 알칼리금속 수산화물을 함유하는 현상액에 노출시켜 제거하는 솔더마스크 식각 단계,(D) a solder mask etching step in which the unprotected portion of the thermosetting resin layer formed in (c) is exposed to a developing solution containing an aliphatic amine and an alkali metal hydroxide to remove the unprotected portion,

(마) 전술한 열경화성 수지층을 가열하여 완전 경화하는 솔더마스크 완성 단계,(E) a step of completing a solder mask for heating and curing the above-mentioned thermosetting resin layer,

(바) 상기 열경화성 수지층에서 상기 열경화성 수지가 제거된 함입부에 구리와 다른 금속의 레지스트를 피복하는 단계,(F) coating a resist of copper and another metal on the indentation where the thermosetting resin is removed from the thermosetting resin layer,

(사) 상기 동박층을 에칭으로 제거하는 단계와(G) removing the copper foil layer by etching; and

(아) 상기 금속 레지스트를 제거하는 단계.(A) removing the metal resist.

본 발명의 바람직한 실시 형태에 따른 알칼리 현상액과 이를 이용한 솔더마스크 패턴 형성 방법을 이용하면 열경화성 수지로 솔더마스크 패턴을 형성하고 이 솔더마스크를 40~80℃ 범위의 공정 온도에서 2~8 μm/분의 속도로 제거할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법은 초박판 패키지 인쇄 회로 기판 제조 과정에서 기존 감광성 아크릴계 솔더마스크 레지스트를 열경화성 에폭시계 솔더마스크 레지스트로 대체하도록 지원하며, 본 발명의 알칼리 현상액은 레이져 가공에 비해 양산성이 우수한 습식 공정에 따른 솔더마스크 제거를 뒷받침한다. A solder mask pattern is formed of a thermosetting resin by using an alkali developing solution and a method of forming a solder mask pattern using the alkaline developer according to a preferred embodiment of the present invention, and the solder mask is patterned at a process temperature in the range of 40 to 80 ° C to a thickness of 2 to 8 μm / You can remove it at speed. As described above, the solder mask pattern forming method of the present invention assists replacing the conventional photosensitive acrylic solder mask resist with a thermosetting epoxy solder mask resist in the process of manufacturing an ultra thin plate package printed circuit board, and the alkaline developer of the present invention is mass- Support the removal of solder masks due to the excellent wet process.

도 1은 본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에 따라 인쇄회로기판 위에 솔더마스크 패턴을 형성하고 이를 현상하는 과정을 나타낸 모식도이다.
도 2는 종래 기술의 알칼리 현상액을 이용한 솔더마스크 패턴 형성시 일어나는 기판의 스트리핑 정도를 보여주는 모식도이다. 도 2a는 본 명세서 비교예 1의 알칼리 현상액을, 도 2b는 비교예 2의 현상액을 이용하여 얻은 결과이다.
도 3은 본 발명에 따른 알칼리 현상액을 이용하여 제조한 인쇄회로기판을 촬영한 전자현미경 사진이다.
1 is a schematic view showing a process of forming a solder mask pattern on a printed circuit board according to a solder mask pattern forming method of the present invention and developing the same.
2 is a schematic diagram showing the degree of stripping of a substrate during formation of a solder mask pattern using an alkaline developer of the prior art. FIG. 2A shows results obtained using the alkaline developer of Comparative Example 1 and FIG. 2B using the developer of Comparative Example 2. FIG.
3 is an electron micrograph of a printed circuit board manufactured using an alkali developer according to the present invention.

이하 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다. 이하 본 명세서 및 청구 범위에 사용된 용어나 단어를 해석하는 데 있어서는, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 해석하여야 한다. 즉 본 발명을 기술하는 용어를 반드시 통상적이거나 사전적인 의미로만 한정해서 해석할 것은 아니며, 본 명세서에서 기재하는 바에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석하여야 한다는 점을 밝혀 두는 바이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail. In interpreting the terms or words used in the present specification and claims, the inventors should interpret the present invention on the principle that the inventor can properly define the concept of the term in order to explain its own invention in the best way . That is, the terms used in describing the present invention are not necessarily interpreted by ordinary or dictionary meanings, but should be construed in accordance with the technical idea of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

본 발명의 한 측면에서는 수성 알칼리 현상액 조성물을 개시한다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물은 특히 열경화성 수지, 예를 들어 에폭시 수지 기반의 솔더마스크 또는 솔더레지스트를 제거하는데 유용하다.In one aspect of the present invention, an aqueous alkaline developer composition is disclosed. The alkaline developer composition of the present invention is particularly useful for removing a solder mask or a solder resist based on an epoxy resin, for example, a thermosetting resin.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물은 수용성 지방족 아민, 알칼리금속 수산화물, 글리콜에테르계 용매, 아졸계 부식 억제제, 계면활성제 및 물을 포함하며 선택적으로 무기염 첨가제를 더 포함할 수 있다.The alkali developer composition of the present invention may further comprise a water-soluble aliphatic amine, an alkali metal hydroxide, a glycol ether solvent, an azole-based corrosion inhibitor, a surfactant and water, and optionally, an inorganic salt additive.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 수용성 지방족 아민은 알칼리금속 수산화물과 더불어 솔더레지스트를 용해하는 주역할을 맡는다.In the alkaline developer composition of the present invention, the water-soluble aliphatic amine plays a leading role in dissolving the solder resist together with the alkali metal hydroxide.

본 명세서에서 수용성 지방족 아민이란 탄소 원자 수가 하나 이상인 지방족 탄화수소로부터 유래한 아민으로서 1급, 2급, 3급 아민을 망라한다. 본 명세서에서 수용성 지방족 아민은 탄화수소 작용기와 아미노기 또는 이미노기 외에 히드록시기를 더 포함할 수 있다. 수용성 지방족 아민으로는 이 기술 분야에서 알려져 있는 것을 사용하면 무방한데, 예컨대 용해도가 상온에서 수용액 1 L 당 200 g 이상인 것을 사용할 수 있다. 본 발명에서 사용할 수 있는 구체적인 수용성 지방족 아민의 예를 일부만 들자면 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, 아미노메틸프로판올, 트리이소프로판올아민, 디부틸아민, 트리부틸아민, 디이소프로판올아민, 메틸모노에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 에틸렌디아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 테트라에틸렌펜타아민, 디메틸에탄올아민, 이소프로필아민, 사이클로펜틸아민, 사이클로헥실아민, 디아밀아민 및 이들의 임의의 비율의 혼합물을 사용할 수 있다.In the present specification, a water-soluble aliphatic amine encompasses primary, secondary, and tertiary amines as amines derived from aliphatic hydrocarbons having at least one carbon atom. In this specification, the water-soluble aliphatic amine may further contain a hydrocarbon functional group and a hydroxyl group in addition to an amino group or imino group. As the water-soluble aliphatic amine, those known in the art may be used, for example, those having a solubility of 200 g or more per liter of aqueous solution at room temperature. Examples of specific water-soluble aliphatic amines that can be used in the present invention include monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, aminomethylpropanol, triisopropanolamine, dibutylamine, tributylamine, diisopropanolamine, methylmonoethanolamine , Methyldiethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, dimethylethanolamine, isopropylamine, cyclopentylamine, cyclohexylamine, diamylamine and any ratio thereof Mixtures may be used.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 상기 수용성 지방족 아민은 200~500 g/L의 비율로 포함되면 적당하다.In the alkali developer composition of the present invention, the water-soluble aliphatic amine is suitably contained at a ratio of 200 to 500 g / L.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 알칼리금속 수산화물은 수용성 지방족 아민과 더불어 솔더레지스트를 용해시키기 위한 염기가 된다. 본 발명의 조성물에서 알칼리금속 수산화물로는 알칼리금속 및 암모늄 이온의 수산화물을 사용할 수 있다. 본 발명의 구체적인 실시 형태에서는 경제성, 성능, 취급의 용이성 면에서 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화리튬, 수산화암모늄 또는 이들의 혼합물을 사용한다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 알칼리금속 수산화물은 200~500 g/L의 함량을 차지하면 적절하다.In the alkaline developer composition of the present invention, the alkali metal hydroxide becomes a base for dissolving the solder resist together with the water-soluble aliphatic amine. As the alkali metal hydroxide in the composition of the present invention, a hydroxide of alkali metal and ammonium ion may be used. In a specific embodiment of the present invention, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, ammonium hydroxide, or a mixture thereof is used in terms of economy, performance, and ease of handling. In the alkali developer composition of the present invention, the alkali metal hydroxide is suitable when it occupies a content of 200 to 500 g / L.

본 발명의 알칼리 현상액에서 글리콜에테르계 용매는 솔더레지스트 수지를 팽윤시켜 현상 속도를 빠르게 하는 역할을 한다. 본 명세서에서 글리콜에테르계 용매라고 할 때에는 에틸렌글리콜계에 한정되지 않고 프로필렌글리콜이나 부틸렌글리콜 골격의 글리콜에테르도 망라한다. 그리고 본 명세서에서 글리콜에테르계 용매라고 일컫을 때에는 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜 등이 에테르를 이룬 것은 물론이고, 이러한 글리콜의 여러 단위들(서로 동일 또는 다를 수 있음)이 직접 반복 연결되어 있는 에테르도 포함된다. 본 발명의 글리콜에테르에서 이러한 글리콜 단위(들)와 에테르 결합으로 연결되는 작용기는 알킬기와 아릴기가 모두 가능하다. 본 발명의 글리콜에테르계 용매로는 전술한 내용에 해당하면서 물에 대한 용해도가 50 g/L 이상인 것이면 특별히 제한이 없이 사용할 수 있지만, 구체적인 글리콜에테르계 용매의 예를 일부만 들자면 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노부틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 에틸렌글리콜모노이소부틸에테르, 에틸렌글리콜모노헥실에테르, 에틸렌글리콜모노에틸헥실에테르, 에틸렌글리콜모노아릴에테르, 에틸렌글리콜모노페닐에테르 및 이들의 임의 비율의 혼합물이 있다.In the alkaline developer of the present invention, the glycol ether solvent serves to swell the solder resist resin to accelerate the development speed. In the present specification, glycol ether-based solvents include not only ethylene glycol-based solvents but also glycol ethers of propylene glycol and butylene glycol skeleton. Herein, when it is referred to as a glycol ether solvent, not only ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, etc. are ether-bonded, but also various units of these glycols (which may be the same or different) Ether is also included. In the glycol ether of the present invention, the functional group which is linked by an ether bond to such a glycol unit (s) is both an alkyl group and an aryl group. The glycol ether solvent of the present invention is not particularly limited as long as it has the above-mentioned content and solubility in water of 50 g / L or more. Examples of specific glycol ether solvents include ethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, polyethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, polyethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl Diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, polyethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene Glycol monoisobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monoethylhexyl ether, ethylene glycol monoaryl ether, ethylene glycol monophenyl ether, and mixtures of any of these.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 글리콜에테르계 용매는 50~200 g/L의 함량을 차지하면 적절하다. 글리콜에테르계 용매의 함량이 이 범위에 있을 때면 솔더레지스트 수지를 팽윤시켜 현상 속도가 빨라져 생산성 측면에서 바람직하다. 반면에 글리콜에테르계 용매의 함량이 50 g/L 미만일 때에는 솔더레지스트 수지의 팽윤이 더뎌 현상 속도에 미치는 영향이 미미하고, 200 g/L를 넘을 때에는 현상액의 점도가 높아져 미세 회로 구현이 어려워질 수 있기 때문에 바람직하지 못하다.In the alkaline developer composition of the present invention, the glycol ether solvent is suitable when it occupies a content of 50 to 200 g / L. When the content of the glycol ether solvent is within this range, the solder resist resin is swollen and the developing speed is increased, which is preferable from the viewpoint of productivity. On the other hand, when the content of the glycol ether solvent is less than 50 g / L, the swelling of the solder resist resin slows down and the effect on the developing speed is insignificant. When the content exceeds 200 g / L, the viscosity of the developer becomes high, It is not desirable.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 아졸계 부식 억제제는 현상액내 염기 성분이 기판의 구리 배선층에 대하여 원하지 않는 부식을 일으키지 못하도록 방지하는 역할을 한다. 본 명세서에서 아졸계 부식 억제제란 5원 탄화수소 고리로서 질소를 고리내 구성 원소로 함유하는 5원 헤테로고리 또는 이러한 5원 헤테로고리가 다른 탄화수소 고리와 융합된 융합 고리가 분자 구조내에 포함된 헤테로고리 탄화수소 화합물("아졸계 화합물")을 일컫는다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 이러한 아졸계 부식 억제제는 특별한 제한 없이 다양한 종류가 사용 가능하지만, 특히 상온에서 수용액을 이룰 때 용해도가 1 g/L 이상인 아졸계 화합물을 사용할 수 있다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에 사용할 수 있는 아졸계 부식 억제제의 구체적인 예를 일부만 들자면 벤조트리아졸, 5-아미노테트라졸, 톨릴트리아졸, 1,2-디메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 1-메틸이미다졸, 1-비닐이미다졸, 2-브로모-4-니트로이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-이소프로필이미다졸, 2-메르캅토벤즈이미다졸, 2-프로필이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-클로로-4-니트로이미다졸, 4-니트로이미다졸, N,N-카르보닐디이미다졸 및 이들의 임의 비율의 혼합물이 있다.In the alkaline developer composition of the present invention, the azole-based corrosion inhibitor serves to prevent the base component in the developer from causing undesired corrosion on the copper wiring layer of the substrate. In the present specification, the azole-based corrosion inhibitor is a 5-membered heterocycle containing a nitrogen as a constituent element in the ring as a 5-membered hydrocarbon ring, or a 5-membered heterocycle in which such a 5-membered heterocycle is fused with another hydrocarbon ring is a heterocyclic hydrocarbon Compounds ("azole-based compounds"). In the alkaline developer composition of the present invention, the azole-based corrosion inhibitor can be used in various types without particular limitation, but an azole-based compound having a solubility of 1 g / L or more can be used when an aqueous solution is prepared at room temperature. Specific examples of the azole-based corrosion inhibitor that can be used in the alkali developer composition of the present invention include benzotriazole, 5-aminotetrazole, tolyltriazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-benzyl- Imidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-methylimidazole, 1-vinylimidazole, 2-bromo-4-nitroimidazole, N, N-diisopropylethylamine, N, N -diisopropylethylamine, N, N -diisopropylethylamine, N, Imidazoles and mixtures of any of these.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 상기 아졸계 부식 억제제는 1~50 g/L의 함량을 차지하면 적절하다. 아졸계 부식 억제제의 함량이 이 범위에 있을 때면 구리 배선층에 대한 부식 억제 기능이 발휘되어 솔더레지스트가 완전히 현상되어 하지의 구리 배선층이 현상액 조성물에 노출되더라도 구리 배선층의 에칭이 발생하지 않으므로 바람직하다. 반면에 아졸계 부식 억제제 함량이 1 g/L 미만일 때에는 부식 억제 효과를 기대할 수 없으며, 50 g/L를 넘게 포함하여도 부식 억제 효과가 더 이상 향상되지 않기 때문에 경제성이 없다.In the alkaline developer composition of the present invention, the azole-based corrosion inhibitor is suitable when it occupies a content of 1 to 50 g / L. When the content of the azole-based corrosion inhibitor is within this range, the corrosion inhibiting function against the copper wiring layer is exerted so that the solder resist is completely developed, and etching of the copper wiring layer does not occur even if the copper wiring layer is exposed to the developer composition. On the other hand, when the content of the azole corrosion inhibitor is less than 1 g / L, the corrosion inhibiting effect can not be expected, and even if the content exceeds 50 g / L, the corrosion inhibiting effect is not improved.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 계면활성제는 솔더레지스트의 용해 후 잔사가 기판에 남는 것을 방지하는 역할을 한다. 본 발명의 조성물에서 계면활성제로는 양이온계 계면활성제를 사용하면 우수한 효과를 볼 수 있다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에 사용할 수 있는 양이온계 계면활성제는 이 기술 분야에 사용되는 것을 사용하면 무방하고 특별히 제한되지는 않는다. 본 발명의 조성물에 쓰일 수 있는 양이온계 계면활성제의 예를 일부만 들자면 올레일이미다졸늄 메토설페이트계 4급 암모늄 계면활성제, 올레일아미도아민 메토설페이트계 4급 암모늄 계면활성제, 디메틸알킬아민 유도체, 알킬아마이드계 및 이들의 혼합물이 있다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 상기 계면활성제는 0.1~50 g/L의 함량을 차지하면 적절하다.The surfactant in the alkaline developer composition of the present invention serves to prevent residues of the solder resist remaining on the substrate after dissolution. When a cationic surfactant is used as the surfactant in the composition of the present invention, an excellent effect can be obtained. The cationic surfactant that can be used in the alkali developer composition of the present invention is not particularly limited as long as it is used in this technical field. Some examples of cationic surfactants that may be used in the compositions of the present invention include, but are not limited to, oleylimidazolium methosulfate quaternary ammonium surfactants, oleylamidoamine methosulfate quaternary ammonium surfactants, dimethylalkylamine derivatives, Alkylamides, and mixtures thereof. The surfactant in the alkali developer composition of the present invention is suitable when it occupies a content of 0.1 to 50 g / L.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물은 선택적 성분으로 무기염 첨가제를 더 포함할 수 있다. 이러한 무기염 첨가제는 알칼리 환경에서 세정성을 증대시켜 솔더레지스트 용해 후 잔사가 기판에 남는 것을 방지하는 용도에 쓰인다. 본 발명의 한 실시 형태에서 무기염 첨가제는 나트륨, 칼륨 또는 암모늄 양이온의 규산염, 인산염 또는 질산염 중에서 선택하는 한 종 이상의 무기염이다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에 사용될 수 있는 무기염 첨가제의 예를 일부만 들자면, 메타규산나트륨을 비롯한 규산염, 1인산칼륨, 2인산칼륨, 3인산칼륨, 1인산나트륨, 2인산나트륨, 3인산나트륨 등의 인산염, 질산암모늄, 질산나트륨, 질산칼륨과 같은 질산염이 있다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에서 무기염 첨가제는 50 g/L 이하의 함량으로 사용되면 적절하다.The alkaline developer composition of the present invention may further contain an inorganic salt additive as an optional component. These inorganic salt additives increase cleansing properties in alkaline environments and are used to prevent residues on the substrate after solder resist dissolution. In one embodiment of the invention, the inorganic salt additive is at least one inorganic salt selected from silicates, phosphates or nitrates of sodium, potassium or ammonium cations. Some examples of inorganic salt additives that can be used in the alkaline developer composition of the present invention include silicates such as sodium metasilicate, potassium monophosphate, potassium diphosphate, potassium triphosphate, sodium monophosphate, sodium diphosphate, sodium triphosphate, etc. Phosphoric acid, ammonium nitrate, sodium nitrate, potassium nitrate. The inorganic salt additive in the alkali developer composition of the present invention is suitable when it is used in an amount of 50 g / L or less.

본 발명의 알칼리 현상액 조성물은 전술한 성분들에 더하여 잔부(殘部)의 물을 더 포함한다. 본 발명의 알칼리 현상액 조성물에 사용될 수 있는 물은 이 기술 분야의 현상액 또는 식각액에 흔히 사용되는 초순수 등급을 사용하면 적절하나, 반드시 이 등급으로 한정되는 것은 아니다.The alkaline developer composition of the present invention further comprises water of the remainder in addition to the above-mentioned components. Water which can be used in the alkali developing solution composition of the present invention is suitable if it is used with an ultrapure water grade commonly used in a developer or etchant in the technical field, but it is not necessarily limited to this grade.

전술한 본 발명의 바람직한 실시 형태에서는 전술한 조성의 알칼리 현상액 조성물을 이용하여 특히 열경화성 수지층을 효과적이고 신속하게 제거할 수 있으며, 잔사나 언더컷, 기판 구리 배선층의 과잉 식각 발생을 최소화할 수 있는 알칼리 현상액 조성물을 제공한다. 예를 들어 본 발명의 더욱 구체적인 실시 형태에서는 40~80℃ 범위의 유리한 공정 온도에서 열경화성 수지층, 예를 들어 솔더레지스트를 빠른 속도로, 예를 들어 분당 2~8 μm의 비율로 제거할 수 있다.In the preferred embodiments of the present invention described above, it is possible to effectively and quickly remove the thermosetting resin layer in particular by using the alkaline developer composition having the above composition, and to provide an alkaline solution capable of minimizing occurrence of excessive etching of the substrate copper wiring layer, Thereby providing a developer composition. For example, in a more specific embodiment of the present invention, the thermosetting resin layer, for example solder resist, at a favorable process temperature in the range of 40 to 80 占 폚 can be removed at a high rate, for example, at a rate of 2 to 8 占 퐉 per minute .

본 발명의 다른 측면에서는 열경화성 수지를 이용한 인쇄회로기판의 솔더마스크 패턴을 형성하는 방법을 제공한다. 이 방법은Another aspect of the present invention provides a method of forming a solder mask pattern of a printed circuit board using a thermosetting resin. This method

(가) 내층 기재 위에 전도성 배선이 형성된 기판에 열경화성 수지의 층과 동박층을 차례로 적층하는 레이업(lay-up) 단계;(A) a lay-up step of sequentially laminating a layer of a thermosetting resin and a copper foil layer on a substrate on which conductive wirings are formed on an inner layer substrate;

(나) (가)에서 적층한 열경화성 수지의 경화가 50~90% 진행되도록 가열하는 열압착 단계;(B) a thermocompression-bonding step of heating the thermosetting resin laminated in (A) so that curing proceeds 50 to 90%;

(다) 이 동박을 에칭하여 패턴을 형성하는 컨포멀 마스크(Conformal mask) 형성 단계;.(C) forming a conformal mask for etching the copper foil to form a pattern;

(라) 이 열경화성 수지층에서 (다)에서 형성한 컨포멀 마스크로 보호받지 못하는 부분을 지방족 아민과 알칼리금속 수산화물을 함유하는 현상액에 노출시켜 제거하는 솔더마스크 식각 단계;(D) a solder mask etching step of exposing a portion of the thermosetting resin layer, which is not protected by the conformal mask formed in (c), to a developer containing an aliphatic amine and an alkali metal hydroxide;

(마) 전술한 열경화성 수지층을 가열하여 완전 경화하는 솔더마스크 완성 단계;(E) a step of completing a solder mask for heating and curing the above-mentioned thermosetting resin layer;

(바) 상기 열경화성 수지층에서 상기 열경화성 수지가 제거된 함입부에 구리가 아닌 금속의 레지스트를 피복하는 단계;(F) coating a resist of a metal other than copper on the indentation where the thermosetting resin is removed from the thermosetting resin layer;

(사) 상기 동박층을 에칭으로 제거하는 단계; 및(G) removing the copper foil layer by etching; And

(아) 상기 금속 레지스트를 제거하는 단계를 포함한다. (A) removing the metal resist.

이하 도 1을 참조하여 본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법을 설명한다.Hereinafter, a solder mask pattern forming method of the present invention will be described with reference to FIG.

도 1의 (가)는 본 발명의 패턴 형성 방법의 레이업 단계를 나타낸다. 레이업 단계에서는 구리 배선(110)이 형성된 내층 기재(100)에 열경화성 수지(120)와 동박(200)을 차례로 적층한다.Fig. 1 (a) shows the layup step of the pattern forming method of the present invention. In the lay-up step, the thermosetting resin 120 and the copper foil 200 are sequentially stacked on the inner layer substrate 100 on which the copper wiring 110 is formed.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 상기 내층 기재와 그 위에 배치할 구리 배선층으로는 인쇄회로기판 분야에서 흔히 쓰이는 것을 사용할 수 있고, 배치하는 방법 역시 통상적인 방식을 이용할 수 있다.In the method of forming a solder mask pattern according to the present invention, the inner layer substrate and the copper wiring layer to be disposed thereon may be those commonly used in the field of printed circuit boards, and a conventional method may be used.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 상기 열경화성 수지로는 에폭시 계열의 BT(Bismaleimide-Triazine) 레진을 사용할 수 있으며, 10~50 ㎛ 두께의 롤(Roll) 또는 시트(Sheet) 형태로 사용할 수 있다In the solder mask pattern forming method of the present invention, an epoxy-based bismaleimide-triazine (BT) resin may be used as the thermosetting resin, and it may be used in the form of a roll or a sheet having a thickness of 10 to 50 탆

본 발명의 솔더마스트 패턴 형성 방법에서 동박층은 솔더마스크의 패턴 형성을 위한 컨포멀 마스크의 역할을 한다. 이러한 동박의 두께는 이 분야에서 통상적으로 쓰이는 수준이면 충분한데, 예를 들어 1~18 ㎛이면 적절하며, 동박을 수지층 위에 올려 놓는 방법 또한 이 업계에서 흔히 사용되는 방법, 예를 들어, 열압착 프레스(Press)를 이용할 수 있으므로 여기서는 상술하지 않는다.In the solder mast pattern forming method of the present invention, the copper foil layer serves as a conformal mask for pattern formation of the solder mask. The thickness of such a copper foil is sufficient if it is a commonly used one in this field. For example, if it is 1 to 18 탆, it is suitable, and the method of placing the copper foil on the resin layer is also a method commonly used in this industry, Since a press can be used, it is not described here.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 이어지는 열압착 단계는 도 1의 (나)에 나타낸 것처럼 솔더마스크용으로 앞서 적층한 열경화성 수지(120)를 부분 경화, 예를 들어, 50~90%의 경화율이 되도록 가열하여 동박을 수지층에 열압착한다. 이러한 부분 경화는 이 기술 분야 공지의 방식으로 구현할 수 있으며, 이 분야의 평균적 기술자라면 부분 경화를 위하여 필요한 공정의 조건을 해당 열경화성 수지에 맞추어 정할 수 있으므로, 열압착 단계를 구현하기 위한 자세한 공정 조건에 관해서는 본 명세서에서 상술하지 않는다. 예를 들어 열경화성 수지로 25 ㎛ 두께의 BT 레진을 사용한다면, 60~120℃의 온도로 30~60분 동안 가열하는 방식으로 상기 열압착 단계의 부분 경화가 이루어질 수 있다.The subsequent thermal compression step in the method of forming a solder mask pattern of the present invention is a step of thermosetting the thermosetting resin 120 previously laminated for a solder mask as shown in FIG. 1 (B) by partial curing, for example, a curing rate of 50 to 90% So that the copper foil is thermally bonded to the resin layer. Such partial curing can be realized in a manner known in the art, and an average technician in this field can determine the conditions of a process necessary for partial curing according to the thermosetting resin, so that the detailed process conditions Will not be described in detail herein. For example, if a 25 탆 thick BT resin is used as the thermosetting resin, the partial curing of the thermosetting step may be performed by heating at a temperature of 60 to 120 캜 for 30 to 60 minutes.

이어서 컨포멀 마스크 형성 단계에서는 도 1의 (다)에 나타난 바와 같이 동박(200)을 장래 솔더마스크의 패턴에 대응하는 모양으로 에칭한다. 이러한 컨포멀 마스크 형성을 위한 동박 에칭 기술은 이 분야 공지의 방식을 쓸 수 있다. 예를 들어 패턴 형성을 위해서는 드라이 필름(Dry film)을 마스킹재로 하여 포토리소그래피(Photolithography) 공정으로 할 수 있고, 구리의 에칭액으로는 과산화수소-황산계 에칭액을 사용할 수 있다. 당업자라면 원하는 솔더마스크에 맞추어 에칭 방식과 공정 조건을 적절히 선택할 수 있으므로 여기서는 더 상술하지 않는다.Subsequently, in the conformal mask forming step, the copper foil 200 is etched in a shape corresponding to the pattern of the solder mask in the future, as shown in FIG. The copper foil etching technique for forming such a conformal mask can be formed by a method known in the art. For example, in order to form a pattern, a dry film can be used as a masking material and a photolithography process can be used. As the copper etching solution, a hydrogen peroxide-sulfuric acid etching solution can be used. Those skilled in the art will not elaborate further herein because it is possible to select the etching method and process conditions appropriately according to the desired solder mask.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 이어지는 솔더마스크 식각 단계는 도 1의 (라)에 나타낸 바와 같이 상기 부분경화된 열경화성 수지층(120)에서 상기 동박(200)의 컨포멀 마스크가 보호하지 못하는 부분을 지방족 아민과 알칼리금속 수산화물을 함유하는 현상액으로 에칭하여 제거하는 단계이다.The solder mask etching step in the method of forming a solder mask pattern according to the present invention is a step of etching a portion of the partially cured thermosetting resin layer 120, which is not protected by the conformal mask of the copper foil 200, Is etched with a developing solution containing an aliphatic amine and an alkali metal hydroxide to remove it.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법의 한 실시 형태에서 상기 지방족 아민과 알칼리금속 수산화물을 함유하는 현상액으로는 전술한 본 발명의 알칼리 현상액 조성물을 사용할 수 있다. 예컨대 한 구체적인 실시 형태에서는 40~80℃ 범위의 공정 온도에서 부분경화된 열경화성 수지층을, 본 발명의 알칼리 현상액 조성물을 이용하여 예를 들어 분당 2~8 μm의 비율로 제거할 수 있다.In one embodiment of the solder mask pattern forming method of the present invention, the above-described alkali developer composition of the present invention may be used as the developer containing the aliphatic amine and the alkali metal hydroxide. For example, in one specific embodiment, a partially cured thermosetting resin layer at a process temperature in the range of 40 to 80 占 폚 can be removed at a rate of 2 to 8 占 퐉, for example, using the alkali developing solution composition of the present invention.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 후속 단계인 이어지는 솔더마스크 완성 단계는 도 1의 (마)에 나타낸 바와 같이 상기 부분경화된 열경화성 수지층(120)을 가열하여 완전 경화하는 단계이다. 앞선 단계의 부분 경화를 구현할 수 있는 이 기술 분야의 평균적 기술자라면 마찬가지로 완전 경화를 위하여 필요한 공정의 조건을 해당 열경화성 수지에 맞추어 정할 수 있으므로, 완전 경화 단계를 구현하기 위한 자세한 공정 조건에 관해서는 본 명세서에서 상술하지 않는다. 예를 들어 열경화성 수지로 25 ㎛ 두께의 BT 레진을 사용한다면, 120~180℃의 온도로 1~2시간 동안 가열하는 방식으로 상기 솔더마스크 완성 단계의 완전 경화가 이루어질 수 있다.In the subsequent step of completing the solder mask in the solder mask pattern forming method of the present invention, the partially cured thermosetting resin layer 120 is heated and completely cured as shown in FIG. 1 (e). As an average technician in the technical field capable of implementing the partial curing of the preceding step, the conditions of the process necessary for full curing can be determined in accordance with the thermosetting resin, so that detailed process conditions for implementing the complete curing step are described in detail in this specification . For example, if a BT resin having a thickness of 25 탆 is used as a thermosetting resin, complete curing of the solder mask can be accomplished by heating at 120 to 180 캜 for 1 to 2 hours.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법에서 다음 단계인 금속 레지스트 피복 단계는 도 1의 (바)에 나타낸 바와 같이 상기 솔더마스크 식각 단계를 거쳐 상기 열경화성 수지층(120)에 생겨난 함입부에 구리가 아닌, 다른 금속의 레지스트(300)를 피복하는 단계이다. 이러한 금속 레지스트로 피복된 부분의 솔더레지스트와 그 아래의 구리 배선층은 이어지는 동박 에칭 단계에서 훼손이 방지된다. 상기 금속 레지스트로는 이어지는 동박 에칭 단계에서 쓰이는 에칭액으로 용해시킬 수 없는 재질의 금속을 사용하면 적당하다. 본 발명의 한 실시 형태에서는 금속 레지스트로 주석(Sn) 또는 주석 합금(Sn alloy) 소재를 사용할 수 있다.The metal resist coating step, which is the next step in the method of forming a solder mask pattern of the present invention, is a method of forming a solder mask pattern by etching the solder mask, as shown in FIG. 1 (b) And covering the resist 300 of another metal. The portion of the solder resist coated with the metal resist and the copper wiring layer under the solder resist are prevented from being damaged in the subsequent copper foil etching step. As the metal resist, it is appropriate to use a metal that can not be dissolved as an etching solution used in the following copper foil etching step. In one embodiment of the present invention, tin (Sn) or a tin alloy (Sn alloy) material may be used as the metal resist.

본 발명의 방법에서 이어지는 단계인 동박 에칭 단계는 도 1의 (사)에 나타낸 바와 같이 컨포멀 마스크로 사용된 동박(200)을 에칭으로 제거하는 단계이다. 본 발명의 동박 에칭 단계는 이 기술 분야에서 통상적으로 사용되는 구리 에칭액과 통상적인 식각 조건을 사용하여 구현할 수 있는데, 예를 들어 과산화수소-황산계 에칭액을 사용할 수 있다. The copper etching step, which is a subsequent step in the method of the present invention, is a step of etching the copper foil 200 used as a conformal mask as shown in FIG. The copper foil etching step of the present invention can be performed by using a copper etching solution commonly used in this technical field and conventional etching conditions. For example, a hydrogen peroxide-sulfuric acid-based etching solution can be used.

본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법의 다음 단계인 금속 레지스트 제거 단계는 도 1의 (아)에 나타낸 바와 같이 기판으로부터 금속 레지스트(300)를 제거하는 단계이다.The metal resist removing step, which is the next step of the solder mask pattern forming method of the present invention, is a step of removing the metal resist 300 from the substrate as shown in (A) of FIG.

이와 같은 본 발명의 솔더마스크 패턴 형성 방법을 이용하면 고강성도 기판을 제조하는데 유리한 열경화성 수지를 양산성이 우수한 습식 공정으로 제거할 수 있으므로, 초박판 패키지 인쇄회로기판 제조에서 기존 감광성 아크릴계 솔더마스크 레지스트를 열경화성 에폭시계 솔더마스크 레지스트로 대체할 수 있게 하여 준다. 이렇게 함으로써 고강성, 고신뢰성 초박판 패키지 기판을 양산성 있게 제조할 수 있게 되는 이점이 있다.The solder mask pattern forming method according to the present invention can remove a thermosetting resin favorable for manufacturing a high-strength substrate by a wet process with excellent mass productivity. Therefore, in the manufacture of a printed circuit board of ultra thin plate package, And can be replaced with a thermosetting epoxy solder mask resist. Thus, there is an advantage that a highly rigid and highly reliable ultra thin plate package substrate can be mass-produced.

<실시예><Examples>

이하, 본 발명을 이하 제시하는 실시예와 실험예에 의거하여 좀 더 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐으로서 본 발명의 범위가 이들만으로 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples and experimental examples. However, it should be understood that the present invention is not limited thereto.

<제조예> 알칼리 현상액의 제조&Lt; Preparation Example > Preparation of alkaline developer

본 발명에 따른 알칼리 현상액 조성물 4 종류(실시예 1 내지 4)와 종래 기술의 알칼리 현상액 조성물 4 종류(비교예 1 내지 4)를 각각 제조하였다. 이들 실시예와 비교예의 알칼리 현상액은 1 L당 구성 성분을 아래 표 1에 정리한 비율로 포함하였으며 나머지는 물로 이루어졌다.Four types of alkaline developer compositions (Examples 1 to 4) and four types of alkaline developer compositions of the prior art (Comparative Examples 1 to 4) according to the present invention were respectively prepared. The alkaline developers of these Examples and Comparative Examples contained the components per liter in the ratio listed in Table 1 below and the remainder in water.

Figure 112015030493335-pat00001
Figure 112015030493335-pat00001

* (주)동남합성의 양이온계 계면활성제 DQ-590ET* The cationic surfactant DQ-590ET

<실험예> 솔더마스크 제거 성능의 비교 평가&Lt; Experimental Example > Comparative evaluation of solder mask removal performance

앞서 제조예에서 얻은 알칼리 현상액의 솔더마스크 제거 성능을 평가하는 시험을 다음과 같이 수행하였다. 시험용 회로기판으로는 18 μm 두께 동박의 양면 CCL 기판에 통상적인 포토리소그래피(Photolithography) 공정을 통하여 직경 200 ㎛의 SMD 볼패드(ball pad) 형태로 설치한 기판을 사용하였다. 이 기판에는 솔더마스크 형성을 위하여 이 기판의 외부 구리 배선층 위로 25 μm 두께의 에폭시 수지(일본 스미토모사의 LaZ 7752) 시트를 적층하였다. 그리고, 12 μm 두께의 동박을 적층하고, 100℃에서 30분 동안 가열하여 에폭시 수지 경화율이 60%가 되도록 함으로써 동박을 열압착하였다. 이후, 드라이 필름(일본 히타치사의 RY3315)을 라미네이션, 노광 및 현상하여 과산화수소-황산계 에칭액(한국 와이엠티사의 HEP 50)으로 동박을 에칭하여 컨포멀 마스크를 제조하였다. 노출된 에폭시 수지를 본 발명에서 개시한 현상액으로 70℃에서 200초 동안 현상하였다. 에폭시 수지가 현상된 기판을 150℃에서 2시간 가열하여 솔더레지스트인 에폭시 수지를 완전 경화하였다. 노출된 SMD 볼패드를 주석 합금 페이스트를 스크린 방식으로 매립 후 컨포멀 마스크로 사용된 동박을 과산화수소-황산계 에칭액(한국 와이엠티사의 HEP 50)을 에칭 제거하였다. 마지막으로 주석 합금 금속 마스킹재를 무기산계 에칭액(와이엠티 MS 90)을 사용하여 제거하였다. A test for evaluating the solder mask removal performance of the alkaline developer obtained in the above Production Example was carried out as follows. As a test circuit board, a substrate with a 200 μm diameter SMD ball pad was mounted on a double-sided CCL board of 18 μm thick copper through a conventional photolithography process. On this substrate, a 25 μm thick epoxy resin (LaZ 7752 made by Sumitomo Corporation) was laminated on the outer copper wiring layer of this substrate to form a solder mask. Then, a copper foil having a thickness of 12 μm was laminated and heated at 100 ° C. for 30 minutes so that the curing rate of the epoxy resin was 60%, thereby hot-pressing the copper foil. Then, a dry film (RY3315 manufactured by Hitachi, Ltd., Japan) was laminated, exposed and developed, and a copper mask was formed by etching the copper foil with a hydrogen peroxide-sulfuric acid type etching solution (HEP 50, manufactured by YMCT Co., Ltd.). The exposed epoxy resin was developed with the developer described in the present invention at 70 캜 for 200 seconds. The substrate on which the epoxy resin was developed was heated at 150 占 폚 for 2 hours to completely cure the epoxy resin as the solder resist. The exposed SMD ball pads were filled with a tin alloy paste by a screen method, and the copper foil used as a conformal mask was etched away with a hydrogen peroxide-sulfuric acid-based etching solution (HEP 50, manufactured by YMCT Co., Ltd.). Finally, the tin alloy metal masking material was removed using an inorganic acid-based etchant (WYMITE MS 90).

솔더마스크의 식각은 전술한 실시예와 비교예의 알칼리 현상액을 사용하여 표 2에 정리한 조건으로 이루어졌다. 솔더마스크 패턴 형성을 전자현미경으로 관찰하여 솔더마스크의 외관, 솔더마스크 제거 속도, 언더컷 정도, 구리 배선에 대한 식각 속도 등을 측정하였다. 언더컷은 편측 기준으로 등방성 에칭 두께로 정의하였다.측정 결과를 종합하여 성능을 평가하였는데, 평가 기준은 구리 배선층에 솔더마스크 잔사가 없으며, 언더컷 정도가 5 μm 미만이면 매우 우수, 5 μm 이상~10 μm 미만이면 우수, 10 μm 이상 20 μm 미만이면 보통, 구리 배선층에 솔더마스크 잔사가 남거나, 언더컷이 20 μm 이상이면 부적합으로 판정하였다.The etching of the solder mask was performed under the conditions summarized in Table 2 using the alkaline developer of the above-described Examples and Comparative Examples. Solder mask pattern formation was observed with an electron microscope to measure the appearance of the solder mask, the solder mask removal rate, the degree of undercut, and the etching rate for the copper wiring. The undercut was defined as the isotropic etch thickness on the basis of one side. The measurement results were combined to evaluate the performance. The evaluation criteria were as follows: No solder mask residue on the copper wiring layer, , And when the thickness is less than 10 μm and less than 20 μm, it is usually judged that the solder mask residue is left on the copper wiring layer or the undercut is not less than 20 μm.

Figure 112015030493335-pat00002
Figure 112015030493335-pat00002

표 2의 비교 실험 결과로부터 수용성 지방족 아민, 알칼리, 글리콜에테르, 아졸계 구리 부식 억제제 및 계면활성제의 조합을 갖추는 것이 본 발명의 기술적 과제를 해결하는데 필수적이라는 점을 뚜렷이 알 수 있다. 비교예 1과 2의 경우는 공정 온도가 유사한 실시예 2와 1에 비하여 아민과 알칼리의 합계 함량이 훨씬 더 많은데도 불구하고 솔더마스크 제거 속도가 대등하거나 약간 더 빠른 정도에 그침을 볼 수 있다. 반면에 비교예 1과 2는 언더컷의 발생이 실시예 1과 2에 비하여 훨씬 심하다. 이러한 과다한 스트리핑(400)이 일어난 비교예 1과 2 현상액에 의한 언더컷 발생 형태를 그림으로 나타낸 것이 각각 도 2a와 2b이다. 이에 반하여 도 3은 본 발명의 실시예 4의 알칼리 현상액을 이용하여 얻은 고강도 초박판 패키지 기판의 모습이다. 규칙적이고 가지런한 SMD 볼패드의 형성으로 이 기판은 솔더마스크의 해상도가 우수하다는 점을 확인할 수 있다. From the results of comparative experiments in Table 2, it can be clearly seen that it is essential to have a combination of a water-soluble aliphatic amine, an alkali, a glycol ether, an azole-based corrosion inhibitor and a surfactant to solve the technical problem of the present invention. In the case of Comparative Examples 1 and 2, the removal rate of the solder mask is equal to or slightly faster than that of Examples 2 and 1, which have a similar process temperature, although the total content of amine and alkali is much larger. On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2, occurrence of undercuts is much greater than in Examples 1 and 2. FIGS. 2A and 2B show the formation of the undercut caused by the developer of Comparative Examples 1 and 2 in which the excessive stripping 400 occurred. On the other hand, FIG. 3 shows a high strength ultra thin plate package substrate obtained by using the alkali developer of Example 4 of the present invention. The formation of regular and well-formed SMD ball pads confirms that this board has excellent solder mask resolution.

나아가 비교예 알칼리 현상액에 비하여 본 발명의 알칼리 현상액은 구리 배선 부분에 대한 원하지 않는 에칭을 억제하는 능력도 훨씬 뛰어난 것을 알 수 있다. 특히 비교예 2와 실시예 1을 비교하면 같은 양의 벤조트리아졸을 함유하고 있음에도 구리 식각 속도가 20배 이상 차이가 남을 볼 수 있다. 이러한 결과는 이 차이가 단순히 구리 부식 억제제의 종류나 함량의 차이에서 비롯된 것이 아니라는 점을 보여 준다. 위 실험 결과로부터 수용성 지방족 아민, 알칼리, 글리콜에테르, 아졸계 구리 부식 억제제 및 계면활성제의 조합을 갖춘 알칼리 현상액만이 잔사 없이 신속하게 솔더마스크 제거하면서 과도한 언더컷과 구리 배선층의 원하는 에칭을 방지할 수 있다는 점을 확인하였다.Further, it can be seen that the alkaline developer of the present invention is far superior to the comparative alkaline developer in the ability to suppress undesired etching on the copper wiring portion. In particular, when comparing Comparative Example 2 with Example 1, it can be seen that the etching rate of copper is 20 times or more different although it contains the same amount of benzotriazole. These results show that this difference is not simply due to the difference in the kind or content of the copper corrosion inhibitor. The above experimental results show that only alkaline developers with a combination of water-soluble aliphatic amines, alkalis, glycol ethers, azole-based copper corrosion inhibitors and surfactants can quickly remove solder masks without residue and prevent excessive undercuts and desired etching of the copper wiring layer .

전술한 바와 같이 특정 내용과 일부 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 구체적인 예로써 제시한 설명일 뿐임을 밝혀 둔다. 본 발명은 전술한 실시 형태들로만 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 실시 형태에 대하여 다양한 수정 및 변형을 할 수 있고, 이러한 수정 및 변형도 본 발명의 기술 사상 속에서 망라하고 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to certain exemplary embodiments thereof, it should be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation. It will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. .

따라서 앞에서 설명한 실시 형태들과 후술하는 특허 청구의 범위는 물론, 이 특허 청구 범위의 모든 균등물이나 등가인 변경 실시 형태들도 본 발명 기술 사상의 범주에 속한다.Accordingly, all equivalents of the claims and their equivalents, as well as the embodiments described hereinabove and the appended claims, are also within the scope of the present invention.

100: 내층 기재 110: 외층 구리 배선
120: 열경화성 수지(솔더마스크 레지스트)
200: 금속박 300: 금속 레지스트
400: 솔더레지스트가 과다 제거된 부위
100: inner layer substrate 110: outer layer copper wiring
120: Thermosetting resin (solder mask resist)
200: metal foil 300: metal resist
400: area where the solder resist is excessively removed

Claims (14)

수용성 지방족 아민 200~500 g/L; 알칼리금속 수산화물 200~500 g/L; 글리콜에테르계 용매 50~200 g/L; 아졸계 부식 억제제 1~50 g/L; 올레일이미다졸늄 메토설페이트계 4급 암모늄, 올레일아미도아민 메토설페이트계 4급 암모늄, 디메틸알킬아민 유도체, 및 알킬아마이드계 계면활성제 중에서 선택된 1종 이상의 양이온계 계면활성제 0.1~50 g/L; 메타규산나트륨, 1인산칼륨, 2인산칼륨, 3인산칼륨, 1인산나트륨, 2인산나트륨, 3인산나트륨, 질산암모늄, 질산나트륨, 및 질산칼륨 중에서 선택된 1종 이상의 무기염 첨가제 50 g/L 이하; 및 잔부의 물,을 포함하는 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물. 200 to 500 g / L of water-soluble aliphatic amine; 200 to 500 g / L of alkali metal hydroxide; 50-200 g / L glycol ether solvent; 1 to 50 g / L of an azole corrosion inhibitor; At least one cationic surfactant selected from oleylimidazolium methosulfate-based quaternary ammonium, oleylamidoamine methosulfate-based quaternary ammonium, dimethylalkylamine derivatives, and alkylamide-based surfactants 0.1 to 50 g / L ; At least one inorganic salt additive selected from sodium metasilicate, potassium monophosphate, potassium diphosphate, potassium triphosphate, sodium monophosphate, sodium diphosphate, sodium triphosphate, ammonium nitrate, sodium nitrate, and potassium nitrate at 50 g / L or less ; And water of the remainder. The alkaline developer composition for removing a resist of a thermosetting solder mask. 제 1항에 있어서, 상기 수용성 지방족 아민은 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, 아미노메틸프로판올, 트리이소프로판올아민, 디부틸아민, 트리부틸아민, 디이소프로판올아민, 메틸모노에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 에틸렌디아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 테트라에틸렌펜타아민, 디메틸에탄올아민, 이소프로필아민, 사이클로펜틸아민, 사이클로헥실아민, 디아밀아민 및 이들의 혼합물 중에서 선택하는 것을 특징으로 하는 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물.The method of claim 1, wherein the water soluble aliphatic amine is selected from the group consisting of monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, aminomethylpropanol, triisopropanolamine, dibutylamine, tributylamine, diisopropanolamine, methylmonoethanolamine, Is selected from amine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, dimethylethanolamine, isopropylamine, cyclopentylamine, cyclohexylamine, diamylamine and mixtures thereof An alkaline developer composition for removing a thermosetting solder mask resist. 제 1항에 있어서, 상기 알칼리금속 수산화물은 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화리튬, 수산화암모늄 및 이들의 혼합물 중에서 선택하는 것을 특징으로 하는 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물.The alkaline developer composition of claim 1, wherein the alkali metal hydroxide is selected from the group consisting of sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, ammonium hydroxide, and mixtures thereof. 제 1항에 있어서, 상기 글리콜에테르계 용매는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노부틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 에틸렌글리콜모노이소부틸에테르, 에틸렌글리콜모노헥실에테르, 에틸렌글리콜모노에틸헥실에테르, 에틸렌글리콜모노아릴에테르, 에틸렌글리콜모노페닐에테르 및 이들의 혼합물 중에서 선택하는 것을 특징으로 하는 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물.The method according to claim 1, wherein the glycol ether solvent is selected from the group consisting of ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, polyethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether , Triethylene glycol monoethyl ether, polyethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, polyethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol mono Ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monoaryl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monoaryl ether, LE and these being selected from the mixture of the heat-curable solder mask resist composition for the alkali developing solution. 제 1항에 있어서, 상기 아졸계 부식 억제제는 벤조트리아졸, 5-아미노테트라졸, 톨릴트리아졸, 1,2-디메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 1-메틸이미다졸, 1-비닐이미다졸, 2-브로모-4-니트로이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-이소프로필이미다졸, 2-메르캅토벤즈이미다졸, 2-프로필이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-클로로-4-니트로이미다졸, 4-니트로이미다졸, N,N-카르보닐디이미다졸 및 이들의 혼합물 중에서 선택하는 것을 특징으로 하는 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물.The method of claim 1 wherein the azole corrosion inhibitor is selected from the group consisting of benzotriazole, 5-aminotetrazole, tolyltriazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-benzyl- Methylimidazole, 2-bromo-4-nitroimidazole, 2-ethylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2-methylimidazole, N, N -carbonyldiimidazole, N, N -carbonyldiimidazole, and mixtures thereof. The method according to claim 1, Wherein the thermosetting solder mask is a thermosetting solder mask. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 인쇄회로기판의 솔더마스크 패턴을 형성하는 방법으로서, 상기 방법은
내층 기재 위에 전도성 배선이 형성된 기판에 열경화성 수지의 층과 동박층을 차례로 적층하는 레이업(lay-up) 단계;
상기 적층한 열경화성 수지의 경화가 50~90% 진행되도록 가열하는 열압착 단계;
상기 동박을 에칭하여 패턴을 형성하는 컨포멀 마스크(Conformal mask) 형성 단계;.
상기 열경화성 수지층에서 상기 컨포멀 마스크로 보호받지 못하는 부분을 지방족 아민과 알칼리금속 수산화물을 함유하는 제 1항의 열경화성 솔더마스크 레지스트 제거용 알칼리 현상액 조성물에 노출시켜 제거하는 솔더마스크 식각 단계;
상기 열경화성 수지층을 가열하여 완전 경화하는 솔더마스크 완성 단계;
상기 솔더마스크 식각 단계에서 열경화성 수지가 제거된 함입부에 구리가 아닌 금속의 레지스트를 피복하는 단계;
상기 동박층을 에칭으로 제거하는 단계; 및
상기 금속 레지스트를 제거하는 단계를 포함하는 솔더마스크의 패턴 형성 방법.
A method of forming a solder mask pattern of a printed circuit board,
A lay-up step of sequentially laminating a layer of a thermosetting resin and a copper foil layer on a substrate on which conductive wirings are formed on an inner layer substrate;
A thermocompression bonding step of heating the laminated thermosetting resin so that curing proceeds 50 to 90%;
Forming a conformal mask by etching the copper foil to form a pattern;
Etching the solder mask to expose and remove portions of the thermosetting resin layer, which are not protected by the conformal mask, with the alkaline developer composition for removing a thermosetting solder mask resist of claim 1 containing an aliphatic amine and an alkali metal hydroxide;
A solder mask completing step of heating and curing the thermosetting resin layer;
Coating a resist of a metal other than copper on the depression where the thermosetting resin is removed in the solder mask etching step;
Removing the copper foil layer by etching; And
And removing the metal resist.
제 10항에 있어서, 상기 열경화성 수지는 에폭시 계열인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern forming method according to claim 10, wherein the thermosetting resin is epoxy-based. 제 11항에 있어서, 상기 솔더마스크 식각 단계는 40~80℃의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The method of claim 11, wherein the step of etching the solder mask is performed at a temperature of 40 to 80 ° C. 삭제delete 제 10항에 있어서, 상기 금속 레지스트는 주석 또는 주석 합금 소재인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.The pattern forming method according to claim 10, wherein the metal resist is a tin or tin alloy material.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019203529A1 (en) * 2018-04-17 2019-10-24 엘티씨 (주) Dry film resist stripping solution composition

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101420571B1 (en) * 2013-07-05 2014-07-16 주식회사 동진쎄미켐 Remover composition for dryfilm resist and removing method using the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101420571B1 (en) * 2013-07-05 2014-07-16 주식회사 동진쎄미켐 Remover composition for dryfilm resist and removing method using the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019203529A1 (en) * 2018-04-17 2019-10-24 엘티씨 (주) Dry film resist stripping solution composition
US11092895B2 (en) 2018-04-17 2021-08-17 Ltc Co., Ltd. Peeling solution composition for dry film resist

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