KR101566691B1 - 누수 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 누수 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치는, 적어도 하나의 피검사물이 안착되는 적어도 하나의 검사 공간이 형성된 검사 챔버와, 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 내부에 형성된 제1 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제1 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제1 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제1 실린더와, 제1 피스톤 로드에 연결되며, 제1 피스톤 로드를 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제1 액츄에이터와, 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 내부에 형성된 제2 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제2 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제2 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제2 실린더 및 제2 피스톤 로드에 연결되며, 제2 피스톤 로드를 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제2 액츄에이터를 포함하며, 제1 피스톤 로드는 적어도 하나의 제1 액츄에이터의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 제1 수용 공간에 수용된 기체를 적어도 하나의 검사 공간에 유입 또는 배출시키고, 제2 피스톤 로드는 적어도 하나의 제2 액츄에이터의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 적어도 하나의 검사 공간에서의 기체량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

Description

누수 검사 장치{Apparatus for testing leakage}

본 발명은 누수 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보다 간단한 구조로 용이하게 피검사물에 대한 누수 검사 공정을 수행할 수 있는 누수 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로 휴대폰, 스마트폰, 태블릿 컴퓨터 등 다양한 종류의 전자 기기는 외형을 형성하는 외부 케이스의 내부에 다양한 종류의 소자가 구비된 전자 회로 장치가 장착된다. 이러한 전자 기기는 외부 케이스의 틈새를 통해 내부로 침투된 습기, 물 등으로 인해 내부의 전자 회로 장치가 손상되어 제품이 고장나는 경우가 많으므로, 전자 기기의 방수 성능을 개선하고자 하는 개발이 이루어지고 있다. 아울러, 이러한 방수 성능의 개발과 함께, 전자 기기의 방수 상태를 확인하기 위해 다양한 누수 검사(또는, 누설 검사) 방법이 개발되고 있다.

종래에는 전자 기기에 대한 누수 검사를 수행하기 위해, 전자 기기를 직접 물 등에 침전시킨 후 일정 시간이 경과되면 전자 기기를 꺼내어 외부 케이스를 분리한 후 내부로 스며든 물의 흔적과 양 등을 관찰하여 방수의 정도를 측정하는 방법을 사용하는 방식을 사용했다. 이러한 방식은 전자 기기를 방수의 대상인 물을 직접 적용한다는 점에서 피검사물인 전자 기기의 방수 성능을 확인할 수 있는 가장 확실한 방법이다.

그러나, 전자 기기에 물을 직접 접촉시키는 방법은 누수 검사 과정에서 피검사물인 전자 기기의 손상이 발생할 수 있고, 누수 검사 과정이 복잡하여 전자 기기 전체에 대한 누수 검사가 어렵다는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 피검사물인 전자 기기를 장착한 챔버에 압축 공기 등을 주입한 후, 챔버 내부의 상태 변화를 측정하여 전자 기기의 방수 성능을 판단하는 방식을 사용하고 있다. 이러한 방식을 사용하는 종래의 누수 검사 장치는 피검사물인 전자 기기에 직접 물을 접촉시키지 않아도 되므로 전자 기기의 손상을 방지할 수 있다는 장점은 있으나, 피검사물이 안착되는 챔버에 주입되는 압축 공기를 생성하여 공급하는 공기 압축기(Air compressor) 등 별도의 공압 설비가 요구되므로, 누수 검사 장치의 전체 구조가 복잡하고 공압 설비가 설치되지 않은 현장에서는 누수 검사 장치를 사용할 수 없다는 문제점이 있었다.

따라서, 보다 간단한 구조로 용이하게 피검사물에 대한 누수 검사 공정을 수행할 수 있는 누수 검사 장치가 요구된다.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 검사 챔버에 형성된 검사 공간에 액츄에이터에 의해 구동하는 실린더를 이용하여 기체를 유입하여 누수 검사를 수행함으로써, 보다 간단한 구조로 용이하게 피검사물에 대한 누수 검사 공정을 수행할 수 있는 누수 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치는, 적어도 하나의 피검사물이 안착되는 적어도 하나의 검사 공간이 형성된 검사 챔버와, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 내부에 형성된 제1 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제1 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제1 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제1 실린더와, 상기 제1 피스톤 로드에 연결되며, 상기 제1 피스톤 로드를 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제1 액츄에이터와, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 내부에 형성된 제2 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제2 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제2 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제2 실린더 및 상기 제2 피스톤 로드에 연결되며, 상기 제2 피스톤 로드를 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제2 액츄에이터를 포함하며, 상기 제1 피스톤 로드는 상기 적어도 하나의 제1 액츄에이터의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 상기 제1 수용 공간에 수용된 기체를 상기 적어도 하나의 검사 공간에 유입 또는 배출시키고, 상기 제2 피스톤 로드는 상기 적어도 하나의 제2 액츄에이터의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 상기 적어도 하나의 검사 공간에서의 기체량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 적어도 하나의 제1 실린더는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)이고, 상기 적어도 하나의 제1 액츄에이터 및 상기 적어도 하나의 제2 실린더는 전기 실린더(Electric cylinder)인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 검사 챔버는, 상기 적어도 하나의 검사 공간이 형성되며, 일 측에 상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되는 적어도 하나의 제1 관통 홀 및 적어도 하나의 제2 관통 홀이 각각 형성된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버의 상부에 결합 가능하도록 배치되며, 상기 하부 챔버에 결합될 때에 상기 적어도 하나의 검사 공간을 밀폐시키는 상부 챔버와, 상기 하부 챔버의 일 측을 통해 상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간에서의 압력을 측정하는 적어도 하나의 압력 센서와, 일단은 상기 적어도 하나의 제1 관통 홀에 연결되고, 타단은 상기 적어도 하나의 제1 실린더에 구비된 상기 제1 포트에 연결되는 제1 배관 및 일단은 상기 적어도 하나의 제2 관통 홀에 연결되고, 타단은 상기 적어도 하나의 압력 센서에 연결되는 제2 배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 검사 챔버는, 상기 제1 배관에 설치되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 유입 또는 배출되는 기체의 흐름을 제어하고, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어하는 제1 밸브 및 상기 제2 배관에 설치되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어하는 제2 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 상부 챔버에 연결되며, 상기 하부 챔버의 상부에서 상기 상부 챔버를 상하 방향으로 구동시켜 상기 하부 챔버를 개폐시키는 챔버 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 챔버 구동부는, 상기 상부 챔버의 상부면에 결합되는 고정 블록과, 상기 고정 블록의 상단에 연결되며, 상기 고정 블록을 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제3 액츄에이터와, 상기 고정 블록의 적어도 하나의 일 측에 연결되며, 상기 고정 블록이 상하 방향으로 왕복 이동할 때에 상기 고정 블록의 이동을 안내하는 이동 안내부 및 상기 하부 챔버와 인접하게 위치하며, 상부면에 상기 적어도 하나의 제3 액츄에이터가 결합되고, 적어도 하나의 일 측에 상기 이동 안내부가 설치되는 프레임부를 포함하며, 상기 적어도 하나의 제3 액츄에이터는 전기 실린더(Electric cylinder)인 것을 특징으로 한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 누수 검사 장치에 따르면, 검사 챔버에 형성된 검사 공간에 액츄에이터에 의해 구동하는 실린더를 이용하여 기체를 유입하여 누수 검사를 수행함으로써, 보다 간단한 구조로 용이하게 피검사물에 대한 누수 검사 공정을 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따른 누수 검사 장치에 따르면, 검사 공간에 기체를 유입 또는 배출하는 제1 실린더와 제1 액츄에이터를 각각 공압 실린더와 전기 실린더로 구현하고, 검사 공간의 기체량을 조절하는 제2 액츄에이터를 전기 실린더로 구현함으로써, 별도의 공기 압축기(Air compressor) 등을 구비하지 않은 환경에서도 전기에 의해서만 압축 공기를 공급할 수 있으므로, 누수 검사 장치의 전체 구조를 단순화하고 공압 설비가 구비되지 않은 장소에서도 누수 검사 공정을 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따른 누수 검사 장치에 따르면, 검사 챔버는 검사 공간에 연결된 제1 배관에 제1 밸브 및 제2 밸브를 추가 설치함으로써, 제1 실린더로부터 검사 공간으로 유입 또는 배출되는 기체의 공급량 및 배출량을 보다 정밀하게 제어할 뿐 아니라, 누수 검사 공정을 수행한 이후 검사 공간, 제1 배관 및 제2 배관에 잔류하는 기체를 완전히 배출시킬 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제1 실린더의 구동을 나타내는 종단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제2 실린더의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제2 실린더의 구동을 나타내는 종단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치가 제1 밸브 및 제2 밸브를 포함하는 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치가 챔버 구동부를 포함하는 구조를 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 챔버 구동부의 구동을 나타내는 정면도이다.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 누수 검사 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)는 검사 챔버(100), 적어도 하나의 제1 실린더(200), 적어도 하나의 제1 액츄에이터(300), 적어도 하나의 제2 실린더(400) 및 적어도 하나의 제2 액츄에이터(500)를 포함하여 구성될 수 있다.

검사 챔버(100)는 적어도 하나의 피검사물(10)이 안착되는 적어도 하나의 검사 공간(111)이 형성될 수 있다. 각각의 검사 공간(111)은 피검사물(10)이 안착된 상태에서 피검사물(10)에 대한 누수 검사가 이루어지는 동안 밀폐된 상태에서 외부로부터 누수 검사를 위한 기체(예를 들어, 공기)가 유입될 수 있다. 도 1에서는 검사 챔버(100)에 2 개의 검사 공간(111)이 나란히 형성된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 검사 공간(111)의 개수 및 배치 형태 등은 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 검사 챔버(100)는 검사 공간(111)이 형성된 하부 챔버(110), 하부 챔버(110)에 결합되는 상부 챔버(120), 하부 챔버(110)의 검사 공간(111)에 연결되는 적어도 하나의 압력 센서(130), 하부 챔버(100)의 검사 공간(111)에 연통되도록 연결되는 제1 배관(140) 및 제2 배관(150)으로 구성될 수 있다. 이러한 검사 챔버(100)의 구체적인 구조에 대해서는 도 2 내지 도 6을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.

제1 실린더(200)는 제1 배관(140)을 통해 적어도 하나의 검사 공간(111)에 연통되며, 내부에 형성된 제1 수용 공간(211)을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제1 포트(212)를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제1 피스톤 로드(220)가 구비될 수 있다. 또한, 제1 액츄에이터(300)는 제1 피스톤 로드(220)에 연결되며, 제1 피스톤 로드(220)를 왕복 구동시키는 구동력을 제공할 수 있다. 이러한 제1 피스톤 로드(220)는 적어도 하나의 제1 액츄에이터(300)의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 제1 수용 공간(211)에 수용된 기체를 적어도 하나의 검사 공간(111)에 유입 또는 배출할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제1 실린더(200)는 대략 원통 또는 직육면체 형상의 제1 실린더 몸체(210)의 내부에 밀폐된 제1 수용 공간(211)이 형성되고, 제1 수용 공간(211)을 왕복 이동 가능하도록 설치되는 제1 피스톤 로드(220)를 구비할 수 있다. 제1 피스톤 로드(220)는 일단이 밀폐된 제1 수용 공간(211)의 내부에 이동 가능하게 설치되고, 타단은 외부로 노출되어 제1 액츄에이터(300)에 연결되어 제1 액츄에이터(300)의 구동력을 전달 받아 제1 수용 공간(211)의 내부를 왕복 이동할 수 있다. 또한, 제1 실린더 몸체(210)의 일 측에는 제1 배관(140)이 연결되는 제1 포트(212)가 형성될 수 있다.

도 1에서는 일단이 2 개의 검사 공간(111)에 연통하도록 설치된 'Y' 자 형태의 제1 배관(140)의 타단에 1 개의 제1 실린더(200)와 1 개의 제1 액츄에이터(300)가 연결된 예를 도시하고 있으나, 각각의 검사 공간(111)에 제1 실린더(200)와 제1 액츄에이터(300)가 각각 연결될 수도 있다. 또한, 도 1에서는 1 개의 제1 실린더(200)에 1 개의 제1 액츄에이터(300)가 연결된 예를 도시하고 있으나, 복수의 제1 실린더(200)에 1 개의 제1 액츄에이터(300)가 연결될 수도 있다.

제2 실린더(400)는 적어도 하나의 검사 공간(111)에 연통되며, 내부에 형성된 제2 수용 공간(411)을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제2 포트(412)를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제2 피스톤 로드(420)가 구비될 수 있다. 또한, 제2 액츄에이터(300)는 제2 피스톤 로드(420)에 연결되며, 제2 피스톤 로드(420)를 왕복 구동시키는 구동력을 제공할 수 있다. 이러한 제2 피스톤 로드(420)는 적어도 하나의 제2 액츄에이터(500)의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 적어도 하나의 검사 공간(111)에서의 기체량을 조절할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제2 실린더(400) 및 제2 액츄에이터(500)는 검사 공간(111)의 개수만큼 구비되어 각각의 검사 공간(110)에 연결되는 것이 바람직하다. 도 1에서는 2 개의 검사 공간(111)에 2 개의 제2 실린더(400)와 2 개의 제2 액츄에이터(500)가 각각 연결된 예를 도시하고 있으나, 제2 실린더(400) 및 제2 액츄에이터(500)의 개수 및 배치 형태는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

한편, 설명의 편의상, 도 1에서는 제1 실린더(200)의 구조와 제2 실린더(400)의 구조가 유사하게 구현된 예를 들고 있으나, 적어도 하나의 검사 공간(111)에 기체를 유입 또는 배출하기 위한 제1 실린더(200)와 적어도 하나의 검사 공간(111)에서의 기체량을 조절하기 위한 제2 실린더(400)는 다르게 구성되는 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)의 경우, 제1 실린더(200)에 구비된 제1 피스톤 로드(220)는 제1 액츄에이터(300)의 구동력을 전달 받아 제1 수용 공간(211)의 내부를 왕복 이동할 때에, 제1 수용 공간(211)에 수용된 기체를 적어도 하나의 검사 공간(111)에 유입하거나 적어도 하나의 검사 공간(111)에 수용된 기체를 다시 제1 수용 공간(211)으로 유입시킬 수 있다. 또한, 제2 실린더(400)에 구비된 제2 피스톤 로드(420)는 제2 액츄에이터(500)의 구동력을 전달 받아 제2 수용 공간(411)의 내부를 왕복 이동할 때에, 제2 수용 공간(411)에 수용되는 기체량을 조절하여 적어도 하나의 검사 공간(111)에서의 기체량을 조절할 수 있다.

이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)의 구체적인 구조 및 동작을 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 검사 챔버(100)는 하부 챔버(110), 상부 챔버(120), 적어도 하나의 압력 센서(130), 제1 배관(140) 및 제2 배관(150)을 포함하여 구성될 수 있다.

하부 챔버(110)는 적어도 하나의 검사 공간(111)이 형성되며, 일 측에 적어도 하나의 검사 공간(111)에 연통되는 적어도 하나의 제1 관통 홀(112)과 적어도 하나의 제2 관통 홀(113)이 각각 형성될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(110)는 대략 직육면체의 얇은 판상 형태를 가지고, 피검사물(10)가 안착될 수 있도록 상부가 개방되고 일정 깊이를 가지는 적어도 하나의 독립된 검사 공간(111)이 형성되며, 각각의 검사 공간(111)에는 외부와 연통된 적어도 하나의 제1 관통 홀(112)과 적어도 하나의 제2 관통 홀(113)이 형성될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(110)는 누수 검사 장치(1)의 프레임(도시되지 않음)에 구비된 베이스 플레이트(101)에 설치될 수 있다.

도 3에서는 2 개의 검사 공간(111)이 나란히 형성되고, 각각의 검사 공간(111)에 하부로 관통된 1 개의 제1 관통 홀(112)과, 측면에 관통된 1 개의 제2 관통 홀(113)이 형성된 예를 들고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 검사 공간(111)의 개수 ? 배치 형태, 제1 관통 홀(112) 및 제2 관통 홀(113)의 개수 및 형성 위치 등은 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

상부 챔버(120)는 하부 챔버(110)의 상부에 결합 가능하도록 배치되며, 하부 챔버(110)에 결합될 때에 적어도 하나의 검사 공간(111)을 밀폐시킬 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(120)는 하부 챔버(110)의 상부면에 결합될 때에 검사 공간(111)을 밀폐시키고 기밀을 유지하기 위한 시일 부재(121)를 포함하는데, 이러한 시일 부재(121)는 상부 챔버(120)의 하부에 형성된 홈(122)에 삽입 고정될 수 있다.

압력 센서(130)는 하부 챔버의 일 측에 형성된 적어도 하나의 제2 관통 홀(113)을 통해 적어도 하나의 검사 공간(111)에 연통되며, 적어도 하나의 검사 공간(111)에서의 압력을 측정할 수 있다. 도 2 및 도 3에서는 2 개의 검사 공간(111)에 각각 형성된 제2 관통 홀(113)에 2 개의 압력 센서(130)가 각각 제2 배관(150)에 설치된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

제1 배관(140)은 일단이 적어도 하나의 제1 관통 홀(112)에 연결되고, 타단이 적어도 하나의 제1 실린더(200)에 구비된 제1 포트(212)에 연결될 수 있다. 또한, 제2 배관(150)은 일단이 적어도 하나의 제2 관통 홀(113)에 연결되고, 타단은 적어도 하나의 압력 센서(130)에 연결될 수 있다.

도 3에서는 일단이 2 개의 검사 공간(111)에 각각 형성된 검사 공간(111)에 형성된 2 개의 제1 관통 홀(112)에 연결되고, 타단이 검사 챔버(100)의 하부에 구비된 1 개의 제1 실린더(200)에 형성된 제1 포트(212)에 연결되도록 'Y' 자 형태의 제1 배관(140)을 예로 들고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 제1 배관(140)의 형태는 검사 공간(111)의 개수 및 배치 형태, 제1 실린더(200)의 개수 및 설치 위치 등에 따라 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 실린더(200)는 검사 챔버(100)가 설치된 베이스 플레이트(101)의 하부에 배치되며, 제1 배관(140)을 통해 검사 챔버(100)의 하부에 형성된 제1 관통 홀(112)에 연결될 수 있다. 또한, 제1 액츄에이터(300)는 제1 실린더(200)와 인접한 위치에 배치되며, 고정 판(301)을 통해 제1 실린더(200)와 연결될 수 있다. 이와 같이, 검사 챔버(100)와, 제1 실린더(200) 및 제1 액츄에이터(300)를 상하로 배치하는 경우, 누수 검사 장치(1)의 구조를 보다 단순화시킬 수 있다.

도 3에서는 1 개의 제1 실린더(200)와 1 개의 제1 액츄에이터(300)가 고정 판(301)을 통해 연결된 상태로 구비된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 제1 실린더(200)와 제1 액츄에이터(300)의 개수, 배치 형태 등은 검사 공간(111)의 개수, 배치 형태, 체적 등에 따라 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)를 구성하는 제1 실린더(200)는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)를 사용하고, 제1 액츄에이터(300)는 전기 실린더(Electric cylinder)를 사용할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제1 실린더의 구동을 나타내는 종단면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 실린더(200)는 공압 실린더를 사용하되, 공압 실린더의 일 측에 구비된 포트를 제1 포트(212)로 사용하고, 제1 액츄에이터(300)는 전기 실린더를 사용하며, 전기 실린더로 공압 실린더의 피스톤 로드를 미리 정해진 거리만큼 왕복 이동시켜면 공압 실린더의 내부에 수용된 공기를 유입 또는 배출시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)는 검사 공간(111)에 기체를 유입하는 제1 실린더(200)와 제1 액츄에이터(300)를 각각 공압 실린더와 전기 실린더로 구현함으로써, 별도의 공기 압축기(Air compressor) 등을 구비하지 않은 환경에서도 전기에 의해서만 압축 공기를 공급할 수 있으므로, 누수 검사 장치(1)의 전체 구조를 단순화하고 공압 설비가 구비되지 않은 장소에서도 누수 검사 공정을 수행할 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 제2 실린더(400)의 제2 피스톤 로드(420)는 적어도 하나의 제2 액츄에이터(500)의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 적어도 하나의 검사 공간(111)에서의 기체량을 조절할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제2 실린더의 구조를 나타내는 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 제2 실린더의 구동을 나타내는 종단면도이다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 실린더(400)는 검사 챔버(100)가 설치된 베이스 플레이트(101)의 하부에 배치되며, 하부 챔버(110)의 일 측에 형성된 적어도 하나의 제3 관통 홀(114)을 통해 적어도 하나의 검사 공간(111)에 연통되도록 연결될 수 있다. 이러한 제2 실린더(400)는, 검사 공간(111)에서 제1 실린더(200)에 의한 기체가 유입된 후 누수 검사 공정이 수행되기 전에, 제2 액츄에이터(500)에 의해 구동되어 검사 공간(111)에서의 기체량이 일정하도록 조절할 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 검사 공간(111)에 형성된 제3 관통 홀(114)은 검사 공간(111)의 일 측으로부터 하부 방향을 향하도록 대략 'ㄱ'자 형상으로 형성되며, 제2 실린더(400)는 검사 챔버(100)의 하부에 설치된 제1 실린더(200)와 인접하게 배치된 상태로, 베이스 플레이트(101)에 형성된 제4 관통 홀(115)을 통해 제3 관통 홀(114)과 연결될 수 있다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 실린더(400)는 베이스 플레이트(101)의 상하로 관통된 제4 관통 홀(115)의 하단에 결합되고 내부에 전후 방향(또는, 좌우 방향)으로 제2 수용 공간(411)과 제2 포트(412)가 형성된 제2 실린더 몸체(410)와, 제2 수용 공간(411)에 왕복 이동 가능하도록 설치되는 제2 피스톤 로드(420)를 포함할 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 실린더 몸체(410)는 대략 'ㄴ' 형태로 형성되며, 제2 피스톤 로드(420)는 밀폐된 제2 수용 공간(411)에 삽입되는 일단인 원통형 몸체(421)의 외주면에 오-링(O-ring) 형태의 시일 부재(422)가 구비되고, 외부로 노출된 타단에 제2 액츄에이터(500)가 연결될 수 있다. 또한, 제2 실린더 몸체(410)는 베이스 플레이트(101)에 결합되는 부분에 형성된 홈(413)에 오-링(O-ring) 형태의 시일 부재(430)가 설치될 수 있다.

한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 검사 챔버(100)의 제3 관통 홀(114)과 베이스 플레이트(101)의 제4 관통 홀(115)이 맞닿는 부분(예를 들어, 하부 챔버(110)의 하단에 형성된 홈(114a))에 오-링(O-ring) 형태의 시일 부재(116)이 설치되고, 베이스 플레이트(101)의 제4 관통 홀(115)에 제2 실린더(400)가 연결되는 부분(예를 들어, 제2 실린더(400)의 입구에 형성된 홈(413))에 오-링(O-ring) 형태의 시일 부재(430)가 설치될 수 있다.

한편, 도 3에서는 2 개의 제2 실린더(400)가 각각 2 개의 검사 공간(111)에 연통되도록 연결되고, 각각의 제2 실린더(400)가 1 개의 제2 액츄에이터(500)로 구성된 예를 도시하고 있으나, 제2 실린더(400) 및 제2 액츄에이터(500)의 개수 및 배치 형태 등은 검사 공간(111)의 개수 및 배치 형태, 체적 등에 따라 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)에 구비된 검사 챔버(100)는 제1 배관(140) 및 제2 배관(150)에 각각 설치되는 제1 밸브(160) 및 제2 밸브(170)를 더 포함할 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치가 제1 밸브 및 제2 밸브를 포함하는 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.

제1 밸브(160)는 제1 배관(140)에 설치되며, 적어도 하나의 검사 공간(111)에 유입 또는 배출되는 기체의 흐름을 제어할 수 있다. 즉, 제1 밸브(160)는 피검사물(10)에 대한 누수 검사가 진행하기 전에 적어도 하나의 검사 공간(111)에 유입되는 기체의 공급량을 제어하거나, 피검사물(10)에 대한 누수 검사를 진행한 후에 적어도 하나의 검사 공간(111)으로부터 배출되는 기체의 배출량을 제어할 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제1 밸브(160)는 검사 공간(111)의 개수만큼 구비되며, 제1 배관(140) 내에서 각각의 검사 공간(111)에 형성된 제1 관통 홀(112)과 인접한 위치에 설치될 수 있다. 이러한 제1 밸브(160)는 제1 액츄에이터(300)에 의해 제1 실린더(200)가 미리 설정된 거리만큼 구동되었을 때에 개폐됨으로써, 적어도 하나의 검사 공간(111)에서 기체의 공급량 및 배출량을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.

또한, 제1 밸브(160)는 피검사물(10)에 대한 누수 검사를 진행한 후에 적어도 하나의 검사 공간(111)에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어할 수 있다.

상술한 바와 같이, 누수 검사 공정을 수행한 후, 제1 액츄에이터(300)를 구동시켜 제1 실린더(200)에 구비된 제1 피스톤 로드(220)를 최초 위치로 이동시켜 검사 공간(111)으로부터 기체를 배출하나, 제1 실린더(200)의 구동만으로는 기체를 완전히 배출시키지 못하고 검사 공간(111)에 잔류하는 기체가 존재할 가능성이 있다. 따라서, 제1 밸브(160)는 제1 배관(140)에 설치되어 피검사물(10)에 대한 누수 검사를 진행한 후 적어도 하나의 검사 공간(111)은 물론, 제1 배관(140)의 내부에 잔류하는 기체를 외부로 배출할 수 있다.

도 7에서는 2 개의 검사 공간(111)과 1 개의 제1 실린더(200)를 연결하는 'Y' 자 형태의 제1 배관(140) 중 2 개의 검사 공간(111)에 형성된 제1 관통 홀(112)과 인접한 위치에 2 개의 제1 밸브(160)가 설치된 예를 도시하고 있으나, 제1 실린더(200)에 형성된 제1 포트(212)와 인접한 위치에 1 개의 제1 밸브(160)를 설치할 수도 있다.

제2 밸브(170)는 제2 배관(150)에 설치되며, 적어도 하나의 검사 공간(111)에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어할 수 있다. 즉, 제2 밸브는 제2 배관(150)에 설치되어 피검사물(10)에 대한 누수 검사를 진행한 후 적어도 하나의 검사 공간(111)은 물론, 제2 배관(150)의 내부에 잔류하는 기체를 외부로 배출할 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 밸브(170)는 검사 공간(111)의 개수만큼 구비되며, 제2 배관(150) 내에서 각각의 검사 공간(111)에 형성된 제2 관통 홀(113)과 인접한 위치에 설치될 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)에 구비된 검사 챔버(100)는 제1 배관(140) 및 제2 배관(150)에 제1 밸브(160) 및 제2 밸브(170)를 각각 설치함으로써, 적어도 하나의 검사 공간(111)에 잔류하는 기체는 물론, 제1 배관(140) 및 제2 배관(150)에 잔류하는 기체를 완전히 배출할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)는 하부 챔버(110)의 상부에서 상부 챔버(120)를 구동시키는 챔버 구동부(600)를 더 포함할 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치가 챔버 구동부를 포함하는 구조를 나타내는 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치에 구비된 챔버 구동부의 구동을 나타내는 정면도이다.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 챔버 구동부(600)는 상부 챔버(120)에 연결되며, 하부 챔버(110)의 상부에서 상부 챔버(120)를 상하 방향으로 구동시켜 하부 챔버(110)를 개폐시킬 수 있다. 이러한 챔버 구동부(600)는 고정 블록(610), 적어도 하나의 제3 액츄에이터(620), 이동 안내부(630) 및 프레임부(640)를 포함하여 구성될 수 있다.

고정 블록(610)은 상부 챔버(120)의 상부면에 결합되고, 적어도 하나의 제3 액츄에이터(620)는 고정 블록(610)의 상단에 연결되며, 고정 블록(610)을 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동력을 제공할 수 있다. 도 8 및 도 9에서는 상부 챔버(120)의 폭 방향을 따라 길게 형성되고 상부 챔버(120)의 상부면에 결합된 고정 블록(610)의 상단 중앙부에 1 개의 제3 액츄에이터(620)가 연결된 예를 도시하고 있으나, 고정 블록(610)의 형상, 제3 액츄에이터(620)의 개수 및 배치 형태 등은 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

이동 안내부(630)는 고정 블록(610)의 적어도 하나의 일 측에 연결되며, 고정 블록(610)이 상하 방향으로 왕복 이동할 때에 고정 블록(610)의 이동을 안내할 수 있다. 이러한 이동 안내부(630)는 리니어 모션 가이드(Linear motion guide)를 사용하는 것이 바람직하다. 도 8 및 도 9에서는 이동 안내부(630)가 고정 블록(610)의 양 측에 상하로 배치된 2 개의 리니어 모션 가이드로 구현된 예를 도시하고 있으나, 이동 안내부(630)의 구조는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

프레임부(640)는 하부 챔버(110)와 인접하게 위치하며, 상부면에 적어도 하나의 제3 액츄에이터(620)가 결합되고, 적어도 하나의 일 측에 이동 안내부(630)가 설치될 수 있다. 도 8 및 도 9에서는 베이스 플레이트(101)에 고정되고, 하부 챔버(110)의 양 측에 2 개의 리니어 모션 가이드(630)가 설치되며, 상부면에 1 개의 제3 액츄에이터(620)가 결합된 프레임부(640)가 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성된 예를 도시하고 있으나, 프레임부(640)의 구조는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)의 챔버 구동부(600)에 구비된 적어도 하나의 제3 액츄에이터(620)는 전기 실린더(Electric cylinder)를 사용할 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 누수 검사 장치(1)는 상부 챔버(120)를 구동시키는 제3 액츄에이터(620)를 전기 실린더로 구현함으로써, 별도의 공기 압축기(Air compressor) 등을 구비하지 않은 환경에서도 전기에 의해서만 상부 챔버(120)를 구동시킬 수 있으므로, 누수 검사 장치(1)의 전체 구조를 단순화하고 공압 설비가 구비되지 않은 장소에서도 누수 검사 공정을 수행할 수 있다.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 누수 검사 장치 10: 피검사물
100: 검사 챔버 110: 하부 챔버
120: 상부 챔버 130: 압력 센서
140: 제1 배관 150: 제2 배관
160: 제1 밸브 170: 제2 밸브
200: 제1 실린더 210: 제1 실린더 몸체
220: 제1 피스톤 로드 300: 제1 액츄에이터
400: 제2 실린더 410: 제2 실린더 몸체
420: 제2 피스톤 로드 500: 제2 액츄에이터
600: 챔버 구동부 610: 고정 블록
620: 제3 액츄에이터 630: 이동 안내부
640: 프레임부

Claims (6)

1. 적어도 하나의 피검사물이 안착되는 적어도 하나의 검사 공간이 형성된 검사 챔버;
   상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되며, 내부에 형성된 제1 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제1 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제1 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제1 실린더;
   상기 제1 피스톤 로드에 연결되며, 상기 제1 피스톤 로드를 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제1 액츄에이터;
   상기 적어도 하나의 검사 공간에 각각 연통되며, 내부에 형성된 제2 수용 공간을 왕복 이동할 때에 일 측에 형성된 제2 포트를 통해 기체를 유입하거나 배출하는 제2 피스톤 로드가 구비된 적어도 하나의 제2 실린더; 및
   상기 적어도 하나의 제2 실린더에 구비된 제2 피스톤 로드 각각에 연결되며, 상기 적어도 하나의 제2 실린더에 구비된 제2 피스톤 로드 각각을 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제2 액츄에이터를 포함하고,
   상기 검사 챔버는,
   상기 적어도 하나의 검사 공간이 형성되며, 일 측에 상기 적어도 하나의 검사 공간에 연통되는 적어도 하나의 제1 관통 홀 및 적어도 하나의 제2 관통 홀이 각각 형성된 하부 챔버;
   상기 하부 챔버의 상부에 결합 가능하도록 배치되며, 상기 하부 챔버에 결합될 때에 상기 적어도 하나의 검사 공간을 밀폐시키는 상부 챔버;
   상기 하부 챔버의 일 측을 통해 상기 적어도 하나의 검사 공간 각각에 연통되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간 각각에서의 압력을 측정하는 적어도 하나의 압력 센서;
   일단은 상기 적어도 하나의 제1 관통 홀에 연결되고, 타단은 상기 적어도 하나의 제1 실린더에 구비된 상기 제1 포트에 연결되는 제1 배관;
   일단은 상기 적어도 하나의 제2 관통 홀에 연결되고, 타단은 상기 적어도 하나의 압력 센서 각각에 연결되는 적어도 하나의 제2 배관;
   상기 제1 배관에 설치되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 유입 또는 배출되는 기체의 흐름을 제어하고, 상기 적어도 하나의 검사 공간에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어하는 제1 밸브; 및
   상기 적어도 하나의 제2 배관 각각에 설치되며, 상기 적어도 하나의 검사 공간 각각에 잔류하는 기체를 외부로 배출하기 위해 기체의 흐름을 제어하는 적어도 하나의 제2 밸브를 포함하며,
   상기 제1 피스톤 로드는 상기 적어도 하나의 제1 액츄에이터의 구동에 의해 미리 정해진 거리만큼 이동하여 상기 제1 수용 공간에 수용된 기체를 상기 적어도 하나의 검사 공간에 유입 또는 배출시키고, 상기 적어도 하나의 제2 실린더에 구비된 제2 피스톤 로드 각각은 상기 적어도 하나의 제2 액츄에이터 각각의 구동에 의해 이동하여 상기 적어도 하나의 검사 공간 각각에서의 기체량을 조절하는 것을 특징으로 하는 누수 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 제1 실린더는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)이고, 상기 적어도 하나의 제1 액츄에이터 및 상기 적어도 하나의 제2 액츄에이터는 전기 실린더(Electric cylinder)인 것을 특징으로 하는 누수 검사 장치.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 상부 챔버에 연결되며, 상기 하부 챔버의 상부에서 상기 상부 챔버를 상하 방향으로 구동시켜 상기 하부 챔버를 개폐시키는 챔버 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 검사 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 챔버 구동부는,
   상기 상부 챔버의 상부면에 결합되는 고정 블록;
   상기 고정 블록의 상단에 연결되며, 상기 고정 블록을 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동력을 제공하는 적어도 하나의 제3 액츄에이터;
   상기 고정 블록의 적어도 하나의 일 측에 연결되며, 상기 고정 블록이 상하 방향으로 왕복 이동할 때에 상기 고정 블록의 이동을 안내하는 이동 안내부; 및
   상기 하부 챔버와 인접하게 위치하며, 상부면에 상기 적어도 하나의 제3 액츄에이터가 결합되고, 적어도 하나의 일 측에 상기 이동 안내부가 설치되는 프레임부를 포함하며,
   상기 적어도 하나의 제3 액츄에이터는 전기 실린더(Electric cylinder)인 것을 특징으로 하는 누수 검사 장치.
   

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