KR101565246B1 - 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법 및 이를 이용하는 펠리클 프레임 재생 방법 - Google Patents

불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법 및 이를 이용하는 펠리클 프레임 재생 방법 Download PDF

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Abstract

불소계 화합물 접착제 제거방법이 개시된다. 이 방법은 불소계 화합물 접착제가 부착된 객체가 지지대 상에 지지되도록 하는 단계와; 상기 객체로부터 상기 불소계 화합물 접착제를 제거하도록, 상기 객체에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계를 포함하며, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 CO2 드라이아이스를 1 ~ 5 bar 압력의 에어로 가속하여 분사시킨다.

Description

불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법 및 이를 이용하는 펠리클 프레임 재생 방법{METHOD FOR REMOVING FLUOROCHEMICAL RESIN ADHESIVE AND METHOD FOR RECYCLING PELLICLE FRAME USING THE SAME}
본 발명은 임의의 객체(object)에 접착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 가압 분사하여 객체에서 불소계 화합물 접착제를 제거하는 건식 세정 기술에 관한 것이다. 더 나아가, 본 발명은 CO2 드라이아이스 가압 분사를 이용하는 건식 세정 기술을 이용하여 펠리클 프레임을 재생하는 방법에 관한 것이다.
LSI 또는 SLSI 등의 반도체 제조 공정 또는 액정디스플레이 패널의 제조공정에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 광에 노출시키는 노광 공정을 통해 패턴이 형성되며, 이러한 노광 공정은 리소그라피 마스크 및 레티클(reticle; 이하 노광원판이라 함)을 이용한다. 하지만, 노광원판에 이물이 부착되면 이 이물이 빛을 흡수하거나, 빛을 변형시키기 때문에, 전사된 패턴이 변형되거나 패턴의 에지가 거칠어질 우려가 크다. 통상 위와 같은 공정이 클린룸(clean room)에서 수행되고 있으나, 그러함에도 불구하고, 노광원판을 항상 청정하게 유지시키는 것은 실질적으로 불가능하였다. 이 때문에, 노광원판에 펠리클을 장착하여 이물로부터 노광원판을 보호하는 기술이 개발되었다.
도 1은 일반적인 리소그라피용 펠리클(pellicle)을 설명하기 위한 도면이다. 도 1을 참조하면, 중공을 갖는 펠리클 프레임(3)의 일단에 펠리클막(1)이 부착되며, 펠리클막(1)의 부착을 위해, 펠리클 프레임(3)의 일단 테두리와 펠리클막(1) 사이에는 예컨대, 테프론(telflon)과 같은 불소계 화합물 접착제(2)가 개재된다. 이러한 접착제(2)는 흔히 막 접착제로 불린다. 또한 펠리클 프레임(3)의 타단은 노광원판(5)의 표면에 형성된 마스크패턴(9)을 둘러싸도록 노광원판(5)에 부착된다. 이 부착을 위해서도, 마스크 접착제로 불리는 접착제(4)가 이용되며, 이 마스크 접착제(4) 또한 불소계 화합물 접착제가 이용될 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(3)의 내벽면을 따라 내벽 접착제 층(8)이 존재하며, 이 내벽 접착제 층(8) 또한 예컨대, 테프론(telflon)과 같은 불소계 화합물 접착제(2)로 형성될 수 있다. 이때, 노광원판(5) 측으로부터 입사된 ArF 엑시머 레이저 광은 펠리클 프레임(3)을 투과한 후 반도체 웨이퍼 또는 액정기판에 패턴을 전사한다. 일부 광은 페리클 프레임(3)의 내벽 접착제 층(8)에 도달하여 산란한다.
한편, 전술한 펠리클 프레임(3)은 알루미늄 합금이나 스테인리스 스틸과 같은 고가의 금속 재료로 제작된다. 게다가, 펠리클 프레임(3)은 아노다이징 처리되어 알루미늄 합금 표면이 강화되고 더 나아가 블랙 처리되어 고가인 것이 일반적이다. 하지만, 막 접착제 또는 마스크 접착제로 펠리클에 적용되는 불소계 화합물 접착제를 펠리클 프레임으로부터 제거하는 공정이 어렵고 까다로워서, 수명이 다한 펠리클로부터 펠리클 프레임(3)을 완전하게 분리하여 재생하는 것이 힘들었다. 이는 CxHyFz(x는 1 이상의 정수, y는 0 이상의 정수, z는 1 이상의 정수)로 표시되는 불소계 화합물 접착제가 불소와 탄소의 강력한 화학적 결합으로 인해 매우 안정된 화합물을 형성하여, 거의 완벽한 화학적 비활성을 가지며 그로 인해 습식 세정으로 제거하기 어렵기 때문이다.
이에 대하여 본 발명의 발명자는 임의의 객체, 특히, 펠리클 프레임으로부터 불소계 화합물 접착제를 건식으로 제거하는 기술을 개발하게 되었다.
US8,394,557
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 하나의 과제는 임의의 객체(object)에 접착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 가압 분사하여 객체에서 불소계 화합물 접착제를 제거하는 건식 세정 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 펠리클 프레임에 부착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스 가압 분사하여 불소계 화합물 접착제를 제거하는 단계를 이용하여 펠리클 프레임을 재생하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 펠리클 프레임 재생방법은, 펠리클 프레임에 부착된 불소계 화합물 접착제를 연화(softening)시키도록, 상기 불소계 화합물 접착제에 CO2 레이저를 조사하는 단계와; 연화된 불소계 화합물 접착제를 상기 펠리클 프레임으로부터 제거하도록, 상 상기 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계를 포함하며, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 CO2 드라이아이스를 1 ~ 5 bar 압력의 에어로 가속하여 분사시킨다.
일 실시예에 따라, 상기 펠리클 프레임 재생방법은 상기 CO2 레이저를 조사하는 단계 전에 펠리클 프레임의 테두리 안쪽에 위치한 펠리클 막을 뜯어내어, 상기 펠리클 막을 상기 펠리클 프레임으로부터 제거하는 단계를 더 포함한다,
일 실시예에 따라, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 에어 공급부와, CO2 드라이아이스 공급부와, 상기 에어 공급부와 연결되어 공급되는 에어의 흐름을 허용하는 에어 공급라인과, CO2 드라이아이스 공급부와 연결되어 공급되는 CO2의 흐름을 허용하되 일 지점에서 상기 에어 공급라인과 합류되는 CO2 드라이아이스 공급라인과, 상기 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스가 분사되는 분사노즐을 포함하는 CO2 드라이아이스 분사장치에 의해 수행되며, 상기 펠리클 프레임이 지지대에 의해 지지되고, 상기 지지대 또는 상기 분사노즐을 이동시키면서, 상기 펠리클 프레임에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하여, 상기 불소계 화합물 접착제를 제거한다.
본 발명의 다른 측면에 따라 불소계 화합물 접착제 제거방법이 제공되며, 상기 불소계 화합물 접착제 제거방법은, 불소계 화합물 접착제가 부착된 객체가 지지대 상에 지지되도록 하는 단계와; 상기 객체로부터 상기 불소계 화합물 접착제를 제거하도록, 상기 객체에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계를 포함하며, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 CO2 드라이아이스를 1 ~ 5 bar 압력의 에어로 가속하여 분사시킨다.
일 실시예에 따라, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 에어 공급부와, CO2 드라이아이스 공급부와, 상기 에어 공급부와 연결되어 공급되는 에어의 흐름을 허용하는 에어 공급라인과, CO2 드라이아이스 공급부와 연결되어 공급되는 CO2의 흐름을 허용하되 일 지점에서 상기 에어 공급라인과 합류되는 CO2 드라이아이스 공급라인과, 상기 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스가 분사되는 분사노즐을 포함하는 CO2 드라이아이스 분사장치에 의해 수행되며, 상기 지지대 또는 상기 분사노즐을 이동시키면서, 상기 객체에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하여, 상기 불소계 화합물 접착제를 제거한다.
일 실시예에 따라, 상기 CO2 드라이아이스 공급라인은 상기 에어 공급라인과 합류되는 지점과 상기 CO2 드라이아이스 공급부와의 사이에 CO2 드라이아이스 공급을 온/오프시키는 CO2 드라이아이스 공급 온/오프 밸브와 CO2 드라이아이스 유량을 조절하는 CO2 드라이아이스 유량 조절기를 구비한다. 일 실시예에 따라, 상기 CO2 드라이아이스 분사장치는 상기 에어 공급부로부터의 에어 공급을 온/오프시키도록 상기 에어 공급라인에 설치된 온/오프 솔레노이드 밸브와, 타이머로부터 제공되는 시간 펄스를 카운팅하여 에어가 공급되는 ON의 지속 시간, ON-OFF의 간격을 조절하고, 그 간격에 따라, 온/오프 솔레노이드 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함한다.
본 발명에 따르면, 임의의 객체(object)에 접착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 가압 분사하여 그 객체에서 불소계 화합물 접착제를 신뢰성 있게 제거할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 펠리클 프레임에 부착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스 가압 분사하여 불소계 화합물 접착제를 제거함으로써 고가의 펠리클 프레임을 재생하여 사용할 수 있다.
도 1은 일반적인 리소그라피용 펠리클(pellicle)을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법을 하나의 단계로 이용하여 펠리클 프레임을 재생하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 도 2에 도시된 펠리클 막 제거 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 CO2 레이저를 조사하는 단계에 이용되는 CO2 레이저 조사장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 2에 도시된 CO2 드라이아이스 분사 단계에 이용되는 CO2 드라이아이스 분사장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이이다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.
도 2는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법을 하나의 단계로 이용하여 펠리클 프레임을 재생하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 펠리클 프레임 재생방법은, 불소계 화합물 접착제에 의해 펠리클 프레임에 접착된 펠리클 막을 물리적으로 제거하는 단계(S1)와, 불소계 화합물 접착제를 연화(softening)시키도록 펠리클 막이 제거된 펠리클 프레임에 CO2 레이저를 조사하는 단계(S2)와, 상기 불소계 화합물 접착제를 상기 펠리클 프레임으로부터 분리시키도록, 상기 펠리클 프레임 상의 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하여 단계(S3)와, 상기 펠리클 프레임의 표면을 닦아내는 단계(S4)와, 표면 검사 단계(S5)를 포함한다. CO2 드라이아이스를 분사하는 단계(S3)는 실질적으로 불소계 화합물 접착제를 제거하여 펠리클 프레임을 재생시키는 단계이고, 그 전에 수행되는 단계 S1과 S2는 CO2 드라이아이스 분사 단계(S2)에서 효율적으로 접착제가 제거될 수 있도록 도와주는 부가적인 전처리 단계들로 수행된다. 한편, 전술한 방식으로 재생된 펠리클 프레임에 펠리클 막을 부착하여 다시 쓸 수 있다.
펠리클 막 제거 단계(S1)는, 도 3에 도시된 것과 같이, 펠리클 프레임(3)의 테두리 안쪽에 위치한 펠리클 막(1)을 기계적인 힘 또는 수작업으로 뜯어내는 것으로 족하다. 펠리클 프레임(3) 테두리에서 불소계 화합물 접착제(2)에 의해 직접 부착되어 있는 펠리클 막(1) 일부는 펠리클 프레임(3)의 테두리에 그대로 잔존한다.
위와 달리, 펠리클 막 제거 단계(S1)가 생략될 수 있는데, 이 경우, CO2 드라이아이스 분사 단계(S3)를 수행할 때, 펠리클 막(1)이 펠리클 프레임(3)에 그대로 부착되어 있되, CO2 드라이아이스 분사 단계(S3) 후, 불소계 화합물 접착제(2)의 접착력이 없어지거나 약해져, 펠리클 막(1)과 불소계 화합물 접착제(2)가 펠리클 프레임(3)으로부터 함께 분리된다.
CO2 레이저 조사 단계(S2)는 파장이 10.6㎛로 가장 긴 CO2 레이저를 조사할 수 있는 CO2 레이저 조사장치를 이용하여 수행될 수 있다. 10.6㎛ 파장의 CO2 레이저는 불소계 화합물 접착제에 대한 흡수도가 매우 커서 불소계 화합물 접착제의 온도를 상승시킨다. 이 온도 상승에 의해, 불소계 화합물 접착제(2)는 연화(softening)되어, 뒤 이어 수행되는 CO2 드라이아이스 분사 단계(S3)에 의해 불소계 화합물 접착제(2)가 보다 더 효과적으로 제거될 수 있도록 돕는다.
불소계 화합물 접착제 연화용 CO2 레이저 조사장치의 한 예가 도 4에 도시된다. 도 4를 참조하면, CO2 레이저 조사장치(100)는, CO2 레이저 발진부(110)와, 상기 CO2 레이저 발진부(110)에서 발생한 CO2 레이저를 전송하는 CO2 레이저 전송부(120)와, 상기 CO2 레이저 전송부(120)를 통해 CO2 레이저를 전송받아 펠리클 프레임 표면의 불소계 화합물 접착제에 CO2 레이저를 조사하는 CO2 레이저 조사부(130)를 포함할 수 있다.
또한, CO2 레이저 조사장치(100)는 CO2 레이저 발진부(110)에 전력을 공급하기 위한 전원부(101)와, 상기 레이저 발진시 발생하는 열을 냉각하기 위한 냉각부(102)를 포함할 수 있다. CO2 레이저 전송부(120)는 하나 이상의 미러 또는 렌즈를 포함할 수 있다. CO2 레이저 전송부(120)가 다관절 구조를 갖는 것도 고려될 수 있다.
CO2 레이저 조사부(130)는 조사렌즈를 포함할 수 있으며 레이저의 빔 직경을 조절하는 렌즈를 더 포함할 수 있다.
또한, 펠리클 프레임(3)을 지지하도록 작업대(103)가 제공될 수 있다. CO2레이저가 불소계 화합물 접착제(2)가 존재하는 펠리클 프레임(3)의 테두리를 따라 조사될 수 있도록, CO2 레이저 조사부(130) 또는 작업대(103)가 이동되는 것이 요구되며, 이러한 이동은 제어부에 의해 자동으로 이루어질 수 있고, 대안적으로, 작업자에 의해 수동으로 이루어질 수도 있다.
CO2 레이저 조사 단계(S2) 또한 불소계 화합물 접착제를 실질적으로 제거하는 CO2 드라이아이스 분사 단계(S3)의 효율을 높이기 위해 부가적으로 수행되어 불소계 화합물 접착제를 연화시키는 단계로서 생략하는 것도 고려될 수 있다.
CO2 드라이아이스 분사 단계(S3)는 100㎛ 입자 크기(또는, 입경) 이상, 더 바람직하게는, 100㎛ ~ 3000㎛ 입자 크기의 CO2 드라이아이스를 펠리클 프레임(3)에, 특히, 펠리클 프레임(3)의 테두리에 부착되어 있는 불소계 화합물 접착제에 1 ~ 5 bar의 압력으로 가압 분사하여 불소계 화합물을 펠리클 프레임(3)으로부터 분리시키는 단계이다.
CO2 드라이아이스의 입자 크기가 100㎛ 미만인 경우, 불소계 화합물 접착제에 대한 제거 성능을 발휘하기 전에 CO2 드라이아이스의 기화가 많이 이루어져 입자 형상의 유지가 어렵고 이로 인해 제거 효율이 떨어질 수 있다. 반면, CO2 드라이아이스의 입자 크기가 3000㎛을 초과하는 경우, 펠리클 프레임(3)에 충돌하는 CO2 드라이아이스 입자들 사이에 과도하게 큰 틈들이 발생하게 되어 펠리클 프레임(3) 상의 불소계 화합물 접착제와 균일하게 충돌하지 못한다. 이는 불소계 화합물 접착제가 제거되지 않는 영역이 다수 발생됨을 의미한다. 가장 바람직하게는, CO2 드라이아이스의 입자 크기가 100㎛ ~ 1000㎛ 범위 내에 있는 것이 좋다.
또한, CO2 드라이아이스 분사시의 압력이 1 bar 미만인 경우, CO2 드라이아이스 입자들에 의한 불소계 화합물 접착제의 박리 효과가 불충분하고, CO2 드라이아이스 분사시의 압력이 5 bar를 초과하면, 펠리클 프레임(3)의 표면이 손상되어 재생하여 사용할 수 없게 될 우려가 있다. 따라서, CO2 드라이아이스의 분사시 에어에 의해 가속되는 압력은 1 ~ 5 bar인 것이 바람직하다.
CO2 드라이아이스 분사 단계(S3)는 도 5에 도시된 것과 같은 CO2 드라이아이스 분사장치(200)에 의해 수행될 수 있다. CO2 드라이아이스 분사장치(200)는, 고압 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스를 상기 지지대(201) 상에 지지된 객체, 즉, 펠리클 프레임(3)에 분사하기 위해, 에어 공급부(220)와, CO2 드라이아이스 공급부(240)와, 상기 에어 공급부(220)와 연결되어 공급 에어의 흐름을 허용하는 에어 공급라인(260)과, CO2 드라이아이스 공급부(240)와 연결되어 CO2 드라이아이스의 흐름을 허용하는 CO2 드라이아이스 공급라인(270)과, 상기 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스가 분사되는 분사노즐(280)을 포함한다.
이때, CO2 드라이아이스 공급부(240)로부터 공급되는 고상 CO2, 즉, CO2 드라이아이스이거나 또는 액체 고상 CO2, 일 수 있다. 전자(前者)의 경우, CO2 드라이아이스 공급부(240)에서 공급된 CO2 드라이아이스가 실질적 상 변화 없이 분사노즐(280)을 통해 분사되는 반면, 후자(候者)의 경우, CO2 드라이아이스 공급부(240)에서 공급된 액체 CO2가 CO2공급 라인(270)의 끝단에서 단열 팽창에 의해 고체 CO2 즉, 드라이아이스(dry ice)로 변화된다.
또한, 상기 에어 공급라인(260)과 상기 CO2 드라이아이스 공급라인(270)은 상기 분사노즐(280)과 인접한 함류점에서 서로 합류한다. 상기 에어 공급라인(260)은 상기 합류점과 상기 에어 공급부(220) 사이에 에어조절밸브를 구비할 수 있다. 또한 상기 CO2 드라이아이스 공급 라인(270)은 상기 합류점과 CO2 드라이아이스 공급부(240)와의 사이에 CO2 드라이아이스 공급을 온/오프시키는 CO2 드라이아이스 공급 온/오프 밸브(미도시됨) 및 CO2 드라이아이스 유량을 조절하는 CO2 드라이아이스 유량 조절기(미도시됨)를 구비할 수 있다. CO2 드라이아이스 공급 온/오프 밸브 및 CO2 드라이아이스 유량 조절기는 제어부(202)에 의해 제어된다.
또한, 상기 에어 공급라인(260)에는 상기 에어 공급부(220)로부터의 에어 공급을 온/오프시키는 온/오프 솔레노이드 밸브(미도시됨)가 설치될 수 있다. 제어부(202)는 타이머(미도시됨)로부터 나오는 시간 펄스를 카운팅하여 에어가 공급되는 ON의 지속 시간, ON-OFF의 간격을 조절하고, 그 간격에 따라, 온/오프 솔레노이드 밸브를 온/오프 제어하는 신호를 상기 온/오프 솔레노이드 밸브에 제공하여 상기 온/오프 솔레노이드 밸브를 제어한다.
앞에서도 언급한 바와 같이, 상기 분사노즐(280)을 통해 분사되는 CO2 드라이아이스는, 불소계 화합물 접착제와 부딪히기 전에 형상을 유지할 수 있으면서도 균일하게 불소계 화합물 접착제와 부딪히도록 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 상기 CO2 드라이아이스가 분사되는 압력은 불소계 화합물 접착제의 충분한 박리 효과를 보장하면서도 객체 특히 펠리클 프레임의 손상이 없도록 1 ~ 5 bar로 정해진다.
분사되는 CO2 드라이아이스는, 대략 -78.5℃의 매우 낮은 온도를 가지므로, 객체(특히, 펠리클 프레임) 표면에 부착된 불소계 화합물 접착제를 급속 냉각시킬 수 있다. 이러한 급속 냉각에 의해 객체에 대한 결합력이 저하된 불소계 화합물 접착제는 CO2 드라이아이스와의 강한 충돌 및 에어의 높은 분사 압력에 의해 객체 표면에서 쉽게 분리, 제거될 수 있다
CO2 드라이아이스가 불소계 화합물 접착제에 집중적으로 분사될 수 있도록, 상기 분사노즐(280) 또는 지지대(201)를 이동가능하게 구성하여, 불소계 화합물 접착제가 부착된 위치와 CO2 드라이아이스가 분사되는 위치를 일치시켜주는 것이 좋다. 분사노즐(280) 및/또는 지지대(201)의 이동은 제어부(202)에 의해 자동으로 이루어질 수 있고, 대안적으로, 작업자에 의해 수동으로 이루어질 수도 있다.
또한 CO2 드라이아이스 분사장치(200)는 CO2 드라이아이스를 이용한 불소계 화합물 접착제의 제거 과정 중 발생한 분진을 포집하여 제거하는 집진부(203)를 더 포함할 수 있다.
위에서는 펠리클 프레임에 부착된 불소계 화합물 접착제를 CO2 드라이아이스로 제거하여 펠리클 프레임을 재생하는 방법에 대해 주로 설명하였지만, 다양한 종류의 객체 표면에 부착된 불소계 화합물 접착제를 CO2 드라이아이스로 제거하는 방법 또한 본 발명의 범위 내에 있음에 유의한다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
4: 불소계 화합물 접착제 200: CO2 드라이아이스 분사장치
220: 에어 공급부 240: CO2 드라이아이스 공급부
260: 에어 공급라인 270: CO2 드라이아이스 공급라인
280: 분사 노즐 201: 지지대

Claims (7)

  1. 펠리클 프레임에 부착된 불소계 화합물 접착제를 연화(softening)시키도록, 상기 불소계 화합물 접착제에 CO2 레이저를 조사하는 단계; 및
    연화된 불소계 화합물 접착제를 상기 펠리클 프레임으로부터 제거하도록, 상 상기 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계를 포함하며,
    상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 CO2 드라이아이스를 1 ~ 5 bar 압력의 에어로 가속하여 분사시키는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 재생 방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 CO2 레이저를 조사하는 단계 전에 펠리클 프레임의 테두리 안쪽에 위치한 펠리클 막을 뜯어내어, 상기 펠리클 막을 상기 펠리클 프레임으로부터 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 재생 방법.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 에어 공급부와, CO2 드라이아이스 공급부와, 상기 에어 공급부와 연결되어 공급되는 에어의 흐름을 허용하는 에어 공급라인과, CO2 드라이아이스 공급부와 연결되어 공급되는 CO2 드라이아이스의 흐름을 허용하되 일 지점에서 상기 에어 공급라인과 합류되는 CO2 드라이아이스 공급라인과, 상기 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스가 분사되는 분사노즐을 포함하는 CO2 드라이아이스 분사장치에 의해 수행되며, 상기 펠리클 프레임이 지지대에 의해 지지되고, 상기 지지대 또는 상기 분사노즐을 이동시키면서, 상기 펠리클 프레임에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하여, 상기 불소계 화합물 접착제를 제거하는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 재생 방법.
  4. 불소계 화합물 접착제가 부착된 객체가 지지대 상에 지지되도록 하는 단계와;
    상기 객체로부터 상기 불소계 화합물 접착제를 제거하도록, 상기 객체에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계를 포함하며,
    상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 100㎛ ~ 3000㎛의 입자 크기를 갖는 CO2 드라이아이스를 1 ~ 5 bar 압력의 에어로 가속하여 분사시키는 것을 특징으로 하는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법.
  5. 청구항 4 있어서, 상기 CO2 드라이아이스를 분사하는 단계는 에어 공급부와, CO2 드라이아이스 공급부와, 상기 에어 공급부와 연결되어 공급되는 에어의 흐름을 허용하는 에어 공급라인과, CO2 드라이아이스 공급부와 연결되어 공급되는 CO2 드라이아이스의 흐름을 허용하되 일 지점에서 상기 에어 공급라인과 합류되는 CO2 드라이아이스 공급라인과, 상기 에어에 의해 가속된 CO2 드라이아이스가 분사되는 분사노즐을 포함하는 CO2 드라이아이스 분사장치에 의해 수행되며, 상기 지지대 또는 상기 분사노즐을 이동시키면서, 상기 객체에 부착된 불소계 화합물 접착제에 CO2 드라이아이스를 분사하여, 상기 불소계 화합물 접착제를 제거하는 것을 특징으로 하는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 CO2 드라이아이스 공급라인은 상기 에어 공급라인과 합류되는 지점과 상기 CO2 드라이아이스 공급부와의 사이에 CO2 드라이아이스 공급을 온/오프시키는 CO2 드라이아이스 공급 온/오프 밸브와 CO2 드라이아이스 유량을 조절하는 CO2 드라이아이스 유량 조절기를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법.
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 CO2 드라이아이스 분사장치는 상기 에어 공급부로부터의 에어 공급을 온/오프시키도록 상기 에어 공급라인에 설치된 온/오프 솔레노이드 밸브와, 타이머로부터 제공되는 시간 펄스를 카운팅하여 에어가 공급되는 ON의 지속 시간, ON-OFF의 간격을 조절하고, 그 간격에 따라, 온/오프 솔레노이드 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 화합물 접착제의 건식 제거 방법.
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