KR101559989B1 - 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치 - Google Patents

반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 특수가스통이 안착되는 지지프레임; 특수가스통에 대향되게 배치되고, 지지프레임을 따라 승하강 가능하게 설치되는 승강프레임과, 승강프레임이 승하강되도록 동력을 제공하는 모터와, 모터로부터 제공되는 동력을 변환시켜 승강프레임의 승강운동 또는 하강운동으로 전달하는 동력전달부와, 승강프레임에 설치되고, 특수가스통에 씌워지는 비닐에 열을 가하여 비닐이 특수가스통에 밀착되게 하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치 {VINYL CONTRACTING APPARATUS FOR PACKING SPECIAL GAS TANK USING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING}
본 발명은 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 특수가스통에 씌워지는 포장용 비닐을 수축시킬 때에 비닐 내부에 공기층이 형성되는 것을 방지하고, 비닐을 수축시키는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 분야 등에서 사용되고 있는 N2, N2O, NF3, NH3, Cl2, B2H6, DCS와 같은 특수가스는 상온에서 액체 상태(액화가스상태)로 가스탱크 내부에 저장되어 있고, 이들 가스가 가스탱크 내부에서 안전하게 유지 관리되는 상태에서 가스공급라인을 통해 반도체 제조공정의 프로세스 챔버로 공급된다.
이때, 상기와 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 특수가스를 혼합하기 위하여 종래에는 특수가스가 혼합된 가스탱크를 별도의 혼합탱크에서 하루 정도의 시간동안 자연 방치하는 방법을 취하였다.
그러나 이러한 방법은 가스를 혼합하기 위하여 많은 시간이 소요되고, 이렇게 의미 없이 지나가는 시간동안 가스를 제대로 공급받지 못하면 반도체 생산에 막대한 지장을 초래하게 된다.
이러한 문제점 때문에 최근에는 가스탱크를 회전시켜 가스탱크 내부의 특수가스를 혼합하는 장치가 개발되었으나, 이 혼합장치는 일정높이에 형성된 회전바 위에 가스탱크를 눕혀놓고 회전바를 회전시킴으로써 가스탱크도 같이 회전시키는 방식을 취하고 있다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 제10-0873218호(2008년 12월 10일 공고, 발명의 명칭 : 반도체용 특수가스 혼합기)에 개시되어 있다.
일반적인 특수가스통은 상호가 인쇄된 비닐을 특수가스통에 씌운 후에 비닐에 열을 가하여 비닐을 수축시키면서 특수가스통의 외벽에 비닐이 밀착되도록 하여 포장하는데, 열을 가하는 작업이 수작업으로 이루어지기 때문에 비닐 전체에 고르게 열을 가하기 어려우므로 비닐이 불규칙하게 수축되면서 비닐 내부에 공기층이 형성되는 문제점이 있다.
또한, 일반적인 특수가스통에 비닐을 씌우고 비닐에 열을 가하는 작업이 작업자의 수작업에 의해 이루어지기 때문에 특수가스통의 포장을 하는데 소요되는 시간 및 비용을 절감하기 어려운 문제점이 있다.
따라서 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 특수가스통에 씌워지는 포장용 비닐을 수축시킬 때에 비닐 내부에 공기층이 형성되는 것을 방지하고, 비닐을 수축시키는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 특수가스통이 안착되는 지지프레임; 특수가스통에 대향되게 배치되고, 상기 지지프레임을 따라 승하강 가능하게 설치되는 승강프레임; 상기 승강프레임이 승하강되도록 동력을 제공하는 모터; 상기 모터로부터 제공되는 동력을 변환시켜 상기 승강프레임의 승강운동 또는 하강운동으로 전달하는 동력전달부; 상기 승강프레임에 설치되고, 특수가스통에 씌워지는 비닐에 열을 가하여 비닐이 특수가스통에 밀착되게 하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 지지프레임은, 특수가스통이 안착되도록 한 쌍의 안착홈부가 형성되고, 상기 모터가 상면에 설치되는 베이스패널; 상기 베이스패널의 상면으로부터 수직방향으로 연장되는 승강지지대; 및 상기 베이스패널의 상면에 설치되고, 상기 승강지지대를 지지하는 외곽지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 동력전달부는, 상기 베이스패널의 상면과 상기 승강지지대의 상단 사이에 회전 가능하게 설치되고, 나사산이 구비되는 구동축; 상기 모터의 회전축과 상기 구동축을 연결하여 동력을 전달하는 벨트; 및 상기 승강지지대의 하부에 설치되고, 상기 승강프레임이 감지되면 감지신호를 송신하는 제1센서; 상기 승강지지대의 상부에 설치되고, 상기 승강프레임이 감지되면 감지신호를 송신하는 제2센서; 및 상기 제1센서로부터 감지신호가 수신되면 상기 모터의 구동방향을 변환시켜 구동신호를 송신하고, 상기 제2센서로부터 감지신호가 수신되면 상기 모터의 구동속도를 가변시키는 구동신호를 송신하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 승강프레임에는 상기 승강지지대에 설치되는 가이드레일을 따라 슬라이딩되는 승강블록이 설치되고, 상기 구동축에 볼트결합되는 너트부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 가열부의 위치를 가변시켜 한 쌍의 상기 안착홈부 중 어느 하나의 상기 안착홈부에 대향되게 상기 가열부를 위치시키는 방향전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 방향전환부는, 상기 승강프레임에 회전 가능하게 설치되고, 상기 가열부를 지지하는 제1회전대; 상기 승강프레임에 회전 가능하게 설치되고, 상기 가열부를 지지하는 제2회전대; 상기 제1회전대와 상기 승강프레임 사이에 설치되는 실린더; 및 상기 승강프레임의 양측 단부로부터 상기 제2회전대 측으로 경사지게 연장되어 상기 제2회전대의 회전운동을 제한하는 한 쌍의 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 가열부는, 상기 제1회전대 및 상기 제2회전대에 의해 지지되고, 특수가스통을 감싸는 파이프 모양으로 형성되는 내화링부; 및 상기 내화링부에 설치되고, 특수가스통에 씌워지는 비닐에 열을 공급하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 승강지지대에는 특수가스통의 밸브 측으로 공기를 분사하여 특수가스통의 밸브가 과열되는 것을 방지하는 냉각부가 설치되고; 상기 냉각부는, 상기 승강지지대에 설치되고, 공기를 특수가스통의 밸브 측으로 안내하는 공급관; 및 상기 공급관의 단부에 설치되고, 상기 공급관을 통해 안내되는 공기의 배출속도를 증가시키는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치는, 가열부가 특수가스통의 둘레면을 감싸며 특수가스통의 상단으로부터 하단까지 순차적으로 열을 고르게 가하므로 비닐이 균일한 속도로 수축되어 수축된 비닐 내부에 공기층이 형성되는 것을 방지할 수 있고, 제조사의 상호 등이 인쇄된 비닐이 특수가통의 외벽에 밀착되므로 특수가스통의 외관을 미려하게 마무리할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치는, 특수가스통에 씌워진 비닐에 열을 가하는 가열부를 설정된 속도로 이동시키면서 포장작업을 행하므로 포장작업에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고, 어느 하나의 특수가스통에 포장작업을 행하는 동안 작업자는 다른 하나의 특수가스통에 비닐을 씌워 가열부 측으로 이동시키는 작업을 행할 수 있으므로 대량의 특수가스통을 포장하는 작업에 소요되는 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 저면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 상면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 작업상태가 도시된 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 작업상태가 도시된 정면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 일 실시예를 설명한다.
이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 저면 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 도시된 상면 사시도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 작업상태가 도시된 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 작업상태가 도시된 정면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치는, 특수가스통(100)이 안착되는 지지프레임(10)과, 특수가스통(100)에 대향되게 배치되고, 지지프레임(10)을 따라 승하강 가능하게 설치되는 승강프레임(30)과, 승강프레임(30)이 승하강되도록 동력을 제공하는 모터(36)와, 모터(36)로부터 제공되는 동력을 변환시켜 승강프레임(30)의 승강운동 또는 하강운동으로 전달하는 동력전달부(50)와, 승강프레임(30)에 설치되고, 특수가스통(100)에 씌워지는 비닐(102)에 열을 가하여 비닐(102)이 특수가스통(100)에 밀착되게 하는 가열부(70)를 포함한다.
작업자가 제조사의 상호 등이 인쇄된 비닐(102)을 특수가스통(100)에 씌운 후에 지지프레임(10)에 안착시키고, 제어부(96)에 구비되는 조작노브를 조작하면 모터(36)에 전원이 인가되고, 동력전달부(50)의 작동에 의해 가열부(70)가 하강하면서 특수가스통(100)에 씌워진 비닐(102)을 수축시키게 된다.
가열부(70)로부터 공급되는 열에 의해 비닐(102)은 수축되면서 특수가스통(100)의 외벽에 밀착되고, 가열부(70)는 동력전달부(50)의 작동에 의해 특수가스통(100)을 감싸면서 하강하므로 비닐(102)에 순차적으로 고르게 열을 제공할 수 있게 된다.
따라서 특수가스통(100)과 비닐(102) 사이의 공간에 있는 공기는 비닐(102)이 상단으로부터 수축되면서 공기가 비닐(102)의 하측으로 빠져나가게 되고, 비닐(102)이 상단부터 순차적으로 특수가스통(100)의 외벽에 밀착되면서 비닐(102)의 하단까지 밀착되는 작동이 이루어지게 된다.
상기한 바와 같이 비닐(102)이 상단으로부터 하단까지 순차적으로 특수가스통(100)의 외벽에 밀착되므로 비닐(102)의 수축이 완료된 후에 비닐(102) 내부에 공기층이 형성되는 것을 방지할 수 있어 특수가스통(100)을 미려하게 포장할 수 있게 된다.
지지프레임(10)은, 특수가스통(100)이 안착되도록 한 쌍의 안착홈부(12a)가 형성되고, 모터(36)가 상면에 설치되는 베이스패널(12)과, 베이스패널(12)의 상면으로부터 수직방향으로 연장되는 승강지지대(16)와, 베이스패널(12)의 상면에 설치되고, 승강지지대(16)를 지지하는 외곽지지대(14)를 포함한다.
베이스패널(12)은 지면에 안착되도록 사각형의 패널로 이루어지며, 베이스패널(12)의 테두리에는 외곽지지대(14)가 설치되며, 외곽지지대(14)는 베이스패널(12)의 전방부가 개방되도록 베이스패널(12)의 양측 단부와 후방측 단부로부터 상측으로 직립되도록 설치된다.
승강지지대(16)는 베이스패널(12)의 후방부로부터 상측으로 직립도록 설치되고, 외곽지지대(14)의 내벽에 지지되며, 외곽지지대(14)와 비교하여 길게 형성되므로 승강지지대(16)를 따라 승하강되는 승강프레임(30) 및 가열부(70)가 특수가스통(100)의 상부에 배치될 수 있도록 한다.
동력전달부(50)는, 베이스패널(12)의 상면과 승강지지대(16)의 상단 사이에 회전 가능하게 설치되고, 나사산이 구비되는 구동축(52)과, 모터(36)의 회전축과 구동축(52)을 연결하여 동력을 전달하는 벨트(54)와, 승강지지대(16)의 하부에 설치되고, 승강프레임(30)이 감지되면 감지신호를 송신하는 제1센서(56)와, 승강지지대(16)의 상부에 설치되고, 승강프레임(30)이 감지되면 감지신호를 송신하는 제2센서(58)와, 제1센서(56)로부터 감지신호가 수신되면 모터(36)의 구동방향을 변환시켜 구동신호를 송신하고, 제2센서(58)로부터 감지신호가 수신되면 모터(36)의 구동속도를 가변시키는 구동신호를 송신하는 제어부(96)를 포함한다.
모터(36)에 전원이 공급되어 동력이 발생되면 벨트(54)에 의해 구동축(52)이 회전되고, 구동축(52)이 회전되면 구동축(52)에 볼트결합되는 너트부재(34)가 구동축(52)에 형성되는 나사산을 따라 회전되어야 하지만 너트부재(34)는 승강프레임(30)에 고정되므로 너트부재(34)가 구동축(52)의 회전 방향에 따라 상승 또는 하강하게 된다.
승강프레임(30)이 제2센서(58)의 상부에 위치되는 상태에서 베이스패널(12)의 상면에 특수가스통(100)을 안착시키고, 작업자가 제어부(96)에 구비되는 조작노브를 조작하면 모터(36)에 전원이 인가되어 모터(36)의 동력이 벨트(54)를 통해 구동축(52)에 전달되고, 구동축(52)이 회전되면 너트부재(34)가 구동축(52)의 나사산을 따라 하강하게 된다.
승강프레임(30)이 하강하면 승강프레임(30)에 설치되는 가열부(70)도 하강하게 되고, 승강프레임(30) 및 가열부(70)의 하강이 지속되면 하강하는 가열부(70) 내부로 특수가스통(100)이 삽입되어 특수가스통(100)에 씌워진 비닐(102)에 열이 공급된다.
이때, 제2센서(58)의 상부에 위치하는 승강프레임(30)은 설정속도 이상으로 빠르게 하강하고, 승강프레임(30)이 제2센서(58)와 접촉되면 제어부(96)에 감지신호가 송신되고, 제어부(96)로부터 송신되는 구동신호에 의해 모터(36)의 구동속도가 설정치 이하로 저하되므로 승강프레임(30) 및 가열부(70)의 하강속도가 감소하게 된다.
따라서 가열부(70) 내부로 삽입되는 특수가스통(100) 및 비닐(102)에 열이 공급되는 시간을 증가시킬 수 있게 되어 비닐(102)이 특수가스통(100)에 보다 효과적으로 밀착되는 효과가 나타나게 된다.
승강프레임(30)의 하강이 지속되어 승강프레임(30)이 제1센서(56)와 접촉되면 제1센서(56)로부터 감지신호가 제어부(96)에 송신되고, 제어부(96)에서 송신되는 구동신호에 의해 모터(36)의 구동이 정지된 후에 반대 방향으로 모터(36)가 구동된다.
따라서 하강이 완료된 승강프레임(30) 및 가열부(70)가 상승하게 되고, 승강프레임(30)이 제2센서(58)와 접촉될 때가지 가열부(70)가 특수가스통(100)을 통과하면서 재차 순차적으로 비닐(102)에 열을 공급하게 된다.
이후에, 승강프레임(30)이 제2센서(58)와 접촉되면 승강프레임(30)의 상승속도가 설정치 이상으로 가변되어 승강프레임(30) 및 가열부(70)의 신속한 상승작동이 이루어지게 된다.
따라서 가열작업을 완료한 가열부(70) 및 승강프레임(30)은 가열작업이 진행되는 동안의 상승속도와 비교하여 빠르게 상승하게 된다.
이후에, 작업자가 포장이 완료된 특수가스통(100)을 베이스패널(12)로부터 배출시키고, 비닐(102)이 씌워진 새로운 특수가스통(100)을 베이스패널(12)의 안착홈부(12a)에 안착시키면 승강프레임(30) 및 가열부(70)가 빠른 속도로 하강하고, 승강프레임(30)이 제2센서(58)를 통과하면 승강프레임(30) 및 가열부(70)가 설정치 이하의 저속으로 이동하게 된다.
승강프레임(30)에는 승강지지대(16)에 설치되는 가이드레일(32a)을 따라 슬라이딩되는 승강블록(32)이 설치되고, 구동축(52)에 볼트결합되는 너트부재(34)가 설치되므로 구동축(52)이 회전될 때에 구동축(52)과 볼트결합되는 너트부재(34)가 승강프레임(30)에 고정된 상태를 유지하면서 구동축(52)을 따라 승강 또는 하강하게 된다.
가열부(70)의 위치를 가변시켜 한 쌍의 안착홈부(12a) 중 어느 하나의 안착홈부(12a)에 대향되게 가열부(70)를 위치시키는 방향전환부(80)를 더 포함한다.
방향전환부(80)는 가열부(70)를 베이스패널(12)의 일측 또는 타측으로 이동시키므로 가열부(70)가 방향전환부(80)의 작동에 의해 베이스패널(12)의 일측에 배치된 상태로 비닐(102) 수축작업이 진행되는 경우에는 작업자는 베이스패널(12)의 타측에 위치되는 안착홈부(12a)에 비닐(102)이 씌워진 특수가스통(100)을 안착시키는 작업을 행할 수 있게 된다.
방향전환부(80)는, 승강프레임(30)에 회전 가능하게 설치되고, 가열부(70)를 지지하는 제1회전대(82)와, 승강프레임(30)에 회전 가능하게 설치되고, 가열부(70)를 지지하는 제2회전대(84)와, 제1회전대(82)와 승강프레임(30) 사이에 설치되는 실린더(86)와, 승강프레임(30)의 양측 단부로부터 제2회전대(84) 측으로 경사지게 연장되어 제2회전대(84)의 회전운동을 제한하는 한 쌍의 스토퍼(88)를 포함한다.
실린더(86)로부터 로드가 돌출되면 제1회전대(82)를 베이스패널(12)의 일측으로 밀어 가열부(70)의 위치를 베이스패널(12)의 일측으로 이동시키고, 실린더(86) 내부로 로드가 삽입되면 제1회전대(82)를 베이스패널(12)의 타측으로 이동시키게 된다.
또한, 승강프레임(30)의 양단부에는 제1회전대(82)에 대향되도록 승강프레임(30)의 중앙부 측으로 한 쌍의 스토퍼(88)가 경사지게 설치된다.
따라서 실린더(86)의 구동에 의해 제1회전대(82) 및 제2회전대(84)가 회전될 때에 제2지지대가 스토퍼(88)에 의해 회전운동이 제한되므로 가열부(70)가 안착홈부(12a)의 상부에 정확히 정지될 수 있도록 한다.
스토퍼(88)에 의해 가열부(70)가 안착홈부(12a)에 대향되도록 배치되면, 가열부(70)가 하강될 때에 안착홈부(12a)에 세워진 특수가스통(100)과 가열부(70)가 충돌되는 것을 방지할 수 있게 된다.
가열부(70)는, 제1회전대(82) 및 제2회전대(84)에 의해 지지되고, 특수가스통(100)을 감싸는 파이프 모양으로 형성되는 내화링부(72)와, 내화링부(72)에 설치되고, 특수가스통(100)에 씌워지는 비닐(102)에 열을 공급하는 히터(74)를 포함한다.
내화링부(72)는 내화재를 포함하여 이루어지고, 특수가스통(100)이 삽입될 수 있도록 특수가스통(100)이 외경과 비교하여 내경이 크게 형성되는 파이프 모양으로 형성되며, 히터(74)는 내화링부(72)의 내벽에 설치되는 열선을 포함한다.
따라서 히터(74)로부터 열이 발산되는 동안에 내화링부(72)가 내부로 특수가스통(100)이 통과되면 히터(74)에서 발생되는 열이 특수가스통(100)에 씌워진 비닐(102)에 제공되므로 비닐(102)이 수축되면서 특수가스통(100)의 외벽에 밀착된다.
승강지지대(16)에는 특수가스통(100)의 밸브 측으로 공기를 분사하여 특수가스통(100)의 밸브가 과열되는 것을 방지하는 냉각부(90)가 설치되고, 냉각부(90)는, 승강지지대(16)에 설치되고, 공기를 특수가스통(100)의 밸브 측으로 안내하는 공급관(92)과, 공급관(92)의 단부에 설치되고, 공급관(92)을 통해 안내되는 공기의 배출속도를 증가시키는 노즐(94)을 포함한다.
특수가스통(100)의 상단에는 가스의 주입 또는 배출을 행하는 밸브가 설치되는데, 공급관(92) 및 노즐(94)에 의해 분사되는 공기가 밸브와 접촉되면서 밸브가 과열되는 것을 방지하게 된다.
따라서 비닐(102) 수축작업이 진행되는 동안 가열부(70)로부터 발생되는 열에 의해 특수가스통(100)의 밸브가 변형되거나 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치의 작동을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 특수가스통(100)에 비닐(102)을 씌운 후에 작업자가 특수가스통(100)을 베이스패널(12)의 일측에 형성되는 안착홈부(12a)에 안착시키고, 제어부(96)에 구비되는 조작노브를 조작하면 제어부(96)에서 송신되는 구동신호에 따라 모터(36)에 전원이 인가되므로 벨트(54)를 따라 구동축(52)에 동력이 전달되어 구동축(52)이 회전된다.
구동축(52)이 회전되면 너트부재(34)가 구동축(52) 나사산을 따라 하강하게 되고, 너트부재(34)가 설치되는 승강프레임(30)과, 승강프레임(30)에 설치되는 방향전환부(80)와, 방향전환부(80)에 의해 지지되는 가열부(70)가 하강하게 된다.
이때, 실린더(86)로부터 로드가 돌출되어 제1회전대(82), 제2회전대(84) 및 내화링부(72)가 베이스패널(12)의 일측으로 이동된 상태이므로 내화링부(72) 내부로 특수가스통(100)이 삽입되도록 내화링부(72)가 하강하게 되고, 내화링부(72) 내벽에 설치되는 히터(74)로부터 열이 공급된다.
따라서 특수가스통(100)에 씌워진 비닐(102)이 열에 의해 수축되면서 특수가스통(100)의 외벽에 밀착되면서 포장이 이루어지게 된다.
승강프레임(30)의 하강이 지속되어 승강프레임(30)과 제1센서(56)가 접촉되면 제어부(96)로부터 송신되는 구동신호에 따라 모터(36)가 역방향으로 구동되므로 내화링부(72)가 상승하면서 재차 비닐(102)에 열을 가하게 된다.
승강프레임(30)의 상승이 지속되어 상승프레임이 제2센서(58)와 접촉되면 제어부(96)로부터 송신되는 구동신호에 따라 모터(36)의 구동속도가 상승되므로 내화링부(72)는 설정치 이상으로 빠르게 상승하게 된다.
상기한 바와 같은 비닐(102) 수축작업이 진행되는 동안에 작업자는 다른 특수가스통(100)에 비닐(102)을 씌우고, 특수가스통(100)을 베이스패널(12)의 타측에 형성되는 안착홈부(12a)에 안착시킨다.
내화링부(72)의 상승운동이 종료되면 모터(36)의 구동이 정지되는데, 이때, 작업자가 다른 특수가스통(100)의 안착을 완료한 상태이면 조작노브를 조작하여 내화링부(72)의 하강운동이 개시되도록 한다.
조작노브는 외곽지지대(14)의 상면에 설치되어 작업자가 쉽게 조작할 수 있도록 하며, 조작노브의 설치위치는 본 발명의 기술구성을 인지한 당업자가 용이하게 변경하여 실시할 수 있는 것이므로 조작노브에 대한 구체적인 도면이나 설명은 생략하기로 한다.
내화링부(72)의 상승이 완료된 상태에서 작업자가 조작노브를 조작하면 실린더(86) 내부로 로드가 삽입되면서 내화링부(72)의 위치를 베이스패널(12)의 타측으로 이동시키고, 이때, 제2회전대(84)가 스토퍼(88)에 의해 지지되면서 내화링부(72)의 이동량을 제한하므로 내화링부(72)가 베이스패널(12)의 타측에 형성되는 안착홈부(12a)에 대향되도록 정확한 위치로 이동된다.
내화링부(72)의 이동이 완료되면 모터(36)가 구동되면서 상기한 바와 같은 비닐(102) 수축작업이 이루어지게 된다.
이로써, 특수가스통에 씌워지는 포장용 비닐을 수축시킬 때에 비닐 내부에 공기층이 형성되는 것을 방지하고, 비닐을 수축시키는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치를 제공할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시되는 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
또한, 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치를 예로 들어 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 반도체 제조용 특수가스통의 포장을 위한 비닐 수축장치가 아닌 다른 제품에도 본 발명의 수축장치가 사용될 수 있다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 지지프레임 12 : 베이스패널
12a : 안착홈부 14 : 외곽지지대
16 : 승강지지대 30 : 승강프레임
32 : 승강블록 34 : 너트부재
36 : 모터 50 : 동력전달부
52 : 구동축 54 : 벨트
56 : 제1센서 58 : 제2센서
70 : 가열부 72 : 내화링부
74 : 히터 80 : 방향전환부
82 : 제1회전대 84 : 제2회전대
86 : 실린더 88 : 스토퍼
90 : 냉각부 92 : 공급관
94 : 노즐 96 : 제어부
100 : 특수가스통 102 : 비닐

Claims (8)

  1. 특수가스통이 안착되는 지지프레임;
    특수가스통에 대향되게 배치되고, 상기 지지프레임을 따라 승하강 가능하게 설치되는 승강프레임;
    상기 승강프레임이 승하강되도록 동력을 제공하는 모터;
    상기 모터로부터 제공되는 동력을 변환시켜 상기 승강프레임의 승강운동 또는 하강운동으로 전달하는 동력전달부;
    상기 승강프레임에 설치되고, 특수가스통에 씌워지는 비닐에 열을 가하여 비닐이 특수가스통에 밀착되게 하는 가열부를 포함하고,
    상기 지지프레임은,
    특수가스통이 안착되도록 한 쌍의 안착홈부가 형성되고, 상기 모터가 상면에 설치되는 베이스패널;
    상기 베이스패널의 상면으로부터 수직방향으로 연장되는 승강지지대; 및
    상기 베이스패널의 상면에 설치되고, 상기 승강지지대를 지지하는 외곽지지대를 포함하고,
    상기 가열부의 위치를 가변시켜 한 쌍의 상기 안착홈부 중 어느 하나의 상기 안착홈부에 대향되게 상기 가열부를 위치시키는 방향전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 동력전달부는,
    상기 베이스패널의 상면과 상기 승강지지대의 상단 사이에 회전 가능하게 설치되고, 나사산이 구비되는 구동축;
    상기 모터의 회전축과 상기 구동축을 연결하여 동력을 전달하는 벨트; 및
    상기 승강지지대의 하부에 설치되고, 상기 승강프레임이 감지되면 감지신호를 송신하는 제1센서;
    상기 승강지지대의 상부에 설치되고, 상기 승강프레임이 감지되면 감지신호를 송신하는 제2센서; 및
    상기 제1센서로부터 감지신호가 수신되면 상기 모터의 구동방향을 변환시켜 구동신호를 송신하고, 상기 제2센서로부터 감지신호가 수신되면 상기 모터의 구동속도를 가변시키는 구동신호를 송신하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강프레임에는 상기 승강지지대에 설치되는 가이드레일을 따라 슬라이딩되는 승강블록이 설치되고, 상기 구동축에 볼트결합되는 너트부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 방향전환부는,
    상기 승강프레임에 회전 가능하게 설치되고, 상기 가열부를 지지하는 제1회전대;
    상기 승강프레임에 회전 가능하게 설치되고, 상기 가열부를 지지하는 제2회전대;
    상기 제1회전대와 상기 승강프레임 사이에 설치되는 실린더; 및
    상기 승강프레임의 양측 단부로부터 상기 제2회전대 측으로 경사지게 연장되어 상기 제2회전대의 회전운동을 제한하는 한 쌍의 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가열부는,
    상기 제1회전대 및 상기 제2회전대에 의해 지지되고, 특수가스통을 감싸는 파이프 모양으로 형성되는 내화링부; 및
    상기 내화링부에 설치되고, 특수가스통에 씌워지는 비닐에 열을 공급하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 승강지지대에는 특수가스통의 밸브 측으로 공기를 분사하여 특수가스통의 밸브가 과열되는 것을 방지하는 냉각부가 설치되고;
    상기 냉각부는,
    상기 승강지지대에 설치되고, 공기를 특수가스통의 밸브 측으로 안내하는 공급관; 및
    상기 공급관의 단부에 설치되고, 상기 공급관을 통해 안내되는 공기의 배출속도를 증가시키는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 특수가스통을 포장하기 위한 비닐 수축장치.
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