KR101547376B1 - 컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 상기 기판을 포함하는 표시장치 - Google Patents

컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 상기 기판을 포함하는 표시장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판, 상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴 및 컬러 패턴, 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러 필터 기판으로서, 상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.

Description

컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 상기 기판을 포함하는 표시장치{COLOR FILTER SUBSTRATE, FABRICATIING METHOD THEREOF AND DISPLAY COMPRISING THE SUBSTRATE}
본 발명은 컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 발명은 외부 스트레스에 대하여 안정성이 높은 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러 필터 기판, 이의 제조방법 및 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치에 관한 것이다.
액정 표시 소자에 사용되는 액정 셀의 구조는 크게 세 가지 구성, 즉 구동을 위한 박막 트랜지스터 기판, 색상을 구현하는 컬러 필터 기판, 및 상기 두 기판 사이의 구비된 액정을 포함한다. 컬러 필터 기판은 액정 표시 소자에서 컬러 영상을 구현하기 위하여 통상적으로 세 종류 이상의 투과-흡수 파장을 갖는 물질로 화소를 형성한 기판이다. 이 때 화소는 안료가 분산된 감광성 유기 물질을 이용하여 광식각법에 의해 제조될 수 있다.
액정 표시 소자를 제조할 때는 고른 화면을 구현하기 위해 컬러 필터에 일정한 높이의 컬럼 스페이서를 형성한다. 즉 컬럼 스페이서는 액정 표시 소자의 액정셀의 갭을 일정하게 유지하는 역할을 하며 통상적으로 너비 수~수십 마이크로미터, 높이 수 마이크로미터의 크기를 지닌 박막 패턴으로 이루어진다. 컬럼 스페이서의 제조에는 감광성의 유기 재료을 이용한 광식각법이 널리 사용되나 최근에는 잉크젯이나 오프셋 방법을 이용하여 형성하기도 한다.
컬럼 스페이서가 화소의 개구부에 위치하면 액정의 배향이 흐트러져 빛샘 현상이 나타나 명암비가 저하되므로, 컬럼 스페이서를 차광막으로 가려진 부분에 형성하는 것이 일반적이다. 그런데, 최근에는 액정 표시 소자의 해상도와 밝기 향상을 위하여 차광막(블랙 매트릭스)의 면적을 줄이고 있다. 차광막의 면적이 줄어드는 추세에 따라 컬럼 스페이서의 패턴 크기도 함께 감소하고 있다.
컬럼 스페이서는 액정 표시 소자에서 외부의 스트레스나 충격에 저항하여 액정셀 갭을 유지하는 역할을 하기 때문에 그 크기가 감소할수록 변형되기 쉬운 특성을 지니게 된다. 또한 최근에는 터치 스크린을 접목시킨 디스플레이의 수요가 증가하게 됨에 따라 크기는 작되 외부의 압력 또는 충격에 의한 액정셀의 갭 변화가 적도록 액정 표시 소자를 제조하는 일이 중요해지고 있다.
컬럼 스페이서가 외부로부터 강한 힘을 받으면 도 1과 같이 경계면에서의 패턴 탈착이 발생하게 된다. 패턴 탈착은 경우에 따라 컬럼 스페이서와 전극, 예컨대 ITO 사이에, 또는 전극, 예컨대 ITO와 하부막 사이에서 발생한다. 패턴 탈착의 가장 큰 원인은 압축에 따른 전단 응력(shear stress)에 의한 것이다. 이러한 계면에서의 박리 현상이 발생하면 복구되지 않아 외부로부터의 충격이나 압력이 제거된 후에도 액정셀의 갭이 변형된 채로 남아 있게 된다. 이 때 빛샘 현상이 발생하는 불량 화소가 형성되어 디스플레이의 품질을 떨어뜨리게 된다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 외부의 압력에 의한 박리 현상이 적은 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러 필터 기판 및 이의 제조 방법을 제시하고자 한다. 또한, 본 발명은 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 기판, 상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴 및 컬러 패턴, 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러 필터 기판으로서, 상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 컬러 필터 기판을 제공한다.
본 발명의 제1 실시상태에 따르면
기판,
상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 구비된 컬러 패턴, 및
상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 컬러 필터 기판을 제공한다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함할 수 있다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이 때, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 오버코트층이 구비되는 것이 바람직하다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다.
본 발명의 제2 실시상태에 따르면
기판,
기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역 및 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬러 패턴, 및
상기 컬러 패턴의 상부에 구비되고, 상기 차광막 패턴과 대응되는 영역 중 적어도 일부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 컬러 필터 기판을 제공한다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함할 수 있다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이 때, 상기 컬러 패턴의 상면에 오버코트층이 구비되는 것이 바람직하다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다.
상기 컬러 필터 기판은 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다.
본 발명은 또한
기판의 상면에 차광막 패턴 및 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 컬러 필터 기판의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 구체적인 하나의 실시상태에 따르면
기판 상에 차광막 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판 상에 상기 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 컬러 필터 기판의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또 하나의 구체적인 실시상태에 따르면,
기판 상에 차광막 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판 상에 상기 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 컬러 필터 기판의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또한 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치를 제공한다.
본 발명에 따른 컬러 필터 기판 상의 컬럼 스페이서는 외부의 스트레스에 의해 계면 박리 현상이 발생하는 임계점이 높아 안정적이다. 따라서, 본 발명에 따른 컬러 필터 기판을 사용하여 제작된 액정 표시 소자는 외부의 충격에 의한 불량 화소의 발생 가능성이 낮다.
도 1은 종래기술에 따른 컬러 필터 기판에서 외부 스트레스에 의하여 컬럼 스페이서 패턴의 탈착이 일어난 상태를 나타낸 사진이다.
도 2 내지 도 7은 각각 본 발명의 실시상태에 따른 컬러 필터 기판의 단면 구조를 예시한 것이다.
이하에서 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 컬러 필터 기판은 기판, 상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴 및 컬러 패턴, 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 포함하는 것으로서, 상기 컬럼 스페이서 패턴이 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이, 컬럼 스페이서 패턴을 이중층으로 구성하되, 상대적으로 높이와 폭이 작은 컬럼 스페이서 패턴을 이보다 높이와 폭이 큰 컬럼 스페이서 패턴으로 감싸도록 구성함으로써 컬럼 스페이서 패턴이 외부의 스트레스에 대하여 계면 박리 현상이 발생하는 임계점이 높아 안정적이다. 따라서 본 발명에 따른 컬러 필터 기판을 사용한 액정 표시 소자에서는 외부의 충격에 의한 불량 화소의 발생 가능성을 낮출 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 제2 컬럼 스페이서 패턴은 동일한 재료로 형성할 수도 있으나, 서로 상이한 재료로 형성할 수도 있다. 상기 제1 및 제2 컬럼 스페이서 패턴은 감광성 재료를 이용하여 형성할 수 있다. 감광성 재료의 예로는 당 기술분야에 알려져 있는 컬럼 스페이서 재료, 오버 코트 재료 또는 기타 착색 또는 비착색 감광성 재료들이 사용될 수 있으며, 유기 재질의 패턴 형성이 가능하다면 특별히 그 재료에 한정되지 않는다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 제2 컬럼 스페이서 패턴은 광식각법을 사용하여 형성할 수 있다. 그러나, 광식각법 이외에도, 잉크젯 프린팅이나 오프셋 프린팅과 같은 방법을 이용하여 형성할 수도 있으며, 본 발명에서 정의한 형태를 가질 수 있다면 특별히 제조방법에 의하여 한정되지 않는다.
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴은 폭이 3 마이크로미터 이상인 것이 바람직하며, 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 폭보다 작은 것이 바람직하다. 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 폭이 3 마이크로미터 미만이면 패턴 자체를 형성하는 것이 어려우며 제2 컬럼 스페이서 패턴의 폭을 넘으면 본 발명에서 원하고자 하는 효과를 얻기 어렵다.
또한 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 높이는 0.05 마이크로미터 이상인 것이 바람직하며, 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 높이보다 낮은 것이 바람직하다. 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 폭이 0.05 마이크로미터 미만이거나 제2 컬럼 스페이서 패턴의 높이 이상이 되는 경우 본 발명에서 원하고자 하는 효과를 얻기 어렵다.
본 발명에 있어서, 기판, 차광막 패턴 및 컬러 패턴은 당기술분야에 알려져 있는 재료 및 제조방법을 이용하여 형성할 수 있다. 예컨대, 상기 기판으로는 투명 기판인 것이 바람직하다. 도 2 내지 도 7에서 기판의 재료로서 유리가 예시되어 있으나, 이것에 한정되지 않고, 유리와 같은 무기재료로 이루어진 기판, 플라스틱 기판 또는 플라스틱 필름이 사용될 수 있다.
본 명세서에 있어서, 투명이란 광투과율이 85% 이상, 바람직하게는 90% 이상, 더욱 바람직하게는 95% 이상인 것을 의미한다.
상기 차광막 패턴 및 컬러 패턴은 감광성 재료 또는 열경화성 재료를 이용하여 형성할 수 있으며, 광식각법, 잉크젯법, 인쇄법 등을 이용하여 형성할 수 있으나, 이들 재료 또는 형성 방법에 의하여 본 발명의 범위가 제한되는 것은 아니다. 또한, 상기 차광막 패턴과 상기 컬러 패턴은 그 형성 순서에 있어서, 어느 것을 먼저 형성하여도 좋다. 즉, 차광막 패턴 형성 후 컬러 패턴을 형성할 수도 있고, 컬러 패턴을 형성한 후 차광막 패턴을 형성할 수도 있다.
본 발명의 제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은
기판,
상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 구비된 컬러 패턴, 및
상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함한다.
제1 실시상태에 있어서, 상기 컬럼 스페이서 패턴은 상기 차광막 패턴의 상면에 직접 형성될 수도 있으나, 상기 차광막 패턴의 상면에 다른 층이 구비된 후 그 층 위에 형성될 수도 있다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 2에 예시하였다. 오버코트층의 재료나 두께 등에 대하여는 당기술분야에 알려져 있는 기술을 이용할 수 있다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이 때, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 오버코트층이 구비되는 것이 바람직하다. 이와 같은 실시상태를 도 2에 예시하였다. 도 2에는 전극층으로서 ITO층이 예시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 전극층으로는 투명 전극층이 바람직하며, 투명 전도성 산화물층 또는 금속 박막층이 사용될 수 있다. 상기 투명 전도성 산화물층으로는 ITO층, IZO층 등이 사용될 수 있고, 상기 금속 박막층은 Al, Ca 층 등을 사용할 수 있다. 상기 금속 박막층은 투명성을 갖도록 두께가 80 nm 내지 200 nm인 것이 바람직하다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 3에 예시하였다. 도 3에는 전극층으로서 ITO층이 예시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이 때, 전극층의 두께는 80 nm 내지 200 nm 인 것이 바람직하다.
제1 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 4에 예시하였다. 도 4에는 전극층으로서 ITO층이 예시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이 때, 전극층의 두께는 80 nm 내지 200 nm 인 것이 바람직하다.
본 발명의 제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은
기판,
기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역 및 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬러 패턴, 및
상기 컬러 패턴의 상부에 구비되고, 상기 차광막 패턴과 대응되는 영역 중 적어도 일부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제2 실시상태에 있어서, 상기 컬럼 스페이서 패턴은 상기 컬러 패턴의 상면에 직접 형성될 수도 있으나, 상기 컬러 패턴의 상면에 다른 층이 구비된 후 그 층 위에 형성될 수도 있다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판에서는, 컬러 패턴이 차광막 패턴 상부에까지 구비되는 점을 제외하고는 전술한 제1 컬러 필터 기판에서의 설명이 적용될 수 있다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 5에 예시하였다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이 때, 상기 컬러 패턴의 상면에 오버코트층이 구비되는 것이 바람직하다. 이와 같은 실시상태를 도 5에 예시하였다.
제2 실시상태에 따른 컬러 필터 기판은 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 6에 예시하였다.
상기 컬러 필터 기판은 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실시상태를 도 7에 예시하였다.
본 발명은 또한
기판의 상면에 차광막 패턴 및 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 컬러 필터 기판의 제조방법을 제공한다.
이 때, 상기 차광막 패턴과 컬러 패턴의 형성은 어느 하나가 먼저 형성된 후 나머지 하나가 나중에 이루어지도록 순차적으로 수행될 수도 있고, 동시에 수행될 수도 있다. 또한, 차광막 패턴이 먼저 형성되어도 좋고 컬러 패턴이 먼저 형성되어도 좋다.
본 발명의 구체적인 하나의 실시상태에 따르면, 본 발명에 따른 컬러 필터 기판은
기판 상에 차광막 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판 상에 상기 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 방법에 의하여 제조될 수 있다.
본 발명은 또 하나의 구체적인 실시상태에 따르면, 본 발명에 따른 컬러 필터 기판은
기판 상에 차광막 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판 상에 상기 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 차광막 패턴의 상부에 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 방법에 의하여 제조될 수 있다.
상기 제조방법에서는 전술한 설명 및 당기술분야에 알려져 있는 방법을 이용할 수 있다.
본 발명은 또한 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 표시장치는 평면 표시 장치, 예를 들어 액정 표시 소자 및 유기 발광 표시 소자 등 일 수 있다.
이하에서 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예에는 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 실시예의 기재에 의하여 본 발명의 범위가 한정될 것을 의도한 것은 아니다.
[실시예 1]
본 발명의 효과를 확인하기 위해 다음과 같은 과정을 통해 컬럼 스페이서를 포함한 컬러 필터 단판을 제작하였다. 우선 포토리소그라피 방법을 이용하여 유리 기판 위에 두께 1 마이크론의 흑격막(차광막 패턴)을 형성하였다. 그 뒤 각각 두께 1.4 마이크로미터가 되도록 레드, 그린, 블루의 순서로 서브 픽셀을 포토리소그라피 방법을 이용하여 형성하였다. 이후 투명한 감광성 재료를 이용하여 폭 3 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터의 제1 컬럼 스페이서 패턴을 포토리소그라피 방법을 이용하여 형성하였다. 그 후 두께 약 1100 옹스트롱의 ITO를 교류 스퍼터 방식으로 코팅하였다. 최종적으로 포토리소그라피 방법을 이용하여 폭 25 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터의 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하여 컬러 필터 단판을 완성하였다.
이렇게 만들어진 컬러필터 단판의 컬럼 스페이서 패턴을 Flat Tip을 이용한 압자로 0에서 500 mN까지 힘을 증가시키며 패턴의 박리가 일어나는 힘의 크기를 확인하였다.
[실시예 2]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 [실시예 1]과 동일하다.
[실시예 3]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 4]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 5]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 6]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 7]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 8]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 9]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 1]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 3 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 11]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 12]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 13]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 14]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 15]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 16]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 17]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 18]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 19]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 2]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 5 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 21]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 22]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 23]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 24]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 25]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 26]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 27]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 28]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 29]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 3]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 7 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 31]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 32]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 33]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 34]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 35]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 36]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 37]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 38]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 39]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 4]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 10 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 41]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 42]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 43]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 44]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 45]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 46]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 47]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 48]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 49]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 5]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 15 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 51]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 52]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 53]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 54]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 55]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 56]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 57]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 58]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[실시예 59]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 6]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 20 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 7]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 0.03 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 8]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 0.05 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 9]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 0.07 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 10]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 0.1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 11]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 0.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 12]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 1 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 13]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 1.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 14]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 2 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 15]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 2.5 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 16]
제1 컬럼 스페이서 패턴의 크기를 폭 25 마이크로미터, 높이 3 마이크로미터로 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
[비교예 17]
제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.
아래의 [표 1] 내지 [표 7]에는 실시예와 비교예를 통해 얻어진 실험 결과가 정리되어 있다. 제1 컬럼 스페이서 패턴에서 폭이 제2 컬럼 스페이서의 폭보다 작은 경우 박리되는 한계가 상승하는 효과가 관찰되는 것에 비하여, 2개의 스페이서의 폭과 같아지면 그 효과가 사라지는 것을 알 수 있다. 또한 제1 컬럼 스페이서 패턴에서 그 높이가 0.05 마이크로미터 이상이고, 제2 컬럼 스페이서의 높이인 3 마이크로미터 미만인 경우 더 우수한 효과를 나타냄을 확인할 수 있다.
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 1 3 0.03 190
실시예 2 0.05 230
실시예 3 0.07 220
실시예 4 0.1 220
실시예 5 0.5 230
실시예 6 1 250
실시예 7 1.5 240
실시예 8 2 240
실시예 9 2.5 210
비교예 1 3 200
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 11 5 0.03 200
실시예 12 0.05 220
실시예 13 0.07 230
실시예 14 0.1 270
실시예 15 0.5 350
실시예 16 1 330
실시예 17 1.5 260
실시예 18 2 230
실시예 19 2.5 210
비교예 2 3 190
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 21 7 0.03 200
실시예 22 0.05 250
실시예 23 0.07 280
실시예 24 0.1 330
실시예 25 0.5 390
실시예 26 1 400
실시예 27 1.5 390
실시예 28 2 310
실시예 29 2.5 260
비교예 3 3 200
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 31 10 0.03 190
실시예 32 0.05 260
실시예 33 0.07 330
실시예 34 0.1 410
실시예 35 0.5 450
실시예 36 1 390
실시예 37 1.5 340
실시예 38 2 330
실시예 39 2.5 270
비교예 4 3 210
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 41 15 0.03 210
실시예 42 0.05 260
실시예 43 0.07 330
실시예 44 0.1 450
실시예 45 0.5 460
실시예 46 1 510
실시예 47 1.5 400
실시예 48 2 330
실시예 49 2.5 260
비교예 5 3 200
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
실시예 51 20 0.03 190
실시예 52 0.05 220
실시예 53 0.07 240
실시예 54 0.1 350
실시예 55 0.5 380
실시예 56 1 320
실시예 57 1.5 280
실시예 58 2 220
실시예 59 2.5 220
비교예 6 3 190
구분 제1 컬럼 스페이서 패턴 크기 패턴 탈착
한계 Load (mN)
폭(마이크로미터) 높이(마이크로미터) 　
비교예 7 25 0.03 200
비교예 8 0.05 190
비교예 9 0.07 220
비교예 10 0.1 200
비교예 11 0.5 200
비교예 12 1 200
비교예 13 1.5 190
비교예 14 2 200
비교예 15 2.5 210
비교예 16 3 210
비교예 17 없음 200

Claims (21)

  1. 기판,
    상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴 및 컬러 패턴,
    상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러 필터 기판으로서,
    상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하며,
    상기 제1 컬럼 스페이서 패턴은 폭이 3 마이크로미터 이상 20 마이크로미터 이하이고, 높이가 0.05 마이크로미터 이상 3 마이크로미터 미만인 컬러 필터 기판.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 기판,
    상기 기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
    상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역에 구비된 컬러 패턴, 및
    상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
    상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하며,
    상기 제1 컬럼 스페이서 패턴은 폭이 3 마이크로미터 이상 20 마이크로미터 이하이고, 높이가 0.05 마이크로미터 이상 3 마이크로미터 미만인 컬러 필터 기판.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 4에 있어서, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  8. 청구항 4에 있어서, 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  10. 청구항 4에 있어서, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  11. 청구항 4에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 차광막 패턴 및 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  12. 기판,
    기판의 상면에 구비된 차광막 패턴,
    상기 기판의 상면 중 차광막 패턴이 구비되지 않은 영역 및 상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬러 패턴, 및
    상기 컬러 패턴의 상부에 구비되고, 상기 차광막 패턴과 대응되는 영역 중 적어도 일부에 구비된 컬럼 스페이서 패턴을 포함하고,
    상기 컬럼 스페이서 패턴은 제1 컬럼 스페이서 패턴 및 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸도록 구비된 제2 컬럼 스페이서 패턴을 포함하며,
    상기 제1 컬럼 스페이서 패턴은 폭이 3 마이크로미터 이상 20 마이크로미터 이하이고, 높이가 0.05 마이크로미터 이상 3 마이크로미터 미만인 컬러 필터 기판.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 청구항 12에 있어서, 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  16. 청구항 12에 있어서, 상기 기판의 하면에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  17. 청구항 16에 있어서, 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 오버코트층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  18. 청구항 12에 있어서, 상기 컬러 패턴의 상면에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  19. 청구항 12에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴과 상기 제2 컬럼 스페이서 패턴의 사이와, 상기 컬러 패턴의 상면 중 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴이 구비된 영역을 제외한 나머지 영역에 구비된 전극층을 추가로 포함하는 컬러 필터 기판.
  20. 기판의 상면에 차광막 패턴 및 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 차광막 패턴의 상부에 구비된 컬럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계는
    제1 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 컬럼 스페이서 패턴 보다 폭 및 높이가 더 크고 상기 제1 컬럼 스페이서 패턴의 측면 및 상면을 감싸는 제2 컬럼 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 제1 컬럼 스페이서 패턴은 폭이 3 마이크로미터 이상 20 마이크로미터 이하이고, 높이가 0.05 마이크로미터 이상 3 마이크로미터 미만인 컬러 필터 기판의 제조방법.
  21. 청구항 1, 4, 7 내지 12 및 15 내지 19 중 어느 하나의 항에 따른 컬러 필터 기판을 포함하는 표시장치.
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