KR101540970B1 - 부상식 기판 코터 장치 및 약액 도포 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 관한 것으로, 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과; 상기 피처리 기판의 저면에 부상력을 인가하여 상기 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와; 상기 피처리 기판의 일측 이상을 파지하여 상기 부상스테이지 상에서 상기 피처리 기판이 부상된 상태로 이송시키는 파지 유닛과; 상기 피처리 기판의 전단부가 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에 상기 약액 노즐로부터 다시 약액이 상기 피처리 기판의 미사용 영역에 토출되게 하여 예비 토출을 행한 후, 상기 피처리 기판이 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 이동할 때에 상기 약액 노즐로부터 약액이 토출되어 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하도록 제어하는 제어부를; 포함하여 구성되어, 피처리 기판의 미사용 영역에서 약액 노즐의 예비토출공정을 행하여 토출구에 비드를 형성함으로써, 별도의 예비토출유닛을 구비하지 않으면서도 예비토출공정을 행할 수 있어, 약액의 도포 품질을 종래와 동일한 수준을 유지할 수 있으면서, 피처리 기판의 바깥에 위치한 예비토출유닛까지 약액 노즐을 이동시키지 않아도 되므로, 약액 노즐의 이동 거리를 최소화하여 약액 도포 공정을 보다 짧은 시간 내에 행할 수 있는 기판 코터 장치 및 약액 도포 방법을 제공한다.

Description

부상식 기판 코터 장치 및 약액 도포 방법 {SUBSTRATE COATER AND COATING METHOD}

본 발명은 부상식 기판 코터 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 별도의 예비 토출 유닛을 구비하지 않고서도 도포 품질을 확실하게 유지할 수 있고, 약액 도포 공정에 소요되는 시간을 단축하는 기판 코터 장치 및 약액 도포 방법에 관한 것이다.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.

그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 약액 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 약액 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.

오래전 기판 코터 장치는 기판을 회전대 상에 위치 고정시킨 후, 기판 상에 약액을 도포하여 기판의 회전에 의한 원심력으로 약액을 도포하였다. 그러나, 기판의 대형화에 따라 기판은 기판 척에 흡입하여 위치 고정된 상태에서, 기판의 폭만큼 긴 폭으로 형성된 약액 노즐이 기판에 대하여 이동하면서 약액을 도포하였다.

최근에는 보다 짧은 시간 내에 약액을 도포하기 위하여, 도1에 도시된 바와 같이, 파지 부재(40)로 피처리 기판(G)을 파지한 상태로 부상력이 작용하는 부상 스테이지(20) 상을 이동하면서, 정지하고 있는 약액 노즐(30)로부터 약액(PR)이 도포되는 형태로 약액을 도포하였다. 이와 같은 구성은 피처리 기판(G)이 한 방향으로 연속 공급되면서 약액이 도포되므로, 정해진 시간 내에 보다 많은 수의 기판(G)에 대한 도포 공정이 행해질 수 있는 잇점이 있다.

그러나, 도1에 도시된 기판 코터 장치(1)는 정해진 수의 기판(G)에 약액(PR)의 도포 공정을 마치거나, 일정 시간동안 약액의 도포 공정을 중단하면, 약액 노즐(30)의 토출구에 인접한 약액이 경화된다. 따라서, 슬릿 코터 장치(1)는 경화된 약액을 배출하기 위하여 약액 노즐(30)을 프라이밍 롤러로 이루어진 예비토출유닛(50)이 위치한 곳으로 이동(30d)하여, 약액 노즐(30)의 토출구를 예비토출유닛(50)에 근접시킨 상태로 약액을 약간 배출하는 예비 토출 공정을 행함으로써, 약액 노즐(30)로부터 배출되는 약액의 품질을 일정하게 유지할 수 있다. 그렇지만, 예비 토출 공정을 행하기 위하여 약액 노즐(30)을 왕복 이동하는 데 소요되는 시간만큼 피처리 기판(G)에 약액을 도포하지 못하므로, 기판 코팅 공정의 효율을 저해하는 원인이 되어 왔다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 예비 토출 유닛을 구비하지 않고서도 도포 품질을 확실하게 유지하는 것을 목적으로 한다.

이와 동시에, 약액 도포 공정에 소요되는 약액 노즐의 이동 거리를 최소화하여 단위 피처리 기판에 대한 코팅 공정 시간을 단축하여 공정의 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은, 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치로서, 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과; 상기 피처리 기판의 저면에 부상력을 인가하여 상기 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와; 상기 피처리 기판의 일측 이상을 파지하여 상기 부상스테이지 상에서 상기 피처리 기판이 부상된 상태로 이송시키는 파지 유닛과; 상기 피처리 기판의 전단부가 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에 상기 약액 노즐로부터 다시 약액이 상기 피처리 기판의 미사용 영역에 토출되게 하여 예비 토출을 행한 후, 상기 피처리 기판이 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 이동할 때에 상기 약액 노즐로부터 약액이 토출되어 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하도록 제어하는 제어부를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치를 제공한다.

이는, 종래에 별도의 프라이밍 롤러에 약액을 예비토출하여 약액 노즐의 토출구에 균일한 비드를 형성하도록 구성되던 것과 달리, 본 발명은 부상된 상태로 이송되고 있는 피처리 기판의 전방부 미사용 영역에서 약액 노즐로부터 약액을 약간 토출하는 것에 의하여 예비토출공정을 행하여 토출구에 비드를 형성함으로써, 별도의 예비토출유닛을 구비하지 않으면서도 예비토출공정을 행할 수 있게 되어, 약액의 도포 품질을 종래와 동일한 수준을 유지할 수 있도록 하기 위함이다.

이 뿐만 아니라, 본 발명은 피처리 기판의 미사용 영역에서 예비 토출 공정이 행해지므로, 피처리 기판의 바깥에 위치한 프라이밍 롤러로 이루어진 예비토출유닛까지 약액 노즐을 이동시키지 않아도 되므로, 약액 노즐의 이동 거리를 최소화하여 약액 도포 공정을 보다 짧은 시간 내에 행할 수 있도록 하는 잇점도 얻을 수 있다.

이와 동시에, 본 발명은 예비토출공정을 행한 이후에 예비토출이 행해진 프라이밍 롤러를 세정하는 공정을 생략할 수 있으므로, 전체적인 구성이 단순화되고 제어가 간편해지는 잇점을 얻을 수 있다.

이 때, 상기 약액 노즐의 예비 토출 공정이 행해지는 상기 미사용 영역은 약액 도포가 행해지는 상기 피처리 기판의 전단부로 정해져, 약액도포공정이 이루어지기 직전에 행해진다.

이 때, 예비 토출 공정 중에 약액 노즐로부터 예비 토출하는 데 필요한 미사용 영역의 폭은 1mm정도면 충분하지만, 피처리 기판의 이송 속도를 고려하여 상기 미사용 영역은 3mm 내지 10mm 정도의 길이로 형성되면 충분하다.

한편, 발명의 다른 분야에 따르면, 본 발명은, 부상된 상태로 피처리 기판을 이송시키면서 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 방법에 있어서, 부상 스테이지에 의하여 발생되는 부상력에 의하여 피처리 기판을 부상시킨 상태로, 상기 피처리 기판을 약액 노즐의 하측을 향하여 이송하는 기판이송단계와; 상기 피처리 기판의 미사용 영역인 전단부가 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에 상기 약액 노즐로부터 약액을 상기 미사용 영역에 토출하여 예비 토출을 행하는 예비토출단계와; 상기 피처리 기판의 정해진 도포 영역에 상기 약액 노즐로부터 약액을 토출하여 정해진 면적 내에 약액을 도포하는 약액도포단계를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법을 제공한다.

이 때, 상기 미사용 영역은 10mm 이내의 길이로 정해진다.

그리고, 상기 예비토출단계는 정해진 수의 피처리 기판에 대하여 약액도포단계를 행한 이후에 한번씩 주기적으로 행해지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 피처리 기판의 상기 미사용 영역이 상기 약액 노즐의 하측을 모두 통과할 때에 약액 토출이 중단되지 않고 연속하여 도포 영역까지 도포될 수도 있으며, 상기 피처리 기판의 상기 미사용 영역이 상기 약액 노즐의 하측을 모두 통과할 때에 약액 도출을 중단하는 것에 의하여 상기 예비토출단계를 종료한 이후에 약액도포단계를 행할 수도 있다.

한편, 상기 예비토출단계를 행하는 데 사용되는 피처리 기판은 약액도포단계만을 행하는 다른 피처리기판에 비하여 길이가 더 길게 형성되어, 미사용 영역이 보다 길게 형성된 기판이 사용될 수도 있다. 이를 통해, 피처리 기판의 이송속도가 빠르게 진행되더라도, 약액 노즐로부터 예비토출을 위하여 토출되는 약액이 미사용 영역에 정확하게 도포될 수 있다.

미사용 영역에 예비토출공정으로 도포된 약액은 도포된 약액을 건조시키는 감암 건조 공정 이후에 절단되어 폐기된다.

상술한 바와 같이, 본 발명은, 피처리 기판의 미사용 영역에서 약액 노즐의 예비토출공정을 행함으로써, 예비토출유닛을 구비하지 않으면서도 예비토출공정을 성공정으로 수행할 수 있도록 하여, 부품의 수를 크게 줄이면서도 약액의 도포 품질을 종래와 동일한 수준을 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은 피처리 기판의 미사용 영역에서 예비 토출 공정이 행해지므로, 피처리 기판의 바깥에 위치한 예비토출유닛까지 약액 노즐을 이동시키지 않아도 되므로, 약액 노즐의 이동 거리를 최소화하여 약액 도포 공정을 보다 짧은 시간 내에 행하여 공정의 효율이 향상되는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이 뿐만 아니라, 본 발명은 예비토출공정에 사용된 피처리 기판의 미사용 영역은 약액 도포 공정 이후에 건조된 이후에 절단하여 폐기되는 부분이므로, 예비토출공정에 의해 추가적으로 세정해야 하는 장치 및 공정이 생략되므로, 약액 도포 공정의 제어가 간편해지고 전체적인 구성이 단순화되는 잇점도 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은 여러개의 피처리 기판에 대하여 액액도포공정이 행해진 다음에, 예비토출공정이 행해질 차례에서는 미사용 영역이 보다 길게 형성된 기판을 사용함으로써, 공정의 효율을 도모하면서도 미사용 영역 이외의 영역에 경화된 약액이 도포되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

도1은 종래의 부상식 기판 코터 장치의 구성을 도시한 개략도,
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 구성을 도시한 사시도,
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 방법을 순차적으로 도시한 순서도,
도4a 내지 도4d는 도2의 장치를 이용한 약액 도포 방법에 따른 순차적 구성을 도시한 개략도,
도5a는 약액이 도포된 기판을 도시한 사시도,
도5b는 약액이 도포된 다른 형태의 피처리 기판을 도시한 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치에 대하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하며, 동일하거나 유사한 기능 혹은 구성에 대해서는 동일하거나 유사한 도면 부호를 부여하기로 한다.

도2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)는, 프레임(110)과, 프레임(110)에 수평으로 설치되어 에어 부상력을 발생시키는 부상 스테이지(120)와, 이송되는 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐(130)과, 부상 스테이지(120)로부터의 부상력에 의하여 부상된 피처리 기판(G)의 측부를 파지하여 함께 이동하는 파지 부재(140)와, 약액 노즐(130)의 토출 및 피처리 기판의 이송을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.

상기 부상 스테이지(120)는 표면에 다수의 분사공(120a)과 흡입공(120b)이 형성되어, 에어가 분사되고 흡입되면서 피처리 기판(G)의 저면을 지지하는 에어 부상력을 발생시킨다. 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 에어를 분사하는 대신에 초음파에 의하여 피처리 기판(G)의 저면을 지지하는 부상력을 발생시킬 수도 있다.

상기 약액 노즐(130)은 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 토출구가 형성되어, 피처리 기판(G)이 약액 노즐(130)의 토출구 하측을 통과할 때에 약액(PR)을 토출하는 것에 의하여 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하거나 예비토출공정을 행한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 피처리 기판(G)의 이송 중에 약액 노즐(130)은 위치 고정된 상태를 유지하지만, 피처리 기판(G)의 이송 속도와 다른 속도로 약액 노즐(130)이 이동할 수도 있다.

약액 노즐(130)은 양단 지지된 크로스 바(132)에 고정 설치되며, 약액 공급 펌프(131)로부터 피처리 기판(G)의 표면에 도포할 약액(PR)을 공급받아 도포한다.

상기 파지 부재(140)는 피처리 기판(G)의 일측 또는 양측부의 저면을 접촉 지지한 상태로 흡입압을 인가하여 피처리 기판(G)과 일체로 고정된다. 그리고, 정해진 경로를 따라 기판 이송 방향으로 이동하는 것에 의하여, 피처리 기판(G)이 약액 노즐(130)의 하측을 통과하도록 이송한다.

파지 부재(140)에 의하여 이송되는 피처리 기판(G)은 도5a에 도시된 바와 같이 약액(PR)이 도포되는 도포 영역이 정해진 길이(Lp)로 형성되고, 전단부와 후단부에는 약액(PR)이 도포되지 않는 미사용 영역(U1, U2)이 약 5mm정도의 길이(L1, L2)로 존재한다.

따라서, 상기 제어부는 피처리 기판(G)이 파지 부재(140)와 함께 이송되어 정해진 개수의 피처리 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포하였거나, 약액 노즐(130)이 장시간 동안 약액(PR)을 도포하지 않아 토출구 주변에 있는 약액이 산화되거나 점도가 굳어진 경우에는, 약액 노즐(130)의 토출구 근처에 약액 도포하기에 부적절한 약액(PR', 이하, 간단히 '부적절 약액'이라고 함)을 배출하는 예비토출공정이 행해지도록 한다.

보다 구체적으로는, 예비토출공정은, 피처리 기판(G)이 파지 부재(140)와 함께 이송되어 피처리 기판(G)의 전단부 미사용 영역이 약액 노즐(130)의 토출구 하측을 지날 때에, 약액 노즐(130)로부터 약액을 전단부 미사용 영역(U1)에 약간 토출하여 토출구 주변의 비정상적인 약액을 배출시켜, 기판의 전단부 미사용 영역(U1)에 부적절 약액(PR')을 도포하고, 균일한 점도의 약액만이 피처리 기판(G)의 도포 영역('Lp'로 표시된 영역)에 도포되도록 한다.

이 때, 이동하는 피처리 기판(G)에 약액 노즐(130)의 예비 토출 공정을 행할 수 있는 위치는, 약액(PR)이 도포되기 시작하는 피처리 기판(G)의 전방부에 위치한 미사용 영역(U1)에 행해짐으로써, 부적절 약액(PR')이 도포 영역(Lp)에 도포되는 것을 근본적으로 방지할 수 있다.

그리고, 기판의 전단부 미사용 영역(U1)에 부적절 약액(PR')을 도포한 이후에, 약액 노즐(130)로부터 약액(PR)의 토출을 중단하여 토출구에 균일한 점도의 약액이 비드로 맺히게 한 이후에, 다시 약액을 토출하기 시작하여 피처리 기판(G)의 도포 영역(Lp)에 약액을 도포할 수 있다. 또는, 기판의 전단부 미사용 영역(U1)에 부적절 약액(PR')을 도포한 이후에, 약액 노즐(130)로부터 약액(PR)의 토출을 중단하지 않고 연속하여 약액을 토출하여 피처리 기판(G)의 도포 영역(Lp)에 약액을 도포할 수 있다.

어떠한 경우이든지, 피처리 기판(G)의 도포 영역(Lp)에는 예정된 점도를 갖는 균일한 약액(PR)이 도포되므로, 약액 도포 공정을 마친 피처리 기판(G)에 대하여 도포 영역(Lp)의 바깥 영역을 절단하여 폐기한다. 따라서, 부적절 약액이 토출된 전방부 미사용 영역(U1)은 폐기된다.

이를 통해, 본 발명에 따른 기판 코터 장치(100)는 피처리 기판의 미사용 영역(U1)에서 약액 노즐(130)의 예비토출공정이 행해지도록 구성됨으로써, 예비토출유닛을 구비하지 않으면서도 예비토출공정을 성공정으로 수행할 수 있게 되어, 부품의 수를 줄이면서도 약액의 도포 품질을 종래와 동일한 수준을 유지할 수 있고, 동시에 종래에 피처리 기판(G)의 바깥에 위치한 예비토출유닛까지 약액 노즐(130)을 이동시키지 않아도 되므로, 약액 노즐의 이동 거리를 최소화하여 약액 도포 공정을 보다 짧은 시간 내에 행하여 공정의 효율이 향상되는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)를 이용한 약액 도포 방법(S100)을 상술한다.

단계 1: 먼저, 도4a에 도시된 바와 같이, 피처리 기판(G)은 부상 스테이지(120)의 부상력에 의하여 지지되면서 파지 부재(140)에 흡입 파지되어 부상 스테이지(120)를 종방향(도4a의 좌우 방향)으로 가로질러 이송된다. 그리고, 피처리 기판(G)의 도포 영역(Lp)이 약액 노즐(130)의 하측에 위치하면, 약액(PR)이 토출되어 도포 영역(Lp)에 도포된다(S110).

단계 2: 단계 1의 약액도포공정(S110)은 정해진 수의 피처리 기판(G)에 대하여 예비토출공정없이 행해지며, 정해진 수의 피처리 기판(G)의 약액도포공정(S110)이 행해지면(S120), 단계 4의 예비토출공정(S140)이 행해진다. 한편, 정해진 수의 피처리 기판(G)에 대하여 약액도포공정이 행해지지 않았더라도, 장시간 동안 약액 노즐(130)이 대기하고 있던 경우에는, 토출구 주변의 약액이 주변 공기에 산화되므로, 단계 4의 예비토출공정(S140)을 행하게 된다.

단계 3: 약액 노즐(130)의 토출구 주변의 약액을 배출하는 예비토출공정은 도4b에 도시된 바와 같이 피처리 기판(G)을 준비하여 부상력에 의하여 부상된 상태의 피처리 기판(G)을 파지 부재(140)로 이동(88)시킨다(S130).

단계 4: 그리고 나서, 피처리 기판(G)의 전단부 미사용 영역(U1)이 약액 노즐(130)의 하측에 위치하면, 도4c에 도시된 바와 같이 약액 노즐(130)로부터 약간의 약액(PR')을 소량 토출하여, 약액 노즐(130)의 토출구 주변에 있던 부적절한 약액(PR')을 피처리 기판(G)의 전단부 미사용 영역(U1)에 배출하는 것에 의하여 예비토출공정이 이루어진다(S140).

단계 5: 그리고 나서, 도4d에 도시된 바와 같이 도포 영역(Lp)에 약액(PR)을 도포하는 약액도포공정(S150)이 행해진다. 즉, 예비토출공정(S140)이 행해진 피처리 기판(G)에 약액도포공정(S150)도 함께 행해진다.

여기서, 예비토출공정(S140)과 약액도포공정(S150)이 함께 행해지는 피처리 기판(G)은 단계 1의 약액도포공정(S110)만 행해지는 피처리 기판(G)과 동일한 크기일 수 있다. 즉, 예비토출공정(S140)에 필요한 미사용 영역(U1)의 폭은 1mm정도면 충분하기 때문에 피처리 기판의 전단부 미사용 영역은 3mm 내지 5mm 정도의 길이(L1)로도 충분하다.

다만, 피처리 기판(G)의 이송속도가 빠를 경우에는 피처리 기판(G)의 미사용 영역(U1)에 정확히 약액(PR')을 토출하지 못할 수 있으므로, 도5b에 도시된 바와 같이 보다 긴 길이(L1')의 전단부 미사용 영역(U1)이 형성된 피처리 기판(G)을 사용할 수도 있다. 예를 들어, 도5b에 도시된 피처리 기판(G)의 전단부 미사용 영역(U1)의 길이(L1')는 6cm 내지 10cm의 긴 길이로 형성될 수 있다. 이를 통해, 피처리 기판(G)을 보다 빠른 속도로 이송하더라도, 약액 노즐(130)로부터 전방부 미사용 영역(U1)에 약액(PR')을 도포하는 것이 보다 용이해진다.

한편, 이 때, 예비토출공정(S140)이 행해진 다음, 약액 노즐(130)로부터 약액의 토출이 중단될 수도 있고, 연속하여 도포 영역(Lp)에 약액(PR)을 도포할 수도 있다. 도5b에 도시된 피처리 기판(G)은 충분히 긴 전단부 미사용 영역(U1)이구비되므로, 예비토출공정(S140)과 약액도포공정(S150)을 행하는 경우에는, 예비토출공정(S140)을 행하고 약액 노즐로부터의 약액 토출을 중단한 이후에, 도포 영역에 약액도포공정(S150)을 행하는 형태로 사용될 수 있다. 반대로, 도5a에 도시된 피처리 기판(G)은 상대적으로 짧은 전단부 미사용 영역(U1)이 구비되므로, 피처리 기판의 이송 속도가 빠르고 예비토출공정(S140)과 약액도포공정(S150)을 행하는 경우에는, 예비토출공정(S140)을 행하고 약액 노즐로부터의 약액 토출을 중단하지 않고 연속하여 도포 영역에 약액도포공정(S150)을 행하는 형태로 사용되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 단계 1 내지 단계 5를 반복하면서, 공급되는 피처리 기판(G)의 표면에 약액(PR)의 도포 공정을 행하는 동안에, 예비토출공정을 행하기 위하여 약액 노즐(130)이 부상 스테이지(120)의 바깥으로 이동하지 않아도 되므로, 단위 피처리 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포하기 위한 약액 노즐(130)의 이동 거리를 최소화할 수 있게 된다. 따라서, 약액 도포 공정에 소요되는 공정 시간을 단축하여 보다 공정 효율을 구현할 수 있다.

이 뿐만 아니라, 상기와 같이 구성된 기판 코터 장치(100)는 버려질 피처리 기판(G)의 미사용 영역(U1)에서 예비토출공정을 행하도록 구성되어, 예비토출공정이 행해진 프라이밍 롤러(22)의 세정 공정을 필요로 하지 않게 되므로, 전체적인 제어 공정이 간략화되어 제어 오류가 발생될 가능성을 크게 줄일 수 있으며, 설비가 단순화되어 제조 비용을 훨씬 낮출 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 상기와 같은 특정 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

100: 기판 코터 장치 110: 프레임
120: 부상 스테이지 130: 약액 노즐
140: 파지 부재 G: 피처리 기판
U1: 전방부 미사용 영역 U2: 후방부 미사용 영역

Claims (7)

1. 전단부에 각각 약액이 도포되지 아니하는 미사용 영역이 10mm 이내로 형성되고, 상기 미사용 영역의 사이에 약액이 도포되는 도포 영역이 형성된 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치로서,
   상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
   상기 피처리 기판의 저면에 부상력을 인가하여 상기 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와;
   상기 피처리 기판의 일측 이상을 파지하여 상기 부상스테이지 상에서 상기 피처리 기판이 부상된 상태로 정지없이 상기 약액 노즐의 하측을 통과하도록 상기 피처리 기판을 이동시키는 파지 유닛을;
   상기 파지 유닛에 의하여 상기 피처리 기판의 전단부가 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에, 상기 약액 노즐로부터 약액이 상기 피처리 기판의 전단부의 상기 미사용 영역에 토출되게 하여 예비 토출을 행하고, 상기 피처리 기판의 도포 영역이 상기 약액 노즐의 토출구의 하측을 지날 때에 상기 도포 영역에 토출되게 하여 약액을 도포하되, 상기 전단부 미사용 영역에서 예비 토출을 한 후에 상기 약액 노즐로부터 약액의 토출을 중단하지 않고 연속하여 상기 도포 영역에 약액을 도포하게 제어하는 제어부를;
   포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 부상식 기판 코터 장치.
   
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 예비 토출은 정해진 수의 피처리 기판에 대하여 상기 도포 영역에 약액을 도포한 이후에 한번씩 주기적으로 행하는 것을 특징으로 하는 부상식 기판 코터 장치
   
3. 부상된 상태로 피처리 기판을 이송시키면서 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 방법에 있어서,
   전단부에 각각 약액이 도포되지 아니하는 미사용 영역이 10mm 이내로 형성되고, 상기 미사용 영역의 사이에 약액이 도포되는 도포 영역이 형성된 피처리 기판을 부상 스테이지에 의하여 발생되는 부상력에 의하여 부상시킨 상태로, 정지없이 약액 노즐의 하측을 통과하도록 상기 피처리 기판을 이동시키는 기판이송단계와;
   상기 피처리 기판의 전단부에 위치한 상기 미사용 영역이 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에 상기 약액 노즐로부터 약액을 상기 미사용 영역에 토출하여 예비 토출을 행하는 예비토출단계와;
   상기 피처리 기판의 상기 도포 영역이 상기 약액 노즐의 토출구 하측을 지날 때에 상기 약액 노즐로부터 약액을 상기 도포 영역에 토출하여 정해진 면적 내에 약액을 도포하되, 상기 전단부의 상기 미사용 영역에서 예비 토출을 한 후에 상기 약액 노즐로부터 약액의 토출을 중단하지 않고 연속하여 상기 도포 영역에 약액을 도포하는 약액도포단계를;
   포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
   
4. 제 3항 있어서,
   상기 예비토출단계는 정해진 수의 피처리 기판에 대하여 약액도포단계를 행한 이후에 한번씩 주기적으로 행해지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
   
5. 제 3항 있어서,
   상기 예비토출단계를 행하는 데 사용되는 피처리 기판은 약액도포단계만을 행하는 다른 피처리기판에 비하여 길이가 더 길게 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
   
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