KR101540572B1 - 척 가공용 휠을 포함하는 스핀들 유닛 - Google Patents

Abstract

실시예는 휠 마운트; 상기 휠 마운트에 장착된 제1 연삭 휠; 및 상기 휠 마운트에 장착되며, 상기 제1 연삭 휠의 외경보다 큰 외경을 가지는 제2 연삭휠을 포함하여 DSG공정에 사용되는 척(chuck)의 표면을 가공할 수 있는 스핀들 유닛을 제공한다.

Description

척 가공용 휠을 포함하는 스핀들 유닛 {SPINDLE UNIT APPARATUS INCLUDING WHEEL FOR CHUCK GRINDING}

본 발명은, 웨이퍼 제조시 사용되는 그라인딩 장치 중 스핀들 유닛에 대한 것이다.

웨이퍼를 제조하는 공정은 성장된 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)을 웨이퍼 형태로 자르는 슬라이싱(Slicing) 공정, 웨이퍼의 두께를 균일화하고 웨이퍼 앞뒤 면의 톱니 자국(Saw Mark) 등을 제거하기 위한 양면 표면 연삭(DDSG, Double Disk Surface Grinding) 공정, 슬라이싱 공정에서 발생한 데미지를 제거하고 평탄도를 향상시키기 위한 래핑 (Lapping) 공정, 기계적인 연마에 의하여 발생한 데미지를 제거 또는 완화하기 위한 양면 연삭(DSG, Double Side Grinding) 공정, 습식 식각을 통해 웨이퍼를 최종 처리하는 공정 등으로 구성된다.

최근 반도체 소자의 소형화와 고집적화를 위하여 웨이퍼의 초박형화 및 고평탄도를 필요로 하고 있으며, 이러한 고품질의 웨이퍼를 얻는 방법으로 고속으로 회전하는 그라인딩 휠을 이용하여 기계적으로 연마하는 방법이 이용된다. 특히 DSG 공정은 고객의 요구 등 소정의 규격에 맞게 웨이퍼의 평탄도(Flatness)를 제어할 뿐 아니라 웨이퍼의 전체적인 프로필을 제어하기 위하여, 연삭 휠을 이용하여 웨이퍼의 양면을 동시에 기계적으로 연삭하는 공정에 해당한다.

DSG공정에서 웨이퍼는 DSG장치의 척(chuck) 테이블 상에 안착되고, 웨이퍼 상부에서 가공을 위한 연삭 휠이 하강하여 웨이퍼 표면에 접촉된 상태로 고속 회전함으로써 표면 가공을 하게 된다.

도 1은 DSG장비의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 양면 그라인딩 공정을 수행하기 위해, 먼저 카세트(cassette)(110)로 웨이퍼가 로딩(loading)되면, 로봇(120)이 포지션 테이블(position table)(130)로 웨이퍼를 이송하며, 상기 포지션 테이블(130)은 이송된 웨이퍼를 센터링(centering)하고 센서를 이용해 웨이퍼 상의 노치(notch)를 감지한다.

이후, 웨이퍼는 후면클리너(wafer backside cleaner)(140)로 이송되어 웨이퍼의 후면이 클리닝된다. 후면 클리닝 된 웨이퍼는 척 테이블(chuck table)(150) 상으로 이송되어 진공 흡착되고, 웨이퍼가 흡착된 척 테이블(150)은 턴테이블(170)에 의해 회전하여 웨이퍼가 스핀들 유닛을 구성하는 휠 마운트(160)의 아래에 위치하게 된다.

휠 마운트(160)에 부착된 휠은 웨이퍼를 그라인딩하고, 그라인딩이 끝나면 턴테이블(170)이 다시 회전하여 그라인딩되지 않은 웨이퍼가 스핀들 유닛(160)의 아래에 위치하게 된다. 그라인딩 된 웨이퍼는 스피너(180)로 이송되는데, 여기서 스피너(180)는 오존수 공급부(미도시)로부터 공급받은 오존수를 웨이퍼에 분사하여 웨이퍼의 세정 및 냉각을 수행함과 동시에 웨이퍼 표면에 산화막을 형성한다.

다음으로, 오존수를 이용한 웨이퍼의 세정이 끝나면 스피너(180)는 에어 블로우 등을 통해 웨이퍼를 건조시킨다. 이후, 건조가 완료된 웨이퍼는 카세트(110)로 이송되고 양면 그라인딩 장치의 동작은 완료된다.

이러한 DSG장치에서, 웨이퍼가 안착 되는 척(chuck) 표면에서의 데미지 발생은 웨이퍼 표면에까지 영향을 주게 되어, 척의 표면에 결함이나 이물질이 존재할 경우 웨이퍼 표면이 과연마되거나, 스크래치(Scratch), 딤플(dimple), 핏(pit)과 같은 불량을 발생시킬 수 있다. 따라서, 일정시간 이상 사용된 척에 발생한 데미지 부분을 제거하기 위하여 척 표면을 재가공하는 공정을 필요로 하며, 재가공방법으로 연삭 휠을 이용하여 척 표면을 그라인딩하는 방법이 사용된다.

이 경우 DSG 장비를 이용하여 척을 가공할 수 있다 하더라도, 웨이퍼의 표면과 척의 표면 성질이 서로 달라 동일한 휠로 그라인딩을 진행할 수 없으므로, 척의 표면을 그라인딩하기 위해서는 힐을 다시 교체하는 공정을 필요로 한다. 따라서, 이러한 종래의 방법에 의할 때, 휠을 교체하는 과정에서 시간이 소비되게 되며, 또한 척의 그라인딩 이후 다시 웨이퍼를 가공하기 위하여 웨이퍼 가공용 휠을 교체하여 생산공정을 진행시에는 별도의 품질 안정화 시간이 필요하고 또한 공정의 안정화를 확인하기 위하여 품질 검증 과정이 필요로 하게 되어 생산성이 저하되는 문제가 있다.

실시예는 DSG 장비에서 척 가공용 휠 교체 방법을 간소화하여 웨이퍼 가공시 생산시간 및 품질안정화 시간을 줄여 생산성 향상 및 웨이퍼의 품질을 향상시키고자 한다.

실시예는 휠 마운트; 상기 휠 마운트에 장착된 제1 연삭 휠; 및 상기 휠 마운트에 장착되며, 상기 제1 연삭 휠의 외경보다 큰 외경을 가지는 제2 연삭 휠;을 포함하는 스핀들 유닛을 제공한다.

상기 제2 연삭휠은 척(chuck)을 가공하기 위한 휠일 수 있으며, 상기 제2 연삭휠의 경도가 상기 제1 연삭휠의 경도보다 큰 것일 수 있다.

상기 휠 마운트의 중심과 상기 휠 마운트의 원주 상의 제1점을 잇는 직선상에 제1 진공 홀 및 제2 진공 홀을 포함할 수 있으며, 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1 진공 홀 사이의 거리가 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제2 진공 홀 사이의 거리보다 작은 것일 수 있다.

상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1점을 제외한 상기 휠 마운트의 원주 상의 점을 잇는 직선상에 제1 나사 체결 홀 및 제2 나사 체결 홀을 더 포함할 수 있으며, 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1 나사 체결 홀 사이의 거리가 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제2 나사 체결 홀 사이의 거리보다 작을 수 있다.

실시예에서 상기 제1 진공 홀 또는 상기 제2 진공 홀 중 어느 하나의 하부에 진공 홀 가림유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 나사 체결 홀에 삽입되어 위치하는 제1 나사 및 상기 제2 나사 체결 홀에 삽입되어 위치하는 제2 나사가 더 포함된 것일 수 있고, 제1 나사 및 제2 나사의 길이는 상기 휠 마운트의 두께와 진공 홀까 림 유닛의 높이의 합보다 긴 것일 수 있다.

실시예에 따른 스핀들 유닛은 웨이퍼 가공용 휠과 척 가공용 휠을 포함하여, 휠을 교체하는 별도의 공정 없이 사용할 휠의 선택이 가능하며 선택된 휠로 척 표면을 가공할 수 있어, 휠 교체 공정으로 발생하는 생산성 감소의 문제를 해결할 수 있으며, 휠 교체 시 발생할 수 있는 외부 이물질 유입을 차단할 수 있어 웨이퍼의 품질을 개선할 수 있다.

도 1은 DSG 장비를 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2a 내지 2b는 제1 연삭 휠 및 제2 연삭 휠이 휠 마운트에 장착된 경우의 실시예들을 저면에서 나타낸 도면이고,
도 3은 연삭 휠의 구조를 나타낸 도면이고,
도 4는 연삭 휠의 휠 팁의 구성 단면을 나타낸 도면이고,
도 5는 실시예에 따른 휠 마운트의 형상을 나타낸 도면이고,
도 6a 내지 6b는 스핀들 유닛의 실시예를 나타낸 도면이고,
도 7은 나사의 형상을 나타낸 도면이고,
도 8a 내지 8b는 사용되는 연삭 휠이 선택되는 경우에서의 연삭 휠의 배열을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.

본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.

실시예에 따른 스핀들 유닛은 휠 마운트와 휠 마운트 상에 장착된 제1 연삭 휠 및 상기 휠 마운트에 장착되며, 제1 연삭 휠의 외경보다 큰 외경을 가지는 제2 연삭 휠을 포함할 수 있다.

도 2a 내지 2b는 일 실시예에 따른 스핀들 유닛을 저면에서 도시한 것으로, 휠 마운트에 연삭 휠이 장착된 상태의 제1 연삭 휠과 제2 연삭 휠의 배치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 제2 연삭 휠(300)은 제1 연삭 휠(200)의 외측으로 일정거리 이격 되고 제1 연삭휠(200)보다 큰 외경을 가진 것일 수 있다.

도 3은 연삭 휠의 구성을 개략적으로 나타낸 것으로서, 연삭 휠은 베이스(250,350)와, 베이스의 하부에 휠 팁(240, 340)을 포함하는 구조일 수 있다. 연삭 휠에서 휠 팁(240, 340)은 베이스(250, 350)에 접착되어 고정되는 형태이며, 이는 도 2a와 같이 휠 팁이 복수 개의 세그먼트가 서로 이격되어 배치되어 베이스에 고정된 형태 일 수 있으며, 도 2b에서와 같이 각 세그먼트로 구분되는 영역 없이 휠 팁이 베이스에 연속되게 배치되어 고정된 형태일 수 있다.

제1 연삭 휠(200)은 웨이퍼의 표면의 평탄도 향상을 위한 웨이퍼 그라인딩 공정에 사용되는 휠일수 있으며, 제1 연삭 휠(200)에서의 휠 팁(240)은 웨이퍼의 표면을 가공하기 위한 것으로서 이는 레진 본드로 구성될 수 있다. 레진 본드는 페놀 수지, 에폭시 수지, 폴리이미드 수지 등의 수지와, 이러한 수지에 다이아몬드 지립 등의 연마용 재료를 혼합하여 일정한 형상을 성형하고 일정온도에서 소결하여 제조할 수 있다.

제2 연삭 휠(300)은 DSG 장비에서의 척(Chuck)의 표면을 가공하기 위한 것일 수 있으며, 이 경우 척(Chuck)은 웨이퍼를 진공으로 고정시키기 위하여 진공 홀이 형성되어 있을 수 있으며, 웨이퍼의 연삭 시 상기 그라인딩 휠에서 가해지는 압력을 지지할 수 있도록 소정 강도를 갖는 다공성 세라믹 재질인 다공성 척(Porous Chuck)의 형태일 수 있다. 제2 연삭 휠의 휩 팁(340)은 웨이퍼 가공용 휠인 제1 연삭 휠의 휠 팁(240)에 비하여 높은 경도를 가질 수 있으며, 메탈 본드로 구성될 수 있다. 메탈 본드의 휠 팁은 구리와 주석 합금인 브론즈를 주성분으로 하고, 코발트, 니켈 등이 혼합된 것을 결합재로 사용할 수 있으며, 이러한 결합재에 다이아몬드 지립 등의 연마용 재료를 혼합하여 일정한 형상으로 성형 후 소결하는 과정을 통하여 제조할 수 있다.

도 3에서 제1 연삭 휠 및 제2 연삭 휠에서의 일반적인 휠 팁(240, 340)의 폭(w)은 3~5mm 일 수 있으며, 휠 팁(240, 340)의 높이(h)는 5~10mm일 수 있으며, 베이스(250, 350)의 높이(H)를 포함한 전체 휠의 높이는 30mm 또는 그 이상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

도 4는 휠 팁(240, 340)의 내부 단면도를 나타낸 것으로서, 연삭 휠의 휠 팁(240, 340)은 결합재로서 휠을 유지시키는 역할을 하는 수지(210)와 피삭제를 깍는 연삭날의 역할을 하는 지립(220) 및 연삭된 가루와 연삭 시 발생하는 열을 방출되도록 하는 역할을 하는 기공(230)으로 구성될 수 있다. 지립(220)의 경우 일반적으로 다이아몬드 지립이 주로 사용되며, B4C(Boron Carbide) 지립이 사용될 수도 있다. 사용되는 지립의 크기는 피삭체에 따라 다른 크기의 지립이 함유된 휠 팁이 사용될 수 있다.

도 5는 실시예에 따른 휠 마운트의 상부 면을 나타낸 도면이다.

상기 휠 마운트(160)는 연삭 휠을 장착하여 고정되게 할 수 있으며, 휠 마운트의 상부에는 스핀들 유닛을 회전시키기 위한 구동 유닛(미도시)이 장착될 수 있다. 실시예에 따른 스핀들 유닛에서 휠 마운트의 하부에는 제1 연삭 휠(200)과 제2 연삭 휠(300)이 동시에 장착될 수 있다.

도 5에 도시된 바와 같이 상기 휠 마운트 상에는 진공 홀(162)과 나사 체결 홀(161)이 형성될 수 있다.

실시예에 따른 스핀들 유닛의 휠 마운트(160) 상에는 휠 마운트의 중심과 상기 휠 마운트의 원주 상의 제1점을 잇는 직선 상에 제1 진공 홀(162a) 및 제2 진공 홀(162b)이 형성될 수 있고, 상기 휠 마운트의 중심과 제1 진공 홀(162a) 사이의 거리가 휠 마운트의 중심과 제2 진공 홀(162b) 사이의 거리보다 작을 수 있다. 제1 진공 홀(162a)과 제2 진공 홀(162b)은 한 쌍의 진공 홀(162)을 이루어 배치될 수 있으며, 한 쌍의 진공 홀은 휠 마운트의 중심으로부터 직경 방향으로 일측에 일직선으로 배치될 수 있으며, 쌍을 이룬 복수 개의 진공 홀(162)들이 휠 마운트의 원주 상에 각각 배치될 수 있다.

상기 실시예의 스핀들 유닛에서 휠 마운트(160) 상에 나사체결 홀(161)이 더 포함될 수 있다. 휠 마운트의 중심과 상기 제1점을 제외한 휠 마운트의 원주 상의 점을 잇는 직선 상에 제1 나사체결 홀(161a) 및 제2 나사체결 홀(162b)이 형성될 수 있으며, 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1 나사체결 홀(161a) 사이의 거리가 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제2 나사체결 홀(161b) 사이의 거리보다 작을 수 있다. 제1 나사체결 홀(161a)과 제2 나사체결 홀(161b)은 한 쌍의 나사체결 홀(161)을 이루어 배치될 수 있으며, 한 쌍의 나사체결 홀은 휠 마운트의 중심으로부터 직경 방향으로 일측에 일직선으로 배치될 수 있으며, 쌍을 이룬 복수 개의 나사체결 홀(161)들이 휠 마운트의 원주 상에 각각 배치될 수 있다.

제1 진공 홀(162a) 및 제1 나사체결 홀(161a)은 웨이퍼 가공용 휠의 직경(d1)보다 내측의 휠 마운트(160)의 원주 상에 배치될 수 있으며, 제2 진공 홀(162b) 및 제2 나사체결 홀(161b)은 웨이퍼 가공용 휠의 직경(d1)보다 외측이며, 척 가공용 휠의 외경(d2)보다 내측의 휠 마운트(160)의 원주 상에 배치될 수 있다.

상기 진공 홀(162)과 나사 체결 홀(161)이 휠 마운트 상에 배치될 때, 휠 마운트의 원주를 따라 번갈아 배치될 수 있으며, 진공 홀(162)과 나사 체결 홀(161)이 휠 마운트의 중심을 기준으로 상호 대칭되도록 배치될 수도 있다.

도 6a 내지 6b는 일 실시예에 따른 스핀들 유닛의 단면을 나타낸 도면이다. 실시예에 따른 스핀들 유닛은 휠 마운트(160), 제1 연삭 휠(200), 제2 연삭 휠(300), 제1 진공 홀(162a), 제2 진공 홀(162b), 제1 나사체결 홀(161a), 제2 나사체결 홀(161b), 진공 홀 가림유닛(400), 제1 나사(501) 및 제2 나사(502)를 포함할 수 있다.

상기 진공 홀 가림유닛(400)은 제1 진공 홀(162a) 또는 제2 진공 홀(162b) 중 어느 하나의 하부에 배치되는 것일 수 있다. 진공 홀 가림 유닛(400)은 휠 마운트(160) 상에 형성된 진공 홀을 통하여 제공되는 진공이 제1 진공 홀(162a) 또는 제2 진공 홀(162b) 중 어느 하나에만 선택적으로 제공되게 하는 것으로서, 제1 연삭 휠(200)과 제2 연삭 휠(300) 중 사용할 연삭 휠에 대응되는 진공 홀을 가려서 휠 마운트(160)로부터 연삭 휠이 하부로 이격되어 고정되도록 하며 동시에 사용할 연삭 휠을 지지하는 역할을 할 수 있다. 진공 홀 가림 유닛(400)은 휠 마운트와 동일한 재질로 이루어질 수 있으며, 상기 휠의 지지 역할을 할 수 있을 정도의 강도를 가지는 재질이어야 한다.

진공 홀 가림유닛(400)의 높이(b1)는 어느 하나의 연삭 휠이 사용되는 경우에 있어서 나머지 연삭 휠이 사용되는 휠의 그라인딩 공정에 영향을 주지 않도록 하여야 하는바, 연삭 휠의 휠 팁(240, 340)의 높이인 h보다 높아야 하고, 그라인딩 공정에서 스핀들 유닛의 회전 시 안정성을 위하여 연삭 휠의 베이스 높이(H)를 포함한 휠의 전체 높이보다 낮아야 하는바, 5mm내지 35mm 범위일 수 있으며, 보다 상세하게는 5mm 내지 10mm일 수 있다.

상기 실시예에서 제1 나사체결 홀(161a)에는 제1 연삭 휠(200)을 고정하기 위한 제1 나사(501)가 체결되며, 제2 나사체결 홀(161b)에는 제2 연삭 휠(300)을 고정하기 위한 제2 나사(502)가 체결될 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이 제1 나사 및 제2 나사는 그 길이(a+b)가 휠 마운트의 두께(b2)와 상기 진공 홀 가림유닛(400)의 높이(b1) 및 연삭 휠과 결합되는 부위(a)의 합보다 긴 것일 수 있으며, 나사선이 형성된 부분이 a영역에 한정될 수 있다. a 영역은 연삭 휠을 고정시키기 위한 부분으로서 연삭 휠에 대응되어 체결되는 부분일 수 있으며, b 영역은 나사선이 형성되지 않아, 연삭 휠을 선택적으로 사용할 때 나사 체결 홀(161) 내부에서 나사가 나사 체결 홀에 체결되지 않아 연삭 휠의 상하 이동을 자유롭게 할 수 있다.

도 6a는 척(Chuck) 표면 가공을 위한 제2 연삭 휠(300)을 사용할 경우의 스핀들 유닛을 나타낸 것으로서, 진공 홀 가림유닛(400)이 한 쌍의 진공 홀 중 외측 홀인 제2 진공 홀(162b)의 하부에 위치하며, 제2 연삭 휠(300)을 고정하는 제2 나사(502)가 진공 홀 가림유닛(400)의 높이(b1)만큼 휠 마운트(160)의 하부로부터 이격되어 배치되게 된다. 이 때, 제1 진공 홀(162a)으로 진공이 제공되며, 제1 연삭 휠(200)을 휠 마운트(160)의 하부에 고정되게 하며, 동시에 제1 나사(501)가 제1 나사체결 홀(161a)을 통하여 휠 마운트의 상부로 돌출되게 배치된다.

이와 달리 도 6b는 웨이퍼 표면 가공을 위한 제1 연삭휠(200)을 사용할 경우의 스핀들 유닛을 나타낸 것으로서, 진공 홀 가림유닛(400)이 한 쌍의 진공 홀 중 내측 홀인 제1 진공 홀(162a)의 하부에 위치하며, 제1 연삭 휠(200)을 고정하는 제1 나사(501)가 진공 홀 가림유닛(400)의 높이(b1)만큼 휠 마운트의 하부로부터 이격되어 배치되게 된다. 이 때, 제2 진공 홀(162b)으로 진공이 제공되며, 제2 연삭 휠(300)을 휠 마운트(160)의 하부에 고정되게 하며, 동시에 제2 나사(502)가 제2 나사체결 홀(161b)을 통하여 휠 마운트(160)의 상부로 돌출되게 배치된다.

상기 실시예들의 스핀들 유닛을 사용하는 경우 웨이퍼가 놓여지는 척 테이블의 상부인 척 표면과 척의 상부에 배치되는 웨이퍼를 그라인딩하는 서로 다른 두 종류의 그라인딩 휠을 포함하도록 하여, DSG공정에서 척 가공이 필요한 경우에 별도의 휠 교환 공정 없이 휠 마운트에 장착된 휠 중 척 가공용 휠을 선택하여 사용할 수 있도록 함으로써, 휠 교환시간 및 척 가공 후 다시 웨이퍼 생산용 휠을 장착하여 공정조건을 안정화하기까지의 시간을 단축할 수 있어, 웨이퍼 생산에 있어서 공정시간의 낭비를 줄일 수 있으며, 휠의 교체 작업시 유입될 수 있는 이물질을 차단할 수 있어, 웨이퍼 품질도 개선할 수 있다.

도 8a 내지 8b는 본 발명의 실시예에 따른 스핀들 유닛을 이용하여 웨이퍼 또는 척을 가공하는 경우를 간략히 나타낸 도면이다. 도 8a 내지 8b는 진공 홀 가림 유닛(400)의 배치에 따라 선택되는 연삭 휠을 나타낸 것으로서, 도 8a는 웨이퍼(10)를 가공하는 경우를 나타내는 것으로 진공 홀 가림유닛(400)이 제1 연삭 휠(200)의 상부에 위치하게 되어 제1 연삭 휠(200)이 웨이퍼의 상부면에 닿아서 회전하여 가공하게 되며, 이 경우 제2 연삭 휠(300)은 웨이퍼 표면으로부터 일정거리 이상 이격되어 고정되어 배치되게 된다. 도 8b는 척(150) 표면을 가공하는 경우를 나타내는 것으로 진공 홀 가림유닛(400)이 제2 연삭 휠(300)의 상부로 이동하게 되며, 이에 따라 제2 연삭 휠(300)은 진공 홀 가림유닛(400)의 높이만큼 하부로 이동하여 척(150) 표면의 상부면에 닿아 회전함으로써 표면을 가공하게 되며, 제1 연삭 휠(200)은 척 표면으로부터 일정거리 이상 이격되어 고정되어 배치되게 된다. 도 8a 내지 8b에 도시된 바와 같이 진공 홀 가림 유닛(400)을 좌우로 이동시킴으로써 사용하는 휠이 선택될 수 있고, 동시에 진공 홀 가림유닛(400)이 선택되어 사용하는 휠을 고정하는 지지대의 역할을 할 수도 있다.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

110 : 카세트 120 : 로봇
130 : 포지션 테이블 140 : 후면 클리너
150 : 척 테이블 160 : 휠 마운트
170 : 턴 테이블 180 : 스피너
200 : 제1 연삭 휠 300 : 제2 연삭 휠
240, 340 : 휠 팁 250, 350 : 베이스
210 : 수지 220 : 지립
230 : 기공 161 : 나사 체결 홀
162 : 진공 홀 400: 진공 홀 가림 유닛
501, 502 : 나사

Claims (8)

1. 휠 마운트;
   상기 휠 마운트에 장착된 제1 연삭 휠;
   상기 휠 마운트에 장착되며, 상기 제1 연삭 휠의 외경보다 큰 외경을 가지는 제2 연삭 휠;
   상기 휠 마운트 상에 형성된 제1 진공 홀 및 제2 진공 홀; 및
   상기 제1 진공 홀 또는 상기 제2 진공 홀 중 어느 하나의 하부에 배치된 진공 홀 가림유닛;을 포함하는 스핀들 유닛.
2. 제1항에 있어서, 상기 제2 연삭휠은 척(chuck)을 가공하는 연삭 휠인 스핀들 유닛.
3. 제1항에 있어서, 상기 제2 연삭 휠의 경도가 상기 제1 연삭 휠의 경도보다 큰 스핀들 유닛.
4. 제1항에 있어서, 상기 제1 진공 홀 및 상기 제2 진공 홀은 상기 휠 마운트의 중심과 상기 휠 마운트의 원주 상의 제1점을 잇는 직선 상에 형성되며,
   상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1 진공 홀 사이의 거리가 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제2 진공 홀 사이의 거리보다 작은 스핀들 유닛.
5. 제4항에 있어서, 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1점을 제외한 상기 휠 마운트의 원주 상의 점을 잇는 직선 상에 형성된 제1 나사 체결 홀 및 제2 나사 체결 홀을 더 포함하며,
   상기 휠 마운트의 중심과 상기 제1 나사 체결 홀 사이의 거리가 상기 휠 마운트의 중심과 상기 제2 나사 체결 홀 사이의 거리보다 작은 스핀들 유닛.
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7. 제5항에 있어서, 상기 제1 나사 체결 홀에 삽입되어 위치하는 제1 나사 및 상기 제2 나사 체결 홀에 삽입되어 위치하는 제2 나사를 더 포함하는 스핀들 유닛.
8. 제7항에 있어서, 상기 제1 나사 및 제2 나사 중 적어도 하나의 길이는 상기 휠 마운트의 두께와 상기 진공 홀 가림유닛의 높이의 합보다 긴 것인 스핀들 유닛.

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