KR101532625B1 - 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치 - Google Patents

단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 내부가 진공상태로 조성되는 가스통과 연결된 연결부; 상기 연결부와 연결되는 제1세척포트, 상기 제1세척포트와 분기연결되는 제2세척포트 및 혼합포트, 상기 혼합포트에 설치되는 혼합부개폐밸브를 포함하는 혼합부; 상기 제1세척포트와 일정간격 이격되게 배치되는 제1세정포트, 상기 제1세정포트와 분기연결되는 제2세정포트 및 믹스포트, 상기 믹스포트에 설치되는 믹스부개폐밸브를 포함하는 믹스부; 상기 혼합포트와 믹스포트를 연결하며 제1성분가스가 저장되는 가스저장부; 및 상기 제2세척포트와 제2세정포트를 연결하는 이음부;를 포함하며, 상기 혼합부개폐밸브와 믹스부개폐밸브를 개방한 상태에서 상기 제1세정포트로 바탕가스를 공급하여 상기 제1성분가스와 바탕가스를 상기 가스통으로 공급하는 것을 특징으로 하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치에 관한 것이다.

Description

단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치{Gas-fillingdeviceforsingleormuiticomponentsgasmixture}
본 발명은 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스를 혼합하여 가스통에 주입하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치에 관한 것이다.
단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치는 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스를 가스통으로 공급하는 장치이다.
이러한 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치는 가스공급부와 목적 실린더를 연결하는 배관에 복수개의 밸브, 압력게이지 등이 형성된다.
이 때, 배관 내부 기체를 배출하여 공급되는 가스량의 정확도를 높일 수 있도록 진공펌프가 구비되는 데, 상기 배관의 이음새, 밸브 등의 구성품 사이에 틈이 발생되어 이전 가스가 잔존하기 쉬우며, 특히, 압력 게이지나 압력 센서 등은 내부가 좁고 긴 형태로 형성되어 진공을 형성하기 위해서는 오랜 시간이 소요되고 완벽한 제거가 어려운 문제점이 있다.
이를 해결하기 위한 기술로서, 본 출원인은 한국등록특허 제10000996호의 가스 공급 장치로서, 연결부위를 제공하는 주입부가 돌출형성되되, 상기 주입부 내부와 가스가 공급되어 저장되는 공간을 선택적으로 연통하는 개폐밸브가 형성된 가스통; 가스가 저장되는 가스저장부; 상기 가스통의 하부에 구비되는 저울; 제1포트가 상기 가스저장부와 연결되는 제1배관과 연결되고, 제2포트가 상기 가스통과 연결되는 제2배관과 연결되며, 제3포트가 진공펌프가 연결되는 제3배관과 연결되는 연결수단; 상기 제1배관, 제2배관 및 제3배관에 각각 형성되는 제1밸브, 제2밸브 및 제3밸브; 상기 제2배관과 가스통의 주입부를 연결하여 상기 개폐밸브의 작동에 따라 상기 제2배관을 통해 이송된 가스가 상기 가스통 내부로 주입되도록 하거나 외부로 배출되도록 하는 가스배출수단; 을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치를 제시한 바 있다.
이 때, 종래기술은 가스통의 내부를 진공상태로 조성하여 발생하는 흡입력을 이용하여 제2배관을 통해 이송된 가스를 가스통의 내부로 흡입시킨다.
또한, 종래기술은 가스통의 내부로 새로운 성분의 가스를 공급할 경우, 가스저장부로 새로운 가스를 공급한 다음, 다시 제2배관을 통해 이송된 새로운 성분의 가스를 가스통의 내부로 흡입시킨다.
그러나 종래기술은 가스통의 내부로 새로운 성분의 가스가 공급될 때마다 이전에 공급된 가스가 기화되어 가스통의 내부압력이 상승됨으로써, 가스통의 흡입력이 약화되어 새로운 성분의 가스를 가스통의 내부로 주입시키기 어려운 문제점이 있다.
따라서 상술한 문제점을 해결하기 위한 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치의 개발이 필요한 실정이다.
한국등록특허 제1000996호 (2010.12.07)
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스를 가스통의 내부로 한번에 용이하게 주입시킬 수 있는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는 내부가 진공상태로 조성되는 가스통(10)과 연결된 연결부(100); 상기 연결부(100)와 연결되는 제1세척포트(210), 상기 제1세척포트(210)와 분기연결되는 제2세척포트(220) 및 혼합포트(230), 상기 혼합포트(230)에 설치되는 혼합부개폐밸브(240)를 포함하는 혼합부(200); 상기 제1세척포트(210)와 일정간격 이격되게 배치되는 제1세정포트(310), 상기 제1세정포트(310)와 분기연결되는 제2세정포트(320) 및 믹스포트(330), 상기 믹스포트(330)에 설치되는 믹스부개폐밸브(340)를 포함하는 믹스부(300); 상기 혼합포트(230)와 믹스포트(330)를 연결하며 제1성분가스가 저장되는 가스저장부(400); 및 상기 제2세척포트(220)와 제2세정포트(320)를 연결하는 이음부(510);를 포함하며, 상기 혼합부개폐밸브(240)와 믹스부개폐밸브(340)를 개방한 상태에서 상기 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 제1성분가스와 바탕가스를 상기 가스통(10)으로 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는 또 하나의 혼합부(200)의 제1세척포트(210)가 상기 믹스부(300)의 제1세정포트(310)와 연결되며, 또 하나의 믹스부(300)가 또 하나의 혼합부(200)와 일정간격 이격되게 설치되며, 또 하나의 가스저장부(400)가 또 하나의 혼합부(200)의 혼합포트(230)와 또 하나의 믹스부(300)의 믹스포트(330)를 연결하며, 또 하나의 가스저장부(400)는 제2성분가스가 저장되며, 또 하나의 이음부(510)가 또 하나의 혼합부(200)의 제2세척포트(220)와 또 하나의 믹스부(300)의 제2세정포트(320)를 연결하여, 또 하나의 믹스부(300)의 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 가스통(10)으로 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연결부(100)는 가스통(10)과 연결되는 제1주입포트(110), 상기 제1주입포트(110)와 연결되는 제2주입포트(120), 상기 제1주입포트(110)를 둘러싸는 제1배출포트(130), 상기 제1배출포트(130)와 연결되는 제2배출포트(140), 상기 제2배출포트(140)에 설치되는 연결부개폐밸브(150)를 포함하며, 상기 제2주입포트(120)가 상기 제1세척포트(210)와 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 바탕가스는 수소 또는 헬륨인 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치는 가스통과 연결된 연결부; 상기 연결부와 연결되는 제1세척포트, 상기 제1세척포트와 분기연결되는 제2세척포트 및 혼합포트, 상기 혼합포트에 설치되는 혼합부개폐밸브를 포함하는 혼합부; 상기 제1세척포트와 일정간격 이격되게 배치되는 제1세정포트, 상기 제1세정포트와 분기연결되는 제2세정포트 및 믹스포트, 상기 믹스포트에 설치되는 믹스부개폐밸브를 포함하는 믹스부; 상기 혼합포트와 믹스포트를 연결하며 제1성분가스가 저장되는 가스저장부; 및 상기 제2세척포트와 제2세정포트를 연결하는 이음부;를 포함하며, 상기 혼합부개폐밸브와 믹스부개폐밸브를 개방한 상태에서 상기 제1세정포트로 바탕가스를 공급하여 상기 제1성분가스와 바탕가스를 상기 가스통으로 공급함으로써, 상기 제1성분가스와 바탕가스를 가스통의 내부로 한번에 용이하게 주입시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치는 또 하나의 혼합부의 제1세척포트가 상기 믹스부의 제1세정포트와 연결되며, 또 하나의 믹스부가 또 하나의 혼합부와 일정간격 이격되게 설치되며, 또 하나의 가스저장부가 또 하나의 혼합부의 혼합포트와 또 하나의 믹스부의 믹스포트를 연결하며, 또 하나의 가스저장부는 제2성분가스가 저장되며, 또 하나의 이음부가 또 하나의 혼합부의 제2세척포트와 또 하나의 믹스부의 제2세정포트를 연결하여, 또 하나의 믹스부의 제1세정포트로 바탕가스를 공급하여 상기 가스통으로 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 공급함으로써, 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 가스통의 내부로 한번에 용이하게 주입시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 혼합가스 주입 장치의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 연결부, 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 사시도
도 3은 본 발명에 따른 가스통과 연결부의 단면도
도 4는 본 발명에 따른 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 사시도
도 5는 본 발명에 따른 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 단면도
도 6은 본 발명에 따른 혼합가스 주입 장치의 실시예의 사시도
이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
본 발명은 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스를 혼합하여 가스통에 주입하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 혼합가스 주입 장치의 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 연결부, 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 가스통과 연결부의 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 혼합부, 믹스부, 가스저장부, 이음부의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는 연결부(100), 혼합부(200), 믹스부(300), 가스저장부(400), 이음부(510)를 포함하여 구성된다.
도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 연결부(100)는 삼방변으로 구성될 수 있으며, 내부가 진공상태로 조성되는 가스통(10)과 연결된다.
상기 가스통(10)은 혼합가스, 즉, 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스가 공급되는 목적지로, 상기 가스통(10)은 하나의 가스만 공급될 수 있고, 서로 다른 성분으로 이루어지는 다수의 가스가 공급될 수 있다.
상기 가스통(10)은 상기 연결부(100)와 연결되는 주입구(11)가 돌출 형성될 수 있으며, 상기 주입구(11)에 설치되어 상기 주입구(11)를 개폐하는 주입구개폐밸브(12)가 더 설치될 수 있다.
이 때, 상기 주입구(11)는 상기 가스통(10)의 상부에 형성되는 것이 바람직하며, 상기 주입구개폐밸브(12)는 상기 주입구(11) 내부 공간을 선택적으로 연통시키는 역할을 한다.
또한, 상기 가스통(10)의 하부에는 상기 가스통(10)에 주입되는 가스의 중량 변화를 정밀하게 측정하기 위하여 저울(미도시)이 설치될 수 있다. 이 때, 상기 저울은 상기 가스통(10)의 내부로 주입되는 가스의 중량을 결정하는 '중량법'을 이용하기 위한 것이다.
상기 연결부(100)는 제1주입포트(110), 제2주입포트(120), 제1배출포트(130), 제2배출포트(140), 연결부개폐밸브(150)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1주입포트(110)는 일단이 상기 가스통(10)과 연결되되, 상기 가스통(10)의 주입구(11) 내측에 관통 결합된다.
상기 제2주입포트(120)는 상기 제1주입포트(110)의 타단과 연결된다.
상기 제1배출포트(130)는 상기 제1주입포트(110)의 외주면을 둘러싸며, 일단이 상기 가스통(10)의 주입구(11)와 연결된다.
상기 제2배출포트(140)는 상기 제1배출포트(130)의 타단과 연결된다.
이 때, 상기 제1주입포트(110)와 제2주입포트(120)는 상기 가스통(10)으로 공급되는 다수의 가스가 주입되는 통로로 활용되며, 상기 제1배출포트(130)와 제2배출포트(140)는 상기 가스의 주입구(11)에 잔류하는 잔존물질이 배출되는 통로로 활용되는 데, 이에 대한 설명은 후술하기로 한다.
상기 연결부개폐밸브(150)는 상기 제2배출포트(140)에 설치되어 상기 제2배출포트(140)의 내부 공간을 선택적으로 연통시키는 역할을 한다.
한편, 상기 제1배출포트(130)의 외주면에는 상기 주입구(11)와 좀 더 기밀하게 결합될 수 있도록 밀폐플랜지(115)와, 상기 제1배출포트(130)와 주입구(11)가 서로 연결된 부위를 둘러싸는 밀폐하우징(160)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 혼합부(200)는 삼방변으로 구성될 수 있으며, 제1세척포트(210), 제2세척포트(220), 혼합포트(230), 혼합부개폐밸브(240)를 포함하여 구성된다.
상기 제1세척포트(210)는 일단이 상기 제2주입포트(120)와 연결된다.
상기 제2세척포트(220) 및 혼합포트(230)는 각각 상기 제1세척포트(210)의 타단과 분기연결된다.
상기 혼합부개폐밸브(240)는 상기 혼합포트(230)에 설치되어 상기 혼합포트(230)의 내부 공간을 선택적으로 연통시키는 역할을 한다.
상기 믹스부(300)는 삼방변으로 구성될 수 있으며, 제1세정포트(310), 제2세정포트(320), 믹스포트(330), 믹스부개폐밸브(340)를 포함하여 구성된다.
상기 제1세정포트(310)는 상기 제1세척포트(210)와 일정간격 이격되게 배치된다.
상기 제2세정포트(320) 및 믹스포트(330)는 각각 상기 제1세정포트(310)의 일단과 분기연결된다.
상기 믹스부개폐밸브(340)는 상기 믹스포트(330)에 설치되어 상기 믹스포트(330)의 내부 공간을 선택적으로 연통시키는 역할을 한다.
상기 가스저장부(400)는 가스를 저장하기 위한 실린더로 구성될 수 있으며, 상기 혼합포트(230)와 믹스포트(330)를 연결하며 내부에 제1성분가스가 저장된다.
상기 이음부(510)는 연결배관으로 구성될 수 있으며, 상기 제2세척포트(220)와 제2세정포트(320)를 연결한다.
이하, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)의 혼합가스 공급 과정에 대해 설명하기로 한다.
1) 상기 연결부개폐밸브(150)를 개방하고 상기 혼합부개폐밸브(240)와 믹스부개폐밸브(340)를 폐쇄한 상태에서 바탕가스주입관(20)을 이용하여 상기 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급한다.
이 때, 상기 제1세정포트(310)로 공급된 바탕가스는 순차적으로 상기 제2세정포트(320), 이음부(510), 제2세척포트(220), 제1세척포트(210), 제1주입포트(110), 제2주입포트(120), 가스통(10)의 주입구(11)에 잔존하는 이물질과 함께 상기 제1배출포트(130)와 제2배출포트(140)를 통해 외부로 배출된다.
즉, 상기 제2세정포트(320), 이음부(510), 제2세척포트(220), 제1세척포트(210), 제1주입포트(110), 제2주입포트(120), 가스통(10)의 주입구(11)에 잔존하는 이물질을 외부로 배출하는 것이다.
2) 상기 연결부개폐밸브(150)를 폐쇄하고 상기 혼합부개폐밸브(240)와 믹스부개폐밸브(340)를 개방한 상태에서 바탕가스주입관(20)을 이용하여 상기 제1세정포트(310)로 다시 바탕가스를 공급한다.
이 때, 상기 제1세정포트(310)로 공급된 바탕가스는 순차적으로 상기 믹스포트(330), 가스저장부(400), 혼합포트(230), 제1세척포트(210), 제2주입포트(120), 제1주입포트(110)를 경유하여 가스통(10)의 주입구(11)로 주입된다.
또한, 상기 가스저장부(400)에 저장되어 있던 제1성분가스도 상기 바탕가스에 의해 상기 혼합포트(230), 제1세척포트(210), 제2주입포트(120), 제1주입포트(110)를 경유하여 가스통(10)의 주입구(11)로 주입된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 혼합가스는 공급 장치(1000)는 두 종류의 가스인 바탕가스와 제1성분가스를 상기 가스통(10)의 내부로 한번에 용이하게 공급할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는 가스통(10)과 연결된 연결부(100); 상기 연결부(100)와 연결되는 제1세척포트(210), 상기 제1세척포트(210)와 분기연결되는 제2세척포트(220) 및 혼합포트(230), 상기 혼합포트(230)에 설치되는 혼합부개폐밸브(240)를 포함하는 혼합부(200); 상기 제1세척포트(210)와 일정간격 이격되게 배치되는 제1세정포트(310), 상기 제1세정포트(310)와 분기연결되는 제2세정포트(320) 및 믹스포트(330), 상기 믹스포트(330)에 설치되는 믹스부개폐밸브(340)를 포함하는 믹스부(300); 상기 혼합포트(230)와 믹스포트(330)를 연결하며 제1성분가스가 저장되는 가스저장부(400); 및 상기 제2세척포트(220)와 제2세정포트(320)를 연결하는 이음부(510);를 포함하며, 상기 혼합부개폐밸브(240)와 믹스부개폐밸브(340)를 개방한 상태에서 상기 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 제1성분가스와 바탕가스를 상기 가스통(10)으로 공급함으로써, 상기 제1성분가스와 바탕가스를 가스통(10)의 내부로 한번에 용이하게 주입시킬 수 있는 효과가 있다.
한편, 상기 바탕가스는 상기 가스통(10)의 내부를 50%이상 차지하는 가스로서, 수소 또는 헬륨일 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
도 6은 본 발명에 따른 혼합가스 주입 장치의 실시예의 사시도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)의 실시예는 또 하나의 혼합부(200)의 제1세척포트(210)가 또 다른 이음부(520)를 통해 상기 믹스부(300)의 제1세정포트(310)와 연결되며, 또 하나의 믹스부(300)가 또 하나의 혼합부(200)와 일정간격 이격되게 설치되며, 또 하나의 가스저장부(400)가 또 하나의 혼합부(200)의 혼합포트(230)와 또 하나의 믹스부(300)의 믹스포트(330)를 연결하며, 또 하나의 가스저장부(400)는 제2성분가스가 저장되며, 또 하나의 이음부(510)가 또 하나의 혼합부(200)의 제2세척포트(220)와 또 하나의 믹스부(300)의 제2세정포트(320)를 연결하여, 또 하나의 믹스부(300)의 제1세정포트(310)로 바탕가스공급관(20)을 이용하여 바탕가스를 공급하여 상기 가스통(10)으로 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 공급할 수 있다.
즉, 또 하나의 혼합부(200), 또 하나의 믹스부(300), 또 하나의 가스저장부(400), 및 또 하나의 이음부(510)를 이용하여 상기 가스통(10)으로 세종류의 가스인 바탕가스, 제1성분가스, 제2성분가스를 한번에 공급하는 것이다.
이외에도 본 발명에 따른 혼합가스 주입 장치(1000)는 상기 혼합부(200), 믹스부(300), 가스저장부(400), 및 이음부(510)를 상술한 실시예와 같은 구성으로 더 구성하여 상기 가스통(10)으로 더 많은 종류의 가스를 한번에 공급할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는 또 하나의 혼합부(200)의 제1세척포트(210)가 상기 믹스부(300)의 제1세정포트(310)와 연결되며, 또 하나의 믹스부(300)가 또 하나의 혼합부(200)와 일정간격 이격되게 설치되며, 또 하나의 가스저장부(400)가 또 하나의 혼합부(200)의 혼합포트(230)와 또 하나의 믹스부(300)의 믹스포트(330)를 연결하며, 또 하나의 가스저장부(400)는 제2성분가스가 저장되며, 또 하나의 이음부(510)가 또 하나의 혼합부(200)의 제2세척포트(220)와 또 하나의 믹스부(300)의 제2세정포트(320)를 연결하여, 또 하나의 믹스부(300)의 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 가스통(10)으로 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 공급함으로써, 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 가스통(10)의 내부로 한번에 용이하게 주입시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
10 : 가스통
11 : 주입구 12 : 주입구개폐밸브
20 : 바탕가스주입관
1000 : 본 발명에 따른 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치
100 : 연결부
110 : 제1주입포트 115 : 밀폐플랜지
120 : 제2주입포트 130 : 제1배출포트
140 : 제2배출포트 150 : 연결부개폐밸브
160 : 밀폐하우징
200 : 혼합부
210 : 제1세척포트 220 : 제2세척포트
230 : 혼합포트 240 : 혼합부개폐밸브
300 : 믹스부
310 : 제1세정포트 320 : 제2세정포트
330 : 믹스포트 340 : 믹스부개폐밸브
400 : 가스저장부
510, 520 : 이음부

Claims (4)

  1. 내부가 진공상태로 조성되는 가스통(10)과 연결된 연결부(100);
    상기 연결부(100)와 연결되는 제1세척포트(210), 상기 제1세척포트(210)와 분기연결되는 제2세척포트(220) 및 혼합포트(230), 상기 혼합포트(230)에 설치되는 혼합부개폐밸브(240)를 포함하는 혼합부(200);
    상기 제1세척포트(210)와 일정간격 이격되게 배치되는 제1세정포트(310), 상기 제1세정포트(310)와 분기연결되는 제2세정포트(320) 및 믹스포트(330), 상기 믹스포트(330)에 설치되는 믹스부개폐밸브(340)를 포함하는 믹스부(300);
    상기 혼합포트(230)와 믹스포트(330)를 연결하며 제1성분가스가 저장되는 가스저장부(400); 및
    상기 제2세척포트(220)와 제2세정포트(320)를 연결하는 이음부(510);를 포함하며,
    상기 혼합부개폐밸브(240)와 믹스부개폐밸브(340)를 개방한 상태에서 상기 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 제1성분가스와 바탕가스를 상기 가스통(10)으로 공급하는 것을 특징으로 하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000).
  2. 제1항에 있어서, 상기 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000)는
    또 하나의 혼합부(200)의 제1세척포트(210)가 상기 믹스부(300)의 제1세정포트(310)와 연결되며,
    또 하나의 믹스부(300)가 또 하나의 혼합부(200)와 일정간격 이격되게 설치되며,
    또 하나의 가스저장부(400)가 또 하나의 혼합부(200)의 혼합포트(230)와 또 하나의 믹스부(300)의 믹스포트(330)를 연결하며,
    또 하나의 가스저장부(400)는 제2성분가스가 저장되며,
    또 하나의 이음부(510)가 또 하나의 혼합부(200)의 제2세척포트(220)와 또 하나의 믹스부(300)의 제2세정포트(320)를 연결하여,
    또 하나의 믹스부(300)의 제1세정포트(310)로 바탕가스를 공급하여 상기 가스통(10)으로 상기 제1성분가스, 제2성분가스, 바탕가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000).
  3. 제1항에 있어서, 상기 연결부(100)는
    가스통(10)과 연결되는 제1주입포트(110), 상기 제1주입포트(110)와 연결되는 제2주입포트(120), 상기 제1주입포트(110)를 둘러싸는 제1배출포트(130), 상기 제1배출포트(130)와 연결되는 제2배출포트(140), 상기 제2배출포트(140)에 설치되는 연결부개폐밸브(150)를 포함하며,
    상기 제2주입포트(120)가 상기 제1세척포트(210)와 연결되는 것을 특징으로 하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000).
  4. 제1항에 있어서, 상기 바탕가스는
    수소 또는 헬륨인 것을 특징으로 하는 단일 및 다성분 가스혼합물을 위한 가스 주입 장치(1000).
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