KR101529749B1

KR101529749B1 - 광대역 발룬

Info

Publication number: KR101529749B1
Application number: KR1020110047205A
Authority: KR
Inventors: 제이. 화이트 미켈
Original assignee: 레이티언 캄파니
Priority date: 2010-07-20
Filing date: 2011-05-19
Publication date: 2015-06-17
Also published as: KR20120009399A; JP5714979B2; US20120019333A1; JP2012029280A; US8362849B2; IL212943A0; EP2418726B1; EP2418726A1; IL212943A

Abstract

몇몇 실시예에서 본 기술은 발룬을 포함한다. 발룬은 불평형선로, 평형선로, 이중Y 이행부 (double-y transition section), 제1 연결부, 제2 연결부를 포함한다. 불평형선로는 접지선과 신호선을 포함한다. 평형선로는 제1, 2 신호선을 포함한다. 이중Y 이행부는 제1 슬롯선과 제2 슬롯선을 포함한다. 제1 슬롯선은 불평형선로의 접지선을 평형선로의 제1 신호선에 커플링한다. 제2 슬롯선은 불평형선로의 신호선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링한다. 제1 연결부는 제1 슬롯선을 평형선로의 제1 신호선에 커플링한다. 제2 연결부는 제2 슬롯선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링한다.

Description

광대역 발룬 {BROADBAND BALUN}

본 발명은 발룬 및 발룬 회로에 관한 것으로서, 특히 종래기술에 따른 발룬보다 개선된 대역폭 및 특성을 갖는 발룬에 관한 것이다.

평형불평형 변성기(balanced-to-unbalanced transformer; balun, 이하 "발룬")은 서로 다른 위상의 두 신호들을 공통의 포트로 결합하거나 공통 신호를 서로 다른 위상의 두 신호들로 나누는 회로 변압기이다. 발룬은 안테나 급전, 고효율 앰프 기법, 광대역 2차 소거를 위해 이용된다. 지금까지의 발룬들은 일반적으로 3:1의 제한된 대역폭을 가지고 있다. 3:1의 대역폭을 가진 Marchand 발룬이 인쇄 회로 종류의 응용을 위해 널리 이용된다. 그러나 Marchand 발룬을 포함한 현재 고주파수 발룬들은 고주파수에서 높은 삽입손실을 가지며 효과적으로 동작하지 않는다.

따라서 여기 설명된 것과 같은 특징을 갖는 광대역 발룬의 기술이 필요하다.

본 발명의 일측면에 따른 광대역 발룬은 불평형선로, 평형선로, 이중Y 이행부 (double-y transition section), 제1 연결부, 제2 연결부를 포함한다. 불평형선로는 접지선과 신호선을 포함한다. 평형선로는 제1, 2 신호선을 포함한다. 이중Y 이행부는 제1 슬롯선과 제2 슬롯선을 포함한다. 제1 슬롯선은 불평형선로의 접지선을 평형선로의 제1 신호선에 커플링한다. 제2 슬롯선은 불평형선로의 신호선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링한다. 제1 연결부는 이중Y 이행부의 제1 슬롯선을 평형선로의 제1 신호선에 커플링한다. 제2 연결부는 이중Y 이행부의 제2 슬롯선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링한다.

광대역 발룬에 대한 본 발명의 다른 측면은 발룬 회로이다. 회로는 불평형선로, 평형선로, 이중Y 이행 슬롯선로, 제1 연결선로, 제2 연결선로를 포함한다. 불평형선로는 제1 중앙 컨덕터와 제1, 2 공면(coplanar) 컨덕터를 포함한다. 평형선로는 제2 중앙 컨덕터와 제3, 4 공면 컨덕터를 포함한다. 이중Y 슬롯선로는 제1 컨덕터와 제2 컨덕터를 포함한다. 제1 컨덕터는 제1 중앙 컨덕터를 제3, 4 공면 컨덕터에 커플링한다. 제2 컨덕터는 제1, 2 공면 컨덕터를 제2 중앙 컨덕터에 커플링한다. 제1 연결선로는 제1 컨덕터를 제3, 4 공면 컨덕터에 커플링한다. 제2 연결선로는 제1, 2 공면 컨덕터를 제2 중앙 컨덕터에 커플링한다.

다른 예에서, 위 측면들은 다음과 같은 특징 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

몇몇 예에서, 불평형선로는 불평형 공면도파로선(un-balanced CPW (coplanar waveguide) line)을 포함한다.

다른 예에서, 평형선로는 평형 공면도파로선(balanced CPW line)을 포함한다.

몇몇 예에서, 이중Y 이행부는 결합 슬롯선로를 포함한다.

다른 예에서, 결합 슬롯선로는 기판 위에 탑재된 제1, 2 컨덕터를 포함한다.

다른 예에서, 제1 신호선은 평형선로의 중앙 컨덕터이다.

몇몇 예에서, 제1 연결부는 제1 금속배선을 포함하고, 제2 연결부는 제2 금속배선을 포함한다.

다른 예에서, 제1 연결부는 제1 마이크로스트립을 포함하고, 제2 연결부는 제2 마이크로스트립을 포함한다.

몇몇 예에서, 불평형선로에 입력되는 전력과 평형선로에서 출력되는 전력은 실질적으로 동일하다.

다른 예에서, 제1 연결선로는 제1 금속배선을 포함하고, 제2 연결선로는 제2 금속배선을 포함한다.

몇몇 예에서, 제1 연결선로는 제1 마이크로스트립을 포함하고, 제2 연결선로는 제2 마이크로스트립을 포함한다.

여기 설명된 기술은 다음과 같은 장점 가운데 적어도 하나를 제공한다. 상기 기술은 모놀리식 마이크로파 집적회로(MMIC(monolithic microwave integrated circuit))에 적어도 72:1의 대역폭을 가지며 표준 모놀리식 마이크로파 집적회로 제조 공정에서 집적을 용이하게 하여 광대역 발룬의 제조비용을 절감하고 신호 변환의 유효성을 증대시킨다. 이 기술은 유리하게 낮은 삽입손실을 가지며, 다른 대안들보다 간편하고 제조비용이 적게 든다.

도 1은 일 실시예에 따른 광대역 발룬의 회로도이다.
도 2는 다른 실시예에 따른 광대역 발룬의 회로도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 광대역 발룬을 위한 실험 구성의 회로도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 광대역 발룬의 성능을 설명하는 도표이다.
도 5는 일 실시예에 따른 광대역 발룬을 위한 실험 구성의 성능을 설명하는 도표이다.

본 기술을 개괄적으로 설명하자면, 광대역 발룬은 독립형 180도 전력 분배기이다. 여기 설명된 것처럼 발룬은 광대역 주파수 범위 내에서 동작한다. 발룬은 예를 들면 72:1의 대역폭을 적은 손실로 가지며 표준 모놀리식 마이크로파 집적회로 처리 기술을 이용하여 구현된다. 이 기술은 발룬이 이용되 마이크로파 집적회로 또는 보드 처리에 쉽게 통합되는 광대역, 저손실, 소형 구조를 제공한다.

본 기술은 이중Y 이행(double-y transition)과 공면도파로(coplanar waveguide; CPW)를 포함한다. 이중Y 이행은 광대역 성능을 달성하고, 공면도파로를 슬롯선로로 전환하거나 그 반대 작용을 한다. 이 기술은 이중Y 이행으로부터 슬롯선로(예를 들면 공면 스트립라인 장(CPS(coplanar stripline) fields))로 전환하기 위해 공면도파로-T를 더 포함하여 여기 설명된 것과 같은 저손실 광대역 발룬을 제공한다.

이중Y 이행의 장점은, 모놀리식 마이크로파 집적회로(MMIC) 제조 기술의 미세 리소그래피로 인해 고주파수에서 낮은 손실로 이중Y 이행을 가능하게 하여 본 기술의 유효성을 높인다는 것이다. 공면도파로-T를 사용하는 것의 장점은, 발룬이 작은 크기를 갖도록 하여 고주파수에서 큰 물리적 크기 없이 동작하게 한다는 것이다. 발룬의 모놀리식 마이크로파 집적회로 제조 기술의 장점으로 인해 접지면이 발룬의 다른 구성요소들에 가깝게 위치할 수 있기 때문에 전기신호들 사이의 조정을 줄이면서 전기신호들의 변환을 위한 시간을 줄임으로써 발룬이 고주파수 응용에 효율적으로 이용될 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 광대역 발룬(100)의 회로도이다. 발룬(100)은 불평형선로(110) (예를 들면, 동축 케이블, 리본 케이블, 쌍축(twinax) 케이블 등), 이중Y 이행 슬롯선로(120), 평형선로(130) (예를 들면, 트위스티드 페어 케이블(twisted pair cable), 사다리형 케이블(ladder cable) 등)를 포함한다. 불평형선로(110)는 중앙 컨덕터(112)와 두 개의 동전위공면(equal potential coplanar) 컨덕터(114, 116)를 포함한다. 이중Y 이행 슬롯선로(120)는 두 개의 컨덕터(122, 124)를 포함한다. 평형선로(130)는 중앙 컨덕터(131, 132)와 공면 컨덕터(133, 134, 135, 136)를 포함한다. 발룬은 예를 들면 전기신호를 불평형선로(110)(즉, 불평형 전기신호)로부터 평형선로(130)(즉, 평형 전기신호)로 전환하거나 평형선로(130)에서 불평형선로(110)로 전환하기 위해 사용된다.

이중Y 이행 슬롯선로(120)의 컨덕터(122)는 불평형선로(110)의 중앙 컨덕터(112)에 전자기적으로 커플링된 컨덕터(122)에서의 신호전위를 평형선로(130)의 공면 컨덕터(133, 134)와 중앙 컨덕터(132)에 커플링한다. 이중Y 이행 슬롯선로(120)의 컨덕터(124)는 불평형선로(110)의 두 공면 컨덕터(111, 116)에 전자기적으로 커플링된 컨덕터(124)에서의 신호전위를 평형선로(130)의 공면 컨덕터(135, 136)와 중앙 컨덕터(131)에 커플링한다.

평형선로(130)는 두 개의 연결선로(142, 144)를 더 포함한다. 연결선로(142) (이하, “제1 연결선로”라고 함)는 이중Y 이행 슬롯선로(120)의 컨덕터(122)를 평형선로(130)의 공면 컨덕터(133, 134)와 중앙 컨덕터(132)에 커플링한다. 연결선로(144) (이하, “제2 연결선로”라고 함)는 이중Y 이행 슬롯선로(120)의 컨덕터(124)를 평형선로(130)의 공면 컨덕터(135, 136)와 중앙 컨덕터(131)에 연결한다.

몇몇 예에서, 불평형선로(110)는 불평형 공면도파로(CPW)선 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로(예를 들면 마이크로스트립, 스트립라인 등)를 포함한다.

다른 예에서, 이중Y 이행 슬롯선로(120)는 결합 슬롯선로 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로를 포함한다.

몇몇 예에서, 평형선로(130)는 평형 공면도파로선 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로를 포함한다.

다른 예에서, 제1 연결선로(142)는 제1 금속배선을 포함하고, 제2 연결선로(144)는 제2 금속배선을 포함한다. 일부 예에서, 제1 연결선로(142)는 제1 마이크로스트립을 포함하고, 제2 연결선로(144)는 제2 마이크로스트립을 포함한다.

몇몇 예에서, 불평형선로(110)에 입력되는 전력과 평형선로(130)에서 출력되는 전력은 실질적으로 동일하다(예를 들면 정확히 같거나, +5% 이내, -10% 이내 등).

도 1은 불평형선로(110), 이중Y 이행 슬롯선로(120), 평형선로(130)의 설명을 위해 특정한 도해를 보여주지만, 일부 예에서 선로들(110, 120, 130) 사이의 도해는 실질적으로 정확하고, 다른 예에서 선로들(110, 120, 130)은 실질적으로 다른 위치에 배치될 수 있다.

도 2는 다른 실시예에 따른 광대역 발룬(200)의 회로도이다. 발룬(200)은 불평형선로(210) (예를 들면 한쪽 끝이 접지되거나, 접지에 균형을 이루지 못하거나), 이중Y 이행부(220), 평형선로(230) (예를 들면, 두 끝이 접지되거나, 접지에 균형을 이루거나, 차동 선로 등)를 포함한다. 발룬(200)은 전자기 커플링을 이용하여 불평형선로(210)에서 평형선로(230)로 전환하거나 그 반대로 전환한다. 즉, 불평형선로(210)와 이중Y 이행부(220)는 이중Y 이행부(220)내의 이중Y 이행을 통해 전자기적으로 커플링된다.

이중Y 이행부(220)는 예를 들면 불평형선로(210) (예를 들면 50옴 공면도파로선, 100옴 공면도파로선 등)에서 슬롯선로로 전환한다. 이중Y 이행부(220)의 슬롯선로는 예를 들면 평형선로(230)의 공면도파로-T 구조(예를 들면 이중Y 이행부(220)의 슬롯선로에서 “T” 모양으로 갈라지는 두 개의 공면도파로선, 두 개의 95옴 공면도파로선, 두 개의 125옴 공면도파로선, T 접합 등)에 전력을 공급할 수 있다. 이 예에서, 공면도파로-T 구조의 중앙 컨덕터와 맞은편 공면 컨덕터들의 세트는 각각 배선(예를 들면, 금속배선, 마이크로스트립 배선 등)을 통해 이중Y 이행부(220)의 슬롯선로의 한 쪽에 연결된다.

발룬(200)은 예를 들면 서로 동일하거나 다른 임피던스를 가진 선로들(예를 들면, 불평형선로(210)과 평형선로(230)은 서로 같거나 다른 임피던스를 가진다)을 연결하기 위해 사용될 수 있다. 일례로, 불평형선로(210)의 임피던스는 50옴이고 평형선로(230)의 임피던스는 95옴이다. 다른 예로, 불평형선로(210)의 임피던스는 115옴이고 평형선로(230)의 임피던스는 45옴이다. 발룬(200)은 불평형선로와 평형선로 사이에 고주파수 저손실 변환을 수행함으로써 서로 다른 종류의 선로 사이에서 신호를 보다 효율적으로 전달할 수 있다.

불평형선로(210)는 예를 들면 접지선과 신호선을 포함할 수 있다. 평형선로(230)는 예를 들면 제1, 2 신호선을 포함할 수 있다. 제1 신호선은 예를 들면 평형선로(210)의 중앙 컨덕터가 될 수 있다.

이중Y 이행부(220)는 예를 들면 제1 슬롯선과 제2 슬롯선을 포함할 수 있다. 제1 슬롯선은 불평형선로(210)의 접지선을 평형선로(210)의 제1 신호선으로 커플링할 수 있다. 제2 슬롯선은 불평형선로(210)의 신호선을 평형선로(230)의 제2 신호선으로 커플링할 수 있다.

몇몇 예에서, 발룬(200)은 제1 연결부와 제2 연결부를 포함한다. 제1 연결부는 이중Y 이행부(220)의 제1 슬롯선을 평형선로(210)의 제1 신호선에 커플링할 수 있다(예를 들면 직접 연결, 전자기적 커플링 등). 제2 연결부는 이중Y 이행부(220)의 제2 슬롯선을 평형선로(230)의 제2 신호선에 커플링할 수 있다.

다른 예에서, 제1 연결부는 제1 금속배선을 포함하고 및/또는 제2 연결부는 제2 금속배선을 포함한다.

일부 예에서, 제1 연결부는 제1 마이크로스트립을 포함하고 및/또는 제2 연결부는 제2 마이크로스트립을 포함한다.

몇몇 예에서, 불평형선로(210)는 불평형 공면도파로선 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로를 포함한다.

다른 예에서, 이중Y 이행부(220)는 결합 슬롯선로 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로를 포함한다. 결합 슬롯선로는 예를 들면 기판 위에 탑재된 제1, 2 컨덕터를 포함할 수 있다.

몇몇 예에서, 평형선로(230)는 평형 공면도파로선 및/또는 다른 종류의 유전체 도파로를 포함한다.

몇몇 예에서, 불평형선로(210)에 입력되는 전력과 평형선로(230)에서 출력되는 전력은 실질적으로 동일하여(예를 들면 정확히 같거나, ±10% 이내, ±100와트 이내 등) 발룬(200)이 적은 손실과 높은 효율을 갖도록 한다.

도 2는 평형선로(230)를 공면도파로-T 구조로 도시하였지만, 발룬(200)은 어떤 구조든지 될 수 있다. 예를 들면, 평형선로(230)는 공면도파로-F 구조(즉, 이중Y 이행부(220)의 슬롯선로에서 “F” 모양으로 갈라지는 두 개의 공면도파로선) 및/또는 발룬(200)의 설계 사양에 기반한 다른 형태가 될 수 있다.

도 2는 불평형선로(210), 이중Y 이행부(220), 평형선로(230)의 설명을 위해 특정한 도해를 보여주지만, 몇몇 예에서 선로들(210, 220, 230) 사이의 도해는 실질적으로 정확하고, 다른 예에서 선로들(210, 220, 230)은 실질적으로 다른 위치에 배치될 수 있다.

도 3은 일 실시예에 따른 광대역 발룬들(300)을 위한 실험 구성의 회로도이다. 발룬들(300)은 제1 불평형선로(310), 제1 이중Y 이행 슬롯선로(320), 평형선로(330), 제2 이중Y 이행 슬롯선로(340), 제2 불평형선로(350)를 포함한다. 광대역 발룬들(300)을 위한 실험 구성은 제1 불평형선로(310)의 입력과 제2 불평형선로(350)의 출력 사이의 삽입손실을 측정하기 위해 사용된다.

도 3은 제1 불평형선로(310), 제1 이중Y 이행 슬롯선로(320), 평형선로(330), 제2 이중Y 이행 슬롯선로(340), 제2 불평형선로(350)의 설명을 위해 특정한 도해를 보여주지만, 몇몇 예에서 선로들(310, 320, 330, 340, 350) 사이의 도해는 실질적으로 정확하고, 다른 예에서 선로들(310, 320, 330, 340, 350)은 실질적으로 다른 위치에 배치될 수 있다.

도 4는 도 3에 도시된 발룬(300)과 같은 일 실시예에 따른 광대역 발룬의 성능을 설명하는 도표(400)이다. 도 4에 보이는 것처럼, 발룬은 0~20GHz의 주파수범위에 걸쳐 시뮬레이션 되었다. 도시된 것처럼 삽입손실(IL(insertion loss))은 이 주파수범위에 걸쳐 0.4에서 1.4dB이었다. 이 실험에서는 발룬들이 직렬로 연결되었기 때문에 측정된 삽입손실의 절반은 발룬들 가운데 하나의 삽입손실이다. 이 실험을 위해 각 발룬의 예상된 삽입손실은 0.3에서 0.9dB이었다. 도시된 것처럼, 불평형 신호를 평형선로를 통해 급전하기 위한 실험에서 동상제거비(CMRR(common mode rejection ratio))는 위의 주파수범위에 걸쳐 32.4에서 19.8dB이었다. 도 3에 도시되지 않은 실험으로 250MHz~18GHz의 주파수범위에 걸쳐 20dB의 동상제거비을 얻었다. 이 발룬의 다른 장점은 보드 호환 기술(예를 들면 MMIC)상 고주파수에서 낮은 손실 성능으로, 이로써 발룬의 제조비용을 절감하면서 성능을 향상시킨다.

도 5는 도 1, 2에 각각 도시된 발룬(100, 200)과 같은 일 실시예에 따른 광대역 발룬을 위한 실험 구성의 성능을 설명하는 도표(500)이다. 도 5에 보이는 것처럼, 발룬은 0~20GHz의 주파수범위에 걸쳐 시뮬레이션 되었다. 도시된 것처럼 평형선로의 공통 포트들이 측정되었다(이 실시예에서 Balun_H2는 꼭대기 단자, Balun_H2b는 바닥 단자이다). 도표(500)에 도시된 것처럼, 발룬의 입출력 신호 진폭의 균형에 대한 성능은 위상차가 얼마나 180°에 가까운가를 나타낸다. 발룬의 다른 장점은 180°에 가까운 위상차로, 이로써 결합 효율과 선형성을 극대화한다(예를 들면, 고조파 상쇄 시스템에서 이 위상차로 인해 원치 않는 고조파 성분이 20dB 감소된다).

선로들 및/또는 컨덕터들의 커플링은 예를 들면 물리적인 직접 연결, 물리적인 간접 연결, 전자기적인 연결 및/또는 다른 종류의 직접 또는 간접적인 커플링을 포함할 수 있다.

“포함하다(comprise)" "구비하다(include)" 및/또는 각각의 복수형은 개방형으로서, 열거된 구성요소뿐만 아니라 열거되지 않은 구성요소도 포함할 수 있다. “및/또는”은 개방형으로서, 열거된 구성요소 가운데 하나 이상과 열거된 구성요소의 조합을 포함한다.

이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 여기 기술된 본 발명을 한정하는 것이 아니라 예시적인 것으로 이해하여야 한다. 따라서, 본 발명의 범위는 위의 설명이 아니라 첨부된 청구범위에 의해 정해지며, 청구항과 균등물의 의미와 범위에 포함되는 모든 변경은 본 발명에 포함되는 것으로 여겨진다.

Claims

접지선과 신호선을 포함하는 불평형선로;
제1 신호선 및 제2 신호선을 포함하는 평형선로;
제1 슬롯선과 제2 슬롯선을 포함하는 이중Y 이행부로서, 상기 제1 슬롯선은 상기 불평형선로의 접지선을 평형선로의 제1 신호선에 커플링하고, 상기 제2 슬롯선은 상기 불평형선로의 신호선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링하는, 상기 이중Y 이행부;
상기 이중Y 이행부의 제1 슬롯선을 상기 평형선로의 제1 신호선에 커플링하는 제1 연결부; 및
상기 이중Y 이행부의 제2 슬롯선을 평형선로의 제2 신호선에 커플링하는 제2 연결부를 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 불평형선로는 불평형 공면도파로(coplanar wavequide; CPW)선을 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 평형선로는 평형 공면도파로(CPW)선을 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 이중Y 이행부는 결합 슬롯선로를 포함하는 발룬.
제 4 항에 있어서, 상기 결합 슬롯선은 기판 위에 탑재된 제1 컨덕터 및 제2 컨덕터를 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 신호선은 평형선로의 중앙 컨덕터인 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 연결부는 제1 금속 배선을 포함하고, 상기 제2 연결부는 제2 금속 배선을 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 연결부는 제1 마이크로스트립을 포함하고, 상기 제2 연결부는 제2 마이크로스트립을 포함하는 발룬.
제 1 항에 있어서, 상기 불평형선로에 입력되는 전력과 평형선로에서 출력되는 전력은 실질적으로 동일한 발룬.
제1 중앙 컨덕터와 제1 공면 컨덕터(coplanar conductor) 및 제2 공면 컨덕터를 포함하는 불평형선로;
제2 중앙 컨덕터와 제3 공면 컨덕터 및 제4 공면 컨덕터를 포함하는 평형선로;
제1 컨덕터와 제2 컨덕터를 포함하는 이중Y 이행 슬롯선로로서, 상기 제1 컨덕터는 상기 제1 중앙 컨덕터를 상기 제3 공면 컨덕터 및 상기 제4 공면 컨덕터에 커플링하고, 상기 제2 컨덕터는 상기 제1 공면 컨덕터 및 제2 공면 컨덕터를 상기 제2 중앙 컨덕터에 커플링하는, 상기 이중Y 이행 슬롯선로;
상기 제1 컨덕터를 상기 제3 공면 컨덕터 및 상기 제4 공면 컨덕터에 커플링하는 제1 연결선로; 및
상기 제1 공면 컨덕터 및 상기 제2 공면 컨덕터를 상기 제2 중앙 컨덕터에 커플링하는 제2 연결선로를 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 불평형선로는 불평형 공면도파로(CPW)선을 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 평형선로는 평형 공면도파로(CPW)선을 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 이중Y 이행 슬롯선로는 결합 슬롯선로를 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 제1 연결선로는 제1 금속 배선을 포함하고, 상기 제2 연결선로는 제2 금속 배선을 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 제1 연결선로는 제1 마이크로스트립을 포함하고, 상기 제2 연결선로는 제2 마이크로스트립을 포함하는 발룬 회로.
제 10 항에 있어서, 상기 불평형선로에 입력되는 전력과 평형선로에서 출력되는 전력은 실질적으로 동일한 발룬 회로.