KR101519969B1 - 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치 - Google Patents

이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치 Download PDF

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Abstract

이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치가 개시된다. 웨이퍼, 웨이퍼를 척킹한 상태에서 제자리 회전할 수 있는 척에 접근 및 이격 가능하게 구비되어 웨이퍼에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부, 프리웨팅부에서 웨이퍼에 프리웨팅을 위한 액체 혹은 가스를 주입하는 주입부, 주입부에서 제공된 액체 혹은 기체를 웨이퍼로 분사하는 분사구로 구성되며, 분사구가 양측으로 복수개 구비되어 구성된다. 노즐의 양측으로 질소가스와 DI의 분사구가 구비되어 있어 이를 동시에 분사할 시 높은 압력의 타력을 형성시켜 도금 공정시 웨이퍼 표면에 가속제 침투가 용이하여 작업의 효율성을 향상 시킬 수 있으며, 배관의 부하를 분배시켜 장치가 파손되는 위험을 줄일 수 있다.

Description

이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치{Pre- wetting device that include Plurality Nozzle}
본 발명은 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 이류체 노즐을 사용하여 DI및 N2를 동시 분사하여 높은 얍력의 타력을 발생시켜, 웨이퍼에 프리웨팅을 향상시키는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치에 관한 것이다.
도1은 웨이퍼 도금장치의 구성을 나타낸 개략도이며, 도2는 프리웨팅 장치에 의해 웨이퍼 도금장치의 웨이퍼가 도금되는 상태를 나타낸 개략도이다. 이를 참조하여 설명한다.
프리웨팅 장치(20)는, 웨이퍼 도금장치(10)에 인입되어 웨이퍼(W)에 대한 도금공정 전에 웨이퍼(W)를 프리웨팅하는 장치이다. 프리웨팅 장치(20)는, 웨이퍼 도금장치(10)의 척(15)에 접근 및 이격 가능하여 웨이퍼(W)에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부(21)와, 프리웨팅부(21)를 구동시키는 구동부(25), 웨이퍼(W)쪽으로 프리웨팅을 위한 액체를 분사하며, 스프레이 노즐부를 구비한 분사부(22)와, 프리웨팅 몸체(23)로 구성될 수 있다.
종래의 프리웨팅 몸체(23) 하단에 펌프가 구비되어있는데, 이의 펌프는 DI압력을 키워 타력을 높이게끔 하기 위한 것이다. 펌프(40)의 압력을 과다하게 키운 후, 펌프로 분사된 DI는 Fitting(41)를 지나 분사부 쪽으로 이동하여 양측으로 DI가 퍼지게 됨으로써, 퍼진 DI는 스프레이 노즐을 통하여 분사되는 방식이다.
여기서, 프리웨이팅부(21)는 상부측 웨이퍼가 있는 방향으로 분사하는데, 한 방향의 노즐에서 DI가 분사되기 때문에, 배관에 높은 압력의 부하가 걸려 무리를 주어 배관이 파손될 가능성이 있었으며, 스프레이 노즐방식은 분자 입자 크기가 비교적 커 웨이퍼 도금시에 첨가제 침투가 잘되지 않는 문제가 있었다.
따라서, 압력을 과다하게 키워 타력을 발생시켜도 배관에 무리를 주지 않는 프리웨팅 장치 개발이 시급한 실정이다.
본 발명의 목적은 노즐의 양측으로 분사구가 구비되어 있어 이를 동시에 분사할 시 높은 압력의 타력을 형성시켜 도금 공정시 웨이퍼 표면에 가속제 침투가 용이한 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 이류체 노즐부가 구비되어 있어 배관의 부하를 분배시키는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 수평 분사식 프리웨팅에 있어서, 웨이퍼, 웨이퍼를 척킹한 상태에서 제자리 회전할 수 있는 척에 접근 및 이격 가능하게 구비되어 웨이퍼에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부, 프리웨팅부에서 웨이퍼에 프리웨팅을 위한 액체 혹은 가스를 주입하는 주입부, 주입부에서 제공된 액체 혹은 기체를 웨이퍼로 분사하는 분사구로 구성되며, 분사구가 양측으로 복수개 구비될 수 있다. 프리웨팅부 내에 브라켓을 구비할 수 있으며, 브라켓의 상단에는 양측의 분사구가 구비되며, 양측면에는 주입부가 구비될 수 있으며, 분사구와 주입부는 ??자 형상으로X축으로 액체 혹은 가스를 주입하고, Y축으로 액체 혹은 가스를 분사하는 형태로 구성이 가능하다. 또한, 브라켓에 구비된 분사구는 분리 혹은 조립이 가능하도록 구성될 수 있다.
주입부는 분사구의 수만큼 구비되며, 주입하는 액체는 DI이며, 기체는 질소가스일 수 있으며, 분사구는 노즐 타입으로 구성이 가능하다. 복수개 구비되는 분사구는 양측으로 일열 배열되어 "ㅛ" 자 형상으로 구성될 수 있다.
또한, 웨이퍼에 프리웨팅을 실행하기 위하여, 웨이퍼에 액체 혹은 가스를 분사하는 분사구는 복수개의 노즐을 구비하며, 액체 혹은 가스를 분사하며, 액체는 DI, 기체는 질소가스인 것으로 구성될 수 있다. 분사구는 양측으로 배치됨으로써, 노즐에서 질소가스, DI가 동시에 분사되어 높은 압력의 타력을 형성시켜 도금 공정시 웨이퍼 표면에 가속제 침투가 용이하여 작업의 효율성을 향상 시킬 수 있다. 또한, 이류체 노즐부가 구비되어 있어 배관의 부하를 분배시켜 장치가 파손되는 위험을 줄일 수 있다.
본 발명에 따르면, 노즐의 양측으로 질소가스와 DI의 분사구가 구비되어 있어 이를 동시에 분사할 시 높은 압력의 타력을 형성시켜 도금 공정시 웨이퍼 표면에 가속제 침투가 용이하여 작업의 효율성을 향상 시킬 수 있다.
또한, 이류체 노즐부가 구비되어 있어 배관의 부하를 분배시켜 장치가 파손되는 위험을 줄일 수 있다.
도1은 종래의 웨이퍼 도금장치의 구성을 나타낸 개략도이다.
도2는 종래의 프리웨팅 장치에 의해 웨이퍼 도금장치의 웨이퍼가 도금되는 상태를 나타낸 개략도이다.
도3은 웨이퍼 도금장치의 구성을 나타낸 개략도이다.
도4는 도3에 도시된 프리웨팅 장치의 사시도이다.
도5 프리웨팅 장치에 의해 웨이퍼 도금장치의 웨이퍼가 도금되는 상태를 나타낸 개략도이다.
도6은 본 발명 이류체 노즐을 장착한 프리웨팅부의 정면도이다.
도3은 웨이퍼 도금장치의 구성을 나타낸 개략도이며, 도4는 도3에 도시된 프리웨팅 장치의 사시도이며, 도5 프리웨팅 장치에 의해 웨이퍼 도금장치의 웨이퍼가 도금되는 상태를 나타낸 개략도이다. 이를 참조하여 설명한다.
프리웨팅 장치(200)는, 웨이퍼 도금장치(100)에 인입되어 웨이퍼(W)에 대한 도금 공정 전에 웨이퍼(W)를 프리웨팅하는 장치이다.
프리웨팅 장치(200)는, 웨이퍼 도금장치(100)의 척(150)에 접근 및 이격 가능하여 웨이퍼(W)에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부(210)와, 프리웨팅부(210)를 구동시키는 구동부(250)와, 프리웨팅부(210)와 연결되어 프리웨팅부(210)로 웨이퍼(W)의 프리웨팅을 위한 액체를 분사하는 이류체 분사부(240)로 구성될 수 있다.
프리웨팅부(210)를 구동시키는 구동부(250)는, 구동몸체(251)와, 구동몸체(251)에 일측이 결합되고 타측은 프리웨팅부(210)에 결합되는 구동아암(260)과, 구동몸체(251)에 장착되며 구동아암(260)을 스윙 동작시키는 스윙 구동모터(265)를 포함할 수 있으며, 이류체 분사부(240)는 웨이퍼(W)의 프리웨팅을 위한 액체, 기체를 분사하는 역할을 한다.
여기서, 이류체 분사부(240)는 브라켓(232)의 상면 양측에 일자 형태로 제1분사구(221), 제2분사구(231)로 구성된다. 이에 제1분사구(221)는 제1주입부(220)로 주입된 질소가스가 분사되고, 제2분사구(231)에는 제2 주입부(230)에 주입된 DI가 분사된다. 양측에서 웨이퍼(W)를 향하여 분사되기 때문에 두 압이 합쳐져 높은 압력을 얻을 수 있다.
이류체 분사부의 제1분사구(221), 제2분사구(231)는 노즐타입으로 구성될 수 있으며, 분사구는 "ㅛ"자 형상으로 양측으로 복수개 배치된다.
이에, 이류체 노즐부에서 웨이퍼 쪽으로 분사함으로써, 웨이퍼(W)를 프리웨팅하고, 노즐이 양측으로 배치되기 때문에 웨이퍼(W)에 수직 방향으로 강하게 질소가스, DI를 분사할 수 있는 장점이 있다.
이류체 분사부(240)에서 분사된 DI의 크기는 일반적인 스프레이 노즐의 크기인 100마이크로 보다 15마이크로 작기 때문에, 높은 압력의 타력과 작은 입자 분사에 의한 분사로 웨이퍼 도금시 첨가제의 침투가 용이해질 수 있는 장점이 있다.
또한, 척(150)의 회전에 의해 웨이퍼(W)의 전면에 대하여 액체를 균일하게 분사할 수 있으며, 웨이퍼(W)의 프리웨팅 공정을 신뢰성 있게 수행할 수 있다.
이하에서는, 전술한 구성을 갖는 프리웨팅 장치(200)에 의한 웨이퍼(W)의 프리웨팅 과정을 개략적으로 설명하기로 한다. 구동부(250)에 의해 프리웨팅부(210)를 스윙 구동시킴으로써 프리웨팅부(210)가 웨이퍼 도금장치(100)의 척(150) 과 평행하도록 배치한다. 이어서, 이류체 분사부에서 질소가스, DI가 분사됨으로써 웨이퍼(W)에 프리웨팅을 할 수 있다. 이때, 웨이퍼(W)을 파지한 척(150)이 회전함으로써 웨이퍼(W)의 전면으로 N2, DI를 균일하게 분사할 수 있다.
이하 본 발명인 프리웨팅부(220)에 구비한 이류체 노즐에 대하여 상세히 설명한다.
프리웨팅 몸체(211)내의 중심부에 노즐을 잡아줄 수 있는 브라켓(232)이 구비되며, 브라켓(232)의 상면에는 양측으로 복수개의 분사구를 가진다.
브라켓의 양쪽에 구비된 분사부는 분리형이 가능하여 조립 및 분리할 수 있도록 구성되며, 제1분사구(221), 제2분사구(231)는 일방향으로 양측에 배치되며 한쪽에서는 질소가스(N2), 타측에는 DI가 분사된다. 복수개의 분사구는 웨이퍼가 위치한 상단부쪽의 방향을 바라보게 배치된다.
여기서, 제1분사구(221), 제2분사구(231)는 노즐(nozzle) 타입으로 마련될 수 있으며, 웨이퍼(W)에 수직 방향으로 강하게 액체 및 가스를 분사할 수 있다.
브라켓의 측면에는 질소가스, DI를 주입하는 주입부가 구비될 수 있다. 브라켓의 측면에는 제1분사구(221)에서 질소가스를 분사시키기 위하여 질소가스를 주입하는 제1주입부(220)가 구비되며, 타측면에는 제2분사구(231)에서DI를 분사시키기 위하여, DI를 주입하는 제2 주입부(230)가 구비될 수 있다.
도면에 도시한 바와같이, 분사부와 주입부는 ㄴ자 형상으로X축으로 액체 혹은 가스를 주입하고, Y축으로 액체 혹은 가스를 분사하는 형태로 복수개 배치되며, 분사부는 노즐타입으로 구성될 수 있다. 양측에서 2개의 노즐을 사용하여 동시에 가스 및 액체가 분사되기 때문에 두 압이 합쳐져 높은 압력을 얻을 수 있으며, 배관내에 부하가 분배 되기 때문에 파손 및 위험을 최소화할 수 있다.
또한, 이류체 노즐로 분사할 시 스프레이 노즐로 분사하였을 경우 보다 분자 크기가 15마이크로 작기 때문에, 미스트 분사를 실현할 수 있으며, 작은 입자 분사에 의한 웨이퍼 도금시 첨가제의 침투가 용이해질 수 있는 장점이 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시 예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 기판 도금 장치 110: 프로세스 챔버
150: 척 200: 프리웨팅 장치
210: 프리웨팅부 211: 프리웨팅 몸체
220: 제1주입부 230: 제1주입부
221: 제1분사구 231: 제2분사구
240: 이류체 분사부 250: 구동부

Claims (14)

  1. 웨이퍼;
    상기 웨이퍼를 척킹한 상태에서 제자리 회전할 수 있는 척에 접근 및 이격 가능하게 구비되어 상기 웨이퍼에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부;
    상기 프리웨팅부에서 상기 웨이퍼에 프리웨팅을 위한 액체 혹은 가스를 주입하는 주입부;
    상기 주입부에서 제공된 액체 혹은 기체를 상기 웨이퍼로 분사하는 분사구;
    상기 분사구 및 상기 주입부를 구비하며, 상면에는 일자형태의 양방향의 분사구를 형성하고, 양측면에는 상기 액체 혹은 기체를 주입하는 주입부가 형성된 브라켓;
    을 포함하며, 상기 브라켓에 상기 분사구는 ㅛ자형상으로 형성되고, 상기 분사구와 상기 주입부는 ㄴ자 형태인 X축에 액체 혹은 가스를 주입하고, Y축에 액체 혹은 가스를 분사하는 형태로 형성되며, 액체는DI, 기체는 질소가스인 것을 특징으로 하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 주입부는 상기 분사구의 수만큼 형성되는 것을 특징으로 하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 분사구는 노즐 타입인 것을 특징으로 하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 브라켓에 구비된 분사구는 분리 혹은 조립이 가능한 것을 특징으로 하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
  11. 웨이퍼;
    상기 웨이퍼를 척킹한 상태에서 제자리 회전할 수 있는 척에 접근 및 이격 가능하게 구비되어 상기 웨이퍼에 대한 프리웨팅을 실행하는 프리웨팅부;
    상기 프리웨팅부에서 상기 웨이퍼에 프리웨팅을 위한 액체 혹은 가스를 주입하는 주입부;
    상기 주입부에서 제공된 액체 혹은 기체를 상기 웨이퍼로 분사하는 분사구;
    상기 분사구 및 상기 주입부를 구비하며, 상면에는 양방향의 분사구를 형성하고, 양측면에는 상기 액체 혹은 기체를 주입하는 주입부가 형성된 브라켓;
    을 포함하며, 상기 브라켓에 상기 분사구는 ㅛ자형상으로 형성되고, 상기 분사구와 상기 주입부는 ㄴ자 형상으로 X축으로 액체 혹은 가스를 주입하고, Y축으로 액체 혹은 가스를 분사하는 형태로 형성되며, 액체는DI, 기체는 질소가스이며, 상기 분사구는 복수개의 노즐을 구비하며, 상기 액체 혹은 가스를 분사하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제11항에 있어서,
    상기 분사구는 양측에 일자 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 이류체 노즐을 포함하는 프리웨팅 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005123534A (ja) 2003-10-20 2005-05-12 Electroplating Eng Of Japan Co ウェハ洗浄装置

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