KR101507532B1

KR101507532B1 - 진동기가 장착된 박막증착장치

Info

Publication number: KR101507532B1
Application number: KR20120156133A
Authority: KR
Inventors: 이재호; 김수빈
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2012-12-28
Filing date: 2012-12-28
Publication date: 2015-04-07
Also published as: KR20140086078A

Abstract

본 발명은 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정 중에 진공상태를 해제하지 않고 증착공정에 필요한 많은 양의 파우더소스를 도가니에 피딩해 준 뒤 도가니에 진동을 가해 증발 표면이 균일하게 형성되도록 하는 진동기가 장착된 박막증착장치에 관한 것으로서, 본 발명은 파우더소스를 피딩해 주는 물질공급장치와, 상기 물질공급장치로부터 피딩된 상기 파우더소스를 가열해 주는 도가니와, 상기 도가니 내에서 가열된 상기 파우더소스가 증발되는 선형증발원과, 상기 도가니에 진동을 가해 상기 도가니에 피딩된 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 만들어주는 진동기와, 상기 도가니 상단에 구비되어 상기 진동기에 의해 상기 도가니가 진동될 때 상기 선형증발원으로 진동이 전달되지 않도록 진동을 흡수해 주는 진동흡수 버퍼를 포함한다.
본 발명에 따르면 박막증착 공정 중에 진공챔버의 진공상태를 해제하지 않을 뿐 아니라 도가니를 교체하지 않고도 도가니 내에 파우더소스를 장시간 피딩할 수 있는 물질공급장치로부터 파우더소스를 도가니로 피딩한 후, 도가니에 진동을 가함으로써 특정 부분에 집중되어 쌓인 파우더소스를 도가니 내에 균일하게 적층되도록 하여 증발 표면을 고르게 해 주는 효과가 있다.
또한, 도가니 내에 적층된 파우더소스 간에 생기는 공극을 없애주어 더 많은 파우더소스를 도가니에 피딩할 수 있는 효과가 있다.

Description

진동기가 장착된 박막증착장치{Thin Film Deposition Apparatus with Vibrator}

본 발명은 진동기가 장착된 박막증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정 중에도 진공을 해제하지 않을 뿐 아니라 도가니를 교체하지 않고 장시간 연속하여 파우더 형태의 물질을 도가니에 피딩하는데 있어서, 도가니에 진동을 가해 도가니에 파우더소스가 균일하게 적층되도록 하고, 피딩된 파우더소스 내부에 공극이 생기는 것을 방지하여 보다 많은 파우더소스가 도가니에 피딩되도록 하는 파우더소스 피딩 장치에 관한 것이다.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정은 파우더소스를 증발시키고, 증발된 파우더소스를 기판에 증착시키게 된다. 이러한 증착 공정은 글래스 등의 기판을 진공챔버 내에 배치하고, 파우더소스가 담긴 증발원을 기판에 대향하도록 배치한다. 이후, 파우더소스가 담긴 증발원을 가열하여 증발되는 파우더소스의 기체나 액체 상태를 기판에 증착시키면서 박막을 형성하게 된다.

그러나, 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형증발원이 사용되며, 이러한 선형증발원은 파우더소스가 대면적의 기판에 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 증발구를 형성하여 구성된다.

여기서, 도가니에 담긴 파우더소스가 증발되어 대면적 기판에 증착되기 위해서는 많은 양의 파우더소스가 필요로 하지만 도가니의 크기가 한정되어 있어서 파우더소스를 다 사용하게 되면 도가니 내에 파우더소스를 피딩하는 별도의 시간이 필요하다. 다시 말해서 종래에는 증착공정 중 도가니 내에 있는 파우더소스가 다 증발되면 진공챔버 내의 진공상태를 해제하고 파우더소스를 도가니에 피딩한 뒤, 증착공정을 위해 다시 진공챔버를 진공상태로 만들어야 했기 때문에 많은 시간과 비용이 소비되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 등록특허 10-0767296에는 화학기상증착장치의 소스파우더 공급장치가 개시되어 있다. 상기 화학기상증착장치의 소스파우더 공급장치는 증발용기와 별도로 소스파우더의 저장용기를 갖추어 증발용기를 이웃시켜 놓고, 소스파우더의 소진량을 모니터링 하여 소스파우더의 공급시점을 검출하고 그 공급시점에서 밸브수단을 통해 저장용기로부터 증발용기로 소스파우더가 공급되어 충진되도록 하고 있다.

하지만, 저장용기에서 증발용기로 소스파우더를 충진하는 과정에서 소스파우더가 고체형태이므로 증발용기에 소스파우더가 특정 부분에만 집중하여 쌓이게 되므로 소스파우더의 표면이 균일하지 못한 문제점이 있다.

또한, 저장용기에서 증발용기로 소스파우더가 충진될 때 소스파우더 입자 간에 공극이 생겨 증발용기에 충진할 수 있는 양이 줄어드는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 본 발명은 물질공급장치를 통해 장시간 동안 고체형태의 파우더소스를 도가니에 피딩할 때 도가니에 진동기를 장착함으로써, 파우더소스가 도가니 내에 특정 부분에만 집중하여 쌓이는 것을 방지하여 증발 표면을 균일하게 하고, 파우더소스가 도가니 내에 적층될 때 파우더소스의 입자 간에 공극이 생기는 것을 방지하여 더 많은 파우더소스가 도가니 내에 피딩되도록 하는 진동기가 장착된 박막증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 파우더소스를 피딩해 주는 물질공급장치와, 상기 물질공급장치로부터 피딩된 상기 파우더소스를 가열해 주는 도가니와, 상기 도가니 내에서 가열된 상기 파우더소스가 증발되는 선형증발원, 상기 도가니에 진동을 가해 상기 도가니에 피딩된 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 만들어주는 진동기와, 상기 도가니 상단에 구비되어 상기 진동기에 의해 상기 도가니가 진동될 때 상기 선형증발원으로 진동이 전달되지 않도록 진동을 흡수해 주는 진동흡수 버퍼를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 진동기는 상기 도가니의 하부 또는 측면에 위치하고, 상기 도가니의 일면과 맞닿아 상기 도가니에 상기 파우더소스가 피딩되면 상기 도가니에 밀착되어 진동될 수 있다.

또한, 상기 진동기는 상기 도가니와 밀착되는 진동판과, 상기 진동판을 구동시키기 위한 진동모터로 구성될 수 있다.

아울러, 상기 진동모터는 하우징과, 양끝부분에 베어링이 결합되는 베어링하우스와, 상기 베어링하우스의 외주면부에 부착되는 마그네트와, 상기 마그네트와 소정간격 이격된 위치에 설치되는 코일과,상기 베어링을 관통하여 결합되는 회전축과, 상기 회전축의 끝단에 형성되어 코일과 연결되는 세그먼트를 플라스틱 사출물로 고정한 정류자와, 상기 정류자를 회전축과 고정하기 위해 회전축 끝단에 강제 압입한 고정링과, 상기 하우징의 일측 끝단을 폐쇄시키며 브러시와 결합하여 전선이 연결된 브러시홀더와, 상기 하우징의 외부로 돌출된 회전축에 편심 진동자를 결합하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 진동기는 진동판과, 상기 진동판을 구동시켜주는 구동모터와, 상기 구동모터의 양쪽 축에 결합되고 상기 진동판의 하면에 접촉하여 형성되는 편심캠을 포함하여 구성될 수 있다.

본 발명에서, 상기 물질공급장치는 파우더소스가 저장되는 저장소와, 상기 저장소에 내에 수직으로 구비되어 상기 저장소에 저장된 파우더소스가 응집되지 않도록 별도의 구동수단에 의해 회전하며 저어주는 스터러(stirrer)와, 상기 저장소의 하단과 연통되어 형성되는 연결관과, 상기 연결관 내부에 수평으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 회전하며 상기 연결관 내의 파우더소스를 이동시켜 상기 도가니로 상기 파우더소스를 피딩시키는 오거(auger)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 스터러(stirrer)는 중앙의 구동축을 중심으로 회전하며, 복수의 스터러(stirrer) 윙이 형성될 수 있다.

아울러, 상기 오거(auger)는 스크류 형상으로 형성되어 회전하면서 상기 파우더소스를 이동시켜 줄 수 있다.

그리고, 상기 선형증발원은 상기 도가니 내에서 가열된 파우더소스가 증발되는 증발부와, 상기 도가니와 상기 증발부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다.

또한, 상기 증발부는 상기 증발부 내의 상기 파우더소스를 분사하는 복수 개의 분사 노즐이 상기 증발부의 상단에서 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 물질공급장치로부터 파우더소스를 도가니로 피딩한 후, 도가니에 진동을 가함으로써 특정 부분에 집중되어 쌓인 파우더소스를 도가니 내에 균일하게 적층되도록 하여 증발 표면을 고르게 해 주는 효과가 있다.

또한, 도가니 내에 적층된 파우더소스 간에 생기는 공극을 없애주어 더 많은 파우더 소스를 도가니에 피딩할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 진동기가 장착된 박막증착장치의 제1실시예를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 진동기의 진동모터를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 진동기가 장착된 박막증착장치의 제2실시예를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 진동기를 나타내는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 진동기가 장착된 박막증착장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 진동기가 장착된 박막증착장치의 제1실시예를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 진동기의 진동모터를 나타내는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 진동기가 장착된 박막증착장치의 제2실시예를 나타내는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 진동기를 나타내는 단면도이다.

본 발명은 도가니 내에 파우더소스가 피딩된 후에 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 해주기 위한 것으로, 도 1과 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 진동기가 장착된 박막증착장치는 파우더소스를 피딩해 주는 물질공급장치(100)와, 상기 물질공급장치로부터 피딩된 상기 파우더소스를 가열해 주는 도가니(200)와, 상기 도가니 내에서 가열된 상기 파우더소스가 증발되는 선형증발원(300)과, 상기 도가니에 진동을 가해 상기 도가니에 피딩된 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 만들어주는 진동기(400)와, 상기 도가니 상단에 구비되어 상기 진동기에 의해 상기 도가니가 진동될 때 상기 선형증발원으로 진동이 전달되지 않도록 진동을 흡수해 주는 진동흡수 버퍼(500)를 포함하여 구성된다.

본 발명의 상기 진동기(400)는 상기 도가니(200)의 하부 또는 측면에 위치할 수 있다. 본 발명의 제1실시예와 제2실시예에서는 도 1과 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 도가니(200)의 하부에 위치하는 것을 도시하였으나, 상기 도가니(200)의 측면에 위치할 수도 있다.

본 발명의 제1실시예에서의 상기 진동기(400)는 상기 도가니(200)와 밀착되는 진동판(410)과, 상기 진동판(410)을 구동시키기 위한 진동모터(420)로 구성된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 진동모터(420)는 하우징(422)과, 양끝부분에 베어링이 결합되는 베어링하우스(427)와, 상기 베어링하우스(427)의 외주면부에 부착되는 마그네트(424)와, 상기 마그네트(424)와 소정간격 이격된 위치에 설치되는 코일(423)과, 상기 베어링을 관통하여 결합되는 회전축(426)과, 상기 회전축(426)의 끝단에 형성되어 코일(423)과 연결되는 세그먼트를 플라스틱 사출물로 고정한 정류자(429)와, 상기 정류자(429)를 회전축(426)과 고정하기 위해 회전축(426) 끝단에 강제 압입한 고정링(428)과, 상기 하우징(422)의 일측 끝단을 폐쇄시키며 브러시와 결합하여 전선(W)이 연결된 브러시홀더(425)와, 상기 하우징(422)의 외부로 돌출된 회전축(426)에 편심 진동자(421)를 결합하여 구성된다.

상기 진동모터(420)는 상기 베어링하우스(427)의 양 끝부분에 각각 베어링이 결합되고, 상기 베어링하우스(427)의 외주면부에 마그네트(424)가 부착된다. 그리고 상기 베어링하우스(427)를 하우징(422)에 관통시켜 결합하여 모터의 고정자가 형성된다.

한편, 회전자는 회전축(426)의 끝단에 고정링(428)을 강제 압입하고, 세그먼트와 같이 플라스틱 수지 사출물로 주입 사출하여 정류자(429)를 형성한다. 상기와 같이 제작된 정류자(429)에 코일(423)을 부착한 후, 코일(423)과 정류자(429)를 연결하여 회전자가 형성된다.

이와 같이 상기 고정자와 상기 회전자가 조립되고, 상기 브러시홀더(425)를 하우징(422)의 끝단에 압입하여 내부를 폐쇄시키고 반대편으로 돌출된 회전축(426)에 편심 진동자(421)를 결합하여 진동모터(420)를 구비한다.

상기 브러시홀더(425)에는 전선(W)과 용접된 브러시가 고정되어 있으며 전선(W)은 브러시 홀더를 관통하여 외부로 빠져나가게 되어 있어 전선(W)에 전원을 공급하면 상기 마그네트(424)와 상기 코일(423) 간의 전자기적 회로에 의해 상기 코일(423)이 회전하게 된다. 상기 코일(423)이 회전하면 코일(423)과 결합된 정류자(429) 그리고 정류자(429)와 연결된 회전축(426)이 베어링의 내부에서 회전하게 된다. 이와 같이 회전축(426)이 회전하게 되면 회전축(426)에 결합된 편심 진동자(421)가 회전하면서 진동을 발생시킨다.

한편, 도 4에 도시한 바와 같이 본 발명의 제2실시예에 따른 진동기(400)는 진동판(430)과, 상기 진동판(430)을 구동시켜주는 구동모터(440)와, 상기 구동모터(440)의 양쪽 축에 결합되고 상기 진동판(430)의 하면에 접촉하여 형성되는 편심캠(450)을 포함하여 구성된다.

제2실시예에서와 같은 구성으로 구비되는 진동기(400)는 상기 구동모터(440)의 양쪽에 형성되는 축이 상기 구동모터(440)에 의해 회전되고, 상기 축에 결합되는 편심캠(450) 또한 회전을 하게 된다. 이러한 상기 편심캠(450)의 회전구동이 상기 진동판(430)의 하면에 접촉되어 상기 진동판(430)이 진동하게 된다.

이와 같이 구비되는 상기 진동기(400)는 상기 도가니(200)에 상기 파우더소스가 피딩되면 상기 도가니(200)의 일면과 맞닿아 상기 도가니(200)에 진동을 가하게 된다.

여기서, 상기 진동기(400)는 상기 도가니(200) 내에 피딩된 파우더소스의 양에 따라 진동의 세기를 조절할 수 있다.

도 1과 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 상기 진동기(400)가 상기 도가니(200)의 하단에 위치하게 되는데 상기 도가니(200)가 상기 진동기(400)에 미끄러지지 않고 잘 밀착되도록 상기 진동판(410)(430)에 상기 도가니(200)의 밑면적과 같은 면적의 홈이 형성될 수 있다.

상기와 같이 기술한 진동기(400)는 본 발명의 실시예로 적용된 것으로 상기 진동기(400)에 한정되는 것은 아니며, 다른 실시예로 다양한 진동기(400)로 구비될 수 있다.

본 발명에서 상기 도가니(200) 내에 상기 파우더소스가 피딩될 때 고체형태인 상기 파우더소스의 입자 간에 생기는 공극이 생기는데, 상기 진동기(400)로 상기 도가니(200)에 진동을 가해줌으로써 공극을 없애주게 되고 이로써 더 많은 양의 상기 파우더소스를 피딩해 줄 수 있게 된다.

또한, 상기 파우더소스를 상기 도가니(200)에 피딩할 때 상기 파우더소스가 특정 부분에 집중적으로 적층하게 되는 경우가 생기는데 이와 같은 상태에서 상기 파우더소스를 증발시키게 되면 상기 파우더소스가 집중적으로 적층된 부분이 붕괴되면서 상기 증발원으로 증발이 제대로 이루어지지 않게 된다.

하지만, 상기 도가니(200)에 상기 파우더소스가 피딩된 후 상기 진동기(400)로 진동을 주게 되면 상기 파우더소스가 고르게 적층되어 증발표면이 고르게 형성된다.

한편, 상기 도가니(200)에 진동을 주게 되면 상기 도가니(200) 상부에 위치하는 상기 물질공급장치(100)나 상기 선형증발원(300)에 진동이 전달될 수 있다. 이렇게 전달되는 진동을 흡수해 주기 위해 상기 도가니(200) 상단에는 진동흡수 버퍼(500)가 장착된다.

상기 진동흡수 버퍼(500)는 특정 재질이나 구조에 한정하지 않고 진동을 흡수해 줄 수 있는 재질이나 구조라면 본 발명에 적용될 수 있다.

본 발명에서 상기 물질공급장치(100)는 상기 물질공급장치(100)는 파우더소스가 저장되는 저장소(110)와, 상기 저장소(110)에 내에 수직으로 구비되어 상기 저장소(110)에 저장된 파우더소스가 응집되지 않도록 별도의 구동수단에 의해 회전하며 저어주는 스터러(120)와, 상기 저장소(110)의 하단과 연통되어 형성되는 연결관(140)과, 상기 연결관(140) 내부에 수평으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 회전하며 상기 연결관(140) 내의 파우더소스를 이동시켜 상기 도가니(200)로 상기 파우더소스를 피딩시키는 오거(150)를 포함한다.

상기 저장소(110)에는 진공챔버 내에서 박막증착 공정이 이루어지는 동안에도 진공상태를 해제하지 않고 박막증착 공정 중에 필요한 양만큼의 파우더소스를 상기 도가니(200)에 피딩할 수 있도록 많은 양의 파우더소스가 저장된다.

본 발명의 실시예에서 상기 저장소(110)에는 저장된 상기 파우더소스를 저어주는 상기 스터러(120)가 수직으로 구비되는데, 상기 스터러(120)는 복수의 스터러(120) 윙이 형성되며, 별도의 스터러(120) 구동수단에 의해 구동되는 상기 스터러(120)는 중앙의 스터러(120) 구동축이 회전하면서 상기 저장소(110)에 저장된 파우더소스가 응집되지 않도록 저어준다.

또한, 상기 저장소(110)의 하단과 연통되어 상기 연결관(140)이 구비되며 상기 파우더소스가 상기 연결관(140)으로 이동한 뒤, 상기 연결관(140) 내에 구비되는 상기 오거(150)에 의해 상기 도가니(200)로 옮겨진다. 상기 오거(150)는 상기 연결관(140) 내부에 수평으로 구비되는데, 상기 오거(150) 구동축을 중심으로 형성되는 스크류 형상의 날이 별도의 오거(150) 구동수단에 의해 회전하면서 상기 연결관(140) 내의 파우더소스를 이동시켜 상기 도가니(200)로 상기 파우더소스를 피딩한다.

이와 같이 상기 연결관(140) 내에서 상기 오거(150)에 의해 이동하는 상기 파우더소스가 상기 선형증발원(300) 아래에 위치하는 상기 도가니(200)로 피딩된다.

한편, 상기 선형증발원(300)은 상기 도가니(200) 내에서 가열된 파우더소스가 증발되는 증발부(310)와, 상기 도가니(200)와 상기 증발부(310)를 연결하는 연결부(320)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 증발부(310)에는 상기 증발부(310) 내의 상기 파우더소스를 분사하는 복수 개의 분사 노즐(311)이 상기 증발부(310)의 상단에서 형성되는데, 상기 증발부(310)의 중앙으로 갈수록 상기 분사 노즐(311)에서 분사되는 증착소스가 중첩되므로 상기 분사 노즐(311)은 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

100 : 물질공급장치 110 : 저장소
120 : 스터러(stirrer) 140 : 연결관
150 : 오거 200 : 도가니
300 : 선형증발원 310 : 증발부
311 : 분사 노즐 320 : 연결부
400 : 진동기 410 : 진동판
420 : 진동모터 421 : 편심 진동자
422 : 하우징 423 : 코일
424 : 마그네트 425 : 브러시홀더
426 : 회전축 427 : 베어링하우스
428 : 고정링 429 : 정류자
430 : 진동판 440 : 구동모터
450 : 편심캠 500 : 진동흡수 버퍼
W : 전선

Claims

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파우더소스를 피딩해 주는 물질공급장치;
상기 물질공급장치로부터 피딩된 상기 파우더소스를 가열해 주는 도가니;
상기 도가니 내에서 가열된 상기 파우더소스가 증발되는 선형증발원;
상기 도가니에 진동을 가해 상기 도가니에 피딩된 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 만들어주는 진동기; 및
상기 도가니 상단에 구비되어 상기 진동기에 의해 상기 도가니가 진동될 때 상기 선형증발원으로 진동이 전달되지 않도록 진동을 흡수해 주는 진동흡수 버퍼;
를 포함하고,
상기 진동기는 상기 도가니와 밀착되는 진동판과,
상기 진동판을 구동시키기 위한 진동모터로 구성되며,
상기 진동기는 상기 도가니의 하부 또는 측면에 위치하고, 상기 도가니의 일면과 맞닿아 상기 도가니에 상기 파우더소스가 피딩되면 상기 도가니에 밀착되어 진동되되,
상기 도가니 내에 피딩된 파우더소스의 양에 따라 진동의 세기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제3항에 있어서,
상기 진동모터는 하우징과,
양끝부분에 베어링이 결합되는 베어링하우스와,
상기 베어링하우스의 외주면부에 부착되는 마그네트와,
상기 마그네트와 소정간격 이격된 위치에 설치되는 코일과,
상기 베어링을 관통하여 결합되는 회전축과,
상기 회전축의 끝단에 형성되어 코일과 연결되는 세그먼트를 플라스틱 사출물로 고정한 정류자와,
상기 정류자를 회전축과 고정하기 위해 회전축 끝단에 강제 압입한 고정링과,
상기 하우징의 일측 끝단을 폐쇄시키며 브러시와 결합하여 전선이 연결된 브러시홀더와,
상기 하우징의 외부로 돌출된 회전축에 편심 진동자를 결합하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
파우더소스를 피딩해 주는 물질공급장치;
상기 물질공급장치로부터 피딩된 상기 파우더소스를 가열해 주는 도가니;
상기 도가니 내에서 가열된 상기 파우더소스가 증발되는 선형증발원;
상기 도가니에 진동을 가해 상기 도가니에 피딩된 파우더소스 입자 간에 생기는 공극을 없애고, 증발 표면을 고르게 만들어주는 진동기; 및
상기 도가니 상단에 구비되어 상기 진동기에 의해 상기 도가니가 진동될 때 상기 선형증발원으로 진동이 전달되지 않도록 진동을 흡수해 주는 진동흡수 버퍼;
를 포함하고,
상기 진동기는 진동판과,
상기 진동판을 구동시켜주는 구동모터와,
상기 구동모터의 양쪽 축에 결합되고 상기 진동판의 하면에 접촉하여 형성되는 편심캠을 포함하여 구성되며,
상기 진동기는 상기 도가니의 하부 또는 측면에 위치하고, 상기 도가니의 일면과 맞닿아 상기 도가니에 상기 파우더소스가 피딩되면 상기 도가니에 밀착되어 진동되되,
상기 도가니 내에 피딩된 파우더소스의 양에 따라 진동의 세기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 물질공급장치는 파우더소스가 저장되는 저장소와,
상기 저장소에 내에 수직으로 구비되어 상기 저장소에 저장된 파우더소스가 응집되지 않도록 별도의 구동수단에 의해 회전하며 저어주는 스터러(stirrer)와,
상기 저장소의 하단과 연통되어 형성되는 연결관과,
상기 연결관 내부에 수평으로 구비되어 별도의 구동수단에 의해 회전하며 상기 연결관 내의 파우더소스를 이동시켜 상기 도가니로 상기 파우더소스를 피딩시키는 오거(auger)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제6항에 있어서,
상기 스터러(stirrer)는 중앙의 구동축을 중심으로 회전하며, 복수의 스터러(stirrer) 윙이 형성되는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제6항에 있어서,
상기 오거(auger)는 스크류 형상으로 형성되어 회전하면서 상기 파우더소스를 이동시켜 주는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 선형증발원은 상기 도가니 내에서 가열된 파우더소스가 증발되는 증발부와,
상기 도가니와 상기 증발부를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.
제9항에 있어서,
상기 증발부는 상기 증발부 내의 상기 파우더소스를 분사하는 복수 개의 분사 노즐이 상기 증발부의 상단에서 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진동기가 장착된 박막증착장치.