KR101501900B1 - 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치 - Google Patents

레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법은, 레이저 마킹 시스템이 제1 패턴에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받아 측정 플레이트에 제1 패턴을 마킹하는 단계와, 패턴 촬영부가 제1 패턴이 측정 플레이트 상에 실제로 마킹된 제2 패턴을 촬영할 때에, 제어부가 제1 패턴을 기준으로 제2 패턴에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구하는 단계와, 제어부가 제1 편차과 제2 편차를 조합하여, 제2 패턴을 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구하는 단계 및 제어부가 매핑 함수를 이용하여 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치{Method and apparatus for calibrating a laser marking system}
본 발명은 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 빠르고 간단한 방법으로 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하여 마킹 형상의 품질을 향상시킬 수 있는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 레이저 마킹 시스템은 레이저 빔을 이용하여 피가공물에 문자나 도형 등을 인쇄하는 장치로서, 문자나 도형 등을 영구적으로 인쇄할 수 있으므로 반도체 칩 등의 소형 제품의 표면에 제품 명칭, 제조번호, 제조일자, 로고 등의 제품 정보를 인쇄하는 등 많은 산업 분야에서 널리 사용되고 있다.
이러한 레이저 마킹 시스템은 사용자가 컴퓨터 등과 같은 외부 입력 장치에서 마킹하고자 하는 문자나 도형 등의 마킹 데이터를 작성하여 입력하면, 마킹 데이터에 따라 레이저 스캐너를 구동시켜 레이저 빔을 2차원 상에서 편향 조사시키고, 이러한 레이저 스캐너의 동작에 동기하여 레이저 빔을 출력하는 레이저 발진기의 온/오프를 제어함으로써 피가공물에 마킹을 수행하도록 하고 있다.
한편, 레이저 빔을 조사하는 레이저 스캐너는 레이저 빔의 조사 위치를 제어하기 위해, X축 서보 모터(X-Axis Serve Motor)와 Y축 서보 모터(Y-Axis Servo Motor), 그리고 이에 각각 연결된 X축 미러(X-Axis Mirror)와 Y축 미러(Y-Axis Mirror)로 구성된 갈바노미터(Galvanometer)를 사용할 수 있다. 이러한 레이저 스캐너는 X축 또는 Y축 서보 모터를 이용하여 X축 또는 Y축 미러(Mirror)를 구동함으로써 레이저 빔의 조사 위치를 X축 또는 Y축 방향으로 제어할 수 있다. 그러나, 레이저 스캐너를 이용하여 문자나 도형 등의 마킹 데이터를 마킹할 때에는 레이저 스캐너의 기계적인 특성(예를 들어, X축 또는 Y축 미러의 관성 등) 때문에 틀어짐이 발생하므로 실제로 마킹된 형상은 원하는 마킹 형상과는 달리 미세한 일그러짐이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서, 레이저 마킹 시스템은 이러한 마킹 오차가 발생하는 것을 방지하기 위해 다양한 보정 방법을 사용하고 있는데, 대표적으로는 갈바노미터의 X축 또는 Y축 미러의 이격을 조절하는 광학적 보정 방법과, 미리 설정된 마킹 위치와 실제 마킹된 마킹 위치의 편차를 이용하여 위치 보정을 수행하는 물리적 보정 방법이 있다. 특히, 물리적 보정 방법은 카메라로 실제 마킹된 마킹 위치를 이동하면서 촬영한 마킹 위치와 미리 설정된 마킹 위치와의 편차를 계산하는데, 실제 마킹된 마킹 위치에 따라 카메라가 이동 및 정지를 반복하므로 실제 마킹된 마킹 위치의 편차 측정에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다. 또한, 카메라의 지속적인 이동과 정지에 따라 카메라 자체의 측정 오차도 발생한다는 문제점이 있었다.
따라서, 빠르고 간단한 방법으로 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하여 마킹 형상의 품질을 향상시킬 수 있는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치가 요구된다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 패턴 촬영부 또는 측정 플레이트가 이동하며 실제 마킹된 패턴의 제1 축 방향의 제1 편차와 제2 축 방향의 제2 편차를 각각 구하여 실제 마킹된 제2 패턴을 입력된 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 마킹 보정을 수행함으로써, 보다 빠르고 간단한 방법으로 마킹 품질을 향상시킬 수 있는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법은, 레이저 마킹 시스템이 제1 패턴에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받아 측정 플레이트에 상기 제1 패턴을 마킹하는 단계와, 패턴 촬영부가 상기 제1 패턴이 상기 측정 플레이트 상에 실제로 마킹된 제2 패턴을 촬영할 때에, 제어부가 상기 제1 패턴을 기준으로 상기 제2 패턴에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구하는 단계와, 상기 제어부가 상기 제1 편차과 상기 제2 편차를 조합하여, 상기 제2 패턴을 상기 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구하는 단계 및 상기 제어부가 상기 매핑 함수를 이용하여 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치는, 레이저 마킹 시스템이 입력 받은 제1 패턴과 상기 제1 패턴이 실제로 마킹된 제2 패턴을 비교하여 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 있어서, 상기 레이저 마킹 시스템에 의해 상기 제1 패턴이 마킹된 측정 플레이트를 고정 지지하는 플레이트 지지부와, 상기 제1 패턴이 상기 측정 플레이트 상에 실제로 마킹된 제2 패턴을 촬영하는 패턴 촬영부와, 상기 플레이트 지지부와 상기 패턴 촬영부 중 적어도 하나에 연결되며, 상기 플레이트 지지부와 상기 패턴 촬영부 중 적어도 하나를 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 플레이트 지지부, 상기 패턴 촬영부 및 상기 구동부의 동작을 제어하고, 상기 제1 패턴을 기준으로 상기 제2 패턴에 대한 상기 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 상기 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구하여 상기 제2 패턴을 상기 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 따르면, 패턴 촬영부 또는 측정 플레이트가 이동하며 실제 마킹된 패턴의 제1 축 방향의 제1 편차와 제2 축 방향의 제2 편차를 각각 구하여 실제 마킹된 제2 패턴을 입력된 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 마킹 보정을 수행함으로써, 보다 빠르고 간단한 방법으로 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 따르면, 제2 패턴을 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수에 의해 레이저 스캐너의 기계적인 특성에 의한 일그러짐이 없이 원하는 마킹 형상을 얻을 수 있으므로, 마킹 형상의 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치를 이용한 마킹 보정 과정을 나타내는 순서도이다.
도 3은 레이저 마킹 시스템이 측정 플레이트에 제1 패턴을 마킹하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 사용되는 제1 패턴의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 사용되는 측정 플레이트의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 측정 플레이트 상에 실제 마킹된 제2 패턴의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 패턴 촬영부가 제2 패턴을 촬영하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 제어부가 제2 패턴에 대한 제1 편차 및 제2 편차를 구하는 과정을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 방법 및 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 레이저 마킹 시스템(10)은 크게 레이저 빔을 출력하는 레이저 발진기(11)와, 레이저 발진기(11)로부터 출력된 레이저 빔을 조사하는 레이저 스캐너(12)를 포함할 수 있다. 이러한 레이저 마킹 시스템(10)이 제1 패턴(P1)에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받아 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)을 마킹할 수 있다. 후술하겠지만, 제1 패턴(P1)은 서로 수직하는 제1 축 방향과 제2 축 방향을 따라 각각 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 격자점으로 이루어질 수 있다. 이 때, 측정 플레이트(101)는 제1 패턴(P1) 또는 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴이 미리 표시될 수 있다.
레이저 발진기(11)는 마킹에 사용되는 레이저 빔을 발진시키는데, 레이저 발진기(11)는 그 사용 매질에 따라 Nd:YAG 레이저와 같은 고체 레이저, CO2 레이저와 같은 기체 레이저, 액체 레이저 등으로 구분될 수 있다. 예를 들어, 레이저 마킹용으로 널리 사용되는 Nd:YAG 레이저의 경우, 레이저 발진기(11)는 광원으로 사용되는 레이저 다이오드(Laser diode)와, 빛을 증폭시켜주는 Nd:YAG 로드(Rod)와, 레이저 빔을 적절한 주파수의 펄스 모드로 방출하기 위해 레이저 빔의 파워를 증가시키는 Q-스위치(Q-Switch) 및 레이저 빔의 출력을 개폐하는 댐퍼(Damper)를 포함할 수 있다. 레이저 발진기(11)에서 출력되는 레이저 빔은 빔 익스팬더(Beam Expander)를 통과하며, 이 때 레이저 빔의 크기가 증가될 수 있다.
레이저 스캐너(12)는 레이저 발진기(11)로부터 발진된 레이저 빔을 조사할 수 있으며, 레이저 스캐너(12)로는 마킹하고자 하는 문자나 도형 등에 대한 마킹 데이터를 입력 받아 레이저 빔의 조사 위치를 제어하는 갈바노미터(Galvanometer)를 사용할 수 있다. 갈바노미터는 X축 서보 모터(X-Axis Serve Motor)와 Y축 서보 모터(Y-Axis Servo Motor), 그리고 이에 각각 연결된 X축 미러(X-Axis Mirror)와 Y축 미러(Y-Axis Mirror)를 이용하여 레이저 빔의 조사 위치를 X축 또는 Y축 방향으로 제어할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 레이저 스캐너(12)의 하단부에 설치되고 레이저 스캐너(12)를 통해 입사되는 레이저 빔의 초점을 측정 플레이트(101) 상에 모아주는 에프-세타(f-θ) 렌즈를 더 포함할 수 있다. 도 1에서는 레이저 마킹 시스템(10)의 구성에 대해서 간단하게 설명하고 있으며, 일반적인 레이저 마킹 시스템(10)의 구성은 이미 잘 알려져 있으므로, 더 이상 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 장치(100)는 플레이트 지지부(110), 패턴 촬영부(120), 구동부(130) 및 제어부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같이 구성된 마킹 보정 장치(100)는 레이저 마킹 시스템(10)이 입력 받은 제1 패턴(P1)과 제1 패턴(P1)이 실제로 마킹된 제2 패턴(P2)을 비교하여 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 수행할 수 있다.
플레이트 지지부(110)는 레이저 마킹 시스템(10)에 의해 제1 패턴(P1)이 마킹된 측정 플레이트(101)를 고정 지지할 수 있다. 플레이트 지지부(110)는 평판 형태의 XY 스테이지로 구성될 수 있으며, 후술할 구동부(130)에 연결되어 제1 축 방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2 축 방향(예를 들어, Y 방향)으로 구동될 수 있으며, 필요에 따라 제3 축 방향(예를 들어, Z 방향)으로 구동될 수 있다.
패턴 촬영부(120)는 레이저 마킹 시스템(10)이 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)을 마킹한 후, 제1 패턴(P1)이 측정 플레이트(101) 상에 실제로 마킹된 제2 패턴(P2)을 촬영할 수 있다. 그리고, 패턴 촬영부(120)는 촬영된 제2 패턴(P2)을 아날로그 형태의 영상 신호로 출력하고, 이를 디지털 형태의 영상 데이터로 변환할 수 있다. 이 때, 디지털 형태의 영상 데이터란 정지 화상은 물론 동영상까지 포함하는 포괄적 개념이다. 패턴 촬영부(120)에서 촬영된 아날로그 형태의 영상 신호를 처리하여 디지털 형태의 영상 데이터를 생성하는 방법에 대해서는 잘 알려져 있으므로, 여기서 자세한 설명은 생략하기로 한다. 이러한 패턴 촬영부(120)는 CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor) 카메라 또는 CCD(Charge-coupled Device) 카메라 등을 사용할 수 있으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다. 패턴 촬영부(120)는 후술할 구동부(130)에 연결되어 제1 축 방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2 축 방향(예를 들어, Y 방향)으로 구동될 수 있으며, 필요에 따라 제3 축 방향(예를 들어, Z 방향)으로 구동될 수 있다.
구동부(130)는 플레이트 지지부(110)와 패턴 촬영부(120) 중 적어도 하나에 연결되며, 플레이트 지지부(110)와 패턴 촬영부(120) 중 적어도 하나를 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 구동부(130)는 플레이트 지지부(110) 또는 패턴 촬영부(120)에 연결되어 플레이트 지지부(110) 또는 패턴 촬영부(120)를 1축 방향(예를 들어, X 방향), 2축 방향(예를 들어, X 방향, Y 방향) 또는 3축 방향(예를 들어, X 방향, Y 방향, Z 방향)으로 구동시킬 수 있다. 이 때, 구동부(130)는 패턴 촬영부(120) 및 측정 플레이트(101)를 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 등속 이동시킬 수 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 구동부(130)는 각각의 이동 방향에 대하여 구동 모터와 리니어 가이드(Linear guide)로 구성될 수 있다. 이와 같이, 구동부(130)는 플레이트 지지부(110)와 패턴 촬영부(120)를 각각 또는 동시에 구동시켜 패턴 촬영부(120)가 측정 플레이트(101) 상의 제2 패턴(P2)을 빠르게 촬영할 수 있도록 할 수 있다.
제어부(140)는 마킹 보정 장치(100)를 구성하는 각종 구성요소, 즉, 플레이트 지지부(110), 패턴 촬영부(120) 및 구동부(130)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 제어부(140)는 각각의 구성요소로부터 전달되는 정보를 처리하여 해당 구성요소 또는 다른 구성요소를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(140)는, 측정 플레이트(101)의 크기, 제1 패턴(P1)의 형상 등에 따라 구동 데이터를 생성한 후, 이러한 구동 데이터에 따라 구동부(130)를 제어하여 플레이트 지지부(110) 또는 패턴 촬영부(120)의 이동 위치 및 속도, 패턴 촬영부(120)의 촬영 속도 등을 제어할 수 있다.
또한, 제어부(140)는 패턴 촬영부(120)에 의해 촬영된 제2 패턴(P2)으로부터 제1 패턴(P1)을 기준으로 제2 패턴(P2)에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구할 수 있다. 이 때, 제어부(140)는 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제1 축 방향으로 적어도 한번 이동하며 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에 제2 편차를 구하고, 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제2 축 방향으로 적어도 한번 이동하며 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에 제1 편차를 구할 수 있다. 이에 대해서는 도 6 내지 도 9를 참조하여 자세히 후술하기로 한다. 마지막으로, 제어부(140)는 이와 같이 구해진 제1 편차와 제2 편차를 조합하여 제2 패턴(P2)을 제1 패턴(P1)으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 수행할 수 있다.
이상, 본 실시예에서 사용되는 '~부'라는 용어는 소프트웨어 또는 FPGA또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, '~부'는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 '~부'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들, 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부'들로 더 분리될 수 있다. 뿐만 아니라, 구성요소들 및 '~부'들은 디바이스 또는 보안 멀티미디어카드 내의 하나 또는 그 이상의 CPU들을 재생시키도록 구현될 수도 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치를 이용한 마킹 보정 과정을 나타내는 순서도이다.
먼저, 레이저 마킹 시스템(10)은 제1 패턴(P1)에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받아 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)을 마킹할 수 있다(S210). 제1 패턴(P1)은 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 위해 사용자로부터 입력 받은 일종의 교정용 격자 무늬(Calibration grid)를 의미한다.
도 3은 레이저 마킹 시스템이 측정 플레이트에 제1 패턴을 마킹하는 모습을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 사용되는 제1 패턴의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 레이저 마킹 시스템(10)은 제1 패턴(P1)에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받을 수 있는데, 이러한 제1 패턴(P1)에 해당하는 마킹 데이터는 마킹 보정 장치(100)의 제어부(140)로부터 입력 받거나 외부의 사용자 조작부(도시되지 않음)를 통해 입력 받을 수도 있다. 레이저 마킹 시스템(10)은 제1 패턴(P1)에 해당하는 마킹 데이터를 이용하여 레이저 발진기(11)의 레이저 파라미터(Laser Parameter) 및 레이저 스캐너(12)의 스캐너 파라미터(Scanner Parameter)를 설정한 후 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)을 마킹할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 장치(100)의 경우, 제1 패턴(P1)은 제1 축 방향 및 제2 축 방향을 따라 각각 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 격자점으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 축 방향과 제2 축 방향은 서로 직교하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 축 방향 및 제2 축 방향은 레이저 스캐너(12)의 마킹 필드(Marking Field)의 종횡 방향과 일치하는 것이 바람직하다. 도 4에서는, 제1 축 방향으로 마킹 필드의 X 방향을, 제2 방향으로 마킹 필드의 Y 방향을 설정한 후, 제1 축 방향인 X 방향으로 간격 H(전체 크기 Ht), 제2 축 방향인 Y 방향으로 간격 V(전체 크기 Vt)를 두고 총 64 개의 격자점 P1(0,0), P1(1,0), P1(2,0), ... , P1(7,7)을 포함하는 제1 패턴(P1)을 생성한 경우를 예로 들어 설명하고 있다. 또한, 레이저 스캐너(12)의 마킹 필드가 실질적으로 정사각형인 것을 고려할 때, 격자점들 간에 X 방향의 간격 H와 Y 방향의 간격 V는 동일한 것이 바람직하다. 제1 패턴(P1)의 제1 축 방향, 제2 축 방향, 격자점의 개수 및 배치 간격은 레이저 발진기(11)의 출력, 레이저 스캐너(12)의 속도, 마킹 필드의 크기 등 레이저 마킹 시스템(10)의 사양에 따라 결정될 수 있다. 한편, 도 4에서는 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점을 원형으로 표현하고 있으나, 이는 설명의 편의상 표현한 것에 불과하며, 사각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 장치(100)의 경우, 측정 플레이트(101)는 제1 패턴(P1) 또는 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴이 미리 표시될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 사용되는 측정 플레이트의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5a에서는 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1), 보다 자세하게는 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점들(101a)이 미리 표시된 예를 나타내고 있고, 도 5b에서는 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴으로서 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점들을 연결하는 안내선(101b)들이 미리 표시된 예를 나타내고 있다. 이와 같이, 본 발명에서는 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1) 또는 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴을 표시함으로써, 플레이트 지지부(110)가 측정 플레이트(101)를 지지할 때에 그 위치를 정확하게 정렬할 수 있고, 제어부(140)가 레이저 마킹 시스템(10)에 입력되는 제1 패턴(P1)과 패턴 촬영부(120)에 의해 촬영된 제2 패턴(P2)으로부터 보다 빠르고 정확하게 제1 편차와 제2 편차를 구할 수 있다.
한편, 도 5a 및 도 5b에서는 측정 플레이트(101)가 복수의 격자점들 또는 복수의 격자점들을 연결하는 안내선을 예로 들어 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서 이에 한정되지 않고 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
다시 도 2를 참조하면, 패턴 촬영부(120)는 제1 패턴(P1)이 측정 플레이트(101) 상에 실제로 마킹된 제2 패턴(P2)을 촬영하고(S220), 이 때 제어부(140)는 제1 패턴(P1)을 기준으로 제2 패턴(P2)에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구할 수 있다(S230).
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 측정 플레이트 상에 실제 마킹된 제2 패턴의 일 예를 나타내는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 패턴 촬영부가 제2 패턴을 촬영하는 모습을 나타내는 도면이며, 도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에서 제어부가 제2 패턴에 대한 제1 편차 및 제2 편차를 구하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제1 패턴(P1)은 레이저 마킹 시스템(10)이 입력 받은 패턴 형상을 나타내고, 제2 패턴(P2)은 레이지 마킹 시스템이 제1 패턴(P1)을 측정 플레이트(101) 상에 마킹했을 때 실제로 마킹된 패턴 형상을 나타낸다. 원칙적으로는 레이저 마킹 시스템(10)이 제1 패턴(P1)을 마킹하여 생성된 실제의 제2 패턴(P2)은 제1 패턴(P1)과 동일해야 하나, 레이저 마킹 시스템(10)의 레이저 스캐너(12)가 가지고 있는 기계적인 특성(예를 들어, X축 또는 Y축 미러의 관성 등) 때문에 틀어짐이 발생하므로 실제 마킹된 제2 패턴(P2)은 제1 패턴(P1)과 미세한 차이를 보이게 된다. 도 6에서는 제2 패턴(P2)의 형상을 강조하기 위해 설명의 편의상 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1)과 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴(101a)을 표시한 예를 도시하고 있으나, 측정 플레이트(101)에 제1 패턴(P1) 또는 제1 패턴(P1)에 대응하는 가이드 패턴이 표시되지 않을 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 장치(100)의 경우, 패턴 촬영부(120)가 측정 플레이트(101) 상에 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에는 플레이트 지지부(110)와 패턴 촬영부(120) 중 적어도 하나는 제1 축 방향 및 제2 축 방향으로 이동할 수 있다. 이로 인해 본 발명의 패턴 촬영부(120)는 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점을 보다 빠른 속도로 촬영할 수 있으며, 제어부(140)는 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점과 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점으로부터 제1 편차 및 제2 편차를 보다 빠른 속도로 구할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 구동부(130)는 플레이트 지지부(110)와 패턴 촬영부(120) 중 적어도 하나에 연결될 수 있으며, 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에 플레이트 지지부(110)와 측정 플레이트(101) 중 적어도 하나를 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 때, 패턴 촬영부(120) 및 측정 플레이트(101)는 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 등속 이동할 수 있다.
바람직하게는, 평판 형태의 XY 스테이지인 플레이트 지지부(110)는 고정하고, 패턴 촬영부(120)에만 구동부(130)를 연결하여 패턴 촬영부(120)만을 제1 축 방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2 축 방향(예를 들어, Y 방향)으로 구동시켜 제2 패턴(P2)을 촬영할 수 있다. 그러나, 이와 달리 패턴 촬영부(120)는 고정하고, 플레이트 지지부(110)에만 구동부(130)를 연결하여 플레이트 지지부(110)만을 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 구동시키거나, 패턴 촬영부(120)와 플레이트 지지부(110)를 동시에 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 구동시켜, 실질적으로 패턴 촬영부(120)가 제1 축 방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2 축 방향(예를 들어, Y 방향)으로 이동하며 제2 패턴(P2)을 촬영하는 효과를 얻을 수도 있다. 한편, 비록 도시되지는 않았으나, 구동부(130)에 연결된 플레이트 지지부(110) 또는 패턴 촬영부(120)는 필요에 따라 제3 축 방향(예를 들어, Z 방향)으로 구동될 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정 장치(100)의 경우, 제어부(140)는 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점들을 촬영할 때에 각각의 격자점들에 대해 제1 편차(또는, 제2 편차)를 먼저 구한 후 제2 편차(또는, 제1 편차)를 나중에 구할 수 있다.
먼저, 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제1 축 방향으로 적어도 한번 이동하며 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에, 제어부(140)가 제2 축 방향으로 제2 편차를 먼저 구할 수 있다.
도 8a에서는 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제1 축 방향(X 방향)으로 왕복 이동(+X, -X)하면서 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,0), P2(1,0), P2(2,0), ... , P2(2,1), P2(1,1), P2(0,1), ...을 순차적으로 촬영하는 모습을 나타내고, 도 8b에서는 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,0), P2(1,0), P2(2,0), ... , P2(2,1), P2(1,1), P2(0,1), ...을 촬영할 때에, 제어부(140)가 제1 축 방향(X 방향)에 수직한 제2 축 방향(Y 방향)으로 제2 편차 Δy (P2(0,0)), Δy (P2(1,0)), Δy (P2(2,0)), ... , Δy (P2(2,1)), Δy (P2(1,1)), Δy (P2(0,1)), ...를 순차적으로 구하는 모습을 나타내고 있다.
이와 같이, 패턴 촬영부(120)가 제1 축 방향으로 촬영함과 동시에 제어부(140)가 제2 편차를 구하고 난 후, 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제2 축 방향으로 적어도 한번 이동하며 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)을 촬영할 때에, 제어부(140)가 제1 축 방향으로 제1 편차를 구할 수 있다.
도 9a에서는 패턴 촬영부(120) 또는 측정 플레이트(101)가 제2 축 방향(Y 방향)으로 왕복 이동(+Y, -Y)하면서 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,1), P2(0,0), P2(1,0), P2(1,1), ... , P2(2,1), P2(2,0), ...을 순차적으로 촬영하는 모습을 나타내고, 도 9b에서는 패턴 촬영부(120)가 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,1), P2(0,0), P2(1,0), P2(1,1), … , P2(2,1), P2(2,0), … 을 촬영할 때에, 제어부(140)가 제2 축 방향(Y 방향)에 수직한 제1 축 방향(X 방향)으로 제1 편차 Δx (P2(0,1)), Δx (P2(0,0)), Δx (P2(1,0)), Δx (P2(1,1)), … , Δx (P2(2,1)), Δx (P2(2,0)), … 를 순차적으로 구하는 모습을 나타내고 있다.
다시 도 2를 참조하면, 제어부(140)는 단계 S230에서 구한 제1 편차과 제2 편차를 조합하여, 제2 패턴(P2)을 제1 패턴(P1)으로 변환하는 매핑 함수를 구할 수 있다(S240).
예를 들어, 제어부(140)는 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점 P1(0,0), ... , P1(7,7)과 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,0), ... , P2(7,7) 각각에 대해, 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,0), ... , P2(7,7) 각각에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 이용하여 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점 P1의 좌표와 이에 대응하는 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2의 좌표까지의 변위를 구할 수 있다. 예를 들어, 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(1,1)의 변위는 제1 축 방향의 제1 편차 Δx (P2(0,0))와 제2 축 방향의 제2 편차 Δy (P2(0,0))를 이용하여 구할 수 있다. 그리고, 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2 각각의 변위를 이용하여, 제2 패턴(P2)에 포함된 각각의 격자점 P2에 대해 제1 패턴(P1)에 포함된 격자점 P1으로 변환하는 매핑 함수를 구할 수 있다. 이러한 매핑 함수를 이용하면 사용자가 원하는 제1 패턴(P1)의 격자점들을 마킹하기 위해 실제로 입력해야 할 입력 좌표를 구할 수 있다. 한편, 도시되지는 않았으나, 제어부(140)는 제2 패턴(P2)에 포함된 격자점 P2(0,0), ... , P2(7,7) 이외의 점들에 대해서는, 인접한 격자점들을 기준으로 보간법(Interpolation)에 의해 매핑 함수를 구할 수 있다. 이 때, 보간법으로는 간단한 선형 보간법은 물론, 미정 계수법, Newton 보간법, Lagrange 보간법 등과 같은 다항식에 의한 보간법도 사용할 수 있다. 특정 좌표를 인접한 좌표들을 이용하여 보간하는 방법에 대해서는 잘 알려져 있으므로, 여기서 자세한 설명은 생략하기로 한다.
마지막으로, 제어부(140)는 제2 패턴(P2)을 제1 패턴(P1)으로 변환하는 매핑 함수를 구하고 난 후(S240), 이러한 매핑 함수를 이용하여 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 수행할 수 있다(S250).
레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 하는 방법은 크게 두 가지로 나누어 볼 수 있다. 첫번째 방법으로, 제어부(140)는 매핑 함수를 이용하여 레이저 발진기(11)의 레이저 파라미터(Laser Parameter) 및 레이저 스캐너(12)의 스캐너 파라미터(Scanner Parameter)를 설정할 수 있다. 여기서, 레이저 발진기(11)의 레이저 파라미터는 레이저 온 딜레이(Laser On Delay), 레이저 오프 딜레이(Laser Off Delay)를 의미하며, 레이저 온 딜레이과 레이저 오프 딜레이는 레이저 빔을 발생시킬 때와 종료할 때의 시간 간격을 의미한다. 또한, 레이저 스캐너(12)의 스캐너 파라미터는 마킹 시작점 및 마킹 종료점의 좌표, 마크 스텝 사이즈(Mark Step Size), 점프 스텝 사이즈(Jump Step Size), 점프 딜레이(Jump Delay)를 의미한다. 마크 스텝 사이즈는 레이저 빔을 출력할 때에 레이저 스캐너(12)의 미러가 이동하는 단위로 레이저 빔의 스팟과 스팟 사이의 간격을 설정할 수 있으며, 점프 스텝 사이즈는 레이저 빔이 출력되지 않을 때에 레이저 스캐너(12)의 미러가 이동하는 단위를 의미한다. 또한, 점프 딜레이는 레이저 마킹을 시작할 때에 필요한 시간을 의미한다. 제어부(140)가 매핑 함수를 이용하여 레이저 스캐너(12)의 스캐너 파라미터를 설정하면, 레이저 스캐너(12)는 매핑 함수에 의해 설정된 스캐너 파라미터에 따라 실제 마킹을 수행하게 되므로 원하는 마킹 형상을 얻을 수 있다.
두번째 방법으로, 제어부(140)는 매핑 함수를 이용하여 레이저 스캐너(12)로 입력되는 마킹 데이터를 변환할 수 있다. 마킹 데이터는 레이저 스캐너(12)가 문자나 도형 등을 마킹할 때에 문자나 도형을 이루는 단위 개체에 대한 데이터로서, 여기서 단위 개체란 문자 또는 도형 등을 구성하는 기본 요소로서 문자 또는 도형 등을 이루는 직선 또는 곡선 형태의 개체를 의미한다. 예를 들어, 단위 개체가 직선인 경우, 단위 개체의 마킹 시작점의 좌표 및 마킹 종료점의 좌표를 포함하고, 단위 개체가 호 또는 원인 경우, 단위 개체의 중심 좌표, 반경, 마킹 시작점의 좌표 및 마킹 종료점의 좌표를 포함할 수 있다. 사용자가 사용자 조작부(도시되지 않음)를 통해 마킹하고자 하는 문자나 도형 등을 작성 또는 편집하여 입력하면, 제어부(140)는 마킹하고자 하는 문자나 도형 등을 이루는 단위 개체들의 좌표들을 매핑 함수를 이용하여 변환할 수 있다. 따라서, 레이저 스캐너(12)는 매핑 함수에 의해 변환된 마킹 데이터에 따라 실제 마킹을 수행하게 되므로 원하는 마킹 형상을 얻을 수 있다.
본 발명에서는 제어부(140)가 매핑 함수를 이용하여 레이저 마킹 시스템(10)의 마킹 보정을 수행하는 방법으로 레이저 파라미터 또는 스캐너 파라미터를 설정하거나 마킹 데이터를 변환하는 것을 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법 및 장치에 따르면, 패턴 촬영부 또는 측정 플레이트가 이동하며 실제 마킹된 패턴의 제1 축 방향의 제1 편차와 제2 축 방향의 제2 편차를 각각 구하여 실제 마킹된 제2 패턴을 입력된 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 마킹 보정을 수행함으로써, 보다 빠르고 간단한 방법으로 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행할 수 있다. 또한, 제2 패턴을 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수에 의해 레이저 스캐너의 기계적인 특성에 의한 일그러짐이 없이 원하는 마킹 형상을 얻을 수 있으므로, 마킹 형상의 품질을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명에서는 레이저 마킹 시스템을 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 본 발명은 레이저 용접 시스템 등 다양한 형태의 레이저 가공 시스템에도 적용될 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 레이저 마킹 시스템
11: 레이저 발진기 12: 레이저 스캐너
100: 마킹 보정 장치
110: 플레이트 지지부 120: 패턴 촬영부
130: 구동부 140: 제어부

Claims (10)

  1. 레이저 마킹 시스템이 제1 패턴에 해당하는 마킹 데이터를 입력 받아 측정 플레이트에 상기 제1 패턴을 마킹하는 단계;
    패턴 촬영부가 상기 제1 패턴이 상기 측정 플레이트 상에 실제로 마킹된 제2 패턴을 촬영할 때에, 제어부가 상기 제1 패턴을 기준으로 상기 제2 패턴에 대한 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구하는 단계;
    상기 제어부가 상기 제1 편차과 상기 제2 편차를 조합하여, 상기 제2 패턴을 상기 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구하는 단계; 및
    상기 제어부가 상기 매핑 함수를 이용하여 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 단계를 포함하며,
    상기 제어부가 상기 제1 편차와 상기 제2 편차를 각각 구하는 단계는,
    상기 패턴 촬영부 또는 상기 측정 플레이트가 상기 제1 축 방향으로 적어도 한번 왕복 이동하며 상기 패턴 촬영부가 상기 제2 패턴을 촬영할 때에, 상기 제어부가 상기 제2 축 방향으로 상기 제2 편차를 구하는 단계; 및
    상기 제어부가 상기 제2 편차를 모두 구한 후, 상기 패턴 촬영부 또는 상기 측정 플레이트가 상기 제2 축 방향으로 적어도 한번 왕복 이동하며 상기 패턴 촬영부가 상기 제2 패턴을 촬영할 때에, 상기 제어부가 상기 제1 축 방향으로 상기 제1 편차를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 축 방향과 상기 제2 축 방향은 서로 직교하며, 상기 제1 패턴은 상기 제1 축 방향 및 상기 제2 축 방향을 따라 각각 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 격자점으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 촬영부 및 상기 측정 플레이트는 상기 제1 축 방향 또는 상기 제2 축 방향으로 등속 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 플레이트는 상기 제1 패턴 또는 상기 제1 패턴에 대응하는 가이드 패턴이 미리 표시된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 방법.
  6. 레이저 마킹 시스템이 입력 받은 제1 패턴과 상기 제1 패턴이 실제로 마킹된 제2 패턴을 비교하여 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치에 있어서,
    상기 레이저 마킹 시스템에 의해 상기 제1 패턴이 마킹된 측정 플레이트를 고정 지지하는 플레이트 지지부;
    상기 제1 패턴이 상기 측정 플레이트 상에 실제로 마킹된 제2 패턴을 촬영하는 패턴 촬영부;
    상기 플레이트 지지부와 상기 패턴 촬영부 중 적어도 하나에 연결되며, 상기 플레이트 지지부와 상기 패턴 촬영부 중 적어도 하나를 제1 축 방향 또는 제2 축 방향으로 이동시키는 구동부; 및
    상기 플레이트 지지부, 상기 패턴 촬영부 및 상기 구동부의 동작을 제어하고, 상기 제1 패턴을 기준으로 상기 제2 패턴에 대한 상기 제1 축 방향의 변위인 제1 편차와 상기 제2 축 방향의 변위인 제2 편차를 각각 구하여 상기 제2 패턴을 상기 제1 패턴으로 변환하는 매핑 함수를 구한 후 상기 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정을 수행하는 제어부를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 패턴 촬영부 또는 상기 측정 플레이트가 상기 제1 축 방향으로 적어도 한번 왕복 이동하며 상기 패턴 촬영부가 상기 제2 패턴을 촬영할 때에 상기 제2 편차를 구하고,
    상기 제2 편차를 모두 구한 후, 상기 패턴 촬영부 또는 상기 측정 플레이트가 상기 제2 축 방향으로 적어도 한번 왕복 이동하며 상기 패턴 촬영부가 상기 제2 패턴을 촬영할 때에 상기 제1 편차를 구하는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 축 방향과 상기 제2 축 방향은 서로 직교하며, 상기 제1 패턴은 상기 제1 축 방향 및 상기 제2 축 방향을 따라 각각 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 격자점으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치.
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 패턴 촬영부 및 상기 측정 플레이트를 상기 제1 축 방향 또는 상기 제2 축 방향으로 등속 이동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 측정 플레이트는 상기 제1 패턴 또는 상기 제1 패턴에 대응하는 가이드 패턴이 미리 표시된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 마킹 보정 장치.
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