KR101496773B1 - Apparatus and method for searching exposure seting optimum point - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 카메라로 이루어진 비젼 장치를 이용하여 최적의 노광 위치를 찾아 그 노광 위치를 보정함으로써 필름의 사행을 방지하고 정확한 위치에 패턴 형성이 가능도록 한 것으로, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 필름을 이송시키는 노광 롤러; 상기 노광 롤러의 양단을 지지하는 본체; 상기 본체의 일측에 형성되어 회전 및 이동하면서 상기 노광 롤러의 다수 위치의 영상을 촬영하는 비젼 장치; 상기 노광 롤러의 일측에 형성되어 상기 필름을 노광시키는 노광기; 및 상기 비젼 장치에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치를 제공한다.According to the present invention, an optimal exposure position is found by using a vision device composed of a plurality of cameras to correct the exposure position, thereby preventing the film from skewing and enabling pattern formation at an accurate position. To achieve the above object, An exposure roller for transferring the film; A body supporting both ends of the exposure roller; A vision device formed on one side of the main body and configured to photograph an image of a plurality of positions of the exposure roller while rotating and moving; An exposure unit formed on one side of the exposure roller to expose the film; And a controller for comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device with each other to determine an optimum position of the exposure apparatus.

Description

노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SEARCHING EXPOSURE SETING OPTIMUM POINT}[0001] APPARATUS AND METHOD FOR SEARCHING EXPOSURE SETTING OPTIMUM POINT [0002]

본 발명은 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 카메라로 이루어진 비젼 장치를 이용하여 최적의 노광 위치를 찾아 그 노광 위치를 보정함으로써 필름의 사행을 방지하고 정확한 위치에 패턴 형성이 가능도록 한 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus and method for finding an optimal position for installing an exposure apparatus, and more particularly, to an apparatus and method for detecting an optimum position for installing an exposure apparatus, The present invention relates to an apparatus and method for finding an optimum position for installing an exposure apparatus that can prevent a light from being incident on a substrate and enable formation of a pattern at an accurate position.

노광 장치에 있어서, 마스크에 형성된 회로 등의 패턴(마스크 패턴)을 작업편에 노광시킬 때, 노광 처리를 행하기 전에, 작업편에 형성된 얼라인먼트 마크와, 마스크에 형성된 얼라인먼트 마크를 사용하여, 마스크와 작업편의 위치맞춤(얼라인먼트)을 행하는 것이 알려져 있다.In the exposure apparatus, when exposure of a pattern (mask pattern) such as a circuit formed on a mask to a workpiece is performed using an alignment mark formed on the workpiece and an alignment mark formed on the mask before the exposure process, It is known that alignment of work pieces is performed.

그러나, 회로 등의 패턴이나 워크 마크가 형성되어 있지 않은 워크에 대해, 최초의 노광(퍼스트 노광이라 부르는 경우가 있다)을 행하는 경우는, 상기와 같은 위치맞춤은 불가능하다.However, in the case where a pattern such as a circuit or a work on which no work mark is formed is subjected to the first exposure (sometimes referred to as first exposure), the above-described alignment is impossible.

퍼스트 노광의 경우, 노광하는 패턴들의 간격의 정밀도는, 반송 방향의 위치결정 정밀도에 의해 정해지고, 장치가 작업편을 반송하는 반송 정밀도에 의존한다.In the case of the first exposure, the precision of the interval of the patterns to be exposed is determined by the positioning accuracy in the carrying direction, and depends on the conveyance accuracy at which the apparatus conveys the workpiece.

또, 패턴의 작업편 에지로부터의 거리(폭방향의 위치)도 정해져 있으나, 작업편 반송중에 사행이 발생하면, 형성되는 패턴의 위치가 폭방향으로 어긋나거나 비스듬해지거나 한다. 따라서, 작업편의 사행을 수정할 필요가 있다.In addition, although the distance (position in the width direction) from the workpiece edge of the pattern is also determined, when the workpiece is conveyed during meandering, the position of the pattern to be formed is shifted or oblique in the width direction. Therefore, it is necessary to revise the work schedule.

띠 형상 작업편의 사행 수정에 관한 기술은 예를 들면 일본국 특개평 9-70731호 공보에 기재되어 있다.Techniques relating to skew correction of strip-shaped work pieces are described, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-70731.

상기 공보에 기재되는 실시예는, 비교적 수광 면적이 큰 수광 소자와 발광 소자로 이루어지는 2개의 광 센서를, 띠 형상 작업편의 상류측과 하류측에 배치하여 띠 형상 작업편의 사행을 검출한다. 사행량의 수정은 2부분의 클램프(파지부)로 띠 형상 작업편의 가장자리 단부를 파지하여, 작업편을 폭방향으로 잡아당기거나 밀거나 하여 행한다.In the embodiment described in the above publication, two optical sensors including a light receiving element and a light emitting element having a relatively large light receiving area are arranged on the upstream side and the downstream side of the strip-shaped workpiece to detect the meander of the strip- The correction of the amount of shear is performed by grasping the edge portion of the strip-shaped workpiece with a two-part clamp (gripping portion) and pulling or pushing the workpiece in the width direction.

상기 공보의 실시예에 기재되는 것은, 광 센서로서 비교적 수광 면적이 큰 것을 사용해야만 하여, 광 센서가 고가이며 대형이 된다.In the embodiments of the above publication, a light sensor having a relatively large light receiving area must be used, so that the light sensor becomes expensive and large.

이를 해결하기 위하여, 대한민국 등록특허공보 제10-0544380호(2006년1월11일)에는 화상 처리 기구를 사용하여 작업편 에지를 검출하고, 얻어진 에지의 위치 정보에 기초하여 띠 형상 작업편의 사행 수정을 행하는 띠 형상 작업편의 노광장치가 개시되어 있다.To solve this problem, in Korean Patent Registration No. 10-0544380 (January 11, 2006), a workpiece edge is detected by using an image processing mechanism, and based on the positional information of the obtained edge, Shaped workpiece exposure apparatus that performs the exposure of the workpiece.

도 1은 개시된 종래의 노광장치에 관한 것으로, 띠 형상 작업편(W)의 에지를 촬영하는 에지 검출 수단(2, 2′)을 띠 형상 작업편(W)의 반송 방향의 2부분에 설치하고, 에지검출 수단(2, 2′)의 CCD 카메라(2a)의 시야 내에 작업편 에지와 교차하는 직선부를 갖는 마스크(2c)를 배치한다. 또, 화상처리부(3)에, 상기 마스크와 띠 형상 작업편(W)의 에지가 만드는 L자형 또는 오목형 등의 형상의 패턴을 등록한다. 화상처리부(3)는 상기 등록 패턴에 의해, 에지 검출 수단(2, 2′)의 화상을 서치하여, 작업편(W)의 에지의 위치 좌표를 구한다. 제어장치(4)는 작업편 에지의 위치 좌표로부터 띠 형상 작업편(W)의 사행량을 연산하여, 미리 설정된 사행량보다도 큰 경우 에 제어 신호를 출력하고, 사행량을 수정하도록 작업편(W)을 폭방향 및/또는 회전 방향으로 이동시킨다.Fig. 1 shows a conventional exposure apparatus. In Fig. 1, edge detecting means 2, 2 'for taking an edge of a strip-shaped workpiece W are installed at two portions in the conveying direction of the strip- , A mask 2c having a linear portion intersecting the workpiece edge is arranged in the field of view of the CCD camera 2a of the edge detection means 2, 2 '. In the image processing section 3, a pattern of an L-shaped or concave shape such as that created by the mask and the edge of the strip-shaped workpiece W is registered. The image processing section 3 searches the image of the edge detecting means 2, 2 'by the registration pattern to obtain the position coordinates of the edge of the workpiece W. The control device 4 calculates a meandering amount of the strip-shaped workpiece W from the position coordinates of the workpiece edge, outputs a control signal when the amount of deviation is greater than a preset meandering amount, ) In the width direction and / or the rotation direction.

그러나, 상기와 같이 개시된 종래의 노광장치는, 에지를 촬영하여 사행을 검출하기 때문에 보다 정확한 위치에서 패턴형성이 불가능함과 아울러, 노광기의 설치 위치를 보정할 수 없는 문제점이 있었다.
However, in the conventional exposure apparatus disclosed in the above, since the meandering is detected by photographing the edge, it is impossible to form the pattern at a more accurate position, and the installation position of the exposure apparatus can not be corrected.

대한민국 등록특허공보 제10-0544380호(2006년1월11일)Korean Patent Registration No. 10-0544380 (January 11, 2006)

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 다수의 카메라로 이루어진 비젼 장치를 이용하여 최적의 노광 위치를 찾아 그 노광 위치를 보정함으로써 필름의 사행을 방지하고 정확한 위치에 패턴 형성이 가능도록 한 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치 및 그 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
The present invention overcomes the above-described problems of the prior art. The present invention uses a vision device composed of a plurality of cameras to find an optimum exposure position and corrects the exposure position, thereby preventing the film from skewing and forming a pattern at an accurate position. And to provide an apparatus and method for finding an optimum position for installing an exposure device for performing exposure.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 필름을 이송시키는 노광 롤러; 상기 노광 롤러의 양단을 지지하는 본체; 상기 본체의 일측에 형성되어 회전 및 이동하면서 상기 노광 롤러의 다수 위치의 영상을 촬영하는 비젼 장치; 상기 노광 롤러의 일측에 형성되어 상기 필름을 노광시키는 노광기; 및 상기 비젼 장치에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus comprising: an exposure roller for transferring a film; A body supporting both ends of the exposure roller; A vision device formed on one side of the main body and configured to photograph an image of a plurality of positions of the exposure roller while rotating and moving; An exposure unit formed on one side of the exposure roller to expose the film; And a controller for comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device with each other to determine an optimum position of the exposure apparatus.

상기 비젼 장치는 영상을 촬영하는 다수의 카메라; 반원형상으로 형성되어 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체; 상부에 다수의 볼베어링이 형성되어 상기 회전체를 상기 노광 롤러의 폭방향으로 회전가능하게 지지하고, 하부에 이동바퀴를 구비하여 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동시키는 지지대;를 포함할 수 있다.The vision device includes a plurality of cameras for capturing an image; A rotating body formed in a semicircular shape and arranged at a predetermined interval so that the plurality of cameras can be photographed along a circumferential surface of the exposure roller; And a supporting base having a plurality of ball bearings formed on its upper portion so as to rotatably support the rotating body in the width direction of the exposure roller and having a moving wheel at a lower portion thereof for moving the plurality of cameras in the longitudinal direction of the exposure roller can do.

상기 제어장치는; 상기 다수의 카메라로 촬영된 영상으로부터 필름의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기의 최적의 설치 위치로 판단할 수 있다.The control device comprising: It is possible to calculate the meandering amount of the film from the images photographed by the plurality of cameras and to compute the meandering amount of the film to judge the position where the meandering amount is the smallest to be the optimum installation position of the exposure machine.

또한, 본 발명의 다른 특징은, 본체를 통하여 상기 노광 롤러의 양단을 지지하고, 필름을 이송시키는 단계; 상기 노광 롤러의 일측에 형성된 노광기를 통하여 상기 필름을 노광시키는 단계; 상기 본체의 일측에 형성되어 회전 및 이동하는 비젼 장치를 통하여 상기 노광 롤러의 다수 위치의 영상을 촬영하는 단계; 및 제어장치로부터 상기 비젼 장치에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus including: a support for supporting both ends of the exposure roller through a body, Exposing the film through an exposure device formed on one side of the exposure roller; Taking an image of a plurality of positions of the exposure roller through a vision device formed on one side of the body and rotating and moving; And comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device from the control device with each other to determine an optimum position of the exposure apparatus.

상기 비젼 장치를 통하여 영상을 촬영하는 단계는; 반원형상으로 형성되어 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체를 통하여 상기 노광 롤러의 폭방향으로 회전하면서 일정 간격으로 촬영하는 단계; 하부에 이동바퀴를 구비하여 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동시키는 지지대를 통하여 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동하면서 촬영하는 단계;를 포함할 수 있다.The step of photographing an image through the vision device includes: Photographing a plurality of cameras at regular intervals while rotating in a width direction of the exposure roller through a rotating body formed in a semicircular shape and arranged at regular intervals so that a plurality of cameras can be photographed along a circumferential surface of the exposure roller; And photographing the plurality of cameras while moving in the longitudinal direction of the exposure roller through a support for moving the plurality of cameras in the longitudinal direction of the exposure roller.

상기 제어장치에서 노광기의 설치 위치를 판단하는 단계는; 상기 다수의 카메라로 촬영된 영상으로부터 필름의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기의 최적의 설치 위치로 판단할 수 있다.
The step of determining an installation position of the exposure apparatus in the control device includes: It is possible to calculate the meandering amount of the film from the images photographed by the plurality of cameras and to compute the meandering amount of the film to judge the position where the meandering amount is the smallest to be the optimum installation position of the exposure machine.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치 및 그 방법에 의하면, 다수의 카메라로 이루어진 비젼 장치를 이용하여 최적의 노광 위치를 찾아 그 노광 위치를 보정함으로써 필름의 사행을 방지하고 정확한 위치에 패턴 형성이 가능도록 하는 효과가 있다.
According to the apparatus and method for finding an optimal position for installing the exposure apparatus according to the present invention, the optimal exposure position is found by using a vision apparatus including a plurality of cameras, and the exposure position is corrected, And it is possible to form a pattern at an accurate position.

도 1은 개시된 종래의 노광장치를 나타낸 블록도.
도 2는 본 발명에 따른 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치의 바람직한 일실시예를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 비젼 장치를 상세히 나타낸 사시도.
도 4는 도 3의 정면도.
도 5 및 도 6은 도 4의 회전 상태를 나타낸 도면이다.1 is a block diagram showing a conventional exposure apparatus disclosed in the related art.
2 is a perspective view showing a preferred embodiment of an apparatus for finding an optimum position for installing an exposure apparatus according to the present invention.
3 is a perspective view showing the vision device of FIG. 2 in detail;
Figure 4 is a front view of Figure 3;
5 and 6 are views showing the rotation state of FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치의 바람직한 일실시예를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 비젼 장치를 상세히 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 정면도이고, 도 5 및 도 6은 도 4의 회전 상태를 나타낸 도면이다.
FIG. 2 is a perspective view showing a preferred embodiment of an apparatus for finding an optimum position for installing an exposure apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view showing the vision apparatus of FIG. 2 in detail, 5 and 6 are views showing the rotation state of FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치는, 필름(10)을 이송시키는 노광 롤러(20); 상기 노광 롤러(20)의 양단을 지지하는 본체(30); 상기 본체(30)의 일측에 형성되어 회전 및 이동하면서 상기 노광 롤러(20)의 다수 위치의 영상을 촬영하는 비젼 장치(40); 상기 노광 롤러(20)의 일측에 형성되어 상기 필름(10)을 노광시키는 노광기(50); 및 상기 비젼 장치(40)에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 제어장치(60)를 포함한다.As shown in FIG. 2, an apparatus for finding an optimum position for installing an exposure apparatus according to the present invention includes: an exposure roller 20 for transferring a film 10; A main body 30 for supporting both ends of the exposure roller 20; A vision device (40) formed on one side of the main body (30) and photographing an image of a plurality of positions of the exposure roller (20) while rotating and moving; An exposure device 50 formed on one side of the exposure roller 20 to expose the film 10; And a controller (60) for comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device (40) with each other to determine an optimum exposure apparatus installation position.

원통형으로 형성된 노광 롤러(20)는 필름(10)을 그 외주면에 감아서 이송시킨다. 여기서 상기 필름(10)은 다양한 종류의 필름이 사용될 수 있으며, 특히 FPR 필름인 것이 바람직하다.An exposure roller 20 formed in a cylindrical shape winds the film 10 around its outer peripheral surface and transports the film. Here, the film 10 may be various kinds of films, and is preferably an FPR film.

본체(30)는 상기 노광 롤러(20)의 양단을 지지하며 노광 롤러(20)를 일정 속도로 회전시킨다.The main body 30 supports both ends of the exposure roller 20 and rotates the exposure roller 20 at a constant speed.

비젼 장치(40)는 상기 본체(30)의 일측에 형성되어 상기 노광 롤러(20)의 다수의 위치를 촬영하고 노광기 설치 위치를 판단한다.The vision device 40 is formed on one side of the main body 30 to photograph a plurality of positions of the exposure roller 20 and determine the position of the exposure device.

상기 비젼 장치(40)는, 영상을 촬영하는 다수의 카메라(41); 반원형상으로 형성되어 상기 다수의 카메라(41)를 상기 노광 롤러(20)의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체(42); 상부에 다수의 볼베어링(43)이 형성되어 상기 회전체(42)를 상기 노광 롤러(20)의 폭방향으로 회전가능하게 지지하고, 하부에 이동바퀴(45)를 구비하여 상기 다수의 카메라(41)를 상기 노광 롤러(20)의 길이방향으로 이동시키는 지지대(46);를 포함한다. 미설명 부호 44는 회전체(42)를 지지대(46)에 회전가능하게 고정시키기 위한 회전체 고정볼트이다.The vision device (40) includes a plurality of cameras (41) for capturing images; A rotating body (42) formed in a semicircular shape and arranged at a predetermined interval so that the plurality of cameras (41) can be photographed along the circumferential surface of the exposure roller (20); A plurality of ball bearings 43 are formed on the upper portion of the rotating roller 42 so that the rotating body 42 is rotatably supported in the width direction of the exposure roller 20, ) In the longitudinal direction of the exposure roller (20). Reference numeral 44 denotes a rotating body fixing bolt for rotatably fixing the rotating body 42 to the supporting base 46.

여기서, 상기 다수의 카메라(41)는 원통형의 노광 롤러(20)의 원주면을 일정 간격으로 촬영할 수 있도록 대략 180도 정도의 반원 구간에 일정간격으로 배치되는 것이 바람직하다.The plurality of cameras 41 are preferably arranged at regular intervals in a semicircle of about 180 degrees so that the circumferential surfaces of the cylindrical exposure rollers 20 can be photographed at regular intervals.

또한, 상기 제어장치(60)는; 상기 다수의 카메라(41)로 촬영된 영상으로부터 필름(10)의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기(50)의 최적의 설치 위치로 판단하는 것이 바람직하다.Further, the control device (60) comprises: It is preferable to calculate the meandering amount of the film 10 from the images photographed by the plurality of cameras 41 and compare the meandering amounts of the films 10 to judge the position where the meandering amount is the smallest to be the optimum installation position of the exposure machine 50.

이를 위하여, 제어장치(60)는 수치 연산 및 판단 기능을 갖는 마이크로 프로세서, CPU, MPU 등을 포함하며, 모니터(70)와 키보드(80)가 구비된 통상의 퍼스널 컴퓨터 또는 서버 컴퓨터가 적용될 수 있다.To this end, the control device 60 includes a microprocessor, a CPU, and an MPU having a numerical calculation and judgment function, and may be a conventional personal computer or a server computer provided with a monitor 70 and a keyboard 80 .

또한, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 방법은, 상기 본체(30)를 통하여 상기 노광 롤러(20)의 양단을 지지하고, 필름(10)을 이송시키는 단계; 상기 노광 롤러(20)의 일측에 형성된 노광기(50)를 통하여 상기 필름(10)을 노광시키는 단계; 상기 본체(30)의 일측에 형성되어 회전 및 이동하는 비젼 장치(40)를 통하여 상기 노광 롤러(20)의 다수 위치의 영상을 촬영하는 단계; 및 제어장치(60)로부터 상기 비젼 장치(40)에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.A method for finding an optimum position for installing an exposure apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes the steps of supporting both ends of the exposure roller 20 through the main body 30 and transferring the film 10 ; Exposing the film (10) through an exposure device (50) formed on one side of the exposure roller (20); Taking an image of a plurality of positions of the exposure roller (20) through a vision device (40) formed on one side of the main body (30) and rotating and moving; And comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device 40 from the control device 60 with each other to determine an optimum exposure device installation position.

이때, 상기 비젼 장치(40)를 통하여 영상을 촬영하는 단계는; 반원형상으로 형성되어 다수의 카메라(41)를 상기 노광 롤러(20)의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체(42)를 통하여 상기 노광 롤러(20)의 폭방향으로 회전하면서 일정 간격으로 촬영하는 단계를 수행한다. 이후, 하부에 이동바퀴(45)를 구비하여 상기 다수의 카메라(41)를 상기 노광 롤러(20)의 길이방향으로 이동시키는 지지대(46)를 통하여 상기 노광 롤러(20)의 길이방향으로 이동하면서 촬영하는 단계;를 수행할 수 있다.The step of photographing an image through the vision device 40 may include: And is rotatable in the width direction of the exposure roller 20 through a rotating body 42 formed in a semicircular shape and arranged at a predetermined interval so that a plurality of cameras 41 can be photographed along the circumferential surface of the exposure roller 20 A step of photographing at regular intervals is performed. Thereafter, a moving wheel 45 is disposed at a lower portion of the exposure roller 20 to move the plurality of cameras 41 in the longitudinal direction of the exposure roller 20, A step of photographing can be performed.

또한, 상기 제어장치(60)에서 노광기의 설치 위치를 판단하는 단계는; 상기 다수의 카메라(41)로 촬영된 영상으로부터 필름(10)의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기(50)의 최적의 설치 위치로 판단한다.The step of determining an installation position of the exposure device in the control device 60 may include: The amount of meandering of the film 10 is calculated from the images photographed by the cameras 41 and compared with each other so that the position where the amount of meander is the smallest is determined as the optimal installation position of the exposure machine 50.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 일실시예에 의하면, 다수의 카메라로 이루어진 비젼 장치를 이용하여 최적의 노광 위치를 찾아 그 노광 위치를 보정함으로써 필름의 사행을 방지하고 정확한 위치에 패턴 형성이 가능도록 한다.According to an embodiment of the present invention configured as described above, an optimum exposure position is found by using a vision device composed of a plurality of cameras, and the exposure position is corrected to prevent meandering of the film, do.

본 명세서에 기재된 본 발명의 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 관한 것으로 발명의 기술적 사상을 모두 포괄하는 것은 아니므로, 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 따라서, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 권리범위 내에 있게 된다.The embodiments of the present invention described in the present specification and the configurations shown in the drawings relate to the most preferred embodiments of the present invention and are not intended to encompass all of the technical ideas of the present invention so that various equivalents And variations are possible. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. , And such changes are within the scope of the claims.

10 : 필름 20 : 노광 롤러
30 : 본체 40 : 비젼 장치
41 : 다수의 카메라 42 : 회전체
43 : 볼베어링 44 : 회전체 고정볼트
45 : 바퀴 46 : 지지대
50 : 노광기 60 : 제어 장치
70 : 모니터 80 : 키보드10: film 20: exposure roller
30: Body 40: Vision device
41: multiple cameras 42: rotating body
43: Ball bearing 44: Rotor fixing bolt
45: wheel 46: support
50: Exposure device 60: Control device
70: Monitor 80: Keyboard

Claims (6)

필름을 이송시키는 노광 롤러;
상기 노광 롤러의 양단을 지지하는 본체;
상기 본체의 일측에 형성되어 회전 및 이동하면서 상기 노광 롤러의 다수 위치의 영상을 촬영하며, 상기 영상을 촬영하는 다수의 카메라와, 반원형상으로 형성되어 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체와, 상부에 다수의 볼베어링이 형성되어 상기 회전체를 상기 노광 롤러의 폭방향으로 회전가능하게 지지하고, 하부에 이동바퀴를 구비하여 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동시키는 지지대로 형성된 비젼 장치;
상기 노광 롤러의 일측에 형성되어 상기 필름을 노광시키는 노광기; 및
상기 비젼 장치에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치.
An exposure roller for transferring the film;
A body supporting both ends of the exposure roller;
A plurality of cameras formed on one side of the main body and configured to photograph an image at a plurality of positions of the exposure roller while being rotated and moved and to photograph the image; A plurality of ball bearings formed at an upper portion of the rotating body, the rotating body being rotatably supported in a width direction of the exposure roller, and a moving wheel disposed at a lower portion of the rotating body, A vision device formed with a support for moving the exposure roller in the longitudinal direction;
An exposure unit formed on one side of the exposure roller to expose the film; And
And a control device for comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device with each other to determine an optimum position of the exposure device.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 제어장치는;
다수의 카메라로 촬영된 영상으로부터 필름의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기의 최적의 설치 위치로 판단하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 장치.
The method according to claim 1,
The control device comprising:
Calculating a meandering amount of the film from the images photographed by the plurality of cameras, comparing the meandering amounts of the films, and determining a position where the meandering amount is the smallest to be an optimum installation position of the exposure apparatus.
본체를 통하여 노광 롤러의 양단을 지지하고, 필름을 이송시키는 단계;
상기 노광 롤러의 일측에 형성된 노광기를 통하여 상기 필름을 노광시키는 단계;
본체의 일측에 형성되어 회전 및 이동하는 비젼 장치를 통하여 상기 노광 롤러의 다수 위치의 영상을 촬영하며, 반원형상으로 형성되어 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 원주면을 따라 촬영할 수 있도록 일정 간격으로 배치하는 회전체를 통하여 상기 노광 롤러의 폭방향으로 회전하면서 일정 간격으로 촬영하고, 하부에 이동바퀴를 구비하여 상기 다수의 카메라를 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동시키는 지지대를 통하여 상기 노광 롤러의 길이방향으로 이동하면서 촬영하는 단계;
및 제어장치로부터 상기 비젼 장치에 의하여 촬영된 다수 위치의 영상을 서로 비교하여 최적의 노광기 설치 위치를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 방법.
Supporting both ends of the exposure roller through the body, and transferring the film;
Exposing the film through an exposure device formed on one side of the exposure roller;
A plurality of cameras arranged at predetermined intervals so as to be able to photograph a plurality of cameras along a circumferential surface of the exposure roller; And a plurality of cameras are provided on the lower side of the support rollers to move the plurality of cameras in the longitudinal direction of the exposure rollers, And taking a picture while moving to a second position;
And comparing the images of the plurality of positions photographed by the vision device from the control device with each other to determine an optimal position of the exposure device.
삭제delete 제 4항에 있어서,
상기 제어장치에서 노광기의 설치 위치를 판단하는 단계는;
다수의 카메라로 촬영된 영상으로부터 필름의 사행량을 계산하고 각각을 비교하여, 사행량이 가장 적은 위치를 노광기의 최적의 설치 위치로 판단하는 것을 특징으로 하는 노광기를 설치하기 위한 최적 위치를 찾는 방법.
5. The method of claim 4,
The step of determining an installation position of the exposure apparatus in the control device includes:
Calculating a meandering amount of the film from the images photographed by the plurality of cameras, comparing the meandering amounts of the films, and determining a position where the meandering amount is the smallest to be an optimum installation position of the exposure apparatus.
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