KR101476794B1 - Socket for test and fabrication method thereof - Google Patents

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KR101476794B1 KR1020130102707A KR20130102707A KR101476794B1 KR 101476794 B1 KR101476794 B1 KR 101476794B1 KR 1020130102707 A KR1020130102707 A KR 1020130102707A KR 20130102707 A KR20130102707 A KR 20130102707A KR 101476794 B1 KR101476794 B1 KR 101476794B1
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Abstract

The present invention relates to a socket for a test and a method for manufacturing the same. More specifically, the socket for a test, which is provided to electrically connect a terminal of a device to be tested and a pad of a test device, comprises: a housing having through holes formed to be extended in a horizontal direction at every locations corresponding to terminals of a device to be tested; a first conductive spring which is inserted into the through hole of the housing, can be stretched and compressed, and is made of a conductive material; and a seat member which is installed to be fixed in the lower surface side of the housing to cross the through holes and is coupled to the first conductive spring to restrict the inside together with the outside of the first conductive spring.

Description

테스트용 소켓 및 테스트용 소켓의 제조방법{Socket for test and fabrication method thereof}Socket for test and fabrication method "

본 발명은 테스트용 소켓 및 테스트용 소켓의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 간편하고 유지보수가 용이한 테스트용 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to a test socket and a method of manufacturing the test socket, and more particularly, to a test socket that is simple to manufacture and easy to maintain.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스와 같은 피검사기판의 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 검사장치로부터 소정의 테스트신호를 피검사기판으로 흘려보내 그 기판의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 검사장치와 피검사기판은 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트용 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 그 이유는 검사장치의 단자에 피검사기판의 단자가 직접 접촉하는 경우에는 반복적인 테스트과정에서 검사장치의 단자가 마모 또는 파손이 발생하게 되며 이러한 검사장치의 단자가 파손되면 전체적인 검사장치를 교체해야 하여 전체적으로 많은 비용이 발생될 요인이 되기 때문이다. 따라서, 테스트용 소켓을 사용하게 되면 피검사기판은 검사장치에 장착된 테스트소켓에 접촉하게 되고 이에 따라 테스트용 소켓이 반복적인 접촉에 의하여 마모 또는 파손되며 그 테스트용 소켓만을 교체하여 주면 되어 전체적인 교체비용을 절약할 수 있게 된다.In general, an electrical test is performed to determine whether or not a substrate to be inspected, such as a semiconductor device that has been manufactured, is defective. Specifically, a predetermined test signal is caused to flow from the testing apparatus to the test substrate to determine whether the substrate is short-circuited. Such an inspection apparatus and a substrate to be inspected are not directly connected to each other, but are indirectly connected using an intermediate apparatus called a so-called test socket. This is because when the terminal of the inspection board directly contacts the terminal of the inspection apparatus, the terminal of the inspection apparatus is worn or damaged in the repeated test process. If the terminal of the inspection apparatus is broken, the whole inspection apparatus should be replaced This is because it causes a large cost as a whole. Therefore, when the test socket is used, the test substrate is brought into contact with the test socket mounted on the test apparatus, and thus the test socket is abraded or damaged by repetitive contact, and only the test socket is replaced, Thereby saving costs.

한편, 이러한 테스트용 소켓으로는 다양한 방식이 채용되고 있으나 스프링 타입 또는 러버타입이 널리 이용되고 있다. On the other hand, various test sockets are used, but spring type or rubber type are widely used.

도 1에서는 종래기술에 따른 스프링 타입을 도시하고 있으며, 이러한 스프링 타입의 테스트용 소켓(100)은 피검사 디바이스(130)의 단자(131)와 대응되는 위치마다 상하방향으로 관통공(111)이 형성되는 하우징(110)과, 상기 하우징(110)의 관통공(111) 내에 삽입되며 적어도 상하단이 하우징(110)으로부터 돌출되는 스프링(120)을 포함하여 구성된다. 이때, 하우징(110)은 절연성 소재로 이루어져 전기적인 쇼트가 일어나는 것을 방지한다. 상기 테스트용 소켓(100)은 검사장치(140)에 탑재되며 각 스프링(120)은 검사장치(140)의 패드(141)와 접촉된다.The spring type test socket 100 has a through hole 111 in a vertical direction at positions corresponding to the terminals 131 of the device under test 130 And a spring 120 inserted into the through hole 111 of the housing 110 and having at least upper and lower ends protruded from the housing 110. At this time, the housing 110 is made of an insulating material to prevent electrical short-circuiting. The test socket 100 is mounted on the inspection apparatus 140 and each spring 120 is contacted with the pad 141 of the inspection apparatus 140.

이러한 테스트용 소켓은 검사장치에 탑재된 상태에서 검사가 필요한 피검사 디바이스의 단자와 접촉되도록 구성되어 있다. 상기 피검사 디바이스는 소정의 트레이로부터 운반되어 이동되고 상기 테스트용 소켓에 안착됨으로서 전기적인 검사를 수행하게 한다. 한편, 테스트용 소켓에 안착된 피검사 디바이스는 각 단자가 스프링과 접촉되어 있는 상태로 전기적인 테스트 준비상태에 놓이게 되는데, 이때 검사장치로부터 소정의 신호가 인가되면 그 인가된 신호가 스프링을 거쳐 상기 피검사디바이스로 전달됨으로서 소정의 테스트를 수행하게 되는 것이다.The test socket is configured to be in contact with a terminal of the device to be inspected which is required to be inspected while being mounted on the inspection device. The device to be inspected is carried from a predetermined tray, moved, and seated in the test socket, thereby performing electrical inspection. On the other hand, the device to be inspected placed on the test socket is placed in an electrical test preparation state in which each terminal is in contact with the spring. When a predetermined signal is applied from the testing device, And is then transmitted to the inspected device to perform a predetermined test.

이러한 종래기술에 따르는 테스트용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.The test socket according to the prior art has the following problems.

즉, 상술한 종래기술에 따른 테스트용 소켓은 내부에 스프링이 하우징으로부터 이탈하는 것을 방지하기 위하여, 하우징의 관통공 상하단에 단턱을 구비하고 있다. 즉, 관통공 주위에 배치되는 단턱에 상기 스프링이 걸리게 함으로서 상기 하우징 내에 유지될 수 있도록 한다. 그러나, 이와 같이 하우징의 상하단에 단턱을 마련하기 위해서는 하우징에 다수의 드릴링 작업을 수행해야 한다는 문제점이 있다. 또한, 단턱이 마련되기 위해서는 하우징이 최소한의 두께를 가지고 있어야 한다는 문제점이 있다. 즉, 하우징의 두께가 얇은 경우에는 그에 따라서 단턱의 크기도 작아져야 하며 이에 따라서 외부로부터 가해지는 충격에 의하여 상기 단턱이 쉽게 파손되는 문제점이 있게 된다.That is, the test socket according to the related art has a step at the upper and lower ends of the through-hole of the housing to prevent the spring from being detached from the housing. That is, the spring is engaged with the stepped portion disposed around the through-hole so as to be held in the housing. However, in order to form a step on the upper and lower ends of the housing, a plurality of drilling operations must be performed on the housing. Further, there is a problem that the housing must have a minimum thickness in order to provide a step. That is, when the thickness of the housing is thin, the size of the step should be reduced accordingly, and thus the step is easily broken by an impact applied from the outside.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 제작이 용이하면서도 내구성이 우수한 테스트용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a test socket that is easy to manufacture and has excellent durability.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 테스트용 소켓으로서,According to an aspect of the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals of an apparatus to be tested with pads of an inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장되는 관통공이 형성되는 하우징;A housing having a through hole extending in a vertical direction at each position corresponding to a terminal of the device to be inspected;

상기 하우징의 관통공 내에 삽입되며 신장과 압축이 가능하며 전도성 소재로 이루어지는 제1전도성 스프링; 및A first conductive spring inserted into the through hole of the housing and made of a conductive material capable of being stretched and compressed; And

상기 관통공을 가로지르도록 상기 하우징의 하면측에 고정설치되되, 상기 제1전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속하도록 상기 제1전도성 스프링과 결합되어 있는 시트부재;를 포함한다.And a sheet member fixed to the lower surface of the housing so as to cross the through hole and being coupled with the first conductive spring so as to confine the inside and the outside of the first conductive spring.

상기 테스트용 소켓에서, In the test socket,

상기 시트부재는 유연성이 있는 합성수지소재로 이루어질 수 있다.The sheet member may be made of a flexible synthetic resin material.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 시트부재는,Wherein,

상기 제1전도성 스프링의 외면과 접촉되고 상기 제1전도성 스프링의 외부에 배치되는 외부 시트체와, 상기 제1전도성 스프링의 내면과 접촉되며 상기 제1전도성 스프링의 내부에 배치되는 내부 시트체를 포함할 수 있다.An outer sheet body that is in contact with the outer surface of the first conductive spring and is disposed outside the first conductive spring, and an inner sheet body that is in contact with the inner surface of the first conductive spring and is disposed inside the first conductive spring can do.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 제1전도성 스프링의 하단은 상기 제1시트부재의 하면으로부터 돌출될 수 있다.The lower end of the first conductive spring may protrude from the lower surface of the first sheet member.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 제1전도성 스프링의 내부에는 동일축방향으로 연장되는 제2전도성 스프링이 더 구비될 수 있다.The first conductive spring may further include a second conductive spring extending in the same axial direction.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 제2전도성 스프링은 상기 시트부재를 관통하도록 연장되고 상기 시트부재는 상기 제2전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속할 수 있다.The second conductive spring extends to penetrate the sheet member and the sheet member can restrain the inside and the outside of the second conductive spring together.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 제1전도성 스프링의 상단에는, 상기 제1전도성 스프링과 결합되는 탐침전극이 배치될 수 있다.A probe electrode coupled to the first conductive spring may be disposed at an upper end of the first conductive spring.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 탐침전극은 상기 제1전도성 스프링의 상단에 끼워걸릴 수 있다.The probe electrode may be fitted to the upper end of the first conductive spring.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 하우징의 상부로서, 상기 관통공의 주변에는 하측으로 갈수록 점차적으로 직경이 감소되는 테이퍼부가 마련될 수 있다.As the upper portion of the housing, a tapered portion whose diameter is gradually decreased toward the lower side may be provided around the through hole.

상기 테스트용 소켓에서,In the test socket,

상기 하우징의 관통공은 길이방향으로 동일직경을 가질 수 있다.The through-holes of the housing may have the same diameter in the longitudinal direction.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 테스트용 소켓으로서,According to an aspect of the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals of an apparatus to be tested with pads of an inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장되는 관통공이 형성되는 하우징;A housing having a through hole extending in a vertical direction at each position corresponding to a terminal of the device to be inspected;

상기 하우징의 관통공 내에 삽입되며 신장과 압축이 가능하며 전도성 소재로 이루어지는 제1전도성 스프링; 및A first conductive spring inserted into the through hole of the housing and made of a conductive material capable of being stretched and compressed; And

상기 관통공을 가로지르도록 상기 하우징에 고정설치되되, 상기 제1전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속하도록 상기 제1전도성 스프링과 결합되어 있는 시트부재;를 포함할 수 있다.And a sheet member fixed to the housing so as to cross the through hole and being coupled with the first conductive spring so as to confine the inside and the outside of the first conductive spring.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트용 소켓의 제조방법은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 전기적으로 연결시키기 위한 테스트용 소켓의 제조방법으로서,According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a test socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected to a pad of an inspection apparatus,

(a) 시트형상의 수용공간이 마련되는 금형을 마련하고, 그 금형의 수용공간 내에 액상의 합성수지액을 충진하는 단계;(a) providing a mold provided with a sheet-like accommodation space and filling a liquid synthetic resin solution in the cavity of the mold;

(b) 상기 액상의 합성수지액 내에 제1전도성 스프링을 침투시키는 단계;(b) infiltrating the first conductive spring in the liquid synthetic resin solution;

(c) 상기 액상의 합성수지액을 경화시켜 시트부재를 제조하는 단계;(c) curing the liquid synthetic resin solution to produce a sheet member;

(d) 상기 금형으로부터 상기 시트부재를 제거하는 단계; 및(d) removing the sheet member from the mold; And

(e) 다수의 관통구멍이 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 형성된 하우징을 준비하고, 상기 하우징의 관통공에 상기 제1전도성 스프링을 삽입하고 상기 시트부재를 상기 하우징에 고정시키는 단계;를 포함한다.(e) preparing a housing in which a plurality of through holes are formed at positions corresponding to terminals of the device to be inspected, inserting the first conductive springs into the through holes of the housing, and fixing the sheet member to the housing; .

상기 제조방법의 (a) 단계에서, 상기 금형내의 수용공간에는 수용층이 형성되어 있으며, 상기 수용층은 상기 합성수지액의 하부에 배치될 수 있다.In the step (a) of the manufacturing method, a receptive layer is formed in the receiving space in the mold, and the receptive layer may be disposed under the synthetic resin liquid.

상기 제조방법의 (b) 단계에서, 상기 제1전도성 스프링은 그 단부가 상기 합성수지액을 통과하여 적어도 일부가 상기 수용층 내에 배치될 수 있다.In the step (b) of the manufacturing method, the end of the first conductive spring may pass through the synthetic resin solution and at least a part thereof may be disposed in the receptive layer.

본 발명의 테스트용 소켓은, 제1전도성 스프링이 시트부재에 일체화되어 결합되어 하우징 내에 배치되어 있어 제작이 간편하고 시트부재를 교체함에 의하여 제1전도성 스프링을 교체할 수 있어 유지보수가 편리하다는 장점이 있다.The test socket of the present invention is advantageous in that the first conductive spring is integrally combined with the sheet member and is disposed in the housing so that the first conductive spring is easily manufactured and the first conductive spring can be replaced by replacing the sheet member, .

도 1은 종래기술에 따른 테스트용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트용 소켓을 평면도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면도.
도 4 및 도 5는 도 2의 테스트용 소켓의 작동모습을 도시한 도면.
도 6은 도 2의 테스트용 소켓을 제조하는 방법을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트용 소켓을 나타내는 도면.1 shows a socket for testing according to the prior art;
2 is a plan view of a test socket according to an embodiment of the present invention;
3 is a sectional view taken along the line III-III of Fig.
Figs. 4 and 5 are views showing an operation of the test socket of Fig. 2; Fig.
6 is a view showing a method of manufacturing the test socket of FIG. 2;
7 shows a socket for testing according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일실시예에 따른 테스트용 소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명하겠다.Hereinafter, a test socket according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일실시예에 따른 테스트용 소켓(10)은, 피검사 디바이스(70)와 검사장치(80)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(70)의 단자(71)와 검사장치(80)의 패드(81)를 서로 전기적으로 접속시키는 것이다.The test socket 10 according to the embodiment of the present invention is disposed between the device under test 70 and the inspecting device 80 and is provided between the terminal 71 of the device under test 70 and the inspecting device 80, The pads 81 of the pads 81 are electrically connected to each other.

이러한 테스트용 소켓(10)은, 하우징(21), 제1전도성 스프링(30), 제2전도성 스프링(40), 시트부재(50) 및 탐침전극(60)을 포함하여 구성된다.The test socket 10 includes a housing 21, a first conductive spring 30, a second conductive spring 40, a sheet member 50, and a probe electrode 60.

상기 하우징(21)은 테스트용 소켓(10)의 몸체를 구성하는 것으로서, 대략 소정의 두께를 가지는 평판형상으로 이루어지며 절연성의 소재로 이루어진다. 구체적으로 상기 하우징(21)은 가공성이 우수하면서도 절연성이 좋은 합성수지소재로 이루어질 수 있다. The housing 21 constitutes the body of the test socket 10 and has a flat plate shape having a predetermined thickness and is made of an insulating material. Specifically, the housing 21 may be made of a synthetic resin material having excellent workability and good insulation.

이러한 하우징(21)에는 상측에 배치되는 피검사 디바이스(70)의 단자(71)와 대응되는 위치마다 관통공(21)이 배치된다. 상기 관통공(21)은 접촉될 피검사 디바이스(70)의 단자(71)의 외경과 대응되는 직경을 가질 수 있다. The housing 21 is provided with through holes 21 at positions corresponding to the terminals 71 of the device under test 70 arranged on the upper side. The through hole 21 may have a diameter corresponding to the outer diameter of the terminal 71 of the device under test 70 to be contacted.

한편, 상기 하우징(21)에서 상기 관통공(21)의 주위에는 테이퍼부(22)가 마련된다. 상기 테이퍼부(22)는 하우징(21)의 상단으로부터 하측으로 갈수록 내경이 감소되도록 구성된다. 한편, 상기 테이퍼부(22)로부터 하우징(21)의 하단까지의 관통공(21)은 직경이 일정하게 유지될 수 있다. Meanwhile, a tapered portion 22 is provided on the periphery of the through hole 21 in the housing 21. The tapered portion 22 is configured such that its inner diameter decreases from the upper end of the housing 21 toward the lower side. The diameter of the through-hole 21 from the tapered portion 22 to the lower end of the housing 21 can be kept constant.

상기 제1전도성 스프링(30)은, 상기 하우징(21)의 관통공(21) 내에 삽입되며 신장과 압축이 가능하며 전도성 소재로 이루어지는 것이다. 구체적으로 상기 전도성 스프링은 나선형으로 감기는 코일형태로 이루어지되 상기 관통공(21)의 길이(수직방향의 길이)와 대응되거나 상기 관통공(21)보다 길게 형성되어 있게 된다.The first conductive spring 30 is inserted into the through hole 21 of the housing 21 and is capable of being stretched and compressed, and is made of a conductive material. Specifically, the conductive springs are formed in a spiral-wound coil shape, and correspond to the length (the length in the vertical direction) of the through holes 21 or are formed to be longer than the through holes 21.

이러한 제1전도성 스프링(30)은 피검사 디바이스(70)의 단자(71)가 가압하는 경우에 그 가압력을 흡수하는 동시에 검사장치(80)의 패드(81)로부터 전달되는 전류를 피검사 디바이스(70)의 단자(71) 측으로 전달하는 기능을 수행한다. 따라서, 상기 제1전도성 스프링(30)은 전도성이 우수한 소재가 채용되는 것이 바람직하며, 필요에 따라서는 그 표면에 전도성이 우수한 소재를 피복하는 것도 바람직하다.The first conductive spring 30 absorbs the pressing force when the terminal 71 of the device under test 70 is pressed and at the same time the current transmitted from the pad 81 of the testing device 80 is supplied to the device under test 70 to the terminal 71 side. Therefore, it is preferable that the first conductive spring 30 employs a material having excellent conductivity, and it is also preferable to coat the surface of the first conductive spring 30 with a material having excellent conductivity.

상기 제2전도성 스프링(40)은, 상기 제1전도성 스프링(30)의 내부에 삽입되어 배치되는 것으로서, 제1전도성 스프링(30)과 동일축방향으로 연장되어 있게 된다. 상기 제2전도성 스프링(40)의 외경은 상기 제1전도성 스프링(30)의 내경보다 작은 것이 바람직하며, 나선형으로 감기는 형상을 가지고 있게 된다. 한편, 제1전도성 스프링(30)과 제2전도성 스프링(40)은 서로 나선형으로 감기는 방향으로 서로 다른 것이 바람직하다. 즉, 제1전도성 스프링(30)이 일방향으로 감기어지는 경우에는 상기 제2전도성 스프링(40)은 타방햐으로 감기어지는 것이 좋다.The second conductive spring 40 is inserted into the first conductive spring 30 and extends in the same axial direction as the first conductive spring 30. The outer diameter of the second conductive spring 40 is preferably smaller than the inner diameter of the first conductive spring 30 and has a helical shape. Meanwhile, it is preferable that the first conductive spring 30 and the second conductive spring 40 are different from each other in a winding direction. That is, when the first conductive spring 30 is wound in one direction, it is preferable that the second conductive spring 40 is wound in the other direction.

한편, 제2전도성 스프링(40)은 제1전도성 스프링(30)과 함께 피검사 디바이스(70)의 단자(71)로부터 가해지는 가압력을 흡수하는 기능을 수행함과 동시에 검사장치(80)의 패드(81)로부터 전달되는 전류를 피검사 디바이스(70)의 단자(71)로 전달하는 기능도 수행한다. 한편, 제2전도성 스프링(40)은 상기 제1전도성 스프링(30)에 비하여 직경이 작게 감기어져 있음에 따라서 전체적인 나선의 길이가 짧게 되고 이에 따라서 current pass 를 최소한으로 할 수 있도록 한다.The second conductive spring 40 performs a function of absorbing a pressing force applied from the terminal 71 of the device under test 70 together with the first conductive spring 30 and at the same time, 81 to the terminal 71 of the device under test 70. The terminal 71 of the device under test 70 is connected to the terminal 71 of the device under test 70, Meanwhile, since the diameter of the second conductive spring 40 is smaller than that of the first conductive spring 30, the overall length of the helix is shortened, thereby minimizing the current pass.

상기 시트부재(50)는, 상기 관통공(21)을 가로지르도록 상기 하우징(21)의 하면측에 고정설치되는 것으로서, 상기 제1전도성 스프링(30)의 내부 및 외부를 함께 구속하도록 상제1전도성 스프링(30)과 결합되는 것이다. 구체적으로는 외부 시트체(51)와 내부 시트체(52)를 포함하여 구성된다. 상기 외부 시트체(51)는, 제1전도성 스프링(30)의 외면과 접촉되어 부착되고, 상기 제1전도성 스프링(30)의 외부에 배치되는 것이다. 이러한 외부 시트체(51)는, 상기 제1전도성 스프링(30)의 외면을 구속하는 기능을 수행한다.The sheet member 50 is fixed to the lower surface of the housing 21 so as to cross the through hole 21. The sheet member 50 is fixed to the upper surface of the housing 21 so as to confine the inside and the outside of the first conductive spring 30 together. And is coupled to the conductive spring 30. Specifically, it comprises the outer sheet body 51 and the inner sheet body 52. The outer sheet body 51 is attached in contact with the outer surface of the first conductive spring 30 and disposed outside the first conductive spring 30. The outer sheet body 51 functions to confine the outer surface of the first conductive spring 30. [

상기 내부 시트체(52)는, 상기 제1전도성 스프링(30)의 내면과 접촉되며 상기 제1전도성 스프링(30)의 내부에 배치되는 것으로서, 이러한 내부 시트체(52)는 제1전도성 스프링(30)의 내면을 구속하는 기능을 수행한다.The inner sheet body 52 is in contact with the inner surface of the first conductive spring 30 and disposed inside the first conductive spring 30. The inner sheet body 52 includes a first conductive spring 30).

한편, 상기 외부시트체와 상기 내부시트체는 서로 이격되어 있는 것이 아니라, 제1전도성 스프링(30)의 소선 사이의 공간을 통하여 연결되어 있으며, 상기 제1전도성 스프링(30)은 상기 시트부재(50)와 일체적으로 결합되어 상기 제1전도성 스프링(30)을 확고하게 고정하게 된다.The first and second conductive springs 30 and 30 are connected to each other through a space between the strands of the first conductive spring 30 and the first conductive spring 30, 50 to securely fix the first conductive spring 30.

한편, 상기 제1전도성 스프링(30)의 하단은 상기 시트부재(50)의 하면으로부터 돌출되어 검사장치(80)의 패드(81)와 접촉될 수 있는 상태로 구성된다. 이에 따라서 시트부재(50)가 상기 제1전도성 스프링(30)의 도전성을 저해하는 일이 없게 된다.The lower end of the first conductive spring 30 protrudes from the lower surface of the sheet member 50 and is configured to be in contact with the pad 81 of the inspection apparatus 80. Accordingly, the sheet member 50 does not hinder the conductivity of the first conductive spring 30.

이외에, 상기 제2전도성 스프링(40)도 상기 시트부재(50)와 일체적으로 결합될 수 있으며 이에 따라서 제2전도성 스프링(40)도 상기 시트부재(50)와 견고하게 결합된다. 구체적으로는 상기 제2전도성 스프링(40)은 상기 시트부재(50)를 관통하도록 연장되고 상기 시트부재(50)는 상기 제2전도성 스프링(40)의 내부 및 외부를 함께 구속한다.The second conductive spring 40 may also be integrally coupled to the sheet member 50 so that the second conductive spring 40 is also firmly coupled to the sheet member 50. Specifically, the second conductive spring 40 extends to penetrate the sheet member 50, and the sheet member 50 restrains the inside and the outside of the second conductive spring 40 together.

이러한 시트부재(50)는, 얇은 두께를 가지면서 유연성이 좋은 합성수지 소재로 이루어질 수 있다. 구체적으로는 시트부재(50)는 절연성을 갖는 유연한 것이면 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 폴리이미드 수지, 액정 폴리머, 폴리에스테르, 불소계 수지 등으로 이루어지는 수지 시트 등이 사용될 수 있다. 바람직하게는 유연성이 우수하면서도 성형성이 좋은 실리콘 고무를 사용할 수 있다. 시트부재(50)의 두께는 특별히 한정되지 않지만 유연성이 좋은 범위인 10 내지 50 ㎛인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 내지 25 ㎛이다. 이러한 시트부재(50)는 하우징(21)의 배면 측에 소정의 접착제에 의하여 접착되어 부착되거나 또는 별도의 위치고정용 핀에 의하여 고정될 수 있다. The sheet member 50 may be made of a synthetic resin material having a small thickness and good flexibility. Specifically, the sheet member 50 is not particularly limited as long as it is flexible and has insulating properties, and for example, a resin sheet made of polyimide resin, liquid crystal polymer, polyester, fluororesin or the like can be used. Preferably, a silicone rubber having excellent flexibility and good formability can be used. The thickness of the sheet member 50 is not particularly limited, but is preferably 10 to 50 占 퐉, more preferably 10 to 25 占 퐉, which is a good range of flexibility. The sheet member 50 may be attached to the back side of the housing 21 by a predetermined adhesive or may be fixed by a separate position fixing pin.

상기 탐침전극(60)은, 상기 제1전도성 스프링(30)의 상단에 상기 제1전도성 스프링(30)과 결합되는 것으로서, 상부에는 피검사 디바이스(70)의 단자(71)과 용이하게 접촉될 수 있는 다수의 탐침이 배치되고, 그 아래에는 상기 제1전도성 스프링(30)이 끼워걸릴 수 있는 걸림부가 배치되어 있게 된다. 이러한 탐침전극(60)은 니켈, 구리, 금, 은, 팔라듐, 철 등을 이용할 수 있고, 탐침전극(60)으로서는 전체가 단일의 금속으로 이루어지는 것이라도, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층되어 이루어지는 것이라도 좋다.The probe electrode 60 is coupled to the first conductive spring 30 at the upper end of the first conductive spring 30 and is in contact with the terminal 71 of the device under test 70 A plurality of probes capable of engaging with the first conductive spring 30 can be disposed under the plurality of probes. The probing electrode 60 may be made of a single metal or may be made of an alloy of two or more kinds of metals. Or two or more kinds of metals may be laminated.

또한, 탐침전극(60)의 표면에는 상기 표면산화를 방지하는 동시에, 접촉 저항이 작은 전극부를 얻기 위해, 금, 은, 팔라듐 등의 화학적으로 안정되고 도전성을 갖는 금속 피막이 형성되어 있어도 좋다. 이러한 탐침전극(60)은 도금처리를 실시함에 의하여 제작될 수 있는 데, 도금방식에는 특별하게 한정됨이 없고 다양한 도금방식이 채용될 수 있다. 한편, 상기 제2전도성 스프링(40)은 그 상단이 상기 탐침전극(60)의 하면과 접촉되어 상기 탐침전극(60)을 하부에서 지지한다.The surface of the probe electrode 60 may have a chemically stable and conductive metal coating such as gold, silver, and palladium formed thereon to prevent surface oxidation and to obtain an electrode portion having a small contact resistance. The probe electrode 60 may be formed by plating, but the plating method is not particularly limited and various plating methods may be employed. On the other hand, the upper end of the second conductive spring 40 contacts the lower surface of the probe electrode 60 to support the probe electrode 60 from below.

이러한 본 발명에 따른 테스트용 소켓(10)은 다음과 같이 제작될 수 있다.The test socket 10 according to the present invention can be manufactured as follows.

먼저, 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 시트형상의 수용공간(91)이 마련되는 금형(90)을 마련하고, 그 금형(90)의 수용공간(91) 내에 액상의 합성수지액(50a)(예를 들어, 실리콘 고무액)을 충진한다. 이때, 수용공간(91) 내에는 미리 액상의 수용층(92)이 형성되어 있는데, 상기 수용층(92)은 상기 합성수지액(50a)과 서로 섞이지 않는 소재를 사용할 수 있다. First, as shown in Fig. 6 (a), a mold 90 provided with a sheet-like containing space 91 is provided, and a liquid synthetic resin solution 50a ) (For example, a silicone rubber solution). At this time, the liquid receiving layer 92 is previously formed in the receiving space 91. The receiving layer 92 may be made of a material that does not mix with the synthetic liquid 50a.

이후에는, 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 상기 액상의 합성수지액(50a) 내에 다수의 제1전도성 스프링(30)을 침투시킨다. 이때, 상기 제1전도성 스프링(30)은 피검사용 디바이스의 단자(71)와 대응되는 간격을 가지도록 배치한 상태에서 상기 합성수지액(50a) 내에 침투시킨다. 이때, 상기 제1전도성 스프링(30)은, 그 단부가 상기 합성수지액(50a)을 통과하여 적어도 일부가 상기 수용층(92) 내에 배치될 수 있도록 한다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (b), a plurality of first conductive springs 30 penetrate the liquid synthetic resin solution 50a. At this time, the first conductive spring 30 penetrates into the synthetic resin solution 50a while being arranged so as to have a gap corresponding to the terminal 71 of the device under test. At this time, the first conductive spring 30 has its end portion passed through the synthetic resin solution 50a so that at least a part of the conductive spring 30 can be disposed in the receptive layer 92.

이후에는, 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 상기 액상의 합성수지액(50a)을 경화시키게 된다. 구체적으로 소정의 열을 가함으로서 상기 액상의 합성수지액(50a)이 경화될 수 있도록 한다. Thereafter, as shown in Fig. 6 (c), the liquid synthetic resin solution 50a is cured. Specifically, by applying a predetermined heat, the liquid synthetic resin solution 50a can be cured.

이후에는, 도 6(d)에 도시된 바와 같이, 경화가 완료된 시트부재(50)를 상기 금형(90)으로부터 제거해낸다. 이때, 시트부재(50)에는 일체화되어 견고하게 결합된 다수의 제1전도성 스프링부재(30) 및 제2전도성 스프링부재(40)가 배치되어 있게 된다.Thereafter, as shown in Fig. 6 (d), the cured sheet member 50 is removed from the mold 90. At this time, a plurality of first conductive spring members 30 and a second conductive spring member 40, which are integrally and tightly coupled to each other, are disposed in the sheet member 50.

이후에는, 도 6(e)에 도시된 바와 같이, 다수의 관통공(21)이 상기 피검사 디바이스(70)의 단자(71)와 대응되는 위치마다 형성된 하우징(21)을 준비하고, 상기 하우징(21)의 관통공(21)에 상기 제1전도성 스프링(30)을 삽입하고 상기 시트부재(50)를 상기 하우징(21)에 고정시켜 테스트용 소켓(10)의 제조를 완료한다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (e), a housing 21 is prepared, in which a plurality of through holes 21 are formed at positions corresponding to the terminals 71 of the device under test 70, The first conductive spring 30 is inserted into the through hole 21 of the socket 21 and the sheet member 50 is fixed to the housing 21 to complete the manufacture of the test socket 10.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 테스트용 소켓은 다음과 같은 작용효과를 가진다.The test socket according to one embodiment of the present invention has the following operational effects.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 검사장치(80)에 테스트용 소켓(10)을 탑재한 상태에서, 피검사 디바이스(70)를 상기 테스트용 소켓(10)의 위에 배치시킨다. 이때, 테스트용 소켓은 검사장치(80)의 패드(81)에 상기 테스트용 소켓(10)의 제1전도성 스프링부재(30)가 접촉될 수 있도록 구성되어 있게 된다. 이후에, 도 5에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(70)를 하강하면서 상기 피검사 디바이스(70)의 단자(71)가 상기 탐침전극(60)에 접촉될 수 있도록 한다. 피검사 디바이스(70)가 상기 탐침전극(60)에 접촉된 이후에도 상기 피검사 디바이스(70)를 하강하면서 가압하여 상기 피검사 디바이스(70)의 단자(71)가 일정한 접촉압을 가지면서 상기 탐침전극(60)에 확고하게 전기적으로 연결될 수 있는 상태를 마련한다.First, as shown in Fig. 4, the device under test 70 is placed on the test socket 10 with the test socket 10 mounted on the test device 80. Next, as shown in Fig. At this time, the test socket is configured such that the first conductive spring member 30 of the test socket 10 can be brought into contact with the pad 81 of the test apparatus 80. The terminal 71 of the device under test 70 can be brought into contact with the probe electrode 60 while descending the device 70 to be inspected as shown in FIG. Even when the inspected device 70 contacts the probe electrode 60, the inspected device 70 is pressed down while the inspected device 70 is in contact with the terminal 71 of the inspected device 70, So that it can be firmly and electrically connected to the electrode 60.

이후에는, 검사장치(80)의 패드(81)로부터 소정의 전류를 인가하게 되고, 이때 전류는 제1전도성 스프링(30) 및/또는 제2전도성 스프링(40)을 거쳐서 탐침전극(60)을 지난 후에 피검사 디바이스(70)의 단자(71)에 전달됨으로서 검사를 진행하게 된다. Thereafter, a predetermined current is applied from the pad 81 of the inspection apparatus 80, and the current flows through the first conductive spring 30 and / or the second conductive spring 40 to the probe electrode 60 And then transmitted to the terminal 71 of the inspected device 70 to proceed the inspection.

한편, 검사가 완료된 후에는 피검사 디바이스(70)를 상기 테스트용 소켓으로부터 제거하게 되고, 이때에는 제1전도성 스프링(30) 및 제2전도성 스프링(40)이 탄성복원되면서 원래 위치로 복귀하게 된다.After the inspection is completed, the inspected device 70 is removed from the test socket. At this time, the first conductive spring 30 and the second conductive spring 40 are elastically restored to their original positions .

이러한 본 발명의 테스트용 소켓은, 종래기술에 도시된 바와 같이 하우징에 별도의 단턱을 마련할 필요가 없이 제조방법이 비교적 단순화되는 장점이 있다. 특히, 시트부재의 제작과 함께 스프링부재를 상기 시트부재에 함께 일체적으로 결합함으로서 시트부재에 상기 스프링부재를 용이하게 결합할 수 있으며, 그 이후에는 시트부재는 상기 하우징에 부착함으로서 제작이 완료될 수 있는 바 제작이 간편해지게 된다. The test socket of the present invention is advantageous in that the manufacturing method is relatively simplified without requiring a separate step in the housing as shown in the prior art. Particularly, it is possible to easily join the spring member to the sheet member by integrally joining the spring member together with the sheet member together with the production of the sheet member, and thereafter, the sheet member is attached to the housing, Making the bar easy to make.

또한, 하우징에 별도의 단턱이 배치될 필요가 없기 때문에, 하우징의 두께를감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 인접한 제1전도성 스프링부재 간의 간격도 최소화할 수 있다는 장점이 있다. Further, since there is no need to arrange a separate step on the housing, it is possible to reduce the thickness of the housing and to minimize the gap between adjacent first conductive spring members.

본 발명의 테스트용 소켓에서는 제1전도성 스프링부재 내에 제2전도성 스프링부재를 내부에 마련하고 있기 때문에, 전체적인 current pass를 감소시키는 장점이 있다. 즉, 나선반경이 큰 제1전도성 스프링부재에 비하여 제2전도성 스프링부재는 나선반경이 작기 때문에 전체적인 나선길이도 제2전도성 스프링부재가 제1전도성 스프링부재에 비하여 짧게 되고 이에 따라서 전체적인 current pass 도 감소될 수 있게 된다. 이와 같이 current pass 도 감소되는 경우에는 전기적인 저항도 감소하여 검사의 신뢰성을 상승시킬 수 있게 된다.In the test socket of the present invention, since the second conductive spring member is provided inside the first conductive spring member, there is an advantage of reducing the overall current pass. In other words, since the second conductive spring member has a smaller helical radius than the first conductive spring member having a larger helical radius, the overall helical length is also shorter than that of the first conductive spring member, thereby reducing the overall current pass . When the current pass is also reduced, the electrical resistance is reduced, thereby increasing the reliability of the test.

또한, 본 발명의 테스트용 소켓에서는, 하우징의 관통공 상단에 테이퍼부를 마련하고 있기 때문에, 피검사용 디바이스의 단자가 관통공의 중앙으로부터 다소 위치벗어난 상태로 하우징에 접근하는 경우에도 상기 테이퍼부에 의하여 상기 피검사용 디바이스가 적절한 위치로 안내될 수 있다는 장점이 있다.Further, in the test socket of the present invention, since the tapered portion is provided at the upper end of the through hole of the housing, even when the terminal of the device under test is approaching the housing in a state slightly displaced from the center of the through hole, There is an advantage that the tested device can be guided to an appropriate position.

이러한 본 발명의 테스트용 소켓은 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The test socket of the present invention can be modified as follows.

먼저, 상술한 실시예에서는 테스트용 소켓에서 제1전도성 스프링부재 내에 제2스프링 부재를 포함하는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 7에 도시된 바와 같이 테스트용 소켓(10')에서 제1전도성 스프링부재(30')만을 관통공(21') 내에 삽입하는 것도 가능함은 물론이다.First, in the above-described embodiment, the test socket includes the second spring member in the first conductive spring member. However, the present invention is not limited thereto. As shown in FIG. 7, in the test socket 10 ' It goes without saying that only the conductive spring member 30 'may be inserted into the through hole 21'.

또한, 상술한 실시예에서는 시트부재가 하우징의 하면측에 배치되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 시트부재가 하우징의 상면 또는 하우징의 중앙에 배치되는 것도 고려할 수 있으며, 기타 다양한 방식으로 시트부재가 하우징에 결합되는 것을 고려할 수 있다.In the above embodiment, the sheet member is disposed on the lower surface side of the housing. However, the present invention is not limited thereto. It is also conceivable that the sheet member is disposed on the upper surface of the housing or the center of the housing. May be considered to be coupled to the housing.

또한, 상술한 실시예에서는 제1전도성 스프링부재가 검사장치의 패드에 직접 접촉되는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1전도성 스프링부재의 하단에 별도의 접촉용 단자를 배치하고 그 접촉용 단자가 검사장치의 패드와 접촉되는 것도 고려할 수 있다.Although the first conductive spring member is directly in contact with the pad of the inspection apparatus in the above embodiment, the present invention is not limited thereto. A separate contact terminal may be disposed at the lower end of the first conductive spring member, It is also conceivable that the terminals are brought into contact with the pads of the inspection apparatus.

이상에서 일 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

10...테스트용 소켓 20...하우징
21...관통공 22...테이퍼부
30...제1전도성 스프링 40...제2전도성 스프링
50...시트부재 50a...합성수지액
51...외부 시트체 52...내부 시트체
60...탐침전극 70...피검사 디바이스
71...단자 80...검사장치
81...패드 90...금형
91...수용공간 92...수용층10 ... test socket 20 ... housing
21 ... through hole 22 ... tapered portion
30 ... first conductive spring 40 ... second conductive spring
50 ... sheet member 50a ... synthetic resin liquid
51 ... outer sheet body 52 ... inner sheet body
60 ... probe electrode 70 ... inspected device
71 ... terminal 80 ... test apparatus
81 ... Pad 90 ... Mold
91 ... accommodating space 92 ... receptive layer

Claims (14)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 테스트용 소켓으로서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장되는 관통공이 형성되는 하우징;
상기 하우징의 관통공 내에 삽입되며 신장과 압축이 가능하며 전도성 소재로 이루어지는 제1전도성 스프링; 및
상기 관통공을 가로지르도록 상기 하우징의 하면측에 고정설치되되, 상기 제1전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속하도록 상기 제1전도성 스프링과 결합되어 있는 시트부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.A test socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other,
A housing having a through hole extending in a vertical direction at each position corresponding to a terminal of the device to be inspected;
A first conductive spring inserted into the through hole of the housing and made of a conductive material capable of being stretched and compressed; And
And a sheet member fixed to the lower surface of the housing so as to cross the through hole and coupled with the first conductive spring so as to confine the inside and the outside of the first conductive spring together. Sockets. 제1항에 있어서,
상기 시트부재는 유연성이 있는 합성수지소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the sheet member is made of a flexible synthetic resin material. 제1항에 있어서,
상기 시트부재는,
상기 제1전도성 스프링의 외면과 접촉되고 상기 제1전도성 스프링의 외부에 배치되는 외부 시트체와, 상기 제1전도성 스프링의 내면과 접촉되며 상기 제1전도성 스프링의 내부에 배치되는 내부 시트체를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein,
An outer sheet body that is in contact with the outer surface of the first conductive spring and is disposed outside the first conductive spring, and an inner sheet body that is in contact with the inner surface of the first conductive spring and is disposed inside the first conductive spring Wherein the socket is formed of a metal. 제1항에 있어서,
상기 제1전도성 스프링의 하단은 상기 시트부재의 하면으로부터 돌출되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
And a lower end of the first conductive spring protrudes from the lower surface of the sheet member. 제1항에 있어서,
상기 제1전도성 스프링의 내부에는 동일축방향으로 연장되는 제2전도성 스프링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
And a second conductive spring extending in the same axial direction is further provided inside the first conductive spring. 제5항에 있어서,
상기 제2전도성 스프링은 상기 시트부재를 관통하도록 연장되고 상기 시트부재는 상기 제2전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속하는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.6. The method of claim 5,
Wherein the second conductive spring extends to penetrate the sheet member and the sheet member restrains the inside and the outside of the second conductive spring together. 제1항에 있어서,
상기 제1전도성 스프링의 상단에는, 상기 제1전도성 스프링과 결합되는 탐침전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
And a probe electrode coupled to the first conductive spring is disposed at an upper end of the first conductive spring. 제7항에 있어서,
상기 탐침전극은 상기 제1전도성 스프링의 상단에 끼워걸리는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.8. The method of claim 7,
And the probe electrode is hooked on the upper end of the first conductive spring. 제1항에 있어서,
상기 하우징의 상부로서, 상기 관통공의 주변에는 하측으로 갈수록 점차적으로 직경이 감소되는 테이퍼부가 마련되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
And a tapered portion whose diameter is gradually decreased toward the lower side is provided in the periphery of the through hole as an upper portion of the housing. 제1항에 있어서,
상기 하우징의 관통공은 길이방향으로 동일직경을 가지는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.The method according to claim 1,
And the through-holes of the housing have the same diameter in the longitudinal direction. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 테스트용 소켓으로서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장되는 관통공이 형성되는 하우징;
상기 하우징의 관통공 내에 삽입되며 신장과 압축이 가능하며 전도성 소재로 이루어지는 제1전도성 스프링; 및
상기 관통공을 가로지르도록 상기 하우징에 고정설치되되, 상기 제1전도성 스프링의 내부 및 외부를 함께 구속하도록 상기 제1전도성 스프링과 결합되어 있는 시트부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓.A test socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other,
A housing having a through hole extending in a vertical direction at each position corresponding to a terminal of the device to be inspected;
A first conductive spring inserted into the through hole of the housing and made of a conductive material capable of being stretched and compressed; And
And a sheet member fixed to the housing so as to cross the through-hole, the sheet member being coupled to the first conductive spring to confine the inside and the outside of the first conductive spring. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 전기적으로 연결시키기 위한 테스트용 소켓의 제조방법으로서,
(a) 시트형상의 수용공간이 마련되는 금형을 마련하고, 그 금형의 수용공간 내에 액상의 합성수지액을 충진하는 단계;
(b) 상기 액상의 합성수지액 내에 제1전도성 스프링을 침투시키는 단계;
(c) 상기 액상의 합성수지액을 경화시켜 시트부재를 제조하는 단계;
(d) 상기 금형으로부터 상기 시트부재를 제거하는 단계; 및
(e) 다수의 관통구멍이 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 형성된 하우징을 준비하고, 상기 하우징의 관통공에 상기 제1전도성 스프링을 삽입하고 상기 시트부재를 상기 하우징에 고정시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓의 제조방법.A method of manufacturing a test socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected to a pad of an inspection apparatus,
(a) providing a mold provided with a sheet-like accommodation space and filling a liquid synthetic resin solution in the cavity of the mold;
(b) infiltrating the first conductive spring in the liquid synthetic resin solution;
(c) curing the liquid synthetic resin solution to produce a sheet member;
(d) removing the sheet member from the mold; And
(e) preparing a housing in which a plurality of through holes are formed at positions corresponding to terminals of the device to be inspected, inserting the first conductive springs into the through holes of the housing, and fixing the sheet member to the housing; Wherein said method comprises the steps of: 제12항에 있어서,
(a) 단계에서, 상기 금형내의 수용공간에는 수용층이 형성되어 있으며, 상기 수용층은 상기 합성수지액의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓의 제조방법.13. The method of claim 12,
wherein in the step (a), a receiving layer is formed in the receiving space in the mold, and the receiving layer is disposed in the lower portion of the synthetic resin solution. 제13항에 있어서,
(b) 단계에서, 상기 제1전도성 스프링은 그 단부가 상기 합성수지액을 통과하여 적어도 일부가 상기 수용층 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트용 소켓의 제조방법.14. The method of claim 13,
(b), the end of the first conductive spring passes through the synthetic resin liquid, and at least a part of the first conductive spring is disposed in the receptive layer.
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