KR101471591B1 - 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템 - Google Patents

기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템 Download PDF

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이진종
김동민
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아메스산업(주)
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Abstract

본 발명은 기판 제조 공정 과정에서, 매거진에 임시로 보관된 기판이 용이하게 회수되도록 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템에 관한 것으로, 매거진에 임시로 보관된 기판을 회수하고자 할 때, 기판의 일부가 매거진의 외측으로 배출되도록 하여, 기판이 용이하게 회수되도록 하는 효과가 있다.

Description

기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템{PCB Buffer System Easy to collect of PCB}
본 발명은 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 제조 공정 과정에서, 매거진에 임시로 보관된 기판이 용이하게 회수되도록 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 기판(Printed Circuit Board, PCB)은 다양한 제조공정을 통해서 제조되는데, 이러한 일련의 공정에 있어서, 각각 공정을 수행하는 시간이 달라 임시로 대기해야 하거나, 제조 과정 또는 검사 과정에서 발생된 불량품을 임시로 저장해야 하는 경우가 종종 발생한다. 이때, 기판은 어느 한 공간에 임시로 머물러야 하는데, 이처럼 기판이 머무르는 공간을 제공하기 위하여, 대부분의 기판 제조공정에는 기판의 버퍼 시스템이 구비된다.
도 1은 종래 기판의 버퍼 시스템을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 기판은 픽업장치에 의하여 매거진(1)에 다단으로 적재되며, 매거진(1)은 승강수단에 의하여 승하강되도록 구성된다.
매거진(1)은 상하 방향으로 길게 직육면체 형상으로 형성되되 내부가 비어 있고, 픽업장치와 대향되는 전방이 개방되어 있다. 그리고 매거진(1)의 내부 양 측면의 서로 대칭하는 위치에는 한 쌍의 안착부(2, 3)가 형성된다. 한 쌍의 안착부(2, 3)는 매거진(1) 내부의 양측면에서 상하로 연속되도록 이격되어 배치되며, 그 이격되는 간격은 기판 간에 간섭이 일어나지 않는 충분한 거리로 이격된다.
승강수단은 제어부의 제어에 의하여 구동되는 서보모터(5)와, 매거진(1)의 일측에 고정된 너트부재(6)에 교합된 상태하에서 서보모터(5)의 회전축에 동축으로 결합된 볼스크류(7)를 포함한다. 그리고 기판이 픽업장치를 통하여 매거진(1)으로 이송되면, 서보모터(5)가 구동되어 매거진(1)을 기판의 높이만큼 승하강시키고, 이 상태에서 픽업장치가 기판을 매거진(1)에 적재한다.
한편, 매거진(1)에 적재된 기판은 다음 공정으로 이동되거나, 제조 공정에서 제거되기 위하여 매거진(1)에서 회수되어야 한다. 이 경우, 매거진(1)에 적재된 기판을 사람이 일일이 손으로 빼내게 되는데, 이때, 기판에 충격이 가해져 기판 또는 기판에 실장된 부품의 손상을 가져오게 되는 문제점이 있다.
또한, 픽업장치를 이용하여 매거진에 적재된 기판을 빼낸다 하더라도, 기판의 양측부가 매거진의 안착부에 안착된 상태이므로, 기판의 양측부와 매거진의 안착부 간의 마찰력에 의하여 기판이 잘 빠져나오지 않게 되는 문제점이 있다.
공개실용신안 제20-1999-0031363호
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판 제조 공정 과정에서, 매거진에 임시로 보관된 기판을 회수하고자 할 때, 기판의 일부가 매거진의 외측으로 배출되도록 하여, 기판이 용이하게 회수되도록 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 제공하도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부에 빈 공간부가 구비되고, 전방과 후방은 개방되어 전방개방부와 후방개방부가 구비되고, 그 내부의 제 1 측부와 제 2 측부의 서로 대칭하는 위치에 기판이 안착되도록 한 쌍의 안착부가 병렬로 다수 개 구비되되, 상기 제 1 측부에는 상기 전방개방부에서 상호 인접한 상기 안착부들 사이의 공간으로 내입되는 형상의 배출유도홈이 형성되는 매거진; 상기 배출유도홈에 위치되는 기판배출부; 및 상기 기판배출부가 상기 배출유도홈과 동일 선상에 위치되도록 상기 매거진 또는 상기 기판배출부를 상하 방향으로 이동시키는 제 1 이동수단과, 상기 배출유도홈과 동일 선상에 위치된 상기 기판배출부를 상기 배출유도홈과 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 제 2 이동수단을 구비하는 이동부재를 포함하고, 상기 매거진에 안착된 상기 기판이 회수되기 전에, 상기 기판배출부가 상기 이동부재에 안내되어 상기 전방개방부 방향에 위치되는 상기 기판의 일단부에 걸리도록 위치된 후, 상기 제 2 이동수단에 안내되어 상기 배출유도홈의 수평 방향으로 이동되어, 상기 기판이 상기 매거진의 후방개방부 방향으로 이동되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 제공한다.
또한, 상기 제 1 이동수단은: 상기 매거진의 외측에 수직으로 형성되는 수직프레임; 일측은 상기 수직프레임을 따라 슬라이딩 이동되고, 타측은 상기 매거진에 고정되는 고정부; 및 동력을 이용하여 상기 고정부가 상기 수직프레임을 따라 이동되도록 하는 수직이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 제공한다.
또한, 상기 제 2 이동수단은: 상기 매거진의 상기 제 1 측부의 외측에 구비되는 지지부; 상기 지지부의 상부에 상기 매거진의 상기 배출유도홈의 길이방향과 수평하게 형성되는 수평지지대; 상기 수평지지대를 따라 이동되는 위치안내부; 상기 위치안내부를 상기 수평지지대를 따라 이동시키는 제 1 이동부; 일단부는 상기 위치안내부에 삽입되고, 타단부는 상기 위치안내부에서 상기 배출유도홈의 길이방향과 수직하도록 길게 형성되어 상기 기판배출부와 연결되는 수직지지대; 및 상기 수직지지대를 상기 배출유도홈 방향으로 이동시키는 제 2 이동부를 포함하고, 상기 기판배출부가 상기 제 2 이동수단에 안내되어 상기 배출유도홈의 길이방향과 수직 방향 또는 수평 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 제공한다.
또한, 상기 기판배출부는, 상기 매거진의 상기 배출유도홈에서 그 외측방향으로 돌출되도록 형성되는 지지부와, 상기매거진의 상기 배출유도홈과 대향되는 상기 지지부의 일단부에서 그 하방으로 연장 형성되어 상기 기판의 일단부에 걸림 위치되는 걸림부와, 일측은 상기 지지부의 타단부와 연결되고 타측은 상기 수직지지대와 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템은 기판 제조 공정 과정에서, 매거진에 임시로 보관된 기판을 회수하고자 할 때, 기판의 일부가 매거진의 외측으로 배출되도록 하여, 기판이 용이하게 회수되도록 하는 효과가 있다.
도 1은 종래 기판의 버퍼 시스템을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 기본 개요를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진의 A-A'단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진의 B-B'단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 제 1 이동수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 제 2 이동수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진에 적재된 기판이 용이하게 회수되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 기본 개요를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템(10)은 기판 제조 공정 과정에서 매거진(100)에 임시로 보관된 기판(500: 도 9 도시)이 용이하게 회수되도록 하는 것으로, 매거진(100), 기판배출부(200) 및 이동부재(300)를 포함한다.
매거진(100)은 기판(500)을 임시로 저장하는 역할을 하는 것으로, 육면체 형상, 바람직하게는 직사각형 형상의 기판(500)이 삽입되도록 직육면체 형상으로 형성되며, 전방과 후방이 개방되어 있다.
그리고 매거진(100)의 전방에는 제 1 픽업장치(P1)가 구비되고, 상기 제 1 픽업장치(P1)는 매거진(100)의 일측에 구비되는 전 공정어셈블리(A)에서 작업을 마친 기판(500)을 공급받아 매거진(100)의 개방된 전방으로 이송시켜서, 기판(500)이 매거진(100)에 순차적으로 적재되도록 한다. 그리고 매거진(100)의 타측에는 후 공정어셈블리(B)가 구비되어, 매거진(100)에 적재된 기판(500)이 제 2 픽업장치(P2)에 픽업되어 후 공정어셈블리(B) 또는 지정된 다른 장소로 이송된다.
기판배출부(200)는 매거진(100)에 적재된 기판(500)을 매거진(100)의 후방으로 배출시키는 역할을 하여, 제 2 픽업장치(P2)가 매거진(100)에 적재된 기판(500)을 용이하게 회수하도록 한다. 그리고 이동부재(300)는 기판배출부(200)를 매거진(100)의 후술하는 배출유도홈(120: 도 3 도시)으로 이동시켜서, 기판배출부(200)에 매거진(100)에 적재된 기판(500)의 일단부, 즉, 매거진(100)의 전방 방향에 위치하는 기판(500)의 길이방향 일단부가 걸리도록 한 후, 기판배출부(200)가 배출유도홈(120)을 따라 기판(500)을 매거진(100)의 후방으로 배출시키도록 한다.
이하, 하기 도면을 참조하여, 이들의 세부 구성요소를 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진의 A-A'단면을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진의 B-B'단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 매거진(100)은 육면체 형상으로 형성되어, 내부에 빈 공간이 구비되고, 그 전방과 후방에 각각 전방개방부(102)와 후방개방부(104)가 구비되며, 전방개방부(102)와 후방개방부(104) 사이의 양 측부에 제 1 측부(106)와 제 2 측부(108)가 구비된다. 그리고 제 1 측부(106)와 제 2 측부(108)의 서로 대칭하는 위치에 한 쌍의 안착부(110, 112)가 병렬로 다수 개 구비되되, 한 쌍의 안착부(110, 112)는 제 1 측부(106)와 제 2 측부(108)에 오목하게 형성된다. 그리고 매거진(100)의 전방개방부(102)를 통하여 매거진(100) 내부로 인입되는 기판(500)은 그 양측이 한 쌍의 안착부(110, 112)에 끼워져서 안전하게 지지된다. 그리고 제 1 측부(106)와 제 2 측부(108) 중 선택되는 어느 한 측부, 예를 들면 제 1 측부(106)에는 상기 전방개방부(102)에서 상호 인접한 상기 안착부(110, 112)들 사이의 공간으로 내입되도록 오목하게 배출유도홈(120)이 형성된다. 배출유도홈(120)은 안착부(110, 112)들 사이 공간에 형성되므로, 기판(500)은 안착부(110, 112)에 지지된 상태로 매거진(100) 내부에 안전하게 위치된다. 그리고 매거진(100)에 기판(500)이 끼워진 상태에서, 기판(500)을 제거하고자 할 때, 매거진(100)의 전방개방부(102) 방향에 위치되는 기판(500)의 일단부에 기판배출부(200)가 걸림 위치된 후, 기판배출부(200)가 매거진(100)의 배출유도홈(120)을 따라 기판(500)을 매거진(100)의 후방개방부(104) 방향으로 이동시켜서 기판(500)이 매거진(100)의 후방으로 용이하게 이동되도록 한다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 제 1 이동수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이며, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 제 2 이동수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템(10)은 매거진(100)의 배출유도홈(120)에 위치되는 기판배출부(200)와, 기판배출부(200)가 매거진(100)의 배출유도홈(120)에 위치되도록 하는 이동부재(300)를 포함한다.
기판배출부(200)는 일단부는 매거진(100)의 제 1 측부(106)의 배출유도홈(120)에 위치되고 타단부는 상기 배출유도홈(120)에서 그 외측방향으로 돌출되도록 길게 형성되는 지지부(204)와, 상기 지지부(204)의 일단부에서 그 하방으로 연장 형성되어 매거진(100)에 위치된 기판(500)의 일단부에 걸림 위치되는 걸림부(206)와, 일측은 지지부(204)의 타단부와 연결되고 타측은 후술하는 수직지지대(325)와 연결되는 연결부(202)를 포함한다.
이동부재(300)는 기판배출부(200)가 매거진(100)의 배출유도홈(120)과 동일선상에 위치되도록 매거진(100)을 이동시키는 제 1 이동수단(310)과, 기판배출부(200)를 매거진(100)의 배출유도홈(120)에 근접하도록 이동시키는 제 2 이동수단(320)을 포함한다.
제 1 이동수단(310)은 매거진(100)을 상하 이동시켜서 매거진(100)의 배출유도홈(120)과 기판배출부(200)가 동일선상에 위치되도록 하는 것으로, 상기 매거진(100)의 제 2 측부(108)의 외측에 수직으로 형성되는 수직프레임(312)과, 일측은 상기 수직프레임(312)을 따라 슬라이딩 이동되고, 타측은 상기 매거진(100)에 고정되는 고정부(314)와, 모터, 유압 등의 동력을 이용하여 고정부(314)가 수직프레임(312)을 따라 이동되도록 하는 수직이동부(316)를 포함한다. 상기 수직이동부(316)는 동력을 발생시키는 통상적인 구성으로, 예를 들면 수직프레임(312)에 형성되는 레일(미도시)에 맞물려 회전되는 기어(미도시)와, 상기 기어를 회전시키는 모터(미도시) 등으로 구성되고, 상기 기어 또는 상기 모터에 상기 고정부(314)가 연결되어, 상기 고정부(314)가 수직이동부(316)의 동력을 이용하여 수직프레임(312)을 따라 슬라이딩 이동된다. 상기 수직이동부(316)는 공지된 구성을 이용하여 고정부(314)를 상하 이동시키는 것으로, 이에 대한 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제 2 이동수단(320)은 지지부(321), 수평지지대(322), 위치안내부(323), 제 1 이동부(324), 수직지지대(325) 및 제 2 이동부(미도시)를 포함한다. 지지부(321)는 매거진(100)의 제 1 측부(106)의 외측에서 그 수직 상부로 형성되는 수직지지부(321a)와, 수직지지부(321a)의 상단에 평평하게 형성되는 플레이트부(321b)를 포함한다. 수평지지대(322)는 지지부(321)의 플레이트부(321b)의 상부에 이격되어 위치되며 매거진(100)의 배출유도홈(120)의 길이방향과 수평하게 형성된다. 위치안내부(323)는 수평지지대(322)를 따라 수평하게 이동되는 것으로, 수평지지대(322)의 상부에 위치된다. 제 1 이동부(324)는 위치안내부(323)를 이동시키는 것으로, 고정지지부(324c), 밸트(324b) 및 구동모터(324a)를 포함한다. 고정지지부(324c)는 플레이트부(321b)의 상면에 고정되어 플레이트부(321b)와 수평지지대(322) 사이에 위치되는 것으로, 수평지지대(322)의 길이방향을 따라 길게 형성된다. 밸트(324b)는 고정지지부(324c)의 상부에 그 길이방향을 따라 형성된다. 구동모터(324a)는 밸트(324b)의 일측에 구비되어 밸트(324b)를 회전시키도록 구성된다. 그리고 위치안내부(323)에는 밸트(324b) 방향으로 연결부(323a)가 구비되고, 연결부(323a)는 수평지지대(322)에 지지된 상태에서 밸트(324b)에 연결되어, 구동모터(324a)가 밸트(324b)를 회전시키면 밸트(324b)에 연결된 연결부(323a)가 위치안내부(323)를 이동시켜서, 위치안내부(323)가 수평지지대(322)를 따라 이동된다. 수직지지대(325)는 일단부는 위치안내부(323)에 삽입되고 타단부는 위치안내부(323)에서 배출유도홈(120)의 길이방향과 수직하도록 길게 형성되어 기판배출부(200)와 연결된다. 이러한 구동모터(324a), 밸트(324b) 등을 이용하여 위치안내부(323)를 수평운동시키는 것은 공지되어 있으므로, 보다 자세한 설명은 생략한다. 상기 제 2 이동부는 통상적인 모터, 유압, 공압 등을 이용하여 수직지지대(325)를 배출유도홈(120) 방향으로 이동시키는 것으로, 상기 제 1 이동부(324)와 마찬가지로 공지된 구성을 이용하는 것이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이처럼 기판배출부(200)는 수직지지대(325)와 연결되어 있으므로, 수직지지대(325)가 삽입된 위치안내부(323)가 수평지지대(322)를 따라 이동되면, 기판배출부(200)는 배출유도홈(120)의 길이방향과 수평하게 이동되고, 수직지지대(325)가 위치안내부(323)에서 이동되면, 기판배출부(200)는 배출유도홈(120)의 길이방향과 수직하게 이동된다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템의 매거진에 적재된 기판이 용이하게 회수되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 매거진(100)에 임시로 적재된 기판(500)이 매거진(100)에서 회수될 때, 기판(500)의 단부가 매거진(100)의 외부로 약간 튀어나오게 되면, 제 2 픽업장치(P2: 도 2 도시)가 상기 기판(500)을 용이하게 회수할 수 있다. 이를 위하여, 먼저, 매거진(100)이 제 1 이동수단(310)의 수직프레임(312)을 따라 상하 이동되도록 하여, 매거진(100)에 적재된 기판(500)의 상부에 위치되는 배출유도홈(120)과 기판배출부(200)가 동일 선상에 위치되도록 한다. 이후, 제 2 이동수단(320)의 위치안내부(323)가 수평지지대(322)를 따라 배출유도홈(120)의 수평 방향으로 이동되고, 제 2 이동수단(320)의 수직지지대(325)가 배출유도홈(120)의 수직 방향으로 이동되어, 기판배출부(200)가 기판(500)의 일단부에 걸림 위치되도록 한다. 이 상태에서 제 2 이동수단(320)의 위치안내부(323)가 수평지지대(322)에 안내되어 매거진(100)의 배출유도홈(120)의 길이방향을 따라 매거진(100)의 후방개방부(104) 방향으로 이동되어, 기판(500)이 매거진(100)의 후방으로 돌출된다.
이처럼 본 발명은 기판 제조 공정 과정에서, 매거진(100)에 임시로 보관된 기판(500)을 회수하고자 할 때, 기판(500)의 일부가 매거진(100)의 후방으로 배출되므로, 제 2 픽업장치(P2)가 기판(500)을 용이하게 회수할 수 있게 되는 효과가 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
10: 기판 버퍼 시스템 100: 매거진
102: 전방개방부 104: 후방개방부
106: 제 1 측부 108: 제 2 측부
110, 112: 안착부 120: 배출유도홈
200: 기판배출부 202: 연결부
204: 지지부 206: 걸림부
300: 이동부재 310: 제 1 이동수단
312: 수직프레임 314: 고정부
316: 수직이동부 320: 제 2 이동수단
321: 지지부 321a: 수직지지부
321b: 플레이트부 322: 수평지지대
323: 위치안내부 323a: 연결부
324: 제 1 이동부 324a: 구동모터
324b: 밸트 324c: 고정지지부
325: 수직지지대

Claims (4)

  1. 내부에 빈 공간부가 구비되고, 전방과 후방은 개방되어 전방개방부와 후방개방부가 구비되고, 그 내부의 제 1 측부와 제 2 측부의 서로 대칭하는 위치에 기판이 안착되도록 한 쌍의 안착부가 병렬로 다수 개 구비되되, 상기 제 1 측부에는 상기 전방개방부에서 상호 인접한 상기 안착부들 사이의 공간으로 내입되는 형상의 배출유도홈이 형성되는 매거진;
    상기 배출유도홈에 위치되는 기판배출부; 및
    상기 기판배출부가 상기 배출유도홈과 동일 선상에 위치되도록 상기 매거진 또는 상기 기판배출부를 상하 방향으로 이동시키는 제 1 이동수단과, 상기 배출유도홈과 동일 선상에 위치된 상기 기판배출부를 상기 배출유도홈과 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 제 2 이동수단을 구비하는 이동부재를 포함하고,
    상기 매거진에 안착된 상기 기판이 회수되기 전에, 상기 기판배출부가 상기 이동부재에 안내되어 상기 전방개방부 방향에 위치되는 상기 기판의 일단부에 걸리도록 위치된 후, 상기 제 2 이동수단에 안내되어 상기 배출유도홈의 수평 방향으로 이동되어, 상기 기판이 상기 매거진의 후방개방부 방향으로 이동되고,
    상기 제 2 이동수단은:
    상기 매거진의 상기 제 1 측부의 외측에 구비되는 지지부;
    상기 지지부의 상부에 상기 매거진의 상기 배출유도홈의 길이방향과 수평하게 형성되는 수평지지대;
    상기 수평지지대를 따라 이동되는 위치안내부;
    상기 위치안내부를 상기 수평지지대를 따라 이동시키는 제 1 이동부;
    일단부는 상기 위치안내부에 삽입되고, 타단부는 상기 위치안내부에서 상기 배출유도홈의 길이방향과 수직하도록 길게 형성되어 상기 기판배출부와 연결되는 수직지지대; 및
    상기 수직지지대를 상기 배출유도홈 방향으로 이동시키는 제 2 이동부를 포함하고,
    상기 기판배출부가 상기 제 2 이동수단에 안내되어 상기 배출유도홈의 길이방향과 수직 방향 또는 수평 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 이동수단은:
    상기 매거진의 외측에 수직으로 형성되는 수직프레임;
    일측은 상기 수직프레임을 따라 슬라이딩 이동되고, 타측은 상기 매거진에 고정되는 고정부; 및
    동력을 이용하여 상기 고정부가 상기 수직프레임을 따라 이동되도록 하는 수직이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판배출부는, 상기 매거진의 상기 배출유도홈에서 그 외측방향으로 돌출되도록 형성되는 지지부와, 상기매거진의 상기 배출유도홈과 대향되는 상기 지지부의 일단부에서 그 하방으로 연장 형성되어 상기 기판의 일단부에 걸림 위치되는 걸림부와, 일측은 상기 지지부의 타단부와 연결되고 타측은 상기 수직지지대와 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 회수가 용이한 기판 버퍼 시스템.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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