KR101469533B1 - 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지 및 이를 포함하는 기판의 외기 침투율 측정 장치 - Google Patents

외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지 및 이를 포함하는 기판의 외기 침투율 측정 장치 Download PDF

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이정노
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Abstract

본 발명은 물질의 수분, 산소 등을 포함하는 외기의 침투율을 측정하는 장치에 관한 것으로, 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지는 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응부; 상기 반응부를 수용하며, 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부에 탈착 가능한 카트리지 몸체; 및 상기 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체에서 박리되는 차폐수단을 포함한다. 본 발명에 따르면 카트리지화된 가스 투과도 측정 장치 및 방법을 이용함으로써 종래의 기술에 비해 정밀하고 신뢰성 있는 데이터 확보가 가능하여 플렉서블 AMOLED 등의 새로운 응용분야에 필요한 제품의 신뢰성 평가가 용이할 수 있다. 또한 기판이 수용되는 부분도 카트리지 형태로 제작하여 상대적으로 장착 및 지지가 자유롭지 않은 유연 기판을 측정하고자 할 때 장치 외부에서 간편하게 작업할 수 있어서 측정자 간의 균일도 오류를 줄일 수 있다.

Description

외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지 및 이를 포함하는 기판의 외기 침투율 측정 장치{Reactive material cartridge for measuring a permeation rate and an apparatus for measuring having the same}
본 발명은 물질의 수분, 산소 등을 포함하는 외기의 침투율을 측정하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
현재 상용화가 예상되고 있는 AMOLED는 기술의 특성 상 다양한 종류의 유기물질(ETL, EML, HIL, HTL 등)을 사용하고 있다. 하지만, 이와 같은 유기물질은 대기 중에 존재하는 수분에 매우 취약하여 패널의 신뢰성 확보를 위해 수분이 패널 내부로 침투하지 못하도록 잘 보호하여야 한다.
특히, AMOLED의 경우 기판의 수분투과율 또는 투습율(WVTR; Water Vapor Transmission Rate) 특성이 10-6 g/m2-day 이하를 만족해야만 신뢰성 있는 제품 구현이 가능하다고 알려져 있으나, MOCON사의 AQUATRAN Model1의 경우 측정 한계가 5x10-4 g/m2-day 정도로 AMOLED 패널에서 실제로 요구되는 투습율 수준(10-6 g/m2-day)을 만족시키지 못하고 있는 실정이다.
이와 같은 문제의 해결을 위해 필립스전자(Philips Electronics)에서는 수분과 반응이 매우 빠른 칼슘을 이용하여 투습율을 역추적하는 방법을 제시한 바 있다 (US 7,117,720, “Method for measuring a permeation rate, a test and an apparatus for measuring and testing”). "칼슘 테스트"라고 불리는 이 분석 방법은 투습율을 측정하고자 하는 기판 위에 칼슘 전극을 형성하고 노출된 후면 부분은 금속 또는 글라스로 봉지하여 기판을 통해서 들어오는 가스의 양을 칼슘층의 투과도를 분석하여 추출하는 기술이다.
또한, 고려대학교 산학협력단에서는 상기와 유사한 형태로 제작하되 칼슘층의 투과도 대신 전기전도도 또는 저항의 변화를 추적하여 투과하는 가스의 침투율을 분석하는 방법을 제시한 바 있다 (대한민국특허 공개특허 10-2013-0022068, “유연 전자 소자 보호층의 가스 침투율 측정 장치 및 이를 이용한 가스 침투율 측정 방법”).
이론적으로 “칼슘"의 경우 10-6 g/m2-day 이하의 투습율 측정이 가능하다. 하지만 칼슘을 증착하기 위해 별도의 진공 증착 장비가 필요하게 되고, 칼슘의 증착 방법 및 테스트 샘플 구조, 공정 방법에 따라서 투습율 분석에 많은 공정 변수가 발생하게 되어 결과적으로 신뢰성 있는 데이터 제시에 큰 어려움이 있다. 이런 이유로 현재 알려진 “칼슘 테스트" 방법으로는 기존의 MOCON사의 투습율 분석 기술처럼 보편화되기는 매우 어렵다고 할 수 있다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 칼슘 전극 및 저항/투과도 등의 측정과 관련된 부품을 카트리지(Cartridge) 형태로 제작하여 외기의 기판 침투율을 측정하는 것을 제안한다.
보다 구체적으로는 정밀 측정에 필요한 핵심 부품을 카트리지화하여 측정의 신뢰성 및 정밀성을 향상시키는 장치를 제안한다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지는 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응부; 상기 반응부를 수용하며, 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부에 탈착 가능한 카트리지 몸체; 및 상기 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체에서 박리되는 차폐수단을 포함한다.
상기 기판은, 상기 수분을 포함하는 상기 외기가 공급되는 공급관에 탈착 가능한 기판 카트리지 몸체; 및 상기 기판 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 기판과 상기 외기의 접촉 또는 상기 반응 물질과 상기 기판을 투과한 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 기판 카트리지 몸체에서 박리되는 기판 차폐수단을 포함하는 기판 카트리지에 수용되는 것이 바람직하다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치는 공급되는 외기의 환경을 조절하는 외기 환경 조절 챔버; 상기 환경 조절된 외기를 공급하는 공급관; 상기 공급관의 제1 소정 공간에 위치하며 침투율 측정을 위한 기판이 장착되는 기판 장착부; 및 상기 공급관의 제2 소정 공간에 위치하며 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응 물질 카트리지가 장착되는 카트리지 장착부를 구비하여 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부를 포함한다.
상기 기판은, 상기 수분을 포함하는 상기 외기가 공급되는 공급관에 탈착 가능한 기판 카트리지 몸체; 및 상기 기판 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 기판과 상기 외기의 접촉 또는 상기 반응 물질과 상기 기판을 투과한 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 기판 카트리지 몸체에서 박리되는 기판 차폐수단을 포함하는 기판 카트리지에 수용되고,상기 기판 장착부에는 상기 기판 카트리지가 장착되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 카트리지화된 가스 투과도 측정 장치 및 방법을 이용함으로써 종래의 기술에 비해 정밀하고 신뢰성 있는 데이터 확보가 가능하여 플렉서블 AMOLED 등의 새로운 응용분야에 필요한 제품의 신뢰성 평가가 용이할 수 있다. 또한 기판이 수용되는 부분도 카트리지 형태로 제작하여 상대적으로 장착 및 지지가 자유롭지 않은 유연 기판을 측정하고자 할 때 장치 외부에서 간편하게 작업할 수 있어서 측정자 간의 균일도 오류를 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치를 나타내는 도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지를 나타내는 도이다.
도 3은 도 2에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지의 차폐수단의 박리예를 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지를 나타내는 도이다.
도 5는 도 4에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지의 반응부를 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 기판 장착부의 장착 예를 나타내는 도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 기판 카트리지를 나타내는 도이다.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와같이 특별히 열거된 실시예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치를 나타내는 도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예예 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치는 외기 환경 조절 챔버(10)(chanmber), 공급관(20), 기판 장착부(30), 측정부(40)를 포함한다.
외기 환경 조절 챔버(10)는 기판(200)의 침투율 측정을 위한 환경을 형성하기 위한 구성으로, 본 실시예에서는 RH(Relative Humidity)로서 각 온도별로 포화흡수할 수 있는 수분 대비 현재의 수분을 온도에 따라 설정할 수 있다. 외기 환경 조절 챔버(10)는 설정된 환경에 따라 수분을 포함하는 외기를 공급하게 된다.
또한 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치는 외기 환경 조절 챔버(10)와 공급관(20)의 연결부에 셔터(15)를 더 포함할 수 있다. 즉, 조절된 환경에 따른 외기를 셔터(15)를 열어 공급관(20)으로 공급하게 된다.
본 실시예에서 공급관(20)은 외기 환경 조절 챔버(10)와 측정부(40) 사이에서 형성되며, 외기 환경 조절 챔버(10)로 부터 측정부(40)까지 외기가 흐르도록 하는 경로 역할을 한다.
공급관(20) 내부는 펌프(5)를 통해 미리 결정된 저압 상태, 바람직하게는 진공 상태로 형성되거나 또는 불활성 기체와 같은 화학적 활발도가 작은 기체로 충진되어, 침투율의 측정 장치의 측정 값의 정확도를 높인다.
기판 장착부(30)는 공급관(20)의 제1 소정 공간에 위치하며 침투율 측정을 위한 기판(200)이 장착된다. 본 실시예에서 기판(200)은 외기 침투율의 측정의 대상 샘플로서, 수분 투과율 또는 투습율을 측정하기 위한 디스플레이 패널의 플라스틱 기판(200)인 것이 바람직하다. 즉 디스플레이 패널의 플라스틱 기판(200)은 패널의 신뢰성 확보를 위해 수분이 패널 내부로 침투하지 못하도록 하는 보호 층을 포함할 수 있으며, 본 실시예에서 기판(200)의 외기 침투율 측정 장치는 보호 층을 포함하는 기판(200)의 투습율을 측정하게 된다.
나아가 본 실시예에서 제1 소정 공간은 외기 환경 조절 챔버(10)와 후술하는 측정부(40) 사이의 공간으로 기판(200)은 기판(200)의 넓은 방향 면이 외기 환경 조절 챔버(10)와 측정부(40) 사이의 공급관(20) 내부에서 외기의 흐름에 대하여 직교하는 방향으로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 공급관(20)을 통하여 흐르는 외기가 제1 소정 공간에서 기판(200)과 접촉하게 된다.
이후 기판(200)과 접촉한 외기는 기판(200)을 침투하고, 기판(200)을 침투하여 투과한 외기는 공급관(20)을 통해 후술하는 반응 물질과 접촉하게 된다. 본 실시예에서 반응 물질은 반응 물질 카트리지(100) 내에 포함되며, 반응 물질 카트리지(100)는 공급관(20)의 제2 소정 공간에 위치하는 카트리지 장착부(45)에 장착된다. 본 실시예에서 제2 소정 공간은 공급관(20)의 말단으로, 공급관(20)과 측정부(40)를 연결하는 연결부인 것이 바람직하다. 따라서, 카트리지 장착부(45)는 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부(40)에 포함되어 형성될 수 있다.
상술한 바와 같이 종래의 기술에 따르면, 기판의 외기 침투율 츨정을 위해서 반응 물질을 기판에 증착시키고, 반응 물질의 변화를 통해 기판의 침투율을 역추적 하였으나, 기판에 반응 물질을 증착하기 위해서는 별도의 진공 증착 장비가 필요하였다.
또한, 이와 더불어 후면부 봉지에 필요한 글로브 박스(Glove Box) 및 실런트(Sealant) 형성과 관련된 공정 장비가 필요하여 분석을 위해 많은 시간과 노력이 필요하다. 나아가 반응 물질의 증착 방법 및 테스트 샘플 구조, 공정 방법에 따라서 투습율 분석에 많은 공정 변수가 발생하게 되어 결과적으로 신뢰성 있는 데이터 제시에 큰 어려움이 있다.
따라서 본 실시예에서는 반응 물질을 기판에 증착하는 대신, 반응 물질을 카트리지화 하여 외기 침투율 측정 장치에 탈착 가능 하도록 하여, 종래의 기술에 비해 정밀하고 신뢰성 있는 데이터 확보가 가능하여 플렉서블 AMOLED 등의 새로운 응용분야에 필요한 제품의 신뢰성 평가가 용이하게 하는 것을 목적으로 한다.
본 실시예에서 측정부(40)는 반응 물질의 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정한다.
즉, 측정부(40)는 공급관(20)의 말단의 카트리지 장착부(45)에 장착된 반응 물질 카트리지(100) 내부의 반응 물질의 변화를 직접 측정한다.
나아가 상술한 펌프(5)는 공급관(20)의 외기 환경 조절 챔버(10)와 제1 소정 공간 사이의 공간과 제1 소정 공간과 제2 소정 공간 사이의 공간의 환경을 동일하게 설정한다. 즉 동일한 압력의 저압 상태(바람직하게는 진공 상태) 또는 동일한 밀도의 불활성 기체로 충진하는 것이 바람직하다.
이하 도 2를 참조하여 본 실시예에 따른 반응 물질 카트리지(100)에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지(100)를 나타내는 도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지(100)는 반응부(110), 카트리지 몸체(120), 차폐수단(130)을 포함한다.
반응 물질 카트리지(100)의 형상은 다양하게 결정될 수 있으며, 본 실시예에서는 반응 물질 카트리지(100)가 직육면체의 형상으로 형성된 경우를 예시한다. 나아가 반응 물질 카트리지(100)의 형상은 측정부(40)의 측정 방법이나 카트리지 장착부(45)의 형상에 때라 달라질 수 있으며, 공급관(20)의 직경, 침투율을 측정하고자 하는 기판의 크기 등의 요소에 따라서 그 크기가 결정 될 수 있다.
이하, 세부 구성에 대하여 설명한다. 먼저 반응 물질 카트리지(100)의 반응부(110)는 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함한다. 도 2의 경우 반응 물질은 카트리지 내부에 반응 물질 층으로 형성된 것을 예시한다. 반응 물질 층으로 형성되는 경우 측정부(40)는 반응 물질 층의 외기와의 접촉에 따른 광학적 투과도를 측정할 수 있다.
또는 도 4 및 도 5를 참조하면, 반응 물질을 포함하는 반응 물질 부(112b)와 도전성 물질을 포함하는 도전부(112a)로 구성되어, 소정의 간격에 따라 이격되는 복수의 반응 물질 바(112)로 형성될 수도 있다. 반응부(110)가 복수의 반응 물질 바(112)로 형성되는 경우 측정부(40)는 외기와의 접촉에 따른 반응 물질 바(112)의 전기적 성질 변화를 측정할 수 있다. 나아가 반응 물질 바(112)는 도전성이 없는 글라스와 같은 재료로 구성된 카트리지 몸체(120)의 바닥면에 형성되는 것이 바람직하다.
도 5를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 본 실시예에서 반응 물질 바(112)는 양 말단의 경우 도전성 물질로 형성되며, 가운데 부분은 반응 물질로 형성된다. 양 말단의 도전부(112a) 각각은 측정부(40)와 전기적으로 연결된다.
말단의 도전부(112a)는 Au 나 Ag와 같은 산화되기 어려운 물질로 구성되거나 도금될 수 있으며, 이에 반해 산화력이 높은 반응 물질로 형성된 반응 물질 부(112b)는 수분을 포함하는 외기와의 접촉으로 화학 반응을 일으키게 되고 따라서 저항 또는 도전성의 변화가 발생하게 된다.
나아가, 본 실시예에서 반응 물질 부(112b)의 반응 물질은 수분과의 반응이 빠른 칼슘인 것이 바람직하다. 즉 측정 부는 칼슘 층 또는 칼슘 바를 통해 광학적 투과도 또는 후술하는 저항변화를 측정할 수 있다.
즉 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정 장치는 상술한“칼슘 테스트" 방법의 보편성을 확보하기 위한 장치로서, “칼슘 테스트"에서 핵심적이면서 독자적으로 제작하기 어려운 부분인 칼슘 층 또는 칼? 전극 및 저항/투과도 등의 측정과 관련된 부품을 카트리지(Cartridge) 형태로 제작, 공급하는 것을 목적으로 한다.
이를 통해서 10-6 g/m2-day 수준의 가스 투습율 분석이 가능하고 기존 방법에 비해 신뢰성이 높은 데이터 확보가 가능하다.
다시 도 2를 참조하면, 카트리지 몸체(120)는 반응부(110)를 수용하며, 카트리지 몸체(120)는 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부(40)에 탈착 가능한 형태로 구성된다. 상술한 바와 같이 본 실시예에서는 반응 물질 카트리지(100)가 직육면체로 형성되어 측정부(40)에 장착됨을 예시하고 있는 바, 카트리지 몸체(120)는 직육면체로 형성되는 것이 바람직하다.
본 실시예에서 카트리지 몸체(120)의 장착은 상술한 기판의 장착과 마찬가지로 반응부(110)의 넓은 면이 공급관(20) 내부의 외기의 흐름에 대하여 직교하도록 장착되는 것이 바람직하다.
나아가 차폐수단(130)은 카트리지 몸체(120)를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체(120)에서 박리된다. 즉, 본 실시예에서 반응 물질 카트리지(100)는 차폐된 상태에서 외기 침투율 측정 장치에 장착되며, 상술한 바와 같이 펌프(5)에 의해 기판이 장착된 제1 소정 공간 양쪽의 공간의 환경을 동일하게 한 뒤, 외기 환경 조절 챔버(10)가 습도와 온도를 설정하게 되면, 차폐수단(130)을 카트리지 몸체(120)에서 박리 시키게 된다. 나아가 카트리지 몸체(120)는 소정의 저압을 만족하는 진공 상태이거나 또는 불활성 기체로 충진되는 것이 바람직하다.
차폐수단(130)의 박리는 글라스로 형성되어 카트리지 몸체(120)에서 떼어내거나, 캔 뚜껑과 같이 벗겨내는 등의 형태로 수행될 수 있다.
도 3을 참조하면, 도 2의 차폐수단(130)이 박리되게 되면, 수분을 포함하는 외기가 카트리지 내부로 침투가 가능하게 되며 반응부(110)와 접촉하게 된다.
이하, 수분을 포함하는 외기와 반응부(110)의 접촉에 따른 반응 물질의 변화를 측정하는 방법에 대하여 설명한다.
본 실시예에서 측정부(40)는 상기 외기의 반응 물질 층의 투과도 또는, 측정부(40)는 상기 외기의 반응 물질 층의 투과도를 측정한다. 즉 투과도를 측정하는 광학적 투과도 측정 방식 또는 저항 방식을 통해 측정 할 수 있다.
광학적 투과도 측정 방식의 경우 측정부(40)는 포토 센서나 이미지 센서를 통해 반응 물질 층의 투과도 변화를 측정한다. 나아가 저항 방식은 복수의 반응 물질 바(112)를 통해 멀티 포인트 분석을 통해 저항 변화 또는 전도도의 변화를 분석하게 된다.
이하 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 카트리지에 대하여 설명한다.
도 6은 기판(200)의 기판 장착부(30)의 장착예를 나타내는 도이다. 도 6을 참조하면, 기판 장착부(30)에 형성된 지지부(32,32')에 기판(200)을 장착하는 경우 기판(200)과 지지부(32,32') 사이의 공간을 통해 외기가 투과하지 않고 통과(62,62')할 수 있다. 이러한 현상은 디스플레이 패널의 유연해 질수록 상대적으로 유연하지 않은 패널에 비해 기판(200)의 기판 장착부(30)에의 장착 및 지지가 자유롭지 않게 되므로 더욱 발생할 수 있다.
반응 물질을 통한 기판(200)의 외기 침투율의 측정은 기판(200)을 투과한 외기에 의한 영향 만을 반영하여야 하므로, 기판(200)을 투과하지 않고 기판(200)을 통과한 외기가 반응물질과 접촉하는 경우가 발생하게 되면, 기판(200)의 외기 침투율 측정에 오차가 발생하게 된다.
즉 이러한 경우를 방지하기 위하여 기판(200) 역시, 도 7과 같이 기판(200)을 수용하는 카트리지 형태로 제작하게 되면 특히 상대적으로 장착 및 지지가 자유롭지 않은 유연 기판을 측정하고자 할 때 장치 외부에서 간편하게 작업할 수 있어서 측정자 간의 균일도 오류를 줄일 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따라 기판을 수용하는 기판 카트리지는 상술한 반응 물질 카트리지(100)와 유사하게 기판 카트리지 몸체(210), 기판(200) 및 기판 차폐수단(220,230)을 포함한다.
즉, 기판 카트리지 몸체(210)는 기판(200)을 수용하며 공급관(20)에 탈착 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다. 상술한 실시예에서는 제1 소정 공간에 형성된 기판 장착부(30)에 기판 카트리지 몸체(210)가 장착될 수 있다.
기판 차폐수단(220,230)은 기판 카트리지 몸체(210)를 차폐하며, 상기 기판(200)과 상기 외기의 접촉 또는 상기 반응 물질과 상기 기판(200)을 투과한 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 기판 카트리지 몸체(210)에서 박리된다. 다만, 기판 차폐수단(220,230)은 반응 물질 카트리지(100)와 달리 환경 조절 챔버(10)로 부터 공급된 외기가 기판(200)과 접촉하는 면과, 기판(200)을 투과한 외기가 배출되는 면에 대하여 양쪽으로 형성될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 실시예에서는 펌프(5)에 의해 기판(200)이 장착된 제1 소정 공간 양쪽의 공간의 환경을 동일하게 한 뒤, 외기 환경 조절 챔버(10)가 습도와 온도를 설정하게 되면, 기판 차폐수단(220,230)을 기판 카트리지 몸체(210)에서 박리 시키게 된다.
이하 상술한 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지(100)를 포함하는 기판의 외기 침투율 측정 장치를 통한 침투율 측정 방법에 대하여 설명한다.
먼저 기판(200)의 외기 침투율 측정 장치에 반응 물질 카트리지(100) 및 기판 카트리지를 장착 후 저압(바람직하게는 진공) 상태 또는 불활성 기체로 충진된 상태(또는 dry N2 atmosphere)로 만든다. 이때의 상태는 외기 환경 조절 챔버(10)의 셔터(15)를 닫은 상태에서 기판 카트리지로 구분되는 공급관(20) 양쪽의 공간을 동일 환경으로 만들어준다.
이후 외기 환경 조절 챔버(10) 내부의 습도와 온도 환경을 설정하고, 기판 카트리지의 기판 차폐수단(220,230)과 반응 물질 카트리지(100)의 차폐수단(130)를 박리 시킨다.
다음, 셔터(15)를 열고 수분을 포함하는 외기를 공급관(20)을 통해 공급한다.
기판(200)을 침투하여 투과한 외기는 반응 물질 카트리지(100)의 반응 물질과 접촉하여 반응하게 된다.
측정부(40)는 저항방식을 이용하는 경우 반응 물질의 저항 변화를 분석한다. 즉 복수의 반응 물질 바(112)의 저항 변화의 평균값을 추출한다. 또는 광학적 투과도 방식을 이용하는 경우 반응 물질 층의 투과도 변화를 포토 센서나 이미지 센서로 인지하여 분석한다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10:외기 환경 조절 챔버 20:공급관
30:기판 장착부 40:측정부
45:카트리지 장착부 100:반응 물질 카트리지
110:반응부 120:카트리지 몸체
130:차폐수단 200:기판
210:기판 카트리지 몸체 220:기판 차폐수단

Claims (9)

  1. 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응부;
    상기 반응부를 수용하며, 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부에 탈착 가능한 카트리지 몸체; 및
    상기 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체에서 박리되는 차폐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응 물질과 접촉하는 외기는 상기 기판을 투과한 수분을 포함하는 외기인 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응부는 상기 반응 물질을 포함하는 반응 물질 층으로 형성되며,
    상기 측정부는 상기 외기의 반응 물질 층의 투과도를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응부는 상기 반응 물질을 포함하는 반응 물질 부와 도전성 물질을 포함하는 도전부로 구성되어, 소정의 간격에 따라 이격되는 복수의 반응 물질 바로 형성되며,
    상기 측정부는 상기 반응 물질 바의 전기적 성질의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 반응 물질 층은 칼슘을 포함하는 칼슘 층이고,
    상기 측정부는 상기 칼슘 층의 투과도를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 반응 물질 바는 칼슘을 포함하는 칼슘 부와 상기 도전부로 구성되는 칼슘 바이고,
    상기 측정부는 상기 칼슘 바의 전도도 또는 저항의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  7. 제 1 항에 있어서 상기 기판은,
    수분을 포함하는 상기 외기가 공급되는 공급관에 탈착 가능한 기판 카트리지 몸체;
    상기 기판 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 기판과 상기 외기의 접촉 또는 상기 반응 물질과 상기 기판을 투과한 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 기판 카트리지 몸체에서 박리되는 기판 차폐수단을 포함하는 기판 카트리지에 수용되는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지.
  8. 공급되는 외기의 환경을 조절하는 외기 환경 조절 챔버;
    상기 환경 조절된 외기를 공급하는 공급관;
    상기 공급관의 제1 소정 공간에 위치하며 침투율 측정을 위한 기판이 장착되는 기판 장착부; 및
    상기 공급관의 제2 소정 공간에 위치하며 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응 물질 카트리지가 장착되는 카트리지 장착부를 구비하여 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서 상기 반응 물질 카트리지는,
    상기 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응부;
    상기 반응부를 수용하며, 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부에 탈착 가능한 카트리지 몸체; 및
    상기 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체에서 박리되는 차폐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 외기 침투율 측정 장치.
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