KR20160125120A - 수분 투과도의 측정 장치 및 측정 방법 - Google Patents

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KR20160125120A
KR20160125120A KR1020150055878A KR20150055878A KR20160125120A KR 20160125120 A KR20160125120 A KR 20160125120A KR 1020150055878 A KR1020150055878 A KR 1020150055878A KR 20150055878 A KR20150055878 A KR 20150055878A KR 20160125120 A KR20160125120 A KR 20160125120A
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Abstract

수분 투과도의 측정 장치, 및 상기 장치를 이용한 수분 투과도의 측정 방법에 관한 것이다.

Description

수분 투과도의 측정 장치 및 측정 방법 {APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING WATER VAPOR TRANSMISSION}
본원은, 수분 투과도의 측정 장치, 및 상기 장치를 이용한 수분 투과도의 측정 방법에 관한 것이다.
유기 발광 디바이스, 유기 반도체, 유기 태양 전지, 또는 박막 전지 등의 분야에 사용되는 유기 소자는 형광성 유기 화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이(self-luminous display)로 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형화가 용이하며 광시야각, 빠른 응답속도 등 액정표시 장치에 있어서 문제점으로 지적된 결점을 해결할 수 있는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.
그러나, 유기 발광 소자를 포함하는 유기 전자 소자를 구성하는 내부 발광층 및 기타 기능층들은 유기물로 구성되어 있으며, 유기물의 특성상 외부의 환경, 특히 수분 또는 산소 등에 매우 민감하여 분해되기 쉽기 때문에 유기 전자 소자의 수명이 저하된다. 따라서 일반적으로, 가스 차단성이 있는 재료를 유기 소자에 도포함으로써 수분과 산소에 의한 유기 소자의 분해를 방지한다. 이에 따라, 재료의 수분 투과도(Water Vapor Transmittance Rate, WVTR)는 상기 가스 차단성이 있는 재료의 선택이 가장 중요한 요소라 할 수 있다.
한편, 재료의 수분 투과도 또는 수분 투과도의 측정 방법으로서, 방사성 추적자(radioactive tracer)를 이용하여 측정 대상물의 수분 투과도 또는 산소 투과도를 측정하는 방법이 있으나, 인체에 유해한 방사능 물질을 사용한다는 문제가 있다. 또 다른 측정 방법으로서, 칼슘을 이용하여 측정 대상물의 수분 투과도 또는 산소 투과도를 측정하는 방법(calcium test)이 있으나, 측정에 오랜 시간이 소요되며 비용이 비싸다는 문제가 있다.
한편, 기존의 수분 투과도 측정 방법에서는, 측정 대상물의 일 면을 수분을 함유한 공기 중에 위치시키고, 측정 대상물의 반대쪽 면에 건조한 질소 가스를 도입하여 측정 대상물을 투과한 수분을 상기 건조된 질소에 접촉시킨 후 상기 질소 중에 함유된 수분의 양을 측정함으로써 일정한 시간에 박막을 통과하는 수분의 양을 측정하였다. 그러나, 이러한 측정 방법은 측정 대상물의 주변으로 스며드는 수분으로 인하여 오차가 발생하게 되며, 측정 대상물의 투과도가 작은 경우 측정에 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제2007-0049106호에는, 실험 재료의 가스 투과도를 측정하기 위한 센서에 있어서, 수분 및/또는 산소 민감성(sensitive) 재료를 포함하는 전기 전도성 센싱 요소(sensing element) 및 상기 센싱 요소에 전기적으로 연결된 두 개의 전극을 포함하는 가스 투과도 측정용 센서에 관하여 개시하고 있다.
본원은, 수분 투과도의 측정 장치, 및 상기 장치를 이용한 수분 투과도의 측정 방법을 제공하고자 한다.
그러나, 본원이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본원의 제 1 측면은, 챔버 내에 형성된 기재가 로딩되는 로딩부; 상기 로딩부 하단에 위치하고, 측정 물질을 주입하는 가스 유입부; 상기 로딩부 상단에 위치하고, 상기 기재를 투과한 상기 측정 물질의 투과도를 측정하는 가스 검출부를 포함하는, 수분 투과도의 측정 장치를 제공한다.
본원의 제 2 측면은, 챔버 내 조립식 홀더에 의해 기재를 로딩부에 로딩하는 단계; 가스유입부에 측정 물질을 포함하는 물 분자를 유입시켜 상기 기재에 투과시키는 단계; 및, 상기 기재를 투과한 측정 물질을 포함하는 물 분자의 수분 투과도를 가스 검출부에 의해 측정하는 단계를 포함하는, 수분 투과도의 측정 방법을 제공한다.
본원의 일 구현예에 따른 수분 투과도 장치는, 샘플 홀더를 이용하고, 챔버의 외부 또는 내부 히팅을 통하여 수분 투과도 측정을 가속화시키는 수분 투과도 장치를 제공한다.
종래 수분 투과도 장치 샘플 직접 로딩 방식으로서 최대 지름이 약 10 cm인 샘플만 측정 가능했으며, 직접 로딩 시에 수작업으로 인한 작업 변수가 많았으나, 본원의 일 구현예에 따른 가속화 기법을 이용한 고분해능 수분 투과도 측정 장치는 샘플 홀더를 이용하여 사이즈에 따라 측정 기재의 크기를 확장할 수 있으며, 홀더 장착 방식으로 작업 변수가 적다. 또한, 수분 투과도 챔버를 히팅하여 물의 증기압을 증가시키고 측정 기간을 단축시키는 효과가 있고, 샘플전처리 챔버를 이용하여 플라스틱 기재 내에 수분을 제거하고, 측정 후 방사능 물질을 제거하는 효과가 있다.
도 1은, 본원의 일 구현예에 따른 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
도 2는, 본원의 일 구현예에 있어서, 조립식 홀더를 나타낸 모식도이다.
도 3의 (a) 및 (b)는, 본원의 일 구현예에 있어서, 챔버 외부 가열부를 포함하는 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
도 4의 (a) 및 (b)는, 본원의 일 구현예에 있어서, 챔버 내부 가열부를 포함하는 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
도 5는, 본원의 일 구현예에 있어서, 전처리 챔버를 포함하는 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 “전기적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함” 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “약”, “실질적으로” 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “~(하는) 단계” 또는 “~의 단계”는 “~ 를 위한 단계”를 의미하지 않는다.
본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합(들)”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.
본원 명세서 전체에서, “A 및/또는 B”의 기재는 “A 또는 B, 또는 A 및 B”를 의미한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본원의 구현예 및 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본원이 이러한 구현예 및 실시예와 도면에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 제 1 측면은, 챔버 내에 형성된 기재가 로딩되는 로딩부; 상기 로딩부 하단에 위치하고, 측정 물질을 주입하는 가스 유입부; 상기 로딩부 상단에 위치하고, 상기 기재를 투과한 상기 측정 물질의 투과도를 측정하는 가스 검출부를 포함하는, 수분 투과도의 측정 장치를 제공한다.
도 1은, 본원의 일 구현예에 따른 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
도 1을 참조하면, 상기 수분 투과도 측정 장치는 챔버(100), 상기 챔버 내에 기재(110)가 로딩되는 로딩부(200), 상기 로딩부 하단에 위치하는 가스 유입부(300), 상기 로딩부 상단에 위치하는 가스 검출부(400)를 포함한다. 상기 가스 유입부(300)에 상기 기재(110)에 투과 시켜 측정할 측정 물질을 주입하고, 상기 주입된 측정 물질은 기재(110)를 투과하여 상기 가스 검출부(400)에서 측정된다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 수분 투과도는, 상기 측정 물질의 투과도를 측정함으로써, 수분에 상기 측정 물질이 결합하여 변환된 상기 측정 물질을 포함하는 물분자의 수를 측정하여 상기 기재의 수분 투과도를 측정하는 것일 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 삼중 수소 또는 상기 이중 수소는 물과 혼합하여 사용하는 것일 수 있고, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 측정 물질이 삼중 수소일 경우, 상기 삼중 수소와 물을 챔버 내에 주입하여 기재에 투과시키면, 물분자의 수소 원자 하나가 상기 삼중 수소로 변환된 물분자(HTO)가 형성되어 기재를 투과하고, 상기 투과된 삼중 수소가 결합된 물분자의 수를 측정하여 상기 기재의 수분 투과도를 측정하는 것일 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 로딩부(200)는 조립식 홀더를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 조립식 홀더는 고정 볼트(230)를 포함하는 상부 고정 유닛(210) 및 하부 고정 유닛(220)을 포함하고, 상기 고정 볼트(230)에 의해 상기 상부 고정 유닛(210) 및 상기 하부 고정 유닛(220)이 고정되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 조립식 홀더는 상기 조립식 홀더의 크기에 따라 측정 기재의 크기를 축소 또는 확장할 수 있고, 이로 인해 대면적 기재의 로딩이 가능하다. 또한, 수작업으로 하는 샘플 직접 로딩 방식이 아닌 기재가 고정된 홀더를 장착하는 방식이므로 작업 변수가 적다는 이점이 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 챔버의 내부 또는 외부에 가열부를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
도 3의 (a) 및 (b)는, 본원의 일 구현예에 있어서, 챔버 외부 가열부를 포함하는 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
본원의 일 구현예에 있어서, 도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(100) 외부에 히터[도 3의 (a)] 또는 열 교환기[도 3의 (b)]와 같은 가열부(500)를 추가 포함할 수 있으며, 상기 가열부(500)에 의해 챔버(100)를 가열하여 상기 챔버(100) 내 측정 물질의 증기압을 변화시켜 측정 기간을 단축시킬 수 있다.
도 4의 (a) 및 (b)는, 본원의 일 구현예에 있어서, 챔버 내부 가열부를 포함하는 수분 투과도 측정 장치의 모식도이다.
본원의 일 구현예에 있어서, 도 4의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(100) 내부에 히터 블록(heater block)[도 4의 (a)] 또는 히터 램프(heater lamp)[도 4의 (b)]와 같은 가열부(500)를 추가 포함할 수 있으며, 가열부(500)에 의해 상기 챔버(100)를 가열하여 상기 챔버(100) 내 측정 물질의 증기압을 변화시켜 측정 기간을 단축시킬 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 가열부(500)에 의해 상기 챔버(100)의 온도가 약 100℃ 이하의 온도로서 가열되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버(100)의 온도가 약 25℃ 내지 약 100℃, 약 25℃ 내지 약 90℃, 약 25℃ 내지 약 80℃, 약 25℃ 내지 약 70℃, 약 25℃ 내지 약 60℃, 약 25℃ 내지 약 50℃, 약 25℃ 내지 약 40℃, 또는 약 25℃ 내지 약 30℃의 온도로서 가열되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 챔버(100)의 일 측면에 전처리 챔버(600)를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 전처리 챔버(600)는 상기 챔버(100)에서 수분투과도를 측정하기 전, 상기 기재(110)의 수분 또는 불순물을 제거하는 것일 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 전처리 챔버(600)는 펌프(610); 및, 상기 전처리 챔버(600)의 내부 또는 외부에 배치된 전처리 챔버 가열부(640)를 포함하며, 상기 전처리 챔버(600)는 상기 챔버(100)와 게이트 밸브(630)에 의해 연결된 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 한쪽 측면에 게이트 밸브(630)에 의해 연결된 전처리 챔버(600)를 추가 포함할 수 있으며, 상기 전처리 챔버(600)는 펌프(610), 로드락(620), 전처리 챔버 가열부(640)를 포함한다. 상기 게이트 밸브(630)는 상기 챔버(100)와 상기 전처리 챔버(600) 사이에 있는 중간 게이트(gate)로서, 상기 챔버(100)와 상기 전처리 챔버(600)를 연결하거나 또는 격리시켜주는 역할을 한다. 상기 게이트 밸브(630)는 에어(air)를 이용하여 밸브를 on/off 함으로써 상기 챔버(100)와 상기 전처리 챔버(600)를 연결하거나 격리시킬 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 전처리 챔버(600)의 펌프(610)는 대기로부터 격리된 전처리 챔버(600) 내부의 기체 분자들을 제거해 원하는 진공 상태를 형성하는 역할을 할 수 있고, 예를 들어, 드라이(dry) 펌프 또는 로터리(rotary) 펌프를 사용할 수 있으며, 진공도에 따라 펌프 종류의 교체가 가능하다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 전처리 챔버(600)를 상기 전처리 챔버 가열부(640)에 의해 가열함으로써 수분 투과도 측정에 영향을 주는 기재(110) 또는 지그(jig)를 미리 가열하여 상기 기재(110) 또는 지그에 흡착되어 있는 수분을 제거할 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 이로 인해 상기 기재(110) 또는 지그에 흡착되어 있는 수분을 제거함으로써 상기 챔버(100)에서의 측정 수치의 오차를 줄일 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 로드락(620)은 상기 전처리 챔버(600)의 분위기를 그대로 유지하면서 기재(110) 또는 샘플을 로딩 또는 언로딩할 수 있는 역할을 한다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 전처리 챔버(600)에서 전처리된 기재(110)를 상기 챔버(100)에 로봇 암(robot arm)을 이용하여 자동으로 이동시키거나, 또는 선형 모터 가이드(linear motor guide, LM 가이드)를 이용하여 수동으로 이동시키는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 LM 가이드란 직선 운동 베어링으로서, 구체적으로, 정교하게 가공된 직선형 레일을 블록 내부의 볼이 구르면서 직선으로 무한 순환 운동을 하며 직선으로 이송시키는 이송 장치를 의미한다.
본원의 제 2 측면은, 챔버 내 조립식 홀더에 의해 기재를 로딩부에 로딩하는 단계; 가스유입부에 측정 물질을 포함하는 물 분자를 유입시켜 상기 기재에 투과시키는 단계; 및, 상기 기재를 투과한 측정 물질을 포함하는 물 분자의 수분 투과도를 가스 검출부에 의해 측정하는 단계를 포함하는, 수분 투과도의 측정 방법을 제공한다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 가스 유입부에 상기 기재에 투과 시켜 측정할 측정 물질을 주입하고, 상기 주입된 측정 물질은 기재를 투과하여 상기 가스 검출부에서 측정된다. 예를 들어, 삼중수소를 이용하여 수분 투과도를 측정할 경우, 삼중수소를 물분자에 포함시켜 상기 가스 유입부로 주입시킨 후 기재를 투과하면 상기 가스 검출부에서 삼중수소를 포함한 물분자의 수를 측정하여 수분 투과도를 측정할 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 삼중 수소 또는 상기 이중 수소는 물과 혼합하여 사용하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 측정 물질이 삼중 수소일 경우, 상기 삼중 수소와 물을 챔버 내에 주입하여 기재에 투과시키면, 물분자의 수소 원자 하나가 상기 삼중 수소로 변환된 물분자(HTO)가 형성되어 기재를 투과하고, 상기 투과된 삼중 수소가 결합된 물분자의 수를 측정하여 상기 기재의 수분 투과도를 측정하는 것일 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 조립식 홀더는 고정 볼트를 포함하는 상부 고정 유닛 및 하부 고정 유닛을 포함하고, 상기 고정 볼트에 의해 상기 상부 고정 유닛 및 상기 하부 고정 유닛이 고정되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 기재를 로딩한 후 가열부에 의해 상기 챔버를 가열하는 단계를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 가열부에 의해 상기 챔버의 온도가 약 100℃ 이하의 온도로서 가열되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버의 온도가 약 25℃ 내지 약 100℃, 약 25℃ 내지 약 90℃, 약 25℃ 내지 약 80℃, 약 25℃ 내지 약 70℃, 약 25℃ 내지 약 60℃, 약 25℃ 내지 약 50℃, 약 25℃ 내지 약 40℃, 또는 약 25℃ 내지 약 30℃의 온도로서 가열되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 기재는 상기 기재를 상기 로딩부에 로딩하는 단계 전에 수분을 제거하는 것 또는 상기 수분 투과도 측정 후 방사능 물질을 제거하는 것을 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
본원의 일 구현예에 있어서, 상기 챔버는 상기 챔버의 일 측면에 전처리 챔버를 추가 포함할 수 있고, 상기 전처리 챔버는 상기 기재를 상기 로딩부에 로딩하는 단계 전에 수분을 제거하는 것 또는 상기 수분 투과도 측정 후 방사능 물질을 제거하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.
이하, 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본원이 이에 제한되지 않을 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 챔버 110: 기재
200: 로딩부 210: 상부 고정 유닛
220: 하부 고정 유닛 230: 고정 볼트
300: 가스 유입부 400: 가스 검출부
500: 가열부 600: 전처리 챔버
610: 펌프 620: 로드락(load lock)
630: 게이트 밸브 640: 전처리 챔버 가열부

Claims (13)

  1. 챔버 내에 형성된 기재가 로딩되는 로딩부;
    상기 로딩부 하단에 위치하고, 측정 물질을 주입하는 가스 유입부;
    상기 로딩부 상단에 위치하고, 상기 기재를 투과한 상기 측정 물질의 투과도를 측정하는 가스 검출부
    를 포함하는, 수분 투과도의 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩부는 조립식 홀더를 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 조립식 홀더는 고정 볼트를 포함하는 상부 고정 유닛 및 하부 고정 유닛을 포함하고, 상기 고정 볼트에 의해 상기 상부 고정 유닛 및 상기 하부 고정 유닛이 고정되는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부 또는 외부에 가열부를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가열부에 의해 상기 챔버의 온도가 100℃ 이하의 온도로서 가열되는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 일 측면에 전처리 챔버를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 전처리 챔버는 펌프; 및,
    상기 전처리 챔버의 내부 또는 외부에 배치된 전처리 챔버 가열부를 포함하며,
    상기 전처리 챔버는 상기 챔버와 게이트 밸브에 의해 연결된 것인, 수분 투과도의 측정 장치.
  9. 챔버 내 조립식 홀더에 의해 기재를 로딩부에 로딩하는 단계;
    가스유입부에 측정 물질을 포함하는 물 분자를 유입시켜 상기 기재에 투과시키는 단계; 및,
    상기 기재를 투과한 측정 물질을 포함하는 물 분자의 수분 투과도를 가스 검출부에 의해 측정하는 단계
    를 포함하는, 수분 투과도의 측정 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 조립식 홀더는 고정 볼트를 포함하는 상부 고정 유닛 및 하부 고정 유닛을 포함하고, 상기 고정 볼트에 의해 상기 상부 고정 유닛 및 상기 하부 고정 유닛이 고정되는 것인, 수분 투과도의 측정 방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 기재를 로딩한 후 가열부에 의해 상기 챔버를 가열하는 단계를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 기재는 상기 기재를 상기 로딩부에 로딩하는 단계 전에 수분을 제거하는 것 또는 상기 수분 투과도 측정 후 방사능 물질을 제거하는 것을 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법.


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