KR101464034B1

KR101464034B1 - Excimer lamp

Info

Publication number: KR101464034B1
Application number: KR1020120011741A
Authority: KR
Inventors: 마사토시 시모나카; 마사타카 가와구치
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2011-03-11
Filing date: 2012-02-06
Publication date: 2014-11-20
Also published as: CN102683163A; JP2012190676A; TWI482196B; KR20120104089A; TW201237925A; CN102683163B; JP5376410B2

Abstract

방전 용기의 외표면에 적어도 한쪽이 광 투과성의 외부 전극이 설치되고, 상기 방전 용기의 내면에는 시동 보조 전극이 배치되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 시동 보조 전극으로부터 외부 전극에 걸쳐 연면 방전이 발생하고, 외부 전극간의 정규 방전에 영향을 미치지 않는 구조를 제공하는 것에 그 목적이 있고, 이를 위해 상기 외부 전극에는, 그 축방향의 단부로부터 상기 방전 용기의 관축 방향을 따라 연장되는 근원부와, 이 근원부의 선단으로부터 상기 방전 용기의 폭방향으로 연장되는 가지부로 이루어지는 가지형상 전극이 설치되고, 상기 시동 보조 전극은, 적어도 한쪽의 상기 외부 전극의 가지형상 전극의 가지부의 선단과 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.Wherein at least one of the external electrodes is provided on the outer surface of the discharge vessel and a starting auxiliary electrode is disposed on the inner surface of the discharge vessel. In the excimer lamp, surface discharge is generated from the auxiliary auxiliary electrode to the external electrode, The outer electrode is provided with a root portion extending from the end in the axial direction along the tube axis direction of the discharge vessel, Like electrode extending from the tip end to the width direction of the discharge container and the starting auxiliary electrode is arranged so as to overlap the tip end of the branch portion of the branch electrode of at least one of the external electrodes do.

Description

EXCIMER LAMP}

본 발명은, 방전 용기의 외표면에 한쌍의 광 투과성 외부 전극을 가지는 엑시머 램프에 관한 것으로, 특히, 방전 용기의 내면에 시동 보조 전극이 배치되어 이루어지는 엑시머 램프에 관련된 것이다.The present invention relates to an excimer lamp having a pair of light-transmitting external electrodes on the outer surface of a discharge vessel, and more particularly to an excimer lamp in which a starting auxiliary electrode is disposed on the inner surface of a discharge vessel.

종래, 방전 용기의 외표면에 한쌍의 외부 전극을 대향 배치시켜 이루어지는 엑시머 램프가 알려져 있고, 그 방전 용기의 광 방사면에 형성되는 외부 전극은, 광을 취출한다는 본래의 기능을 다하기 위해서, 예를 들면 금 페이스트를 격자형상으로 도포한 광 투과성 전극이 이용되고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an excimer lamp has been known in which a pair of external electrodes are disposed on the outer surface of a discharge vessel so as to face each other. In order to fulfill the original function of extracting light, an external electrode formed on the light- A light-transmitting electrode in which a gold paste is applied in a lattice shape is used.

한편, 상기 광 방사면에 대향하는 광을 취출하지 않는 측의 외표면에 형성하는 외부 전극으로는, 기능적으로는 광 투과성일 필요는 없지만, 대부분의 경우, 제조 공정의 간소화나, 상기 방전 용기 내에서 발생하는 방전의 안정성 등의 관점으로부터, 상기 광 방사면과 마찬가지로 광 투과성 전극을 그대로 이용하는 것도 행해지고 있다.On the other hand, the external electrode formed on the outer surface on the side not taking out the light opposite to the light emitting surface is not necessarily functionally light transmissive, but in most cases, the manufacturing process is simplified, The light-transmitting electrode is used as it is in the same manner as the above-described light-emitting surface.

이러한 엑시머 램프의 시동성을 개선하는 목적으로, 방전 용기 내면에 도전성 물질로 이루어지는 시동 보조 전극을 설치하는 것도 알려져 있다. 예를 들면, 일본국 특허공개 평 11－273629호 공보(특허 문헌 1)가 그것이며, 발광관의 외표면에 설치한 한쌍의 외부 전극의 일단부에 있어서, 그 발광관의 내표면에 도전성 재료로 이루어지는 시동 보조 전극을 설치한 것이다. 그리고, 이 시동 보조 전극은 외부 전극간에 설치되는 것인데, 반드시 양 외부 전극과 겹치지 않아도 되는 것도 개시되어 있다.For the purpose of improving the startability of such an excimer lamp, it is also known to provide a starting auxiliary electrode made of a conductive material on the inner surface of the discharge vessel. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-273629 (Patent Document 1) discloses a structure in which, in one end portion of a pair of external electrodes provided on the outer surface of an arc tube, The auxiliary auxiliary electrode is provided. It is also disclosed that the starting assist electrode is provided between the external electrodes, but it is not necessarily overlapped with both external electrodes.

도 8에는, 외부 전극으로서 광 투과성 전극을 이용한 엑시머 램프가 나타나 있고, 방전 용기(11)의 외표면에 한쌍의 광 투과성의 외부 전극(12)이 대향 배치되어 있다. 그 외부 전극(12)의 일단부에 있어서, 방전 용기(11)의 내표면에 시동 보조 전극(13)이 설치된다.8 shows an excimer lamp using a light-transmissive electrode as an external electrode, and a pair of light-transmissive external electrodes 12 are arranged on the outer surface of the discharge vessel 11 so as to face each other. At one end of the external electrode 12, a starting auxiliary electrode 13 is provided on the inner surface of the discharge vessel 11.

이와 같이 시동 보조 전극(13)을 배치함으로써, 예를 들면 한쪽의 외부 전극(12)에 고주파 고전압을 인가하여 점등시킬 때에, 전하를 그 시동 보조 전극을 통하여 다른쪽의 외부 전극에 신속하게 이동시킴으로써, 시동성이 향상하게 된다.By disposing the starting auxiliary electrode 13 in this way, for example, when the high frequency high voltage is applied to one of the external electrodes 12 to light it, the electric charge is quickly moved to the other external electrode through the starting auxiliary electrode , The startability is improved.

그런데, 전(前) 시동 보조 전극(13)과 외부 전극(12)의 사이에서의 방전은, 시동시만에 머물지 않고, 통상 점등으로 이행한 후도 그 방전이 발생하고 있고, 이것이, 도시하는 바와같이, 연면 방전(X)으로서 외부 전극(12) 방향으로 전파된다.The discharge between the front auxiliary auxiliary electrode 13 and the outer electrode 12 does not remain at the time of starting and the discharge occurs even after the transition to the normal lighting. And propagates toward the external electrode 12 as a surface discharge X, as shown in Fig.

이와 같이 연면 방전(X)이 일어나면, 그 만큼의 에너지가 소비되어 버려, 본래의 외부 전극간에서의 정규 방전에 필요한 전체의 에너지가 적어져 조도 저하를 초래하게 된다.When the surface discharge X is generated in this manner, energy corresponding to the surface discharge X is consumed, and the total energy required for the normal discharge between the original external electrodes is reduced, leading to reduction in the luminance.

또한, 당해 연면 방전(X)이 발생하는 부위에서의 부분적인 조도 저하도 일어나, 바람직하지 않다.In addition, it is also undesirable that the surface roughness is lowered at the portion where the surface discharge X is generated.

이러한 시동 보조 전극과 외부 전극간의 연면 방전을 방지하는 기술로서, 일본국 특허공개 2010－225343호 공보(특허 문헌 2)에서는, 광 투과성 전극의 단부에 축방향으로 연장되는 가지형상 전극을 설치한 것이 개시되어 있다.Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-225343 (Patent Document 2) discloses a technique for preventing the surface discharge between the starting auxiliary electrode and the external electrode by disposing a branch electrode extending in the axial direction at the end of the light- Lt; / RTI >

도 9에 그 종래예가 나타나 있고, 방전 용기(11)의 외표면의 광 투과성 외부 전극(12)의 단부에 축방향으로 연장하는 가지형상 전극(14)이 설치되어 있다. 상기 방전 용기(11)의 내면에는 도전성 물질로 이루어지는 시동 보조 전극(13)이 설치되고, 그 시동 보조 전극(13)은 상기 가지형상 전극(14)의 선단부와 방전 용기(11)를 통하여 서로 겹치도록 배치되어 있다.Fig. 9 shows the conventional example, and a branch-like electrode 14 extending in the axial direction is provided at the end of the light-transmissive external electrode 12 on the outer surface of the discharge vessel 11. Fig. A starting auxiliary electrode 13 made of a conductive material is provided on the inner surface of the discharge vessel 11 and the starting auxiliary electrode 13 is overlapped with the leading end of the branch electrode 14 through the discharge vessel 11, Respectively.

이 종래 기술에 있어서는, 시동 보조 전극(13)을 이 가지형상 전극(14)의 단부에 대응시켜 형성함으로써, 그 외부 전극(12)과 시동 보조 전극(13)의 거리를 이간시켜, 연면 방전이 일어나기 어려운 구조로 하고 있다.According to this conventional technique, since the starting auxiliary electrode 13 is formed so as to correspond to the end portion of the branched electrode 14, the distance between the external electrode 12 and the starting auxiliary electrode 13 is made different, It is structured to be difficult to get up.

그러나, 최근에 있어서의 엑시머 램프의 고조도화에 대한 요청으로부터 램프에 대한 더한층의 고입력화가 요구됨에 따라, 상기 종래 구성에서도 시동 보조 전극(13)으로부터의 연면 방전(X)이 가지형상 전극(14)을 따르도록 외부 전극(12)까지 도달하는 경우가 있고, 그 영향이 외부 전극(12)간에서의 정규 방전에 영향을 미치게 되었다. 상기 종래 기술의 구성에서 이를 회피하고자 하면, 가지형상 전극(14)을 더욱 길게 관축 방향으로 연장하면 되지만, 그러면 램프 전체 길이의 장척화를 초래하고, 유효 발광 길이와의 균형에서, 실용상 부적합하여 수용할 수 없다.However, in recent years, as the demand for higher illuminance of the excimer lamp has been increased, a higher level of input to the lamp has been required, so that the surface discharge X from the starting auxiliary electrode 13 is also applied to the branch electrodes 14 And the influence thereof affects the normal discharge between the external electrodes 12. The external electrodes 12 are connected to the external electrodes 12 via the external electrodes 12, In order to avoid this problem, it is necessary to extend the branch electrode 14 longer in the tube axis direction. However, this leads to a longer length of the lamp overall length, and in the balance with the effective light emission length, I can not accept it.

특허 문헌 1 : 일본국 특허공개 평 11－273629호 공보Patent Document 1: JP-A-11-273629 특허 문헌 2 : 일본국 특허공개 2010－225343호 공보Patent Document 2: JP-A-2010-225343

본 발명은, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여, 방전 용기의 외표면에 적어도 한쪽이 광 투과성의 한쌍의 외부 전극이 설치되고, 상기 방전 용기의 내면에는 시동 보조 전극이 배치되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 한정된 스페이스에서 가능한 한 연면 거리가 긴 가지형상 전극을 설치함으로써, 상기 시동 보조 전극으로부터의 연면 방전을 그 가지형상 전극을 따라 뻗게 하여 외부 전극에 이르지 않고, 외부 전극간에서의 정규 방전에 영향을 받지 않도록 한 엑시머 램프를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an excimer lamp in which at least one of external electrodes is provided on the outer surface of a discharge vessel and light- Shaped electrode having a long creepage distance as long as possible in a limited space, a surface discharge from the auxiliary starting electrode is extended along the branched electrode so as not to reach the external electrode and to affect the normal discharge between the external electrodes Thereby preventing the lamp from being received.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 상기 외부 전극에는, 그 축방향의 단부로부터 상기 방전 용기의 관축 방향을 따라 연장되는 근원부와, 상기 근원부의 선단으로부터 상기 방전 용기의 폭방향으로 연장되는 가지부로 이루어지는 가지형상 전극이 설치되고, 상기 시동 보조 전극은, 적어도 한쪽의 상기 외부 전극의 가지형상 전극의 가지부의 선단과 서로 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, in the present invention, the external electrode is provided with a root portion extending from an axial end of the external electrode along a tube axis direction of the discharge vessel, and a base portion extending from a distal end of the root portion in a width direction of the discharge vessel Shaped electrode composed of a branch portion and the starting auxiliary electrode is arranged so as to overlap the tip of the branch portion of the branch electrode of at least one of the external electrodes.

또한, 상기 가지형상 전극의 근원부는, 상기 외부 전극의 폭방향의 일단부로부터 관축 방향을 따라 연장되고, 상기 가지부는 상기 근원부의 선단으로부터 상기 방전 용기의 폭방향의 타단부로 연장되어 있는 것을 특징으로 한다.The base portion of the branch electrode extends along the tube axis direction from one end in the width direction of the external electrode and the branch portion extends from the tip of the base portion to the other end in the width direction of the discharge vessel .

또한, 상기 가지형상 전극의 상기 근원부와 상기 가지부의 접속부에 있어서의 폭이, 상기 가지부의 폭보다도 큰 것을 특징으로 한다.The width of the branch electrode at the connecting portion between the root portion and the branch portion is larger than the width of the branch portion.

또한, 상기 가지형상 전극의 가지부의 선단부에 있어서의 폭이, 그 가지부의 그 이외의 영역의 폭보다도 큰 것을 특징으로 한다.The width of the tip portion of the branch portion of the branch electrode is larger than the width of the other portion of the branch portion.

본 발명에 의하면, 외부 전극에 설치되는 가지형상 전극을, 관축 방향으로 연장하는 근원부와 폭방향으로 연장하는 가지부로 구성했으므로, 시동 보조 전극과 가지형상 전극의 가지부 선단간에서 처음으로 발생하는 연면 방전은, 이 가지부를 따라 이행된다. 이에 대하여, 상기 시동 보조 전극으로부터 외부 전극을 직선적으로 연결하는 공극부에는 전극이 존재하지 않기 때문에, 유리 내면에 전하가 모이지 않아 전위가 형성되지 않으므로, 공극부 방향으로의 전계가 발생하지 않고, 외부 전극 방향으로의 연면 방전이 발생하지 않는다.According to the present invention, since the branch electrode provided on the external electrode is composed of the root portion extending in the tube axis direction and the branch portion extending in the width direction, The surface discharge is carried out along this branch. On the other hand, since there is no electrode in the air gap portion that linearly connects the external electrode from the starting auxiliary electrode, no electric charge is gathered on the inner surface of the glass, so no electric field is generated, Surface discharge does not occur in the direction of the electrode.

또한, 상기 가지형상 전극의 근원부를, 외부 전극의 단부의 폭방향의 위치 단부로부터 연장하도록 설치함으로써, 가지부의 길이를 최대한 길게 하고, 가지형상 전극의 전체 길이를 크게 취할 수 있어, 연면 방전이 외부 전극에 이르는 것을 확실하게 방지할 수 있다.By providing the root portion of the branch electrode so as to extend from the position end portion in the width direction of the end portion of the outer electrode, the length of the branch portion can be maximized and the total length of the branch electrode can be increased, It is possible to reliably prevent reaching the electrode.

또한, 가지형상 전극의 가지부보다도, 근원부와 가지부의 접속 부분에 있어서 폭을 크게 함으로써, 전극부의 넓은 면적 부분인 접속 부분에 대부분의 전하가 축적되게 된다. 이에 따라, 시동 보조 전극과 가지부 선단간에서 최초로 발생한 연면 방전은, 이 전하가 보다 많이 축적된 접속부 방향을 향해 상기 가지부를 따라 한층 이행하기 쉬워진다.Further, by increasing the width at the connection portion between the root portion and the branch portion, most of the charges are accumulated in the connection portion which is a large area portion of the electrode portion, as compared with the branch portion of the branch electrode. As a result, the surface discharge first generated between the starting auxiliary electrode and the tip of the branch becomes easier to move along the branch portion toward the direction of the connection portion in which this charge is accumulated more.

또한, 가지형상 전극의 가지부의 선단부에 있어서의 폭을 크게 함으로써, 시동 보조 전극과 당해 폭이 넓은 선단부의 사이의 유리 내면에 전하가 모이기 쉬워져, 해당 양자간에서 최초로 연면 방전이 발생하기 쉬워진다. 이 당초의 연면 방전이, 상기한 것처럼, 가지부를 따라 이행하므로, 시동 보조 전극과 외부 전극의 사이를 직선적으로 연결하는 연면 방전이 발생하지 않는다.Further, by increasing the width at the tip of the branch portion of the branch electrode, charges are likely to collect on the inner surface of the glass between the starting auxiliary electrode and the wide end portion, and surface discharge is likely to occur for the first time . As described above, since the initial surface discharge shifts along the branch portion as described above, the surface discharge which linearly connects the starting auxiliary electrode and the external electrode does not occur.

이와 같이, 램프 전체 길이를 장척화하지 않고, 연면 방전이 이행하는 거리를 길게 하여 외부 전극에 이르지 않도록 했으므로, 외부 전극간의 본래의 정규 방전에 악영향을 미치지 않는다는 효과를 가진다.As described above, since the total length of the lamp is not made longer, the distance to which the surface discharge is transferred is made longer so as not to reach the external electrode, so that the original normal discharge between the external electrodes is not adversely affected.

도 1은 본 발명의 엑시머 램프의 사시도.
도 2는 도 1의 상면도.
도 3은 도 2의 A－A 단면도.
도 4는 도 2의 B－B 부분 단면도.
도 5는 도 1에 나타내는 가지형상 전극과 시동 보조 전극의 관계를 나타내는 모식도.
도 6은 다른 실시예의 부분 상면도.
도 7은 또 다른 실시예의 부분 상면도.
도 8은 종래 기술의 상면도(A)와 그 단면도(B).
도 9는 별도의 종래 기술의 상면도.1 is a perspective view of an excimer lamp of the present invention.
Fig. 2 is a top view of Fig. 1; Fig.
3 is a sectional view taken along the line A-A in Fig.
4 is a partial sectional view taken along the line B-B of Fig.
Fig. 5 is a schematic diagram showing the relationship between the branch electrode shown in Fig. 1 and the starting auxiliary electrode; Fig.
6 is a partial top view of another embodiment.
7 is a partial top view of yet another embodiment.
8 is a top view (A) and a sectional view (B) of a prior art.
Figure 9 is a top view of another prior art.

도 1에 나타내는 바와같이, 본 발명의 엑시머 램프(1)의 방전 용기(2)에는, 그 양면에 한쌍의 광 투과성의 외부 전극(3, 3)이 대향 배치되어 있다.1, a pair of light-permeable external electrodes 3 and 3 are disposed on both sides of a discharge vessel 2 of an excimer lamp 1 of the present invention.

도 2 이하에서 상세하게 나타내는 바와같이, 상기 각 외부 전극(3)의 단부에는 대략 L자형상의 가지형상 전극(4)이 설치되어 있다. 상기 가지형상 전극(4)은, 근원부(5)와 가지부(6)로 이루어지고, 상기 근원부(5)는, 상기 외부 전극(3)에 있어서의 방전 용기(2)의 폭방향의 일단으로부터 관축 방향으로 연장되고, 상기 가지부(6)는, 상기 근원부(5)의 선단으로부터 방전 용기(2)의 폭방향의 타단측으로 연장되어 있다.As shown in detail in FIG. 2 and subsequent drawings, a substantially L-shaped branch-shaped electrode 4 is provided at the end of each of the external electrodes 3. The branch electrode 4 is composed of a root portion 5 and a branch portion 6 and the root portion 5 is formed in the width direction of the discharge vessel 2 in the external electrode 3, And the branch portion 6 extends from the tip end of the base portion 5 to the other end side in the width direction of the discharge vessel 2. [

특히, 도 2의 A―A 단면도인 도 3이나, 가지형상 전극과 시동 보조 전극만을 취출한 사시도인 도 5에 나타내는 바와같이, 상기 방전 용기(2)의 내면에는 도전성 물질로 이루어지는 시동 보조 전극(7)이 설치되어 있다. 그리고, 이 시동 보조 전극(7)은, 상기 가지형상 전극(4)의 가지부(6)의 선단부(6a)와 방전 용기(2)를 통하여 겹치도록 배치되어 있다.In particular, as shown in Fig. 3, which is a cross-sectional view taken along the line A-A in Fig. 2, and Fig. 5 is a perspective view showing only a branch electrode and a starting auxiliary electrode, only a starting auxiliary electrode 7) are installed. The starting auxiliary electrode 7 is arranged so as to overlap with the tip end 6a of the branch portion 6 of the branch electrode 4 through the discharge vessel 2.

상기 구성에 있어서, 엑시머 램프의 시동시에, 한쪽의 외부 전극(3)에 인가된 고주파 전류는 일종의 콘덴서 결합을 한 상태로 되어 방전 용기(2)를 구성하는 유전체의 벽을 통해 다른쪽의 외부 전극(3)에 고주파 전류가 흐르고, 방전이 발생하기 쉬워져 시동성이 향상된다.In the above configuration, the high-frequency current applied to one external electrode (3) at the time of starting the excimer lamp becomes a kind of condenser coupling, and is discharged through the wall of the dielectric constituting the discharge vessel (2) A high frequency current flows through the electrode 3, and discharge is likely to occur, thereby improving the startability.

이 때, 외부 전극(3)에 접속된 가지형상 전극(4)은 대략 L자형상이며, 시동 보조 전극(7)에 모인 전하는 가지형상 전극(4)이 형성된 부위, 즉, 가지부(6)를 따라 이동하고, 그 후 근원부(5)를 따라 이동한다고 하는 것처럼, 긴 경로를 따라 이동하게 되어, 외부 전극(3)에까지 이르지 않는다. 그리고, 시동 보조 전극(7)과 외부 전극(3)의 최단 거리를 연결하는 경로에는 가지형상 전극이 존재하지 않고, 그 사이에서 전하의 이동이 일어나지 않게 되므로, 시동 보조 전극(7)과 외부 전극(3)의 사이에 연면 방전이 생기기 어려워진다.At this time, the branch electrode 4 connected to the external electrode 3 is substantially L-shaped, and the charge collected on the start-up auxiliary electrode 7 is transferred to a portion where the branch electrode 4 is formed, And then moves along the long path, as when moving along the root portion 5, so that it does not reach the external electrode 3. [ Since no branch electrode exists in the path connecting the shortest distance between the starting auxiliary electrode 7 and the external electrode 3 and the charge does not move between the auxiliary electrode 7 and the external electrode 3, It is difficult for the surface discharge to occur between the electrodes 3 in the first embodiment.

더욱 상세히 기술하면, 램프 시동시에는, 가지형상 전극(4)의 가지부(6)에 대향하는 유리관(방전 용기(2))의 내면에는 전하가 모여, 전위가 형성된다.More specifically, at the time of starting the lamp, electric charge is accumulated on the inner surface of the glass tube (discharge vessel 2) opposite to the branch portion 6 of the branch electrode 4 to form a potential.

시동 보조 전극(7)과 상기 가지부(6)의 선단부(6a)는 유리를 통하여 겹쳐지고, 그 사이의 거리가 매우 작기 때문에, 강한 전계가 발생하여, 이 부위에서 연면 방전이 발생한다.The starting auxiliary electrode 7 and the tip end portion 6a of the branch portion 6 are overlapped with each other through the glass and the distance therebetween is very small so that a strong electric field is generated and a surface discharge is generated at this portion.

여기의 방전이 종료하면, 순차적으로 가지부(6)를 따라 근원부(5) 방향으로 이동하도록 계속적으로 시동 보조 전극(7)과 가지부(6)의 사이에서 방전이 일어난다. 즉, 연면 방전이 가지형상 전극(4)의 가지부(6)를 따라 이동하도록 발생한다.When the discharge is completed, a discharge is continuously generated between the starting auxiliary electrode 7 and the branch portion 6 so as to sequentially move along the branch portion 6 in the direction of the root portion 5. That is, surface discharge occurs so as to move along the branch portions 6 of the branch electrode 4.

한편, 가지형상 전극(4)의 가지부(6)의 선단부(6a)와, 외부 전극(3)의 사이에는, 이들을 단락적으로 연결하는 가지형상 전극이 없기 때문에, 유리 내면에 전하가 모이지 않아 전위가 형성되지 않는다. 이 때문에, 시동 보조 전극(7)과 외부 전극(3)을 연결하는 직선 방향의 유리 표면에 전계가 생기지 않고, 그 외부 전극(3) 방향으로의 연면 방전이 발생하지 않는다.On the other hand, since there is no branch electrode between the tip end 6a of the branch portion 6 of the branch electrode 4 and the external electrode 3 in a short-circuiting manner, no charge is collected on the inner surface of the glass No dislocation is formed. Therefore, no electric field is generated on the glass surface in the linear direction connecting the start assist electrode 7 and the external electrode 3, and surface discharge in the direction of the external electrode 3 does not occur.

도 6에 다른 실시예가 나타나 있고, 가지형상 전극(4)에 있어서의 근원부(5)와 가지부(6)의 접속부(8)의 폭이, 상기 가지부(6)의 폭보다도 크게 되어 있다.6 shows another embodiment wherein the width of the connection portion 8 between the base portion 5 and the branch portion 6 in the branch electrode 4 is larger than the width of the branch portion 6 .

이렇게 함으로써, 보다 넓은 면적을 가지는 접속부(8)에는 전하가 보다 많이 축적되어, 시동 보조 전극(7)과 가지부(6)의 접속부(8) 방향의 전계가 강해지고, 그 시동 보조 전극(7)과 가지부(6)의 선단부(6a)의 사이에 발생한 연면 방전은, 이 접속부(8) 방향을 향해 이동하기 쉬워진다. 이 때문에, 가지형상 전극(4)의 가지부(6)로부터 외부 전극(3)에 직접 향하는 연면 방전이 일어나는 것이 한층 더 방지된다.As a result, more electric charges are accumulated in the connection portion 8 having a wider area, and the electric field in the direction of the connection portion 8 between the starting auxiliary electrode 7 and the branch portion 6 is strengthened. And the distal end portion 6a of the branch portion 6 are liable to move toward the connection portion 8 direction. Therefore, the generation of the surface discharge directly from the branch portion 6 of the branch electrode 4 to the external electrode 3 is further prevented.

또한, 도 7에 또 다른 실시예가 나타나 있고, 가지형상 전극(4)의 가지부(6)의 선단부(6a)의 폭이, 그 외의 영역 부분의 폭보다도 크게 형성되어 있다.7 shows another embodiment in which the width of the tip end 6a of the branch portion 6 of the branch electrode 4 is larger than the width of the other region.

이렇게 함으로써, 당해 선단부(6a)에서의 축적 전하가 보다 많아지고, 이 부분과 시동 보조 전극(7)의 사이에서의 연면 방전이 발생하기 쉬워져, 그 시동 보조 전극(7)으로부터 외부 전극(3)에 걸쳐 방전이 발생하는 것을 방지할 수 있다.As a result, the stored charges at the tip portion 6a become larger, and the surface discharge between the portion and the auxiliary auxiliary electrode 7 is liable to occur, It is possible to prevent the discharge from occurring.

또한, 상기 실시예에 있어서는, 가지형상 전극(4)의 근원부(5)는, 외부 전극(3)의 폭방향의 일단부로부터 관축 방향으로 연장되는 것을 나타냈는데, 반드시 엄밀하게 일단부로부터 연장된다고는 한정되지 않고, 폭방향의 단부이면 그 위치는 적절히 선택할 수 있다.In the above embodiment, the root portion 5 of the branch electrode 4 is shown extending from one end in the width direction of the external electrode 3 in the tube axis direction. However, it must be strictly extended from one end And the position of the end portion in the width direction can be appropriately selected.

이러한 경우에도, 가지형상 전극(4)을 L자형상으로 하여 폭방향으로 연장되는 가지부(6)를 형성한 것 만큼, 도 9에 나타내는 종래 기술에 있어서의 가지형상 전극(14)과의 비교에 있어서, 방전 용기(2)의 전체 길이를 바꾸지 않고, 연면 방전이 뻗는 길이를 크게 취할 수 있다.In this case, as compared with the case of forming the branch portions 6 extending in the width direction with the branch electrode 4 formed in the L shape, compared with the branch electrode 14 in the prior art shown in Fig. 9 The length of the surface discharge can be increased without changing the overall length of the discharge vessel 2.

통상, 상기 실시예와 같이, 가지형상 전극(4)의 근원부(5)를 외부 전극(3)의 폭방향의 일단부로부터 연장하도록 설치함으로써, 가지부(6)의 길이를 최대한으로 크게 할 수 있어 매우 적합하다.The root portion 5 of the branch electrode 4 is provided so as to extend from one end in the width direction of the external electrode 3 as in the above embodiment so that the length of the branch portion 6 is made as large as possible It is very suitable.

또한, 시동 보조 전극(7)은, 한쌍의 외부 전극(3, 3)의 가지형상 전극(6, 6)의 양자와 서로 겹치는 양태를 나타냈는데, 반드시 양자가 서로 겹쳐질 필요는 없고, 어느 한쪽의 가지형상 전극(6)과 겹치도록 배치되어 있으면 되는 것은, 상기 종래 기술 1과 동일하다.The starting auxiliary electrode 7 is overlapped with both of the branch electrodes 6 and 6 of the pair of external electrodes 3 and 3. It is not necessary that the starting auxiliary electrode 7 and the branch electrode 6 overlap with each other, Shaped electrode 6 of the above-mentioned prior art 1, as shown in Fig.

또한, 한쌍의 외부 전극(3)은 모두 광 투과성 전극인 것을 나타냈는데, 방전 용기의 광 방사면측의 외부 전극만을 광 투과성으로 하고, 다른 외부 전극은 광 투과성이 아닌, 즉, 소위 연결형상(ベタ狀)의 전극으로 해도 된다.It is to be noted that all of the pair of external electrodes 3 are light transmitting electrodes, but only the external electrodes on the light emitting surface side of the discharge vessel are made light transmissive and the other external electrodes are not light transmissive, Shaped electrode may be used.

이상 설명한 것처럼, 본 발명의 엑시머 램프에서는, 방전 용기의 외표면의 광 투과성 외부 전극의 단부에, 근원부와 가지부로 이루어지는 가지형상 전극이 설치됨과 더불어, 방전 용기 내면에, 적어도 한쪽의 상기 외부 전극의 가지형상 전극의 가지부의 선단과 서로 겹치도록 시동 보조 전극이 배치되도록 함으로써, 시동 보조 전극과 가지부 선단의 사이에 발생하는 연면 방전을, 그 가지부를 따라 이동시켜, 외부 전극 방향으로 직선적으로 방전을 이행시키지 않으므로, 외부 전극간에서의 정규 방전에 악영향을 미치지 않는다.As described above, in the excimer lamp of the present invention, the branched electrode comprising the base portion and the branch portion is provided at the end of the light-transmitting external electrode on the outer surface of the discharge vessel, and at least one of the external electrodes The auxiliary electrodes are disposed so as to overlap with the ends of the branches of the branched electrodes of the branch electrode so that the surface discharge generated between the auxiliary auxiliary electrode and the tip of the branch is moved along the branch to linearly discharge It does not adversely affect the normal discharge between the external electrodes.

1 : 엑시머 램프 2 : 방전 용기
3 : 외부 전극 4 : 가지형상 전극
5 : 근원부 6 : 가지부
6a : 선단부 7 : 시동 보조 전극
8 : 접속부 X : 연면 방전1: excimer lamp 2: discharge vessel
3: external electrode 4: branched electrode
5: root portion 6: branch portion
6a: Lead tip 7: Starting auxiliary electrode
8: Connection part X: Surface discharge

Claims

A pair of external electrodes, at least one of which is light-permeable, is provided along the tube axis on the outer surface of the discharge vessel, and a starting auxiliary electrode is disposed on the inner surface of the discharge vessel,
Wherein the external electrode is provided with a branch electrode extending from an end portion in the axial direction of the discharge vessel along a tube axis direction of the discharge vessel and a branch portion extending from a distal end of the source portion to a width direction of the discharge vessel,
Wherein the starting auxiliary electrode is disposed so as to overlap with a tip end of a branch of the branch electrode of at least one of the external electrodes.

The method according to claim 1,
Wherein the root portion of the branch electrode extends along the tube axis direction from one end in the width direction of the external electrode and the branch portion extends from the tip end of the root portion to the other end in the width direction of the discharge vessel Excimer lamp.

The method according to claim 1,
Wherein the width of the branch electrode at the connecting portion between the root portion and the branch portion is larger than the width of the branch portion.

The method according to claim 1,
Wherein the width of the tip portion of the branch portion of the branch electrode is larger than the width of the other region of the branch portion.