KR101461539B1

KR101461539B1 - 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR101461539B1
Application number: KR1020140020586A
Authority: KR
Inventors: 장문수
Original assignee: 플루오르테크주식회사
Priority date: 2014-02-21
Filing date: 2014-02-21
Publication date: 2014-11-14

Abstract

본 발명은 플레서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 비도전성 불소계 합성수지 재질로 조성되는 플렉서블한 시트 상태의 베이스시트와 상기 베이스시트의 표면에 서로 만나거나 교차되지 않도록 일정한 패턴 형태로 형성되며 도전성 불소계 합성수지가 증착되어 조성되는 도전라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 리크센서장치는 산성용액 및 알칼리 용액 등에 대해서도 손상이 없는 불소계 합성수지인 테프론을 재질로 하여 제작된 것이므로 누수되는 물질이 강산성이나 강알칼리성이라 하더라도 오작동 없이 안전하게 누수 여부를 감지할 수 있을 뿐만 아니라 누수된 물질이 센서장치를 오염시켰다 하더라도 이를 제거하기만 하면 다시 재활용하여 사용할 수 있다는 장점이 있다.

Description

플렉서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법{FLEXIBLE SHEET TYPED LEAK SENSOR AND MAKING PROCESS THEREOF}

본 발명은 플레서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 비도전성 불소계 합성수지 재질로 조성되는 플렉서블한 시트 상태의 베이스시트와 상기 베이스시트의 표면에 서로 만나거나 교차되지 않도록 일정한 패턴 형태로 형성되며 도전성 불소계 합성수지가 증착되어 조성되는 도전라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

누수 및 누유시에 누수및 누유를 감지하기 위한 다양한 방식의 리크센서가 사용되고 있다. 대표적으로, 케이블형 리크센서, 밴드타입 리크센서, 그리고 모듈형 리크센서 등을 들 수 있다.

케이블형 리크센서는 각종 액체(물, 오일 등)의 노출을 감지하여 액체가 누출되는 지점까지 정확하고 신속하게 알려주는 누수 및 누유 감지리크센서이다. 누수 및 누유의 감지는 도선을 따라 흐르는 전류가 누출된 물 또는 오일의 저항에 의하여 전위차가 발생되는 것을 감지선으로 감지하여 누수 및 누유의 확인이 가능하다. 그러나 이와 같은 케이블형 리크센서는 설치비용이 고가이고, 센서 케이블 길이가 정해져 있어 고객의 선택폭이 적다. 또한 센서 설치 시 별도 브라켓을 사용해야 하므로 설치가 어렵고, 추가비용이 드는 문제점이 있으며, 누수된 물성 감지후 물성을 제거하는데 시간이 많이 소요됨과 아울러 외부기기와 연결이 어려운 문제점이 있다.

밴드타입(BEND TYPE) 리크감지센서(LEAK DETECTION SENSOR)는 전선을 통해 전류가 흐르는 동안 물이 전선에 닿게 되면 저항값이 변하게 되어 그 저항값의 변화에 따라 누수여부를 감지할 수 있다. 이와 같은 밴드타입 리크감지센서는 저가의 비용으로 넓은 면적의 누수를 감지할 수 있고, 설치가 간편하기는 하지만, 높은 습도 또는 외부의 충격에 의해 에러(ERROR) 발생률이 높고, 정확한 누수위치를 손쉽게 확인할 수 없는 문제점이 있으며, 설치의 연계성이 없어 제품설치의 조잡성이 있다. 또한, 성능에 비해 가격이 고가인 문제점이 있고, 설치시 바닥에 고정할 브라켓을 따로 설치해야 하므로 설치가 어려우며, 외부기기 연결시 단순한 릴레이 접점방식 이외의 연결 디바이스가 없는 문제점이 있다.

모듈형 리크센서는 플라스틱 케이스 내부에 포토 센서(수광부, 발광부)를 위치시켜, 액체를 감지하지 않은 상태에서는 발광부의 빔(BEAM)을 수광부에서 받아들이지만, 발광부 빔(BEAM)이 액체를 감지하게 되면 굴절률의 변화로 빔(BEAM)이 수광부로 가지 못하게 되므로 빛의 수광된 상태로서 누수를 감지하게 된다. 이러한 모듈형 리크센서는 저가의 비용으로 누수위험 부분을 감지할 수 있고, 설치가 간편하며, 주변장치와 상관없이 자체적 경보가 가능함과 아울러 습도에 따른 에러(ERROR)가 없으나, 케이블 타입(CABLE TYPE)과는 달리 특정 위치의 누수여부만 확인 가능한 문제점이 있고, 주변장치와 연결하기가 어려운 문제점이 있었다. 또한, 별도의 센서고정방안을 계획해야 하므로 제품설치시 시간이 많이 소요되는 문제점이 있고, 누수 위험지역의 특정부위만 검출가능 하므로 누수위치가 바뀌게 되면 감지가 어려워지는 문제점이 있었다.

한국공개특허 제10-20111-0007501호 (20011.01.24.공개) 한극등록특허 제10-1326923호 (2013.11.01.등록)

본 발명은 종래 기술의 문제점 및 한계점을 극복하기 위해 안출된 것으로서,

본 발명은 케이블형 리크센서의 장점과 밴드타잎의 리크센서의 장점을 함께 가지는 플렉서블 시트형태의 물성감지 리크센서장치를 제공함에 그 주된 목적이 있다.

또한, 본 발명은 기존의 리크센서로는 미처 인식해서 검출하지 못했던 미세한 양의 누출도 검출할 수 있고 데드포인트가 존재하지 않을 뿐만 아니라 반응성이 우수한 플렉서블 시트 형태의 물성감지 리크센서장치를 제공함에 다른 목적이 있다.

아울러, 본 발명은 산이나 알칼리 물질에 강한 물성을 가지는 불소계 합성수지를 재질로 함으로써 누수되는 물질이 불산, 황산, 질산 등 산성 용액인 경우에도 누수 검출에 의한 손상 없이 누수된 용액을 간단히 제거하면 다시 센서장치로 재활용할 수 있는 플렉서블 시트 형태의 물성감지 리크센서장치를 제공함에 또 다른 목적이 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 플렉서블 시트형태의 물성감지 리크센서 장치는, 비도전성 불소계 합성수지 재질로 조성되는 플렉서블한 시트 상태의 베이스시트와 상기 베이스시트의 표면에 서로 만나거나 교차되지 않도록 일정한 패턴 형태로 형성되며 도전성 불소계 합성수지가 증착되어 조성되는 도전라인을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때 사용되는 상기 비도전성 불소계 합성수지는 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE)이며, 상기 도전성 불소계 합성수지는 카본블랙이 함유된 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE)인 것이 바람직하다. 한편 상기 도전성 불소계 합성수지는 카본블랙의 함유량이 15중량% 이하인 것이 바람직한데, 상기 카본블랙의 함유 중량비를 넘어서는 경우에는 불소계 합성수지의 도전성 및 물성이 센서로 사용하기에 적합하지 않다는 문제점이 있기 때문이다.

또한, 비도전성 불소계 합성수지는 PTFE를 채택하여 사용할 수 있으며, 상기 도전성 불소계 합성수지는 카본블랙이 함유된 PTFE를 채택하여 사용할 수 있다. 이때, 상기 도전성 PTFE 수지는 카본블랙의 함유량이 30중량% 이하인 것으로서, 규소계 수지를 바인더로, 아세틸렌계 에타인 레진을 용제로 함께 포함되어 조성되어 있는 것을 사용하여야 한다. 상기 카본블랙의 함유 중량비를 넘어서는 경우에는 불소계 합성수지의 도전성 및 물성이 센서로 사용하기에 적합하지 않다는 문제점이 있기 때문이다.

한편, 상기 비전도성 불소계 수지로 채택되는 수지 중 ETFE 수지는 기본적으로 수용성이다. 그러나, PTFE수지는 유성의 성질을 가지고 유무기 바인더가 혼합된 완제품을 채택하여 사용하는 것이 좋은데, 이에는 톨루엔, N-메틸피롤리돈, 이소 케톤(iso keton), 아세트아미드, 0.5중량% 이하의 카본블랙이 포함되어 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 도전라인의 폭은 0.1~5mm이며, 상기 도전라인 사이의 간격은 0.5~3mm인 것을 다른 특징으로 한다. 상기 도전라인 자체의 폭 및 도전라인 사이의 간격에 대한 수치한정을 통해 다양한 크기 및 점성을 가지는 누출물성에 대응할 수 있다. 아울러 플렉서블 시트의 특성상 상기 베이스시트의 두께는 100~300㎛인 것이 바람직하다.

한편, 본 발명은 도전성을 증대시키기 위하여 상기 도전라인의 바닥에는 순수한 카본블랙으로 이루어진 도전물질이 더 포함되어 있는 것을 다른 특징으로 한다.

본 발명의 다른 관점인 플렉서블 시트형태의 물성감지 리크센서장치의 제조방법은, 금속판의 표면에 쇼트처리를 한 후 액상의 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE)을 코팅시킨 후 소결하여 표면에 이형성이 확보된 시트제조용플레이트를 제조하는 플레이트제조단계; 상기 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)가 코팅된 플레이트의 표면에 비도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE) 파우더를 도포한 후 열처리하여 ETFE소재의 베이스시트를 제조하는 베이스시트제조단계; 상기 베이스시트의 표면에 메탈마스킹 방법으로 카본블랙이 함유된 도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE)을 증착시켜 서로 만나거나 접하지 않도록 패터닝된 도전라인을 형성시키는 도전라인형성단계; 및 상기 도전라인이 형성된 베이스시트를 상기 시트제조용플레이트에서 분리해내는 베이스시트이형단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 베이스시트제조단계에서 시행되는 열처리 온도는 베이스시트 및 도전라인을 형성하는 수지가 ETFE인 점을 감안하여 310~320℃으로 시행하는 것이 바람직하다.

아울러 본 발명의 또 다른 관점인 플렉서블 시트형태의 물성감지 리크센서장치의 제조방법은, 일정한 형태를 가지는 틀에 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE) 분말을 투입하여 고결시킨 후 이를 소결하여 베이스시트를 제조하는 베이스시트제조단계; 상기 제조된 베이스시트의 표면을 깎아서 필름 형태로 가공하는 베이스시트필름가공단계; 필름 형태로 가공된 베이스시트필름의 표면에 서로 만나거나 접하지 않도록 단락된 형태의 패턴으로 에칭액을 이용해 전처리하는 에칭전처리단계; 상기 에칭액으로 전처리된 패턴에 대응되도록 액상의 도전성 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)수지를 메탈스크린 방법으로 코팅 인쇄하는 도전라인패턴인쇄단계; 및 상기 도전라인패턴이 코팅 인쇄된 상태로 소결하여 도전라인을 형성시키는 도전라인형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제조방법은 베이스시트 및 도전라인의 재질이 PTFE인 점을 감안한 것으로서, 상기 베이스필름의 두께는 100~300㎛인 것이 바람직하다.

아울러, 상기 도전라인패턴인쇄단계에서 코팅 인쇄된 도전라인패턴의 두께는 100㎛ 이하인 것이 열경화성 수지로서의 특성을 가지는 PTFE수지를 재질로 하여 플렉서블한 시트 형태로 제조할 수 있다. 또한, PTFE의 재질적 특성으로 인해 상기 도전라인형성단계에서의 소결 온도는 360~390℃인 것이 바람직하다.

한편, 상기 액상의 도전성 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)수지에는 카본블랙이 30중량% 이하의 비율로 혼합되어 있으며, 아세틸린게 에타인 레진과 규소계 바인더가 더 포함되어 혼합되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 리크센서장치는 산성용액 및 알칼리 용액 등에 대해서도 손상이 없는 불소계 합성수지인 테프론을 재질로 하여 제작된 것이므로 누수되는 물질이 강산성이나 강알칼리성이라 하더라도 오작동 없이 안전하게 누수 여부를 감지할 수 있을 뿐만 아니라 누수된 물질이 센서장치를 오염시켰다 하더라도 이를 제거하기만 하면 다시 재활용하여 사용할 수 있다는 장점이 있다.

또한 본 발명에 의한 리크센서장치는 구조는 간단하면서도 도전라인의 간격 및 폭만 조절하면 다양한 물성을 가지는 물질의 누수 여부를 정확하게 확인할 수 있는 구조를 가지도록 구성되어 있어 케이블 형태의 센서의 장점과 저렴하면서도 간단한 구조로 되어 있는 밴드 타잎의 센서의 장점을 동시에 가진다는 다른 장점이 있다.

한편, 본 발명에 의한 리크센서장치의 제조방법은 서로 결합이 어려운 고체 상태의 불소계 합성수지와 액상의 불소계 합성수지를 소결을 통해 결합을 시킬 수 있도록 함으로써 내산성, 물성이 우수하고 누수 여부에 대한 검출을 정확하게 해낼 수 있으며 데드 포인트가 거의 존재하지 않으며 반응성이 우수한 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치를 제조할 수 있다는 또 다른 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 의한 플렉서블 시트형태의 리크센서장치의 전체 구성을 도시한 것이다.
도 2는 ETFE를 재질로 하는 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치의 제조공정을 도시한 것이다.
도 3은 PTFE를 재질로 하는 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치의 제조공정을 도시한 것이다.

이하 첨부된 도면을 통하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 의한 플렉서블 시트형태의 리크센서장치의 전체 구성을 도시한 것이다.

베이스 시트(100)는 비전도성, 비점착성 불소계 합성수지를 사용하여 제조되는데 ETFE 또는 PTFE가 선택적으로 사용될 수 있다. ETFE의 경우에는 대량으로 제조된 250㎛두께의 필름 위에 전도성을 가지도록 카본블랙이 15중량%이하로 포함되어 제조된 액상의 ETFE수지를 메탈마스킹 방식으로 패턴인쇄를 한 후 이를 소성하여 도전라인(200)을 형성시켜 제조되는 것이 일반적이다.

PTFE 수지로 제조되는 경우에는 PTFE 분말을 압축 고결시킨 후 이를 소결하여 판 형태의 덩어리로 1차 가공을 한 후 이의 표면을 깎아서 100㎛두께의 필름 형태로 가공을 하여 베이스 시트(100)로 사용할 수 있다. PTFE수지의 특성상 기본적으로 점착성이 없으므로 베이스시트(100)의 표면에는 에칭액으로 처리하여 점착성을 가지도록 한 다음에 액상 상태의 도전성 PTFE 수지를 패턴인쇄를 하고 이를 소결화하여 도전라인(200)을 형성하여 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치를 제조할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의한 센서장치는 누수된 액이 센서 표면 위로 떨어지게 되면 서로 떨어져서 형성되어 있으므로 전기적으로 단절되어 있던 도전라인이 누수액으로 인해 서로 연통됨으로써 전기가 흐르게 되고, 이러한 통전 현상이 발생되면 센서가 통전을 감지함으로써 본 센서장치가 위치해 있는 곳에 있는 플랜지 등에서 누수 또는 누액이 발생하였음을 알 수 있도록 해주는 방식으로 작동하게 된다.

한편, 누액이 발생되었음을 확인한 후에는 다시 누액을 제거하는 것만으로도 센서의 교체 없이 다시 센서로서의 기능을 발휘할 수 있게 된다. 따라서 누수 또는 누액에 따른 센서 교체가 필요없고 한번 설치한 후에는 반영구적으로 사용할 수 있다.

아울러, 플렉서블한 시트 형태로 제작되므로 플렌지 등의 둘레를 밴딩 형태로 감싸서 누수여부를 채택할 수 있으므로 설치가 간편하며 데드포인트가 전혀 발생되지 않는다는 장점이 있다.

실시예 1에서는 베이스 시트와 도전라인 모두 에틸렌 테트라 플루오로 에틸린(ETFE)을 채택한 플렉서블 시트형태의 리크센서장치를 구성하였다. 베이스 시트의 두께는 250㎛으로 하였으며, 도전라인의 두께는 100㎛으로 형성시켰다. 도전성 ETFE 수지에는 아세틸렌 블랙을 15중량% 함유하고 있는 것을 사용하였다.

리크센서장치의 크기는 가로 세로 모두 50cm인 것을 제작하였다.

제작된 리크센서장치의 검출저항은 200~300㏀으로서, 센서장치 전 면적에 걸쳐 안정적인 검출저항수치를 나타내었다.

도 2는 ETFE를 재질로 하는 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치의 제조공정을 도시한 것이다.

플레이트제조단계(S110)는 금속판의 표면에 쇼트처리를 한 후 액상의 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE)을 코팅시킨 후 소결하여 표면에 이형성이 확보된 시트제조용플레이트를 제조하는 단계이다. PTFE가 금속판의 표면에 단단하게 결착됨으로써 표면 자체에 이형성이 확보된 시트제조용 플레이트를 제조할 수 있다.

베이스시트제조단계(S120)은 상기 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)가 코팅된 플레이트의 표면에 비도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE) 파우더를 도포한 후 열처리하여 ETFE소재의 베이스시트를 제조하는 단계이다. 이는 ETFE가 열가소성 수지로서의 특성을 가지고 있는 점을 감안하여 분말을 열처리하여 시트 형태로 제조하는 단계로서 열처리 온도는 310~320℃이며 1회 이상 수회 열처리 가공을 하는 것이 바람직하다.

도전라인형성단계(S130)은 상기 베이스시트의 표면에 메탈마스킹 방법으로 카본블랙이 함유된 도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE)을 증착시켜 서로 만나거나 접하지 않도록 패터닝된 도전라인을 형성시키는 단계이다.

베이스시트이형단계(S140)은 상기 도전라인이 형성된 베이스시트를 상기 시트제조용플레이트에서 분리해내는 단계이다.

상기 각 단계들을 거쳐 ETFE를 재질로 하는 플렉서블 시트형태의 리크센서장치가 제조된다.

도 3은 PTFE를 재질로 하는 플렉서블 시트 형태의 리크센서장치의 제조공정을 도시한 것이다.

베이스시트제조단계(S210)는 일정한 형태를 가지는 틀에 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE) 분말을 투입하여 압축하여 이를 덩어리 형태로 고결시킨 후 이를 소결하여 베이스시트를 제조하는 단계이다.

덩어리 형태로 가공된 베이스시트를 그대로 플렉서블 시트형태로 사용하기는 곤란하므로, 베이스시트가공단계(S220)에서 상기 제조된 베이스시트의 표면을 깎아서 필름 형태로 가공하여 필름 형태의 베이스시트로 가공하게 된다.

한편, PTFE 수지의 특성상 이형성 및 비점착성을 가지므로 에칭액을 이용해 도전성 PTFE수지가 인쇄될 패턴무늬를 따라 필름 형태로 가공된 베이스시트의 표면에는 전처리가 필요하다. 따라서 에칭전처리단계(S230)에서는 필름 형태로 가공된 베이스필름의 표면에 서로 만나거나 접하지 않도록 단락된 형태의 패턴으로 에칭액을 이용해 점착성을 가지도록 하는 것이 필요하다. 이때 사용되는 에칭액은 글리콜 에테르가 80중량% 이상이며 소듐 나프타 복합체가 20중량% 이하로 혼합되어 있는 에칭액을 사용하는 것이 바람직하다.

도전라인패턴인쇄단계(S240)에서는 상기 에칭액으로 전처리된 패턴에 대응되도록 액상의 도전성 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)수지를 메탈스크린 방법으로 코팅 인쇄하는 단계로서 도전라인을 형성시키기 위한 전단계이다.

도전라인형성단계(S250)에서는 상기 도전라인패턴이 코팅 인쇄된 상태로 소결하여 도전라인을 형성시키는 단계를 통해 최종적으로 PTFE를 소재로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치가 제조된다.

100 : 베이스 시트
200 : 도전라인

Claims

폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE)인 비도전성 불소계 합성수지 재질로 조성되는 플렉서블한 시트 상태의 베이스시트;
상기 베이스시트의 표면에 서로 만나거나 교차되지 않도록 일정한 패턴 형태로 형성되며, 카본블랙이 30중량% 이하가 포함되어 있는 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE)에 아세틸린계 에타인 레진이 용제로, 규소 수지가 바인더로 함께 포함되어 조성된 도전성 불소계 합성수지가 증착되어 조성되는 도전라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치.
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청구항 1에 있어서,
상기 도전라인의 폭은 0.1~5mm이며,
상기 도전라인 사이의 간격은 0.5~3mm인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 베이스시트의 두께는 100~300㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 도전라인의 바닥에는 순수한 카본블랙으로 이루어진 도전물질이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치.
금속판의 표면에 쇼트처리를 한 후 액상의 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE)을 코팅시킨 후 소결하여 표면에 이형성이 확보된 시트제조용플레이트를 제조하는 플레이트제조단계;
상기 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)가 코팅된 플레이트의 표면에 비도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE) 파우더를 도포한 후 열처리하여 ETFE소재의 베이스시트를 제조하는 베이스시트제조단계;
상기 베이스시트의 표면에 메탈마스킹 방법으로 카본블랙이 함유된 도전성 에틸렌 테트라 플루오로 에틸렌(ETFE)을 증착시켜 서로 만나거나 접하지 않도록 패터닝된 도전라인을 형성시키는 도전라인형성단계; 및
상기 도전라인이 형성된 베이스시트를 상기 시트제조용플레이트에서 분리해내는 베이스시트이형단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.
청구항 9에 있어서,
상기 베이스시트제조단계에서 시행되는 열처리 온도는 310~320℃인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.
일정한 형태를 가지는 틀에 폴리테트라 플루오로 에틸렌(PTFE) 분말을 투입하여 고결시킨 후 이를 소결하여 베이스시트를 제조하는 베이스시트제조단계;
상기 제조된 베이스시트의 표면을 깎아서 필름 형태로 가공하는 베이스시트필름가공단계;
필름 형태로 가공된 베이스시트의 표면에 서로 만나거나 접하지 않도록 단락된 형태의 패턴으로 에칭액을 이용해 전처리하는 에칭전처리단계;
상기 에칭액으로 전처리된 패턴에 대응되도록 액상의 도전성 폴리테트라 플우오로 에틸렌(PTFE)수지를 메탈스크린 방법으로 코팅 인쇄하는 도전라인패턴인쇄단계; 및
상기 도전라인패턴이 코팅 인쇄된 상태로 소결하여 도전라인을 형성시키는 도전라인형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.
청구항 11에 있어서,
상기 베이스시트필름의 두께는 100~300㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.
청구항 11에 있어서,
상기 도전라인패턴인쇄단계에서 코팅 인쇄된 도전라인패턴의 두께는 100㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.
청구항 11에 있어서,
상기 도전라인형성단계에서의 소결 온도는 360~390℃인 것을 특징으로 하는 플렉서블 시트형 물성감지 리크센서 장치의 제조방법.