KR101455549B1

KR101455549B1 - 진공 장치용 조명기구

Info

Publication number: KR101455549B1
Application number: KR1020137005507A
Authority: KR
Inventors: 도모아키 사사키; 아키오 지바
Original assignee: 가부시키가이샤 에이브이씨
Priority date: 2010-09-09
Filing date: 2011-02-21
Publication date: 2014-10-27
Also published as: WO2012032798A1; JP2012059538A; CN103097802A; KR20130047753A; JP5555104B2; CN103097802B; US9360205B2; US20130222572A1

Abstract

<과제> 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 광을 진입시킬 수가 있고, 진공 장치의 내부를 비춤으로써 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있는 진공 장치용 조명기구를 제공한다.
<해결 수단> 진공 장치용 조명기구(10A)는, 들여다보기창에 연결 수단을 통해 착탈 가능하게 연결되는 연결 어댑터(11)와, 연결 어댑터(11)의 중앙부에 형성되어 들여다보기창을 통해 진공 장치의 내부를 시인 가능한 개구(12)와, 연결 어댑터(11)에 설치되어 들여다보기창과 대향하는 복수개의 LED(13)(발광 다이오드)를 가진다. 조명기구(10A)는 진공 장치의 내부를 시인하기 위한 들여다보기창에 장착되어 진공 장치의 내부를 비춘다.

Description

진공 장치용 조명기구{LIGHTING APPARATUS FOR VACUUM APPARATUS}

본 발명은 진공 장치의 내부를 시인(視認)하기 위한 들여다보기창에 장착되어 진공 장치의 내부를 비추는 진공 장치용 조명기구에 관한 것이다.

측정 대상물을 격납하는 진공 챔버(chamber)와, 진공 챔버의 단부에 연접되어 측정 대상물을 챔버 내부로 반송하는 반송 유닛(unit)과, 진공 챔버를 저온으로부터 고온을 향해 점차 승온시키는 가열기와, 진공 챔버 내부로 반송된 측정 대상물의 온도 상승에 수반하여 그 측정 대상물로부터 방출되는 수소 가스의 수소 가스 분압을 분석하는 분압 분석계와, 분압 분석계로부터 출력된 수소 가스 분압에 기초하여 측정 대상물에 포함되는 수소량을 구하는 콘트롤러(controller)를 구비한 수소량 측정 장치(진공 장치)가 있다(특허 문헌 1 참조).

반송 유닛은 소정 용적의 케이싱(casing)과, 케이싱의 내부에 삽탈(揷脫)이 가능한 반송봉과, 반송봉의 단부에 장착되어 측정 대상물을 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 케이싱의 외주면에 배치된 유도 자석으로 형성되어 있다. 이 수소량 측정 장치에서는 반송봉의 단부에 장착된 지지 부재에 측정 대상물을 착탈 가능하게 지지시키고, 반송봉과 유도 자석을 이용하여 측정 대상물을 챔버의 단부로부터 챔버의 중앙부로 이동시키고, 측정 대상물을 챔버의 중앙부에 설치된 스테이지 상에 둔 후, 그 측정 대상물의 수소량을 측정한다.

일본국 특허공개 2009-006877호 공보

상기 공보에 명시된 수소량 측정 장치(진공 장치)에는, 도시는 되어 있지 않지만, 진공 챔버의 내부를 시인하는 복수개의 들여다보기창이 설치되어 있다. 수소량 측정 장치에서는 이들 들여다보기창을 들여다보면서 측정 대상물을 보면서 대상물을 챔버의 중앙부로 이동시킴과 아울러, 대상물을 스테이지 상에 둔다. 수소량 측정 장치에서는 진공 챔버의 내부나 케이싱의 내부에 조명기구를 설치하지 못하고 외부의 조명에 의지하여 들여다보기창으로부터 측정 대상물을 보지 않으면 안 된다. 그러나, 외부의 조명이 적으면 들여다보기창으로부터 진공 챔버의 내부나 케이싱의 내부로 진입하는 광이 적어서 챔버의 내부나 케이싱의 내부를 충분히 비추지 못하여 챔버의 내부나 케이싱의 내부를 시인할 수가 없다. 진공 챔버의 내부를 시인할 수가 없으면 측정 대상물을 보지 못하고 대상물을 챔버의 중앙부에 설치된 스테이지에 반송할 수가 없는 경우가 있음과 아울러, 대상물을 스테이지 상에 둘 수가 없는 경우가 있다. 또, 케이싱의 내부를 시인할 수가 없으면 케이싱의 내부에 복수개의 측정 대상물을 스톡(stock)하는 경우, 이들 측정 대상물로부터 소망하는 대상물을 취출할 수가 없는 경우가 있다.

본 발명의 목적은, 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 광을 진입시킬 수가 있고, 진공 장치의 내부를 비춤으로써 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있는 진공 장치용 조명기구를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 광을 진입시키고, 진공 장치의 내부를 시인하면서 진공 처리 대상물을 진공 장치의 소정의 개소에 확실하게 반송할 수가 있는 진공 장치용 조명기구를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 전제는, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 연접되어 상기 진공 챔버의 내부로 진공 처리 대상물을 반송하는 반송 수단을 가지는 반송 유닛을 구비하는 진공 장치의 내부를 비추는 진공 장치용 조명기구이다.

상기 전제에 있어서의 본 발명의 특징은, 조명 기구는, 진공 장치의 내부를 시인하기 위해 진공 챔버에 형성된 들여다보기창에 장착되고, 조명기구가, 들여다보기창에 연결 수단을 통해 착탈 가능하게 연결되는 연결 어댑터(adapter)와, 연결 어댑터의 중앙부에 형성되어 들여다보기창을 통해 진공 장치의 내부를 시인 가능한 개구와, 연결 어댑터에 설치되어 들여다보기창과 대향하는 복수개의 LED(발광 다이오드)를 가지는 것에 있다.

본 발명의 일례로서는, 연결 어댑터가, 들여다보기창측에 위치하는 전단부와 전단부의 반대측에 위치하는 후단부와 전후단부의 사이에 위치하는 중간부를 가지고 축방향으로 뻗는 주벽(周壁)과, 주벽의 중간부에 있어서의 내주면에 고정되어 개구를 둘러싸도록 주벽의 직경방향 내방으로 뻗는 환상의 LED 설치판으로 형성되고, 복수개의 LED가 LED 설치판의 들여다보기창과 대향하는 대향면에 설치되어 있다.

본 발명의 다른 일례로서는, 복수개의 LED가 LED 설치판의 대향면의 주방향(周方向)으로 등간격으로 늘어서 있다.

본 발명의 다른 일례로서는, LED로부터 방사된 광을 확산시키는 광 확산판이 연결 어댑터(adapter)의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있다.

본 발명의 다른 일례로서는, LED로부터 방사된 광을 반사하는 광 반사판이 연결 어댑터의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있다.

본 발명의 다른 일례로서는, 조명기구가, 연결 어댑터의 주벽의 후단부에 착탈 가능하게 설치되어 진공 장치의 내부를 촬영하는 촬상 장치와, 촬상 장치가 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치를 포함한다.

본 발명의 다른 일례로서는, 촬상 장치가 CCD 이미지(image) 센서를 가지는 CCD 카메라이다.

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본 발명의 다른 일례로서는, 표시 장치가 반송 유닛의 반송 수단에 설치되어 있다.

본 발명과 관련된 진공 장치용 조명기구에 의하면, 들여다보기창에 연결 수단을 통해 착탈 가능하게 연결되는 연결 어댑터와, 연결 어댑터의 중앙부에 형성되어 들여다보기창을 통해 진공 장치의 내부를 시인 가능한 개구와, 연결 어댑터에 설치되어 들여다보기창과 대향하는 복수개의 LED(발광 다이오드)를 가지고, 조명기구가 들여다보기창에 설치되면, LED로부터 방사된 광이 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 진입하고, 그 광에 의해 진공 장치의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 들여다보기창으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

연결 어댑터가 전후단부와 중간부를 가지고 축방향으로 뻗는 주벽과 주벽의 중간부에 있어서의 내주면에 고정된 LED 설치판을 가지고, 복수개의 LED가 LED 설치판의 들여다보기창과 대향하는 대향면에 설치되어 있는 진공 장치용 조명기구는, 복수개의 LED가 LED 설치판의 대향면에 설치되고, 이들 LED로부터의 광이 LED 설치판의 대향면으로부터 들여다보기창을 향해 방사되기 때문에, LED로부터 방사된 광이 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 확실하게 진입하고, 그 광에 의해 진공 장치의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 들여다보기창으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

복수개의 LED가 LED 설치판의 대향면의 주방향으로 등간격으로 늘어서 있는 진공 장치용 조명기구는, 이들 LED로부터의 광이 LED 설치판의 대향면으로부터 들여다보기창 전체에 치우침 없이 방사되기 때문에, LED로부터 방사된 광이 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 확실하게 진입하고, 그 광에 의해 진공 장치의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 들여다보기창으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

LED로부터 방사된 광을 확산시키는 광 확산판이 연결 어댑터의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있는 진공 장치용 조명기구는, LED로부터 방사된 광이 확산판에 의해 확산되고, LED로부터의 광이 들여다보기창 전체에 치우침 없이 방사되기 때문에, LED로부터 방사된 광이 확산하면서 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 확실하게 진입하고, 그 광에 의해 진공 장치의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 들여다보기창으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

LED로부터 방사된 광을 반사하는 광 반사판이 연결 어댑터의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있는 진공 장치용 조명기구는, LED로부터 방사된 광이 들여다보기창에 의해 반사되었다고 해도, 그 광이 반사판에 의해 반사하여 다시 들여다보기창으로 입사하기 때문에, LED로부터 방사된 광의 대부분이 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부로 진입하고, 그 광에 의해 진공 장치의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 들여다보기창으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

연결 어댑터의 주벽의 후단부에 착탈 가능하게 설치되어 진공 장치의 내부를 촬영하는 촬상 장치와, 촬상 장치가 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치를 포함하는 진공 장치용 조명기구는, 들여다보기창을 들여다보고 진공 장치의 내부를 시인할 필요는 없고, 촬상 장치가 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치로부터 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있기 때문에, 들여다보기창으로부터 떨어진 개소에 있어서 진공 장치의 조작을 행하지 않으면 안 되는 경우라도, 촬상 장치와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부의 모습을 알 수 있고, 촬상 장치와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 볼 수가 있다. 진공 장치용 조명기구는, 촬상 장치가 연결 어댑터의 주벽의 후단부에 착탈 가능하기 때문에 촬상 장치를 이용하지 않고 직접 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 시인하는 경우, 촬상 장치를 연결 어댑터로부터 떼어내면 되어 촬상 장치뿐만 아니라 들여다보기창을 이용하여 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있다.

촬상 장치가 CCD 이미지 센서를 가지는 CCD 카메라인 진공 장치용 조명기구는, CCD 카메라를 이용하면서 그것이 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치로부터 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있기 때문에, 들여다보기창으로부터 떨어진 개소에 있어서 진공 장치의 조작을 행하지 않으면 안 되는 경우라도, CCD 카메라와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부의 모습을 알 수 있고, CCD 카메라와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 볼 수가 있다. 진공 장치용 조명기구는, CCD 카메라가 연결 어댑터의 주벽의 후단부에 있어서의 내주면에 착탈 가능하기 때문에, CCD 카메라를 이용하지 않고 직접 들여다보기창으로부터 진공 장치의 내부를 시인하는 경우, CCD 카메라를 어댑터로부터 떼어내면 되어 CCD 카메라뿐만 아니라 들여다보기창을 이용하여 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있다.

진공 장치가 진공 챔버와 진공 챔버의 내부로 진공 처리 대상물을 반송하는 반송 수단을 가지는 반송 유닛을 구비하고, 들여다보기창이 진공 챔버와 반송 유닛 중의 적어도 진공 챔버에 형성되고, 진공 챔버와 반송 유닛 중의 적어도 진공 챔버에 형성된 들여다보기창에 설치되는 진공 장치용 조명기구는, LED로부터 방사된 광이 들여다보기창으로부터 진공 챔버나 반송 유닛의 내부로 진입하고, 그 광에 의해 진공 챔버나 반송 유닛의 내부가 비추어져 들여다보기창이나 표시 장치를 이용하여 진공 챔버나 반송 유닛의 내부 전체를 충분히 시인할 수가 있고, 들여다보기창이나 표시 장치를 이용하여 반송 유닛으로부터 진공 챔버에 설치되는 진공 처리 대상물을 확실하게 볼 수가 있다. 진공 장치용 조명기구는, 반송 유닛으로부터 진공 챔버로 진공 처리 대상물을 반송하는 경우에, 진공 챔버나 반송 유닛의 내부가 LED로부터 방사된 광에 의해 비추어지기 때문에, 들여다보기창이나 표시 장치를 이용하여 진공 처리 대상물을 반송 유닛으로부터 진공 챔버의 소정의 개소에 확실하게 반송할 수가 있다.

표시 장치가 반송 유닛의 반송 수단의 근방에 설치되어 있는 진공 장치용 조명기구는, 촬상 장치가 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치가 반송 유닛의 반송 수단의 근방에 설치되고, 그 표시 장치로부터 진공 장치의 내부를 시인할 수가 있기 때문에, 들여다보기창으로부터 떨어진 개소에 반송 유닛이 설치되고, 들여다보기창으로부터 떨어진 개소에 있어서 진공 처리 대상물의 반송 조작을 행하지 않으면 안 되는 경우라도, 촬상 장치와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부의 모습을 알 수 있고, 촬상 장치와 표시 장치를 이용하여 진공 장치의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물을 볼 수가 있다. 진공 장치용 조명기구는, 표시 장치를 확인하면서 반송 유닛으로부터 진공 챔버로 진공 처리 대상물을 반송할 수가 있기 때문에, 표시 장치를 이용하여 진공 처리 대상물을 반송 유닛으로부터 진공 챔버의 소정의 개소에 확실하게 반송할 수가 있다.

도 1은 일례로서 나타내는 진공 장치용 조명기구의 사시도이다.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도이다.
도 3은 진공 장치용 조명기구의 정면도이다.
도 4는 도 1의 조명기구를 들여다보기창에 설치한 상태로 나타내는 진공 장치의 개념도이다.
도 5는 도 4의 5-5선으로부터 본 단면도이다.
도 6은 다른 일례로서 나타내는 진공 장치용 조명 장치의 사시도이다.
도 7은 도 6의 7-7선으로부터 본 단면도이다.
도 8은 진공 장치용 조명기구의 정면도이다.
도 9는 도 6의 조명기구를 들여다보기창에 설치한 상태로 나타내는 진공 장치의 개념도이다.
도 10은 도 9의 10-10선으로부터 본 단면도이다.

일례로서 나타내는 진공 장치용 조명기구의 사시도인 도 1 등의 첨부의 도면을 참조하면 본 발명과 관련된 조명기구의 상세를 설명하면 이하와 같다. 또한, 도 2는 도 1의 2-2선 단면도이며, 도 3은 진공 장치용 조명기구(10A)의 정면도이다. 도 1에서는 축방향을 화살표 L로 나타낸다. 도 3에서는 직경방향을 화살표 M으로 나타내고, 주방향을 화살표 N으로 나타낸다. 진공 장치용 조명기구(10A)는 후기하는 진공 장치(50)의 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인하기 위한 들여다보기창(60)에 착탈 가능하게 장착되어 광을 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부로 방사하여 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 비춘다.

또한, 이 조명기구(10A)를 이용 가능한 진공 장치(50)로서는 진공 증착 장치나 스퍼터링 장치, 드라이 에칭 장치, 애싱(ashing) 장치, CVD 장치, 이온 주입 장치 등의 진공 박막 형성 및 가공 장치, 진공 반응 장치나 진공 증류 장치, 진공 건조 장치, 진공 냉각 장치, 진공 증발 및 농축 및 정석 장치, 진공 함침 장치, 진공 주입 장치, 진공 탈포 장치, 진공 발포 장치, 진공 유화 장치 등의 진공 화학 장치, 전자 검출형 표면 분석 장치나 이온 검출형 표면 분석 장치, 광검출형 표면 분석 장치 등의 표면 분석 장치, 헬륨 누설 검출기나 진공 피로 시험기, 진공 휨 시험기, 진공 인장 및 압축 시험기 등의 시험 장치가 있다.

진공 장치용 조명기구(10A)는 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 착탈 가능하게 연결되는 연결 어댑터(11)와, 어댑터(11)의 중앙부에 형성된 원형의 개구(12)와, 복수개의 LED(13)(발광 다이오드)를 가진다. 연결 어댑터(11)는 주벽(14)과 LED 설치판(15)으로 형성되어 있다. 주벽(14)은 ABS 수지로부터 만들어지고 원통형으로 성형되어 축방향으로 뻗어 있다. 주벽(14)은 전단부(16)와 전단부(16)의 반대측에 위치하는 후단부(18)와 전후단부(16, 18)의 사이에 위치하는 중간부(17)를 가진다. 전단부(16)는 조명기구(10A)를 진공 장치의 들여다보기창(60)에 설치했을 때에, 그 들여다보기창(60)측에 위치하는 부분이다.

주벽(14)의 전단부(16)에는 주벽(14)의 주방향으로 180° 이간 대향하여 직경방향으로 관통하는 2개의 연결 나사 나착공(螺着孔)(19)이 형성되어 있다. 연결 나사 나착공(19)에는 암나사(도시하지 않음)가 만들어져 있다. 이들 연결 나사 나착공(19)에는 수나사가 만들어진 연결 나사(20)(연결 수단)의 축이 나착(螺着)되어 있다. 주벽(14)의 중간부(17)에는 축방향으로 뻗는 2개의 고정 나사 나착공(21)이 형성되어 있다. 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에는 광 확산판(22)이 장착되어 있다. 광 확산판(22)은 아크릴 수지나 폴리카보네이트(polycarbonate)에 실리카나 탄산바륨, 티탄산바륨 등의 백색의 미분말을 이겨 넣은 유백색의 플라스틱판이다. 광 확산판(22)은 그곳에 입사한 광을 그 전체 영역에 확산한다.

주벽(14)의 후단부(18)에 있어서의 외면에는 AC 어댑터(22)(도 4 참조)로부터 뻗는 전선(23)의 커넥터가 착탈 가능하게 감합하는 커넥터 감합 단자(24)가 만들어져 있다. AC 어댑터(22)는 이들 LED(13)에 직류 전력을 공급한다. 또한, 도시는 하고 있지 않지만 주벽(14)의 후단부(18)에 있어서의 외면에는 AC 어댑터(22)로부터 공급되는 직류 전력을 온/오프(ON/OFF) 하는 스위치가 장착되어 있다.

LED 설치판(15)은 ABS 수지로부터 만들어지고 링 모양으로 성형되어 있다. LED 설치판(15)은 개구(12)를 둘러싸도록 주벽(14)의 직경방향 내방으로 뻗어 있다. LED 설치판(15)은 고정 나사구멍(21)에 나착된 복수개의 고정 나사(25)를 통해 주벽(14)의 중간부(17)의 내주면에 장착되어 있다. LED 설치판(15)의 대향면에는 LED(13)로부터 방사된 광을 반사하는 광 반사판(26)이 장착되어 있다. 여기서, LED 설치판(15)의 대향면이란 조명기구(10A)를 진공 장치의 들여다보기창(60)에 설치했을 때에 그 들여다보기창(60)에 대향하는 면이다. 광 반사판(26)에는 PET 수지로부터 만들어진 초미세 발포 광 반사판이 사용되고 있다. 광 반사판(26)은 그곳에 입사한 광을 96% 확산 반사한다. 광 반사판(26)에는 알루미늄박을 증착한 증착판이나 거울면 가공을 한 금속판을 사용할 수도 있다.

개구(12)는 연결 어댑터(11)의 중앙부에 있어서 어댑터(11)를 축방향으로 관통하고 있다. 이들 LED(13)는 LED 설치판(15)의 대향면에 설치되고, 설치판(15)의 대향면에 있어서 주방향으로 등간격으로 늘어서 있다. 도 3에서는 12개의 LED(13)가 LED 설치판(15)의 대향면에 설치되어 있지만, LED(13)의 개수를 도시의 그것에 한정하는 것은 아니고, LED(13)의 출력이나 크기, 조도 등의 각종 조건에 응하여 임의의 수의 LED(13)를 설치판(15)에 설치할 수가 있다.

도 4는 진공 장치용 조명기구(10A)를 들여다보기창(60)에 설치한 상태로 나타내는 진공 장치(50)의 개념도이며, 도 5는 도 4의 5-5선으로부터 본 단면도이다. 도 4에서는 진공 장치(50)를 구성하는 각종 센서나 분석계, 전기로, 콘트롤러 등의 각 구성 기기의 도시를 생략하고 있다. 또한, 도 4의 진공 장치(50)는 일례이며, 진공 장치를 도시예의 그것에 한정하는 것은 아니고, 상술한 것처럼, 각종의 진공 박막 형성 및 가공 장치나 각종의 진공 화학 장치, 각종의 표면 분석 장치, 각종의 시험 장치의 들여다보기창(60)에 조명기구(10A)를 설치할 수가 있다.

이 진공 장치(50)는 진공 챔버(51), 반송 유닛(52), 진공 밸브(53, 54), 진공 펌프(55, 56)를 가진다. 진공 챔버(51)는 사각기둥 모양으로 성형된 금속제의 상자이며, 대략 직사각형의 6개의 벽이 직각으로 교차하는 6면체이다. 진공 챔버(51)는 그 내부에 소정 형상의 진공 처리 대상물(57)을 격납 가능하다. 진공 챔버(51)에서는 그 중앙부에 설치된 스테이지(stage)(58)(설치 개소)에 진공 처리 대상물(57)이 재치된다.

진공 챔버(51)의 벽에는 진공 밸브(53)와 진공 펌프(55)가 연결되어 있다. 진공 밸브(53)와 진공 펌프(55)는 진공 관로(59)를 통해 연결되어 있다. 진공 관로(59)에는, 도시되어 있지 않지만, 진공계가 설치되어 있다. 진공 챔버(51)의 2개의 벽에는 챔버(51)의 내부를 들여다보는 것이 가능한 들여다보기창(60)이 설치되어 있다. 이들 들여다보기창(60)은, 도 5에 나타내듯이, 진공 챔버(51)의 벽으로부터 뻗어나오는 원통형의 주벽(61)과, 주벽(61)에 고정된 원형의 유리(62)로 만들어져 있다. 주벽(61)은 챔버(51)와 마찬가지의 금속으로 만들어져 있다. 유리(62)에는 강화 유리나 내열 유리가 사용되고 있다.

반송 유닛(52)은 케이싱(63)과, 한 방향으로 긴 반송봉(64)과, 반송봉(64)을 착탈 가능한 반송 관로(65)와, 반송 관로(65)의 외주면에 배치된 유도 자석(magnet)(66)으로 형성되어 있다. 케이싱(63)은 사각기둥 모양으로 성형된 금속제의 상자이며, 대략 직사각형의 6개의 벽이 직각으로 교차하는 6면체이다. 케이싱(63)의 2개의 벽에는 케이싱(63)의 내부를 들여다보는 것이 가능한 들여다보기창(60)이 설치되어 있다. 이들 들여다보기창(60)은 케이싱(63)의 벽으로부터 뻗어나오는 원통형의 주벽(61)과, 주벽(61)에 고정된 원형의 유리(62)로 만들어져 있다(도 5 참조).

케이싱(63)은 연결 관로(67)를 통해 진공 챔버(51)에 연결되어 있다. 연결 관로(67)의 중앙부에는 개폐 가능한 게이트 밸브(68)가 설치되어 있다. 케이싱(63)의 벽의 하나에는 진공 밸브(54)와 진공 펌프(56)가 연결되어 있다. 진공 밸브(54)와 진공 펌프(56)는 진공 관로(69)를 통해 연결되어 있다. 진공 관로(69)에는, 도시되어 있지 않지만, 진공계가 설치되어 있다. 케이싱(63)의 벽의 하나에는 반송 관로(65)가 연결되어 있다.

반송봉(64)은, 도 4에 화살표 P로 나타내듯이, 반송 관로(65)의 내부를 한 방향으로 이동 가능하다. 반송봉(64)의 일방의 단부에는 진공 처리 대상물(57)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재(71)가 장착되어 있다. 반송봉(64)의 타방의 단부에는 유도 자석(66)과 서로 당기는 자석(70)이 장착되어 있다. 반송 관로(65)의 후단부에는, 도시는 하고 있지 않지만, 개폐 가능한 해치가 장착되어 있다. 반송봉(64)은 반송 관로(65)를 통과하여 케이싱(63)의 내부로부터 진공 챔버(51)의 내부에 이른다. 자석(66)은 반송 관로(65)의 외주면을 슬라이딩(sliding)하면서 반송 관로(65)의 외주면을 한 방향으로 이동 가능하고 또한 반송 관로(65)의 외주면을 주방향으로 이동 가능하다. 반송 유닛(52)은 반송봉(64)을 이용하여 진공 처리 대상물(57)을 케이싱(63)의 내부로부터 진공 챔버(51)의 중앙부로 반송하고, 진공 처리 대상물(57)을 챔버(51)의 스테이지(58)로 반송한다.

조명기구(10A)를 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치하는 순서는 이하와 같다. 조명기구(10A)의 연결 어댑터(11)의 전단부(16)에 나착된 연결 나사(20)를 반시계방향으로 회전시키고, 연결 나사(20)의 축의 선단을 연결 나사 나착공(19)에까지 인입한다. 다음에, 연결 어댑터(11)의 전단부(16)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)의 외측에 끼워넣고, 어댑터(11)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 세트(set)한다. 또한, 연결 어댑터(11)의 전단부(16)의 내주연은 그 반경이 들여다보기창(60)의 주벽(61)의 외주연의 그것보다 조금 크고, 어댑터(11)의 전단부(16)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 끼워넣으면, 어댑터(11)의 전단부(16)의 내주면이 들여다보기창(60)의 주벽(61)의 외주면을 둘러싼다. 연결 어댑터(11)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 세트한 후, 연결 나사(20)를 시계방향으로 회전시키고, 연결 나사(20)의 축의 선단으로 들여다보기창(60)의 주벽(61)의 외주면을 압압시키고, 어댑터(11)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 고정한다.

연결 나사(20)를 통해 연결 어댑터(11)(조명기구(10A))를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 고정한 후, 스위치를 온(ON)으로 한다. 스위치를 ON으로 하면, AC 어댑터(22)로부터 직류 전력이 이들 LED(13)에 공급되어 LED(13)로부터 광이 방사된다. LED(13)로부터 방사된 광 중에서 들여다보기창(60)의 유리(62)에 직접 입사된 광은 유리(62)를 투과하여 들여다보기창으로부터 진공 챔버(51)의 내부로 진입한다. LED(13)로부터 방사된 광 중에서 광 확산판(22)에 입사한 광은 확산판(22)에 의해 확산하면서 들여다보기창(60)의 유리(62)로 진입하고, 유리(62)를 투과하여 들여다보기창으로부터 진공 챔버(51)의 내부로 진입한다. 또한, 유리(62)에 있어서 반사한 광은 광 반사판(26)에 의해 반사하여 다시 유리(62)로 진입하고, 유리(62)를 투과하여 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)의 내부로 진입한다.

진공 챔버(51)의 내부는 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어져 밝아진다. 마찬가지의 순서로 조명기구(10A)를 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치한 경우, 케이싱(63)의 내부가 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어져 밝아진다. 또한, 조명기구(10A)를 챔버(51)의 들여다보기창(60)이나 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치하지 않는 경우는, 외부의 광이 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)의 내부나 케이싱(63)의 내부로 들어가기 어렵고, 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부가 어슴푸레하기 때문에, 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부의 모습을 분명하게 볼 수가 없다.

조명기구(10A)를 이용하면서 반송 유닛(52)에 의해 진공 처리 대상물(57)을 진공 챔버(51)의 중앙부에 반송하는 순서의 일례를 설명하면 이하와 같다. 최초로, 진공 관로(69)의 진공 밸브(54)가 닫히고, 케이싱(63)이나 반송 관로(65)에 질소 가스가 주입되고, 케이싱(63)이나 반송 관로(65)의 내부가 대기압으로 된다. 이때에 게이트 밸브(68)는 닫힌 상태에 있고, 진공 챔버(51)에 연결된 진공 펌프(55)는 가동 상태에 있다. 진공 챔버(51)의 내부나 진공 관로(59)에 있어서의 진공도는 펌프에 의해 1×10^-7~1×10^-10pa의 범위로 보유되어 있다.

케이싱(63)이나 반송 관로(65)의 내부가 대기압으로 되돌아온 후, 반송봉(64)의 지지 부재(71)에 진공 처리 대상물(57)을 지지시키고, 반송 관로(65)의 해치를 열어 반송봉(64)을 반송 관로(65)의 내부에 설치한다. 이때에 지지 부재(71)는 게이트 밸브(68)에 대향한다. 진공 처리 대상물(57)을 장착한 반송봉(64)을 반송 관로(65)의 내부에 설치한 후, 해치를 닫아 반송 관로(65)를 밀폐한다. 반송 관로(65)를 밀폐한 후, 진공 관로(69)의 진공 밸브(54)가 열리고, 진공 펌프(56)를 통해 질소 가스가 케이싱(63)이나 반송 관로(65)로부터 외부로 배출된다. 케이싱(63)이나 반송 관로(65)의 내부가 소정의 진공도에 이른 후, 게이트 밸브(68)가 열린다. 게이트 밸브(68)가 열리면, LED(13)로부터 방사된 광이 진공 챔버(51)를 거쳐 케이싱(63)에 이르고, 케이싱(63)의 내부가 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어져 밝아진다.

케이싱(63)에 설치된 들여다보기창(60)을 들여다봄으로써 반송봉(64)의 지지 부재(71)에 지지된 진공 처리 대상물(57)의 상태를 확인할 수가 있다. 또한, 케이싱(63)의 내부에 복수개의 진공 처리 대상물(57)이 스톡(stock)되어 있는 경우, 케이싱(63)에 설치된 들여다보기창(60)을 들여다봄으로써, 이들 측정 대상물(57)로부터 소망의 대상물(57)을 확인할 수가 있고, 소망의 대상물(57)을 반송봉(64)의 지지 부재(71)에 지지시킬 수가 있다.

다음에, 유도 자석(66)을 진공 챔버(51)를 향해 반송 관로(65)의 외주면을 한 방향으로 이동시킨다. 반송봉(64)의 자석(70)의 자력과 유도 자석(66)의 자력이 작용하여 자석(66, 70)끼리가 서로 당김으로써 반송봉(64)이 게이트 밸브(68)를 향해 한 방향으로 이동한다. 유도 자석(66)을 진공 챔버(51)를 향해 더 한 방향으로 이동시키면, 반송봉(64)의 지지 부재(71)에 지지된 진공 처리 대상물(57)이 게이트 밸브(68)를 통과하여 챔버(51)의 중앙부를 향해 이동하여 진공 처리 대상물(57)이 챔버(51)의 스테이지(58)에 이른다. 진공 처리 대상물(57)의 진공 챔버(51)의 내부에 있어서의 이동의 모습이나 진공 처리 대상물(57)이 챔버(51)의 스테이지(58)에 이른 상태는 들여다보기창(60)을 들여다봄으로써 확인할 수가 있다.

진공 처리 대상물(57)이 진공 챔버(51)의 스테이지(58)에 이른 후, 유도 자석(66)을 반송 관로(65)의 주방향으로 이동시키고 반송봉(64)을 회전시킨다. 반송봉(64)을 회전시키면 지지 부재(71)가 회전하고 진공 처리 대상물(57)이 챔버(51)의 하방을 향한다. 이 상태로 지지 부재(71)의 지지가 해제되어 진공 처리 대상물(57)이 챔버(51)의 스테이지(58) 상에 재치된다. 진공 처리 대상물(57)을 진공 챔버(51)의 스테이지(58)에 재치한 후, 유도 자석(66)을 챔버(51)로부터 이간하는 방향으로 이동시키고, 반송봉(64)을 챔버(51)로부터 빼낸다. 반송봉(64)을 챔버(51)로부터 빼내면 게이트 밸브(68)가 닫혀진다.

진공 장치용 조명기구(10A)는, 그것을 들여다보기창(60)에 설치함으로써, 이들 LED(13)로부터의 광이 LED 설치판(15)의 대향면으로부터 들여다보기창(60)을 향해 방사되기 때문에, LED(13)로부터 방사된 광이 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부로 진입하고, 그 광에 의해 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부 전체가 비추어져 들여다보기창(60)으로부터 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인할 수가 있고, 챔버(51)의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물(57)을 들여다보기창(60)으로부터 볼 수가 있다.

진공 장치용 조명기구(10A)는 복수개의 LED(13)가 LED 설치판(15)의 대향면의 주방향으로 등간격으로 늘어서 있기 때문에, 이들 LED(13)로부터의 광이 LED 설치판(15)의 대향면으로부터 들여다보기창(60) 전체에 치우침 없이 방사된다. 또, LED(13)로부터 방사된 광을 확산시키는 광 확산판(22)이 연결 어댑터(11)의 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에 장착되어 있기 때문에, LED(13)로부터 방사된 광이 확산판(22)에 의해 확산되어 LED(13)로부터의 광이 들여다보기창(60) 전체에 치우침 없이 방사된다. 또한, LED(13)로부터 방사된 광을 반사하는 광 반사판(26)이 LED 설치판(15)의 대향면에 장착되어 있기 때문에, LED(13)로부터 방사된 광이 들여다보기창(60)의 유리(62)에 의해 반사되었다고 해도, 그 광이 반사판(26)에 의해 반사하여 다시 들여다보기창(60)으로 입사한다. 따라서, 조명기구(10A)는 LED(13)로부터의 광이 효율적으로 들여다보기창으로부터 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부로 진입하고, LED(13)로부터의 광에 의해 들여다보기창(60)으로부터 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 충분히 시인할 수가 있고, 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물(57)을 들여다보기창(60)으로부터 확실하게 볼 수가 있다.

도 6은 다른 일례로서 나타내는 진공 장치용 조명기구(10B)의 사시도이며, 도 7은 도 6의 7-7선으로부터 본 단면도이다. 도 8은 진공 장치용 조명기구(10B)의 정면도이며, 도 9는 진공 장치용 조명기구(10B)를 들여다보기창(60)에 설치한 상태로 나타내는 진공 장치(50)의 개념도이다. 도 10은 도 9의 10-10선으로부터 본 단면도이다. 도 6에서는 축방향을 화살표 L로 나타낸다. 도 8에서는 직경방향을 화살표 M으로 나타내고, 주방향을 화살표 N으로 나타낸다.

이 조명기구(10B)가 도 1의 그것과 다른 바는 어댑터(11)에 착탈 가능하게 설치되는 CCD 카메라(27)(촬상 장치)와 컬러 액정 디스플레이(28)(표시 장치)를 가지는 점에 있고, 그 외의 구성은 도 1의 조명기구(10A)와 동일하기 때문에, 도 1과 동일한 부호를 붙임으로써 이 조명기구(10B)의 그 외의 구성의 상세한 설명은 생략한다.

진공 장치용 조명기구(10B)는 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인하기 위한 들여다보기창(60)에 장착되어 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 비춤과 아울러, CCD 카메라(27)를 이용하여 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 촬영한다. 조명기구(10B)는 연결 어댑터(111)와, 어댑터(11)의 중앙부에 형성된 원형의 개구(12)와, 복수개의 LED(13)와, CCD 카메라(27) 및 디스플레이(28)를 가진다.

연결 어댑터(11)는 주벽(14)과 카메라 고정 링(29)과 LED 설치판(15)으로 형성되어 있다. 주벽(14)은 ABS 수지로부터 만들어지고 원통형으로 성형되어 축방향으로 뻗어 있다. 주벽(14)은 전후단부(16, 18)와 중간부(17)를 가진다. 주벽(14)에서는 그 전단부(16)에 2개의 연결 나사 나착공(19)이 형성되고, 이들 연결 나사 나착공(19)에 연결 나사(20)(연결 수단)의 축이 나착되어 있다. 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에는 광 확산판(22)이 장착되어 있다.

주벽(14)의 후단부(18)에 있어서의 외면에는 커넥터 감합 단자(24)가 만들어지고, ON/OFF 하는 스위치(도시하지 않음)가 장착되어 있다. 카메라 고정 링(29)은 ABS 수지로부터 만들어지고 원통형으로 성형되어 있다. 카메라 고정 링(29)에는 그것을 어댑터(11)에 고정하기 위한 축방향으로 관통하는 고정 나사 나착공(30)과 CCD 카메라(28)를 고정하기 위한 직경방향으로 관통하는 고정 나사 나착공(31)이 형성되어 있다. 이들 고정 나사 나착공(30, 31)에는 암나사(도시하지 않음)가 만들어져 있다. 카메라 고정 링(29)은 나사 나착공(30)에 나착된 고정 나사(32)를 통해 주벽(14)의 후단부(18)에 고정되어 있다.

LED 설치판(15)은 ABS 수지로부터 만들어지고 링 모양으로 성형되어 있다. LED 설치판(15)은 개구(12)를 둘러싸도록 주벽(14)의 직경방향 내방으로 뻗어 있고, 주벽(14)의 중간부(17)의 내주면에 장착되어 있다. LED 설치판(15)의 대향면에는 광 반사판(26)이 장착되어 있다. 개구(12)는 연결 어댑터(11)의 중앙부에 있어서 어댑터(11)를 축방향으로 관통하고 있다.

CCD 카메라(27)는 그 렌즈(도시하지 않음)가 어댑터(11)의 전단부(16)를 향하도록 어댑터(11)의 후단부(18)에 설치되고, 나사 나착공(31)에 나착된 고정 나사(33)를 통해 카메라 고정 링(29)에 고정되어 있다. 디스플레이(28)는 CCD 카메라(27)에 인터페이스(34)를 통해 접속되고, 도 8에 나타내듯이, 반송 유닛(52)의 반송 관로(65)(반송 수단)의 근방에 설치되어 있다. 디스플레이(28)는 CCD 카메라(27)가 촬영한 진공 장치(50)의 챔버(chamber)(51)나 케이싱(63)의 내부의 영상을 표시한다.

연결 어댑터(11)에 CCD 카메라(27)를 설치하는 순서는 이하와 같다. 카메라 고정 링(29)의 고정 나사 나착공(31)에 나착된 고정 나사(33)를 반시계방향으로 회전시키고, 고정 나사(33)의 축의 선단을 고정 링(29) 내에 인입한다. 다음에, CCD 카메라(27)의 렌즈측의 선단부를 고정 링(29) 내에 삽입하고, 카메라(27)를 연결 어댑터(11)에 세트한다. 또한, 카메라 고정 링(29)의 내주연이나 어댑터(11)의 전단부(16)의 내주연은 그 반경이 CCD 카메라(27)의 외주연의 그것보다 조금 크고, 카메라(27)의 전단부를 링(29)과 어댑터(11)에 끼워넣으면, 링(29)의 내주면과 어댑터(11)의 후단부(18)의 내주면이 카메라(27)의 외주면을 둘러싼다. CCD 카메라(27)를 연결 어댑터(11)에 세트한 후, 고정 나사(33)를 시계방향으로 회전시키고, 고정 나사(33)의 축의 선단으로 카메라(27)의 외주면을 압압시키고, 카메라(27)를 어댑터(11)에 고정한다.

진공 장치(50)의 구성은 도 5의 그것과 동일하다. 또, 조명기구(10B)를 진공 장치(50)의 챔버(51)나 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치하는 순서는 도 5의 그것과 동일하기 때문에 도 5의 설명을 원용함으로써 그 설명은 생략한다. 조명기구(10B)를 들여다보기창(60)의 주벽(61)에 고정한 후, 조명기구(10B)의 스위치를 ON으로 함과 아울러, CCD 카메라(27)나 디스플레이(28)의 스위치를 ON으로 한다. 스위치를 ON으로 하면, AC 어댑터(22)로부터 직류 전력이 이들 LED(13)에 공급되어 LED(13)로부터 광이 방사된다.

LED(13)로부터 방사된 광 중에서 들여다보기창(60)의 유리(62)에 직접 입사된 광은 유리(62)를 투과하여 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)로 진입한다. LED(13)로부터 방사된 광 중에서 광 확산판(22)에 입사한 광은 확산판(22)에 의해 확산하면서 들여다보기창(60)의 유리(62)로 진입하고, 유리(62)를 투과하여 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)로 진입한다. 또한, 유리(62)에 있어서 반사한 광은 광 반사판(26)에 의해 반사하여 다시 유리(62)로 진입하고, 유리(62)를 투과하여 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)로 진입한다.

진공 챔버(51)의 내부는 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어져 밝아진다. 진공 챔버(51)의 내부의 모습은 CCD 카메라(27)에 의해 촬영되어 디스플레이(28)에 표시된다. 조명기구(10B)를 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치한 경우, 케이싱(63)의 내부가 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어져 밝아진다. 케이싱(63)의 내부의 모습은 CCD 카메라(27)에 의해 촬영되어 디스플레이(28)에 표시된다. 또한, 조명기구(10B)를 챔버(51)의 들여다보기창(60)이나 케이싱(63)의 들여다보기창(60)에 설치하지 않는 경우는, 외부의 광이 들여다보기창(60)으로부터 진공 챔버(51)의 내부나 케이싱(63)의 내부로 들어가기 어렵고, 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부가 어슴푸레하기 때문에, 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부의 모습을 분명하게 촬영할 수가 없다.

이 진공 장치(50)에서는 LED(13)나 CCD 카메라(27), 디스플레이(28)를 이용하면서 반송 유닛(52)에 의해 진공 처리 대상물(57)을 진공 챔버(51)의 스테이지(58)로 반송한다. CCD 카메라(27)가 촬영한 영상을 디스플레이(28)를 통해 확인하면서 반송 작업을 행한다. 진공 처리 대상물(57)을 진공 챔버(51)의 스테이지(58)로 반송하는 순서는, 도 5의 그것과 동일하기 때문에 도 5의 설명을 원용함으로써 그 설명은 생략한다.

이 진공 장치용 조명기구(10B)는 도 1의 그것이 가지는 효과에 더하여 이하의 효과를 가진다. 조명기구(10B)는 들여다보기창(60)을 들여다보고 진공 장치(50)의 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인할 필요는 없고, CCD 카메라(27)를 이용하면서 그것이 촬영한 영상을 표시하는 디스플레이(28)로부터 진공 장치(50)의 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인할 수가 있기 때문에, 들여다보기창(60)으로부터 떨어진 개소에 있어서 진공 장치(50)의 조작을 행하지 않으면 안 되는 경우라도, CCD 카메라(27)와 디스플레이(28)를 이용하여 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부의 모습을 알 수 있고, CCD 카메라(27)와 디스플레이(28)를 이용하여 진공 챔버(51)의 내부에 설치되는 진공 처리 대상물(57)을 볼 수가 있다.

진공 장치용 조명기구(10B)는 CCD 카메라(27)가 카메라 고정 링(29)을 통해 연결 어댑터(11)의 주벽(14)의 후단부(18)에 착탈 가능하기 때문에, CCD 카메라(27)를 이용하지 않고 직접 들여다보기창(60)으로부터 진공 장치(50)의 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인하는 경우, CCD 카메라(27)를 어댑터(11)로부터 떼어내면 되어 CCD 카메라(27)뿐만 아니라 들여다보기창(60)을 이용하여 진공 챔버(51)나 케이싱(63)의 내부를 시인할 수가 있다. 진공 장치용 조명기구(10B)는, 반송 유닛(52)으로부터 진공 챔버(51)에 진공 처리 대상물(57)을 반송하는 경우에, 진공 챔버(51)나 반송 유닛(52)의 내부가 LED(13)로부터 방사된 광에 의해 비추어지기 때문에, 들여다보기창(60)이나 디스플레이(28)를 이용하여 진공 처리 대상물(57)을 반송 유닛(52)으로부터 진공 챔버(51)의 스테이지(58)에 확실하게 반송할 수가 있다.

이들 도시의 조명기구(10A, 10B)에서는 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에 광 확산판(22)이 장착되고, LED 설치판(15)의 대향면에 광 반사판(26)이 장착되어 있지만, 이들 면에 광 확산판(22)이나 광 반사판(26)이 장착되지 않아도 좋다. 또, 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에 광 반사판(26)이 장착되고, LED 설치판(15)의 대향면에 광 확산판(22)이 장착되어 있어도 좋다. 조명기구(10A, 10B)에서는 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에 광 확산판(22)이 장착되고, LED 설치판(15)의 대향면에 광 확산판(22)이 장착되어 있어도 좋다. 또, 주벽(14)의 전단부(16)와 중간부(17)에 있어서의 내주면에 광 반사판(26)이 장착되고, LED 설치판(15)의 대향면에 광 반사판(26)이 장착되어 있어도 좋다.

10A　진공 장치용 조명기구
10B　진공 장치용 조명기구
11　　연결 어댑터(adapter) 12　　개구
13　　LED(발광 다이오드) 14　　주벽
15　　LED 설치판
16　　전단부 17　　중간부
18　　후단부
22　　광 확산판 26　　광 반사판
27　　CCD 카메라(촬상 장치)
28　　디스플레이(표시 장치)
50　　진공 장치 51　　진공 챔버
52　　반송 유닛
60　　들여다보기창

Claims

진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 연접되어 상기 진공 챔버의 내부로 진공 처리 대상물을 반송하는 반송 수단을 가지는 반송 유닛을 구비하는 진공 장치의 내부를 비추는 진공 장치용 조명기구에 있어서,
상기 조명 기구는, 상기 진공 장치의 내부를 시인하기 위해 상기 진공 챔버에 형성된 들여다보기창에 장착되고,
상기 조명기구가, 상기 들여다보기창에 연결 수단을 통해 착탈 가능하게 연결되는 연결 어댑터와, 상기 연결 어댑터의 중앙부에 형성되어 상기 들여다보기창을 통해 상기 진공 장치의 내부를 시인 가능한 개구와, 상기 연결 어댑터에 설치되어 상기 들여다보기창과 대향하는 복수개의 LED(발광 다이오드)를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 조명기구.
제1항에 있어서,
상기 연결 어댑터가, 상기 들여다보기창측에 위치하는 전단부와 상기 전단부의 반대측에 위치하는 후단부와 상기 전후단부의 사이에 위치하는 중간부를 가지고 축방향으로 뻗는 주벽과, 상기 주벽의 중간부에 있어서의 내주면에 고정되어 상기 개구를 둘러싸도록 이 주벽의 직경방향 내방으로 뻗는 환상의 LED 설치판으로 형성되고, 상기 복수개의 LED가, 상기 LED 설치판의 상기 들여다보기창과 대향하는 대향면에 설치되어 있는 진공 장치용 조명기구.
제2항에 있어서,
상기 복수개의 LED가, 상기 LED 설치판의 대향면의 주방향으로 등간격으로 늘어서 있는 진공 장치용 조명기구.
제2항에 있어서,
상기 LED로부터 방사된 광을 확산시키는 광 확산판이, 상기 연결 어댑터의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 상기 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있는 진공 장치용 조명기구.
제2항에 있어서,
상기 LED로부터 방사된 광을 반사하는 광 반사판이, 상기 연결 어댑터의 주벽의 전단부 및 중간부에 있어서의 내주면과 상기 LED 설치판의 대향면 중의 적어도 일방에 장착되어 있는 진공 장치용 조명기구.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 조명기구가, 상기 연결 어댑터의 주벽의 후단부에 착탈 가능하게 설치되어 상기 진공 장치의 내부를 촬영하는 촬상 장치와, 상기 촬상 장치가 촬영한 영상을 표시하는 표시 장치를 포함하는 진공 장치용 조명기구.
제6항에 있어서,
상기 촬상 장치가, CCD 이미지 센서를 가지는 CCD 카메라인 진공 장치용 조명기구.
삭제
제6항에 있어서,
상기 표시 장치가, 상기 반송 유닛의 반송 수단에 설치되어 있는 진공 장치용 조명기구.