KR101452105B1 - 원형 기판의 위치 확인 방법 - Google Patents

Abstract

원형 기판의 위치 확인 방법은 카메라가 제1 위치에서 다수의 다이들이 방사상으로 부착되는 원형의 기판 상에 형성된 제1 얼라인 마크를 촬영하는 단계와, 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 제1 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계와, 카메라가 제2 위치에서 원형의 기판 상에 형성된 제2 얼라인 마크를 촬영하는 단계와, 제2 위치에서 카메라의 화면 중심과 제2 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계 및 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 제2 위치에서 카메라의 화면 중심을 연결하는 제1 직선과 제1 얼라인 마크의 중심과 제2 얼라인 마크의 중심을 연결하는 제2 직선을 비교하여 기준 위치에 대해 원형의 기판이 회전된 각도를 확인하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

원형 기판의 위치 확인 방법{Method of checking position of circular substrate}

본 발명은 원형 기판의 위치 확인 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 다이들을 방사상으로 부착하기 위해 상기 원형 기판이 기준 위치로부터 벗어난 정도를 확인하는 원형 기판의 위치 확인 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 다이들은 다이 본더에 의해 기판에 부착된다. 이때, 상기 다이들은 보통 사각의 기판 상에 매트릭스 형태로 부착된다. 그러나, 필요에 따라 원형의 기판에 다이들이 방사상으로 부착될 수 있다. 상기 원형의 기판이 스테이지에 놓여질 때, 상기 원형의 기판이 기준 위치에로부터 벗어나는 경우, 상기 다이들이 상기 원형 기판 상에 정확하게 부착되지 않는다. 따라서, 상기 원형 기판이 상기 기준 위치에 정확하게 위치되었는지 여부를 확인할 필요가 있다.

본 발명은 원형 기판이 기준 위치로부터 벗어난 정도를 확인하는 원형 기판의 위치 확인 방법을 제공한다.

본 발명에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법은 카메라가 제1 위치에서 다수의 다이들이 방사상으로 부착되는 원형의 기판 상에 형성된 제1 얼라인 마크를 촬영하는 단계와, 상기 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제1 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계와, 상기 카메라가 제2 위치에서 상기 원형의 기판 상에 형성된 제2 얼라인 마크를 촬영하는 단계와, 상기 제2 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제2 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계 및 상기 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제2 위치에서 카메라의 화면 중심을 연결하는 제1 직선과 상기 제1 얼라인 마크의 중심과 상기 제2 얼라인 마크의 중심을 연결하는 제2 직선을 비교하여 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 회전된 각도를 확인하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 원형 기판의 위치 확인 방법은 상기 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 회전된 각도를 확인하는 단계 이후에, 상기 기판이 상기 회전된 각도 및 상기 카메라의 화면 중심과 상기 얼라인 마크들 사이의 거리를 이용하여 상기 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 이동된 거리를 확인하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 원형 기판의 위치 확인 방법은 상기 카메라가 제1 얼라인 마크를 촬영하는 단계 이전에 상기 카메라의 제1 위치와 제2 위치를 설정하는 단계를 더 포함하고, 상기 원형의 기판이 상기 기준 위치에 위치할 때 상기 카메라의 제1 위치는 상기 제1 얼라인 마크의 중심과 대응하고, 상기 카메라의 제2 위치는 상기 제2 얼라인 마크의 중심과 대응할 수 있다.

본 발명에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법은 카메라로 기 설정된 제1 위치와 제2 위치에서 상기 원형 기판의 제1 얼라인 마크와 제2 얼라인 마크를 촬영하고 상기 카메라의 화면 중심과 상기 얼라인 마크들의 중심을 이용하여 상기 원형 기판이 기준 위치로부터 회전된 각도 및 이동 거리를 정확하게 확인할 수 있다. 따라서, 상기 회전 각도 및 이동 거리를 보상하여 상기 원형 기판에 다이들을 본딩할 수 있으므로, 상기 다이들의 본딩 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 원형의 기판이 기준 위치에 정상적으로 위치한 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이다.
도 3은 원형의 기판이 기준 위치로부터 수평 이동 및 회전된 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이다.
도 4는 원형의 기판이 기준 위치로부터 수평 이동한 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 2는 원형의 기판이 기준 위치에 정상적으로 위치한 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이다. 도 3은 원형의 기판이 기준 위치로부터 수평 이동 및 회전된 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이고, 도 4는 원형의 기판이 기준 위치로부터 수평 이동한 상태에서의 카메라 화면을 나타내는 도면이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 원형 기판의 위치 확인 방법은 다음과 같다.

먼저, 원형 기판의 위치 확인을 위해 카메라가 상기 원형 기판 상에 형성된 제1 얼라인 마크(120)와 제2 얼라인 마크(140)를 촬영하기 위한 제1 위치(110)와 제2 위치(130)를 설정한다.(S110)

구체적으로, 스테이지의 기준 위치에 상기 원형의 기판을 안착한 상태에서 상기 스테이지 상방에 위치한 상기 카메라로 상기 원형 기판 상에 표시된 적어도 두 개의 얼라인 마크(120, 140)를 각각 촬영한다. 상기 원형 기판에는 다이들이 방사상으로 본딩될 수 있다. 이때, 상기 스테이지에 안착된 상기 원형 기판의 위치는 상기 기준 위치와 일치하며, 상기 기준 위치로부터 수평 이동 및 회전되지 않은 상태이다.

상기 상태에서, 상기 카메라가 제1 얼라인 마크(120)와 제2 얼라인 마크(140)를 촬영하기 위한 제1 위치(110)와 제2 위치(130)를 설정한다. 도 2에서와 같이, 상기 제1 위치(110)는 상기 카메라에서 촬영되는 화면의 중심(112)과 상기 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)이 일치할 때 상기 카메라의 위치이다. 상기 제2 위치(130)는 상기 카메라에서 촬영되는 화면의 중심(132)과 상기 제2 얼인 마크(140)의 중심(142)이 일치할 때 상기 카메라의 위치이다.

상기 카메라의 제1 위치(110) 및 제2 위치(130)가 설정되면, 상기 카메라가 상기 기 설정된 제1 위치(110)로 이동한 후, 상기 제1 위치(110)에서 상기 스테이지에 안착된 원형 기판의 제1 얼라인 마크(120)를 촬영한다.(S120)

상기 제1 위치(110)에서 제1 얼라인 마크(120)가 촬영되면, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)을 각각 확인한다.(S130)

구체적으로, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면을 가로 방향으로 이등분하는 가상의 직선과 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면을 세로 방향으로 이등분하는 가상의 직선이 이루는 교점을 확인함으로써 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)을 확인한다.

상기 제1 얼라인 마크의 중심은 상기 카메라에서 촬영된 화면을 이미지 프로세싱을 통해 확인할 수 있다.

한편, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 상기 제1 얼라인 마크(120) 중심(122) 사이의 거리를 산출할 수 있다.

상기 기판이 원형이므로, 제1 얼라인 마크(120)만 촬영해서는 상기 원형 기판이 상기 기준 위치에서 벗어난 정도를 확인하기 어렵다. 따라서, 상기 카메라가 상기 기 설정된 제2 위치(130)로 이동한 후, 상기 제2 위치(130)에서 상기 스테이지에 안착된 원형 기판의 제2 얼라인 마크(140)를 촬영한다.(S140)

상기 제2 위치(130)에서 제2 얼라인 마크(140)가 촬영되면, 상기 제2 위치(130)에서 카메라의 화면 중심(132)과 제2 얼라인 마크(140)의 중심(142)을 각각 확인한다.(S150)

상기 제2 위치(130)에서 카메라의 화면 중심(132)과 제2 얼라인 마크(140)의 중심(142)을 확인하는 과정에 대한 구체적인 설명은 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)을 확인하는 과정과 실질적으로 동일하므로 생략한다.

이후, 상기 원형 기판이 상기 기준 위치로부터 회전된 각도를 확인한다.(S160)

구체적으로, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 상기 제2 위치(130)에서 카메라의 화면 중심(132)을 연결하는 제1 직선과 상기 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)과 상기 제2 얼라인 마크(140)의 중심(142)을 연결하는 제2 직선을 비교한다. 상기 제1 직선은 상기 원형 기판이 기준 위치에 위치할 때 상기 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)과 상기 제2 얼라인 마크(140)의 중심(142)을 통과한다. 따라서, 상기 제1 직선과 상기 제2 직선이 이루는 각도를 연산함으로써 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 회전된 각도를 확인할 수 있다.

상기 원형 기판이 상기기준 위치로부터 회전된 각도를 확인한 후, 상기 원형 기판이 상기 기준 위치로부터 이동한 거리를 확인한다.(S170)

구체적으로, 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 회전된 각도와 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122)과 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112) 사이의 거리(또는 제2 얼라인 마크(140)의 중심(142)과 상기 제2 위치(130)에서 카메라의 화면 중심(132) 사이의 거리)를 이용하여 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 이동된 거리를 추가로 확인할 수 있다.

구체적으로, 상기 제2 직선이 상기 제1 직선과 평행하도록 상기 회전된 각도만큼 보정한 후, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 상기 보상된 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122) 사이의 거리를 연산함으로써 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 이동된 거리를 확인할 수 있다.

예를 들면, 도 3을 참조하면, 상기 제1 직선과 상기 제2 직선이 일정한 각도를 이루므로, 상기 각도를 확인함으로써 상기 원형 기판이 상기 기준 위치에 대해 회전된 정도를 확인할 수 있다. 또한, 상기 제2 직선이 상기 제1 직선과 평행하도록 상기 각도만큼 상기 원형 기판을 보정한 후, 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 상기 보상된 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122) 사이의 거리를 연산함으로써 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 이동된 거리를 확인할 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 제1 직선과 상기 제2 직선이 서로 평행하므로, 상기 원형 기판이 상기 기준 위치에 대해 회전되지 않은 상태이다. 이 상태에서 상기 제1 위치(110)에서 카메라의 화면 중심(112)과 제1 얼라인 마크(120)의 중심(122) 사이의 거리를 연산함으로써 상기 기준 위치에 대해 상기 원형 기판이 이동된 거리를 확인할 수 있다.

상기 원형 기판 위치 확인 방법을 통해 상기 스테이지에 안착되는 원형 기판이 상기 기준 위치로부터 회전된 각도 및 이동된 거리를 정확하게 확인할 수 있다. 상기 각도 및 거리에 따라 상기 원형 기판에 다이들을 본딩하기 위한 헤드의 위치를 보정하거나 상기 원형 기판이 안착된 스테이지를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 원형 기판이 상기 기준 위치로부터 회전되거나 이동되더라도 상기 다이들을 상기 원형 기판에 정확하게 본딩할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 원형 기판의 위치 확인 방법을 이용하여 원형 기판이 기준 위치에 대해 회전된 각도 및 이동 거리를 확인할 수 있다. 따라서, 상기 회전된 각도 및 이동 거리만큼 다이 본딩 헤드의 위치 또는 상기 원형 기판이 안착된 스테이지의 위치를 보상함으로써, 다이들을 상기 원형 기판 상에 정확하게 본딩할 수 있다. 따라서, 상기 원형 기판의 본딩 정밀도를 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

110 : 제1 위치 120 : 제1 얼라인 마크
130 : 제2 위치 140 : 제2 얼라인 마크

Claims (3)

1. 카메라가 제1 위치에서 다수의 다이들이 방사상으로 부착되는 원형의 기판 상에 형성된 제1 얼라인 마크를 촬영하는 단계;
   상기 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제1 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계;
   상기 카메라가 제2 위치에서 상기 원형의 기판 상에 형성된 제2 얼라인 마크를 촬영하는 단계;
   상기 제2 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제2 얼라인 마크의 중심을 확인하는 단계; 및
   상기 제1 위치에서 카메라의 화면 중심과 상기 제2 위치에서 카메라의 화면 중심을 연결하는 제1 직선과 상기 제1 얼라인 마크의 중심과 상기 제2 얼라인 마크의 중심을 연결하는 제2 직선을 비교하여 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 회전된 각도를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 원형 기판의 위치 확인 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 회전된 각도를 확인하는 단계 이후에, 상기 기판이 상기 회전된 각도 및 상기 카메라의 화면 중심과 상기 얼라인 마크들 사이의 거리를 이용하여 상기 기준 위치에 대해 상기 원형의 기판이 이동된 거리를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원형 기판의 위치 확인 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 카메라가 제1 얼라인 마크를 촬영하는 단계 이전에 상기 카메라의 제1 위치와 제2 위치를 설정하는 단계를 더 포함하고,
   상기 원형의 기판이 상기 기준 위치에 위치할 때 상기 카메라의 제1 위치는 상기 제1 얼라인 마크의 중심과 대응하고, 상기 카메라의 제2 위치는 상기 제2 얼라인 마크의 중심과 대응하는 것을 특징으로 하는 원형 기판의 위치 확인 방법.

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