KR101451282B1 - 엔코더 정렬장치 - Google Patents

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KR101451282B1
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adjustment
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박연묵
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순환엔지니어링 주식회사
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    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation

Abstract

엔코더 정렬장치를 개시한다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치는 베이스를 따라 이동하는 이동유닛에 연결되는 제1지지부재; 상기 베이스에 구비되는 리니어 스케일과 마주보도록 엔코더가 구비되며 탄성부재에 의해서 상기 제1지지부재에 연결되는 제2지지부재; 및 상기 제1지지부재를 관통하여 상기 제2지지부재에 접촉하며 상기 제1지지부재와 제2지지부재 사이의 거리와 각도를 조절하여 상기 엔코더가 상기 리니어 스케일에 바르게 정렬되도록 하는 조절부재; 를 포함하며, 상기 조절부재와 탄성부재는 복수개일 수 있다.

Description

엔코더 정렬장치{ENCODER ALIGNING APPARTUS}
본 발명은 엔코더 정렬장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 리니어 스케일에 대하여 엔코더를 용이하게 바르게 정렬할 수 있는 엔코더 정렬장치에 관한 것이다.
엔코더(Encoder)는 자동화 장치나 반도체 제조장치 또는 디스플레이 제조장치 등의 스테이지에 구비되어, 스테이지의 베이스에 따라 이동하는 이송유닛의 이동위치 또는 이동거리를 측정하는 데에 사용된다.
엔코더는 이송유닛에 연결되어 이송유닛과 함께 이동한다. 그리고, 이러한 엔코더는 리니어 스케일이 부착된 베이스의 면에 접촉하지 않고 이동하면서 리니어 스케일을 전자기적으로 읽게 된다. 이에 따라, 이송유닛의 이동위치 또는 이동거리를 엔코더가 측정하게 된다.
한편, 엔코더가 리니어 스케일에 바르게 정렬되었다면, 엔코더가 리니어 스케일을 제대로 읽을 수 있기 때문에, 이에 의해서 측정된 이동위치나 이동거리에는 오차가 발생하지 않는다.
그러나, 엔코더가 리니어 스케일에 바르게 정렬되지 않았다면, 엔코더가 리니어 스케일을 제대로 읽지 못하기 때문에, 이에 의해서 측정된 이동위치나 이동거리에는 오차가 발생한다.
종래에는 엔코더를 리니어 스케일에 바르게 정렬할 수 있는 구성이 구비되어 있지 않았다. 따라서, 엔코더를 리니어 스케일에 바르게 정렬하는 것이 어려웠으며, 엔코더 사용 중에 엔코더가 리니어 스케일에 바르게 정렬되지 않게 되었더라도 이를 교정하기가 어려웠다.
이에 따라, 전술한 자동화 장치나 반도체 제조장치 또는 디스플레이 제조장치 등의 엔코더를 사용하는 장비의 제조 생산성과 작업 생산성이 저하되었다.
본 발명은 상기와 같은 종래에서 발생하는 요구 또는 문제들 중 적어도 어느 하나를 인식하여 이루어진 것이다.
본 발명의 목적의 일 측면은 리니어 스케일에 대하여 엔코더를 용이하게 바르게 정렬할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 목적의 다른 측면은 엔코더를 사용하는 장비의 제조 생산성과 작업 생산성이 향상되도록 하는 것이다.
상기 과제들 중 적어도 하나의 과제를 실현하기 위한 일실시 형태와 관련된 엔코더 정렬장치는 다음과 같은 특징을 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시 형태에 따른 엔코더 정렬장치는 베이스를 따라 이동하는 이동유닛에 연결되는 제1지지부재; 베이스에 구비되는 리니어 스케일과 마주보도록 엔코더가 구비되며 탄성부재에 의해서 상기 제1지지부재에 연결되는 제2지지부재; 및 제1지지부재를 관통하여 제2지지부재에 접촉하며 제1지지부재와 제2지지부재 사이의 거리와 각도를 조절하여 엔코더가 리니어 스케일에 바르게 정렬되도록 하는 조절부재; 를 포함하며, 조절부재와 탄성부재는 복수개일 수 있다.
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또한, 상기 조절부재는 적어도 3개 이상일 수 있다.
그리고, 상기 탄성부재는 이웃하는 조절부재 사이에 위치할 수 있다.
또한, 상기 조절부재는 적어도 일부가 서로 직각을 이루도록 배치될 수 있다.
그리고, 상기 조절부재가 접촉하는 제2지지부재의 부분 중 적어도 2개 이상의 부분에는 접촉홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 접촉홈 중 하나는 역 원추 형상이며 다른 하나는 역 사각뿔대 형상일 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 이동유닛과 함께 연결되는 제1지지부재와, 탄성부재에 의해서 제1지지부재에 연결되며 엔코더가 구비되는 제2지지부재 및, 제1지지부재를 관통하여 제2지지부재에 접촉하여 제1지지부재와 제2지지부재 사이의 거리와 각도를 조절하는 조절부재를 포함하여, 리니어 스케일에 대하여 엔코더를 용이하게 바르게 정렬할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 엔코더를 사용하는 장비의 제조 생산성과 작업 생산성이 향상될 수 있다.
도1은 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 사시도이다.
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 분해사시도이다.
도3은 도1의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도4는 도1의 B-B'선에 따른 단면도이다.
도5 내지 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 작동을 나타내는 사시도이다.
상기와 같은 본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여, 이하 본 발명의 실시예와 관련된 엔코더 정렬장치에 대하여 보다 상세하게 설명하도록 하겠다.
이하, 설명되는 실시예들은 본 발명의 기술적인 특징을 이해시키기에 가장 적합한 실시예들을 기초로 하여 설명될 것이며, 설명되는 실시예들에 의해 본 발명의 기술적인 특징이 제한되는 것이 아니라, 이하, 설명되는 실시예들과 같이 본 발명이 구현될 수 있다는 것을 예시하는 것이다. 따라서, 본 발명은 아래 설명된 실시예들을 통해 본 발명의 기술 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하며, 이러한 변형 실시예는 본 발명의 기술 범위 내에 속한다 할 것이다. 그리고, 이하, 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 기재된 부호에 있어서, 각 실시예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다.
도1은 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 사시도이고, 도2는 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 분해사시도이다. 또한, 도3은 도1의 A-A'선에 따른 단면도이며, 도4는 도1의 B-B'선에 따른 단면도이다. 그리고, 도5 내지 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치의 작동을 나타내는 사시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)는 도1과 도2에 도시된 바와 같이 제1지지부재(200), 제2지지부재(300) 및, 조절부재(400,400',400")를 포함할 수 있다.
제1지지부재(200)는 베이스(도시되지 않음)를 따라 이동하는 이동유닛(도시시되지 않음)에 연결될 수 있다. 따라서, 제1지지부재(200)는 이동유닛이 이동함에 따라 이동유닛과 함께 이동할 수 있다.
이를 위해서, 제1지지부재(200)는 도1과 도2에 도시된 바와 같이 단면이 'ㄱ'자 형상일 수 있다. 그리고, 제1지지부재(200)의 수직한 부분은 후술할 바와 같이 탄성부재(500)에 의해서 제2지지부재(300)가 연결될 수 있다. 또한, 제1지지부재(200)의 수평한 부분은 이동유닛에 연결될 수 있다.
그러나, 제1지지부재(200)의 형상은 특별히 한정되지 않고, 일 부분은 제2지지부재(300)가 연결되고 다른 부분은 이동유닛에 연결될 수 있는 형상이라면 어떠한 형상이라도 가능하다.
제1지지부재(200)가 연결되는 이동유닛과, 이동유닛이 이동하는 베이스는, 예컨대 XY 스테이지(도시되지 않음)에 포함되는 것일 수 있다. 그러나, 이동유닛과 베이스는 특별히 한정되지 않고, 베이스를 따라 이동유닛이 이동하는 것이라면 주지의 어떠한 것이라도 가능하다.
제1지지부재(200)에는 도1 내지 도3에 도시된 바와 같이 관통구멍(210)이 형성될 수 있다. 이러한 제1지지부재(200)의 관통구멍(210)에는 후술할 바와 같이 조절부재(400,400',400")가 관통되어 구비될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)는 후술할 바와 같이 3개의 조절부재(400,400',400")를 포함하기 때문에, 이에 대응하여 도3에 도시된 바와 같이 제1지지부재(200)에 3개의 관통구멍(210)이 형성되었다.
그러나, 제1지지부재(200)에 형성되는 관통구멍(210)의 개수는 특별히 한정되지 않고, 조절부재(400,400',400")의 개수에 대응되는 개수라면 어떠한 개수라도 가능하다.
또한, 도1 내지 도3에 도시된 바와 같이 제1지지부재(200)에는 연결구멍(220)이 형성될 수 있다. 이러한 연결구멍(220)에는 제1지지부재(200)에 제2지지부재(300)를 연결하는 탄성부재(500)의 일측이 삽입될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)에서는 4개의 탄성부재(500)에 의해서 제1지지부재(200)에 제2지지부재(300)가 연결되기 때문에, 이에 대응하여 도3에 도시된 바와 같이 제1지지부재(200)에 4개의 연결구멍(220)이 형성되었다.
그러나, 제1지지부재(200)에 형성되는 연결구멍(220)의 개수는 특별히 한정되지 않고, 탄성부재(500)의 개수에 대응되는 개수라면 어떠한 개수라도 가능하다.
또한, 탄성부재(500)는 복수개, 예컨대 전술한 바와 같이 4개일 수 있으나, 특별히 한정되지는 않고, 어떠한 개수라도 가능하다.
연결구멍(220)은 도3에 도시된 바와 같이 전술한 관통구멍(210) 사이에 형성될 수 있다. 이는 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)에서는 탄성부재(500)가 이웃하는 후술할 조절부재(400,400',400") 사이에 위치하기 때문이다.
즉, 탄성부재(500)가 이웃하는 조절부재(400,400',400") 사이에 위치하도록, 탄성부재(500)의 일측이 삽입되는 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)은 조절부재(400,400',400")가 관통하여 구비되는 제1지지부재(200)의 관통구멍(210) 사이에 형성된다.
그러나, 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)의 형성위치는 특별히 한정되지 않고, 탄성부재(500)의 일측이 삽입되어 제1지지부재(200)에 제2지지부재(300)를 연결하는 위치라면 어떠한 위치라도 가능하다.
제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 삽입된 탄성부재(500)의 일측에는 도3에 도시되고 후술할 바와 같이 고정부재(510)가 끼워질 수 있다. 그리고, 고정부재(510)는 제1지지부재(200)에 고정되도록 부착될 수 있다. 고정부재(510)가 제1지지부재(200)에 고정되도록 부착되는 구성은 특별히 한정되지 않고 'ㄷ'자 형상의 부재(도시되지 않음)에 의해서 지지부재(200)에 고정되도록 부착되는 등 주지의 어떠한 구성이라도 가능하다.
이에 따라, 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 삽입된 탄성부재(500)의 일측이 연결구멍(220)으로부터 외부로 이탈되지 않을 수 있다.
제2지지부재(300)에는 전술한 베이스에 구비되는 리니어 스케일(LS)과 마주보도록 엔코더(EH)가 구비될 수 있다.
엔코더(EH)가 제2지지부재(300)에 구비되는 구성은 특별히 한정되지 않고, 엔코더(EH)가 구비될 수 있는 연결브라켓(도시되지 않음)이 제2지지부재(300)에 구비되어 제2지지부재(300)에 엔코더(EH)가 구비되는 등 주지의 어떠한 구성이라도 가능하다.
또한, 엔코더(EH)의 구성은 특별히 한정되지 않고, 제2지지부재(300)에 구비될 수 있는 엔코더(EH)라면 주지의 어떠한 것이라도 가능하다. 그리고, 리니어 스케일(LS)도 특별히 한정되지 않고, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)에 의해서 전자기적으로 읽힐 수 있는 리니어 스케일(LS)이라면 주지의 어떠한 것이라도 가능하다.
제2지지부재(300)는 탄성부재(500)에 의해서 제1지지부재(200)에 연결될 수 있다. 이를 위해서, 제2지지부재(300)에도 제1지지부재(200)와 같이 연결구멍(330)이 형성될 수 있다.
제2지지부재(300)의 연결구멍(330)에는 전술한 바와 같이 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 일측이 삽입된 탄성부재(500)의 타측이 삽입될 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)에서는 전술한 바와 같이 4개의 탄성부재(500)에 의해서 제1지지부재(200)에 제2지지부재(300)가 연결되기 때문에, 이에 대응하여 4개의 연결구멍(330)이 제2지지부재(300)에 형성되었다.
그러나, 제2지지부재(300)에 형성되는 연결구멍(330)의 개수는 특별히 한정되지 않고, 탄성부재(500)의 개수에 대응되는 개수라면 어떠한 개수라도 가능하다.
제2지지부재(300)의 연결구멍(330)은 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)에서는 전술한 바와 같이 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)이 제1지지부재(200)의 관통구멍(210) 사이에 형성되기 때문에, 이에 대응하여 제2지지부재(300)의 연결구멍(330)도 제1지지부재(200)의 관통구멍(210) 사이에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
그러나, 제2지지부재(300)의 연결구멍(330)의 형성위치는 특별히 한정되지 않고, 탄성부재(500)의 타측이 삽입되어 제1지지부재(200)에 제2지지부재(300)를 연결하는 위치라면 어떠한 위치라도 가능하다.
제2지지부재(300)의 연결구멍(330)에 삽입된 탄성부재(500)의 타측에도 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 삽입된 탄성부재(500)의 일측과 같이 고정부재(510)가 끼워질 수 있다. 이에 따라, 제2지지부재(300)의 연결구멍(330)에 삽입된 탄성부재(500)의 타측이 연결구멍(330)으로부터 외부로 이탈되지 않을 수 있다.
이와 같이, 제1지지부재(200)의 연결구멍(220)에 탄성부재(500)의 일측이 삽입되고 제2지지부재(300)의 연결구멍(330)에 탄성부재(500)의 타측이 삽입되며, 탄성부재(500)의 일측과 타측이 고정부재(510)에 의해서 고정되는 것에 의해서, 제2지지부재(300)가 제1지지부재(200)에 탄성부재(500)에 의해서 연결될 수 있다.
즉, 제2지지부재(300)는 탄성부재(500)에 의해서 탄성지지될 수 있다.
한편, 제2지지부재(300)에는 접촉홈(310,320)이 형성될 수 있다. 접촉홈(310,320)은 후술할 조절부재(400,400',400")가 접촉하는 제2지지부재(300)의 부분 중 2개 이상의 부분에 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)에서는 후술할 바와 같이 3개의 조절부재(400,400',400")를 포함할 수 있다. 즉, 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")를 포함할 수 있다. 그리고, 제2지지부재(300)에는 2개의 접촉홈(310,320)이 형성될 수 있다. 즉, 도4에 도시된 바와 같이 제1접촉홈(310)과 제2접촉홈(320)이 형성될 수 있다.
제2지지부재(300)에 형성된 2개의 접촉홈(310,320) 중 제1접촉홈(310)은 제1조절부재(400)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 즉, 제1조절부재(400)가 3개의 조절부재(400,400',400")의 중앙에 위치하기 때문에, 제1접촉홈(310)은 도4에 도시된 바와 같이 이에 대응하는 제2지지부재(300)의 위치에 형성될 수 있다.
그리고, 제1조절부재(400)는 이에 대응하는 제1지지부재(200)의 관통구멍(210)을 관통하여 제2지지부재(300)의 제1접촉홈(310)에 접촉할 수 있다.
이러한 제1접촉홈(310)은 역 원추 형상일 수 있다. 이에 의해서, 제1조절부재(400)가 제1접촉홈(310)에 접촉하면, 제2지지부재(300)는 도1에서 Y축과 Z축 방향으로는 이동할 수는 없으나, X축 방향으로는 이동할 수 있다. 또한, 제2지지부재(300)는 X축을 중심으로는 회전할 수는 없으나, Y축과 Z축을 중심으로는 회전할 수 있다.
제2접촉홈(320)은 제2조절부재(400')에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 즉, 제2조절부재(400')가 제1조절부재(400)로부터 수직상방으로 소정 거리 떨어진 위치에 형성되기 때문에, 제2접촉홈(320)은 이에 대응하는 제2지지부재(300)의 위치에 형성될 수 있다.
그리고, 제2조절부재(400')는 이에 대응하는 제1지지부재(200)의 관통구멍(210)을 관통하여 제2지지부재(300)의 제2접촉홈(320)에 접촉할 수 있다.
이러한 제2접촉홈(320)은 역 사각뿔대 형상일 수 있다. 또한, 제2접촉홈(320)은 도4에 도시된 바와 같이 Z축에 평행할 수 있다. 이에 따라, 제2조절부재(400')가 제2접촉홈(320)에 접촉하면, 제2지지부재(300)는 도1에서 Y축 방향으로는 이동할 수 없으나, X축과 Z축으로는 이동할 수 있다. 또한, 제2지지부재(300)는 X축을 중심으로는 회전할 수 없으나, Y축과 Z축을 중심으로는 회전할 수 있다.
따라서, 제1조절부재(400)과 제2조절부재(400')가 각각 제1접촉홈(310)과 제2접촉홈(320)에 접촉하면, 제2지지부재(300)는 Y축과 Z축 방향으로는 이동할 수 없으나 X축 방향으로는 이동할 수 있다. 또한, 제2지지부재(300)는 X축을 중심으로는 회전할 수 없으나, Y축과 Z축을 중심으로는 회전할 수 있다.
조절부재(400,400',400")는 제1지지부재(200)를 관통하여, 즉 제1지지부재(200)의 전술한 관통구멍(210)을 관통하여, 제2지지부재(300)에 접촉할 수 있다. 이에 의해서, 탄성부재(500)에 의해서 연결된 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이가 소정 거리와 각도를 유지하도록 할 수 있다.
그리고, 조절부재(400,400',400")에 의해서 도5 내지 도7에 도시된 바와 같이 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 거리와 각도를 조절할 수 있다.
이에 따라, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)가 리니어 스케일(LS)에 바르게 용이하게 정렬되도록 할 수 있다. 그리고, 본 발명의 일실시예에 따른 엔코더 정렬장치(100)를 사용하는 장비, 예컨대 자동화 장치나 반도체 제조장치 또는 디스플레이 제조장치 등의 제조 생산성과 작업 생산성이 향상될 수 있다.
조절부재(400,400',400")는 나사일 수 있다. 즉, 조절부재(400,400',400")는 일방향, 예컨대 시계방향으로 회전하면 전진하고 이에 반대되는 타방향, 예컨대 시계반대방향으로 회전하면 후퇴하는 나사일 수 있다.
그러나, 조절부재(400,400',400")는 특별히 한정되지 않고, 제1지지부재(200)를 관통하여 제2지지부재(300)에 접촉하며, 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 거리와 각도를 조절할 수 있는 것이라면 주지의 어떠한 것이라도 가능하다.
조절부재(400,400',400")는 복수개일 수 있다. 또한, 조절부재(400,400',400")는 적어도 3개 이상일 수 있다. 이에 의해서, 조절부재(400,400',400")가 일직선상에 있지 않는 한, 조절부재(400,400',400")의 단부를 잇는 가상의 선은 면을 이룰 수 있다. 그리고, 조절부재(400,400',400")가 관통하는 제1지지부재(200)와 조절부재(400,400',400")가 접촉하는 제2지지부재(300)가 조절부재(400,400',400")에 의해서 소정 거리와 각도를 유지할 수 있다.
조절부재(400,400',400")는 적어도 일부가 서로 직각을 이루도록 배치될 수 있다. 예컨대, 도3과 도4에 도시된 바와 같이 조절부재(400,400',400")는 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")의 3개일 수 있다. 그리고, 제1조절부재(400)는 제2조절부재(400')와 제3조절부재(400")와 각각 직각을 이루도록 제2조절부재(400')와 제3조절부재(400") 사이에 배치될 수 있다.
그러나, 조절부재(400,400',400")의 개수와 배치형상은 특별히 한정되지 않고 3개 이상이며 적어도 일부가 서로 직각을 이루도록 하는 배치형상이라면 어떠한 개수와 배치형상이라도 가능하다.
도3과 도4에 도시된 바와 같이 조절부재(400,400',400")가 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")의 3개인 구성에서, 제1조절부재(400)는 제1지지부재(200)의 해당 관통구멍(210)을 관통하여 전술한 제2지지부재(300)의 제1접촉홈(310)에 접촉한다.
또한, 제2조절부재(400')는 제1지지부재(200)의 해당 관통구멍(210)을 관통하여 제2지지부재(300)의 제2접촉홈(320)에 접촉한다.
그리고, 제3조절부재(400")는 제1지지부재(300)의 해당 관통구멍(210)을 관통하여 제2지지부재(300)의 면상에 접촉한다.
이에 의해서, 전술한 바와 같이 탄성부재(500)에 의해서 연결된 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300)가 소정 거리와 각도를 유지할 수 있다.
이러한 상태에서, 도5에 도시된 바와 같이 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")를 모두 같은 방향(예컨대, 시계방향 또는 반시계방향)으로 회전시키면, 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")는 모두 같은 방향으로 이동될 수 있다.
이에 따라, 제2지지부재(300)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.
이에 의해서 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 거리를 조절할 수 있으며, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)와 리니어 스케일(LS)의 거리를 조절할 수 있다.
또한, 도6에 도시된 바와 같이 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400')는 일방향으로 회전시키고 제3조절부재(400")는 이의 반대방향으로 회전시키면, 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400')는 같은 방향으로 이동하고 제3조절부재(400")는 이의 반대방향으로 이동될 수 있다.
이에 따라, 제2지지부재(300)는 도6에 도시된 바와 같이 Z축을 중심으로 회전할 수 있다.
이에 의해서, 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 각도를 조절할 수 있고, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)와 리니어 스케일(LS) 사이의 각도를 조절할 수 있다.
그리고, 도7에 도시된 바와 같이 제1조절부재(400)와 제3조절부재(400")는 일방향으로 회전시키고, 제2조절부재(400')는 이의 반대방향으로 회전시키면, 제1조절부재(400)와 제3조절부재(400")는 같은 방향으로 이동하고 제2조절부재(400')는 이의 반대방향으로 이동될 수 있다.
이에 따라, 제2지지부재(300)는 도7에 도시된 바와 같이 Y축을 중심으로 회전할 수 있다.
이에 의해서, 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 각도를 조절할 수 있고, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)와 리니어 스케일(LS) 사이의 각도를 조절할 수 있다.
이와 같이, 제1조절부재(400)와 제2조절부재(400') 및 제3조절부재(400")를 사용하여, 제1지지부재(200)와 제2지지부재(300) 사이의 거리와 각도를 조절함으로써, 제2지지부재(300)에 구비된 엔코더(EH)가 리니어 스케일(LS)에 바르게 용이하게 정렬되도록 할 수 있다.
그리고, 엔코더(EH)가 리니어 스케일(LS)을 오차 없이 바르게 전자기적으로 읽을 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 엔코더 정렬장치를 사용하면, 리니어 스케일에 대하여 엔코더를 바르게 용이하게 정렬할 수 있으며, 엔코더를 사용하는 장비의 제조 생산성과 작업 생산성이 향상될 수 있다.
상기와 같이 설명된 엔코더 정렬장치는 상기 설명된 실시예의 구성이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
100 : 엔코더 정렬장치 200 : 제1지지부재
210 : 관통구멍 220,330 : 연결구멍
300 : 제2지지부재 310 : 제1접촉홈
320 : 제2접촉홈 400 : 제1조절부재
400' : 제2조절부재 400" : 제3조절부재
500 : 탄성부재 510 : 고정부재
LS : 리니어 스케일 EH : 엔코더

Claims (7)

  1. 베이스를 따라 이동하는 이동유닛에 연결되는 제1지지부재;
    상기 베이스에 구비되는 리니어 스케일과 마주보도록 엔코더가 구비되며 탄성부재에 의해서 상기 제1지지부재에 연결되는 제2지지부재; 및
    상기 제1지지부재를 관통하여 상기 제2지지부재에 접촉하며 상기 제1지지부재와 제2지지부재 사이의 거리와 각도를 조절하여 상기 엔코더가 상기 리니어 스케일에 바르게 정렬되도록 하는 조절부재; 를 포함하며,
    상기 조절부재와 탄성부재는 복수개인 엔코더 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 조절부재는 적어도 3개 이상인 엔코더 정렬장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 탄성부재는 이웃하는 상기 조절부재 사이에 위치하는 엔코더 정렬장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 조절부재는 적어도 일부가 서로 직각을 이루도록 배치되는 엔코더 정렬장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 조절부재가 접촉하는 상기 제2지지부재의 부분 중 적어도 2개 이상의 부분에는 접촉홈이 형성되는 엔코더 정렬장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 접촉홈 중 하나는 역 원추 형상이며 다른 하나는 역 사각뿔대 형상인 엔코더 정렬장치.
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