KR101448580B1 - Nozzle device of fine cleaning - Google Patents

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KR101448580B1
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cleaning
waveguide
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ultrasonic
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이태양
신세형
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(주)범용테크놀러지
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Abstract

The present invention relates to a nozzle device for fine cleaning which maximizes a cleaning effect according to precise cleaning by a simple configuration for local cleansing and proximity cleaning. According to the present invention, provided is a nozzle device for fine cleaning which includes a nozzle body (31) which has one side where an inlet (32) is formed to receive a cleaning object; an ultrasound vibrator (34) which is formed in the nozzle body (31) and includes a vibration element (35) to vibrate the cleaning object by ultrasound; and a waveguide (37) which is extended with a constant distance to discharge the cleaning object vibrated by the ultrasound vibrator (34).

Description

미세세정 노즐장치{Nozzle device of fine cleaning}[0001] The present invention relates to a nozzle cleaning apparatus,

본 발명은 미세세정 노즐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 간단한 구성에 의해 국부세정 또는 근접세정이 가능하도록 구비되어 정밀한 세정에 따른 세정효과를 극대화시킬 수 있는 미세세정 노즐장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fine cleaning nozzle device, and more particularly, to a fine cleaning nozzle device capable of performing local cleaning or near-cleaning by a simple structure, thereby maximizing the cleaning effect due to precise cleaning.

일반적으로 반도체 패키지 제조공정에서는 웨이퍼를 절단하여 반도체칩을 형성하게 되고, 이 반도체칩은 인쇄된 회로기판 상에 본딩하는 공정을 통해 상호 전기적으로 접속시키게 되는데, 이러한 반도체 패키지의 제조공정에서는 각 공정 중에 발생되는 쏘잉 더스트나 슬러지 등을 제거하기 위한 세정공정을 거치게 된다.Generally, in a semiconductor package manufacturing process, a wafer is cut to form a semiconductor chip, which is electrically connected to each other through a process of bonding on a printed circuit board. In the process of manufacturing such a semiconductor package, A cleaning process is performed to remove the sawing dust and sludge generated.

이러한 세정공정은 대개 세정조와 건조조를 포함한 세정장치에 의해 행해지는데, 종래의 세정장치는 전술된 바와 같은 쏘잉공정 등에 의해 절단된 반도체칩 자체 또는 이 반도체칩을 적재한 매거진을 상기 세정조의 세척수에 담근 상태에서 초음파 진동자에 의해 세정이 이루어지도록 된 것이다.Such a cleaning process is usually performed by a cleaning apparatus including a cleaning tank and a drying tank. In the conventional cleaning apparatus, a semiconductor chip itself cut by the above-described sawing process or the like or a magazine on which the semiconductor chip is loaded is washed And the ultrasonic vibrator is used for cleaning in a dipped state.

이러한 종래의 세정장치는 피세정물을 장치 내로 운반하는 과정을 요하게 되고, 또한 다량의 피세정물을 세정조 일체로 투입한 상태에 세정이 이루어지는 것으로, 피세정물의 운반 또는 적재과정을 거치지 않은 상태로 웨이퍼의 쏘잉공정 중에 검사 등을 위해서 국부적으로 이물질을 제거하거나 각 피세정물을 개별적으로 매엽(枚葉)세정 등을 요하는 경우에는 전술된 바와 같은 세정장치를 사용하는 데에 어려움이 따르는 것이다.Such conventional cleaning apparatuses require a process of transporting the object to be cleaned into the apparatus, and a large amount of the object to be cleaned is put into the cleaning tank together with the cleaning, so that the object to be cleaned It is difficult to remove foreign substances locally for inspection or the like or to use a cleaning apparatus as described above when individually cleaning individual objects to be cleaned in a single sheet .

한국 등록특허공보(제10-0991430호) 2010. 10. 27.Korean Registered Patent Publication (No. 10-0991430) Oct. 27, 2010

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 간단한 구성에 의해 국부세정 또는 근접세정이 가능하도록 구비됨과 동시에 간단한 구조에 의해 정밀한 세정이 이루어지도록 구비되고, 이에 의해 세정효과를 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 사용상의 편리함을 제공할 수 있는 미세세정 노즐장치를 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a cleaning device capable of performing local cleaning or near-cleaning by a simple structure and at the same time being precisely cleaned by a simple structure, And to provide a fine cleaning nozzle device capable of providing ease of use as well as being capable of being used.

본 발명의 특징에 따르면, 일측에 세척물질이 유입 가능하도록 유입구(32)가 형성된 노즐본체(31)와;According to an aspect of the present invention, there is provided a cleaning apparatus comprising: a nozzle body (31) having an inlet (32) formed therein to allow a cleaning material to flow into one side;

상기 노즐본체(31)에 내장되어 초음파에 의해 세척물질을 가진시키도록 된 진동소자(35)를 포함한 초음파 진동자(34)와;An ultrasonic transducer (34) including a vibration element (35) built in the nozzle body (31) and adapted to excite a cleaning substance by ultrasonic waves;

상기 초음파 진동자(34)에 의해 가진된 세척물질을 배출하도록 일정 길이로 연장된 도파관(37)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세세정 노즐장치가 제공된다.
And a waveguide (37) extending to a predetermined length to discharge the cleaning material excited by the ultrasonic vibrator (34).

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 노즐본체(31)에는 상기 도파관(37)에 연통되도록 중앙부에 연통로(41)가 형성됨과 동시에 상기 진동소자(35)에 대응된 일면에 오목형상의 반사면(40)이 형성되어 상기 연통로(41) 측으로 세척물질을 유도하도록 된 반사유도체(38)가 구비되는 것을 특징으로 하는 미세세정 노즐장치가 제공된다.
According to another aspect of the present invention, a communication path 41 is formed in the center of the nozzle body 31 so as to communicate with the waveguide 37 and a concave reflecting surface 41 is formed on one surface corresponding to the vibration element 35. [ (38) formed with a nozzle (40) for guiding the cleaning material to the communication path (41) side.

이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 노즐본체(31) 내에 진동소자(35)를 포함한 초음파 진동자(34)가 내장되어 세척물질을 초음파에 의해 가진한 상태로 도파관(37)을 통해 배출시키도록 구비됨으로써, 상기 도파관(37)을 통해 세척물질을 배출함으로 인해 피세정물(P)에 대한 국부(부분)세정이 가능할 뿐만 아니라 근접이 어려운 위치의 피세정물(P)에 대한 세정을 용이하게 행할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, the ultrasonic vibrator 34 including the vibration element 35 is built in the nozzle body 31 to discharge the cleaning material through the waveguide 37 while being excited by the ultrasonic wave (Partial) cleaning with respect to the object P to be cleaned by discharging the cleaning material through the waveguide 37, and also the cleaning of the object P to be cleaned at a position difficult to close can be easily performed There are advantages to be able to.

또한 본 발명은 상기 초음파 진동자(34)에 의해 가진된 세척물질을 도파관(37)을 통해 배출하는 구조로 이루어져 세척물질이 초음파에 의해 활성화됨으로 인해 피세정물(P)에 대한 세정효과를 증대시킴과 동시에 상기 도파관(37)에 의해 피세정물(P)의 특정 위치에 최대한 근접된 상태에서 집중적으로 세척물질을 분사하여 세정위치에서의 세정효과를 극대화시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention has a structure for discharging the cleaning material excited by the ultrasonic vibrator 34 through the waveguide 37, thereby increasing the cleaning effect on the object P to be cleaned by activating the cleaning material by ultrasonic waves At the same time, the cleaning material is injected intensively in a state of being as close as possible to a specific position of the object P to be cleaned by the waveguide 37, thereby maximizing the cleaning effect at the cleaning position.

또한 본 발명은 상기 노즐본체(31) 내에 상기 진동소자(35)에 의해 초음파를 상기 도파관(37) 측으로 용이하게 유도하도록 반사면(40)이 형성된 반사유도체(38)가 구비됨으로써, 상기 진동소자(35)에 의한 초음파의 밀도를 높여 세척물질을 가진시킴으로 인해 고밀도의 초음파 진동을 유지한 상태의 세척물질이 분출되어 전술된 바와 같은 세정효과를 더욱 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
The present invention is also characterized in that the reflective body 38 is provided with the reflection surface 40 to easily guide the ultrasonic wave to the waveguide 37 side by the vibration element 35 in the nozzle body 31, Since the density of the ultrasonic waves generated by the ultrasonic vibrator 35 is increased to have a cleaning material, the cleaning material in a state of maintaining high-density ultrasonic vibration is ejected, thereby further improving the cleaning effect as described above.

도 1은 본 발명의 일실시예를 도시한 구성도 1 is a block diagram illustrating an embodiment of the present invention.

상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description. Hereinafter, description will be made with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예를 도시한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 노즐장치(30)는 노즐본체(31) 자체 내에서 초음파를 발생시켜 세척물질을 가진시킨 상태로 배출시키도록 된 것으로, 상기 노즐본체(31)는 일측에 액상 또는 질소 등과 같은 특정 성분이 포함된 세척물질이 유입 가능하도록 된 유입구(32)가 형성되고, 내부에는 상기 유입구(32)에 연통된 일정 면적의 챔버(33)가 형성되어 있다.1 shows a preferred embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the nozzle device 30 of the present invention generates ultrasonic waves in the nozzle body 31 itself and discharges the cleaning substance in a state where the cleaning substance is excited. The nozzle body 31 has one side And a chamber 33 having a predetermined area communicating with the inlet port 32 is formed in the inside of the chamber 32. The chamber 32 is formed with an inlet port 32 through which a cleaning substance containing a specific component such as liquid or nitrogen is allowed to flow.

또한 상기 노즐본체(31)의 내부에는 상기 챔버(33)의 일측에 위치되어 초음파를 발생시키도록 진동소자(35)를 포함한 초음파 진동자(34)가 내장되고, 이 초음파 진동자(34)는 전원 공급에 의해 작동 가능하도록 상기 노즐본체(31)의 외부로 연장되는 케이블(36)에 의해 연결되어 있다.An ultrasonic transducer 34 including a vibration element 35 is disposed in the nozzle body 31 to generate ultrasonic waves at one side of the chamber 33. The ultrasonic transducer 34 is connected to a power supply And a cable 36 extending to the outside of the nozzle body 31 so as to be operable by the nozzle.

또한 상기 노즐본체(31)에는 상기 초음파 진동자(34)에 의해 가진된 세척물질을 배출하도록 된 도파관(37)이 결합되는데, 상기 도파관(37)은 일정 직경과 길이로 구비된 튜브형태로 구비되어 상기 챔버(33)에 연통되도록 결합되어 있다.A waveguide 37 is connected to the nozzle body 31 so as to discharge the cleaning material excited by the ultrasonic vibrator 34. The waveguide 37 is provided in a tube shape having a predetermined diameter and length And is connected to the chamber 33 to communicate therewith.

또한 상기 노즐본체(31)에는 상기 초음파 진동자(34)의 진동소자(35)에 의한 초음파를 상기 도판관(37) 측으로 용이하게 유도하기 위한 반사유도체(38)가 구비되고, 상기 반사유도체(38)는 상기 노즐본체(31)의 일단부에 기밀을 유지하여 결합되는 캡형태로 구비된 것이다.The nozzle body 31 is provided with a reflective conductor 38 for easily guiding the ultrasonic wave generated by the vibration element 35 of the ultrasonic vibrator 34 to the side of the plate pipe 37, Is provided in a cap shape which is coupled to one end of the nozzle body 31 while keeping airtightness.

이러한 반사유도체(38)는 일단에 상기 도파관(37)이 결합되도록 결합홈(39)이 형성되고, 타단에 상기 진동소자(35)에 대면되는 반사면(40)이 형성되어 있으며, 상기 반사면(40)은 대략 오목한 접시형상으로 구비되고, 그 중앙부에 상기 도파관(37)에 연통되는 연통로(41)가 형성되어 있다.The reflector 38 has a coupling groove 39 formed at one end thereof for coupling the waveguide 37 and a reflection surface 40 facing the vibration element 35 at the other end. (40) is formed in a substantially concave shape, and a communicating path (41) communicating with the waveguide (37) is formed at a central portion thereof.

이와 같은 구성에 따르면, 상기 유입구(32)를 통해 챔버(33) 내로 유입되는 세척물질이 상기 진동소자(35)의 초음파에 의해 가진되어 상기 도파관(37)을 통해 배출되는데, 상기 진동소자(35)에 의한 초음파는 상기 반사유도체(38)의 반사면(40)에 의해 반사되어 상기 도파관(37) 측으로 용이하게 유도됨으로 인해 그 음파를 최대한 집적하여 고밀도의 음압으로 세척물질을 가진 및 분출시키게 된다.The cleaning material flowing into the chamber 33 through the inlet 32 is excited by the ultrasonic waves of the vibration element 35 and is discharged through the waveguide 37. The vibration element 35 Is reflected by the reflection surface 40 of the reflective electrode 38 and is easily guided toward the waveguide 37 so that the ultrasonic waves are accumulated as much as possible and the cleaning material is injected and ejected at a high density of sound pressure .

여기에서 상기 도파관(37)은 도시된 바와 같이 일자형태의 직관이거나 필요에 따라 일정 각도로 절곡된 곡관 형태를 취할 수 있는데, 이 도파관(37)은 그 선단의 배출구(42)를 통해 세척물질을 집중적으로 분출하도록 구비되어 전술된 바와 같은 세척물질의 음압을 최대한 유지하는 것이 바람직하며, 이를 위해 상기 도파관(37)의 연장길이(L1)나 피세정물(P)과의 간격(L2) 및 분사각도 등을 적절하게 조절한 상태로 세정이 이루어질 수 있는 것이다. Here, the waveguide 37 may have a straight shape, as shown in the drawing, or may take the form of a curved shape bent at an angle, if necessary. The waveguide 37 has a cleaning material It is preferable to keep the sound pressure of the cleaning material as high as possible. To this end, it is desirable to maintain the sound pressure of the cleaning material as much as possible, and the length L2 of the extension of the waveguide 37, the distance L2 from the object P to be cleaned, So that the cleaning can be performed with the angle and the like adjusted appropriately.

이상에서 설명되지 않은 부호는 상기 진동소자(35)를 기밀을 유지하여 결합시키도록 된 패킹(43)을 나타낸 것이다.
The reference numerals which are not described above indicate the packing 43 that is intended to couple the vibration element 35 with keeping it hermetic.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

Claims (2)

일측에 세척물질이 유입 가능하도록 유입구(32)가 형성된 노즐본체(31)와;
상기 노즐본체(31)에 내장되어 초음파에 의해 세척물질을 가진시키도록 된 진동소자(35)를 포함한 초음파 진동자(34)와;
상기 초음파 진동자(34)에 의해 가진된 세척물질을 배출하도록 일정 길이로 연장된 도파관(37)을 포함하여 이루어지며;
상기 노즐본체(31)에는 상기 진동소자(35)에 의한 초음파가 반사되어 세척물질을 가진시킨 상태로 유도하도록 구비되되, 상기 도파관(37)에 연통되도록 중앙부에 형성된 연통로(41)와, 상기 연통로(41)의 단부에 확장되어 상기 진동소자(35)에 대면되도록 접시형상으로 오목한 반사면(40)이 형성된 반사유도체(38)가 구비되는 것을 특징으로 하는 미세세정 노즐장치.A nozzle body 31 having an inlet 32 formed therein to allow the cleaning material to flow therein;
An ultrasonic transducer (34) including a vibration element (35) built in the nozzle body (31) and adapted to excite a cleaning substance by ultrasonic waves;
And a waveguide (37) extending to a predetermined length to discharge the cleaning material excited by the ultrasonic vibrator (34);
A communication path 41 formed at the center of the nozzle body 31 to communicate with the waveguide 37 so as to induce the ultrasonic wave reflected by the vibration element 35 to be excited with the cleaning material, (38) having a reflecting surface (40) formed in a dish shape so as to face the vibrating element (35) is provided on an end of the communication path (41). 삭제delete
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