KR101045963B1 - Ultrasonic cleaning device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고출력의 진동소자를 구동할 수 있도록 하는 초음파 세정장치를 개시한다. 본 발명은 초음파 세정장치에 관한 것으로, 세정대상물의 표면을 세정할 수 있는 진동전달면을 구비하고 하나 이상의 경사진 측면을 구비하며 금속성 재질로 형성된 진동전달부재와; 상기 진동전달부재의 경사진 측면의 대향측 측면에 구비되어 초음파를 발생시켜 상기 진동전달면으로 초음파를 전달하는 진동소자와; 상기 진동소자와 연결되어 상기 진동소자를 발진시키는 발진기와; 상기 진동전달부재가 외부와 차폐되도록 상기 진동전달부재를 수용하는 외함으로 구성됨으로써, 진동소자를 금속재로 형성된 진동전달부재에 접착하여 진동전달부재와 접착제의 팽창계수가 동일하도록 함으로써 진동소자의 출력을 높여서 세정이 가능하도록 함과 동시에 진동전달부재의 외부에 별도의 외함을 구비하여 세정물에 직접 닿는 부분이 금속이온이나 이물질로 오염됨을 방지할 수 있다. The present invention discloses an ultrasonic cleaning apparatus capable of driving a high-output vibration element. The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus, and more particularly, to an ultrasonic cleaning apparatus comprising: a vibration transmitting member formed of a metallic material, having a vibration transmitting surface capable of cleaning a surface of an object to be cleaned and having at least one inclined side surface; A vibration element provided on an opposite side surface of the inclined side surface of the vibration transmitting member to generate ultrasonic waves to transmit ultrasonic waves to the vibration transmitting surface; An oscillator connected to the oscillation element to oscillate the oscillation element; And the vibration transmitting member is made of an enclosure that receives the vibration transmitting member so as to be shielded from the outside, whereby the vibration transmitting member is adhered to the vibration transmitting member formed of a metal material so that the expansion coefficient of the vibration transmitting member is made equal to that of the adhesive, So that the cleaning member can be cleaned. In addition, a separate enclosure can be provided outside the vibration transmitting member to prevent contamination of the portion directly contacting the cleaned product with metal ions or foreign matter.

진동소자, 세정, 팽창계수 Vibration element, cleaning, expansion coefficient

Description

초음파 세정장치{CLEANSING DEVICE USING ULTRA-SONIC}[0001] CLEANSING DEVICE USING ULTRA-SONIC [0002]

본 발명은 초음파 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 진동소자를 금속재로 형성된 진동전달부재에 접착하여 진동전달부재와 접착제의 팽창계수가 동일하도록 함으로써 진동소자의 출력을 높여서 세정이 가능하도록 함과 동시에 진동전달부재의 외부에 별도의 외함을 구비하여 세정물에 직접 닿는 부분이 금속이온이나 이물질로 오염됨을 방지할 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. More particularly, the present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus, and more particularly, to an ultrasonic cleaning apparatus that adheres a vibration element to a vibration transmitting member formed of a metallic material so that the vibration transmitting member and the adhesive have the same expansion coefficient, And a separate enclosure is provided on the outside of the vibration transmitting member so as to prevent contamination of the portion directly contacting the cleaned object with metal ions or foreign matter.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 초음파 세정장치의 구조를 도시한 측면도이고, 도 2는 도 1의 평면도이다. FIG. 1 is a side view showing the structure of a conventional ultrasonic cleaning apparatus, and FIG. 2 is a plan view of FIG.

이들 도면에 도시한 바와 같이, 종래의 초음파 세정장치는, 세정대상물(10)의 표면을 세정할 수 있도록 세정대상물(10)의 표면과 소정간격 이격 배치되는 진동전달면(23)을 구비하고 진동전달면(23)과 대향측 외면에 경사면(21)을 구비한 진동전달부재(20)와, 진동전달부재(20)의 경사면(21)과 대향하는 진동전달부재(20)의 외면에 구비되어 초음파를 발생시켜 진동전달면(23)으로 초음파를 전달하는 진동소 자(30)와, 진동소자(30)에서 초음파를 발생시키도록 진동소자(30)로 발진 출력을 전달하는 발진기(40)와, 세정대상물(10)의 표면을 세정하는 세정액을 공급하도록 구비되는 세정액 공급기(50)를 포함하여 구성되어 있다. As shown in these figures, the conventional ultrasonic cleaning apparatus has a vibration transmitting surface 23 which is spaced apart from the surface of the object to be cleaned 10 so as to be able to clean the surface of the object 10 to be cleaned, The vibration transmitting member 20 having the transmitting surface 23 and the inclined surface 21 on the opposite side outer surface and the vibration transmitting member 20 provided on the outer surface of the vibration transmitting member 20 facing the inclined surface 21 of the vibration transmitting member 20 A vibrator 30 for generating ultrasonic waves to transmit ultrasonic waves to the vibration transmitting surface 23 and an oscillator 40 for transmitting an oscillation output to the vibrating element 30 to generate ultrasonic waves in the vibrating element 30, , And a cleaning liquid supply device (50) provided to supply a cleaning liquid for cleaning the surface of the object to be cleaned (10).

진동전달부재(20)는 쿼츠나 알루미나 세라믹과 같은 재질로 형성되고, 직사각기둥 형상을 갖으며 그 외면 일측에는 상기 직사각기둥의 일면 일부가 경사지게 절삭되어 경사면(21)이 형성되어 있고, 경사면(21)의 대향측면에는 초음파에 의한 진동을 전달하는 진동전달면(23)이 구비되어 있다. The vibration transmitting member 20 is formed of a material such as quartz or alumina ceramic and has a rectangular column shape. At one side of the outer surface of the vibration transmitting member 20, a part of one side of the rectangular column is sloped to form a sloped surface 21, Are provided with vibration transmitting surfaces 23 for transmitting vibration by ultrasonic waves.

진동소자(30)는 경사면(21)이 형성된 일면의 대향 측면에 결합되어 있으며, 다수의 가닥(31a)을 갖는 전원인가선(31)을 통하여 진동소자(30)를 발진시키는 출력을 제공하는 발진기(40)와 연결되어 있다. The vibrating element 30 is connected to the opposite side surface of the one surface on which the inclined surface 21 is formed and provides an output for oscillating the oscillating element 30 through the power supply line 31 having a plurality of strands 31a. (40).

진동소자(30)의 외측에는 진동소자(30)를 외부와 차폐시켜 외력으로부터 보호하기 위한 차폐커버(35)가 구비되어 있으며, 진동전달부재(20)의 일측에는 세정대상물(10)을 세정하는 세정액을 공급하는 세정액 공급노즐(51)을 구비한 세정액 공급기(50)가 마련되어 있다. A shielding cover 35 is provided on the outside of the vibration element 30 for shielding the vibration element 30 from the outside to protect the vibration element 30 from external force. A cleaning liquid supply device 50 having a cleaning liquid supply nozzle 51 for supplying a cleaning liquid is provided.

상기와 같이 구성된 종래의 초음파 세정장치를 이용하여 세정대상물을 세정하는 방법은 다음과 같다.A method of cleaning an object to be cleaned using the conventional ultrasonic cleaning apparatus having the above-described structure is as follows.

우선, 발진기(40)에서 발진 출력을 진동소자(30)로 전달하게 되면, 진동소자(30)가 초음파를 발진하게 된다. 발진된 초음파는 진동전달부재(20)를 통과하여 진동전달부재(20)의 외면 일측에 도달하게 되고, 외면 일측에 도달한 초음파는 경사면에서 반사된다. First, when the oscillation output from the oscillator 40 is transmitted to the oscillation element 30, the oscillation element 30 oscillates the ultrasonic wave. The oscillated ultrasonic waves pass through the vibration transmitting member 20 to reach one side of the outer surface of the vibration transmitting member 20, and the ultrasonic waves reaching one side of the outer surface are reflected from the inclined surface.

경사면에서 반사된 초음파는 경사각 만큼의 위상 이동하게 되고, 반사된 초음파와 입사된 초음파 서로 간에 간섭 현상이 발생하여 산란되므로 결국 진동전달부재(20)의 진동전달면(23)에서는 다주파를 갖는 초음파가 발생하게 된다. The ultrasonic waves reflected from the inclined surface are shifted in phase by an angle of inclination and an interference phenomenon occurs between the reflected ultrasonic waves and the incident ultrasonic waves to scatter the ultrasonic waves. Therefore, in the vibration transmitting surface 23 of the vibration transmitting member 20, .

진동소자(30)에서 발진된 초음파가 산란되는 과정을 거진 후에는, 세정액 공급기(50)에서 세정액이 공급되어 세정대상물(10)의 표면을 전 구간에 걸쳐 고르게 세정하는 단계가 진행됨으로써 초음파 세정장치를 이용한 세정대상물의 세정 작업이 완료된다. After the process of scattering the ultrasonic waves oscillated by the oscillator 30 is performed, the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid feeder 50 and the surface of the object 10 to be cleaned is uniformly cleaned over the entire section, The cleaning operation of the object to be cleaned is completed.

그런데, 이러한 종래의 초음파 세정장치에 있어서는, 진동전달부재(20)의 팽창계수와 진동소자(30)를 진동전달부재(20)의 외면에 부착시키는 금속성 에폭시 재질의 접착제의 팽창계수가 상이하여 진동전달부재(20)와 접착제의 팽창 정도가 상이하므로 진동소자(30)의 출력을 원하는 만큼 높일 수 없다는 문제점이 있다. However, in such a conventional ultrasonic cleaning apparatus, the expansion coefficient of the vibration transmitting member 20 and the expansion coefficient of the metallic epoxy adhesive for attaching the vibration element 30 to the outer surface of the vibration transmitting member 20 are different, There is a problem in that the output of the vibration element 30 can not be increased as desired because the degree of expansion of the adhesive differs from that of the transmitting member 20. [

또한, 세정대상물(10)을 세정시에 초음파가 전달되는 진동전달부재(20)의 진동전달면(23)이 외부로 노출된 구조를 가지므로 세정대상물(10)과 닿게 되어 금속이온이나 혹은 이물질 등이 진동전달면(23)을 오염시킨다는 문제점이 있다. Since the vibration transmitting surface 23 of the vibration transmitting member 20 to which the ultrasonic waves are transmitted when the object to be cleaned 10 is cleaned is exposed to the outside, the object to be cleaned 10 comes into contact with the object 10 to be cleaned, There is a problem that the vibration transmitting surface 23 is contaminated.

상기와 같은 점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은, 진동소자를 금속재로 형성된 진동전달부재에 접착하여 진동전달부재와 접착제의 팽창계수가 동일하도록 함으로써 진동소자의 출력을 높여서 세정이 가능하도록 함과 동시에 진동전달부재의 외부에 별도의 외함을 구비하여 세정물에 직접 닿는 부분이 금속이온이나 이물 질로 오염됨을 방지할 수 있는 초음파 세정장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention, which is devised in view of the above, to adhere vibrating elements to a vibration transmitting member formed of a metallic material so that the vibration transmitting member and the adhesive have the same expansion coefficient, And a separate enclosure is provided on the outside of the vibration transmitting member to prevent the portion of the ultrasonic cleaning apparatus from being contaminated with metal ions or foreign substances.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 초음파 세정장치는, 세정대상물의 표면을 세정할 수 있는 진동전달면을 구비하고 하나 이상의 경사진 측면을 구비하며 금속성 재질로 형성된 진동전달부재와; 상기 진동전달부재의 경사진 측면의 대향측 측면에 구비되어 초음파를 발생시켜 상기 진동전달면으로 초음파를 전달하는 진동소자와; 상기 진동소자와 연결되어 상기 진동소자를 발진시키는 발진기와; 상기 진동전달부재가 외부와 차폐되도록 상기 진동전달부재를 수용하는 외함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an ultrasonic cleaning apparatus comprising: a vibration transmitting member formed of a metallic material having a vibration transmitting surface capable of cleaning a surface of a cleaning object and having at least one inclined side surface; A vibration element provided on an opposite side surface of the inclined side surface of the vibration transmitting member to generate ultrasonic waves to transmit ultrasonic waves to the vibration transmitting surface; An oscillator connected to the oscillation element to oscillate the oscillation element; And an enclosure for receiving the vibration transmitting member such that the vibration transmitting member is shielded from the outside.

여기서, 상기 진동전달부재의 상기 대향측 측면은 경사지게 형성되고, 상기 경사진 측면에는 진동소자가 구비되는 것을 특징으로 한다. Here, the opposite side surface of the vibration transmitting member is formed to be inclined, and a vibration element is provided on the inclined side surface.

또한, 상기 진동소자는 금속성 에폭시 재질의 접착제에 의하여 상기 진동전달부재에 부착되는 것을 특징으로 한다. Further, the vibration element is attached to the vibration transmitting member by an adhesive of a metallic epoxy material.

아울러, 상기 외함은 일측면이 개구된 장방 형상으로 형성되어 그 내부공간에 상기 진동전달부재가 수용되고 개구된 일측면은 판형의 결합플레이트와 결합되며, 상기 결합플레이트의 중심에는 상기 발진기와 연결된 전원인가선이 통과하는 소켓이 결합되는 것을 특징으로 한다. In addition, the enclosure is formed in a rectangular shape having one side opened, one side of the vibration transmitting member is received and opened in the inner space, and is coupled to a plate-shaped coupling plate, And a socket through which the application wire passes is coupled.

그리고, 상기 외함은 쿼츠 또는 알루미나 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다. In addition, the enclosure is formed of quartz or alumina ceramic material.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치는, 진동소자를 금속재로 형성된 진동전달부재에 접착하여 진동전달부재와 접착제의 팽창계수가 동일하도록 함으로써 진동소자의 출력을 높여서 세정이 가능하도록 하는 효과가 있다. As described above, in the ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the vibration element is bonded to the vibration transmitting member formed of a metal material so that the expansion coefficient of the vibration transmitting member is equal to that of the adhesive, .

또한, 진동전달부재의 외부에 석영, 플라스틱수지 혹은 세라믹 등으로 형성된 별도의 외함을 구비하여 세정물에 직접 닿는 부분이 금속이온이나 이물질로 오염됨을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, a separate enclosure formed of quartz, plastic resin, ceramics, or the like is provided on the outside of the vibration transmitting member, so that the portion directly contacting the cleaned object can be prevented from being contaminated with metal ions or foreign matter.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치가 세정대상물을 세정하는 구조를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 세정장치의 구조를 도시한 측면도이다. FIG. 3 is a side view schematically illustrating a structure for cleaning an object to be cleaned by an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view illustrating a structure of an ultrasonic cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention .

이들 도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치는, 세정대상물(100)의 표면을 세정할 수 있는 진동전달면(230)을 구비하고 하나 이상의 경사진 측면(210)을 구비하며 금속성 재질로 형성된 진동전달부재(200)와, 진동전달부재(200)의 경사진 측면(210)의 대향측 측면(220)에 구비되어 초음파를 발생시켜 진동전달면(230)으로 초음파를 전달하는 진동소자(300)와, 진동소자(300)와 연결되어 진동소자(300)를 발진시키는 발진기(400)와, 진동전달부재(200)가 외부와 차폐되도록 진동전달부재(200)를 수용하는 외함(500)을 포함하여 구성되어 있 다. As shown in these drawings, the ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vibration transmitting surface 230 capable of cleaning the surface of a object 100 to be cleaned, and includes at least one inclined side surface 210, A vibration transmitting member 200 formed of a metallic material and an opposite side surface 220 of the inclined side surface 210 of the vibration transmitting member 200 to generate ultrasonic waves, An oscillator 400 connected to the vibration element 300 for oscillating the vibration element 300 and a vibration transmitting member 200 for shielding the vibration transmitting member 200 from the outside, And an enclosure 500 for accommodating the battery.

도 3에 도시한 바와 같이, 진동전달부재(200)는 금속 재질로 형성되고, 그 종단면이 사다리꼴 형상을 갖도록 형성되어 적어도 하나의 경사진 측면(210)이 구비되며, 진동전달부재(200)의 저부면은 평탄하게 형성되어 초음파에 의한 진동을 전달하는 진동전달면(230)을 형성한다.3, the vibration transmitting member 200 is formed of a metal material and has a longitudinal cross-section formed in a trapezoidal shape so as to have at least one inclined side surface 210, The bottom surface is formed flat to form a vibration transmitting surface 230 that transmits vibration by ultrasonic waves.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 세정장치의 경우에는 진동전달부재(200)의 일측면이 경사지게 형성되어 경사진 측면(210)을 구비하고, 경사진 측면(210)과 상호 대향되는 대향측 측면(220)도 경사지게 형성되어 있다. 4, in the ultrasonic cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention, one side of the vibration transmitting member 200 is inclined and has an inclined side surface 210, and the inclined side surface 210 The opposite side surface 220 is also inclined.

그리고, 도 3에 도시한 바와 같이, 경사진 측면(210)과 대향되는 진동전달부재(200)의 측면에는 초음파를 발생시키는 진동소자(300)가 단일개 부착되는데, 진동소자(300)는 금속성 에폭시와 같은 접착제에 의하여 접착이 이루어진다. 3, a single vibration element 300 for generating ultrasonic waves is attached to the side surface of the vibration transmission member 200 opposed to the inclined side surface 210. The vibration element 300 has a metallic Adhesion is made by an adhesive such as epoxy.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 세정장치의 경우에는 경사진 측면(210)과 대향측 측면(220)에 각각 진동소자(300)가 부착되어 진동소자(300)가 복수로 구비되며, 진동소자(300)는 금속성 에폭시와 같은 접착제에 의하여 접착이 이루어진다. 4, in the case of the ultrasonic cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention, the vibration element 300 is attached to the inclined side surface 210 and the opposite side surface 220, And the vibration element 300 is bonded by an adhesive such as a metallic epoxy.

진동소자(300)는 다수의 가닥(311)을 갖는 전원인가선(310)을 통하여 진동소자(300)를 발진시키는 출력을 제공하는 발진기(400)와 연결되어 있으며, 발진기(400)와 연결된 전원인가선(310)은 판형의 결합플레이트(510)의 중심에 삽입 결합되는 소켓(520)을 통하여 진동소자(300)와 연결되어 있다. The oscillator 300 is connected to an oscillator 400 that provides an output for oscillating the oscillator 300 through a power supply line 310 having a plurality of strands 311, The application line 310 is connected to the vibration element 300 through a socket 520 inserted into the center of the plate-like coupling plate 510.

외함(500)은 쿼츠 또는 알루미나 세라믹 재질로 형성된 부재로서, 일측면이 개구된 장방 형상으로 형성되어 그 내부공간에 진동전달부재(200)가 수용되며, 외함(500)의 개구된 일측면은 결합플레이트(510)의 주연부와 결합되어 있다. The enclosure 500 is formed of a quartz or alumina ceramic material. The enclosure 500 is formed into a rectangular shape with one side opened to accommodate the vibration transmitting member 200 in its inner space. Is coupled to the periphery of the plate (510).

진동전달부재(200)의 일측에는 세정대상물(100)을 세정하는 세정액을 공급하는 세정액 공급노즐(610)을 구비한 세정액 공급기(600)가 추가로 마련되어 있다. A cleaning liquid supply device 600 having a cleaning liquid supply nozzle 610 for supplying a cleaning liquid for cleaning the object 100 is additionally provided at one side of the vibration transmission member 200.

상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치가 작동되는 과정은 다음과 같다.The operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to one embodiment of the present invention is as follows.

우선, 발진기(400)에서 발진 출력을 진동소자(300)로 전달하게 되면, 진동소자(300)가 초음파를 발진하게 된다. 발진된 초음파는 진동전달부재(200)를 통과하여 진동전달부재(200)의 경사진 측면(210)에 도달하게 되고, 경사진 측면(210)에 도달한 초음파는 진동전달부재(200)의 내부를 다시 통과하여 다시 대향측 측면(220)에서 반사된다.First, when the oscillator 400 transmits the oscillation output to the oscillator 300, the oscillator 300 oscillates the ultrasonic wave. The oscillated ultrasonic wave passes through the vibration transmitting member 200 and reaches the inclined side surface 210 of the vibration transmitting member 200. Ultrasonic waves reaching the inclined side surface 210 are transmitted to the inside of the vibration transmitting member 200 And then reflected from the opposite side surface 220 again.

경사진 측면(210)이나 혹은 대향측 측면(220)을 통하여 진동전달부재(200)의 외부로 투과되는 초음파는 전동전달체(200)의 재질에 따라 다소 차이는 있으나 미약하므로 에너지의 손실은 거의 없다. The ultrasonic waves transmitted to the outside of the vibration transmitting member 200 through the inclined side face 210 or the opposite side face 220 are slightly different depending on the material of the electric transmitting body 200, .

경사진 측면(210)에서 반사된 초음파는 경사각만큼의 위상 이동하게 되고 반사된 초음파와 입사된 초음파 서로 간에 간섭 현상이 발생하여 산란되므로 결국 진동전달부재(200)의 진동전달면(230)에서는 다주파를 갖는 초음파가 발생하게 된다. The ultrasonic waves reflected from the inclined side surface 210 are phase-shifted by an inclination angle, and an interference phenomenon occurs between the reflected ultrasonic waves and the incident ultrasonic waves, so that the ultrasonic waves are scattered on the vibration transmitting surface 230 of the vibration transmitting member 200 Ultrasonic waves having a frequency are generated.

진동전달면(230)에서 집합되는 다주파를 갖는 초음파는 외함(500)을 투과하여 세정대상물(100)에 전달되면서 세정대상물(100)의 표면에서 세정이 이루어진다. Ultrasonic waves having multiphasic waves collected at the vibration transmitting surface 230 are transmitted through the enclosure 500 to the object 100 to be cleaned while being cleaned from the surface of the object 100 to be cleaned.

다주파를 갖는 초음파의 음압 분포는 특정 위치에서 최고치를 갖지 않고 전 구간에 걸쳐 고르게 분포되므로 초음파의 초점현상(출력의 집중)을 해소할 수 있으며 그에 따라 고르게 세정이 이루어질 수 있다. The sound pressure distribution of an ultrasonic wave having multi-frequency waves is uniformly distributed over a whole area without having a maximum value at a specific position, so that the focusing phenomenon of the ultrasonic wave (concentration of output) can be eliminated and the ultrasonic wave can be evenly cleaned.

진동소자(300)에서 발진된 초음파가 상호 산란되는 과정을 거치 후에는 세정액 공급기(600)에서 세정액이 공급되어 세정대상물(100)의 표면을 전 구간에 걸쳐 고르게 세정하는 단계를 거침으로써 초음파 세정장치를 이용한 세정대상물의 세정 작업이 완료된다. After the ultrasonic waves oscillated in the vibration element 300 are scattered, the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply unit 600 to uniformly clean the surface of the object 100 to be cleaned over the entire section, The cleaning operation of the object to be cleaned is completed.

그리고, 세정대상물(100)의 표면을 더욱 깨끗하게 세정하기 위하여 발진기(400)의 출력을 높일 경우에 진동전달부재(200)가 발열하면서 팽창하게 되는데, 진동전달부재(200)에 진동소자(300)를 부착시키는 금속성 에폭시 재질의 접착제도 진동전달부재(200)와 동일한 정도로 발열되면서 팽창하므로 사용자는 원하는 만큼 출력을 높여서 세정대상물(100)을 깨끗하게 세정할 수 있다. When the output of the oscillator 400 is increased to clean the surface of the object to be clean 100 more cleanly, the vibration transmitting member 200 is heated and expands. When the vibrating device 300 is attached to the vibration transmitting member 200, The adhesive agent of the metallic epoxy material is expanded to the same extent as the vibration transmitting member 200 while being heated, so that the user can clean the object 100 to be cleaned by increasing the output as desired.

또한, 별도의 외함을 구비하여 진동전달면(230)이 금속이온이나 이물질에 의하여 오염됨을 방지할 수 있으므로, 진동전달면(230)을 투과하는 초음파 에너지가 오염에 의하여 손실됨을 방지할 수 있으므로 세정대상물(100)에 대한 세정 작업이 더욱 깨끗하게 이루어지게 된다. In addition, since the vibration transmitting surface 230 can be prevented from being contaminated by metal ions or foreign matter by providing a separate enclosure, the ultrasonic wave energy transmitted through the vibration transmitting surface 230 can be prevented from being lost by contamination, The cleaning operation for the object 100 can be performed more cleanly.

일반적인 진동소자(300)는 부하(물)의 온도, 액의 높이, 액의 종류에 따라 진동소자의 특성 임피던스 및 주파수는 무부하의 상태에서 변화하게 된다. 이는 결과적으로 음압 출력의 변화를 만들어 세정대상물(100)에 일정한 음압출력을 가하여 세정 불량을 초래하거나 세정대상물(100)에 손상을 가하는 요소로 작용하게 되지 만, 본 발명의 초음파 세정장치는 경사진 측면(210)이 형성되어 초음파의 전달 거리가 길어지는 효과 및 반사에 의해 선형적인 간섭이 없어셔 부하의 변동에 의한 임피던스 특성 변화를 최소화할 수 있으므로 세정 불량을 초래하거나 세정대상물(100)에 손상을 가하는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다. In the general vibration element 300, the characteristic impedance and the frequency of the vibration element change in a no-load state depending on the temperature of the load (water), the height of the liquid, and the type of liquid. This results in a change in the sound pressure output, which results in a poor sound pressure output to the object 100 to be cleaned, or acts as an element to damage the object 100. However, the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention is inclined The side surface 210 is formed so that the transmission distance of the ultrasonic wave is prolonged, and linear interference does not occur due to reflection, so that the impedance characteristic change due to the variation of the load can be minimized, It is possible to prevent the phenomenon of applying the light emitting diode.

그리고, 본 발명의 초음파 세정장치는 별도의 외함(500)을 구비함으로써 진동소자(300)가 직접 진동전달부재(200)에 접착되어 진동전달부재(200)가 외부로 노출된 상태에서 나타날 수 있는 약액이 진동전달부재(200) 윗부분에 튐 현상으로 인한 음압출력의 간섭 및 약액 세정 후 린스공정에서의 잔류 약액의 재오염 등이 발생할 수 있는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다. The ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention is provided with a separate enclosure 500 so that the vibration element 300 is directly adhered to the vibration transmission member 200 to be exposed when the vibration transmission member 200 is exposed to the outside It is possible to prevent a phenomenon in which the chemical liquid interferes with the output of the sound pressure due to the fogging on the upper portion of the vibration transmitting member 200 and re-contamination of the residual chemical liquid in the rinsing process after the chemical liquid cleaning.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

도 1은 종래의 초음파 세정장치의 구조를 도시한 측면도이고, 1 is a side view showing the structure of a conventional ultrasonic cleaning apparatus,

도 2는 도 1의 평면도이며, Fig. 2 is a plan view of Fig. 1,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치가 세정대상물을 세정하는 구조를 개략적으로 도시한 측면도이고, 3 is a side view schematically showing a structure for cleaning an object to be cleaned by the ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 세정장치의 구조를 도시한 측면도이다. 4 is a side view showing a structure of an ultrasonic cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

100 : 세정대상물 200 : 진동전달부재100: object to be cleaned 200: vibration transmission member

210 : 경사진 측면 220 : 대향측 측면210: oblique side 220: opposed side

230 : 진동전달면 300 : 진동소자230: Vibration transfer surface 300: Vibration element

310 : 전원인가선 400 : 발진기310: power supply line 400: oscillator

500 : 외함 510 : 결합플레이트500: enclosure 510: coupling plate

520 : 소켓520: Socket

Claims (5)

세정대상물의 표면을 세정할 수 있는 진동전달면을 구비하고 하나 이상의 경사진 측면을 구비하며 금속성 재질로 형성된 진동전달부재와;A vibration transmitting member formed of a metallic material, having a vibration transmitting surface capable of cleaning the surface of the object to be cleaned and having at least one inclined side surface; 상기 진동전달부재의 경사진 측면의 대향측 측면에 구비되어 초음파를 발생시켜 상기 진동전달면으로 초음파를 전달하는 진동소자와;A vibration element provided on an opposite side surface of the inclined side surface of the vibration transmitting member to generate ultrasonic waves to transmit ultrasonic waves to the vibration transmitting surface; 상기 진동소자와 연결되어 상기 진동소자를 발진시키는 발진기와;An oscillator connected to the oscillation element to oscillate the oscillation element; 상기 진동전달부재가 외부와 차폐되도록 상기 진동전달부재를 수용하는 외함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치.And an enclosure which receives the vibration transmitting member such that the vibration transmitting member is shielded from the outside. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 진동전달부재의 상기 대향측 측면은 경사지게 형성되고, 상기 경사진 측면에는 진동소자가 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치. Wherein the opposite side surface of the vibration transmitting member is formed obliquely, and a vibration element is provided on the inclined side surface. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 진동소자는 금속성 에폭시 재질의 접착제에 의하여 상기 진동전달부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치.Wherein the vibration element is attached to the vibration transmitting member by an adhesive of a metallic epoxy material. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 외함은 일측면이 개구된 장방 형상으로 형성되어 그 내부공간에 상기 진동전달부재가 수용되고 개구된 일측면은 판형의 결합플레이트와 결합되며, 상기 결합플레이트의 중심에는 상기 발진기와 연결된 전원인가선이 통과하는 소켓이 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치.The housing includes a housing having a rectangular shape with one side opened, one side of which the vibration transmitting member is received and opened is coupled with a plate-shaped coupling plate, and a power supply line connected to the oscillator, And a socket through which the ultrasonic wave is passed is combined. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 외함은 쿼츠 또는 알루미나 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치.Wherein the enclosure is formed of a quartz or alumina ceramic material.
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