KR101440181B1

KR101440181B1 - 각도 센서의 검출 신호 보정 방법

Info

Publication number: KR101440181B1
Application number: KR1020110043655A
Authority: KR
Inventors: 요시타로 아라이; 히로유키 이나다; 나가오키 카야마; 아키오 카타오카; 타카시 이노우에; 타카후미 아베; 켄지 코우즈키
Original assignee: 도쿄 케이소 가부시키가이샤
Priority date: 2011-03-18
Filing date: 2011-05-09
Publication date: 2014-09-12
Also published as: KR20120106506A; JP5343101B2; JP2012198048A; CN102679862A; CN102679862B

Abstract

홀 소자에 발생하는 오프셋 전압치를 주위 온도에 따라서 제거하여, 미소 각도의 측정 정도를 향상시킨다.
홀 소자로 이루어지는 각도 검출용 센서(15)는 자속 밀도 검출면인 칩면(T)이, 자속 방향과 평행이 되는 경우를 θ=0이 되도록 배치되어 있다. 센서(15)의 출력(V)에는, 정전류(I)를 공급함으로써, 각도 변위(θ)와 무관계로 내부 저항에 기인하는 오프셋 전압치(O1)가 발생하여, 출력(V)에 중첩하고 있다.
오프셋 전압치(O1)를 얻기 위해서는, 오프 라인에 있어서 센서(15)에 무자계 상태로 정전류(I)를 공급하면서 온도(Δt)를 변화시키고, 출력(V)의 데이터를 구한다. 데이터로부터 온도(Δt)에 대한 오프셋 전압치(O1)의 테이블을 작성한다.
각도 측정 중에서는, 주위 온도를 측정하여, 오프셋 전압치(O1)를 기억한 테이블에서 구하여 출력(V)로부터 빼면, 오프셋 전압치(O1)가 제거된다.

Description

각도 센서의 검출 신호 보정 방법{CORRECTION METHOD FOR DETECTED SIGNAL IN ANGLE SENSING}

본 발명은, 홀 소자를 이용하여 미소 각도의 측정에 적절한 각도 센서의 검출 신호 보정 방법에 관한 것이다.

일반적인 홀 소자에 있어서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 금속의 박편인 홀 소자(1)의 자속 밀도 검출면인 칩면(T)에 대해서, 직교하는 자계의 자속 밀도를 B로 하고, 홀 소자(1)에 정전류 I를 흘리면, 홀 소자(1)는 자속 밀도 B에 의해 로렌츠힘(Lorentz force)을 받아 기전력을 발생한다. 홀 소자(1)의 기전력인 출력 V는, K를 홀 계수, d를 홀 소자의 두께로 하면, 다음의 (1)식이 된다.

V = (K / d) B·I　　　　　　　　　　　　　　　　　　… (1)

이 홀 소자(1)를 각도 센서로서 사용하려면, 칩면(T)이 자속 방향과 교차하는 각도를 홀 소자(1)의 출력으로서 검출한다. 검출하는 각도가 미소한 경우에, 홀 소자(1)의 칩면(T)을 마그넷에 의한 자속의 방향과 평행하게 하여 홀 소자(1)의 감도를 높이는 방법이, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있다.

미소한 각도 변위(θ)를 검출하는 경우는, 도 7에 나타내는 바와 같이 홀 소자(1)를 자속 밀도 B의 자계 중에 배치하고, θ=0에서는, 홀 소자(1)의 칩면(T)이 자속의 방향과 평행, 즉 칩면(T)에 대한 자속의 방향이 0°가 되도록 배치한다.

이와 같이 하여, 홀 소자(1)의 칩면(T)을 자속과 평행하게 배치하면, 각도 변위(θ)에 대한 높은 감도가 얻어진다. 배치한 홀 소자(1)가, 도 8에 나타내는 바와 같이 자속에 대해서 기울임으로써 발생하는 홀 소자(1)의 출력 V를 계측하여, 예를 들면, 1°의 1000분의 1 정도의 분해능을 가지는 각도 변위(θ)를, 다음의 (2)식에 의해 검출할 수 있다.

V = (K / d)·B·I·sinθ　　　　　　　　　　　　… (2)

또한, 각도 변위(θ)가 0°근방의 미소 각도로 하면, sinθ≒θ가 되고, (2)식은 (2)'식이 된다.

V = (K / d)·B·I·θ　　　　　　　　　　　　　　… (2)'

한편, 자속 밀도 B의 보정을 위해서, 도 8에 나타내는 바와 같이 홀 소자(1)와 동종의 기준용 홀 소자(2)를 동일 자계, 또는 그 자속 밀도에 비례하는 성분이 얻어지도록, 그 칩면(T)이 자속의 방향과 직교하도록 배치한다. 기준용 홀 소자(2)에 정전류(I)를 가하면, 기준용 홀 소자(2)의 출력 Vs는, Ks를 그 홀 계수, 두께를 ds로 하면, (3)식이 얻어진다.

Vs = (Ks / ds)·B·I　　　　　　　　　… (3)

이들 출력 V, Vs에 관하여, 홀 소자(1)의 출력 V를 기준용 홀 소자(2)의 출력 Vs로 나누면, (4)식이 얻어진다.

V / Vs = (K / d)·θ / (Ks / ds)　　　　　　　　… (4)

여기서, K, d, Ks, ds는 정수이므로, (4)식으로부터 자속 밀도 B의 경시(시간에 따른) 변화 등의 영향을 받지 않는 안정된 미소한 각도 변위(θ)를 검출할 수 있다.

그러나, 홀 소자(1, 2)의 홀 계수(K, Ks)는 온도의 영향을 받기 쉽고 온도 의존성을 가지므로, 다수의 홀 소자 중에서 온도 특성이 갖추어진 한 쌍의 홀 소자를 선별하여, 홀 소자(1, 2)로서 주위 온도의 변동에 대응하고 있다. 경과

특허문헌 1: 일본국 특허공개공보 2002-22485호

이와 같이 홀 소자의 선별을 실시하여도, 홀 소자에 전류(I)를 공급함으로써 각도에 의존하지 않는 오프셋 전압이 발생하는 것이 알려져 있다. 그러나, 도 6에 나타내는 바와 같이 배치하여 출력전압을 요구하는 경우에는, 로렌츠힘에 의한 기전력이 크고, 오프셋 전압치는 지극히 작기 때문에, 일반적으로는 오프셋 전압치는 무시되고 있다.

그러나, 자속의 방향과 칩면(T)를 평행으로 한 미소 각도의 측정에 있어서는, 홀 소자의 내부 저항에 의한 무시할 수 없는 제1의 오프셋 전압치가 발생한다. 이 제1의 오프셋 전압치는 주위 온도에 의해 변화하고, 출력 V, Vs에 중첩하여 각도 측정에 오차를 주고 있어, 특히 주위 온도가 광범위하게 변화하는 경우에는 대처가 필요하다.

또한, 자속의 방향과 홀 소자(1)의 칩면(T)을 평행하게 한 경우에는, 칩면(T)와 직교하여 자속에 대향하는 커트면(C)에서 로렌츠힘에 근거하는 기전력이 발생하고, 온도 변화에 따라서 홀 소자(1)의 출력 V에 중첩하여, 똑같이 각도 측정에 오차를 주고 있는 것을 알 수 있었다.

삭제

본 발명의 목적은, 홀 소자가 가지는 내부 저항에 기초한 전류에 따른 제1의 오프셋 전압치를 포함하고, 주위 온도에 대응하여 변동하며, 홀 소자의 커트면에 의한 로렌츠힘에 기인하는 제2의 오프셋 전압치를 연산에 의해 제거함으로써, 미소 각도의 신호치의 오차를 양호하게 보정하는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법을 제공하는 것에 있다.

삭제

또한, 본 발명과 관련되는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법은, 자속을 균일하게 발생하는 자계 발생 기구에 대해 상대적으로 회전 가능하게 한 축에 부착하며, 상기 자계 발생 기구의 자계 방향에 대한 각도를 검출하는 홀 소자로 이루어지는 각도 검출용 센서를 구비하며, 측정 각도가 0°의 영점각도에 있어서 상기 각도 검출용 센서의 자속 밀도 검출면인 칩면을 상기 자계 발생 기구로부터의 자속의 방향과 평행하게 배치하는 각도 검출용 센서의 검출 신호 보정 방법으로서, 오프라인에 있어서, 상기 각도 검출용 센서를 자계 방향과 상기 각도 검출용 센서의 칩면이 평행하게 되도록 상기 영점각도에 고정하고, 소정의 자속을 발생시킨 유자계(有磁界) 상태에서, 정전류를 상기 각도 검출용 센서에 공급하고, 상기 각도 검출용 센서의 복수의 주위 온도에 의한 내부 저항에 기인하는 제1의 오프셋 전압치에 상기 각도 검출용 센서의 커트면에 의한 로렌츠힘에 기인하는 기전력을 더한 제2의 오프셋 전압치를 각각 측정하여, 상기 제 2의 오프셋 전압치의 온도 특성을 구하는 제1의 스텝과, 온라인에서의 각도 측정 중에, 온도 검출용 센서에 의한 주위 온도의 측정을 실시하고, 상기 각도 검출용 센서의 출력으로부터 상기 온도 특성에 해당하는 상기 제2의 오프셋 전압치를 제거하는 보정을 실시하는 제2의 스텝을 가지는 것을 특징으로 한다.

삭제

본 발명과 관련되는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법에 의하면, 홀 소자에 발생하는 제1의 오프셋 전압치를 포함하고, 홀 소자의 커트면에 대한 자속에 의해 발생하는 제2의 오프셋 전압치를 주위 온도에 따라서 제거하여, 미소 각도의 측정 정밀도를 향상시킨다.

도 1은, 실시예의 종단면도이다.
도 2는, 실시예의 횡단면도이다.
도 3은, 축이 회전한 상태의 설명도이다.
도 4는, 실시예 1의 온도에 대한 오차의 그래프도이다.
도 5는, 실시예 2의 온도에 대한 오차의 그래프도이다.
도 6은, 일반적인 홀 소자의 원리적 설명도이다.
도 7은, 홀 소자의 자속 밀도 검출면을 자속과 평행하게 배치했을 경우의 설명도이다.
도 8은, 홀 소자를 기울였을 경우의 설명도이다.

본 발명을 도 1~도 5에 도시한 실시예에 근거하여 상세하게 설명한다.

[실시예 1]

도 1에 있어서, 투자성(透磁性) 재료로 이루어지는 하우징(11)에는 관통공(12)이 설치되고, 이 관통공(12)에는, 똑같이 투자성 재료로 이루어지는 축(13)이 베어링(14)를 개재하여 회전 가능하게 유지되고 있다. 축(13)에는, 홀 소자로 이루어지는 각도 검출용 센서(15)가 절결부 등에 부착되어 있으며, 축(13)에는 예를 들면 액면계의 플로트가 연결되어, 플로트의 액위가 축(13)의 미소 각도의 회전으로 변환되도록 되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 관통공(12)의 양측에는 축(13)을 사이에 두도록, 자계 발생 기구인 한 쌍의 마그넷(16, 16')이 고정되어, 관통공(12) 내에서는 N극에서 S극을 향하여 자속 밀도 B의 자속이 균일하게 발생하고 있다. 각도 검출용 센서(15)로 동종의 홀 소자로 이루어지는 기준용 센서(17)가, 하우징(11)의 외측 또는 내측의 마그넷(16, 16')에 의한 자계 내에 고정되고, 칩면(T)은 마그넷(16, 16')의 자속 방향과 직교하도록 배치되어 있다. 또한, 이 기준용 센서(17)는 배경 기술에서 설명한 기준이 되는 홀 소자(2)에 상당하고 있다.

또한 하우징(11) 내에는, 주위 온도를 검출하기 위한 예를 들면 측온(測溫)저항체로 이루어지는 온도 검출용 센서(18)가 배치되어 있다. 그리고, 각도 검출용 센서(15), 기준용 센서(17), 온도 검출용 센서(18)는 리드 선을 통해 신호 처리부(19)에 접속되어 있다.

또한 실시예에 있어서는, 하우징(11)을 고정하여 축(13)이 회전하고 있지만, 하우징(11)이 회전하고 축(13)을 고정해도 되고, 자계 방향에 대한 상대 각도를 측정하면 된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 각도 검출용 센서(15)는 홀 소자의 자속 밀도 검출면인 칩면(T)이, 마그넷(16, 16')의 자속 방향과 평행이 되는 경우를 θ=0이 되는 영점각도에 배치되어 있다. 또한, 온도 검출용 센서(18)는 각도 검출용 센서(15), 기준용 센서(17)의 주위 온도를 검출한다. 신호 처리부(19)는 각도 검출용 센서(15), 기준용 센서(17)에 정전류 I를 공급하고, 각도 검출용 센서(15)의 출력(V), 기준용 센서(17)의 출력 Vs, 온도 검출용 센서(18)의 온도 신호를 검출하여, 후술하는 바와 같이 연산 처리하여 미소한 각도 변위(θ)를 산출한다.

축(13)이 회전하면, 앞서 설명한 (4)식에 따라서, 2개의 센서(15, 17)의 출력 V, Vs를 기본으로, 신호 처리부(19)에 있어서 각도 변위(θ)를 연산한다.

그러나, 각도 검출용 센서(15)는 정전류 I를 공급함으로써, 다음의 (5)식과 같은 각도 변위(θ)와 무관계로 내부 저항에 기인하는 제1의 오프셋 전압치(O1), 즉 미소한 각도 변위(θ)의 측정에 있어서는 무시하기 어려운 전압이 발생하여, 출력 V에 중첩하고 있으므로 보정이 필요하게 된다.

V = (K / d)·B·I·θ + O1　　　　　　　　　　　　… (5)

이 (5)식에 있어서, 제1의 오프셋 전압치 O1의 영향을 받지 않는 출력 V를 얻기 위해서는, 제1의 오프셋 전압치 O1을 출력 V에서 빼는 처리를 실시하지 않으면 안 된다.

제1의 오프셋 전압치 O1은 정전류 I에 비례하여 발생하며, 또한 이 제1의 오프셋 전압치 O1을 발생시키는 내부 저항 R은 온도 계수 α를 가지고 있으므로, 제1의 오프셋 전압치 O1은 기준 온도 25℃에 대한 온도 변화폭인 온도 Δt에 의존하는 일차식으로서 근사한 (6)식이 성립한다.

O1 = I·R·(1 + α·Δt)　　　　　　　　　　　　… (6)

이 제1의 오프셋 전압치 O1을 얻기 위해서는, 오프 라인에 있어서 항온조 등에서 각도 검출용 센서(15)에 무자계 상태, 즉 B=0에서 정전류 I를 공급하면서 온도 Δt를 변화시켜, 출력 V를 구한다. 얻어진 온도 특성의 데이터로부터, 제1의 오프셋 전압치 O1을 발생하는 내부 저항 R, 온도 계수 α를 산출한다. 혹은, 온도 Δt에 대한 제1의 오프셋 전압치 O1의 테이블을 작성해도 된다. 또한, 이 데이터를 구하는 경우에, 무자계 상태에서는 (5)식의 제1항은 관계가 없어지므로, 각도 변위(θ)의 크기는 어느 쪽이어도 된다.

또한, 기준용 센서(17)에 있어서도, 마찬가지로 그 출력 Vs에 다음의 (7)식과 같이 제1의 오프셋 전압치 O1s가 중첩되고 있다.

Vs = (Ks / ds)·B·I + O1s　　　　　　　　　　　… (7)

기준용 센서(17)의 칩면(T)에 의한 내부 저항을 Rr, 온도 계수를 αs로 하면, 제1의 오프셋 전압치 O1s는 다음의 (8)식과 같이 나타낼 수 있다.

O1s = I·Rr·(1 + αs·Δt)　　　　　　　　　　… (8)

기준용 센서(17)의 제1의 오프셋 전압치 O1s에 관해서도, 무자계 상태에 있어서, 기준용 센서(17)에 대해 온도 Δt를 변화시켜 데이터를 구하여, (8)식의 내부 저항 Rr, 온도 계수 αs를 산출하거나 온도 Δt에 대한 제1의 오프셋 전압치 O1s의 테이블을 작성하면 된다.

온라인에서의 각도 측정 중에서는, 주위 온도를 온도 검출용 센서(18)에 의해 측정하고, 제1의 오프셋 전압치 O1, O1s를 산출, 또는 기억한 테이블로부터 구함으로써, 신호 처리부(19)에 있어서 이들을 (5), (7)식으로부터 빼면, 제1의 오프셋 전압치 O1, O1s가 제거된 출력 V, Vs가 얻어진다.

이러한 보정을 한 후에, (4)식과 같은 (9)식에 의해, 출력 V, Vs를 연산하면, 온도 변동의 영향을 받지 않는 안정된 미소한 각도 변위(θ)가 신호 처리부(19)에 의해 얻어진다.

V / Vs = (K / d)·θ / (Ks / ds)　　　　　　　　　　… (9)

도 4는 실시예 1의 제1의 오프셋 전압치 O1, O1s를 제거한 온도 Δt의 ±50℃의 범위에 있어서의 실측한 풀스케일에 대한 오차(%: 풀스케일 1°)의 특성 E1의 그래프도이며, 특성 E0는 종래 예의 실측한 오차를 나타내고, 특성 E1는 특성 E0와 비교하여 제1의 오프셋 전압치 O1, O1s에 의한 오차가 보정되고 있다.

또한, 기준용 센서(17)에 있어서는, 로렌츠힘에 기인하는 (7)식의 제1항의 값은, 제1의 오프셋 전압치 O1s보다 충분히 커서, 미소한 제1의 오프셋 전압치 O1s는 무시할 수 있으므로, 제1의 오프셋 전압치 O1s는 구하지 않고, 연산에 있어서도 사용하지 않아도 된다.

[실시예 2]

각도 검출용 센서(15)에 의해, 도 3에 나타내는 바와 같이 칩면(T)이 자속과 거의 평행이 되도록 하여 미소의 각도 변위(θ)를 측정할 때에, 칩면(T)과 직교하는 커트면(C)에 관해서도 자속 밀도(B)에 의한 영향을 받고, 얼마되지 않지만 기전력이 발생하여 출력 V에 중첩한다. 본 명세서에서는, 제1의 오프셋 전압치 O1에 이 기전력을 더하여, 제2의 오프셋 전압치 O2로 정의하기로 한다.

커트면(C)에 있어서의 엄밀한 의미로의 로렌츠힘은, 전류 I와 자속의 방향이 평행이기 때문에 발생하지 않는다고 생각되지만, 홀 소자 내에서는 정전류는 삼차원적으로 흐르고, 자속과 직교하는 방향으로도 일부의 전류가 흐른다고 추측되어, 로렌츠힘에 의한 미소한 기전력이 발생하며, 이 기전력은 홀 소자 특유의 온도 의존성을 가지고 있다.

또한, 커트면(C)에 대한 각도 변위(θ)의 영향은 cosθ으로서 나타내지만, 각도 변위(θ)가 지극히 작은 범위에 있어서는 cosθ=1로 간주할 수 있다.

도 4있어서 특성 E1으로서 잔류하고 있는 오차는, 주로 이 커트면(C)에 기인하는 기전력에 의하는 것이며, 이 기전력은 도 4로부터도 온도 Δt에 대해 직선적이다. 따라서, 이 기전력은 일정한 자속 밀도 B 내에 있고, 온도 계수를 β, 일정치를 D로 하면, 온도 Δt에 관하여 일차식인 β·Δt + D와 근사할 수 있으며, 각도 검출용 센서(15)의 출력 V는, (5)식에 이 기전력인 β·Δt + D를 더한 다음의 (10)식으로 할 수 있다.

V = (K / d)·B·I·θ + O1 + β·Δt + D　　… (10)

　그리고, 제2의 오프셋 전압치(O2)는 온도 계수를 γ, 일정치를 F로 하면, 다음의 일차식 (11)이 된다.

O2 = O1 + β·Δt + D = I·R·(1 + α·Δt) + β·Δt + D

= γ·Δt + F　　　　　　　　　　… (11)

실시예 1에 있어서는, 오프 라인에서 무자계 상태에 있어서 제1의 오프셋 전압치 O1, O1s를 구했지만, 실시예 2에서는 제2의 오프셋 전압치 O2는 자속에 의해 변동하므로 유자계 상태에서 데이터를 구할 필요가 있으며, 또한 (10) 식의 제1항을 제거하기 위해서는 θ=0으로 할 필요가 있어, 제2의 오프셋 전압치 O2를 이 상태에서 구한다.

즉, 오프 라인에서 각도 검출용 센서(15)에 대해, 항온조 내에서 θ=0에서 자속 밀도 B의 유자계 상태에 있어서 정전류 I를 공급하고, 온도 Δt를 변화시켜 제2의 오프셋 전압치 O2의 데이터를 구한다. 이 데이터로부터, 온도 Δt에 대한 제2의 오프셋 전압치 O2의 1차식의 정수 γ, F를 산출하고, 혹은 온도 Δt에 대한 제2의 오프셋 전압치 O2의 테이불을 작성한다.

또한, 기준용 센서(17)의 출력 Vs에서는 커트면(C)에 의한 기전력은 생기지 않고, 또한 실시예 1에서 설명한 바와 같이 제1의 오프셋 전압치 O1s는 작기 때문에, 실시예 1과 같이 구할 수도 있지만, 이 실시예 2에서는 무시해도 된다.

온라인에서의 각도 측정 시에는, 온도 검출용 센서(18)에 의해 주위 온도 Δt를 측정하고, 기억하고 있는 일차식이나 테이블을 이용하여, 주위 온도 Δt를 근거로 제2의 오프셋 전압치 O2를 구하고, 각도 검출용 센서(15)의 출력 V에 중첩하고 있는 오차 요인인 제2의 오프셋 전압치 O2를 제거하는 보정을 신호 처리부(19)에 의해 실시함으로써, (9)식을 기본으로 정밀도 좋은 각도 변위(θ)가 얻어진다.

도 5는 실시예 2의 온도 Δt에 대한 각도 변위(θ)의 실측한 오차(%: 풀스케일 1°)의 특성 E2의 그래프도이다. 이 특성 E2는 실시예 1에서 얻어진 특성 E1보다 더 양호한 보정이 이루어지고 있다.

11　하우징
12　관통공
13　축
14　베어링
15　각도 검출용 센서
16, 16' 마그넷
17　기준용 센서
18　온도 검출용 센서
19　신호 처리부

Claims

자속을 균일하게 발생하는 자계 발생 기구에 대해 상대적으로 회전 가능하게 한 축에 부착하고, 상기 자계 발생 기구의 자계 방향에 대한 상대 각도를 검출하는 홀 소자로 이루어지는 각도 검출용 센서를 구비하며, 측정 각도가 0°인 영점각도에 있어서 상기 각도 검출용 센서의 자속 밀도 검출면인 칩면을 상기 자계 발생 기구로부터의 자속의 방향과 평행하게 배치하는 각도 검출용 센서의 검출 신호 보정 방법으로서,
오프 라인에 있어서, 상기 각도 검출용 센서를 자계 방향과 상기 각도 검출용 센서의 칩면이 평행이 되도록 상기 영점각도에 고정하고, 소정의 자속을 발생시킨 유자계(有滋界) 상태에서, 정전류를 상기 각도 검출용 센서에 공급하고, 상기 각도 검출용 센서의 복수의 주위 온도에 의한 내부 저항에 기인하는 제1의 오프셋 전압치에 상기 각도 검출용 센서의 커트면에 의한 로렌츠힘(Lorentz force)에 기인하는 기전력을 더한 제2의 오프셋 전압치를 각각 측정하여, 상기 제2의 오프셋 전압치의 온도 특성을 구하는 제1의 스텝과,
온라인에서의 각도 측정 중에, 온도 검출용 센서에 의한 주위 온도의 측정을 실시하고, 상기 각도 검출용 센서의 출력으로부터 상기 온도 특성에 해당하는 상기 제 2의 오프셋 전압치를 제거하는 보정을 실시하는 제2의 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법.
제1항에 있어서,
상기 상대 각도는, 보정한 상기 각도 검출용 센서의 출력을, 상기 자계 발생 기구에 고정하고 자속 밀도 검출면인 칩면을 상기 자속의 방향과 직교하도록 배치한 기준용 센서의 출력으로 나누는 것으로써 산출하는 것을 특징으로 하는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
오프 라인에 있어서, 무자계 상태에서 정전류를 상기 기준용 센서에 공급하고, 상기 기준용 센서의 복수의 주위 온도에 의한 내부 저항에 기인하는 기준용 센서의 오프셋 전압치를 각각 측정하여, 상기 기준용 센서의 오프셋 전압치의 온도 특성을 구하고,
온라인에서의 각도 측정 중에, 상기 온도 검출용 센서에 의한 주위 온도의 측정을 실시하고, 상기 기준용 센서의 출력으로부터 상기 온도 특성에 해당하는 상기 기준용 센서의 오프셋 전압치를 제거하는 보정을 실시하는 것을 특징으로 하는 각도센서의 검출 신호 보정 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 축은 액면계의 플로트에 연결한 것을 특징으로 하는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법.
제3항에 있어서,
상기 축은 액면계의 플로트에 연결한 것을 특징으로 하는 각도 센서의 검출 신호 보정 방법.