KR101437631B1 - 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법 - Google Patents

습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

초정밀 가공기가 배치된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 신속, 정확하게 조절할 수 있도록 열수지 방식이 적용된 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관하여 개시한다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초정밀 가공기가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버와, 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인과, 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 습도-온도 감지수단과, 습도-온도 감지수단으로부터 습도 및 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 데이터 수집수단에서 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 챔버 내부의 습도 또는 온도를 제어하여 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부와, 제어부의 지령에 따라 챔버 내부의 온도가 상승할 경우 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 가습하는 가습수단 및, 제어부의 지령에 따라 챔버 내부의 온도가 하강할 경우 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 제습하는 제습수단을 포함하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.

Description

습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법{APPARATUS FOR CONTROLLING INTERIOR TEMPERATURE OF CHAMBER USING HUMIDITY CONTROL AND THE METHOD THEREOF}
본 발명은 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 습도 제어를 이용하여 초정밀 가공기가 배치된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜 줄 수 있는 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
초정밀 가공기가 내장되는 챔버 내, 외부의 온도차를 고려하여, 챔버 내부를 설정된 온도로 항시 유지시켜 주는 것이 중요한 작업 조건 중 하나로 여겨지며, 이를 위한 본 발명의 배경기술로서, 별도로 도시하진 않았으나 챔버 내부의 공기를 가열 또는 냉각시키기 위하여 공기 순환 방식 또는 가열, 냉각 매체 순환 방식이 이용되어 왔다.
특히 초정밀 가공기의 작동 중에는, 가공 스핀들의 동작에 의해 특정의 국부 영역에서 온도가 상승하는 경우가 빈번하게 발생하며, 이러한 온도 상승에 따라 챔버 내부의 온도 조건이 설정된 기준 값으로부터 벗어나는 경우가 발생되었다. 이와 같은 챔버 내부의 온도 변화는 작업자가 요구하는 수준의 가공 정밀도를 확보하는데 난점으로 작용될 수 있으며, 초정밀 가공 분야(특히, IT, BT)에서 요구되는 높은 정밀도의 가공을 수행하는 데 있어 문제점으로 작용되었다.
대한민국 공개특허 제2005-0013822호
본 발명은 습도 제어를 통해 챔버(또는 셀) 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜 줄 수 있는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.
또한, 습도 제어를 통해 챔버(또는 셀) 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜 줄 수 있는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며, 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초정밀 가공기(M)가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버; 상기 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인; 상기 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 습도-온도 감지수단; 상기 습도-온도 감지수단으로부터 습도 및 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단; 상기 데이터 수집수단에서 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 상기 챔버 내부의 습도 또는 온도를 제어하여 상기 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부; 상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 가습하는 가습수단; 및 상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 제습하는 제습수단;을 포함하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.
또한, 상기 공기유동라인에 구비되어 상기 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기; 상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 가열하는 가열수단; 및 상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단;을 더 포함한다.
또한, 외부로부터 인가된 전원을 직류-교류로 전환하여 상기 송풍기의 출력을 조절함으로써, 상기 챔버 내부로의 공기 공급을 조절하는 인버터를 더 포함한다.
여기서, 상기 습도-온도 감지수단은, 상기 챔버 내부의 습도를 감지하는 습도 센서와, 상기 챔버 내부의 온도를 감지하는 온도 센서를 포함한다.
한편, 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 상기 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 상기 챔버 내부온도와 습도 간의 관계를 이용하여, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 가습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 하강시키며, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 제습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 상승시키는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법을 제공한다.
여기서, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 가열 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절할 수 있다.
그리고 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 냉각 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절할 수 있다.
본 발명인 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법의 실시예들에 의하면, 특히 초정밀 가공기가 내장 배치되는 챔버(또는 셀) 내부의 온도를 습도 제어를 통해 설정된 온도로 항시 유지시켜 줄 수 있다.
특히, 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 챔버 내부온도와 습도 관계의 연관 관계를 고려하여, 챔버 내부의 습도를 조절함으로써 초정밀 가공기가 내장된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 일정하게 유지시켜 줄 수 있다.
아울러, 상기의 습도 제어와 함께 온도 제어를 병행할 수 있어, 챔버 내부의 온도 조절을 더욱 신속하고 정밀하게 제어해 줄 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 간략히 도시한 블록도이다.
도 3은 도 2에 도시된 도면에서 습도 제어에 병행하여 가열, 냉각 공기 공급 기능이 추가된 챔버 내부온도 제어 장치를 간략히 도시한 블록도이다.
본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 여기에서 설명될 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법의 바람직한 실시예에 관하여 상세히 살펴보기로 한다.
습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버 내부온도 제어 장치의 개념도이다. 그리고 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 간략히 도시한 블록도이며, 도 3은 도 2에 도시된 실시예에 가열, 냉각 공기 공급을 통해 온도 조절 기능이 추가된 형태를 나타낸 블록도이다.
도 1 내지 3을 병행 참조하면, 도시된 챔버 내부온도 제어 장치(100)는, 챔버(101), 상기 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인(103), 챔버(101) 내의 온도 및 습도를 감지하는 습도-온도 감지수단(110), 챔버 내의 습도 및 온도 데이터(H, T)를 수집하는 데이터 수집수단(120), 챔버 내부온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부(130), 챔버 내부를 가습하는 가습수단(140) 및 챔버 내부를 제습하는 제습수단(150)을 포함한다.
이에 더하여, 도 1 및 도 3에 나타난 바와 같이, 상기 공기유동라인(103)에 구비되어 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기(160)와, 챔버로 공급되는 공기를 가열하는 가열수단(170)과, 챔버로 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단(180)을 포함한다.
챔버(101)는 내부에 수용공간이 형성되며, 전체적으로 밀폐된 형상의 부재를 말한다. 도시된 바로는 직육면체 형상의 함체 형태로 나타나 있으나 이는 챔버(101)의 예시적인 형태에 불과할 뿐 본 발명을 제한하지 않는다. 따라서 이와 다른 다양한 형상의 챔버(101)라면 어떤 형태를 이용하더라도 무방하다.
상기 챔버(101) 내부의 수용공간으로는 초정밀 가공기(M)가 배치되며, 여기서 초정밀 가공기(M)란 고도의 정밀도를 요구하는 가공을 수행하는 장치로서, 특히, IT 및 BT 분야에까지 활용 가능한 가공 장치를 말한다. 일예로서, 상기 초정밀 가공기(M)에는 공작물의 가공을 직접적으로 수행하는 스핀들(S)이 구비되어 있다.
이 같은 챔버(101)는 전체적으로 밀폐된 구조로 이루어져 있으나, 챔버의 일측(즉, 도 1의 좌측 벽면)과 타측(즉, 도 1의 우측 벽면)을 통해 공기가 공급되고 배출되는, 즉 공기가 유동하여 순환될 수 있는 공기유동라인(103)이 마련된다. 별도로 도시하진 않았으나, 상기 공기유동라인(103)에는 다수의 밸브 및 공압 탱크가 더 추가적으로 구비될 수도 있다.
이러한 공기유동라인(103)에는 챔버 내부 습도를 높여주도록 가습 기능을 발휘하는 가습수단(140)과, 이와 달리 챔버 내부 습도를 낮춰주도록 제습 기능을 발휘하는 제습수단(150)이 구비된다.
또한, 상기 공기유동라인(103)에는 챔버 내부로 공기를 공급해주는 송풍기(160)와, 상기 송풍기(160)에 챔버 내부로 공급되는 공기를 가열해주는 가열수단(170)과 냉각해주는 냉각수단(180)이 더 구비된다.
상기 습도-온도 감지수단(110)은 도 1을 통해 확인할 수 있는 바와 같이 챔버(101) 내부의 습도를 감지하는 습도 센서(110a)와 온도를 감지하는 온도 센서(110b)를 포함한다.
이러한 습도-온도 감지수단(110)을 통해 감지된 챔버 내부의 습도 및 온도 데이터는 데이터 수집수단(120)으로 전달되어 수집되고, 수집된 습도 및 온도 데이터는 제어부(130)로 전달된다. 제어부(130)에서는 상기 데이터 수집수단(120)으로부터 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 챔버 내부의 습도를 제어한다. 이러한 습도 제어에 따라 챔버 내부의 온도는 조절되는데, 이때 챔버 내부의 압력변화가 없어야 한다. 즉, 압력-온도-습도 변화의 연관 관계에 따라 압력변화가 없는 경우, 상대습도가 높아질 때 온도 하강의 효과가 나타나며, 이와 반대로 상대습도가 낮아질 때 온도 상승의 효과가 나타나는 과학 법칙을 이용한다.
가습수단(140)은 챔버 내의 습도(즉, 상대습도)를 높여주는 기능을 담당하는 장치로서, 관용적으로 알려진 가습기를 이용할 수 있다. 그리고 제습수단(150)은 챔버 내의 습도를 낮춰주는 기능을 담당하는 장치로서, 이 역시 관용적으로 알려진 제습기를 이용할 수 있다. 따라서 상기 가습수단(140) 및 제습수단(150)의 세부 구성에 관하여는 추가적인 부연 설명을 생략하기로 한다.
이러한 가습수단(140) 및 제습수단(150)의 습도 조절 기능에 따른 챔버 내부온도 조절에 병행하여, 챔버 내부로 가열된 공기 또는 냉각된 공기를 직접 공급해 줌으로써 보다 신속하게 챔버 내부의 온도를 조절할 수 있는 기능을 확보할 수 있다. 이를 위해, 본 발명인 습도 제어 챔버 내부온도 제어 장치에는 송풍기(160)를 비롯하여, 가열수단(170) 및 냉각수단(1800이 더 구비될 수 있다.
가열수단(170)은 송풍기(160)의 작동에 의해 챔버(101) 내부로 공기가 공급될 때, 공급되는 공기의 온도를 상승시켜주는 일종의 히터 구성을 말한다. 구체적인 예로서, 관용적으로 이용되는 전기 히터 등이 이용될 수 있다.
그리고 냉각수단(180)은 상기의 가열수단과 반대로 송풍기(160)의 작동에 의해 챔버(101) 내부로 공급되는 공기의 온도를 하강시켜주는 냉각기 구성을 말한다. 구체적인 예로서, 전기 냉각 장치를 이용할 수 있다.
특히, 도 1을 통해 확인할 수 있듯이, 본 실시예에서의 습도-온도 감지수단(110)은 챔버(101) 내부의 전 영역을 둘러 설정된 간격으로 복수 개가 이격 배치될 수 있다.
앞서 살펴본 바와 같이, 습도-온도 감지수단(110)은 습도 센서(110a)와 온도 센서(110b)를 포함하여 구성될 수 있다. 습도 센서(110a)는 관용적으로 알려진 습도 계측용 센서를 이용할 수 있으며, 온도 센서(110b)는 설치의 편의성 및 사용상 교체 상의 장점을 고려하여 쉽게 구할 수 있는 열전대를 이용할 수 있다.
이와 같이 도 1에 도시된 구성은 바람직한 실시예에 해당할 뿐, 다른 실시예를 통해 더욱 다양한 기능을 센서를 구비하여 채택할 수 있다.
제어부(예: PC)(130)는 상기 데이터 수집수단(120)에서 수집된 습도 데이터(H) 및 온도 데이터(T)를 이용하여 이를 연산(예: 산술평균 연산)하거나 또는 일부 영역에서의 습도 및 온도 평균을 산출할 수도 있다.
또한, 이렇게 연산 또는 산출된 결과를 통해, 챔버 내부의 온도 기준값(이를 '설정된 온도'라 함)과 비교하여 가공 중 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 비해 상승되었는지 또는 하강되었는지를 판단한다.
이 같은 판단을 한 후, 상기 제어부(130)는 기 설정된 로직을 통해 가습수단(140)을 가동시키거나 또는 제습수단(150)을 가동시키도록 지령을 내린다.
더 구체적으로 설명하자면, 상기 제어부(130)에서 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 비해 상승되었다고 판단한 경우, 상기 제어부(130)는 가습수단(140)에 동작 지령(C1)을 인가하여 가습 기능을 발휘한다. 이로써, 챔버 내부의 상대습도가 높아지게 되고 챔버 내부온도는 설정된 온도까지 하강되어 유지되게 된다.
구체적인 예로서, 만일 챔버 내부의 온도가 25℃이며, 상대습도가 40%라고 가정할 경우, 챔버 내부의 압력 변화 없이 상대습도를 80%까지 상승시킬 경우, 챔버 내부의 온도는 대략 7℃ 정도 하강될 수 있다.
이와 같은 습도 제어를 통해 챔버 내부의 온도를 항시 일정하게 설정된 온도와 같이 조절해 줄 수 있다.
전술된 경우와 달리, 상기 제어부(130)에서 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 비해 하강되었다고 판단한 경우에는 제어부(130)는 제습수단(150)에 동작 지령(C2)을 인가하여 제습 기능을 발휘한다. 그 결과 챔버 내부의 상대습도가 낮아지게 되고 챔버 내부온도는 설정된 온도까지 상승된다.
이에 더하여, 상술한 바와 같이 챔버 내부의 습도 제어만으로 온도 조절을 수행하는 데 시간이 지연될 경우에는 추가로 구비한 송풍기(160), 가열수단(170) 및 냉각수단(180)의 구성을 가동하여, 습도 조절과 병행하여 직접적으로 챔버 내부로 가열된 공기 또는 냉각된 공기를 공급시켜 줄 수 있다. 이로써, 더욱 신속하게 챔버 내부의 온도 조절이 이루어진다. 이와 같은 구성은 도 3에 블록도 형태로 간략히 도시되어 있다.
한편, 상기 송풍기(160)에는 인버터(162)가 더 구비된다. 인버터(162)는 외부로부터 인가된 전원을 직류-교류로 전환하는 장치로서, 송풍기(160)의 출력을 조절하는 기능을 담당한다. 이에 따라, 챔버 내부로의 공기 공급량이 손쉽게 제어될 수 있다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법은 상술한 챔버 내부온도 제어 장치를 이용하는 온도 제어 방법으로서, 도 1을 참조하여 설명하기로 한다.
습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법
본 발명의 챔버 내부온도 제어 방법의 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 상기 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 상기 챔버 내부온도와 습도 간의 관계를 이용한다.
만일, 상기 챔버 내부온도(T)가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단(140)을 가동하여 상기 챔버 내부를 가습시킨다. 그 결과 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 하강시킬 수 있다.
이와 반대로, 상기 챔버 내부온도(T)가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 제습시킨다. 그 결과 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 상승시킬 수 있다.
이와 같이 습도 제어를 통해 챔버 내부온도를 설정된 온도로 유지시켜 줄 수 있다.
한편, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 가습수단(140)의 가동과 함께 추가적으로 송풍기(160) 및 가열수단(170)을 가동시켜 챔버 내부로 가열 공기를 공급 순환시켜 줄 수 있다. 그 결과 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 보다 신속하게 하강시켜 온도 제어에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 제습수단(150)의 가동과 함께 추가적으로 송풍기(160) 및 제습수단(180)을 가동시켜 챔버 내부로 냉각 공기를 공급 순환시켜 줄 수 있다. 그 결과 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 보다 신속하게 상승시켜 온도 제어에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명인 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법의 실시예들에 의하면, 특히 초정밀 가공기가 내장 배치되는 챔버(또는 셀) 내부의 온도를 습도 제어를 통해 설정된 온도로 항시 유지시켜 줄 수 있다.
특히, 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 챔버 내부온도와 습도 관계의 연관 관계를 고려하여, 챔버 내부의 습도를 조절함으로써 초정밀 가공기가 내장된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 일정하게 유지시켜 줄 수 있다.
아울러, 상기의 습도 제어와 함께 온도 제어를 병행할 수 있어, 챔버 내부의 온도 조절을 더욱 신속하고 정밀하게 제어해 줄 수 있다.
이상에서 본 발명의 일실시예에 따른 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관하여 구체적으로 살펴보았다.
전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 이 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
M: 초정밀 가공기
S: 스핀들
H: 챔버 내부 습도 T: 챔버 외부 온도
100: 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
101: 챔버 103: 공기유동라인
110: 습도-온도 감지수단
110a: 습도 센서 110b: 온도 센서
120: 데이터 수집수단
130: 제어부
140: 가습수단
150: 제습수단
160: 송풍기 162: 인버터
170: 가열수단
180: 냉각수단

Claims (7)

  1. 초정밀 가공기가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버;
    상기 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인;
    상기 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 습도-온도 감지수단;
    상기 습도-온도 감지수단으로부터 습도 및 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단;
    상기 데이터 수집수단에서 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 상기 챔버 내부의 습도를 제어하여 상기 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부;
    상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 가습하는 가습수단; 및
    상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 제습하는 제습수단;을 포함하고,
    상기 제어부는 상기 데이터 수집수단의 데이터와 상기 설정된 온도를 비교한 후, 압력-온도-습도 변화의 연관 관계에 통해 기설정된 로직을 통해 상기 가습수단 또는 제습수단을 가동시키는 것을 특징으로 하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기유동라인에 구비되어 상기 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기;
    상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 가열하는 가열수단; 및
    상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단;을 더 포함하는 습도 센서를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    외부로부터 인가된 전원을 직류-교류로 전환하여 상기 송풍기의 출력을 조절함으로써, 상기 챔버 내부로의 공기 공급을 조절하는 인버터를 더 포함하는 습도 센서를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 습도-온도 감지수단은,
    상기 챔버 내부의 습도를 감지하는 습도 센서와,
    상기 챔버 내부의 온도를 감지하는 온도 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치.
  5. 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항의 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서,
    상기 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 상기 챔버 내부온도와 습도 간의 관계를 이용하여,
    상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 가습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 하강시키며,
    상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 제습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 상승시키는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 가열 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 냉각 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법.
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