KR101436458B1

KR101436458B1 - Apparatus of discharging treating fluid

Info

Publication number: KR101436458B1
Application number: KR1020100065988A
Authority: KR
Inventors: 윤순영; 남기선
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2010-07-08
Filing date: 2010-07-08
Publication date: 2014-09-03
Also published as: KR20120005308A

Abstract

본 발명은 처리액 토출 장치를 개시한 것으로서, 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛, 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 제공되며, 제1방향으로 이동되는 갠트리(gantry) 및 갠트리의 길이방향으로 이동 가능하게 결합되며, 잉크젯 방식으로 액정을 토출하는 복수 개의 헤드들; 복수 개의 헤드들 각각을 갠트리의 길이방향으로 이동시키는 제1이동 유닛들을 포함한다. 제1이동 유닛들은 이웃하는 제1이동 유닛과 함께 이동되도록 상호 고정을 위한 고정부재를 포함한다.
이러한 특징에 의하면, 복수의 헤드들 중에서 고장난 헤드는 고정부재에 의해 인접한 헤드와 함께 움직이도록 함으로써 설비 운용 효율을 높일 수 있다.The present invention relates to a processing liquid dispensing apparatus, which comprises a substrate supporting unit on which a substrate is placed and which is linearly movable in a first direction, a gantry provided on a moving path of the substrate supporting unit, A plurality of heads movably coupled in the longitudinal direction of the liquid crystal display panel and ejecting the liquid crystal by an inkjet method; And first moving units for moving each of the plurality of heads in the longitudinal direction of the gantry. The first mobile units include a stationary member for interlocking to move with the neighboring first mobile unit.
According to this aspect, the faulty head among the plurality of heads moves together with the adjacent head by the fixing member, thereby improving the facility operation efficiency.

Description

[0001] APPARATUS OF DISCHARGING TREATING FLUID [0002]

본 발명은 처리액 토출 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액적(droplet)을 토출하는 잉크젯 방식에 의해 기판에 처리액을 토출하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a process liquid ejection apparatus and method, and more particularly, to an apparatus for ejecting process liquid onto a substrate by an inkjet method for ejecting droplets.

최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이의 공간에 액정을 주입하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.2. Description of the Related Art Recently, liquid crystal display devices have been widely used in display portions of electronic apparatuses such as mobile phones and portable computers. A liquid crystal display device includes: a color filter substrate on which a black matrix, a color filter, a common electrode, and an alignment film are formed; Liquid crystal is injected into a space between a thin film transistor (TFT), a pixel electrode and an array substrate on which an alignment film is formed, and a video effect is obtained by using a difference in refractive index of light according to anisotropy of liquid crystal.

컬러 필터 기판과 어레이 기판 상에 배향액이나 액정을 도포하는 장치로 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용되고 있다. 그러나, 종래의 잉크젯 방식의 도포 장치는 기판의 셀 피치 변화에 대응하여 유연성있게 노즐들의 피치를 조절할 수 없고, 이에 따라 기판에 도포되는 배향액이나 액정의 막 균일도가 저하되는 문제점이 있었다.An ink jet type coating apparatus is used as an apparatus for applying an alignment liquid or a liquid crystal onto a color filter substrate and an array substrate. However, in the conventional inkjet type coating apparatus, the pitch of the nozzles can not be flexibly adjusted in response to the cell pitch change of the substrate, thereby lowering the uniformity of the alignment liquid or liquid crystal applied to the substrate.

본 발명의 목적은 복수개의 헤드들 중에서 어느 하나가 고장나더라도 다른 헤드들의 사용이 가능한 처리액 토출 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a process liquid ejection apparatus capable of using other heads even if any one of the plurality of heads fails.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 잉크젯 방식의 처리액 토출 장치는 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 제공되며, 상기 제1방향으로 이동되는 갠트리(gantry); 및 상기 갠트리의 길이방향으로 이동 가능하게 결합되며, 잉크젯 방식으로 액정을 토출하는 복수 개의 헤드들; 상기 복수 개의 헤드들 각각을 상기 갠트리의 길이방향으로 이동시키는 제1이동 유닛들을 포함하되; 상기 제1이동 유닛들은 이웃하는 제1이동 유닛과 함께 이동되도록 상호 고정을 위한 고정부재를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for ejecting a process liquid of an inkjet type, comprising: a substrate supporting unit on which a substrate is placed and which is linearly movable in a first direction; A gantry provided on the movement path of the substrate supporting unit, the gantry being moved in the first direction; A plurality of heads movably coupled to the gantry in the longitudinal direction and ejecting the liquid crystal by an inkjet method; And first moving units for moving each of the plurality of heads in the longitudinal direction of the gantry, The first mobile units include a stationary member for mutual fixation to move with the neighboring first mobile unit.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 고정부재는 전자석 또는 잠금장치를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the fixing member includes an electromagnet or a locking device.

본 발명에 의하면, 복수의 헤드들 중에서 고장난 헤드는 인접한 헤드와 함께 움직이도록 함으로써 설비 운용 효율을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다. According to the present invention, a failed head among a plurality of heads has a remarkable effect of increasing facility operation efficiency by moving the head together with an adjacent head.

이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 도 3의 제 1 구동 유닛을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 제 2 구동 유닛을 보여주는 도면이다.
도 6은 갠트리의 직선 이동 및 회전 과정을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이다.
도 8a는 도 7의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.
도 8b는 2개의 헤드가 헤드 이동 유닛의 고정부재에 의해 상호 묶여진 상태를 보여주는 도면이다.
도 9는 도 2 및 도 3의 액정 공급 유닛을 보여주는 도면이다.
도 10은 도 9의 제 1 기포 여과 부재의 일부를 확대하여 보여주는 도면이다.
도 11은 도 2 및 도 3의 헤드 제어 유닛을 보여주는 도면이다.
도 12는 도 11의 제어 모듈의 사시도이다.
도 13은 도 12의 제어 모듈의 단면도이다.
도 14는 도 2 및 도 3의 액정 토출량 측정 유닛을 보여주는 도면이다.
도 15는 도 14의 액정 수용 부재의 평면도이다.
도 16은 도 15의 A - A' 선에 따른 단면도이다.
도 17은 액정 토출량 측정 유닛의 동작을 보여주는 도면이다.
도 18은 도 2 및 도 3의 노즐 검사 유닛과 헤드 세정 유닛을 보여주는 도면이다.
도 19는 노즐 검사 유닛과 헤드 세정 유닛의 다른 예를 보여주는 도면이다.The drawings described below are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the invention.
1 is a view showing a configuration of an inkjet type liquid crystal coating equipment.
2 is a perspective view of the liquid crystal discharge portion of FIG.
3 is a plan view of the liquid crystal discharge portion of FIG.
Fig. 4 is a view showing the first drive unit of Fig. 3. Fig.
FIG. 5 is a view showing the second drive unit of FIG. 3. FIG.
6 is a view showing a linear movement and a rotation process of the gantry.
Fig. 7 is a side view of the head moving unit of Figs. 2 and 3. Fig.
8A is a front view of the first mobile unit of Fig.
8B is a view showing a state in which two heads are mutually bundled by a fixing member of the head moving unit.
Fig. 9 is a view showing the liquid crystal supply unit of Figs. 2 and 3. Fig.
FIG. 10 is an enlarged view showing a part of the first bubble filtering member of FIG. 9; FIG.
Fig. 11 is a view showing the head control unit of Figs. 2 and 3. Fig.
12 is a perspective view of the control module of Fig.
13 is a cross-sectional view of the control module of Fig.
14 is a view showing the liquid crystal discharge amount measurement unit of Figs. 2 and 3. Fig.
15 is a plan view of the liquid crystal housing member of Fig.
16 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'in Fig.
17 is a view showing the operation of the liquid crystal discharge amount measurement unit.
18 is a view showing the nozzle inspection unit and the head cleaning unit of Figs. 2 and 3. Fig.
19 is a view showing another example of the nozzle inspection unit and the head cleaning unit.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings. Each drawing has been partially or exaggerated for clarity. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the respective drawings, the same constituent elements are shown to have the same reference numerals as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

( 실시 예 )(Example)

이하에서는, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 대상물에 처리액을 도포하는 설비와, 이를 이용하여 대상물에 처리액을 도포하는 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a facility for applying a treatment liquid to an object by an ink jet system for ejecting liquid drops and a method for applying the treatment liquid to the object using the apparatus will be described.

예를 들어, 대상물은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 처리액은 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 배향액으로는 폴리이미드(polyimide)가 사용될 수 있다. For example, the object may be a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate of a liquid crystal display panel, and the processing liquid may be liquid crystal, alignment liquid, red (R) , Green (G), and blue (B) ink. As the alignment liquid, polyimide may be used.

배향액은 컬러 필터(CF) 기판과 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있고, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다. 잉크는 컬러 필터(CF) 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙 매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.
The alignment liquid can be applied to the entire surface of the color filter (CF) substrate and the thin film transistor (TFT) substrate, and the liquid crystal can be applied to the entire surface of the color filter (CF) substrate or the thin film transistor (TFT) substrate. The ink may be applied to the interior area of the black matrix arranged in a lattice pattern on a color filter (CF) substrate.

본 실시 예에서는, 처리액으로 액정을 사용하는 설비를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되는 것은 아니다.In this embodiment, a facility using liquid crystal as a treatment liquid is described as an example, but the technical idea of the present invention is not limited thereto.

도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1의 액정 도포 설비(1)는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다.1 is a view showing a configuration of an inkjet type liquid crystal coating equipment. The liquid crystal coating equipment 1 shown in Fig. 1 is a facility for applying a liquid crystal to a substrate by an inkjet method for discharging droplets.

기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.
The substrate may be a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate of a liquid crystal display panel, and the liquid crystal may be applied to an entire surface of a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate.

도 1을 참조하면, 액정 도포 설비(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 1, the liquid crystal coating equipment 1 includes a liquid crystal discharge unit 10, a substrate transfer unit 20, a loading unit 30, an unloading unit 40, a liquid crystal supply unit 50, and a main controller 90 ). The liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20 are arranged in a line in the first direction I and can be positioned adjacent to each other. A liquid crystal supply part 50 and a main control part 90 are disposed at positions facing the substrate transfer part 20 with the liquid crystal discharge part 10 as a center. The liquid crystal supply part 50 and the main control part 90 may be arranged in a line in the second direction II. The loading unit 30 and the unloading unit 40 are disposed at positions facing the liquid crystal discharge unit 10 with the substrate transfer unit 20 as a center. The loading section 30 and the unloading section 40 may be arranged in a line in the second direction II.

여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
Here, the first direction I is an arrangement direction of the liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20, the second direction II is a direction perpendicular to the first direction I on the horizontal plane, (III) is a direction perpendicular to the first direction (I) and the second direction (II).

액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
The substrate to which the liquid crystal is to be applied is brought into the loading section 30. The substrate transferring unit 20 transfers the substrate loaded into the loading unit 30 to the liquid crystal discharging unit 10. The liquid crystal discharging portion 10 receives liquid crystal from the liquid crystal supplying portion 50 and discharges the liquid crystal onto the substrate by an ink jet method for discharging liquid droplets. When the liquid crystal discharge is completed, the substrate transfer section 20 transfers the substrate from the liquid crystal discharge section 10 to the unloading section 40. The substrate coated with the liquid crystal is taken out of the unloading portion 40. The main control unit 90 controls the overall operations of the liquid crystal discharge unit 10, the substrate transfer unit 20, the loading unit 30, the unloading unit 40, and the liquid crystal supply unit 50.

도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이고, 도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드들(400), 헤드 이동 유닛(500), 액정 공급 유닛(600), 헤드 제어 유닛(700), 액정 토출량 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 그리고 헤드 세정 유닛(1000)을 포함한다.FIG. 2 is a perspective view of the liquid crystal discharge portion of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the liquid crystal discharge portion of FIG. 2 and 3, the liquid crystal discharging portion 10 includes a base B, a substrate supporting unit 100, a gantry 200, a gantry moving unit 300, heads 400, a head moving unit 500, a liquid crystal supply unit 600, a head control unit 700, a liquid crystal discharge amount measurement unit 800, a nozzle inspection unit 900, and a head cleaning unit 1000.

이하에서는 액정 토출부의 각각의 구성에 대해 상세히 설명한다.
Hereinafter, each configuration of the liquid crystal discharge portion will be described in detail.

( 기판 지지 유닛 )(Substrate supporting unit)

베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.The base (B) may be provided in a rectangular parallelepiped shape having a constant thickness. A substrate supporting unit 100 is disposed on the upper surface of the base B. The substrate supporting unit 100 has a supporting plate 110 on which the substrate S is placed. The support plate 110 may be a rectangular plate. The rotation driving member 120 is connected to the lower surface of the support plate 110. The rotation drive member 120 may be a rotary motor. The rotation driving member 120 rotates the support plate 110 around a rotation center axis perpendicular to the support plate 100. [

지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.When the support plate 110 is rotated by the rotation drive member 120, the substrate S can be rotated by the rotation of the support plate 110. [ When the long-side direction of the cell formed on the substrate to which the liquid crystal is to be applied faces the second direction II, the rotation driving member 120 can rotate the substrate such that the long-side direction of the cell is in the first direction I.

지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.
The support plate 110 and the rotation driving member 120 may be linearly moved in the first direction I by the linear driving member 130. The linear driving member 130 includes a slider 132 and a guide member 134. The rotation driving member 120 is provided on the upper surface of the slider 132. [ The guide member 134 is elongated in the first direction I in the center of the upper surface of the base B. A linear motor (not shown) may be incorporated in the slider 132 and the slider 132 is linearly moved in the first direction I along the guide member 134 by a linear motor (not shown).

( 갠트리 )(Gantry)

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 배치된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리의 길이 방향, 즉 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동하고, 또한 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다.
The gantry 200 is provided at an upper portion of a path through which the support plate 110 is moved. The gantry 200 is disposed upwardly away from the upper surface of the base B and the gantry 200 is arranged such that its longitudinal direction is in the second direction II. The heads 400 are coupled to the gantry 200 by a head moving unit 500. The heads 400 can be linearly moved by the head moving unit 500 in the longitudinal direction of the gantry, that is, in the second direction II and linearly in the third direction III.

( 갠트리 이동 유닛 )(Gantry moving unit)

갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키거나, 갠트리(200)의 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향을 향하도록 갠트리(200)를 회전시킬 수 있다. 갠트리(200)의 회전에 의해, 헤드들(400)의 노즐들(미도시)이 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향으로 정렬된다.The gantry moving unit 300 moves the gantry 200 in a first direction I or moves the gantry 200 in such a direction that the longitudinal direction of the gantry 200 is inclined in the first direction I . By the rotation of the gantry 200, the nozzles (not shown) of the heads 400 are aligned in an oblique direction in the first direction I.

갠트리 이동 유닛(300)은, 이하에서 설명하는 바와 같이, 갠트리(200)의 일단을 회전 중심으로 하여 갠트리(200)의 타단을 회전시킬 수 있다. 이와 달리, 갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)의 센터를 회전 중심으로 하여 갠트리(200)를 회전시킬 수 있도록 구성될 수도 있다. 갠트리 이동 유닛(300)은 청구항에 따라서는 "회전 유닛"이라고도 한다.The gantry moving unit 300 can rotate the other end of the gantry 200 with the one end of the gantry 200 as the center of rotation as will be described below. Alternatively, the gantry moving unit 300 may be configured to rotate the gantry 200 with the center of the gantry 200 as the center of rotation. The gantry moving unit 300 is also referred to as a "rotating unit "

갠트리 구동 유닛(300) 제 1 구동 유닛(310)과 제 2 구동 유닛(320)을 포함한다. 제 2 구동 유닛(320)은 회전 중심이 되는 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 1 구동 유닛(310)은 갠트리(200)의 타단에 제공된다.The gantry drive unit 300 includes a first drive unit 310 and a second drive unit 320. The second drive unit 320 is provided at one end of the gantry 200 serving as a rotation center, and the first drive unit 310 is provided at the other end of the gantry 200.

도 4는 도 3의 제 1 구동 유닛을 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 제 1 구동 유닛(310)은 슬라이더(312), 제 1 회전 지지 부재(314), 그리고 제 1 직선 구동 부재(318)를 포함한다. 갠트리(200)의 타단측 하단부에는 갠트리(200)의 길이 방향을 따라 가이드 레일(210)이 제공되고, 슬라이더(312)는 가이드 레일(210)에 의해 안내되어 직선 이동한다. 슬라이더(312)의 하단부에는 제 1 회전 지지 부재(314)가 결합된다. 제 1 회전 지지 부재(314)는 상부와 하부의 상대 회전이 가능한 베어링일 수 있다. 제 1 회전 지지 부재(314)의 하면에는 제 1 직선 구동 부재(318)가 결합된다. 제 1 직선 구동 부재(318)는 제 1 회전 지지 부재(314)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. Fig. 4 is a view showing the first drive unit of Fig. 3. Fig. Referring to FIG. 4, the first drive unit 310 includes a slider 312, a first rotation support member 314, and a first linear drive member 318. A guide rail 210 is provided along the longitudinal direction of the gantry 200 at the lower end of the other end of the gantry 200. The slider 312 is guided by the guide rail 210 and linearly moved. The first rotation support member 314 is coupled to the lower end of the slider 312. The first rotation support member 314 may be a bearing capable of relative rotation between the upper and lower portions. A first linear driving member 318 is coupled to the lower surface of the first rotation support member 314. The first linear driving member 318 linearly moves the first rotation supporting member 314 in the first direction I.

제 1 직선 구동 부재(318)는 가이드 레일(315)과 슬라이더(317)를 포함한다. 가이드 레일(315)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(134)를 중심으로 베이스(B) 상면의 타측 가장자리부에 배치된다. 가이드 레일(315)에는 슬라이더(317)가 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더(317)의 상면에는 제 1 회전 지지 부재(314)가 결합된다. 슬라이더(317)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(317)는 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일(315)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.The first linear driving member 318 includes a guide rail 315 and a slider 317. The guide rail 315 is disposed in the other side edge of the upper surface of the base B with the guide member 134 of the substrate supporting unit 100 as the center, with the longitudinal direction thereof facing the first direction I. A slider 317 is movably coupled to the guide rail 315. The first rotation support member 314 is coupled to the upper surface of the slider 317. The slider 317 may include a linear motor (not shown). The slider 317 linearly moves in the first direction I along the guide rail 315 by the driving force of a linear motor (not shown).

도 5는 도 3의 제 2 구동 유닛을 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 제 2 구동 유닛(320)은 갠트리(200)의 직선 이동시 갠트리(200)의 일단을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키고, 갠트리(200)의 회전시 갠트리(200)의 회전 중심으로 동작한다.FIG. 5 is a view showing the second drive unit of FIG. 3. FIG. 5, the second driving unit 320 linearly moves one end of the gantry 200 in the first direction I when the gantry 200 is linearly moved. When the gantry 200 is rotated, As shown in Fig.

제 2 구동 유닛(320)은 제 2 회전 지지 부재(324)와 제 2 직선 구동 부재(328)를 포함한다. 갠트리(200)의 일단 하면에는 연결 부재(322)가 결합되고, 연결 부재(322)의 하면에는 제 2 회전 지지 부재(324)가 결합된다. 제 2 회전 지지 부재(324)는 상부와 하부의 상대 회전이 가능한 베어링일 수 있다. 제 2 회전 지지 부재(324)의 하면에는 제 2 직선 구동 부재(328)가 결합된다. 제 2 직선 구동 부재(328)는 제 2 회전 지지 부재(324)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. 제 2 회전 지지 부재(324)의 직선 이동에 의해, 그 상부에 순차적으로 결합된 연결 부재(322)와 갠트리(200)의 일단이 직선 이동된다.The second drive unit 320 includes a second rotation support member 324 and a second linear drive member 328. A connecting member 322 is coupled to a lower end of the gantry 200 and a second rotation supporting member 324 is coupled to a lower surface of the connecting member 322. The second rotation support member 324 may be a bearing capable of relative rotation between the upper and lower portions. And a second linear driving member 328 is coupled to a lower surface of the second rotation supporting member 324. [ The second linear driving member 328 linearly moves the second rotation supporting member 324 in the first direction I. The connection member 322 and the one end of the gantry 200 are linearly moved by the linear movement of the second rotation support member 324.

제 2 직선 구동 부재(328)는 가이드 레일(325)과 슬라이더(327)를 포함한다. 가이드 레일(325)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(134)를 중심으로 베이스(B) 상면의 일측 가장자리부에 배치된다. 가이드 레일(325)에는 슬라이더(327)가 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더(327)의 상면에는 제 2 회전 지지 부재(324)가 결합된다. 슬라이더(327)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(327)는 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일(325)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.The second linear drive member 328 includes a guide rail 325 and a slider 327. The guide rail 325 is disposed in one side edge portion of the upper surface of the base B about the guide member 134 of the substrate supporting unit 100 with its longitudinal direction directed in the first direction I. A slider 327 is movably coupled to the guide rail 325. And the second rotation support member 324 is coupled to the upper surface of the slider 327. [ The slider 327 may include a linear motor (not shown). The slider 327 linearly moves in the first direction I along the guide rail 325 by the driving force of a linear motor (not shown).

도 6은 갠트리의 회전 및 직선 이동 과정을 보여주는 도면이다. 도 4 및 도 5와, 도 6을 참조하면, 갠트리(200)는 제 1 구동 유닛(310)과 제 2 구동 유닛(320)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향을 향하도록 회전되고, 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다.6 is a view showing the rotation and linear movement of the gantry. 4, 5 and 6, the gantry 200 is rotated by the first drive unit 310 and the second drive unit 320 so as to be inclined in the first direction I , And can be linearly moved in the first direction (I).

제 2 구동 유닛(320)의 제 2 직선 구동 부재(328)가 고정된 상태에서, 제 1 구동 유닛(310)의 제 1 직선 구동 부재(318)가 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동하면 갠트리(200)가 회전된다. 이에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.When the first linear driving member 318 of the first driving unit 310 linearly moves in the first direction I in a state where the second linear driving member 328 of the second driving unit 320 is fixed, (200) is rotated. This will be described in detail as follows.

먼저, 제 1 직선 구동 부재(318)의 슬라이더(317)가 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일(315)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동한다. 이때, 갠트리(200)의 일단은 제 2 직선 구동 부재(328)가 구동되지 않으므로 제 1 방향(Ⅰ)으로의 이동이 없는 상태에서 제 2 회전 지지 부재(324)에 의해 회전된다. First, the slider 317 of the first linear driving member 318 moves in the first direction I along the guide rail 315 by the driving force of a linear motor (not shown). At this time, one end of the gantry 200 is rotated by the second rotation supporting member 324 in the state where there is no movement in the first direction I because the second linear driving member 328 is not driven.

제 1 직선 구동 부재(318)의 슬라이더(317)가 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동함에 따라, 그 상부에 배치된 제 1 회전 지지 부재(314)가 가이드 레일(315)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다. 동시에, 제 1 회전 지지 부재(314)의 상단에 결합된 슬라이더(312)는 제 1 회전 지지 부재(314)의 상부와 하부 간의 상대 회전에 의해 회전되면서, 갠트리(200)에 제공된 가이드 레일(210)을 따라 갠트리(200)의 타단측으로 이동한다. 결과적으로, 갠트리(200)는 제 2 구동 유닛(320)의 지지 위치를 중심으로 회전하고, 제 1 구동 유닛(310)의 갠트리(200) 지지 위치는 타단의 바깥 쪽으로 이동한 상태가 된다. 이러한 동작을 통해, 갠트리(200)는 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향으로 회전될 수 있으며, 이에 따라 헤드들(400)이 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향으로 정렬된다.As the slider 317 of the first linear driving member 318 moves in the first direction I, the first rotation supporting member 314 disposed on the upper portion thereof is moved along the guide rail 315 in the first direction I). At the same time, the slider 312 coupled to the upper end of the first rotation support member 314 is rotated by the relative rotation between the upper and lower portions of the first rotation support member 314, and the guide rail 210 To the other end side of the gantry 200. As a result, the gantry 200 rotates about the supporting position of the second driving unit 320, and the supporting position of the gantry 200 of the first driving unit 310 is shifted to the outside of the other end. Through this operation, the gantry 200 can be rotated in an inclined direction in the first direction I, whereby the heads 400 are aligned in an inclined direction in the first direction I.

이와 같이, 헤드들(400)이 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향으로 정렬되면, 액정이 도포될 기판(S)의 픽셀 피치 변화에 대응하여 유연성있게 액정 토출 피치를 조절할 수 있으며, 이를 통해 기판에 도포되는 액정의 막 균일도를 높일 수 있다.As such, when the heads 400 are aligned in the inclined direction in the first direction I, the liquid crystal discharge pitch can be flexibly adjusted in accordance with the pixel pitch change of the substrate S to which the liquid crystal is to be applied, The film uniformity of the liquid crystal applied to the substrate can be increased.

갠트리(200)는 상기와 같은 방법에 의해 회전될 수 있으며, 갠트리(200)는 회전된 상태에서 제 1 직선 구동 부재(318)의 슬라이더(317)와 제 2 직선 구동 부재(328)의 슬라이더(327)에 의해 추가적으로 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있다. 갠트리(200)의 일단은 제 2 직선 구동 부재(328)의 슬라이더(327)의 이동에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동되고, 갠트리(200)의 타단은 제 1 직선 구동 부재(318)의 슬라이더(317)의 이동에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다.The gantry 200 can be rotated in the same manner as described above and the gantry 200 can be rotated in a state where the slider 317 of the first linear driving member 318 and the slider 317 of the second linear driving member 328 327 in the first direction I further. One end of the gantry 200 is linearly moved in the first direction I by the movement of the slider 327 of the second linear driving member 328 and the other end of the gantry 200 is moved in the first direction I by the first linear driving member 318, Can be linearly moved in the first direction (I) by the movement of the slider (317).

갠트리(200)가 고정되고 기판이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동하는 경우, 기판이 갠트리(200)의 일측에서 타측으로 이동되어야 하므로, 설비의 풋프린트(Footprint)가 증가될 수 있다. 그러나, 본 발명은, 기판을 고정시킨 상태에서 또는 기판의 직선 이동과 함께, 갠트리(200)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있기 때문에, 설비의 풋프린트를 줄일 수 있다.
When the gantry 200 is fixed and the substrate moves in the first direction I, the substrate can be moved from one side of the gantry 200 to the other side, so that the footprint of the equipment can be increased. However, according to the present invention, since the gantry 200 can be linearly moved in the first direction I with the substrate fixed or with the linear movement of the substrate, the footprint of the facility can be reduced.

( 헤드 )( head )

헤드들(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드들(400)은 복수 개 제공될 수 있다. 본 실시 예에서는 3 개의 헤드(410,420,430)가 제공된 예를 들어 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드들(400)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.The heads 400 eject droplets of the liquid crystal onto the substrate. A plurality of heads 400 may be provided. In the present embodiment, three heads 410, 420, and 430 are provided, but the present invention is not limited thereto. The heads 400 may be arranged in a line in a row in the second direction II and are coupled to the gantry 200.

헤드들(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128 개 또는 256 개의 노즐들(미도시)이 제공될 수 있다. 노즐들(미도시)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(미도시)은 μg 단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.On the bottom surface of the heads 400, a plurality of nozzles (not shown) for ejecting droplets of liquid crystal are provided. For example, 128 or 256 nozzles (not shown) may be provided in each of the heads. The nozzles (not shown) may be arranged in a line at intervals of a predetermined pitch. The nozzles (not shown) can eject the liquid crystal in an amount of μg.

종래의 씨린지(Syringe)를 이용한 포인트 도팅(Point Dotting) 방식의 경우, 액정의 토출 피치가 크고, 토출되는 액정의 양이 mg 단위이므로, 액정의 점성 유동 저항 때문에 기판상에 액정이 고르게 퍼지지 못하는 문제점이 있었다. 그러나 본 발명은, 좁은 피치 간격을 가지는 다수의 노즐들(미도시)을 통해 μg 단위로 액정을 토출하므로, 액정의 점성 유동 저항에 불구하고 기판상에 보다 고르게 액정을 도포할 수 있다.In the conventional point dotting method using a syringe, since the ejection pitch of the liquid crystal is large and the amount of liquid crystal to be ejected is in the unit of mg, the liquid crystal is not spread evenly on the substrate due to the viscous flow resistance of the liquid crystal There was a problem. However, since the liquid crystal is ejected in units of micrograms through a plurality of nozzles (not shown) having a narrow pitch interval, the liquid crystal can be coated more evenly on the substrate despite the viscous flow resistance of the liquid crystal.

각각의 헤드들(400)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들(미도시)의 액적 토출 량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
The number of piezoelectric elements corresponding to the nozzles (not shown) may be provided to each of the heads 400, and the amount of droplet discharge of the nozzles (not shown) may be controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements Each independently adjustable.

( 헤드 이동 유닛 )(Head moving unit)

헤드 이동 유닛(500)은 개별 헤드들(400)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시 예의 경우, 3 개의 헤드(410,420,430)가 제공된 예를 들어 설명하므로, 헤드 이동 유닛(500) 또한 헤드의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 이와 달리 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 헤드들(400)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다.The head moving unit 500 may be provided to the individual heads 400, respectively. In the case of this embodiment, since three heads 410, 420 and 430 are provided as an example, three head moving units 500 may also be provided corresponding to the number of heads. Alternatively, one head moving unit 500 may be provided, in which case the heads 400 may be moved integrally, rather than individually.

도 7은 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이고, 도 8a는 도 7의 제 1 이동 유닛의 정면도이며, 도 8b는 2개의 헤드가 헤드 이동 유닛의 고정부재에 의해 상호 묶여진 상태를 보여주는 도면이다. Fig. 7 is a side view of the head moving unit of Figs. 2 and 3, Fig. 8A is a front view of the first moving unit of Fig. 7, and Fig. 8B is a cross- Fig.

도 7 내지 도 8b를 참조하면, 헤드 이동 유닛(500)은 제 1 이동 유닛(520)과 제 2 이동 유닛(540) 그리고 고정부재(590)를 포함한다. 제 1 이동 유닛(520)은 개별 헤드(410)를 갠트리의 길이 방향, 즉 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동시키고, 제 2 이동 유닛(540)은 개별 헤드(410)를 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시킨다. 그리고 고정부재(590)는 이웃하는 이동 플레이트를 상호 고정시켜주기 위한 것이다.7 to 8B, the head moving unit 500 includes a first moving unit 520 and a second moving unit 540, and a fixing member 590. [ The first moving unit 520 linearly moves the individual heads 410 in the longitudinal direction of the gantry, that is, in the second direction II, and the second moving unit 540 moves the individual heads 410 in the third direction III ). And the fixing member 590 is for mutually fixing the adjacent moving plates.

제 1 이동 유닛(520)은 가이드 레일들(522a,522b), 슬라이더들(524a, 524b), 그리고 이동 플레이트(526)를 포함한다. 가이드 레일들(522a,522b)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장되며, 갠트리(200)의 전면에 제 3 방향(Ⅲ)으로 이격 설치될 수 있다. 가이드 레일들(522a,522b)에는 슬라이더들(524a, 524b)이 이동 가능하게 결합되며, 슬라이더들(524a, 524b)에는 직선 구동기, 예를 들어 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 이동 플레이트(526)는 슬라이더들(524a, 524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 상부 영역은 상부에 위치한 슬라이더(524a)에 결합되고, 이동 플레이트(526)의 하부 영역은 하부에 위치한 슬라이더(524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일들(522a,522b)을 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 이동 플레이트(526)에는 고정부재(590)이 설치된다. 이와 같이, 헤드(410,420,430)가 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 개별 이동됨에 따라, 헤드(410,420,430) 간의 간격이 조절될 수 있다.The first moving unit 520 includes guide rails 522a and 522b, sliders 524a and 524b, and a moving plate 526. [ The guide rails 522a and 522b may extend in the second direction II and be spaced apart from the gantry 200 in the third direction III. Sliders 524a and 524b are movably coupled to the guide rails 522a and 522b and linear actuators such as a linear motor (not shown) may be incorporated in the sliders 524a and 524b. The moving plate 526 is coupled to the sliders 524a and 524b. The upper region of the moving plate 526 is coupled to the upper slider 524a and the lower region of the moving plate 526 is coupled to the lower slider 524b. The moving plate 526 linearly moves in the second direction II along the guide rails 522a and 522b by the driving force of a linear motor (not shown) as shown in Fig. The moving plate 526 is provided with a fixing member 590. As such, as the heads 410, 420, and 430 are individually moved along the second direction II, the distance between the heads 410, 420, and 430 can be adjusted.

제 2 이동 유닛(540)은 가이드 부재(542), 슬라이더(544), 검출기(546), 제어기(548)를 포함한다. 가이드 부재(542)는 제 1 이동 유닛(520)의 이동 플레이트(526)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(Ⅲ) 직선 이동을 안내한다. 슬라이더(544)는 가이드 부재(542)에 직선 이동 가능하게 결합되며, 슬라이더(544)에는 직선 구동기, 예를 들어 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 헤드(410)는 슬라이더(544)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(Ⅲ) 직선 이동에 의해 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동된다.The second moving unit 540 includes a guide member 542, a slider 544, a detector 546, and a controller 548. The guide member 542 is engaged with the moving plate 526 of the first moving unit 520 and guides the linear movement of the slider 544 in the third direction III. The slider 544 is coupled to the guide member 542 so as to be linearly movable. A linear actuator such as a linear motor (not shown) may be incorporated in the slider 544. The head 410 is coupled to the slider 544 and is moved in the third direction III by a linear movement of the slider 544 in the third direction III.

검출기(546)는 갠트리(200)에 설치될 수 있으며, 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 검출한다. 검출기(546)는 레이저 센서일 수 있다. 제어기(548)는 검출기(546)의 검출 신호에 대응하는 제어 신호를 생성하고, 슬라이더(544)에 내장된 리니어 모터에 제어 신호를 전달하여 리니어 모터의 구동을 제어한다. 검출기(546)의 검출 결과에 따라 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격이 기설정된 기준치를 벗어나는 것으로 판단되면, 제어기(548)는 리니어 모터(미도시)의 구동을 제어하여 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 조절한다.The detector 546 can be installed in the gantry 200 and detects the distance between the head 410 and the substrate S. [ The detector 546 may be a laser sensor. The controller 548 generates a control signal corresponding to the detection signal of the detector 546 and transmits a control signal to the linear motor built in the slider 544 to control the driving of the linear motor. The controller 548 controls the driving of the linear motor (not shown) so that the distance between the head 410 and the substrate S is greater than the predetermined reference value, ) And the substrate (S).

고정부재(590)는 평상시에는 사용되지 않으며, 3개의 헤드(410,420,430)를 이동시키는 헤드 이동 유닛(500)들의 제1이동유닛(520) 중에서 어느 하나가 고장난 경우에 사용된다. 고정 부재(590)는 이동 플레이트(526)에 설치되는 것으로, 본 실시예에서는 고정 부재(590)의 일예로 전류 공급에 의해 동작되는 전자석이 사용되었으나, 필요에 따라서는 수동 조작이 가능한 잠금장치(체결부재)를 적용할 수도 있다. 가운데에 위치하는 이동 플레이트(526)에는 양측에 고정부재(590)가 설치되며, 양측에 위치하는 이동 플레이트(526)에는 중앙에 위치한 이동 플레이트(526)와 마주하는 일측에만 고정부재(590)가 설치된다. The fixing member 590 is not normally used and is used when any one of the first moving units 520 of the head moving units 500 that move the three heads 410, 420, and 430 fails. The fixing member 590 is installed on the moving plate 526. In this embodiment, an electromagnet operated by current supply is used as an example of the fixing member 590. However, if necessary, a locking device A fastening member) may be applied. A fixing member 590 is provided on both sides of the moving plate 526 located at the center and a fixing member 590 is fixed to the moving plate 526 located at both sides of the moving plate 526, Respectively.

도 8b에서와 같이, 가운데에 위치하는 헤드(420)의 이동을 담당하는 헤드 이동 유닛(500)의 제1이동유닛(520)이 고장난 경우, 고정부재(590)를 이용하여 좌측(또는 우측)에 위치하는 헤드(410)의 이동을 담당하는 헤드 이동 유닛(500)의 이동 플레이트(526)와 고장난 헤드 이동 유닛(500)의 이동 플레이트(526)를 상호 고정해줌으로써, 가운데 헤드(420)가 좌측의 헤드(410) 이동을 담당하는 헤드 이동 유닛과 연동해서 움직일 수 있도록 함으로써, 가운데 헤드(420)는 사용하지 못하더라도 나머지 양측에 위치한 헤드(410,430)를 사용가능하기 때문에 설비 운용 효율을 높일 수 있다. 8B, when the first moving unit 520 of the head moving unit 500, which is responsible for the movement of the head 420 located at the center, fails, the left side (or right side) The moving plate 526 of the head moving unit 500 and the moving plate 526 of the malfunctioning head moving unit 500 which are responsible for the movement of the head 410 positioned at the center head 420 The head 410 can be moved in conjunction with the head moving unit for moving the left head 410 so that even though the center head 420 is not used, the remaining heads 410 and 430 can be used, have.

이처럼, 본 발명은, 3개의 헤드(410,420,430)를 각각 이동시키는 헤드 이동 유닛(500)들 중 어느 하나가 고장나서 헤드의 이동이 불가할 경우 나머지 2개의 헤드 운용도 불가능해지는 문제점을 해결할 수 있다.
As described above, according to the present invention, it is possible to solve the problem that if one of the head moving units 500, which move the three heads 410, 420 and 430 respectively, fails and the head can not be moved, the remaining two heads can not be operated.

( 액정 공급 유닛 )(Liquid crystal supply unit)

액정 공급 유닛(600)은 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)을 포함한다. 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 액정 공급 모듈(620)은 액정 공급부(도 1의 도면 번호 50)로부터 액정을 공급받고, 액정을 개별 헤드(410,420,430)에 공급한다. 압력 조절 모듈(640)은 액정 공급 모듈(620)에 양압 또는 음압을 제공하여 액정 공급 모듈(620)의 압력을 조절한다. The liquid crystal supply unit 600 includes a liquid crystal supply module 620 and a pressure regulation module 640. The liquid crystal supply module 620 and the pressure regulation module 640 may be coupled to the gantry 200. The liquid crystal supply module 620 receives the liquid crystal from the liquid crystal supply part (reference numeral 50 in FIG. 1) and supplies the liquid crystal to the individual heads 410, 420, and 430. The pressure regulating module 640 regulates the pressure of the liquid crystal supply module 620 by providing a positive pressure or a negative pressure to the liquid crystal supply module 620.

도 9는 도 2 및 도 3의 액정 공급 유닛을 보여주는 도면이고, 도 10은 도 9의 제 1 기포 여과 부재의 일부를 확대하여 보여주는 도면이다.FIG. 9 is a view showing the liquid crystal supply unit of FIGS. 2 and 3, and FIG. 10 is an enlarged view showing a part of the first bubble filtering member of FIG.

도 2와, 도 9 및 도 10을 참조하면, 액정 공급 모듈(620)은 갠트리(200)에 설치된다. 예를 들어, 액정 공급 모듈(620)은 갠트리(200) 상면 중심부에 설치될 수 있다. 헤드들(410,420,430)은 액정 공급 모듈(620)에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 제공될 수 있다. 즉, 헤드들(410,420,430)은 하나의 액정 공급 모듈(620)로부터 액정을 공급받고, 하나의 액정 공급 모듈(620)을 통해 압력 조절이 가능하도록 제공될 수 있다.Referring to Figs. 2 and 9 and 10, the liquid crystal supply module 620 is installed in the gantry 200. Fig. For example, the liquid crystal supply module 620 may be installed at the center of the upper surface of the gantry 200. The heads 410, 420, and 430 may be provided to the liquid crystal supply module 620 in a fluid-communication manner in a centralized manner. That is, the heads 410, 420 and 430 may be supplied with liquid crystal from one liquid crystal supply module 620 and may be provided to be pressure-adjustable through one liquid crystal supply module 620.

액정 공급 모듈(620)은 액정 탱크(622)와, 제 1 기포 여과 부재(630)를 포함한다. 액정 탱크(622)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받아 저장하고, 헤드들(410,420,430)로 액정을 공급한다. 액정 탱크(622)는 통 형상으로 제공될 수 있으다. 액정 탱크(622)는 상하 방향으로 서로 마주보도록 이격된 상부 벽(622a) 및 하부 벽(622b), 그리고 상부 벽(622a)과 하부 벽(622b)의 가장자리를 연결하도록 상하 방향으로 연장된 측벽(622c)을 가진다.The liquid crystal supply module 620 includes a liquid crystal tank 622 and a first bubble filtering member 630. The liquid crystal tank 622 receives and stores the liquid crystal from the liquid crystal supply unit 50, and supplies the liquid crystal to the heads 410, 420 and 430. The liquid crystal tank 622 may be provided in a cylindrical shape. The liquid crystal tank 622 includes an upper wall 622a and a lower wall 622b spaced apart from each other in the vertical direction and a side wall 622b extending vertically so as to connect the edges of the upper wall 622a and the lower wall 622b 622c.

액정 탱크(622)의 상부 벽(622a)에는 유입 포트(623), 회수 포트(624), 압력 조절 포트(625), 그리고 레벨 센싱 포트(626)가 제공된다. 유입 포트(623)에는 액정 공급부(50)의 액정 공급 부재(70)가 연결되고, 유입 포트(623)는 액정 공급 부재(70)로부터 액정을 공급받는 통로로 이용된다. 회수 포트(624)에는 액정 공급부(50)의 제 2 기포 회수 부재(80)가 연결되고, 회수 포트(624)는 액정 탱크(622) 내의 기포를 외부로 배출하는 통로로 이용된다. 압력 조절 포트(625)에는 압력 조절 모듈(640)이 연결되고, 압력 조절 포트(625)는 압력 조절 모듈(640)로부터 전달되거나 압력 조절 모듈(640)로 전달되는 기체의 통로로 이용된다. 레벨 센싱 포트(626)에는 액정 탱크(622) 내의 액정의 수위를 감지하는 레벨 센서(미도시)가 설치된다.The upper wall 622a of the liquid crystal tank 622 is provided with an inlet port 623, a recovery port 624, a pressure regulating port 625 and a level sensing port 626. The liquid supply member 70 of the liquid crystal supply part 50 is connected to the inflow port 623 and the inflow port 623 is used as a path for supplying the liquid crystal from the liquid crystal supply member 70. The second bubble collecting member 80 of the liquid crystal supply part 50 is connected to the recovery port 624 and the recovery port 624 is used as a passage for discharging the bubble in the liquid crystal tank 622 to the outside. A pressure regulating module 640 is connected to the pressure regulating port 625 and a pressure regulating port 625 is used as a passage of gas to be delivered from the pressure regulating module 640 or to the pressure regulating module 640. The level sensing port 626 is provided with a level sensor (not shown) for sensing the liquid level of the liquid crystal in the liquid crystal tank 622.

액정 탱크(622)의 하부 벽(622b)에는 액정 공급 포트들(627a,627b,627c)이 제공된다. 액정 공급 포트들(627a,627b,627c)들은 헤드(410,420,430)에 대응하는 수만큼 제공될 수 있다. 액정 공급 포트들(627a,627b,627c)은 헤드(410,420,430)로 액정을 공급하는 통로로 이용된다. 제 1 액정 공급 포트(627a)에는 제 1 액정 분배 라인(621a)의 일단이 연결되고, 제 1 액정 분배 라인(621a)의 타단은 제 1 헤드(410)에 연결된다. 제 2 액정 공급 포트(627b)에는 제 2 액정 분배 라인(621b)의 일단이 연결되고, 제 2 액정 분배 라인(621b)의 타단은 제 2 헤드(420)에 연결된다. 제 3 액정 공급 포트(627c)에는 제 3 액정 분배 라인(621c)의 일단이 연결되고, 제 3 액정 분배 라인(621c)의 타단은 제 3 헤드(430)에 연결된다.The lower wall 622b of the liquid crystal tank 622 is provided with liquid crystal supply ports 627a, 627b, and 627c. The liquid crystal supply ports 627a, 627b, 627c may be provided corresponding to the number of heads 410, 420, The liquid crystal supply ports 627a, 627b, and 627c are used as passages for supplying the liquid crystal to the heads 410, 420, and 430, respectively. One end of the first liquid crystal distribution line 621a is connected to the first liquid crystal supply port 627a and the other end of the first liquid crystal distribution line 621a is connected to the first head 410. One end of the second liquid crystal distribution line 621b is connected to the second liquid crystal supply port 627b and the other end of the second liquid crystal distribution line 621b is connected to the second head 420. One end of the third liquid crystal distribution line 621c is connected to the third liquid crystal supply port 627c and the other end of the third liquid crystal distribution line 621c is connected to the third head 430.

액정 탱크(622)는 갠트리(200)에 착탈 가능하게 결합된다. 예를 들어, 액정 탱크(622)의 측벽(622c)의 외측 면에는 브라켓(628)이 결합되고, 브라켓(628)은 체결 나사(629)에 의해 갠트리(200)에 나사 결합될 수 있다.The liquid crystal tank 622 is detachably coupled to the gantry 200. For example, a bracket 628 may be coupled to an outer surface of the side wall 622c of the liquid crystal tank 622, and a bracket 628 may be screwed to the gantry 200 by a fastening screw 629.

제 1 기포 여과 부재(630)은 액정 탱크(622) 내에 설치된다. 제 1 기포 여과 부재(630)는 액정 공급부(50)의 액정 공급 부재(70)로부터 액정 탱크(622)로 공급되는 액정 내의 기포(Bubble)를 여과한다. 제 1 기포 여과 부재(630)는 판 형상을 가지고, 액정 탱크(622)의 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 구획하도록 횡 방향으로 배치된다. 제 1 기포 여과 부재(630)의 가장자리 측면은 액정 탱크(622)의 측벽(622c)의 내측 면과 접촉한다. 제 1 기포 여과 부재(630)에는 다수의 필터링 홀들(632)이 형성된다. 필터링 홀들(632)은 기포의 투과를 차단하도록 아래로 갈수록 개구 면적이 커지는 모세관 구조로 형성될 수 있다. 필터링 홀들(632)을 통해서는 액정의 액체 및 결정 성분만 투과되고, 기포는 투과되지 않는다. 액정의 액체 및 결정 성분은 필터링 홀들(632)의 상단(632a)으로부터 하단(632b)으로 투과될 수 있으며, 역으로 필터링 홀들(632)의 하단(632b)으로부터 상단(632a)으로 투과될 수도 있다.The first bubble filtering member 630 is installed in the liquid crystal tank 622. The first bubble filtering member 630 filters bubbles in the liquid crystal supplied from the liquid crystal supply member 70 of the liquid crystal supply part 50 to the liquid crystal tank 622. The first bubble filtering member 630 has a plate shape and is disposed laterally so as to partition the inner space of the liquid crystal tank 622 into an upper space and a lower space. The edge side surface of the first bubble filtering member 630 contacts the inner surface of the side wall 622c of the liquid crystal tank 622. [ A plurality of filtering holes 632 are formed in the first bubble filtering member 630. The filtering holes 632 may be formed in a capillary structure in which the opening area becomes larger toward the bottom to block permeation of the bubbles. Only liquid and crystal components of the liquid crystal are transmitted through the filtering holes 632, and bubbles are not transmitted. The liquid and crystal components of the liquid crystal may be transmitted from the upper end 632a of the filtering holes 632 to the lower end 632b and vice versa from the lower end 632b of the filtering holes 632 to the upper end 632a .

압력 조절 모듈(640)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 압력 조절 모듈(640)은 액정 공급 모듈(620)의 액정 탱크9622)에 양압 또는 음압을 제공한다. 예를 들어, 양압은 기체 압력일 수 있고, 음압은 진공 압력일 수 있다. 압력 조절 모듈(640)은 헤드 세정 유닛(1000)에서의 노즐 퍼징(Purging)을 위해 액정 공급 모듈(620)에 양압을 제공하고, 액정의 토출 공정이 진행되지 않는 동안 헤드들(400)의 노즐들로부터 액정이 낙하하는 것을 방지하기 위해 액정 공급 모듈(620)에 음압을 제공한다. 액정 탱크(622)의 압력 조절 포트(625)에는 공압 라인(642)이 연결되며, 공압 라인(642)에는 액정 탱크(622)에 양압 또는 음압을 제공하는 압력 조절 부재(644)가 연결될 수 있다.
The pressure regulating module 640 may be coupled to the gantry 200. The pressure regulation module 640 provides a positive pressure or a negative pressure to the liquid crystal tank 9622 of the liquid crystal supply module 620). For example, the positive pressure may be a gas pressure, and the negative pressure may be a vacuum pressure. The pressure regulating module 640 provides a positive pressure to the liquid crystal supply module 620 for nozzle purging in the head cleaning unit 1000 and supplies the positive pressure to the nozzles of the heads 400 To the liquid crystal supply module 620 in order to prevent the liquid crystal from dropping. A pneumatic line 642 may be connected to the pressure regulating port 625 of the liquid crystal tank 622 and a pressure regulating member 644 may be connected to the pneumatic line 642 to provide a positive pressure or a negative pressure to the liquid crystal tank 622 .

액정 공급부(50)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 액정 토출부(10)와는 별개로 제공될 수 있다. 액정 공급부(50)는 액정 공급원(52), 가압 부재(60), 액정 공급 부재(70), 그리고 기포 회수 부재(80)를 포함한다. 액정 공급원(52)은 예를 들어 통 형상으로 제공될 수 있으며, 액정 공급원(52) 내에는 액정이 채워져 있다. 가압 부재(60)는 액정 공급원(52)에 가스 압력을 작용시킨다. 액정 공급원(52) 내의 액정은 가압 부재(60)의 가스 압력에 의해 액정 공급 부재(70)를 통해 액정 탱크(622)로 전달된다. The liquid crystal supply part 50 may be provided separately from the liquid crystal discharge part 10 as shown in Fig. The liquid crystal supply part 50 includes a liquid crystal supply source 52, a pressure member 60, a liquid crystal supply member 70, and a bubble recovery member 80. The liquid crystal supply source 52 may be provided, for example, in the form of a cylinder, and liquid crystal is filled in the liquid crystal supply source 52. The pressing member (60) applies a gas pressure to the liquid crystal supply source (52). The liquid crystal in the liquid crystal supply source 52 is transferred to the liquid crystal tank 622 through the liquid crystal supply member 70 by the gas pressure of the pressing member 60.

액정 공급 부재(70)는 액정 공급 라인(72), 파티클 여과 부재(74), 제 2 기포 여과 부재(76)를 포함한다. 액정 공급 라인(72)의 일단은 액정 공급원(52)에 연결되고, 액정 공급 라인(72)의 타단은 액정 탱크(622)의 유입 포트(623)에 연결된다. 액정 공급 라인(72) 상에는 파티클 여과 부재(74)와 제 2 기포 여과 부재(76)가 배치된다. 파티클 여과 부재(74)는 액정 공급 라인(72)을 통해 액정 탱크(622)로 공급되는 액정의 파티클을 여과한다. 제 2 기포 여과 부재(76)는 액정 공급 라인(72)을 통해 액정 탱크(622)로 공급되는 액정의 기포를 여과한다.The liquid crystal supply member 70 includes a liquid crystal supply line 72, a particle filtration member 74, and a second bubble filtration member 76. One end of the liquid crystal supply line 72 is connected to the liquid crystal supply source 52 and the other end of the liquid crystal supply line 72 is connected to the inflow port 623 of the liquid crystal tank 622. On the liquid crystal supply line 72, a particle filter member 74 and a second bubble filtration member 76 are disposed. The particle filter member 74 filters particles of liquid crystal supplied to the liquid crystal tank 622 through the liquid crystal supply line 72. The second bubble filtering member 76 filters bubbles of liquid crystal supplied to the liquid crystal tank 622 through the liquid crystal supply line 72.

기포 회수 부재(80)는 액정 탱크(622) 내의 제 1 기포 여과 부재(630)에 의해 여과된 기포를 액정 탱크(622) 내의 상부 공간으로부터 액정 공급원(52)으로 회수한다. 기포 회수 부재(80)는 기포 회수 라인(82)과 배기 부재(84)를 포함한다. 기포 회수 라인(82)의 일단은 액정 공급원(52)에 연결되고, 기포 회수 라인(82)의 타단은 액정 탱크(622)의 상부 벽(622a)에 제공된 회수 포트(624)에 연결된다. 기포 회수 라인(82) 상에는 배기 부재(84)가 배치된다. 배기 부재(84)는 액정 탱크(622) 내의 기포 회수를 위해 액정 탱크(622)의 상부 공간에 음압을 제공한다.
The bubble recovering member 80 recovers the bubbles filtered by the first bubble filtering member 630 in the liquid crystal tank 622 from the upper space in the liquid crystal tank 622 to the liquid crystal supply source 52. The bubble recovery member 80 includes a bubble recovery line 82 and an exhaust member 84. One end of the bubble recovery line 82 is connected to the liquid crystal supply source 52 and the other end of the bubble recovery line 82 is connected to the recovery port 624 provided in the upper wall 622a of the liquid crystal tank 622. An exhaust member (84) is disposed on the bubble recovery line (82). The exhaust member 84 provides negative pressure to the upper space of the liquid crystal tank 622 for recovering the bubbles in the liquid crystal tank 622.

이하에서는 액정 공급부(50)로부터 최종단인 헤드들(410,420,430)로 액정이 공급되는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of supplying liquid crystal from the liquid crystal supply unit 50 to the final-stage heads 410, 420, and 430 will be described.

가압 부재(60)가 액정 공급원(52)에 가스 압력을 제공한다. 가압 부재(60)의 가스 압력에 의해 액정 공급원(52) 내의 액정은 액정 공급 부재(70)를 통해 액정 탱크(622)로 전달된다. 이 과정에서, 파티클 여과 부재(74)는 액정의 파티클을 여과하고, 제 2 기포 여과 부재(76)는 액정의 기포를 여과한다.A pressure member (60) provides gas pressure to the liquid crystal source (52). The liquid crystal in the liquid crystal supply source 52 is transferred to the liquid crystal tank 622 through the liquid crystal supply member 70 by the gas pressure of the pressing member 60. [ In this process, the particle filter member 74 filters the particles of the liquid crystal, and the second bubble filtering member 76 filters the liquid crystal bubbles.

액정 탱크(622)로 전달된 액정의 액체 및 결정 성분은 제 1 기포 여과 부재(630)를 투과하여, 액정 탱크(622)의 하부 공간에 채워진다. 이 과정에서 제 1 기포 여과 부재(630)는 액정의 기포를 여과한다.The liquid and crystal components of the liquid crystal transferred to the liquid crystal tank 622 pass through the first bubble filtering member 630 and are filled in the lower space of the liquid crystal tank 622. In this process, the first bubble filtering member 630 filters bubbles of the liquid crystal.

상기의 과정을 통해, 액정이 액정 탱크(622) 내로 지속적으로 공급되며, 액정 탱크(622) 내의 액정의 수위는 올라간다. 액정이 수위가 올라가면서, 제 1 기포 여과 부재(630)에 의해 여과된 액정 탱크(622) 내의 기포는 액정 수위의 표면을 향해 위로 이동한다. 액정 수위가 일정 수위에 도달하면, 기포 회수 부재(80)의 배기 부재(84)가 액정 탱크(622)에 음압을 작용시키고, 음압에 의해 액정 탱크(622) 내의 기포가 회수된다. 기포 회수 부재(80)에 의해 회수된 기포는 다시 액정 공급원(52)으로 유입된다.Through the above process, the liquid crystal is continuously supplied into the liquid crystal tank 622, and the liquid crystal level in the liquid crystal tank 622 rises. The bubbles in the liquid crystal tank 622 filtered by the first bubble filtering member 630 move upward toward the surface of the liquid crystal level as the liquid crystal level rises. When the liquid crystal water level reaches a certain level, the exhaust member 84 of the bubble recovery member 80 applies a negative pressure to the liquid crystal tank 622, and bubbles in the liquid crystal tank 622 are recovered by the negative pressure. The bubbles recovered by the bubble recovery member 80 flow into the liquid crystal supply source 52 again.

액정 탱크(622)의 하부 공간에는 기포가 여과된 액정이 채워진다. 기포가 여과된 액정은 제 1 내지 제 3 액정 공급 포트들(627a,627b,627c)과 제 1 내지 제 3 액정 분배 라인(621a,621b,621c)을 통해 제 1 내지 제 3 헤드(410,420,430)에 각각 공급된다.The lower space of the liquid crystal tank 622 is filled with the liquid crystal filtered by the bubbles. The liquid crystal filtered by the bubbles is supplied to the first to third heads 410, 420 and 430 through the first to third liquid crystal supply ports 627a, 627b and 627c and the first to third liquid crystal distribution lines 621a, 621b and 621c Respectively.

이상에서 설명한 바와 같은 과정을 통해, 헤드들(410,420,430)로 공급되는 액정의 기포를 제거함으로써, 헤드들(410,420,430)의 노즐이 기포에 의해 막히는 현상을 최소화할 수 있다.
By removing the bubbles of the liquid crystal supplied to the heads 410, 420 and 430 through the process as described above, it is possible to minimize the phenomenon that the nozzles of the heads 410, 420 and 430 are blocked by the bubbles.

( 헤드 제어 유닛 )(Head control unit)

헤드 제어 유닛(700)은 각각의 헤드들(410,420,430)의 액정 토출을 제어한다. 헤드 제어 유닛(700)은 헤드들(410,420,430)에 인접하게 액정 토출부(10) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 헤드 제어 유닛(700)은 갠트리(200)의 일단에 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 헤드 제어 유닛(700)이 갠트리(200)의 일단에 배치된 경우를 예로 들어 설명하지만, 헤드 제어 유닛(700)의 위치는 이에 한정되는 것은 아니다.The head control unit 700 controls the liquid crystal discharge of each of the heads 410, 420, The head control unit 700 may be disposed in the liquid crystal discharge portion 10 adjacent to the heads 410, For example, the head control unit 700 may be disposed at one end of the gantry 200. In this embodiment, the case where the head control unit 700 is disposed at one end of the gantry 200 is described as an example, but the position of the head control unit 700 is not limited thereto.

헤드 제어 유닛(700)은, 비록 도시되지는 않았지만, 각각의 헤드들(410,420,430)에 전기적으로 연결되고, 각각의 헤드들(410,420,430)로 제어 신호를 인가한다. 각각의 헤드들(410,420,430)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수의 압전 소자(미도시)가 제공될 수 있으며, 헤드 제어 유닛(700)은 압전 소자들에 인가되는 전압을 제어하여 노즐들(미도시)의 액적 토출 량을 조절할 수 있다.The head control unit 700 is electrically connected to each of the heads 410, 420, and 430, although not shown, and applies a control signal to each of the heads 410, 420, Each of the heads 410, 420 and 430 may be provided with a number of piezoelectric elements (not shown) corresponding to the nozzles (not shown), and the head control unit 700 may control the voltage applied to the piezoelectric elements, (Not shown) can be adjusted.

종래의 액정 도포 장치는, 헤드들을 제어하는 헤드 제어부가 헤드들과는 별도로 장치의 외부에 제공되거나, 장치 내에 제공되더라도 헤드들로부터 먼 거리에 제공되므로, 헤드 제어부로부터 헤드들로의 제어 신호의 전달시 노이즈(Noise)가 발생하여 제어 신호의 왜곡이 발생하는 문제점을 가지고 있었다.The conventional liquid crystal coating apparatus is provided with a noise suppressing unit for suppressing noise when transmitting a control signal from the head control unit to the heads because the head control unit for controlling the heads is provided on the outside of the apparatus separately from the heads, (Noise) occurs and distortion of the control signal occurs.

그러나, 본 발명의 실시 예에 따른 헤드 제어 유닛(700)은 헤드들(410,420,430)이 결합되어 있는 갠트리(200) 상에 배치되므로, 헤드 제어 유닛(700)과 헤드들(410,420,430)을 연결하는 케이블의 길이가 짧아져, 헤드 제어 유닛(700)과 헤드들(410,420,430) 사이의 제어 신호 전달에 있어서 노이즈 발생에 의한 신호 왜곡을 최소화할 수 있다.
However, since the head control unit 700 according to the embodiment of the present invention is disposed on the gantry 200 to which the heads 410, 420 and 430 are coupled, the cable connecting the head control unit 700 and the heads 410, 420 and 430 The signal distortion caused by the generation of noise in the transmission of the control signal between the head control unit 700 and the heads 410, 420, and 430 can be minimized.

도 11은 도 2 및 도 3의 헤드 제어 유닛을 보여주는 도면이다. 그리고 도 12는 도 11의 제어 모듈의 사시도이고, 도 13은 도 12의 제어 모듈의 단면도이다. 도 11 내지 도 13을 참조하면, 헤드 제어 유닛(700)은 하우징(720)과 다수의 제어 모듈들(740a,740b,740c)을 포함한다. 하우징(720)은 갠트리(도 2의 도면 번호 200)의 일단 상면에 배치될 수 있다. 하우징(720)에는 다수의 제어 모듈들(740a,740b,740c)이 수용된다. 다수의 제어 모듈들(740a,740b,740c)은 헤드들(도 2의 도면 번호 410,420,430)을 각기 독립적으로 제어한다. 예를 들어, 제 1 제어 모듈(740a)은 제 1 헤드(410)를 제어하고, 제 2 제어 모듈(740b)은 제 2 헤드(420)를 제어하고, 제 3 제어 모듈(740c)은 제 3 헤드(430)를 제어한다.Fig. 11 is a view showing the head control unit of Figs. 2 and 3. Fig. FIG. 12 is a perspective view of the control module of FIG. 11, and FIG. 13 is a cross-sectional view of the control module of FIG. 11 to 13, the head control unit 700 includes a housing 720 and a plurality of control modules 740a, 740b, and 740c. The housing 720 may be disposed on one upper surface of the gantry (reference numeral 200 in FIG. 2). The housing 720 accommodates a plurality of control modules 740a, 740b, and 740c. The plurality of control modules 740a, 740b, and 740c independently control the heads (410, 420, and 430 in FIG. 2), respectively. For example, the first control module 740a controls the first head 410, the second control module 740b controls the second head 420, and the third control module 740c controls the third Thereby controlling the head 430.

각각의 제어 모듈들(740a,740b,740c)은 동일한 구성을 가지므로, 이하에서는 제 1 제어 모듈(740a)을 예로 들어 설명한다. 제 1 제어 모듈(740a)은 제어 기판들(742)과 카세트(744)를 포함한다. 제어 기판들(742)은 제어 대상인 제 1 헤드(410)에 제공된 노즐들(미도시)의 액정 토출을 제어하기 위한 회로 기판일 수 있다. 제어 기판들(742)은 제 1 헤드(410)에 제공된 압전 소자들(미도시)에 인가되는 전압을 제어하여 노즐들(미도시)의 액적 토출 량을 조절할 수 있다.Since each of the control modules 740a, 740b, and 740c has the same configuration, the first control module 740a will be described below as an example. The first control module 740a includes control boards 742 and a cassette 744. The control substrates 742 may be a circuit board for controlling the liquid crystal discharge of the nozzles (not shown) provided in the first head 410 to be controlled. The control substrates 742 may control the voltage applied to the piezoelectric elements (not shown) provided on the first head 410 to adjust the droplet discharge amount of the nozzles (not shown).

제 1 헤드(410)에 제공된 노즐들은 그룹(Group)별로 구분되어 제어될 수 있으며, 제어 기판들(742)은 그룹의 수에 대응하는 개수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 제 1 헤드(410)에 256 개의 노즐이 제공된 경우, 256 개의 노즐이 하나의 그룹으로 제어되면 제어 기판(742)은 1 개 제공될 수 있고, 128 개의 노즐이 하나의 그룹으로 제어되면 제어 기판들(742)은 2 개 제공될 수 있으며, 64 개의 노즐이 하나의 그룹으로 제어되면 제어 기판들(742)은 4 개 제공될 수 있다. 또한, 256 개의 노즐들이 모두 개별 제어된다면, 제어 기판들(742)은 256 개 제공될 수 있다.The nozzles provided in the first head 410 can be divided into groups and controlled, and the control boards 742 can be provided in a number corresponding to the number of groups. For example, when the first head 410 is provided with 256 nozzles, if 256 nozzles are controlled in one group, one control substrate 742 may be provided, and 128 nozzles may be controlled in one group Two control substrates 742 may be provided, and if 64 nozzles are controlled into one group, four control substrates 742 may be provided. Further, if all of the 256 nozzles are individually controlled, 256 control substrates 742 may be provided.

카세트(744)는 제어 기판들(742)을 수용하며, 하우징(720) 내에 제공된 프레임(722)에 슬라이딩 방식에 의해 이동되어 분리 및 삽입될 수 있다. 카세트(744)의 형상은 다양한 형상으로 제공될 수 있으며, 이하에서 설명하는 카세트(744)는 일 예에 불과하다. 카세트(744)는 평판 형상의 도어(745)를 가진다. 도어(745)의 일면, 즉 외측 면에는 손잡이부(745-1)가 제공되고, 도어(745)의 내측 면에는 기판 수용부(747)가 제공된다. 기판 수용부(747)는 측벽들(747a,747b)과 바닥벽(747c)을 가진다. 측벽들(747a,747b)은 도어(745) 내측면의 좌우 가장자리 영역에 수직하게 각각 배치되고, 바닥벽(747c)은 도어(745) 내측면의 하부 영역에 수직하게 각각 배치되며, 바닥벽(747c)은 측벽들(747a,747b)의 하단부에 연결된다. 측벽들(747a,747b)의 내측 면에는 상하 방향으로 복수 개의 슬롯들(749)이 형성되며, 슬롯들(749)에는 제어 기판들(742)이 수납된다. The cassette 744 receives the control boards 742 and can be moved and separated and inserted into the frame 722 provided in the housing 720 by a sliding method. The shape of the cassette 744 may be provided in various shapes, and the cassette 744 described below is merely an example. The cassette 744 has a plate-shaped door 745. The handle 745-1 is provided on one side of the door 745 and the substrate receiving portion 747 is provided on the inner side of the door 745. [ The substrate receiving portion 747 has side walls 747a and 747b and a bottom wall 747c. The side walls 747a and 747b are respectively disposed vertically to the left and right edge regions of the inner side of the door 745 and the bottom wall 747c is disposed perpendicularly to the lower area of the inner side surface of the door 745, 747c are connected to the lower ends of the side walls 747a, 747b. A plurality of slots 749 are vertically formed on the inner side surfaces of the side walls 747a and 747b and control substrates 742 are accommodated in the slots 749. [

제 1 헤드(410)를 제어하는 제어 기판들(742)은 하나의 카세트(744) 내에 수용되어 제 1 제어 모듈(740a)로 모듈화되고, 모듈화된 제 1 제어 모듈(740a)은 갠트리(200)에 배치된 하우징(720)에 수용된다. 제 2 제어 모듈(740b)과 제 3 제어 모듈(740c) 또한 하우징(720)에 수용된다.Control boards 742 that control the first head 410 are received in a cassette 744 and are modularized into a first control module 740a and a first modular control module 740a is coupled to the gantry 200. [ And is housed in a housing 720 disposed in the housing 720. The second control module 740b and the third control module 740c are also housed in the housing 720.

이와 같이, 개별 헤드들(410,420,430)을 제어하는 제어 기판들(742)을 각각 하나의 제어 모듈들(740,740b,740c)로 모듈화함으로써, 헤드들(410,420,430)과 이에 연결된 헤드 제어 유닛(700)의 유지 보수가 용이해진다.
By thus modulating the control boards 742 for controlling the individual heads 410, 420 and 430 into one control modules 740, 740b and 740c, the heads 410, 420 and 430 and the head control unit 700 connected thereto Maintenance becomes easy.

( 액정 토출량 측정 유닛 )(Liquid crystal discharge amount measurement unit)

액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정한다. 구체적으로, 액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430) 마다 전부의 노즐들(미도시)로부터 토출되는 액정 량을 측정한다. 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드(410,420,430)의 노즐들(미도시)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(미도시) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.The liquid crystal discharge quantity measurement unit 800 measures the liquid crystal discharge quantity of the individual heads 410, 420 and 430. Specifically, the liquid crystal discharge amount measurement unit 800 measures the amount of liquid crystal discharged from all of the nozzles (not shown) for each of the individual heads 410, 420 and 430. It is possible to macroscopically confirm the abnormality of the nozzles (not shown) of the individual heads 410, 420 and 430 through the measurement of the liquid discharge amount of the individual heads 410, 420 and 430. That is, when the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420, and 430 is out of the reference value, it is found that at least one of the nozzles (not shown) is abnormal.

액정 토출량 측정 유닛(800)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다. 액정 토출량 측정 유닛(800)은 제 1 내지 제 3 액정 토출량 측정 유닛(800a,800,800c)을 가질 수 있다. 제 1 액정 토출량 측정 유닛(800a)은 헤드(410)의 액정 토출량을 측정하고, 제 2 액정 토출량 측정 유닛(800b)은 헤드(420)의 액정 토출량을 측정하고, 제 3 액정 토출량 측정 유닛(800c)은 헤드(430)의 액정 토출량을 측정한다. 이와 달리 액정 토출량 측정 유닛(800)은 하나 제공될 수 있으며, 이 경우 액정 토출량 측정 유닛(800)은 순차적으로 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정할 수 있다. The liquid crystal discharge amount measurement unit 800 can be disposed on one side of the substrate supporting unit 100 on the base B. [ The liquid crystal discharge amount measurement unit 800 may have first to third liquid crystal discharge amount measurement units 800a, 800, and 800c. The first liquid crystal discharge amount measurement unit 800a measures the liquid crystal discharge amount of the head 410 and the second liquid crystal discharge amount measurement unit 800b measures the liquid crystal discharge amount of the head 420. The third liquid crystal discharge amount measurement unit 800c ) Measures the amount of liquid crystal discharge of the head 430. Alternatively, one liquid crystal discharge amount measurement unit 800 may be provided. In this case, the liquid crystal discharge amount measurement unit 800 may sequentially measure the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410,

헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동되어 액정 토출량 측정 유닛(800)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 액정 토출량 측정 유닛(800)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
The heads 410, 420 and 430 can be moved in the first direction I and the second direction II by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500 to be positioned at the upper portion of the liquid crystal discharge amount measurement unit 800 have. The head moving unit 500 can move the heads 410, 420 and 430 in the third direction III to adjust the vertical distance between the heads 410, 420 and 430 and the liquid crystal discharge amount measuring unit 800.

이하에서는 제 1 내지 제 3 액정 토출량 측정 유닛(800a,800,800c) 중 제 1 액정 토출량 측정 유닛(800a)을 예로 들어 설명한다. 도 14는 도 2 및 도 3의 액정 토출량 측정 유닛을 보여주는 도면이다. 도 15는 도 14의 액정 수용 부재의 평면도이다. 도 16은 도 15의 A - A' 선에 따른 단면도이다.Hereinafter, the first liquid crystal discharge quantity measurement unit 800a among the first to third liquid crystal discharge quantity measurement units 800a, 800, and 800c will be described as an example. 14 is a view showing the liquid crystal discharge amount measurement unit of Figs. 2 and 3. Fig. 15 is a plan view of the liquid crystal housing member of Fig. 16 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'in Fig.

도 14 내지 도 16을 참조하면, 액정 토출량 측정 유닛(800)은 무게 측정 부재(820), 액정 수용 부재(840), 그리고 이동 부재(860)를 포함한다. 무게 측정 부재(820)는 액정 수용 부재(840)와, 액정 수용 부재(840)로 낙하된 액정의 무게를 측정한다. 무게 측정 부재(820)로는 μg 단위의 스케일(Scale)까지 측정 가능한 전자 저울이 사용될 수 있다.14 to 16, the liquid crystal discharge amount measurement unit 800 includes a weight measurement member 820, a liquid crystal accommodation member 840, and a movable member 860. [ The weight measuring member 820 measures the weight of the liquid crystal receiving member 840 and the liquid crystal dropped onto the liquid crystal receiving member 840. As the weighing member 820, an electronic balance capable of measuring up to a scale in μg can be used.

액정 수용 부재(840)는 무게 측정 부재(820)에 놓이며, 헤드(410)로부터 토출되는 액정을 수용한다. 액정 수용 부재(840)는 용기(842)와 유동 가이드(844)를 포함한다. 용기(842)는 개방된 상부를 가지는 통 형상으로 제공될 수 있다. 구체적으로, 용기(842)는 바닥 벽(842a)과, 바닥 벽(842a)의 가장자리 둘레로부터 위 방향으로 연장된 측벽(842b)을 가진다. 측벽(842b)의 외측 면에는 걸림턱(842c)이 제공된다. 걸림턱(842c)은, 액정 수용 부재(840)가 후술할 이동 플레이트()의 홀()에 삽입되어 승하강될 때, 이동 플레이트()에 대한 액정 수용 부재(840)의 상하 방향 위치를 고정시킨다. 걸림턱(842c)의 하면은 이동 플레이트()의 홀() 내주 면(경사면)에 정합되도록 경사지게 형성된다. 용기(842)는 정전기를 방지하는 절연 재질로 구비될 수 있으며, 예를 들어 세라믹 재질로 구비될 수 있다. 용기(842)의 측벽(842b) 상부면에는 실리콘 재질의 접촉부(843)가 제공된다. 접촉부(843)는, 헤드(410)의 액정 토출을 위해 용기(842)가 승강될 때, 헤드(410)의 노즐 면과 접촉한다.The liquid crystal receiving member 840 is placed on the weighing member 820 and receives the liquid crystal discharged from the head 410. The liquid crystal housing member 840 includes a container 842 and a flow guide 844. The container 842 may be provided in a cylindrical shape having an open top. Specifically, the container 842 has a bottom wall 842a and a side wall 842b extending upwardly from the periphery of the bottom wall 842a. An engagement surface 842c is provided on the outer surface of the side wall 842b. The latching jaw 842c fixes the position of the liquid crystal housing member 840 in the vertical direction with respect to the moving plate when the liquid crystal housing member 840 is inserted into the hole of the moving plate . The lower surface of the latching jaw 842c is formed to be inclined so as to be aligned with the inner peripheral surface (inclined surface) of the hole of the moving plate. The container 842 may be made of an insulating material for preventing static electricity, and may be made of, for example, a ceramic material. A contact portion 843 made of a silicon material is provided on the upper surface of the side wall 842b of the container 842. [ The contact portion 843 contacts the nozzle face of the head 410 when the container 842 is raised and lowered for liquid crystal discharge of the head 410. [

유동 가이드(844)는 용기(842)의 바닥 벽(842a)으로부터 개방된 상부를 향하는 방향으로 돌출되며, 헤드(410)에서 토출되는 액정의 흐름을 안내한다. 유동 가이드(844)는 위 방향으로 갈수록 점점 더 작아지는 단면을 가지고, 헤드(410)의 노즐 면의 길이 방향을 따라 길게 연장된다. 예를 들어, 유동 가이드(844)의 단면은 삼각형 모양일 수 있으며, 유동 가이드(844)의 상단은 유선 형상을 가질 수 있다.The flow guide 844 protrudes from the bottom wall 842a of the vessel 842 in an open upward direction and guides the flow of the liquid crystal discharged from the head 410. The flow guide 844 has a cross section gradually getting smaller toward the upper side and extends along the longitudinal direction of the nozzle face of the head 410. For example, the cross-section of the flow guide 844 may be triangular and the top of the flow guide 844 may have a streamlined shape.

도 16에 도시된 바와 같이, 헤드(410)로부터 토출된 액정은 유동 가이드(844)의 상단으로 떨어지고, 유동 가이드(844)의 경사면을 따라 아래로 흘러 내린다. 통상적으로, 액정은 μg 단위로 토출되므로, 공기 중에 쉽게 날릴 수 있다. 그러나, 액정이 유동 가이드(844)의 경사면을 따라 흘러 내리면, 이러한 액정의 날림 현상을 방지할 수 있다.The liquid crystal discharged from the head 410 falls to the top of the flow guide 844 and flows down along the slope of the flow guide 844. As shown in Fig. Normally, since the liquid crystal is ejected in the unit of μg, it can be easily ejected in the air. However, if the liquid crystal flows down along the inclined surface of the flow guide 844, it is possible to prevent such a liquid crystal flicker phenomenon.

이동 부재(860)는 이동 플레이트(862)와, 구동기(864)를 포함한다. 이동 부재(864)는, 헤드(410)의 액정 토출 시, 헤드(410)와 액정 수용 부재(840)의 사이로 주변 기류가 유입되는 것을 차단하도록, 액정 수용 부재(840)를 상승시켜 접촉부(843)를 헤드(410)의 노즐 면에 접촉시킨다. 그리고, 이동 부재(860)는, 액정 토출량의 측정 시, 액정이 수용된 액정 수용 부재(840)를 하강시켜 무게 측정 부재(820) 상에 내려 놓는다.Moving member 860 includes a moving plate 862 and a driver 864. The movable member 864 moves the liquid crystal accommodating member 840 upward so as to block inflow of ambient air flow between the head 410 and the liquid crystal accommodating member 840 at the time of liquid crystal discharge of the head 410, ) Is brought into contact with the nozzle face of the head (410). When the liquid crystal discharge amount is measured, the movable member 860 moves down the liquid crystal housing member 840 containing the liquid crystal and places it on the weight measuring member 820.

이동 플레이트(862)는 무게 측정 부재(820)의 상부에 수평하게 배치된다. 이동 플레이트(862)에는 액정 수용 부재(840)의 용기(842)가 삽입되도록 홀(861)이 관통 형성된다. 홀(861)은 무게 측정 부재(820)의 중심에 정렬되도록 형성된다. 홀(861)은 개구 면적이 아래로 가면서 작아지도록 경사지게 형성된다. 이동 플레이트(862)의 승하강 시, 홀(861)의 경사진 내주 면은 용기(844)의 걸림턱(842c)의 경사진 하면에 정합된다. 걸림턱(842c)의 경사진 하면이 홀(861)의 경사진 내주 면에 정합되면, 용기(842)가 무게 측정 부재(820)의 중심에 정렬된다.The moving plate 862 is disposed horizontally on top of the weighing member 820. A hole 861 is formed through the moving plate 862 such that the container 842 of the liquid crystal housing member 840 is inserted. The hole 861 is formed to align with the center of the weighing member 820. The hole 861 is formed so as to be inclined so that the opening area becomes smaller as it goes down. The inclined inner circumferential surface of the hole 861 is aligned with the inclined lower surface of the engaging protrusion 842c of the container 844 when the moving plate 862 ascends and descends. The container 842 is aligned with the center of the weighing member 820 when the inclined lower surface of the catching jaw 842c is aligned with the inclined inner circumferential surface of the hole 861. [

구동기(864)는 이동 플레이트(862)를 승하강시킨다. 구동기(864)는 실린더와 같은 직선 구동 부재로 제공될 수 있으며, 실린더의 이송 축은 이동 플레이트(862)에 결합된다.
The actuator 864 moves the movable plate 862 up and down. The actuator 864 may be provided with a linear drive member such as a cylinder, and the transfer axis of the cylinder is coupled to the moving plate 862. [

도 17은 액정 토출량 측정 유닛의 동작을 보여주는 도면이다. 도 14와 도 17을 참조하면, 액정 수용 부재(840)는 이동 플레이트(862)의 홀(861)에 삽입된 상태로 무게 측정 부재(820) 상에 놓인다. 이 상태에서, 구동기(864)가 이동 플레이트(862)를 승강시키면, 이동 플레이트(862)의 홀(861)에 형성된 경사면과 용기(842)의 걸림턱(842c)의 경사진 하면이 서로 정합되어, 용기(842)의 중심이 무게 측정 부재(820)의 중심에 정렬된다. 구동기(864)는, 용기(842) 상단의 접촉부(843)가 헤드(410)의 노즐 면에 접촉되도록, 이동 플레이트(862)를 추가로 상승시킨다. 헤드(410)의 노즐 면과 용기(842) 상단의 접촉부(843)가 접촉되면, 헤드(410)로부터 토출되는 액정이 주변 기류의 영향을 받지 않고 용기(842) 내로 낙하할 수 있다. 용기(842)로 낙하한 액정은 유동 가이드(844)의 경사면을 타고 흘러 내린다.17 is a view showing the operation of the liquid crystal discharge amount measurement unit. Referring to Figs. 14 and 17, the liquid crystal receiving member 840 is placed on the weighing member 820 while being inserted into the hole 861 of the moving plate 862. Fig. In this state, when the actuator 864 lifts and moves the moving plate 862, inclined surfaces formed in the holes 861 of the moving plate 862 and inclined surfaces of the engaging protrusions 842c of the container 842 are matched with each other , The center of the container 842 is aligned with the center of the weighing member 820. The actuator 864 further raises the moving plate 862 such that the abutting portion 843 at the top of the container 842 contacts the nozzle face of the head 410. [ The liquid crystal discharged from the head 410 can fall into the container 842 without being influenced by the peripheral air flow when the nozzle face of the head 410 and the contact portion 843 at the upper end of the container 842 come into contact with each other. The liquid crystal dropped onto the container 842 flows down along the inclined surface of the flow guide 844.

헤드(410)의 액정 토출이 완료되면, 구동기(864)는 이동 플레이트(862)를 하강시켜 용기(842)를 무게 측정 부재(820) 상에 내려 놓고, 추가적으로 이동 플레이트(862)를 아래로 하강시킨다. 무게 측정 부재(820)는 액정 수용 부재(840)의 무게와, 액정 수용 부재(840)에 수용된 액정의 무게가 합산된 무게를 측정한다. 측정된 무게로부터 액정 수용 부재(840)의 무게를 차감하여 액정의 토출 량을 확인하고, 이에 따라 헤드(410)의 노즐들(미도시)의 이상 유무를 거시적으로 판단한다.
Upon completion of liquid ejection of the head 410, the actuator 864 lowers the moving plate 862 to lower the container 842 onto the weighing member 820 and further moves the moving plate 862 downward . The weight measuring member 820 measures the weight of the liquid crystal accommodating member 840 and the weight of the liquid crystal contained in the liquid crystal accommodating member 840. The liquid discharge amount of the liquid crystal is checked by subtracting the weight of the liquid crystal housing member 840 from the measured weight and the presence or absence of abnormality of the nozzles (not shown) of the head 410 is determined macroscopically.

( 노즐 검사 유닛 )(Nozzle inspection unit)

노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들(410,420,430)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액정 토출량 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.The nozzle inspection unit 900 confirms whether or not the individual nozzles provided to the heads 410, 420 and 430 through the optical inspection are abnormal. When the abnormality of the macroscopic nozzle is checked by the liquid crystal discharge quantity measurement unit 800 and it is judged that there is an abnormality in the unspecified nozzle, the nozzle inspection unit 900 checks the existence of abnormality of the individual nozzle, .

노즐 검사 유닛(900)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100) 일측에 배치될 수 있다. 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
The nozzle inspection unit 900 may be disposed on one side of the substrate supporting unit 100 on the base B. [ The heads 410, 420 and 430 may be moved in the first direction I and the second direction II by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500 and may be positioned at the top of the nozzle inspection unit 900 . The head moving unit 500 can move the heads 410, 420 and 430 in the third direction III to adjust the vertical distance between the heads 410, 420 and 430 and the nozzle inspection unit 900.

도 18은 도 2 및 도 3의 노즐 검사 유닛과 헤드 세정 유닛을 보여주는 도면이다. 도 18을 참조하면, 노즐 검사 유닛(900)은 제 1 노즐 검사 부재(920), 제 1 구동 부재(940), 제 2 노즐 검사 부재(960), 그리고 제 2 구동 부재(980)를 포함한다. 제 1 노즐 검사 부재(920)는 헤드(410,420,430)의 노즐들의 액정 토출 여부, 즉 노즐 막힘 여부를 검사한다. 제 1 구동 부재(940)는 제 1 노즐 검사 부재(920)를 노즐들의 정렬 방향으로 이동시킨다. 제 2 노즐 검사 부재(960)는 노즐들의 정렬 여부를 검사한다. 제 2 구동 부재(980)는 제 2 노즐 검사 부재(960)를 노즐들의 정렬 방향으로 이동시킨다. 도 18에서, 노즐들은 제 2 방향(Ⅱ)으로 정렬되어 있다.18 is a view showing the nozzle inspection unit and the head cleaning unit of Figs. 2 and 3. Fig. 18, the nozzle inspection unit 900 includes a first nozzle inspection member 920, a first driving member 940, a second nozzle inspection member 960, and a second driving member 980 . The first nozzle inspecting member 920 inspects whether the nozzles of the heads 410, 420, and 430 have discharged liquid crystal, that is, whether the nozzles are blocked. The first driving member 940 moves the first nozzle inspection member 920 in the alignment direction of the nozzles. The second nozzle inspection member 960 checks whether or not the nozzles are aligned. The second driving member 980 moves the second nozzle inspection member 960 in the alignment direction of the nozzles. In Fig. 18, the nozzles are aligned in the second direction II.

제 1 노즐 검사 부재(920)는 배스(922), 발광부(924), 그리고 수광부(926)를 포함하다. 배스(922)는 개방된 상부를 가지는 통 형상으로 제공되며, 헤드(410,420,430)의 노즐들(미도시)로부터 토출되어 낙하하는 액정을 수용한다. 발광부(924)는 배스(922)의 상부 일측에 배치되고, 수광부(926)는 배스(922)의 상부 타측에 발광부(924)와 마주보도록 배치된다. 발광부(924)는 광 신호를 방출하고, 수광부(926)은 발광부(924)가 방출한 광 신호를 수광한다. 헤드(410,420,430)의 노즐들(미도시)로부터 토출되는 액정은 발광부(924)와 수광부(926) 사이의 영역을 통과하고, 수광부(926)로 수광되는 광량의 차이에 의해 액정의 낙하 여부가 감지될 수 있다. 액정이 정상적으로 낙하한 것으로 판단되면, 헤드(410,420,430)의 노즐들(미도시)의 막힘이 없는 것을 알 수 있다.The first nozzle inspection member 920 includes a bath 922, a light emitting portion 924, and a light receiving portion 926. The bass 922 is provided in the form of a cylinder having an open upper portion and accommodates the liquid crystal discharged from the nozzles (not shown) of the heads 410, 420 and 430 and falling. The light emitting portion 924 is disposed on one side of the upper portion of the bath 922 and the light receiving portion 926 is disposed on the other side of the upper portion of the bath 922 so as to face the light emitting portion 924. The light emitting portion 924 emits an optical signal, and the light receiving portion 926 receives the optical signal emitted by the light emitting portion 924. The liquid crystal discharged from the nozzles (not shown) of the heads 410, 420 and 430 passes through a region between the light emitting portion 924 and the light receiving portion 926 and the liquid crystal falls or falls due to the difference in amount of light received by the light receiving portion 926 Can be detected. If it is determined that the liquid crystal has dropped normally, it can be seen that the nozzles (not shown) of the heads 410, 420, and 430 are not clogged.

제 1 구동 부재(940)는 가이드 부재(942), 슬라이더(944), 그리고 구동기(946)를 포함한다. 가이드 부재(942)는 베이스(B)의 상면에 제 2 방향(Ⅱ)으로 연장된다. 슬라이더(944)에는 리니어 모터와 같은 구동기(946)가 내장될 수 있다. 슬라이더(944)는 구동기(946)에 의해 구동되고, 가이드 부재(942)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다. 슬라이더(944)에는 배스(922)가 배치되며, 슬라이더(944)의 제 2 방향(Ⅱ) 직선 이동에 의해 배스(922)가 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다. The first driving member 940 includes a guide member 942, a slider 944, and a driver 946. The guide member 942 extends on the upper surface of the base B in the second direction II. The slider 944 may include a driver 946 such as a linear motor. The slider 944 is driven by a driver 946 and is linearly moved along the guide member 942 in the second direction II. A bath 922 is disposed in the slider 944 and the bath 922 is linearly moved in the second direction II by the linear movement of the slider 944 in the second direction II.

제 2 노즐 검사 부재(960)는 프레임(962), 조명기(964), 그리고 촬영기(966)을 포함한다. 프레임(962)은 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 제 1 노즐 검사 부재(920)의 배스(922)에 인접하게 배치될 수 있다. 프레임(962)에는 조명기(964)와 촬영기(966)가 배치된다. 조명기(964)는 검사되는 헤드(410,420,430)의 노즐면에 광을 조사하고, 촬영기(966)는 조명기(964)의 광이 조사되는 헤드(410,420,430)의 노즐면을 촬영하여 노즐들의 이미지를 획득한다. 획득된 이미지로부터 노즐들이 정위치에 정렬되어 있는가의 여부를 판단한다.The second nozzle inspection member 960 includes a frame 962, a fixture 964, and a camera 966. The frame 962 may be disposed adjacent the bath 922 of the first nozzle test member 920 along the second direction II. In the frame 962, an illuminator 964 and a camera 966 are disposed. The illuminator 964 irradiates light to the nozzle faces of the heads 410, 420 and 430 to be inspected and the photographing machine 966 photographs the nozzle faces of the heads 410, 420 and 430 to which the light of the illuminator 964 is irradiated to obtain images of the nozzles . It is determined whether or not the nozzles are aligned in the predetermined position from the obtained image.

제 2 구동 부재(980)는 슬라이더(984)와, 구동기(986)를 포함한다. 슬라이더(984)에는 리니어 모터와 같은 구동기(986)가 내장될 수 있다. 슬라이더(984)는 구동기(986)에 의해 구동되고, 가이드 부재(942)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다. 슬라이더(984)에는 제 2 노즐 검사 부재(960)의 프레임(962)이 배치되며, 슬라이더(984)의 제 2 방향(Ⅱ) 직선 이동에 의해 프레임(962), 조명기(964) 및 촬영기(966)가 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다. The second driving member 980 includes a slider 984 and a driver 986. The slider 984 may include a driver 986 such as a linear motor. The slider 984 is driven by a driver 986 and is linearly moved along the guide member 942 in the second direction II. The frame 962 of the second nozzle inspecting member 960 is disposed on the slider 984 and the frame 962, the illuminator 964 and the photographing machine 966 by the linear movement of the slider 984 in the second direction Is linearly moved in the second direction II.

종래에는, 노즐 검사 유닛이 고정되고, 헤드가 노즐 검사 유닛의 상부에서 제 2 방향(Ⅱ)으로 개별 이동되면서, 헤드의 노즐 막힘 또는 노즐 정렬 상태의 검사가 진행됐다. 하지만, 헤드가 개별 이동되는 구조에서는 헤드의 이동 거리가 제한될 수 있기 때문에, 종래의 구조에서는 노즐 검사가 제대로 진행될 수 없는 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명은 노즐 검사 유닛(900)을 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동시키는 구조를 가지므로, 노즐 검사를 용이하게 진행할 수 있다.Conventionally, the nozzle inspecting unit is fixed, and the head is individually moved in the second direction (II) from the top of the nozzle inspecting unit, and the nozzle clogging or nozzle alignment state of the head is checked. However, since the movement distance of the head can be limited in the structure in which the heads are individually moved, there is a problem that the nozzle inspection can not proceed properly in the conventional structure. However, since the present invention has a structure in which the nozzle inspection unit 900 is linearly moved in the second direction II, nozzle inspection can be easily performed.

상기의 예에서는, 제 1 노즐 검사 부재(920)와 제 2 노즐 검사 부재(960)가 독립적으로 구동되는 경우를 설명하였다. 그러나, 도 19에 도시된 바와 같이, 제 1 노즐 검사 부재(920)와 제 2 노즐 검사 부재(960)는 하나의 공통된 구동 부재(990)에 의해 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동될 수 있다.
In the above example, the case where the first nozzle inspecting member 920 and the second nozzle inspecting member 960 are independently driven has been described. 19, the first nozzle inspecting member 920 and the second nozzle inspecting member 960 can be linearly moved in the second direction II by one common driving member 990 .

( 헤드 세정 유닛 )(Head cleaning unit)

헤드 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 헤드들(410,420,430)의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 헤드들(410,420,430)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.The head cleaning unit 1000 performs a purging process and a suction process. The purging process is a process of spraying a part of the liquid crystal housed inside the heads 410, 420, and 430 at a high pressure. The suction process is a process of sucking and removing the liquid crystal remaining on the nozzle surface of the heads 410, 420 and 430 after the purging process.

헤드 세정 유닛(1000)은 배스(922), 액정 흡입 부재(1020), 그리고 회수 부재(1040)를 포함한다. 헤드 세정 유닛(1000), 그리고 노즐 검사 유닛(900)의 제 1 노즐 검사 부재(940)는 하나의 배스(922)를 공통으로 사용할 수 있다. 이 경우,배스(922)는 헤드들(410,420,430)의 퍼징 공정 중 토출되는 액정을 수용할 수 있으며, 또한 헤드들(410,420,430)의 노즐의 액정 토출 여부, 즉 노즐 막힘 여부의 검사시 토출되는 액정을 수용할 수 있다.The head cleaning unit 1000 includes a bath 922, a liquid crystal suction member 1020, and a recovery member 1040. The head cleaning unit 1000 and the first nozzle inspection member 940 of the nozzle inspection unit 900 can commonly use one bath 922. [ In this case, the bass 922 can receive the liquid crystal discharged during the purging process of the heads 410, 420 and 430, and can detect the liquid crystal discharged when the nozzles of the heads 410, 420 and 430 are discharged, Can be accommodated.

액정 흡입 부재(1020)는 배스(922)의 외벽에 결합될 수 있으며, 헤드들(410,420,430)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 배스(922)로 유입시킨다.The liquid crystal suction member 1020 can be coupled to the outer wall of the bath 922 and draws the liquid crystal remaining on the nozzle face of the heads 410, 420 and 430 into the bath 922.

회수 부재(1040)는 배스(922)로부터 배출되는 액정을 회수한다. 회수 부재(1040)는 하우징(1042)과, 회수통(1044)를 포함한다. 하우징은(1042)은 배스(922)의 하부에 배치되며, 회수통(1044)를 수용하는 공간을 제공한다. 회수통(1044)은 하우징(1042)의 공간에 슬라이딩 방식에 의해 이동되어 분리 및 삽입되고, 배스(922)로부터 배출되는 액정을 회수한다. 회수된 액정은 재활용될 수 있다.The recovery member 1040 recovers the liquid crystal discharged from the bath 922. The recovery member 1040 includes a housing 1042 and a recovery cylinder 1044. The housing 1042 is disposed at the bottom of the bath 922 and provides a space for accommodating the collection bins 1044. The recovery bottle 1044 is moved and separated and inserted into the space of the housing 1042 by a sliding method to recover the liquid crystal discharged from the bath 922. The recovered liquid crystal can be recycled.

이와 같이, 헤드 세정 공정(퍼징 공정 및 흡입 공정)과 노즐 검사 공정(노즐 막힘 검사 공정)의 진행 중 헤드들(410,420,430)로부터 토출되거나 제거된 액정이 하나의 배스(922)로 수용된 후 회수통(1044)으로 회수되므로, 설비 사용의 효율성이 증대될 수 있다.
In this way, liquid crystals ejected or removed from the heads 410, 420 and 430 during the course of the head cleaning process (purging process and suction process) and the nozzle inspection process (nozzle clogging process) are received in one bath 922, 1044), the efficiency of use of the facility can be increased.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
B: 베이스 100: 기판 지지 유닛
200: 갠트리 300: 갠트리 이동 유닛
400: 헤드 500: 헤드 이동 유닛
600: 액정 공급 유닛 700: 헤드 제어 유닛
800: 액정 토출량 측정 유닛 900: 노즐 검사 유닛
1000: 헤드 세정 유닛Description of the Related Art
B: Base 100: Substrate supporting unit
200: Gantry 300: Gantry moving unit
400: Head 500: Head moving unit
600: liquid crystal supply unit 700: head control unit
800: liquid crystal discharge quantity measurement unit 900: nozzle inspection unit
1000: Head cleaning unit

Claims

In the process liquid ejecting apparatus of the inkjet method,
A substrate supporting unit on which a substrate is placed and which is linearly movable in a first direction;
A gantry provided on the movement path of the substrate supporting unit, the gantry being moved in the first direction; And
A plurality of heads coupled to the gantry so as to be movable in a longitudinal direction of the gantry and discharging the liquid crystal by an inkjet method;
And a first moving unit for moving each of the plurality of heads in the longitudinal direction of the gantry,
The first mobile unit
Guide rails provided on the front surface of the gantry along the longitudinal direction of the gantry;
Sliders movably installed along the guide rails;
Movement plates coupled to the sliders and to which the heads are respectively installed; And
Wherein the moving plate is installed on one side of the moving plates opposite to the moving plate, and when one of the moving plates is in an inoperative state, And a fixing member capable of mutually fixing the plurality of processing liquids to each other.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the fixing member includes an electromagnet or a locking device.