KR101434550B1 - Fixing jig for processing of pellicleframe - Google Patents
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Abstract
본 발명은 펠리클 프레임 가공용 고정 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 알루미늄 소재의 펠리클 프레임 박판을 머시닝 센터의 작업대에 고정되게 고정하는 고정판에 고정하여 펠리클 프레임 박판의 외측면(외경)을 먼저 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻음에 있어서 페리클 프레임 박판을 고정하는 고정지그의 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생 가능한 스크래치 등을 방지하기 위해서 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것으로서,
본 발명의 구체적인 해결적 수단은,
"사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 안착할 수 있는 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)과 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)와 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 것에 있어서, 상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성되어 있는 것과,
상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성한 것"을 구성적 특징 함으로서, 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임에 고정지그를 착탈하는 과정에서 발생할 우려가 있는 스크래치를 미연에 방지하기 위해 고정지그의 프레임 전후에 가이드핀을 고정판의 핀홈에 결합토록 함으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생가능한 스크래치를 미연에 방지하여 작업의 간편성 및 신속성과 더불어 불량율의 최소화를 이룰 수 있도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.The present invention relates to a fixing jig for pellicle frame processing, and more particularly, to a fixing jig for pellicle frame processing, in which an aluminum pellicle frame to be machined is fixed to a fixing plate fixedly fixed to a work table of a machining center, In order to prevent scratches and the like which may occur on the outer surface of the pellicle frame thin plate and the processed pellicle frame when the fixing jig for fixing the thin plate of the pellicle frame is attached and detached in obtaining the pellicle frame by cutting the inner side (inner diameter) The present invention relates to a fixing jig for pellicle frame processing,
A concrete solution means of the present invention is that,
There are a plurality of seating portions 210 on which a plurality of stacked pellicle frame thin plates 100 on a square shape can be seated and a bolt groove 211 is formed on the inner periphery with respect to the center point C of the seating portion 210. [ A fixing plate 200 having an engaging groove 212 for engaging and disengaging the fixing jig 300 is formed at the outer peripheral end of the seating part 210 and a coupling A fixing jig 300 in which a hole 310 is formed in the outer frame 320 and an insertion hole 330 is formed in the center to insert the pellicle frame thin plate 100 and a bolt hole The pellicle frame thin plate 100 having the punched holes 110 formed therein is detachably coupled to the mounting portion 210 of the fixing plate 200. The mounting portion 210 is formed at the outer peripheral end of the mounting portion 210 of the fixing plate 200, In the coupling groove 212, the coupling groove 212 is formed in a straight line with the front and rear coupling groove 212, A plurality of guide pins 340 are formed on the front and rear sides of the frame 320 of the fixing jig 300 so as to be aligned with the pin grooves 213,
And a gap 400 is formed between the inner side surface of the fixing jig 300 and the outer side surface of the pellicle frame thin plate 100. The pellicle frame thin plate and the fixed pellicle frame are provided with a fixing jig In order to prevent scratches that might occur during the process, the guide pins are fixed to the pin grooves of the fixing plate before and after the frame of the fixing jig to prevent scratches on the outer surfaces of the pellicle frame plate and the processed pellicle frame So that it is possible to achieve the simplicity and the quickness of the defect and the minimization of the defect rate.
Description
본 발명은 펠리클 프레임 가공용 고정 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 알루미늄 소재의 펠리클 프레임 박판을 머시닝 센터의 작업대에 고정되게 고정하는 고정판에 고정하여 펠리클 프레임 박판의 외측면(외경)을 먼저 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻음에 있어서 페리클 프레임 박판을 고정하는 고정지그의 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생 가능한 스크래치 등을 방지하기 위해서 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것이다.
The present invention relates to a fixing jig for pellicle frame processing, and more particularly, to a fixing jig for pellicle frame processing, in which an aluminum pellicle frame to be machined is fixed to a fixing plate fixedly fixed to a work table of a machining center, In order to prevent scratches and the like which may occur on the outer surface of the pellicle frame thin plate and the processed pellicle frame when the fixing jig for fixing the thin plate of the pellicle frame is attached and detached in obtaining the pellicle frame by cutting the inner side (inner diameter) To a fixing jig for pellicle frame processing.
일반적으로 IC, LSI 등의 직접회로의 제조 및 액정 표시판의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시용 원판에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 포토마스크와 레티클에는 노광되는 패턴 상에 분진 등의 이물질이 부착되거나, 포토마스크와 레티클 상에 이물질이 부착되어 노광 시에 이물질의 그림자가 투영되는 것을 방지하기 위해 펠리클을 장착하여 노광한다.Generally, in the manufacture of integrated circuits such as ICs and LSIs and the manufacture of liquid crystal display panels, foreign substances such as dust are adhered to a pattern to be exposed in a photomask and a reticle used for forming a pattern on a semiconductor wafer or a liquid crystal display original plate Alternatively, a foreign substance is adhered to the photomask and the reticle, and a pellicle is mounted and exposed to prevent shadows of foreign matter from being projected upon exposure.
즉, 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다.That is, the pellicle film attached to the pellicle frame is attached to the top and bottom of the photomask on which a certain circuit pattern is formed to protect the circuit pattern formed on the photomask, and is used to reduce defects when impurities such as dust adhere to form a pattern Particularly Projection Printing Systems, which form images on photosensitive substrates or wafers, are particularly suitable for exposing photoresist-coated semiconductor wafers in the manufacture of integrated circuits.
이러한 시스템은 통상적으로 표면에 형성되는 불투명 및 투명 영역의 패턴(pattern)이 있는 투명기판을 갖는 포토마스크 또는 초점판(이후, 마스크라 함), 마스크를 통하여 웨이퍼에 가시 광선 또는 UV와 같은 방사에너지의 비임(beam)을 접속시키기 위한 조사(illuminating)장치, 웨이퍼 상 또는 LCD회로나 PDP 회로 상에 마스크 패턴의 초점이 맞은 영상을 형성하는 광학장치 및 마스크의 표면상에 초점이 맞지 않도록 먼지 입자의 영상을 유지시키는 작용을 하는 것이다.Such a system typically includes a photomask or a focus plate (hereinafter referred to as a mask) having a transparent substrate with a pattern of opaque and transparent regions formed on the surface, a radiation energy such as visible light or UV An optical device for forming a focused image of the mask pattern on a wafer or on an LCD circuit or a PDP circuit and an optical device for forming an image of the dust particle It works to maintain the image.
펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시키는 표면상에서 분산될 것이다.The pellicle film is a thin, light-permeable film supported on a pellicle frame. Normally, the pellicle frame is attached to the mask. The optical film is separated from the mask surface by a distance and attached to the other end of the pellicle frame. So that it adheres onto the pellicle membrane instead of the dust particles which can be deposited on the mask and visible on the wafer, so that the shape of the dust will disperse on the surface forming the pattern.
결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다.As a result, when the pellicle film is used in a typical perspective printing system, one or more dust particles serve to prevent pattern formation of a given wafer, an LCD circuit pattern, a color filter pattern, or a PDP circuit.
상기와 같은 페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것이다.The frame of the above-mentioned pellicle is produced by precisely machining a thin plate of aluminum material to a predetermined thickness on both sides and machining the outer surface (outer diameter) of the thin plate to a predetermined size in a milling machine first, then machining it in a machining center, After machining, the inner surface (inner diameter) is cut to obtain a pellicle frame.
상기 내경가공에 있어서, 펠리클 프레임 박판을 작업대의 고정판에 고정하고, 상기 박판의 외부 모서리 등 외측면을 고정한 후 가공되는데, 이때 펠리클 프레임 박판을 작업대에 고정하는 부재를 필요로 한다.In the inner diameter machining, a member for fixing the thin plate of the pellicle frame to the work table is required after fixing the thin plate of the pellicle frame to the fixing plate of the work table and fixing the outer side such as the outer edge of the thin plate.
이와 같이 펠리클 프레임 박판을 고정하기 위한 고정지그는 일반적으로 공지된 기술이나, 종래의 고정지그는 단순히 작업대의 고정판에 펠리클 프레임 박판에 구비된 볼트공에 볼트로 고정한 다음 상기 펠리클 프레임 박판의 외주에 상기 박판의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 숙련된 숙련공에 의해 상기 고정지그를 안착한 후 고정지그를 볼트등으로 고정하고 가공한 후 상기 고정지그를 고정한 볼트를 해지하여 고정지그를 제거하도록 하는 것으로서 종래에는 고정지그의 착탈시 부주의 또는 미숙련으로 인해 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 스크래치를 발생하는 경우가 비일비재하고 이로 인해 상기 스크래치를 제거하는 공정을 추가로 하여야 하거나 또는 불량율이 증가하는 문제점이 있었다.
The fixing jig for fixing the pellicle frame thin plate is generally known, but the conventional fixing jig is simply fixed to the fixing plate of the work table by bolts to the bolt holes provided in the thin plate of the pellicle frame, The fixing jig is fixed by a skilled artisan so as not to cause scratches on the outer surface of the thin plate, and then the fixing jig is fixed with a bolt or the like, and then the bolt fixing the fixing jig is released to remove the fixing jig. There is a case where scratches are generated on the outer surface of the pellicle frame sheet and the processed pellicle frame due to carelessness or inadequacy when the fixing jig is attached or detached, and thus the scratch must be removed, .
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 고정지그를 착탈시 스크래치 발생을 방지하기 위해 고정지그 저면 전후에 각각 복수개의 가이드핀을 형성하고 고정판에 상기 가이드핀이 삽입 가능한 핀홈을 형성하여 고정지그 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 펠리클 프레임의 외측면에 고정지그가 충돌 등으로 인한 스크래치를 미연에 방지하여 불량율을 최소화하기 위한 펠리클 프레임 가공용 고정지그를 제공하고자 함에 본 발명의 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a pellicle frame and a pellicle frame which have a plurality of guide pins on front and rear sides of a fixing jig to prevent scratches, To provide a fixing jig for pellicle frame processing in which pinch grooves into which the guide pins can be inserted are formed to minimize scratches caused by collision of the fixing jig on the outer surface of the pellicle frame thin plate and pellicle frame when the fixing jig is detached, The present invention has the object of the present invention.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 구체적인 해결적 수단은,In order to achieve the above object,
"사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판을 안착할 수 있는 안착부가 다수개 존재하며 상기 안착부의 중앙지점을 기준으로 내주에 볼트홈이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부의 외주 끝단에는 고정지그를 착탈 결합하기 위한 결합홈이 형성되어 있는 고정판과 상기 결합홈과 일치되는 결합공이 외곽 프레임에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판이 삽입되도록 삽입공이 형성된 고정지그와 상기 볼트홈과 일치하는 볼트공이 천공된 펠리클 프레임 박판을 상기 고정판의 안착부에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 것에 있어서,A plurality of pellicle frames laminated on a quadrangular shape and having a plurality of pellet frame plates for mounting thereon a bolt groove are formed in the inner periphery with reference to a central point of the pellicle frame and a fixing jig is attached and detached at the outer peripheral end of the pellicle frame, A fixing jig formed with an engaging groove for engaging with the engaging groove, a fixing jig formed with an engaging hole cooperating with the engaging groove and having an insertion hole formed at an outer frame to insert the thin plate of the pellicle frame, Wherein the frame thin plate is detachably coupled to the seating portion of the fixing plate,
상기 고정판의 안착부 외주 끝단에 형성된 결합홈에서 전후 결합홈과 일직선상에서 결합홈과 교호로 별도의 핀홈을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈과 일치되도록 고정지그의 프레임 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀이 형성되어 있는 것과,A plurality of separate pin grooves alternating with the engaging grooves in a straight line with the front and rear engaging grooves in the engaging grooves formed at the outer circumferential end of the seating portion of the fixing plate are formed respectively on the front and rear sides of the fixing jig so as to coincide with the pin grooves, Is formed,
상기 고정지그의 내측면과 펠리클 프레임 박판의 외측면사이에 갭을 형성한 것"을 구성적 특징으로 함으로서 상기의 목적을 달성할 수 있다.
And a gap is formed between the inner surface of the fixing jig and the outer surface of the pellicle frame thin plate.
상기와 같이 구성된 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그는 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임에 고정지그를 착탈하는 과정에서 발생할 우려가 있는 스크래치를 미연에 방지하기 위해 고정지그의 프레임 전후에 가이드핀을 고정판의 핀홈에 결합토록 함으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생가능한 스크래치를 미연에 방지하여 작업의 간편성 및 신속성과 더불어 불량율의 최소화를 이룰 수 있도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.
The fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention having the above-described structure is characterized in that a guide pin is fixed to a fixing plate before and after the frame of the fixing jig to prevent scratches, which may occur in the process of attaching and detaching the fixing jig to the thin plate of the pellicle frame and the processed pellicle frame, The pellicle frame thin plate and the machined pellicle frame can be prevented from scratching on the outer side thereof, so that the simplification and quick operation of the work can be achieved and the defect rate can be minimized.
이상에서 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 수 있을 것이다.
While the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various changes and modifications may be possible without departing from the scope of the invention.
도 1은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 사시도,
도 2는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 저면 사시도,
도 3은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 적용되는 고정판의 사시도 및 일부 확대 단면도,
도 4는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 7은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합한 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 8은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 의해 제조된 가공된 펠리클 프레임의 사시도이다.1 is a perspective view of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention,
2 is a bottom perspective view of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention,
3 is a perspective view and a partially enlarged cross-sectional view of a fixing plate applied to a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention,
4 is a perspective view showing a state in which a thin plate of a pellicle frame is fixedly coupled to a fixing plate in a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention,
5 is a perspective view showing a state in which a fixing jig is fixed after fixing a thin plate of a pellicle frame to a fixing plate in a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention,
FIG. 6 is a sectional view showing a main part of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, in which a fixing jig is engaged after fixing a thin plate of a pellicle frame to a fixing plate,
FIG. 7 is a sectional view showing a main part of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, in which a fixing jig is fixed after fixing a thin plate of a pellicle frame to a fixing plate,
8 is a perspective view of a processed pellicle frame produced by a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention.
이하, 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 대하여 도면과 함께 구체적인 구성 및 작용에 대하여 상세히 설명하고자 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in detail with reference to the drawings and specific constructions and operations thereof with reference to the drawings.
도 1은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 사시도이며, 도 2는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 저면 사시도이고, 도 3은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 적용되는 고정판의 사시도 및 일부 확대 단면도이며, 도 4는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합하는 상태를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 요부 단면도이고, 도 7은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합한 상태를 나타낸 요부 단면도이며, 도 8은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 의해 제조된 가공된 펠리클 프레임의 사시도이다.
FIG. 1 is a perspective view of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, FIG. 2 is a bottom perspective view of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view and partially enlarged cross- FIG. 4 is a perspective view illustrating a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, in which a thin plate of a pellicle frame is fixedly coupled to a fixing plate, FIG. 5 is a perspective view of a fixing jig for fixing a pellicle frame, FIG. 6 is a sectional view showing a main part of a fixing jig for pellicle frame processing according to the present invention, in which a fixing jig is engaged after fixing a thin plate of a pellicle frame to a fixing plate, and FIG. 7 is a cross- Fixing jig for frame processing In the pellicle frame is a partial cross-sectional view showing the combination of the fixing jig after fixing the thin plate bonded to the stationary plate, Figure 8 is a perspective view of a pellicle frame, the processing made by the present inventors pellicle frame processing fixing jig.
이하, 본 발명의 구성에 대하여 설명하면,Hereinafter, the configuration of the present invention will be described.
우선, 본 발명의 구체적인 구성을 설명하기 전에 일반적인 기술내용을 설명하면,First, before describing a specific configuration of the present invention,
페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것으로서 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)의 상기 안착부(210)에 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 안착 고정하고 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)를 고정판(200)에 고정한 후 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면과 내측면을 가공하도록 구성된 것이다.The frame of the pellicle is obtained by machining a thin sheet of aluminum material to a predetermined thickness on both sides and machining the outer surface (outer diameter) of the thin plate to a predetermined size in a milling machine first, then machining it in a machining center, The pellicle frame is obtained by cutting the inner side surface (inner diameter) to obtain a plurality of the
상기와 같은 종래기술에서 상기 고정지그(300)의 삽입홈(330) 내측으로 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 정확하게 상기 고정지그(300)를 결합하고 가공인 끝난 상태의 가공된 펠리클 프레임(P)으로 부터 고정지그(300)를 탈거함에 있어 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 정확하게 탈거하기 위해서 본 발명은, 상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성토록 하는 구성으로서 구체적으로 말하면 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 결합홈(212)과 결합공(310)의 일부를 핀홈(213)과 가이드핀(340)으로 대체하여 구성함으로서 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 고정지그(300)을 고정판(200)에서 착탈시 우선 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가이드핀(340)과 핀홈(213)을 일치시켜 결합하면 자연스럽게 결합공(310)과 결합홈(212)이 일치되며 이로서 상기 결합홈(212)에 일치된 결합공(310)에 도 5에 도시된 바와 같이 볼트(B)로 고정하면 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P) 외측면에 스크래치를 발생치 아니하면서 안전하게 고정지그(300)을 착탈 가능하도록 할 수 있는 것이다.The
바람직하게는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성토록 함으로서 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면과 고정지그(300)가 맞닿지 아니하므로 외측면의 스크래치를 더욱 발생치 아니할 수 있도록 한 것이다.
7, a
100 : 펠리클 프레임 박판 110 : 볼트공
200 : 고정판 210 : 안착부
211 : 볼트홈 212 : 결합홈
213 : 핀홈 300 : 고정지그
310 : 결합공 320 : 프레임
330 : 삽입공 340 : 가이드핀
400 : 갭 B : 볼트
C : 중앙지점 P : 가공된 펠리클 프레임100: Pellicle frame thin plate 110: Bolt hole
200: fixed plate 210:
211: bolt groove 212: engaging groove
213: Pin groove 300: Fixing jig
310: engaging hole 320: frame
330: insertion hole 340: guide pin
400: gap B: bolt
C: center point P: machined pellicle frame
Claims (2)
상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 가공용 고정지그.
There are a plurality of seating portions 210 on which a plurality of stacked pellicle frame thin plates 100 in a square shape can be seated and a bolt groove 211 is formed on the inner periphery with respect to the center point C of the seating portion 210 And a fixing plate 200 having an engaging groove 212 for engaging and disengaging the fixing jig 300 is formed at the outer circumferential end of the seating portion 210. The engaging groove 210 is formed in a rectangular shape, A fixing jig 300 having an insertion hole 330 formed in the outer frame 320 to insert the pellicle frame 100 into the center and a bolt hole The pellicle frame thin plate 100 having the holes 110 formed therein is detachably coupled to the seating portion 210 of the fixing plate 200,
A plurality of separate pin grooves 213 are alternately formed on the front and rear sides of the engaging groove 212 formed at the outer circumferential end of the seating portion 210 of the fixing plate 200 in a direction perpendicular to the front and rear engaging grooves 212, And a plurality of guide pins (340) are formed on the front and back surfaces of the frame (320) of the fixing jig (300) so as to coincide with the pin grooves (213).
상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성한 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 가공용 고정지그.
The method according to claim 1,
Wherein a gap (400) is formed between an inner surface of the fixing jig (300) and an outer surface of the pellicle frame thin plate (100).
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| KR20230080187A (en) | 2021-11-29 | 2023-06-07 | 손성민 | Fixing jig for frame processing for aircraft container |
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- 2013-02-01 KR KR1020130011611A patent/KR101434550B1/en active IP Right Grant
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