KR101434414B1 - Apparatus for moving hanger of plating system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도금장치의 행거 이송기구에 관한 것으로서, 특히 기판이 파지되어 이송되는 행거들의 간격을 일정하게 유지시키도록 하는 도금장치의 행거 이송기구에 관한 것이다.
본 발명의 도금장치의 행거 이송기구는, 기판이 파지된 행거들간의 간격을 일정하게 유지시켜 이송시키는 도금장치의 행거 이송기구에 있어서, 이송라인을 따라 설치되어 일방향으로 이동하는 체인부재와; 상기 체인부재를 이동시키는 구동기어와; 일단이 상기 행거에 결합되고, 타단이 상기 체인부재에 걸려, 상기 체인부재의 이동에 의해 상기 행거를 일방향으로 이동시키는 걸림부재로 이루어지되, 상기 체인부재는, 양측에 이격되어 배치된 한 쌍의 제1링크부재와; 일단이 한 쌍의 상기 제1링크부재의 일단 안쪽에 배치되는 제2링크부재와; 상기 제1링크부재와 제2링크부재를 상호 결합하는 체결핀으로 이루어져, 상기 제1링크부재와 제2링크부재가 상호 교대로 배치되어 연속적으로 연결되며, 상기 제1링크부재의 외주면 및 상기 제2링크부재의 외주면에는 상기 걸림부재의 타단이 삽입되는 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a hanger conveying mechanism of a plating apparatus, and more particularly to a hanger conveying mechanism of a plating apparatus for maintaining a constant spacing of hanger to which a substrate is gripped and conveyed.
The hanger conveying mechanism of the plating apparatus according to the present invention is a hanger conveying mechanism of a plating apparatus for conveying while keeping a gap between hanger grasped by a substrate held constant, a chain member installed along the conveyance line and moving in one direction; A drive gear for moving the chain member; And a retaining member which is engaged with the hanger at one end and which is hooked to the chain member and which moves the hanger in one direction by movement of the chain member, A first link member; A second link member which is disposed at one end inside one end of the pair of first link members; Wherein the first link member and the second link member are alternately arranged and connected to each other, and the outer circumferential surface of the first link member and the outer circumferential surface of the first link member, And the engaging step is formed on the outer circumferential surface of the second link member to insert the other end of the engaging member.

Description

도금장치의 행거 이송기구 { Apparatus for moving hanger of plating system }[0001] Apparatus for moving hanger of plating system [0002]

본 발명은 도금장치의 행거 이송기구에 관한 것으로서, 특히 기판이 파지되어 이송되는 행거들의 간격을 일정하게 유지시키도록 하는 도금장치의 행거 이송기구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a hanger conveying mechanism of a plating apparatus, and more particularly to a hanger conveying mechanism of a plating apparatus for maintaining a constant spacing of hanger to which a substrate is gripped and conveyed.

수직연속 도금장치는 인쇄회로기판과 같은 평판 형상의 피도금물을 전기도금하기에 적합한 장치로서, 이송방향을 따라 기다란 도금조 내에 피도금물을 침지한후 피도금물의 침지상태를 유지한 채로 연속적으로 이송시켜가면서 전기를 공급하여 도금하는 방식으로 되어있다.The vertical continuous plating apparatus is an apparatus suitable for electroplating a flat-shaped object to be plated, such as a printed circuit board, in which the object to be plated is immersed in an elongated plating vessel along the transfer direction, And the plating is carried out by supplying electricity while continuously conveying.

그리고 피도금물은 수직으로 매달린 채로 이송되면서 작업이 이루어진다.Then, the work is carried out while being suspended vertically.

도 1은 공개특허공보 제10-2011-0085281호에 게재되어 있는 종래의 도금장치의 행거 이송기구이다.1 is a hanger conveying mechanism of a conventional plating apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2011-0085281.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 행거 이송기구는, 피도금물(W)의 이송경로(D)를 따라 설치되어 구동모터에 의해 무한궤도 방식으로 기동되는 체인부재(1)와, 상기 체인부재(1)의 상부에 연결되어 상기 체인부재(1)와 동일한 궤도로 기동되는 랙기어(3)와, 상기 이송경로(D)를 따라 설치되는 가이드레일(7)과, 평판 형태의 피도금물(W)을 수직으로 매단 상태에서 상기 가이드레일(7)을 따라 기동 가능하게 설치되는 행거(13)와, 상기 체인부재(1)에 전달되는 구동력을 상기 행거(13)에 일방향으로만 전달하기 위한 수단으로서 상기 행거(13)에 설치되는 래칫(33)으로 이루어진다.1, the conventional hanger conveying mechanism includes a chain member 1 installed along a conveying path D of a workpiece W to be driven in an endless track manner by a driving motor, A rack gear 3 connected to an upper part of the chain 1 and started in the same track as the chain member 1, a guide rail 7 installed along the feeding path D, A hanger 13 installed so as to be able to move along the guide rail 7 in a vertically tilted state of the hanger 13 and to transmit the driving force transmitted to the chain member 1 to the hanger 13 in only one direction And a ratchet 33 provided on the hanger 13 as a means for releasing the hanger.

이러한 종래의 행거 이송기구는, 래칫(33)과 결합하여 상기 행거(13)를 일방향으로 이동시키는 랙기어(3)가 상기 체인부재(1)와 별도로 구성되어 상기 체인부재(1)의 상부에 결합되어 있다.The conventional hanger conveying mechanism includes a rack gear 3 which is engaged with the ratchet 33 and moves the hanger 13 in one direction and is formed separately from the chain member 1, Lt; / RTI >

따라서, 상기 체인부재(1)와 랙기어(3)를 별개로 제작 및 구입하여야 하기 때문에, 비용이 많이 소요되고 그에 따른 설치작업량도 많아지게 된다.Therefore, since the chain member 1 and the rack gear 3 must be manufactured and purchased separately, the cost is increased and the installation workload accordingly increases.

또한, 상기 랙기어(3)는 다수개로 이루어져 있는데 상호 이격되어 있어, 상기 체인부재(1)를 장시간 사용하여 늘어난 경우 상기 랙기어(3)간의 이격거리가 더 벌어져 행거(13)들간의 간격이 일정하지 못하게 되는 단점이 있다.The rack gears 3 are spaced apart from each other and spaced apart from each other when the chain member 1 is stretched for a long time so that the distance between the hanger members 13 There is a disadvantage that it can not be constant.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 행거를 이동시키는 구성의 구조를 간단하여 제작비용 및 설치작업량을 감소시킬 수 있고, 체인부재가 늘어나더라도 행거들간의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있는 도금장치의 행거 이송기구를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a hanger lifting device capable of reducing the manufacturing cost and the installation work amount by simplifying the structure of the structure for moving the hanger, It is an object of the present invention to provide a hanger transfer mechanism of a plating apparatus.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 도금장치의 행거 이송기구는, 기판이 파지된 행거들간의 간격을 일정하게 유지시켜 이송시키는 도금장치의 행거 이송기구에 있어서, 이송라인을 따라 설치되어 일방향으로 이동하는 체인부재와; 상기 체인부재를 이동시키는 구동기어와; 일단이 상기 행거에 결합되고, 타단이 상기 체인부재에 걸려, 상기 체인부재의 이동에 의해 상기 행거를 일방향으로 이동시키는 걸림부재로 이루어지되, 상기 체인부재는, 양측에 이격되어 배치된 한 쌍의 제1링크부재와; 일단이 한 쌍의 상기 제1링크부재의 일단 안쪽에 배치되는 제2링크부재와; 상기 제1링크부재와 제2링크부재를 상호 결합하는 체결핀으로 이루어져, 상기 제1링크부재와 제2링크부재가 상호 교대로 배치되어 연속적으로 연결되며, 상기 제1링크부재의 외주면 및 상기 제2링크부재의 외주면에는 상기 걸림부재의 타단이 삽입되는 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 한다.In order to attain the above object, the hanger conveying mechanism of the plating apparatus of the present invention is a hanger conveying mechanism of a plating apparatus for conveying while keeping the gap between hanger grasped by a substrate held constant, ; A drive gear for moving the chain member; And a retaining member which is engaged with the hanger at one end and which is hooked to the chain member and which moves the hanger in one direction by movement of the chain member, A first link member; A second link member which is disposed at one end inside one end of the pair of first link members; Wherein the first link member and the second link member are alternately arranged and connected to each other, and the outer circumferential surface of the first link member and the outer circumferential surface of the first link member, And the engaging step is formed on the outer circumferential surface of the second link member to insert the other end of the engaging member.

상기 걸림턱은, 다수개로 이루어져 상기 제1링크부재의 상면에 연속적으로 형성된 제1걸림턱과; 다수개로 이루어져 상기 제2링크부재의 상면에 연속적으로 형성된 제2걸림턱으로 이루어지되, 상기 제1걸림턱과 상기 제2걸림턱은 상기 체결핀의 축방향으로 상호 중첩된다.A first latching jaw formed of a plurality of latching jaws and formed continuously on an upper surface of the first linking member; The first engaging jaw and the second engaging jaw are overlapped with each other in the axial direction of the engaging pin. The first engaging jaw and the second engaging jaw are overlapped with each other in the axial direction of the engaging pin.

그리고, 상기 걸림턱은, 수직면과, 상기 수직면의 상단에서 상기 수직면이 형성된 방향의 반대방향으로 하향경사지게 형성된 경사면으로 이루어져 톱니형상으로 형성되고, 상기 걸림부재는 상기 수직면에 걸리도록 한다.The engaging jaw is formed in a serrated shape having a vertical surface and an inclined surface inclined downwardly in a direction opposite to a direction in which the vertical surface is formed at an upper end of the vertical surface, and the engaging member is engaged with the vertical surface.

또한, 상기 체결핀의 축방향으로 배치된 상기 걸림부재의 폭은, 상기 제1링크부재 폭과 상기 제2링크부재의 폭을 합한 것과 동일하거나 크도록 한다.The width of the engaging member disposed in the axial direction of the engaging pin is equal to or larger than the sum of the width of the first link member and the width of the second link member.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 도금장치의 행거 이송기구에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.The hanger moving mechanism of the plating apparatus of the present invention as described above has the following effects.

걸림부재(래칫)가 삽입되어 걸리는 걸림턱이 체인부재에 직접적으로 형성되어 있어, 구성부품을 줄일 수 있고, 그에 따라 제작비용 및 설치작업량을 감소시킬 수 있다.Since the latching jaw is directly formed on the chain member to receive the latching member (ratchet), it is possible to reduce the number of components, thereby reducing the manufacturing cost and the installation work amount.

또한, 제1걸림턱과 제2걸림턱이 중첩되어 있는바, 체인부재가 늘어나더라도 행거들간의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있다.Further, since the first stopping jaw and the second stopping jaw are overlapped with each other, the interval between the hanger can be kept constant even if the chain member is stretched.

도 1은 종래의 도금장치의 행거 이송기구의 구조도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도금장치의 행거 이송기구의 구조도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 체인부재 및 걸림부재의 사시도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체인부재의 평면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 체인부재와 걸림부재의 평면도,1 is a structural view of a hanger conveying mechanism of a conventional plating apparatus;
2 is a structural view of a hanger conveying mechanism of a plating apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a perspective view of a chain member and an engaging member according to an embodiment of the present invention,
4 is a plan view of a chain member according to an embodiment of the present invention,
5 is a plan view of a chain member and an engaging member according to an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도금장치의 행거 이송기구의 구조도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 체인부재 및 걸림부재의 사시도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체인부재의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 체인부재와 걸림부재의 평면도이다.3 is a perspective view of a chain member and an engaging member according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of a chain according to an embodiment of the present invention. Fig. 5 is a plan view of a chain member and an engaging member according to an embodiment of the present invention. Fig.

본 발명은 기판이 파지된 행거들간의 간격을 일정하게 유지시켜 이송시키는 도금장치의 행거 이송기구에 관한 것으로써, 도 2에 도시된 바와 같이 체인부재(110)와, 구동기어(미도시)와, 걸림부재(120)를 포함하여 이루어진다.The present invention relates to a hanger conveying mechanism of a plating apparatus for conveying a substrate while holding a gap between the held hanger at a constant level. As shown in FIG. 2, a chain member 110, a drive gear (not shown) And an engaging member (120).

상기 체인부재(110)는 이송라인을 따라 설치되어 일방향으로 이동한다.The chain member 110 is installed along the transfer line and moves in one direction.

상기 체인부재(110)는 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 제1링크부재(111)와 제2링크부재(112)와 체결핀(113)으로 구성된다.The chain member 110 includes a first link member 111, a second link member 112, and a fastening pin 113, as shown in FIGS.

상기 제1링크부재(111)는 대략 타원형상으로 형성된 판재 형상으로 이루어지고, 한쌍으로 구성된다.The first link member 111 is formed in a substantially plate-like shape formed in an elliptical shape, and is formed as a pair.

이러한 한 쌍의 상기 제1링크부재(111)는 양측에 상호 이격되어 배치된다.The pair of first link members 111 are spaced apart from each other on both sides.

상기 제2링크부재(112)는 일단이 한 쌍의 상기 제1링크부재(111)의 일단 안쪽에 배치된다.One end of the second link member 112 is disposed inside one end of the pair of first link members 111.

상기 제2링크부재(112)는 하나의 몸체 덩어리로 이루어질 수도 있으나, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 2개의 판재 형상으로 이루어져 상호 이격 배치되도록 함이 바람직하다.3 and 4, the second link member 112 may be formed of two plate members and may be spaced apart from each other.

한 쌍의 상기 제1링크부재(111)의 사이공간 및 한 쌍의 상기 제2링크부재(112)의 사이공간에는 상기 구동기어의 기어날이 삽입된다.A gear tooth of the driving gear is inserted into a space between a pair of the first link members 111 and a space between the pair of the second link members 112.

상기 체결핀(113)은 상기 제1링크부재(111)와 제2링크부재(112)를 상호 결합한다.The coupling pin 113 couples the first link member 111 and the second link member 112 to each other.

상기 제1링크부재(111)와 제2링크부재(112)는 상호 교대로 연속적으로 배치되고 상기 체결핀(113)에 의해 결합되어 연결된다.The first link member 111 and the second link member 112 are alternately and continuously arranged and are coupled and coupled by the coupling pin 113.

여기까지 설명한 상기 체인부재(110)의 구조는 일반적인 체인의 구조와 동일한바, 보다 자세한 설명은 생략한다.The structure of the chain member 110 described above is the same as that of a general chain, and a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 체인부재(110)는 종래의 일반적인 체인과 비교하여, 상기 제1링크부재(111)의 외주면 및 상기 제2링크부재(112)의 외주면에 다수개의 걸림턱(114)이 형성되어 있다는 점에서 큰 차이가 있다.The chain member 110 of the present invention has a plurality of engagement protrusions 114 formed on the outer circumferential surface of the first link member 111 and the outer circumferential surface of the second link member 112, There is a big difference in point.

상기 걸림턱(114)에는 상기 걸림부재(120)의 타단이 삽입된다.The other end of the latching member 120 is inserted into the latching protrusion 114.

상기 걸림턱(114)은, 다수개로 이루어져 상기 제1링크부재(111)의 상면에 연속적으로 형성된 제1걸림턱(115)과, 다수개로 이루어져 상기 제2링크부재(112)의 상면에 연속적으로 형성된 제2걸림턱(116)으로 이루어진다.The hooking jaw 114 is formed of a plurality of pieces and includes a first hook 115 formed continuously on the upper surface of the first link member 111 and a plurality of hooks 115 formed continuously on the upper surface of the second link member 112 And a second stopping jaw 116 formed thereon.

이때 상기 제2링크부재(112)의 일단이 상기 제1링크부재(111)의 일단 안쪽에 배치됨으로써, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1걸림턱(115)과 제2걸림턱(116)은 상기 체결핀(113)의 축방향으로 일정구간에서 상호 겹쳐져 중첩되게 된다.At this time, one end of the second link member 112 is disposed inside one end of the first link member 111, so that the first hooking jaw 115 and the second hooking jaw 115, as shown in FIGS. 3 and 4, (116) overlap each other at certain intervals in the axial direction of the fastening pin (113).

그리고, 상기 걸림턱(114)은, 수직면(117)과, 상기 수직면(117)의 상단에서 상기 수직면(117)이 형성된 방향의 반대방향으로 하향경사지게 형성된 경사면(118)으로 이루어져 톱니형상으로 형성된다.The latching jaw 114 is formed in a sawtooth shape having a vertical surface 117 and an inclined surface 118 formed to be inclined downward in the direction opposite to the direction in which the vertical surface 117 is formed at the upper end of the vertical surface 117 .

이때, 상기 걸림부재(120)는 상기 수직면(117)에 걸리게 된다.At this time, the engaging member 120 is caught by the vertical surface 117.

상기 걸림턱(114)은 본 실시예에서 톱니 형상으로 형성하였지만, 경우에 따라 이등변 삼각형상으로 형성될 수도 있다.Although the latching jaws 114 are formed in a sawtooth shape in this embodiment, they may be formed in an isosceles triangle shape as the case may be.

위와 같이 본 발명에서 상기 체인부재(110)에 직접적으로 걸림턱(114)을 형성함으로써, 상기 행거(130)를 이동시키기 위해 체인부재(110) 이외에 별도의 부품이 필요 없는바, 장치의 전체적인 구조가 간단하여 제작비용 및 설치작업량을 감소시킬 수 있다.As described above, in the present invention, by forming the fastening protrusion 114 directly on the chain member 110, no additional parts other than the chain member 110 are required to move the hanger 130, It is possible to reduce the manufacturing cost and the installation work amount.

상기 구동기어는 상기 체인부재(110)를 일방향으로 이동시킨다.The drive gear moves the chain member 110 in one direction.

상기 걸림부재(120)는, 일단이 상기 행거(130)에 결합되고, 타단이 상기 체인부재(110)에 걸려, 상기 체인부재(110)의 이동에 의해 상기 행거(130)를 일방향으로 이동시킨다.One end of the latching member 120 is coupled to the hanger 130 and the other end is hooked to the chain member 110. The hanger 130 is moved in one direction by the movement of the chain member 110 .

이때, 상기 걸림부재(120)는 다수개로 이루어져 상기 체인부재(110)의 이동방향으로 배치되고, 상호 서로 다른 간격을 가지며 배치되도록 한다.At this time, the latching members 120 are arranged in a moving direction of the chain member 110, and are spaced apart from each other.

필요에 따라, 다수개의 걸림부재(120)는 서로 동일한 간격을 가지며 배치될 수도 있다.If necessary, the plurality of engaging members 120 may be disposed at equal distances from each other.

이러한 상기 걸림부재(120)는 종래의 공지된 형상 및 구조를 이용하면 충분한바, 더 구체적인 설명은 생략한다.Such a latching member 120 is sufficient using known conventional shapes and structures, and a detailed description thereof will be omitted.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 체결핀(113)의 축방향으로 배치된 상기 걸림부재(120)의 폭(D2)은, 상기 제1링크부재(111)의 폭과 상기 제2링크부재(112)의 폭을 합한 것(D1)과 동일하거나 크도록 한다.5, the width D2 of the engaging member 120 disposed in the axial direction of the retaining pin 113 is set to be larger than the width D2 of the first link member 111, Is equal to or larger than the sum D1 of the widths of the members (112).

이로 인해, 하나의 상기 걸림부재(120)가 상기 제1링크부재(111)에 형성된 상기 제1걸림턱(115) 및 상기 제2링크부재(112)에 형성된 제2걸림턱(116) 모두에 걸릴 수 있게 된다.
The first engaging jaw 115 formed on the first link member 111 and the second engaging jaw 116 provided on the second link member 112 You can take it.

이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동에 대하여 살펴본다.Hereinafter, the operation of the present invention having the above-described configuration will be described.

우선, 본 발명의 상기 체인부재(110)는 상기 제1링크부재(111)와 제2링크부재(112)에 걸림턱(114)이 형성되게 제작한 후, 일반적인 체인 조립공정과 동일하게 하여 제작된다.First, the chain member 110 of the present invention is fabricated so that the engagement protrusions 114 are formed on the first link member 111 and the second link member 112, do.

그리고, 상기 걸림부재(120)가 장착된 행거(130)가 이동하는 상기 체인부재(110)의 상부에 배치된다.The hanger 130 on which the latching member 120 is mounted is disposed above the chain member 110 on which the chain member 110 is moved.

상기 체인부재(110)가 일방향으로 이동할 경우, 상기 걸림부재(120)의 타단은 상기 수직면(117)에 걸려 상기 행거(130)는 상기 체인부재(110)와 함께 이동하게 된다.When the chain member 110 moves in one direction, the other end of the engaging member 120 is hooked on the vertical surface 117 so that the hanger 130 moves together with the chain member 110.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 걸림부재(120)는 상기 제1걸림턱(115) 또는 제2걸림턱(116)에 걸려 상기 체인부재(110)와 함께 이동하게 된다.That is, as shown in FIG. 5, the engaging member 120 is engaged with the first engaging jaw 115 or the second engaging jaw 116 to move together with the chain member 110.

이때, 상기 체결핀(113)의 축방향으로 배치된 상기 걸림부재(120)의 폭(D2)은, 상기 제1링크부재(111) 폭과 상기 제2링크부재(112)의 폭을 합한 것(D1)과 동일하거나 크기 때문에, 상기 걸림부재(120)는 항상 상기 제1걸림턱(115) 또는 제2걸림턱(116)에 걸려 상기 체인부재(110)와 함께 일방향으로 이동할 수 있게 된다.The width D2 of the engaging member 120 disposed in the axial direction of the engaging pin 113 may be the sum of the width of the first link member 111 and the width of the second link member 112 The engaging member 120 is always engaged with the first engaging jaw 115 or the second engaging jaw 116 so that the engaging member 120 can move along with the chain member 110 in one direction.

또한, 다수개의 상기 걸림부재(120)는 상기 걸림턱(114)에 걸림으로써, 상기 행거(130)를 일정한 간격으로 이동시킬 수 있게 된다.In addition, a plurality of the latching members 120 are engaged with the latching jaws 114, so that the hanger 130 can be moved at regular intervals.

그리고, 상기 체인부재(110)가 타방향으로 이동할 경우에는, 상기 걸림부재(120)의 타단이 상기 경사면(118)을 타고 넘어가 상기 행거(130)는 이동하지 않게 된다.When the chain member 110 moves in the other direction, the other end of the engaging member 120 moves over the inclined surface 118 so that the hanger 130 does not move.

한편, 상기 체인부재(110)를 장시간 사용하다 보면 상기 체인부재(110)가 늘어나게 된다.Meanwhile, when the chain member 110 is used for a long time, the chain member 110 is stretched.

본 발명에서는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1링크부재(111)의 일단과 상기 제2링크부재(112)의 일단이 상호 중첩되어 있어 상기 제1걸림턱(115)과 상기 제2걸림턱(116)이 상기 체결핀(113)의 축방향으로 상호 중첩되는바, 상기 체인부재(110)가 늘어나는 경우에도 그 늘어간 공간에 상기 제1걸림턱(115) 또는 제2걸림턱(116)이 배치되어 있어 측면에서 보았을 때 상기 걸림턱(114)이 항상 연속적으로 배열되게 된다.3 and 4, one end of the first link member 111 and one end of the second link member 112 are overlapped with each other so that the first engaging jaw 115 and the second link member 112 2 hooks 116 are overlapped with each other in the axial direction of the coupling pin 113. Even when the chain member 110 extends, the first hooking jaw 115 or the second hooking jaw 115 is inserted into the extended space, And the engaging protrusions 114 are always continuously arranged when viewed from the side.

따라서, 본 발명에서는 상기 체인부재(110)의 길이가 늘어나도, 빈틈없이 상기 걸림턱(114)이 형성되어 있어, 상기 행거(130)들간의 간격을 일정하게 유지시키면서 이송시킬 수 있다.Therefore, even if the length of the chain member 110 is increased, the hooking jaws 114 are formed without a gap, so that the distance between the hangers 130 can be maintained constant.

본 발명인 도금장치의 행거 이송기구는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The hanger conveying mechanism of the plating apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified and practiced within the scope of the technical idea of the present invention.

110 : 체인부재, 111 : 제1링크부재, 112 : 제2링크부재, 113 : 체결핀, 114 : 걸림턱, 115 : 제1걸림턱, 116 : 제2걸림턱, 117 : 수직면, 118 : 경사면,
120 : 걸림부재,
130 : 행거,The present invention relates to a chain member having a first link member and a second link member having a first link member and a second link member. ,
120:
130: hangers,

Claims (4)

기판이 파지된 행거들간의 간격을 일정하게 유지시켜 이송시키는 도금장치의 행거 이송기구에 있어서,
이송라인을 따라 설치되어 일방향으로 이동하는 체인부재와;
상기 체인부재를 이동시키는 구동기어와;
일단이 상기 행거에 결합되고, 타단이 상기 체인부재에 걸려, 상기 체인부재의 이동에 의해 상기 행거를 일방향으로 이동시키는 걸림부재로 이루어지되,
상기 체인부재는,
양측에 이격되어 배치된 한 쌍의 제1링크부재와;
일단이 한 쌍의 상기 제1링크부재의 일단 안쪽에 배치되는 제2링크부재와;
상기 제1링크부재와 제2링크부재를 상호 결합하는 체결핀으로 이루어져, 상기 제1링크부재와 제2링크부재가 상호 교대로 배치되어 연속적으로 연결되며,
상기 제1링크부재의 외주면 및 상기 제2링크부재의 외주면에는 상기 걸림부재의 타단이 삽입되는 걸림턱이 형성되고,
상기 걸림턱은,
다수개로 이루어져 상기 제1링크부재의 상면에 연속적으로 형성된 제1걸림턱과;
다수개로 이루어져 상기 제2링크부재의 상면에 연속적으로 형성된 제2걸림턱으로 이루어지며,
상기 제1걸림턱과 상기 제2걸림턱은 상기 체결핀의 축방향으로 상호 중첩되어 배치된 것을 특징으로 하는 도금장치의 행거 이송기구.A hanger transfer mechanism of a plating apparatus for transferring a wafer while holding a gap between hafers held by a substrate at a constant level,
A chain member installed along the transfer line and moving in one direction;
A drive gear for moving the chain member;
A hook member having one end coupled to the hanger and the other end hooked to the chain member to move the hanger in one direction by movement of the chain member,
Wherein the chain member comprises:
A pair of first link members spaced apart from each other;
A second link member which is disposed at one end inside one end of the pair of first link members;
And a coupling pin for coupling the first link member and the second link member to each other, wherein the first link member and the second link member are alternately arranged and connected to each other,
Wherein an outer circumferential surface of the first link member and an outer circumferential surface of the second link member are formed with an engaging protrusion for receiving the other end of the engaging member,
[0028]
A first engaging protrusion formed on the upper surface of the first link member and formed continuously;
And a second engaging jaw which is formed on the upper surface of the second link member and is formed continuously,
Wherein the first engaging jaw and the second engaging jaw are disposed so as to overlap each other in the axial direction of the engaging pin. 삭제delete 청구항1에 있어서,
상기 걸림턱은,
수직면과, 상기 수직면의 상단에서 상기 수직면이 형성된 방향의 반대방향으로 하향경사지게 형성된 경사면으로 이루어져 톱니형상으로 형성되고,
상기 걸림부재는 상기 수직면에 걸리는 것을 특징으로 하는 도금장치의 행거 이송기구.The method according to claim 1,
[0028]
A vertical surface and an inclined surface inclined downwardly in a direction opposite to a direction in which the vertical surface is formed at an upper end of the vertical surface,
And the latching member is hooked on the vertical surface. 청구항1에 있어서,
상기 체결핀의 축방향으로 배치된 상기 걸림부재의 폭은,
상기 제1링크부재 폭과 상기 제2링크부재의 폭을 합한 것과 동일하거나 큰 것을 특징으로 하는 도금장치의 행거 이송기구.The method according to claim 1,
Wherein a width of the engaging member disposed in the axial direction of the engaging pin
And the width of the first link member is equal to or larger than the sum of the width of the first link member and the width of the second link member.
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