KR101415924B1 - 폐가스 초고주파 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폐가스 초고주파 처리장치에 관한 것으로서, 특히 초고주파를 이용하여 유기화합물 및 과불화 화합물 폐가스를 분해하여 처리할 수 있는 폐가스 초고주파 처리장치에 관한 것이다.
본 발명의 폐가스 초고주파 처리장치는, 전원공급부와; 상기 전원공급부로부터 전력을 공급받아 초고주파를 발생시키는 초고주파발진기와; 상기 초고주파발진기에서 발생된 저출력의 초고주파를 증폭시키는 제1초고주파증폭기와; 상기 제1초고주파증폭기에 의해 증폭된 초고주파를 다수로 분배하는 분배기와; 다수개로 이루어져 상기 분배기에서 다수개로 분배된 초고주파를 각각 증폭시키는 제2초고주파증폭기와; 가스흡입구를 통해 내부로 공급된 폐가스를 상기 제2초고주파증폭기에서 공급된 초고주파에 의해 처리한 후 가스배출구를 통해 외부로 배출하는 다수개의 폐가스처리반응기와; 상기 제2초고주파증폭기에서 증폭된 초고주파를 각각의 상기 폐가스처리반응기에 전달하는 입력커플러를 포함하여 이루어지되, 다수개의 상기 폐가스처리반응기는 병렬로 연결된 것을 특징으로 한다.

Description

폐가스 초고주파 처리장치 { RADIO FREQUENCY SCRUBBER FOR WASTE GAS }
본 발명은 폐가스 초고주파 처리장치에 관한 것으로서, 특히 초고주파를 이용하여 유기화합물 및 과불화 화합물 폐가스를 분해하여 처리할 수 있는 폐가스 초고주파 처리장치에 관한 것이다.
유기화합물 가스는 약품을 사용하는 각종 공정 중에서 발생되는 유해 폐가스로서 친환경적 처리기술이 요구되고 있다.
또한 대표적인 과불화 화합물 가스로는 CF4, SF6, NF3, C2F4 등이 있으며, 이러한 가스는 상대적으로 안전하고 독성은 없으나, 지구온난화지수를 이산화탄소에 비하여 수천에서 수만배 높이는 가스이다.
이러한 유기화합물 및 과불화 화합물 폐가스를 처리하기 위하여, 공개특허공보 제10-2003-0030387호, 등록특허공보 제10-0951631호 등에는 다양한 폐가스 처리 장치 등이 게재되어 있다.
그러나, 이러한 종래의 폐가스 처리장치는 높은 출력의 단일 혹은 소수의 초고주파 증폭기를 사용하기 때문에, 비용이 고가이고, 고장시 교체를 위해 폐가스 처리장치 전체의 가동을 중지시켜야 하는 단점이 있다.
또한, 시제품과 양산제품 간에 처리용량 등의 차이가 있어 시제품 개발 후 양산제품의 생산까지 다소 긴 개발시간이 소요되는 단점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 비교적 저렴한 비용의 저출력 증폭기를 다수개 사용하여 유지보수가 용이하고 증폭기 중 일부에 고장이 발생하더라도 가동중단 없이 수리할 수 있으며, 저출력 저용량의 폐가스처리반응기를 다수개로 병렬 연결하여 사용함으로써 시제품에서 양산제품의 생산까지 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며 유지보수가 용이한 폐가스 초고주파 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 폐가스 초고주파 처리장치는, 전원공급부와; 상기 전원공급부로부터 전력을 공급받아 초고주파를 발생시키는 초고주파발진기와; 상기 초고주파발진기에서 발생된 저출력의 초고주파를 증폭시키는 제1초고주파증폭기와; 상기 제1초고주파증폭기에 의해 증폭된 초고주파를 다수로 분배하는 분배기와; 다수개로 이루어져 상기 분배기에서 다수개로 분배된 초고주파를 각각 증폭시키는 제2초고주파증폭기와; 가스흡입구를 통해 내부로 공급된 폐가스를 상기 제2초고주파증폭기에서 공급된 초고주파에 의해 처리한 후 가스배출구를 통해 외부로 배출하는 다수개의 폐가스처리반응기와; 상기 제2초고주파증폭기에서 증폭된 초고주파를 각각의 상기 폐가스처리반응기에 전달하는 입력커플러를 포함하여 이루어지되, 다수개의 상기 폐가스처리반응기는 병렬로 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 폐가스처리반응기에 장착되어 상기 폐가스처리반응기 내부로 공급된 초고주파의 공진주파수를 조정하는 튜너를 더 포함하여 이루어진다.
상기 튜너는 상기 폐가스처리반응기에 장착된 나사형 튜너로 이루어지되, 상기 나사형 튜너는 회전되어 상기 폐가스처리반응기의 내부에서의 길이가 가변된다.
또는, 상기 튜너는 상기 폐가스처리반응기의 측벽을 이루면서 상기 폐가스처리반응기의 내부부피를 가변시키도록 슬라이딩되는 슬라이딩형 튜너로 이루어지되, 상기 슬라이딩형 튜너에는 상기 가스흡입구 또는 가스배출구가 형성된다.
그리고, 본 발명은 산소를 발생시켜 각각의 상기 폐가스처리반응기에 공급하는 산소발생기를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
상기 폐가스처리반응기는 일례로써, 초고주파에 의한 플라즈마 방전현상에 의해 내부의 폐가스를 처리하고, 다수개의 상기 폐가스처리반응기는 격벽에 의해 상호 독립적으로 격리되는 구조로 이루어진다.
이때, 상기 격벽에는 이웃한 폐가스처리반응기들의 내부공간을 상호 연통하는 관통홀이 형성되고, 초고주파에 의한 플라즈마 방전현상은 상기 관통홀을 통해 이웃한 폐가스처리반응기로 전파되도록 할 수도 있다.
이 경우 상기 관통홀의 크기는, 초고주파가 통과하지 못하고 플라즈마 상태의 가스는 통과하여 이웃한 폐가스처리반응기로 전파될 수 있는 크기로 형성된다.
상기 폐가스처리반응기에 장착된 점화장치를 더 포함하여 이루어진다.
또 다른 일례로써, 상기 폐가스처리반응기의 내부에 배치되어, 상기 가스흡입구를 통해 유입된 폐가스가 그 내부를 통과하여 상기 가스배출구로 이동하는 다공성절연막과; 상기 다공성절연막에 둘러싸여 수용되고, 미리 설정된 활성화 온도에서 상기 폐가스를 분해하는 촉매재와; 상기 다공성절연막에 둘러싸여 수용되어 상기 촉매재와 혼합되고, 상기 초고주파를 흡수함에 따라 발열되어 상기 촉매재를 미리 설정된 활성화 온도에 이르도록 활성화시키는 초고주파흡수체를 더 포함하여 이루어진다.
상기 폐가스처리반응기의 내부온도를 측정하는 온도센서와; 상기 온도센서에서 측정한 상기 폐가처리반응기의 내부온도가 미리 설정된 온도에 도달하도록 상기 초고주파발진기의 전력을 제어하는 온도제어기를 더 포함하여 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 폐가스 초고주파 처리장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
저렴한 비용의 저출력 초고주파 증폭기를 다수개 사용함으로써, 유지보수가 용이하고 초고주파증폭기 중 일부에 고장이 발생하더라도 가동중단 없이 수리할 수 있다.
또한, 저출력 저용량의 폐가스처리반응기를 다수개로 병렬 연결하여 사용함으로써 시제품에서 양산제품의 생산까지 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며 유지보수가 용이하다.
또한, 초고주파 플라즈마 방전현상 또는 초고주파 가열방식의 촉매를 통한 비교적 간단한 구조를 이용하여 폐가스를 처리할 수 있으며, 다양한 구조의 튜너에 의해 초고주파의 공진주파수를 용이하게 조정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 구성도,
도 2는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 나사형 튜너를 장착한 상태의 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 나사형 튜너를 장착한 상태의 단면구조도,
도 4는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 슬라이딩형 튜너를 장착한 상태의 사시도,
도 5는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 슬라이딩형 튜너를 장착한 상태의 단면구조도,
도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기의 단면구조도.
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 나사형 튜너를 장착한 상태의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 나사형 튜너를 장착한 상태의 단면구조도이고, 도 4는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 슬라이딩형 튜너를 장착한 상태의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 실시예1에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기에 슬라이딩형 튜너를 장착한 상태의 단면구조도이다.
본 발명의 폐가스 초고주파 처리장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 전원공급부(10)와, 초고주파발진기(20)와, 제1초고주파증폭기(30)와, 분배기(40)와, 제2초고주파증폭기(50)와, 입력커플러(60)와, 산소발생기(70)와, 폐가스처리반응기(80)와, 튜너(91,92) 등을 포함하여 이루어진다.
상기 전원공급부(10)는 상기 초고주파발진기(20) 등에 전력을 공급하는 것이다.
상기 초고주파발진기(20)는 상기 전원공급부(10)로부터 전력을 공급받아 초고주파를 발생시킨다.
상기 제1초고주파증폭기(30)는 상기 초고주파발진기(20)에서 발생된 저출력의 초고주파를 증폭시켜 상기 분배기(40)로 공급하는 역할을 한다.
상기 분배기(40)는 상기 제1초고주파증폭기(30)에 의해 증폭된 초고주파를 다수로 분배하는 역할을 한다.
상기 제2초고주파증폭기(50)는 다수개로 이루어지고, 상기 분배기(40)에서 다수개로 분배된 초고주파를 각각 증폭시켜 다수개의 상기 폐가스처리반응기(80)에 공급하는 역할을 한다.
상기 초고주파증폭기(30, 50)는 반도체 트랜지스터 초고주파 증폭기를 다수개 사용함이 바람직하다.
또는, 상기 초고주파발진기(20), 분배기(40), 초고주파증폭기(30,50)들 대신에 다수의 마그네트론과 아이솔레이터를 포함하여 이루어질 수도 있다.
이때의 마그네트론은 전자레인지 등에 사용되는 마그네트론과 같이 비용에 매우 경제적인 마그네트론을 다수개 사용함이 바람직하다.
상기 입력커플러(60)는 각각의 상기 폐가스처리반응기(80)에 연결되어, 상기 분배기(40)에서 분배된 초고주파를 각각의 상기 폐가스처리반응기(80)에 전달하는 역할을 한다.
상기 산소발생기(70)는 유기화합물 또는 과불화 화합물 등의 폐가스를 산화시키고 질화물의 발생을 감소시키기 위하여, 공기로부터 산소만을 걸러내어 발생시켜 상기 폐가스처리반응기(80)로 공급한다.
이러한 상기 산소발생기(70)에서 발생된 산소는 처리전 폐가스와 함께 상기 폐가스처리반응기(80)로 주입된다.
경우에 따라 본 발명은 상기 산소발생기(70) 없이 이루어질 수도 있다.
상기 폐가스처리반응기(80)는 가스흡입구(81)와 가스배출구(82)가 형성되어 있으며, 상기 가스흡입구(81)를 통해 내부로 공급된 폐가스는 산소와 상기 입력커플러(60)를 통해 공급된 초고주파에 의해 초고주파 플라즈마를 형성하여 분해 처리된 후 가스배출구(82)를 통해 외부로 배출된다.
즉, 상기 폐가스처리반응기(80)는 폐가스와 함께 공급되는 산소와, 상기 입력커플러(60)를 통해 공급되는 초고주파에 의해 내부에 존재하는 폐가스를 분해하여 깨끗한 상태로 처리한 후 상기 가스배출구(82)를 통해 외부로 배출한다.
이러한 상기 폐가스처리반응기(80)는 다수개로 이루어지고, 다수개의 상기 폐가스처리반응기(80)는 병렬로 연결되어 배치된다.
위와 같이 다수개의 제2초고주파증폭기(50)와 다수개의 폐가스처리반응기(80)를 각각 병렬로 연결하여 배치함으로써, 저렴한 초고주파증폭기 및 저출력 저용량의 폐가스처리반응기(80)를 사용할 수 있어 경제적이다.
또한, 다수개의 상기 제2초고주파증폭기(50)와 상기 폐가스처리반응기(80)들을 병렬로 연결함으로써, 1개를 통한 시험용 시제품 개발 후, 다수개를 용이하게 병렬로 연결하여 양산제품으로 생산할 수 있어, 제품의 개발기간을 단축시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 폐가스처리반응기(80)는 저출력 및 저용량이기 때문에 초기비용이 적게 들고, 초기에 1개를 제작하여 시험을 하다가 양산제품으로 변경하고자 할 경우 별도의 복잡한 설계변경(용량, 크기 등) 없이 동일한 저출력 및 저용량의 폐가스처리반응기(80)를 추가로 병렬연결하면 그 용량 등을 필요에 맞게 조절할 수 있는바, 양산제품의 개발기간을 단축시킬 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 저렴한 초고주파증폭기를 다수개 사용함으로써, 폐가스 처리장치의 작동중 일부 초고주파증폭기에 고장이 발생하여 교체수리가 필요한 경우, 고장난 초고주파증폭기에 의한 폐가스 처리 성능은 전체 성능에서 매주 작은 부분을 차지하기 때문에, 폐가스 처리장치의 전체 가동중단없이 교체를 용이하게 할 수 있어, 유지보수가 용이하다.
본 실시예에서 상기 폐가스처리반응기(80)는 초고주파에 의한 플라즈마 방전현상에 의해 내부에 존재하는 폐가스를 분해하여 처리한다.
다수개의 상기 폐가스처리반응기(80)는 격벽(83)을 통해 상호 접하고 있으며, 각각 독립적으로 차단되어 내부에 존재하는 폐가스를 플라즈마 방전현상에 의해 분해하여 처리할 수 있다.
그러나, 바람직하게는 본 실시예와 같이, 상기 격벽(83)에 이웃한 폐가스처리반응기(80)들의 내부공간을 상호 연통하는 관통홀(84)을 형성하도록 한다.
본 실시예와 같이 상기 격벽(83)에 상기 관통홀(84)을 형성함으로써, 초고주파에 의한 플라즈마 방전현상이 상기 관통홀(84)을 통해 이웃한 폐가스처리반응기(80)로 전파되어, 상기 폐가스처리반응기(80) 전체에 걸쳐 안정적인 플라즈마 형성에 도움을 주며 상기 폐가스의 분해처리효과를 더욱 증대시킬 수 있게 된다.
이때, 상기 관통홀(84)의 크기는, 초고주파가 통과하지 못하고 플라즈마 상태의 폐가스는 통과하여 이웃한 폐가스처리반응기(80)로 전파될 수 있는 크기로 형성되도록 함이 바람직하다.
위와 같이 상기 관통홀(84)의 크기를 상기 초고주파가 통과하지 못하는 크기로 형성함으로써, 각각의 폐가스처리반응기(80)에 공급되는 초고주파가 다른 이웃한 폐가스처리반응기(80)로 침투되어 각 초고주파의 위상간섭이 발생하는 것을 차단할 수 있다.
다시 말해, 각각의 폐가스처리반응기(80)에 공급되는 초고주파는 미세하게나마 위상에 약간의 차이가 있을 수 있는데, 이때 각 폐가스처리반응기(80)에 공급되는 초고주파가 상기 관통홀(84)을 통해 다른 폐가스처리반응기(80)로 침투되게 되면, 각 초고주파의 위상차이로 인한 위상간섭이 발생할 수 있게 된다.
그러나, 본 실시예와 같이 상기 관통홀(84)을 크기를 상기 초고주파가 통과하지 못하는 크기로 형성함으로써, 위와 같이 각 초고주파의 위상간섭이 발생하는 것을 미연에 차단할 수 있게 된다.
또한, 상기 관통홀(84)의 크기를 상기 플라즈마 상태의 가스가 통과하는 크기로 형성함으로써, 초고주파의 방전현상에 의한 플라즈마 상태의 가스가 상기 관통홀(84)을 통해 이웃한 폐가스처리반응기(80)로 전파될 수 있어, 상기 폐가스처리반응기(80) 전체에 걸쳐 안정적인 플라즈마 형성에 도움을 주며 상기 폐가스의 분해처리효과를 더욱 증대시킬 수 있게 된다.
상기 튜너는 상기 폐가스처리반응기(80)에 장착되어 상기 폐가스처리반응기(80) 내부로 공급된 초고주파의 공진주파수를 조정하는 역할을 한다.
이러한 튜너는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 나사형 튜너(91)로 이루어질 수도 있고, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 슬라이딩형 튜너(92)로 이루어질 수도 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 튜너가 나사형 튜너(91)로 이루어진 경우, 상기 나사형 튜너(91)는 상기 폐가스처리반응기(80)에 장착되어, 회전에 의해 상기 폐가스처리반응기(80)의 내부에서 그 길이가 가변되도록 한다.
위와 같이 상기 나사형 튜너(91)가 장착되어 회전에 의해 그 길이가 가변됨으로써, 상기 폐가스처리반응기(80) 내부의 초고주파의 공진주파수를 필요에 따라 용이하게 조정하여 가변시킬 수 있게 된다.
또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 튜너가 슬라이딩 튜너로 이루어진 경우, 상기 슬라이딩 튜너는 상기 폐가스처리반응기(80)의 측벽을 이루면서 상기 폐가스처리반응기(80)의 내부부피를 가변시키도록 슬라이딩되는 구조로 장착된다.
상기 슬라이딩형 튜너(92)의 슬라이딩 구조는 종래의 공지된 다양한 슬라이딩 구조를 사용하면 충분한바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
상기 슬라이딩형 튜너(92)에는 상기 가스흡입구(81) 또는 가스배출구(82) 형성된다.
즉, 상기 슬라이딩형 튜너(92)는 상기 가스흡입구(81)가 형성된 상기 폐가스처리반응기(80)의 측벽 및/또는 상기 가스배출구(82)가 형성된 상기 폐가스처리반응기(80)의 측벽으로 이루어지도록 한다.
위와 같이 상기 슬라이딩형 튜너(92)가 장착되어 슬라이딩됨으로써, 상기 폐가스처리반응기(80)의 내부부피가 가변되어 상기 폐가스처리반응기(80) 내부의 초고주파의 공진주파수를 필요에 따라 용이하게 조정하여 가변시킬 수 있게 된다.
이러한 상기 튜너는 상기 나사형 튜너(91) 및 슬라이딩형 튜너(92) 각각을 개별적으로 장착하여 사용할 수도 있고, 모두를 장착하여 사용할 수도 있다.
그리고, 상기 폐가스처리반응기(80)에는 점화장치(미도시)가 장착될 수도 있다.
상기 입력커플러(60)를 통해 공급되는 초고주파가 매우 큰 고출력일 경우에는 상기 점화장치(100)없이 초기 플라즈마 방전현상이 발생할 수도 있으나, 상기 입력커플러(60)를 통해 공급되는 초고주파가 매우 큰 고출력이 아닌 경우에는 초기 플라즈마 방전현상이 잘 발생하지 않는바 상기 점화장치에 의해 초기 플라즈마 방전현상이 잘 이루어지도록 한다.
또한, 상기 폐가스처리반응기(80)의 일 측벽에 설치되어 내부온도를 측정하는 온도센서(110)와, 상기 온도센서(110)에서 측정한 상기 폐가처리반응기의 내부온도가 미리 설정된 온도에 도달하도록 상기 초고주파발진기(20)의 전력을 제어하는 온도제어기(120)를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
이러한 상기 온도센서(110) 및 온도제어기(120)에 의해, 상기 폐가스처리반응기(80) 내부온도가 항상 일정하도록 할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 폐가스 초고주파 처리장치의 폐가스처리반응기의 단면구조도이다.
실시예2의 폐가스 초고주파 처리장치는 실시예1과 비교하여, 상기 폐가스처리반응기(80)의 내부에 존재하는 폐가스를 처리하기 위한 구조에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.
즉, 실시예1에서는 플라즈마 방전현상을 통해 폐가스를 처리하는데 반해, 실시예2에서는 촉매재 등을 통해 폐가스를 처리한다.
실시예2에서는 실시예1과 달리 격벽(83)에 관통홀(84)이 형성되어 있지 않다.
상기 폐가스처리반응기(80)의 내부에는 상기 가스흡입구(81)와 가스배출구(82) 사이에 다공성절연막(85)이 배치되어 있다.
즉, 상기 가스흡입구(81)를 통해 유입된 폐가스는 상기 다공성절연막(85)을 통과하여 처리된 후 상기 가스배출구(82)를 통해 외부로 배출된다.
본 실시예에서 상기 다공설정연막(85)은 2개로 이루어져 상호 이격되어 있지만, 박스 형태로 이루어질 수도 있다.
상기 다공성절연막(85)에 의해 형성된 내측 빈공간에는 촉매재(86)와, 초고주파흡수체(87)가 혼합되어 수용되어 있다.
즉, 상기 촉매재(86)와 초고주파흡수체(87)는 상기 다공성절연막(85)에 의해 둘려쌓여져 있어 외부로 유출되지 않게 되어 있다.
이를 위해 본 실시예와 같이 상기 다공성절연막(85)이 2개로 이루어져 상호 이격된 경우에는, 2개의 상기 다공성절연막(85) 사이에 상기 촉매재(86)와 초고주파흡수체(87)가 배치되어 상기 다공성절연막(85)에 의해 둘러 쌓여지게 된다.
그리고, 본 실시예와 달리 상기 다공성절연막(85)이 내측에 빈공간을 갖는 박스 형태로 이루어진 경우에는, 상기 촉매재(86)와 초고주파흡수체(87)가 상기 다공성절연막(85)의 내측 빈공간에 수용되어 둘러 쌓여지게 된다.
상기 촉매재(86)는 미리 설정된 일정한 활성화 온도에서 상기 폐가스를 분해하는 촉매 성분으로 이루어져 있다.
상기 초고주파흡수체(87)는 상기 입력커플러(60)를 통해 공급되는 초고주파를 흡수함에 따라 발열되어, 상기 촉매재(86)를 미리 설정된 일정한 활성화 온도에 이르도록 활성화시키는 역할을 한다.
즉, 상기 폐가스처리반응기(80)에 초고주파가 공급되면 상기 초고주파흡수체(87)는 발열되고, 상기 초고주파흡수체(87)가 발열됨에 따라 함께 혼합된 상기 촉매재(86)로 직접적으로 열전달이 이루어져 상기 촉매재(86)가 활성화온도에 용이하게 도달하고, 이로 인해 산소와 함께 공급된 상기 폐가스는 상기 촉매재(86)를 만나 분해처리되게 된다.
위와 같이 본 실시예에서는 상기 촉매재(86)를 가열하기 위해 외부 열전도방식이 아닌, 상기 초고주파흡수체(87)에 의해 상기 촉매재(86)에 직접적으로 열이 전달되는 내부 열전도방식을 사용하기 때문에 상기 촉매재(86)를 보다 신속하게 가열할 수 있어 에너지 낭비를 줄일 수 있다.
실시예2에서도 실시예1과 같이 튜너, 온도센서(110), 온도제어기(120) 등이 장착될 수도 있다.
도 6에는 나사형 튜너(91)와 슬라이딩형 튜너(92) 모두가 장착되어 있는 구조가 나타나 있지만, 나사형 튜너(91) 또는 슬라이딩형 튜너(92) 중 어느 하나만 장착될 수도 있다.
그리고, 실시예2는 실시예1과 달리 플라즈마 방전현상을 불필요하는바, 점화장치가 없어도 작동될 수 있다.
그 외 다른 구성은 실시예1과 동일한바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
본 발명인 폐가스 초고주파 처리장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 전원공급부, 20 : 초고주파발진기, 30 : 제1초고주파증폭기, 40 : 분배기, 50 : 제2초고주파증폭기, 60 : 입력커플러, 70 : 산소발생기, 80 : 폐가스처리반응기, 81 : 가스흡입구, 82 : 가스배출구, 83 : 격벽, 84 : 관통홀, 85 : 다공성절연막, 86 : 촉매재, 87 : 초고주파흡수체, 91 : 나사형 튜너, 92 : 슬라이딩형 튜너, 110 : 온도센서, 120 : 온도제어기,

Claims (10)

  1. 전원공급부와;
    상기 전원공급부로부터 전력을 공급받아 초고주파를 발생시키는 초고주파발진기와;
    상기 초고주파발진기에서 발생된 저출력의 초고주파를 증폭시키는 제1초고주파증폭기와;
    상기 제1초고주파증폭기에 의해 증폭된 초고주파를 다수로 분배하는 분배기와;
    다수개로 이루어져 상기 분배기에서 다수개로 분배된 초고주파를 각각 증폭시키는 제2초고주파증폭기와;
    가스흡입구를 통해 내부로 공급된 폐가스를 상기 제2초고주파증폭기에서 공급된 초고주파에 의해 처리한 후 가스배출구를 통해 외부로 배출하며, 병렬로 연결된 다수개의 폐가스처리반응기와;
    상기 제2초고주파증폭기에서 증폭된 초고주파를 각각의 상기 폐가스처리반응기에 전달하는 입력커플러를 포함하여 이루어지되,
    상기 폐가스처리반응기는 초고주파에 의한 플라즈마 방전현상에 의해 내부의 폐가스를 처리하고,
    다수개의 상기 폐가스처리반응기는 격벽에 의해 상호 독립적으로 격리되는 구조로 이루어지며,
    상기 격벽에는 이웃한 폐가스처리반응기들의 내부공간을 상호 연통하는 관통홀이 형성되고,
    초고주파에 의한 플라즈마 방전현상은 상기 관통홀을 통해 이웃한 폐가스처리반응기로 전파되되,
    상기 관통홀의 크기는, 초고주파가 통과하지 못하고 플라즈마 상태의 가스는 통과하여 이웃한 폐가스처리반응기로 전파될 수 있는 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 폐가스처리반응기에 장착되어 상기 폐가스처리반응기 내부로 공급된 초고주파의 공진주파수를 조정하는 튜너를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 튜너는 상기 폐가스처리반응기에 장착된 나사형 튜너로 이루어지되,
    상기 나사형 튜너는 회전되어 상기 폐가스처리반응기의 내부에서의 길이가 가변되는 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  4. 청구항2에 있어서,
    상기 튜너는 상기 폐가스처리반응기의 측벽을 이루면서 상기 폐가스처리반응기의 내부부피를 가변시키도록 슬라이딩되는 슬라이딩형 튜너로 이루어지되,
    상기 슬라이딩형 튜너에는 상기 가스흡입구 또는 가스배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  5. 청구항1에 있어서,
    산소를 발생시켜 각각의 상기 폐가스처리반응기에 공급하는 산소발생기를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항1에 있어서,
    상기 폐가스처리반응기에 장착된 점화장치를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  9. 전원공급부와;
    상기 전원공급부로부터 전력을 공급받아 초고주파를 발생시키는 초고주파발진기와;
    상기 초고주파발진기에서 발생된 저출력의 초고주파를 증폭시키는 제1초고주파증폭기와;
    상기 제1초고주파증폭기에 의해 증폭된 초고주파를 다수로 분배하는 분배기와;
    다수개로 이루어져 상기 분배기에서 다수개로 분배된 초고주파를 각각 증폭시키는 제2초고주파증폭기와;
    가스흡입구를 통해 내부로 공급된 폐가스를 상기 제2초고주파증폭기에서 공급된 초고주파에 의해 처리한 후 가스배출구를 통해 외부로 배출하며, 병렬로 연결된 다수개의 폐가스처리반응기와;
    상기 제2초고주파증폭기에서 증폭된 초고주파를 각각의 상기 폐가스처리반응기에 전달하는 입력커플러를 포함하여 이루어지되,
    상기 폐가스처리반응기의 내부에 배치되어, 상기 가스흡입구를 통해 유입된 폐가스가 그 내부를 통과하여 상기 가스배출구로 이동하는 다공성절연막과;
    상기 다공성절연막에 의해 둘러싸여 수용되고, 미리 설정된 활성화 온도에서 상기 폐가스를 분해하는 촉매재와;
    상기 다공성절연막에 의해 둘러싸여 수용되어 상기 촉매재와 혼합되고, 상기 초고주파를 흡수함에 따라 발열되어 상기 촉매재를 미리 설정된 활성화 온도에 이르도록 활성화시키는 초고주파흡수체를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
  10. 청구항1에 있어서,
    상기 폐가스처리반응기의 내부온도를 측정하는 온도센서와;
    상기 온도센서에서 측정한 상기 폐가처리반응기의 내부온도가 미리 설정된 온도에 도달하도록 상기 초고주파발진기의 전력을 제어하는 온도제어기를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폐가스 초고주파 처리장치.
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