KR101403757B1

KR101403757B1 - 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치

Info

Publication number: KR101403757B1
Application number: KR1020120112782A
Authority: KR
Inventors: 김형석
Original assignee: 김형석
Priority date: 2012-10-11
Filing date: 2012-10-11
Publication date: 2014-06-03
Also published as: KR20140046745A

Abstract

본 발명은 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치에 관한 것으로, 소정 형상의 초고주파 공동 내에 구비된 초고주파흡수체에 초고주파 전력을 인가한 후 일정 온도까지 가열하여, 초고주파 공동 내부로 공급되는 유기화합물이나 과불화화합물 등의 폐가스가 초고주파흡수체를 통과하면서 열분해될 수 있도록 한 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는, 장치에 소정 전원을 인가하는 전원부와; 상기 전원부로부터 전원을 공급받아 동작되면서 소정 주파수의 초고주파 신호를 발생시키는 초고주파 발생기와; 상기 초고주파 발생기로부터 입력되는 초고주파를 증폭시키는 증폭기와; 내부에 소정 공간을 갖는 몸체로 이루어져 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 신호가 입력되며, 그 일측에는 폐가스 공급부, 재결합방지 가스 공급부, 가스 토출부가 각각 형성되어, 그 내부에서 초고주파를 매개로 한 폐가스의 분해가 진행되는 초고주파 공동과; 상기 초고주파 공동 내부에 구비되어 입력된 초고주파 전력을 흡수하여 가열되는 초고주파 흡수체 및; 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 전력의 세기를 조절함으로써 상기 초고주파 흡수체의 가열온도를 조절하는 온도조절기;를 포함하여 구성된다.

Description

모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치{MODULIZED RF-HEATING GAS DECOMPOSITION APPARATUS}

본 발명은 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소정 초고주파 흡수체에 초고주파 전력을 인가함과 아울러 초고주파 흡수체를 폐가스 분해를 위한 일정 온도까지 가열함에 따라, 유기화합물 혹은 과불화화합물 등을 포함하는 폐가스가 가열된 초고주파흡수체를 통과하면서 열분해 되도록 한 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치에 관한 것이다.

일반적으로, 약품을 사용하는 산업현장에서 발생되는 유독성 화학가스 혹은 농축산업 현장에서 발생되는 각종 악취들을 포함하는 유기화합물 가스를 비롯하여, 반도체 및 엘시디 제조공정 등에서 발생되는 과불화화합물 가스 등은 인체에 유해하거나 지구온난화 지수가 높아 분해처리가 필요한 가스들이다.

상술한 바와 같은 각종 폐가스를 분해하기 위하여, 종래에는 LNG 등의 연료를 소각하며 폐가스를 분해하는 연료소각 방식, 전기히터를 사용한 열분해방식, 플라즈마 분해방식, 촉매를 가열하여 분해하는 촉매방식, 흡착제를 이용한 흡착제거방식 등이 있으며, 또한 필요에 따라 습식흡착방식을 함께 혼용하며 사용하기도 한다.

그러나, 상술한 바와 같은 종래의 폐가스 분해방식에 있어서, 상기 연료소각 방식은 연료를 소모함에 따른 소각비용의 발생 및 열손실 낭비, 그리고 소각후 발생되는 환경오염 등의 문제점이 발생하게 되었으며, 상기 전기히터를 사용한 열분해방식은 히터에서 발생된 고열로 인하여 고온을 견디기 위한 소재선정의 어려움과 함께 부식현상과 열손실 등의 문제점이 발생하게 되었다.

또한, 상기 플라즈마 분해방식은 폐가스 분해 후 재결합으로 인해 분해율이 저하됨과 아울러 잦은 장치의 고장으로 인해 운영유지비용이 증가되는 문제점이 발생하게 되었으며, 상기 촉매방식은 빈번한 촉매 교체에 따른 운영유지비 증가의 문제점이 발생하게 됨과 아울러, 상기 흡착제거방식도 역시 빈번한 흡착제 교체로 인한 운영유지비 증가의 문제점이 발생하게 되었다.

국내 특허등록 제10-0951631호 국내 공개특허공보 제10-2001-0096635호

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 소정 형상의 초고주파 공동 내에 구비된 초고주파흡수체에 초고주파 전력을 인가한 후 일정 온도까지 가열하여, 초고주파 공동 내부로 공급되는 유기화합물이나 과불화화합물 등의 폐가스가 초고주파 흡수체를 통과하면서 열분해될 수 있도록 한 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치를 제공하고자 하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는, 장치에 소정 전원을 인가하는 전원부와; 상기 전원부로부터 전원을 공급받아 동작되면서 소정 주파수의 초고주파 신호를 발생시키는 초고주파 발생기와; 상기 초고주파 발생기로부터 입력되는 초고주파를 증폭시키는 증폭기와; 내부에 소정 공간을 갖는 몸체로 이루어져 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 신호가 입력되며, 그 일측에는 폐가스 공급부, 재결합방지 가스 공급부, 가스 토출부가 각각 형성되어, 그 내부에서 초고주파를 매개로 한 폐가스의 분해가 진행되는 초고주파 공동과; 상기 초고주파 공동 내부에 구비되어 입력된 초고주파 전력을 흡수하여 가열되는 초고주파 흡수체 및; 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 전력의 세기를 조절함으로써 상기 초고주파 흡수체의 가열온도를 조절하는 온도조절기를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 초고주파 공동은, 중앙에 동심축이 구비되며 원통형상의 외벽을 갖는 몸체와, 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 몸체의 바닥면을 형성하며 상기 폐가스의 흐름을 차단하면서 증폭된 초고주파를 몸체 내로 통과시키는 하부 절연체와, 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 외벽의 내주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체의 높은 온도가 외벽 측으로 전달되는 것을 방지하는 외측 절연체와, 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 동심축의 외주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체의 높은 온도가 동심축 측으로 전달되는 것을 방지하는 내측 절연체와, 상기 몸체의 상단부 측에 구비되되 다수 개의 그리드홀이 형성되어 가스의 출입이 가능하도록 함과 아울러 초고주파가 더 이상 진행하지 못하도록 종단기 역할을 하는 금속판과, 상기 하부 절연체의 상측 및 금속판의 하측에 각각 형성되어 상호 간의 사이에 상기 초고주파 흡수체를 위치시키며 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 초고주파를 통과시킴과 아울러 판상에 다수 개의 그리드홀이 형성되어 폐가스 또는 분해된 가스가 출입 가능하도록 이루어진 한 쌍의 내부 절연체와, 상기 하부 절연체와 내부 절연체 사이의 외벽 일정 지점에 구비되는 폐가스 공급부 및, 상기 금속판의 상측 외벽 일정 지점에 구비되는 재결합방지 가스 공급부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 초고주파 공동은 다수 개가 병렬형태로 연결되어 대용량 처리가 가능하도록 이루어지며, 각 초고주파 공동에는 각각 대응되게 온도조절기 및 증폭기가 연결 설치된 것을 특징으로 한다.

바라직하게, 상기 증폭기는 상기 초고주파 발생기로부터 발생된 초고주파를 1차 증폭하는 1차 증폭기 및 상기 1차 증폭된 초고주파를 2차 증폭하는 2차 증폭기로 구성되며, 상기 1차 증폭기에는 다수 개의 2차 증폭기가 병렬로 연결 가능한 것을 특징으로 한다.

더 바람직하게, 상기 초고주파 공동 일측에는 그 내부의 온도 측정을 위한 온도계가 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 초고주파 공동과 제 2증폭기 사이에는 서로 상이한 직경 또는 크기 차이를 점진적으로 감소시키는 등 서로간의 부하차이를 완화시켜주는 도파관 정합기가 구비되어 구성됨이 바람직하다.

상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 초고주파 가열을 이용하는 폐가스 분해장치가 모듈형으로 구성되어 있으므로, 필요에 따라 적정 수량의 모듈을 병렬 연결함으로써 시험용 장치에서 대용량 처리를 위한 양산용 장치로의 전환이 매우 용이한 효과가 있게 된다.

또한, 다수 개의 모듈을 연결하여 사용함에 따라, 임의로 어느 하나에 고장이 발생한 경우, 다수 개의 모듈 중 한 개만이 교체되는 상황이므로, 장비의 가동중단 없이 신속한 교체수리가 가능하여 장비의 운용효율을 높일 수 있는 효과가 있게 된다.

그리고, 장치에 사용되는 초고주파 증폭기 또는 초고주파 발생기의 경우, LDMOS(Lateral MOSFET, Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터 등의 RF 전력 증폭기 소자를 비롯한 반도체 초고주파 증폭기 및 초고주파 발생기가 사용되게 되며, 이는 전원을 공급하기 위한 전압이 비교적 저전압이므로, 해당 작업자가 고전압에 노출되는 위험이 없게 되어 작업자의 안전성이 더욱 향상되는 효과가 있게 되며, 또한 이를 통해 장치의 부품교체 시 장비의 전원을 오프 시키지 않고도 작업이 가능해져 장비의 운영효율을 더욱 높일 수 있는 효과도 있게 된다.

또, 고가의 고출력 사양의 초고주파 증폭기 및 초고주파 발생기를 한 개 또는 소량의 수량으로 사용하는 대신에 경제적이면서 신뢰성이 높은 적정 출력 사양의 초고주파 증폭기 및 초고주파 발생기 다수 개를 독립형 모듈형태로 사용함으로써, 고장 시 교체 및 수리단가가 매우 저렴하면서 동시에 장치의 신뢰성을 크게 높일 수 있는 효과가 있게 된다.

한편, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는 종래기술과 비교하여 초고주파를 이용하여 초고주파 흡수체를 폐가스 분해온도까지 직접 가열하는 특징을 가짐에 따라, 주변으로 손실되는 열손실이 최소화됨으로 인해 에너지 절약 및 종래기술이 가지고 있던 외부 열손실에 따른 열화상의 위험을 해소할 수 있는 효과가 있게 되며, 뿐만 아니라, 쓰고 버리는 촉매나 흡착제의 잦은 교체가 불필요하므로 교체에 따른 운영유지비용을 크게 저감시킬 수 있는 효과도 있게 되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치에 구비되는 초고주파 공동의 구성을 나타내는 단면도,
도 3은 본 발명의 변형예에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치의 개략적인 구성도이다.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는, 소정 형상을 갖는 초고주파 공동(5) 내에 구비된 초고주파흡수체(61)에 초고주파 전력을 인가한 후 일정 온도까지 가열함으로써, 초고주파 공동(5) 내부로 공급되는 유기화합물이나 과불화화합물 등의 폐가스가 초고주파흡수체(61)를 통과하면서 열분해될 수 있도록 구현된다.

이를 위해, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는, 장치에 소정 전원을 인가하는 전원부(2)와, 상기 전원부(2)로부터 전원을 공급받아 동작되면서 소정 주파수의 초고주파 신호를 발생시키는 초고주파 발생기(1)와, 상기 초고주파 발생기(1)로부터 입력되는 초고주파를 1차로 증폭시키는 1차 증폭기(3) 및 상기 1차 증폭된 초고주파를 2차로 증폭시키는 2차 증폭기(4)와, 내부에 소정 공간을 갖는 몸체(30)로 이루어져 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 신호가 입력되며 그 일측에는 폐가스 공급부(6), 재결합방지 가스 공급부(8), 가스 토출부(10) 등이 각각 형성되어 그 내부에서 가열된 초고주파흡수체(61)를 매개로 한 폐가스의 분해가 진행되는 초고주파 공동(5)과, 상기 초고주파 공동(5) 내부에 구비되어 입력된 초고주파 전력을 흡수하여 적정 온도까지 가열시키는 초고주파흡수체(61)와, 상기 초고주파 공동(5) 일측에 설치되어 그 내부의 온도를 측정하기 위한 온도계(11)와, 상기 초고주파 공동(5)과 제 2증폭기(4) 사이에 구비되어 서로 상이한 직경 또는 크기 차이를 점진적으로 감소시키는 등 서로간의 부하차이를 완화시켜주는 도파관 정합기(12) 및, 상기 2차 증폭기(4)를 통해 증폭된 초고주파 전력의 세기를 조절함으로써 상기 초고주파흡수체(61)의 가열온도를 조절하는 온도조절기(13) 등을 포함하여 구성된다.

상기 초고주파 증폭기(3,4) 및 초고주파 발생기(1)로는 LDMOS 소자를 비롯한 반도체 트랜지스터 초고주파 증폭기 및 초고주파 발생기로 구성됨이 바람직하며, 그 이외에 마이크로웨이브를 발생시키는 마그네트론과 더불어 필요시 마이크로웨이브의 회귀로 인한 마그네트론 손상방지를 위한 아이솔레이터(isolator), 부하가 걸리는 초고주파 공동으로의 마이크로웨이브 에너지 전달을 최적화하기 위한 임피던스 정합용 3-조절부 동조기(3-stub tuner) 등을 추가하여 구성될 수도 있다.

그리고, 상기 폐가스의 분해가 이루어지는 초고주파 공동(5)은 중앙에 동심축(31)이 구비되며 원통형상의 외벽(32)을 갖는 몸체(30)가 구비되어 구성되며, 상기 몸체(30)에는 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 외벽(32)의 내주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체(61)의 높은 온도가 외벽(32) 측으로 전달되는 것을 방지하는 외측 절연체(51) 및, 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 동심축(31)의 외주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체(61)의 높은 온도가 동심축(31) 측으로 전달되는 것을 방지하는 내측 절연체(52)가 형성되어 구성된다.

또, 상기 몸체(30)의 바닥면에는 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 폐가스의 흐름을 차단하면서 증폭된 초고주파를 몸체(30) 내부로 통과시키는 하부 절연체(33)가 형성되고, 상기 몸체(30)의 상단부 측에는 다수 개의 그리드홀(35)이 형성되어 가스의 출입이 가능하도록 함과 아울러 초고주파가 더 이상 진행하지 못하도록 종단기 역할을 하는 금속판(34)이 구성되는 한편, 상기 하부 절연체(33)의 상측 및 금속판(34)의 하측에는 각각 세라믹 재질을 포함하는 내부 절연체(41)가 형성되어 상호 간의 사이에 상기 초고주파 흡수체(61)가 위치된 상태로 초고주파를 통과시킴과 아울러, 상기 내부 절연체(41)의 판상에는 다수 개의 그리드홀(42)이 형성되어 폐가스 또는 분해된 가스를 출입시킬 수 있도록 이루어진다.

또, 상기 하부 절연체(33)와 내부 절연체(41) 사이의 외벽(32) 일정 지점에는 폐가스 공급부(6)가 형성되고, 상기 금속판(34) 상측의 외벽(32) 일정 지점에는 재결합방지 가스 공급부(8)가 형성되어 구성된다.

참조부호 7 및 9는 폐가스 공급부 조절밸브 및 재결합방지 가스 공급부 조절밸브를 각각 나타낸다.

여기에서, 상기 초고주파 공동(5)은 동축도파관 또는 사각도파관 등의 형태를 포함하여 다양한 구조로 변경이 가능함은 물론이다.

본 발명에서, 상기 초고주파 공동(5) 내부에 설치되어 몸체(30) 내부로 입력되는 초고주파 전력을 흡수 가열하여 폐가스의 열분해가 가능하도록 하는 초고주파흡수체(61)는 구형, 입자형, 펠릿형, 다공성 형상 등으로 다양하게 구성될 수 있다.

한편, 상술한 바와 같은 초고주파 가열 폐가스 분해장치에 구비되는 초고주파 공동(5)은 다수 개가 병렬형태로 연결되어 대용량 처리가 가능하도록 이루어지며, 각 초고주파 공동(5)에는 각각 대응되게 온도조절기(13)와 함께 제 1 및 제 2증폭기(3,4)가 연결 설치되어 구성된다.

또, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 초고주파 발생기(1)로부터 발생된 초고주파를 1차 증폭하는 1차 증폭기(3) 및 상기 1차 증폭된 초고주파를 2차 증폭하는 2차 증폭기(4)로 이루어진 증폭수단에서, 상기 1차 증폭기(3)에는 다수 개의 2차 증폭기(4)가 병렬로 연결되어 구성됨에 따라, 1차 증폭기의 수량을 저감시켜 구성할 수도 있다.

이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치는, 필요에 따라 적정 수량의 모듈이 병렬 상태로 연결 설치되어 구성된다.

상술한 초고주파 가열 폐가스 분해장치를 통한 폐가스의 분해 과정은, 상기 전원부(2)로부터의 전원 공급을 통해 동작되는 초고주파 발생기(1)로부터 발생된 초고주파 전력은 상기 제 1 및 제 2증폭기(3,4)를 거쳐 증폭된 상태로 상기 초고주파 공동(5) 내부로 입력되게 된다.

이때, 상기 제 1 및 제 2증폭기(3,4)를 거쳐 증폭된 초고주파 전력은 세라믹 재질 등으로 이루어진 하부 절연체(33)를 통과하여 상기 초고주파 공동(5) 내부로 진입하게 된다.

또한, 상기 초고주파 공동(5) 내부로 입력된 초고주파 전력은 상기 초고주파 공동(5) 내부에 있는 다량의 초고주파 흡수체(61) 측에서 흡수되게 되며, 이때 상기 초고주파 흡수체(61)는 상기 온도조절기(13)의 제어에 따라 폐가스의 분해에 필요한 적정온도까지 가열이 이루어지게 된다.

그 후, 상기 초고주파 공동(5)에 구비된 폐가스 공급부(6)를 통해서는 유기화합물이나 과불화화합물 등을 포함하는 폐가스가 공동 내부로 유입되어 구형이나 펠릿, 다공성 형상 등을 비롯한 다양한 형태의 초고주파 흡수체(61)를 통과하면서 높은 온도에 의해 열분해가 이루어지게 된다.

이때, 상기 초고주파 공동(5)에 구비된 한 쌍의 내부 절연체(41) 사이에서 열분해가 이루어진 폐가스는 상측에 구비된 내부 절연체(41)의 그리드 홀(42)을 통해 그 상측으로 이동이 이루어질 수 있게 되며, 그 후 금속판(34)에 형성된 그리드홀(35)을 경유하여 가스 토출부(10)를 통해 배출될 수 있게 된다.

또, 상기 초고주파를 이용한 폐가스의 열분해 시에는 상기 초고주파 공동(5)에서 분해된 가스의 재결합 방지를 위한 재결합방지 가스공급부(8)를 통해 수소가스 또는 수분이 연속적으로 공급됨에 따라, 가열된 초고주파 흡수체(61)를 매개로 분해가 이루어진 폐가스의 재결합이 방지될 수 있게 된다.

따라서, 본 발명에 따른 모듈형 초고주파 폐가스 분해장치를 통해서는 유기화합물이나 과불화화합물 등을 포함하는 폐가스를 초고주파 공동(5) 내부의 가열된 초고주파흡수체(61)를 매개로 용이하게 분해할 수가 있음은 물론, 모듈 형태로 이루어진 분해장치를 환경에 맞춰 적정 수량 병렬상태로 연결함으로써, 폐가스의 대용량 처리도 가능해지게 되는 것이다.

한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.

1: 초고주파 발생기, 2: 전원부,
3: 제 1증폭기, 4: 제 2증폭기,
5: 초고주파 공동, 6: 폐가스 공급부,
7,9: 조절밸브, 8: 재결합방지 가스 공급부,
10: 가스 토출부, 11: 온도계,
12: 도파관 정합기, 13: 온도조절기,
30: 몸체, 31: 동심축,
32: 외벽, 33: 하부 절연체,
34: 금속판, 35,42: 그리드홀,
41: 내부 절연체, 51: 외측 절연체,
52: 내측 절연체, 61: 초고주파흡수체.

Claims

장치에 소정 전원을 인가하는 전원부와;
상기 전원부로부터 전원을 공급받아 동작되면서 소정 주파수의 초고주파 신호를 발생시키는 초고주파 발생기와;
상기 초고주파 발생기로부터 입력되는 초고주파를 증폭시키는 증폭기와;
내부에 소정 공간을 갖는 몸체로 이루어져 상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 신호가 입력되며, 그 일측에는 폐가스 공급부, 재결합방지 가스 공급부, 가스 토출부가 각각 형성되어, 그 내부에서 초고주파를 매개로 한 폐가스의 분해가 진행되는 초고주파 공동과;
상기 초고주파 공동 내부에 구비되어 입력된 초고주파 전력을 흡수하여 가열되는 초고주파 흡수체 및;
상기 증폭기를 통해 증폭된 초고주파 전력의 세기를 조절함으로써 상기 초고주파 흡수체의 가열온도를 조절하는 온도조절기를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.
제 1항에 있어서,
상기 초고주파 공동은,
중앙에 동심축이 구비되며 원통형상의 외벽을 갖는 몸체와,
세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 몸체의 바닥면을 형성하며 상기 폐가스의 흐름을 차단하면서 증폭된 초고주파를 몸체 내로 통과시키는 하부 절연체와,
세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 외벽의 내주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체의 높은 온도가 외벽 측으로 전달되는 것을 방지하는 외측 절연체와,
세라믹 재질을 포함하여 구성되어 상기 동심축의 외주면을 따라 형성되며 가열된 초고주파 흡수체의 높은 온도가 동심축 측으로 전달되는 것을 방지하는 내측 절연체와,
상기 몸체의 상단부 측에 구비되되 다수 개의 그리드홀이 형성되어 가스의 출입이 가능하도록 함과 아울러 초고주파가 더 이상 진행하지 못하도록 종단기 역할을 하는 금속판과,
상기 하부 절연체의 상측 및 금속판의 하측에 각각 형성되어 상호 간의 사이에 상기 초고주파 흡수체를 위치시키며 세라믹 재질을 포함하여 구성되어 초고주파를 통과시킴과 아울러 판상에 다수 개의 그리드홀이 형성되어 폐가스 또는 분해된 가스가 출입 가능하도록 이루어진 한 쌍의 내부 절연체와,
상기 하부 절연체와 내부 절연체 사이의 외벽 일정 지점에 구비되는 폐가스 공급부 및, 상기 금속판의 상측 외벽 일정 지점에 구비되는 재결합방지 가스 공급부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.
제 1항에 있어서,
상기 초고주파 공동은 다수 개가 병렬형태로 연결되어 대용량 처리가 가능하도록 이루어지며, 각 초고주파 공동에는 각각 대응되게 온도조절기 및 증폭기가 연결 설치된 것을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.
제 1항에 있어서,
상기 증폭기는 상기 초고주파 발생기로부터 발생된 초고주파를 1차 증폭하는 1차 증폭기 및 상기 1차 증폭된 초고주파를 2차 증폭하는 2차 증폭기로 구성되며,
상기 1차 증폭기에는 다수 개의 2차 증폭기가 병렬로 연결 가능한 것을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 초고주파 공동 일측에는 그 내부의 온도 측정을 위한 온도계가 설치된 것을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.
제 1항에 있어서,
상기 초고주파 공동과 제 2증폭기 사이에는 서로 상이한 직경 또는 크기 차이를 점진적으로 감소시키는 등 서로간의 부하차이를 완화시켜주는 도파관 정합기가 구비되어 구성된 것을 특징으로 하는 모듈형 초고주파 가열 폐가스 분해장치.