KR101414145B1 - 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크 - Google Patents

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한국항공우주연구원
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Abstract

본 발명은 감지 유로의 크기를 최소화할 수 있는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는, 터보기계의 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크로, 상기 터보기계의 유동 측정 부위에 구비되되 채널부(channel portion)를 갖는 복수의 층이 접합되어 이루어지는 바디; 및 상기 채널부에 의해 형성되며 상기 바디의 둘레면에서 상기 바디의 내부를 거쳐 상기 바디의 단부로 상기 터보기계의 내부의 유체를 안내하는 감지 유로부를 포함한다.

Description

압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크{Micro type rake of detecting pressure}
본 발명은 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크에 관한 것이다.
일반적으로, 터빈 또는 압축기와 같은 터보기계의 공력 성능을 평가하기 위해서는 입구 및 출구의 유동을 측정해야 한다. 특히, 터보기계의 공력 성능을 대표하는 변수로서 압력비와 효율이 있다. 그 중 압력비는 입구에서의 전압력(total pressure)에 대한 출구에서의 전압력의 비를 의미한다.
입구 또는 출구의 평균된 유동을 측정하기 위해서는 레이크를 여러 개 설치해서 원주방향과 반경방향으로 평균된 유동을 측정한다.
그러나 레이크가 많아질수록 유동장에 장애물로 작용하고, 특히 레이크에서 발생하는 후류는 하류 유동장에 심각한 교란(disturbance)을 야기하기 때문에 실제 성능을 계측하는데 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 기존의 레이크는, 도 1에 나타낸 것과 같이, 터보기계(미도시)의 유동 측정 부위에 구비되는 하나의 바디(1)와, 바디(1)에 구비되되 바디(1)의 길이 방향으로 따라 간격을 두고 구비되는 복수의 유로 입구(3)와, 복수의 유로 입구(3)에 각각 연통되고 바디(1)의 내부에서 바디(1)의 길이 방향으로 각각 연장되되 동일 수직선 상에 서로 적층되는 형태로 구비되는 복수의 감지 유로(5)와, 복수의 감지 유로(5)의 입구에 각각 구비되되 바디(1)의 외측으로 돌출되게 구비되어 공기의 흐름을 안전화시키는 복수의 측관(2)과, 그리고 복수의 측관(2)의 외면에 형성되는 통기공(미도시)을 포함하여 이루어진다. 이와 같이 구성된 레이크는 복수의 측관(2) 및 유로 입구(3)를 통하여 복수의 감지 유로(5)로 터보기계의 내부 공기가 유입되어 감지되고 통기공(미도시)을 통하여 유입된 공기가 배출이 되면서 터보기계 내부의 전체적인 압력의 측정이 가능하다. 일반적으로 복수의 유로 입구(3)는 측정 후 평균이 용이하도록 등적 거리로 배치한다. 미 설명된 도면 부호 "4"는 입구관이다.
하지만, 기존의 레이크는 복수의 감지 유로(5)가 동일 선 상에 서로 적층되는 형태를 가지므로, 레이크의 폭(W1)을 줄이는데 한계가 있다. 따라서, 터보기계의 입구 또는 출구에는 기존의 레이크의 장착이 가능하나 간격이 상대적으로 좁은 각 단(stage) 사이에는 기존의 레이크의 설치가 어렵다. 구체적으로, 터보기계의 한 단(stage)은 하나의 동익렬(미도시)(rotor row, 회전체)과 정익렬(미도시)(stator row, 정지체)로 구성되고, 다단(multi-stage)의 경우에는 이러한 단이 반복되는데, 각 단의 축간 거리는 설계에 따라 다르지만 좁은 경우 10mm 이하일 경우도 존재하므로, 각 단(stage) 사이에는 기존의 레이크의 설치가 어렵다. 나아가, 단별 축간 거리가 좁은 곳에는 기존의 레이크를 설치할 수 없어 정익 내부 유로(passage)에 삽입하는 경우가 있는데, 이러한 경우 레이크가 유동에 교란(disturbance)을 야기하여 실제 유동에 대한 데이터를 측정하지 못한다.
또한, 기존의 레이크는 바디(1)의 외측으로 측관(2)이 돌출되어 있으므로, 레이크의 폭(W1)을 줄이는데 더욱 한계가 있다.
또한, 레이크의 폭(W1)이 크면 유동에 교란을 줄 수 있어 데이터의 정확도 또한 떨어지게 된다.
본 발명의 기술적 과제는, 설치장소에 구애받지 않고 설치가 가능하도록 크기를 줄일 수 있는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 기술적 과제는, 감지 유로의 크기를 최소화할 수 있는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는, 터보기계의 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크로, 상기 터보기계의 유동 측정 부위에 구비되되 채널부(channel portion)를 갖는 복수의 층이 접합되어 이루어지는 바디; 및 상기 채널부에 의해 형성되며 상기 바디의 둘레면에서 상기 바디의 내부를 거쳐 상기 바디의 단부로 상기 터보기계의 내부의 유체를 안내하는 감지 유로부를 포함한다.
상기 감지 유로부는, 상기 바디의 둘레면에 상기 바디의 길이 방향을 따라 간격을 두고 형성되는 복수의 유로 입구; 및 상기 복수의 유로 입구에 각각 연통되되 상기 바디의 내부를 거쳐 상기 바디의 단부로 연장되는 복수의 감지 유로를 포함할 수 있고, 상기 복수의 감지 유로는 상기 바디의 길이 방향에 대해 서로 평행하되 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층의 채널부에 의해 분산되어 형성될 수 있다.
상기 복수의 유로 입구 각각은 상기 바디의 둘레면에서 상기 바디의 내부로 갈수록 점점 폭이 좁아지는 형상을 가질 수 있다.
상기 감지 유로부는, 상기 복수의 유로 입구를 통해 유입된 상기 유체의 일부를 상기 복수의 감지 유로로 유입되기 전에 배출시키는 통기공을 더 포함할 수 있다.
일 예로, 상기 통기공은 유동의 원활한 배출을 위해 상기 복수의 층에 대해 경사져 구비될 수 있다.
다른 예로, 상기 통기공은 상기 감지 유로의 수를 증가시키기 위해 상기 복수의 층에 대해 수직하게 구비될 수 있다.
상기 복수의 유로 입구 각각에는 요각(yaw angle)의 영향을 미연에 막기 위한 요각 방지 튜브가 삽입될 수 있다.
상기 요각 방지 튜브의 외면과 상기 각 유로 입구의 내면 사이에는 상기 유체가 이동되는 유동 공간이 형성될 수 있다.
상기 요각 방지 튜브는 그 외면이 상기 통기공에 대향하도록 위치될 수 있다.
상기 바디는 원통, 익형(airfoil) 및 유선형 중 어느 하나의 형상의 단면을 가질 수 있다.
일 예로, 상기 채널부는 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층에 기계가공되어 이루어질 수 있다.
다른 예로, 상기 채널부는 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층에 에칭(etching)되어 이루어질 수 있다.
일 예로, 상기 복수의 층은 확산 접합(diffusion bonding)에 의해 서로 접합될 수 있다.
다른 예로, 상기 복수의 층은 브레이징(brazing)에 의해 서로 접합될 수 있다.
또 다른 예로, 상기 복수의 층은 실크 스크린 인쇄 방식 또는 포토리소그래피(photolithography) 방식의 증착을 통해 형성될 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 바디가 채널부를 갖는 복수의 층에 의해 접합되어 이루어지고, 감지 유로부가 외부로 돌출됨 없이 채널부에 의해 형성되므로, 설치장소에 구애받지 않고 설치가 가능하도록 크기를 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 복수의 감지 유로가 바디의 길이 방향에 대해 서로 평행하되 복수의 층 중 적어도 두 개의 층의 채널부에 의해 분산되어 형성되므로, 그 크기를 더욱 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 채널부가 에칭(etching)되어 이루어지므로 감지 유로의 크기를 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 복수의 층이 실크 스크린 인쇄 방식 또는 포토리소그래피(photolithography) 방식의 증착을 통해 형성되므로 감지 유로의 크기를 더욱 최소화할 수 있다.
도 1은 기존의 압력을 측정하는 레이크를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3의 마이크로 타입 레이크를 IV-IV선으로 잘라 본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 나타낸 평면도이며, 그리고 도 4는 도 3의 마이크로 타입 레이크를 IV-IV선으로 잘라 본 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는, 터보기계의 압력을 측정하는 것으로, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 바디(110) 및 감지 유로부(120)를 포함한다.
먼저, 도 2 내지 도 4을 참조하여, 바디(110)에 대해 상세히 설명한다.
바디(110)는 터보기계의 유동 측정 부위에 구비되되, 도 4에 도시된 바와 같이 채널부(C)(channel portion)를 갖는 복수의 층(111)이 접합되어 이루어진다. 이러한 바디(110)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 층(111)이 접합된 후 선삭 가공 등을 통해 원통의 단면을 가질 수 있다. 참고로, 도 4의 도면 부호 "E"는 선삭 가공 등에 의해 제거되는 부분을 가리킨다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 바디(110)는 유동장에 교란을 최소화할 수 있는 익형(airfoil) 또는 유선형의 단면을 가질 수도 있다.
나아가 채널부(C)는, 일 예로써, 복수의 층(111) 중 적어도 두 개의 층에 기계가공되어 이루어질 수도 있고, 다른 예로써, 복수의 층 중 적어도 두 개의 층에 화학적으로 에칭(etching)되어 이루어질 수 있다. 특히, 채널부(C)가 화학적으로 에칭(etching)되어 이루어질 경우, 기계가공에 의해 이루어지는 것에 비해 감지 유로부(120)의 크기를 크게 줄일 수 있을 것이다. 결과적으로, 감지 유로부(120)의 크기의 감소로 바디(110)의 크기를 줄일 수 있다.
나아가 복수의 층(111)은, 일 예로써, 확산 접합(diffusion bonding)에 의해 서로 접합될 수 있고, 다른 예로써, 브레이징(brazing)에 의해 서로 접합될 수 있다. 특히, 복수의 층(111)이 확산 접합에 의해 접합될 경우 별도의 접합층이 존재하지 않게 되므로, 브레이징에 의해 접합되는 것에 비해 바디(110)의 크기(W2)(예를 들어, 폭 또는 외경)을 크게 줄일 수 있을 것이다.
또 다른 예로, 복수의 층(111)은 실크 스크린 인쇄 방식 또는 포토리소그래피(photolithography) 방식에 의해 증착되어 형성될 수 있다. 특히, 이렇게 증착을 통해 복수의 층(111)이 형성될 경우, 별도의 층을 만들어 확산 접합 또는 브레이징에 의해 접합시키는 것에 비해 감지 유로부(120)의 크기를 더욱 줄일 수 있다. 결과적으로, 이러한 감지 유로부(120)의 크기의 감소로 바디(110)의 크기(W2)를 더욱 줄일 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여, 상술한 감지 유로부(120)에 대해 상세히 설명한다.
감지 유로부(120)는, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 채널부(C)에 의해 형성되며 바디(110)의 둘레면에서 바디(110)의 내부를 거쳐 바디(110)의 단부로 터보기계의 내부 유체를 안내한다. 예를 들어, 감지 유로부(120)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 유로 입구(121)와, 이에 각각 연통되는 복수의 감지 유로(122)를 포함할 수 있다.
복수의 유로 입구(121)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 바디(110)의 둘레면에 바디(110)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 형성되며, 제1, 제2, 제3 및 제4 유로 입구(121a)(121b)(121c)(121d)를 포함할 수 있다. 나아가, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 유로 입구(121) 각각은 복수의 감지 유로(122)로 유체의 유입이 원활하게 이루어지도록 바디(110)의 둘레면에서 바디(110)의 내부로 갈수록 폭이 점점 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 이러한 폭이 점점 좁아지는 형상은 필렛(fillet) 또는 챔퍼(chamfer) 가공에 의해 형성될 수 있다.
복수의 감지 유로(122)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 유로 입구(121)에 각각 연통되되 바디(110)의 내부를 거쳐 바디(110)의 단부로 연장되며, 제1, 제2, 제3 및 제4 감지 유로(122a)(122b)(122c)(122d)를 포함할 수 있다. 특히, 제1, 제2, 제3 및 제4 감지 유로(122a)(122b)(122c)(122d)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 바디(110)의 길이 방향에 대해 서로 평행하되, 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 층(111) 중 제1, 제2 및 제3 층(111a)(111b)(111c)의 채널부(C)에 의해 분산되어 형성될 수 있다. 즉, 제2 감지 유로(222b)는 제1 층(111a)에 형성되고, 제1 및 제4 감지 유로(222a)(222d)는 제2 층(111b)에 형성되며, 그리고 제3 감지 유로(222c)는 제3 층(111c)에 형성될 수 있다. 따라서, 제1, 제2, 제3 및 제4 감지 유로(122a)(122b)(122c)(122d)가 하나의 층에 모두 형성되지 않고, 제1, 제2 및 제3 층(111a)(111b)(111c)에 분산되어 형성되므로, 바디의 크기(W2)(예를 들어, 폭 또는 외경)를 대폭 줄일 수 있다.
이와 더불어, 상술한 감지 유로부(120)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 통기공(123)을 더 포함할 수 있다. 이러한 통기공(123)은 복수의 유로 입구(121)를 통해 유입된 유체의 일부를 복수의 감지 유로(122)로 유입되기 전에 배출시키는 역할을 한다. 이러한 통기공(123)은, 일 예로 상술한 복수의 층(111)에 형성된 채널부(C)에 의해 구현될 수도 있고, 다른 예로 기계가공을 통해 형성될 수도 있다. 나아가 통기공(123)은, 일 예로 유동의 원활한 배출을 위해 복수의 층에 대해 경사져 가공[도 4의 좌측에 위치한 통기공(123) 참조]되거나, 다른 예로 감지 유로(122)의 수를 증가시키기 위해 복수의 층(111)에 대해 수직으로 가공[도 4의 우측에 위치한 통기공(123) 참조]될 수 있다.
이와 더불어, 상술한 복수의 유로 입구(121) 각각에는 요각(yaw angle)의 영향을 미연에 막기 위한 요각 방지 튜브(130)가 삽입될 수 있다. 나아가, 요각 방지 튜브(130)의 외면과 유로 입구(121)의 내면 사이에는 유체가 이동되는 유동 공간(124)이 형성될 수 있다. 또한, 요각 방지 튜브(130)는 그 외면이 통기공(123)에 대향하도록 위치될 수 있다. 따라서, 복수의 유로 입구(121)를 통해 유입된 유체의 일부를 복수의 감지 유로(122)로 유입되기 전에 유동 공간(124)을 거쳐 통기공(123)을 통해 배출될 수 있다.
이하, 도 5를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크에 대해 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크를 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 층(211)의 채널부(C)에 의해 형성되는 복수의 감지 유로(222)의 수를 제외하고는 상술한 본 발명의 일 실시예에 동일하므로 이하에서는 복수의 감지 유로(222)에 대해서만 설명한다. 또한, 상술한 본 발명의 일 실시예와 동일한 구성요소에는 동일한 도면부호를 부여한다.
복수의 감지 유로(222)는 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6, 제7, 제8, 제9, 제10, 제11 및 제12 감지 유로(222a)(222b)(222c)(222d)(222e)(222f)(222g)(222h)(222i)(222j)(222k)(222l)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 감지 유로(222a)는 제1 층(211a)에 형성되고, 제2, 제3 및 제4 감지 유로(222b)(222c)(222d)는 제2 층(211b)에 형성되고, 제5, 제6, 제7 및 제8 감지 유로(222e)(222f)(222g)(222h)는 제3 층(211c)에 형성되고, 제9, 제10 및 제11 감지 유로(222i)(222j)(222k)는 제4 층(211d)에 형성되며, 그리고 제12 감지 유로(222l)는 제5 층(211e)에 형성될 수 있다.
특히, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는, 상술한 본 발명의 일 실시예와 동일한 크기의 바디(110) 내에서 보다 많은 감지 유로(222)를 형성시킬 수 있다는데 그 의미를 부여할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 바디(110)가 채널부(C)를 갖는 복수의 층(111, 211)에 의해 접합되어 이루어지고, 감지 유로부(120)가 외부로 돌출됨 없이 채널부(C)에 의해 형성되므로, 설치장소에 구애받지 않고 설치가 가능하도록 크기(W2)를 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 복수의 감지 유로(122, 222)가 바디(110)의 길이 방향에 대해 서로 평행하되 복수의 층(111) 중 적어도 두 개의 층의 채널부(C)에 의해 분산되어 형성되므로, 그 크기(W2)를 더욱 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 채널부(C)가 에칭(etching)되어 이루어지므로 감지 유로(122, 222)의 크기를 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 복수의 층(111, 211)이 실크 스크린 인쇄 방식 또는 포토리소그래피(photolithography) 방식의 증착을 통해 형성되므로 감지 유로(122, 222)의 크기를 더욱 최소화할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
110: 바디 111: 복수의 층
C: 채널부 121: 복수의 유로 입구
122: 복수의 감지 유로 123: 통기공
124: 유동 공간 130: 요각 방지 튜브

Claims (15)

  1. 터보기계의 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크로,
    상기 터보기계의 유동 측정 부위에 구비되되 채널부를 갖는 복수의 층이 접합되어 이루어지는 바디; 및
    상기 채널부에 의해 형성되며 상기 바디의 둘레면에서 상기 바디의 내부를 거쳐 상기 바디의 단부로 상기 터보기계의 내부의 유체를 안내하는 감지 유로부를 포함하고,
    상기 감지 유로부는
    상기 바디의 둘레면에 상기 바디의 길이 방향을 따라 간격을 두고 형성되는 복수의 유로 입구; 및
    상기 복수의 유로 입구에 각각 연통되되 상기 바디의 내부를 거쳐 상기 바디의 단부로 연장되는 복수의 감지 유로를 포함하고,
    상기 복수의 감지 유로는
    상기 바디의 길이 방향에 대해 서로 평행하되 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층의 채널부에 의해 분산되어 형성되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 복수의 유로 입구 각각은 상기 바디의 둘레면에서 상기 바디의 내부로 갈수록 점점 폭이 좁아지는 형상을 갖는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  4. 제1항에서,
    상기 감지 유로부는
    상기 복수의 유로 입구를 통해 유입된 상기 유체의 일부를 상기 복수의 감지 유로로 유입되기 전에 배출시키는 통기공을 더 포함하는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  5. 제4항에서,
    상기 통기공은 유동의 원활한 배출을 위해 상기 복수의 층에 대해 경사져 구비되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  6. 제4항에서
    상기 통기공은 상기 감지 유로의 수를 증가시키기 위해 상기 복수의 층에 대해 수직하게 구비되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  7. 제4항에서,
    상기 복수의 유로 입구 각각에는 요각의 영향을 미연에 막기 위한 요각 방지 튜브가 삽입되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  8. 제7항에서,
    상기 요각 방지 튜브의 외면과 상기 각 유로 입구의 내면 사이에는 상기 유체가 이동되는 유동 공간이 형성되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  9. 제8항에서,
    상기 요각 방지 튜브는 그 외면이 상기 통기공에 대향하도록 위치되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  10. 제1항에서,
    상기 바디는 원통, 익형 및 유선형 중 어느 하나의 형상의 단면을 갖는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  11. 제1항에서,
    상기 채널부는 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층에 기계가공되어 이루어지는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  12. 제1항에서,
    상기 채널부는 상기 복수의 층 중 적어도 두 개의 층에 에칭되어 이루어지는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  13. 제1항에서,
    상기 복수의 층은 확산 접합에 의해 서로 접합되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  14. 제1항에서,
    상기 복수의 층은 브레이징에 의해 서로 접합되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
  15. 제1항에서,
    상기 복수의 층은 실크 스크린 인쇄 방식 또는 포토리소그래피 방식의 증착을 통해 형성되는 압력을 측정하는 마이크로 타입 레이크.
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