KR101411270B1 - Sheet Align-Transfer Apparatus - Google Patents

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KR101411270B1
KR101411270B1 KR1020120131439A KR20120131439A KR101411270B1 KR 101411270 B1 KR101411270 B1 KR 101411270B1 KR 1020120131439 A KR1020120131439 A KR 1020120131439A KR 20120131439 A KR20120131439 A KR 20120131439A KR 101411270 B1 KR101411270 B1 KR 101411270B1
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(주)이노시엠
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Abstract

본 발명은 시트 정렬 이송 장치(100)에 관한 것으로, 시트를 X-Y-θ축 방향으로 정렬한 후 이송하는 시트 정렬 이송 장치에 있어서, X축 이송 프레임과, 상기 X축 이송 프레임 상에서 X축 정렬 이송 구동 수단에 의하여 구동되는 이송 베이스와, 상기 이송 베이스에 설치되는 Y축 가이드 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되면서, 그 중심에 대하여 상기 이송 베이스가 회전 가능하도록 설치되는 중심 지지축과, 상기 중심 지지축에 의해 그 중심부가 회전가능하게 지지되어 설치되며, 일 측은 제 1 Y축 정렬 구동 수단에 의해 구동되며, 상기 중심부에 대하여 상기 일측의 대각선 방향에 위치하는 타측은 제 2 Y축 정렬 구동 수단에 의해 구동되는 정렬 플레이트와, 상기 정렬 플레이트 위에 설치되며, 상기 시트를 진공 흡착 고정하는 진공 흡착 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하는 경우, 별도의 이송 장치 없이도 2개의 y축 제어구동 수단과 하나의 x축 제어 구동수단만으로도 X-Y-θ축에 대한 정렬 및 이송이 가능하다는 장점이 있다.
또한, 비교적 단순한 구성에 의해서도, 중심 지지축에 의해 큰 하중을 안정적으로 지지하면서 정렬 이송하는 것이 가능하다는 장점이 있다.
The present invention relates to a sheet aligning and conveying apparatus 100, and a sheet aligning and conveying apparatus for aligning and conveying sheets in the XY-theta axis direction, the apparatus comprising: an X-axis conveying frame; A center support shaft provided so as to be movable in the Y axis direction on a Y axis guide provided on the conveyance base and provided so that the conveyance base is rotatable with respect to a center of the conveyance base, And a second Y-axis alignment driving means for driving the second Y-axis alignment driving means, the second Y-axis alignment driving means being disposed on one side in the diagonal direction with respect to the center portion, And a vacuum adsorption plate provided on the alignment plate for vacuum-fixing the sheet, And a sheet conveying device for conveying sheets.
According to the present invention, there is an advantage that it is possible to align and feed the XY-theta axis by only two y-axis control drive means and one x-axis control drive means without a separate transfer device.
Further, even with a relatively simple structure, there is an advantage that it is possible to carry out alignment while supporting a large load stably by the center support shaft.

Description

시트 정렬 이송 장치{Sheet Align-Transfer Apparatus}{Sheet Align-Transfer Apparatus}

본 발명은 시트 정렬 이송 장치(100)에 관한 것으로, 시트를 X-Y-θ축 방향으로 정렬한 후 이송하는 시트 정렬 이송 장치에 있어서, X축 이송 프레임(110);과, 상기 X축 이송 프레임(100) 상에서 X축 정렬 이송 구동 수단(130)에 의하여 구동되는 이송 베이스(120);와, 상기 이송 베이스(120)에 설치되는 Y축 가이드(161) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 중심 지지축(160);과, 상기 중심 지지축(160)에 의해 그 중심부가 회전가능하게 지지되어 설치되며, 일 측은 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)에 의해 구동되며, 상기 중심부에 대하여 상기 일측의 대각선 방향에 위치하는 타측은 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)에 의해 구동되는 정렬 플레이트(170);와, 상기 정렬 플레이트(170) 위에 설치되며, 상기 시트를 진공 흡착 고정하는 진공 흡착 플레이트(180);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치(100)에 관한 것이다.
The present invention relates to a sheet aligning and conveying apparatus (100), and a sheet aligning and conveying apparatus for aligning and conveying a sheet in the XY-theta axis direction, comprising: an X-axis conveying frame (110) Axis direction on the Y-axis guide 161 installed on the conveyance base 120. The Y-axis guide 161 is driven by the X-axis aligning and conveying driving means 130 on the Y- Axis driving unit 140. The first Y-axis alignment driving unit 140 drives the first Y-axis alignment driving unit 140 and the second Y- And the other side positioned in the diagonal direction on one side is an alignment plate 170 driven by a second Y-axis alignment driving means 150; and a vacuum adsorption Plate 180, It is directed to the sheet by the transfer device (100) according to claim.

일반적으로, 초소형 capacitor인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 capacitor의 용량을 크게 하기 위해서는 대향 전극 면적을 늘리거나, 전극간 거리를 작게 하거나, 비유전율이 큰 유전재료를 전극 사이에 적용하는 방법이 사용되나, 그 크기를 소형으로 유지하면서 용량을 증대시키기 위해서는 주로 유전물질 필름 또는 박막의 두께를 더욱 얇게 하여 제작한 후, 수십~수백층을 적층하여 병렬로 연결되도록 하고 있으며, 이러한 적층을 위하여 전용 적층기가 사용되게 된다.
Generally, in order to increase capacitance of a capacitor such as a multi-layer ceramic capacitor (MLCC) which is a very small capacitor, it is necessary to increase a counter electrode area, reduce a distance between electrodes, or apply a dielectric material having a large dielectric constant between electrodes However, in order to increase the capacity while keeping the size small, the thickness of the dielectric material film or thin film is mainly made thinner, and then several tens to several hundreds of layers are laminated and connected in parallel. A dedicated laminator is used.

이러한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 의하여 제조되는 박막 초소형 MLCC는 IT 제품(휴대폰, PC, D-TV 등) 외에 메모리 모듈, 튜너 등 모바일 기기, 군사용 기기, 의료 기기, 항공기, 자동차 등의 특수 목적으로도 적용되며, 소형의 capacitor가 요구되는 대단히 다양한 분야에 널리 사용된다. 특히, 내부 인덕턴스(Inductance)가 낮아 다른 캐패시터에 비해 고주파에서 노이즈 제거 효과가 탁월하기 때문에, 휴대폰, 위성 등에 적용되며, 초소형으로도 높은 용량을 가지면서 고신뢰성을 가지는 capacitor로서의 역할을 한다. 일반적으로, MLCC는 휴대폰에 250여 개(스마트폰은 일반 휴대폰의 2배), 노트북에 300여 개, LCD TV에700여 개 등이 소요되는, 범용성이 높은 부품이다.
Thin-film micro-MLCCs manufactured by these thin film MLCC-dedicated laminators can be used for special purposes such as memory modules, tuners, mobile devices, military devices, medical devices, aircraft, automobiles, etc. in addition to IT products (mobile phones, PCs, D- And is widely used in a wide variety of fields where small capacitors are required. Particularly, since the inductance is low, it is superior in noise elimination effect at high frequencies compared with other capacitors, and thus it is applied to mobile phones, satellites, etc., and plays a role as a capacitor having high capacity and high reliability. In general, MLCC is a versatile component that requires more than 250 mobile phones (smartphones are twice as large as ordinary mobile phones), about 300 in notebooks, and about 700 in LCD TVs.

한편, 스마트폰 등의 휴대용 통신 기기, 태블릿 피씨, 노트북, 스마트 TV 등의 각종 전자기기의 고성능화 에 따라, 그에 사용되는 박막 초소형 MLCC의 사이즈도 점점 소형화 되는 것이 요구되고 있으며, 박막 초소형 MLCC는 resistor와 더불어 회로 구성의 기본 소자로서 그 사용이 필수적인 점을 고려할 때, 이러한 박막 초소형 MLCC의 제조를 위한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 관한 기술은 현재뿐만 아니라 향후에도 중요한 이슈로 부각될 수밖에 없다.
On the other hand, as electronic devices such as smart phones, portable communication devices, tablet PCs, notebooks, and smart TVs have become more sophisticated, the size of thin-film micro-MLCCs used therefor is becoming smaller and smaller. Considering that it is necessary to use the MLCC as a basic element of a circuit structure, the technology for a thin film MLCC-dedicated laminator for manufacturing such a thin MLCC is inevitably an important issue not only now but also in the future.

이러한 시트 적층 공정 및 장치에 관해서는 하기 특허문헌 1의 "세라믹 그린시트 자동 적층 방법 및 그 장치(대한민국공개특허 제10-2007-0035222호)" 외에도 다양한 선행 발명들이 공개되어 실시되고 있다. 이 경우, 적층하고자 하는 각각의 시트들이 서로 정확한 위치를 가지며 적층되기 위해서는 상기 특허 문헌 1에서도 개시된 바와 같이 적층 단계 이전에 센서 등의 측정 수단을 사용하여 상기 시트의 위치를 측정한 후, X-Y-θ축에 대하여 정렬하는 단계가 필수적으로 요구된다.
As for the sheet laminating process and the apparatus, various prior arts have been disclosed and disclosed in addition to the "automatic ceramic green sheet laminating method and apparatus (Korean Patent Laid-open No. 10-2007-0035222)" of Patent Document 1 below. In this case, in order for each of the sheets to be laminated to have an accurate position and to be stacked, the position of the sheet is measured using a measuring means such as a sensor before the stacking step as described in the above Patent Document 1, A step of aligning with respect to the axis is essential.

이와 같은 시트의 정렬을 실시하는 장치에 관해서는, 하기 특허문헌 2의 "시트적층장치(대한민국 공개특허 제10-2009-0100888호)"에서, 그 발명의 상세한 설명과 도 2에 "XYθ축 이송테이블은 헤드 승강기구에 의해 승/하강되도록 설치되며, 상/하측 플레이트, 상/하측 플레이트 사이에 설치되어 하측 플레이트를 X/Y/θ축방향으로 미세 조정하는 볼스크류 직선기구/회전부재"로 구성되는 내용이 개시되어 있다. 상기 정렬장치의 구성을 좀 더 상세히 나타내면 도 1에 도시한 사시도와 같다.(도 1에서는 작동 부분의 명확한 표현을 위하여 진공 흡착 플레이트는 생략되어 도시되어 있음에 유의하여야 한다.)
In the sheet stacking apparatus (Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0100888) of the following patent document 2, a detailed description of the invention and an apparatus for aligning such a sheet are described in "XY & The table is installed so as to be raised / lowered by the head elevating mechanism and includes a top / bottom plate, a ball screw linear mechanism / rotary member installed between the upper and lower plates and finely adjusting the lower plate in the X / Y / And the constituent contents are disclosed. 1 is a more detailed view of the configuration of the alignment apparatus. (Note that the vacuum adsorption plate is omitted in FIG. 1 for clarity of the operation part.)

그러나, 이러한 기존의 정렬장치에 관한 발명은, 단순히 시트를 정렬하는 것만 가능할 뿐 이송하는 것은 별도의 구성요소를 필요로 한다는 문제점이 있었다.
However, the conventional aligning apparatus has a problem in that it requires only a separate component to transfer the sheet, which is merely capable of aligning the sheet.

또한, 도 1에 나타낸 것과 같이 X-Y-θ축 방향으로 시트가 안착되는 플레이트(1)를 정렬하기 위하여, X 축 구동 수단(2) 및 Y축 구동수단(3)에 연결되어 조절되는 크로스 롤러 스테이지(베어링)(5)이 상기 플레이트(1)의 네 모서리에 각각 설치되어야만 하는바, 상기 크로스 롤러 스테이지(베어링)(5)은 그 구조가 복잡하고 비교적 고가인 구성요소이며, 신속한 동작에는 적합하지 않다는 문제점이 있었다.
Further, in order to align the plate 1 on which the sheet is seated in the XY-theta axis direction as shown in Fig. 1, the X-axis driving means 2 and the Y-axis driving means 3, (Bearings) 5 must be installed at four corners of the plate 1, and the cross roller stages (bearings) 5 are complicated and relatively expensive components, and are suitable for quick operation .

또한, 상기 플레이트(1)에 장착되는 진공 흡착 플레이트 등 다른 구성요소의 하중이 상기 크로스 롤러 스테이지(베어링)(5)에 의해서만 지탱된다는 문제점이 있었다.
Further, there is a problem that the load of other components such as a vacuum adsorption plate mounted on the plate 1 is supported only by the cross roller stage (bearing) 5.

특허문헌 1: 대한민국공개특허 제10-2007-0035222호Patent Document 1: Korean Patent Publication No. 10-2007-0035222 특허문헌 2: 대한민국 공개특허 제10-2009-0100888호Patent Document 2: Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0100888

본 발명은 상기한 기존 발명의 문제점을 해결하여, 별도의 이송 장치 없이도 2개의 y축 제어구동 수단과 하나의 x축 제어 구동수단만으로도 X-Y-θ축에 대한 정렬 및 이송이 가능한 시트 정렬 이송 장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art and it is an object of the present invention to provide a sheet aligning and conveying device capable of aligning and conveying with respect to the XY-theta axis by only two y- The problem is to provide.

또한, 비교적 단순한 구성에 의해서도, 중심 지지축에 의해 큰 하중을 안정적으로 지지하면서 정렬 이송하는 것이 가능한 시트 정렬 이송 장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
It is another object of the present invention to provide a sheet aligning and conveying device capable of aligning and conveying while stably supporting a large load by a central support shaft even with a relatively simple structure.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 시트 정렬 이송 장치(100)는, 시트를 X-Y-θ축 방향으로 정렬한 후 이송하는 시트 정렬 이송 장치에 있어서, X축 이송 프레임(110);과, 상기 X축 이송 프레임(100) 상에서 X축 정렬 이송 구동 수단(130)에 의하여 구동되는 이송 베이스(120);와, 상기 이송 베이스(120)에 설치되는 Y축 가이드(161) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 중심 지지축(160);과, 상기 중심 지지축(160)에 의해 그 중심부가 회전가능하게 지지되어 설치되며, 일 측은 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)에 의해 구동되며, 상기 중심부에 대하여 상기 일측의 대각선 방향에 위치하는 타측은 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)에 의해 구동되는 정렬 플레이트(170);와, 상기 정렬 플레이트(170) 위에 설치되며, 상기 시트를 진공 흡착 고정하는 진공 흡착 플레이트(180);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, the present invention provides a sheet aligning and conveying apparatus for aligning and conveying sheets in the XY-theta axis direction, comprising: an X-axis conveying frame (110) A conveyance base 120 driven by the X axis alignment conveyance driving means 130 on the X axis conveyance frame 100 and a Y axis guide 161 which is moved in the Y axis direction on the Y axis guide 161 installed on the conveyance base 120. [ A center support shaft 160 mounted to be rotatable and supported by the center support shaft 160, one side being driven by a first Y axis alignment drive unit 140, An alignment plate 170 driven by a second Y-axis alignment driving unit 150 on the other side in the diagonal direction with respect to the central part; and an alignment plate 170 installed on the alignment plate 170, The vacuum adsorption plate (180) ; And

또한, 상기 X축 정렬 이송 구동 수단(130)은,In addition, the X-axis alignment conveying drive means 130,

상기 X축 이송 프레임에 설치되는 X축 정렬 이송 서보 모터(131);An X-axis alignment transfer servomotor (131) installed on the X-axis transfer frame;

상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)와 연결되어 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)의 작동에 따라 상기 이송 베이스(120)를 X축 방향으로 구동시키는 이송 볼 스크류(132); 를 더 포함하여 구성되고,
A transfer ball screw 132 connected to the X-axis alignment transfer servomotor 131 for driving the transfer base 120 in the X-axis direction in accordance with the operation of the X-axis alignment transfer servomotor 131; Further comprising:

상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)은, The first Y-axis alignment driving means 140,

상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141);A first Y-axis alignment drive servo motor 141 installed in the transfer base 120 and driven according to a control signal;

상기 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141)에 연결되어 제 1 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 1 볼 스크류(142);A first ball screw 142 connected to the first Y axis alignment drive servomotor 141 to linearly drive the first alignment block 143 in the Y axis direction;

상기 제 1 정렬 블럭(143)과 상기 이송 베이스(120) 사이에 설치되며, Y축 방향으로 직선 작동하는 제 1 하부 슬라이드 베어링(144);A first lower slide bearing (144) installed between the first aligning block (143) and the transfer base (120) and operating linearly in the Y axis direction;

상기 제 1 정렬 블럭(143)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 1 상부 슬라이드 베어링(144);A first upper slide bearing 144 coupled to the upper side of the first aligning block 143 and linearly operating in the X axis direction;

상기 상부 슬라이드 베어링(144)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 1 회전 베어링(146); 을 더 포함하여 구성되며,
A first rotation bearing 146 installed between the upper slide bearing 144 and the alignment plate 170; Further comprising:

상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)은, The second Y-axis alignment driving means (150)

상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151);A second Y-axis alignment drive servomotor (151) installed in the transfer base (120) and driven according to a control signal;

상기 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151)에 연결되어 제 2 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 2 볼 스크류(152);A second ball screw 152 connected to the second Y axis alignment drive servomotor 151 to linearly drive the second alignment block 143 in the Y axis direction;

상기 제 2 정렬 블럭(153)과 상기 이송 베이스(120) 사이에 설치되며, Y축 방향으로 직선 작동하는 제 2 하부 슬라이드 베어링(154);A second lower slide bearing (154) installed between the second aligning block (153) and the transfer base (120) and linearly operating in the Y axis direction;

상기 제 2 정렬 블럭(153)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 2 상부 슬라이드 베어링(154);A second upper slide bearing 154 coupled to the upper side of the second aligning block 153 and linearly operating in the X-axis direction;

상기 제 2 상부 슬라이드 베어링(154)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 2 회전 베어링(146); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
A second rotation bearing 146 installed between the second upper slide bearing 154 and the alignment plate 170; And further comprising:

또한, 상기 중심 지지축(160)에 더 형성되어 있으며, 상기 정렬 플레이트(170)에 중심 회전 베어링(163)을 통하여 결합되어 연결되는 회전축 지지부재(162);와, The rotation shaft support member 162 further formed on the center support shaft 160 and coupled to the alignment plate 170 via the center rotation bearing 163,

상기 정렬 플레이트(170)의 중앙부에 더 형성되어 있는 중앙 통공(171); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
A central through hole 171 further formed at the center of the alignment plate 170; And further comprising:

또한, 상기 X축 이송 프레임(110)과 상기 이송 베이스(120)사이에 더 설치되는 이송 가이드(111); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Further, a conveying guide 111 further installed between the X-axis conveying frame 110 and the conveying base 120; And further comprising:

또한, 상기 이송 베이스(120)의 위치를 측정할 수 있는 이송 위치 센서(112);와, A transfer position sensor 112 capable of measuring the position of the transfer base 120;

상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측에 더 설치되는 제 1 위치 센서(147);와, A first position sensor 147 further provided on one side of the alignment plate 170 to measure the position of the one side of the alignment plate 170;

상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측에 더 설치되는 제 2 위치 센서(157); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
A second position sensor (157) further provided on the other side of the alignment plate (170) so as to measure the position of the other side of the alignment plate (170); And further comprising:

본 발명에 의하는 경우, 별도의 이송 장치 없이도 2개의 y축 제어구동 수단과 하나의 x축 제어 구동수단만으로도 X-Y-θ축에 대한 정렬 및 이송이 가능하다는 장점이 있다.
According to the present invention, there is an advantage that it is possible to align and feed the XY-theta axis by only two y-axis control drive means and one x-axis control drive means without a separate transfer device.

또한, 비교적 단순한 구성에 의해서도, 중심 지지축에 의해 큰 하중을 안정적으로 지지하면서 정렬 이송하는 것이 가능하다는 장점이 있다.
Further, even with a relatively simple structure, there is an advantage that it is possible to carry out alignment while supporting a large load stably by the center support shaft.

도 1: 기존 발명의 일 실시예에 의한 정렬 테이블의 사시도.
도 2: 본 발명의 일 실시예에 의한 시트 정렬 이송 장치의 상면도.
도 3: 본 발명의 일 실시예에 의한 시트 정렬 이송 장치의 정면도.
도 4: 본 발명의 일 실시예에 의한 시트 정렬 이송 장치의 측면도.
도 5: 본 발명의 일 실시예에 의한 시트 정렬 이송 장치의 정렬 테이블의 X-Y-θ축 정렬 작동 및 이송 작동을 보여주는 모식도.
1 is a perspective view of an alignment table according to an embodiment of the present invention;
2 is a top view of the sheet alignment conveying apparatus according to one embodiment of the present invention;
3 is a front view of the sheet alignment conveying apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 is a side view of the sheet alignment conveying apparatus according to an embodiment of the present invention;
5 is a schematic diagram showing an XY-theta axis alignment operation and a conveyance operation of the alignment table of the sheet alignment conveyance apparatus according to an embodiment of the present invention;

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 시트 정렬 이송 장치를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a sheet sorting and conveying apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, it should be noted that, in the drawings, the same components or parts are denoted by the same reference numerals whenever possible. In describing the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

본 발명은 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 크게 X축 이송 프레임(110), 이송 베이스(120), X축 정렬 이송 구동 수단(130), 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140), 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150), 중심 지지축(160), 정렬 플레이트(170) 및 진공 흡착 플레이트(180)를 포함하여 구성된다.
As shown in FIGS. 2 and 3, the present invention mainly includes an X-axis transfer frame 110, a transfer base 120, an X-axis alignment transfer drive unit 130, a first Y-axis alignment drive unit 140, 2 Y-axis alignment driving means 150, a center support shaft 160, an alignment plate 170, and a vacuum adsorption plate 180.

먼저, X축 이송 프레임(110)에 관하여 설명한다. 상기 X축 이송 프레임(110)은 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 시트 흡착 적재 위치(A)와 시트 이송 위치(B) 사이에 설치되며, 본 발명의 시트 정렬 이송 장치의 기본적인 구조를 지지하는 프레임의 기능을 가진다.
First, the X-axis transfer frame 110 will be described. 2 and 3, the X-axis transport frame 110 is provided between the sheet-adsorption mount position A and the sheet transport position B, and supports the basic structure of the sheet- And has a function of a frame.

다음으로, 이송 베이스(120)에 관하여 설명한다. 상기 이송 베이스(120)는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 X축 이송 프레임(100) 상에서 X축 정렬 이송 구동 수단(130)에 의하여 구동되어 X 축 방향의 정렬 및 이송이 가능하도록 하는 기능을 가진다. 이 경우, 상기 이송 베이스(120)는 이송 작동 중에는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 시트 흡착 적재 위치(A)와 시트 이송 위치(B)(도 2 및 도 3에서 점선으로 표현된 위치) 사이를 왕복하며 작동한다. 한편, 상기 이송 베이스(120)가 X 축 방향의 정렬 기능을 수행하는 경우에는 상기 이송 위치(B)까지 이동 한 후 상기 X축 정렬 이송 구동 수단(130)의 미세 작동에 의하여 X 축 방향의 정렬 기능을 수행하게 된다.
Next, the transfer base 120 will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the transfer base 120 is driven by the X-axis aligning and conveying driving means 130 on the X-axis transfer frame 100 so as to be aligned and conveyed in the X- Function. In this case, during the conveying operation, the conveying base 120 is moved in the sheet conveying position A and the sheet conveying position B (positions indicated by dotted lines in Figs. 2 and 3) ). When the transfer base 120 performs the aligning function in the X-axis direction, the X-axis aligning and conveying driving unit 130 moves to the conveying position B, Function.

한편, 상기 이송 베이스(120)가 상기 X축 이송 프레임(110)에 대하여 작동 공차 없이 원활하게 작동하는 것이 가능하도록 상기 X축 이송 프레임(110)과 상기 이송 베이스(120) 사이에는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 이송 가이드(111)가 더 설치되도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 이송 가이드(111)를 구성하는 실시예로는 대단히 다양한 실시예 중 하나를 선택하여 실시하는 것이 가능하며, 그 중 일 실시예로는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이 상기 이송 가이드(111)는 LM 가이드로 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
2 and FIG. 3 are provided between the X-axis transfer frame 110 and the transfer base 120 so that the transfer base 120 can smoothly operate with respect to the X- 3, it is preferable that the conveyance guide 111 is further installed. In this case, it is possible to select one of the extremely various embodiments as the embodiment constituting the conveyance guide 111. In one embodiment of the conveyance guide 111, as shown in FIGS. 2 and 3, It is preferable that the guide groove 111 is made of an LM guide.

또한, 상기 X축 정렬 이송 구동 수단(130)을 구성하는 실시예 역시 대단히 다양한 실시예 중 하나를 선택하여 실시하는 것이 가능하며, 그 중 일 실시예로는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이 상기 X축 정렬 이송 구동 수단(130)은, 상기 X축 이송 프레임(110)에 설치되는 X축 정렬 이송 서보 모터(131)와, 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)와 연결되어 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)의 작동에 따라 상기 이송 베이스(120)를 X축 방향으로 구동시키는 이송 볼 스크류(132)를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 가능하다.
Also, the embodiment constituting the X-axis aligning and conveying driving means 130 can also be implemented by selecting one of a very wide variety of embodiments. In one embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, The X-axis aligning and conveying drive unit 130 includes an X-axis aligning and conveying servomotor 131 installed on the X-axis conveying frame 110 and an X-axis aligning and conveying servomotor 131 connected to the X- And a transfer ball screw 132 for driving the transfer base 120 in the X axis direction in accordance with the operation of the transfer servomotor 131. [

이 경우, 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)와 상기 이송 볼 스크류(132)를 연결하는 구성 역시 대단히 다양한 실시예 중 하나를 선택하여 실시하는 것이 가능하며, 그 중 일 실시예로는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)의 구동축에는 구동 풀리(133)가 설치되고, 상기 이송 볼 스크류(132)에는 종동 풀리(134)가 설치되도록 한 후, 구동 벨트(미도시)에 의하여 상기 구동 풀리(133)와 상기 종동 풀리(134)가 연결되도록 하는 것이 가능하다.
In this case, it is also possible to connect one of the X-axis alignment feed servomotor 131 and the feed ball screw 132 to each other by selecting one of a very wide variety of embodiments. , A drive pulley 133 is installed on the drive shaft of the X axis alignment feed servomotor 131 and a follower pulley 134 is mounted on the feed ball screw 132. Then, The drive pulley 133 and the driven pulley 134 are connected to each other.

한편, 도 2 및 도 3에서는 상기 이송 가이드(111) 및 상기 이송 볼 스크류(132)가 상기 이송 베이스(120)에 결합되는 위치를 더욱 명확히 나타낼 수 있도록, 점선으로 상기 시트 이송 위치(B)에서의 상기 이송 베이스(120) 내지 상기 진공 흡착 플레이트(180)의 형상을 모식적으로 표현한 후, 상기 이송 가이드(111) 및 상기 이송 볼 스크류(132)의 형상과 위치를 한번 더 실선으로 표현하였음에 유의해야 할 것이다.
2 and 3, in order to more clearly show the position where the conveying guide 111 and the conveying ball screw 132 are coupled to the conveying base 120, The shape and position of the conveying guide 111 and the conveying ball screw 132 are expressed by solid lines once after schematically expressing the shape of the conveying base 120 to the vacuum attracting plate 180 of the conveying guide 111 and the conveying ball screw 132 It should be noted.

다음으로, 중심 지지축(160)에 관하여 설명한다. 상기 중심 지지축(160)은 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 이송 베이스(120)에 설치되는 Y축 가이드(161) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되며, 상기 정렬 플레이트(170)가 회전가능하게 지지되어 설치될 수 있도록 하는 기능을 가진다. 즉, 도 5에 도시한 것과 같이, 상기 중심 지지축(160)에 의해 지지되는 상기 정렬 플레이트(170) 전체가 상기 Y축 가이드(161) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하여, Y축 방향의 정렬 작동이 가능하도록 하며, 상기 중심 지지축(160)에 대하여 상기 정렬 플레이트(170) 전체가 회전하며 θ축에 방향의 정렬 작동이 가능하데 된다. 또한, 상기 중심 지지축(160)에 의하여 상기 정렬 플레이트(170)에 가해지는 하중의 대부분이 그 하중의 중심부분에서 견고하게 지지되므로, 정렬 및 이송하고자 하는 시트의 규격이 커지는 경우(예를 들어 1000㎜ × 1000㎜ 규격)와 같이, 상기 시트를 흡착하여 고정하는 상기 진공 흡착 플레이트(180)의 하중이 대단히 큰 경우(재질에 따라 다르나, 알루미늄과 같은 경금속으로 제작되는 경우에도 100㎏을 초과하는 경우가 가능하다)에도 대단히 안정적으로 하중을 지지하며 작동하는 것이 가능하게 된다.
Next, the center support shaft 160 will be described. 2 and 3, the center support shaft 160 is installed to be movable in the Y-axis direction on a Y-axis guide 161 installed in the transfer base 120, To be rotatably supported and installed. 5, the entire alignment plate 170 supported by the center support shaft 160 is movable in the Y-axis direction on the Y-axis guide 161, so that alignment in the Y- And the entire alignment plate 170 is rotated with respect to the center support shaft 160 so that alignment operation in the direction of the? Axis can be performed. Further, since most of the load applied to the alignment plate 170 by the center support shaft 160 is firmly supported at the central portion of the load, when the size of the sheet to be aligned and fed is large (for example, When the load of the vacuum adsorption plate 180 for adsorbing and fixing the sheet is extremely large (for example, even if it is made of a light metal such as aluminum, depending on the material, It is possible to support the load with great stability.

다음으로, 정렬 플레이트(170)에 관하여 설명한다. 상기 정렬 플레이트(170)는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 중심 지지축(160)에 의해 그 중심부가 회전가능하게 지지되어 설치되며, 일 측은 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)에 의해 구동되며, 상기 중심부에 대하여 상기 일측의 대각선 방향에 위치하는 타 측은 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)에 의해 구동되어, 상기 이송 베이스(120)에 대하여 Y축 및 θ축 방향의 정렬 작동을 하게 된다. 즉, 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)과 상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)이 Y축 방향에서 동일한 방향으로 작동하는 경우에는 Y축 방향의 정렬 작동이 가능하며, 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)과 상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)이 Y축 방향에서 반대 방향으로 작동하는 경우에는 상기 중심 지지축(160)을 회전축으로 하여 θ축 방향의 정렬 작동을 하게 된다. 한편, 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)과 상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)의 작동 방향과 작동 범위를 조합하면, Y축 방향과 θ축 방향의 정렬 작동을 동시에 수행하는 것도 가능하다.
Next, the alignment plate 170 will be described. 2 and 3, the center of the alignment plate 170 is rotatably supported by the center support shaft 160, and one end of the alignment plate 170 is connected to the first Y-axis alignment driving unit 140 And the other side positioned on one side in the diagonal direction with respect to the central portion is driven by the second Y-axis alignment driving means 150 to perform alignment operation in the Y- and? -Axis directions with respect to the transfer base 120 . That is, when the first Y-axis alignment driving means 140 and the second Y-axis alignment driving means 150 operate in the same direction in the Y-axis direction, alignment operation in the Y-axis direction is possible, When the Y-axis alignment driving means 140 and the second Y-axis alignment driving means 150 operate in the opposite directions in the Y-axis direction, alignment operation in the? -Axis direction is performed with the center support axis 160 as a rotation axis . When the operating direction and the operating range of the first Y-axis alignment driving means 140 and the second Y-axis alignment driving means 150 are combined, simultaneous alignment operation in the Y-axis direction and the? -Axis direction It is possible.

상기한 작동이 가능한 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)과 상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)을 구현하는 실시예로는 대단히 다양한 실시예 중 하나를 선택하여 실시하는 것이 가능하다. 그 중 일 실시예로는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)은, 상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141)와, 상기 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141)에 연결되어 제 1 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 1 볼 스크류(142)를 포함하여 구성되는 것이 가능하다. 이 경우, 상기 제 1 정렬 블럭(143)과 상기 이송 베이스(120) 사이에는 Y축 방향으로 직선 작동하는 제 1 하부 슬라이드 베어링(144)이 설치되도록 하여 상기 제 1 정렬 블럭(143)이 상기 이송 베이스(120)에 대하여 Y축 방향으로만 작동하면서도 원활한 작동이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.
The embodiments implementing the first Y-axis alignment driving means 140 and the second Y-axis alignment driving means 150 capable of performing the above-described operations can be implemented by selecting one of a very wide variety of embodiments. As shown in FIGS. 2 and 3, the first Y-axis alignment driving unit 140 includes a first Y-axis alignment driving unit 140 installed in the transfer base 120 and driven according to a control signal, And a first ball screw 142 connected to the first Y axis alignment drive servomotor 141 to linearly drive the first alignment block 143 in the Y axis direction It is possible. In this case, a first lower slide bearing 144, which linearly operates in the Y-axis direction, may be installed between the first aligning block 143 and the transfer base 120 so that the first aligning block 143 is moved It is preferable to operate only in the Y-axis direction with respect to the base 120 so that smooth operation is possible.

한편, Y축 방향 및 θ축 방향의 정렬작동을 하는 상기 정렬 플레이트(170)의 작동에 상기 제 1 정렬 블럭(143)이 X축 방향으로 밀리는 응력을 받는 등의 간섭을 받지 않으면서 상기 정렬 플레이트(170)에 정렬 구동력을 전달하는 것이 가능하도록, 상기 제 1 정렬 블럭(143)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 제 1 정렬 블럭(143)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 1 상부 슬라이드 베어링(144)과, 상기 상부 슬라이드 베어링(144)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 1 회전 베어링(146)이 더 포함되어 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
On the other hand, in the operation of the alignment plate 170 for performing the alignment operation in the Y-axis direction and the &thetas; axis direction, the first alignment block 143 is not subjected to the interference, 2 and 3, between the first aligning block 143 and the aligning plate 170 so as to be able to transmit an alignment driving force to the first aligning block 170, A first upper slide bearing 144 installed to be coupled to the upper slide bearing 144 and linearly operated in the X axis direction and a first rotary bearing 146 installed between the upper slide bearing 144 and the alignment plate 170 It is preferable to include and configure it.

또한, 상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150) 역시 상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)의 경우와 유사하게, 상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151)와, 상기 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151)에 연결되어 제 2 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 2 볼 스크류(152)와, 상기 제 2 정렬 블럭(153)과 상기 이송 베이스(120) 사이에 설치되며, Y축 방향으로 직선 작동하는 제 2 하부 슬라이드 베어링(154)과, 상기 제 2 정렬 블럭(153)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 2 상부 슬라이드 베어링(154)과, 상기 제 2 상부 슬라이드 베어링(154)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 2 회전 베어링(146)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
The second Y-axis alignment driving means 150 is also provided in the transfer base 120, similar to the case of the first Y-axis alignment driving means 140. The second Y- A second ball screw 152 connected to the second Y-axis alignment drive servomotor 151 to linearly drive the second alignment block 143 in the Y-axis direction, A second lower slide bearing 154 installed between the second aligning block 153 and the transfer base 120 and linearly operating in the Y axis direction and a second lower slide bearing 154 installed on the upper side of the second aligning block 153, A second upper slide bearing 154 linearly operating in the X axis direction and a second rotary bearing 146 installed between the second upper slide bearing 154 and the alignment plate 170, .

다음으로, 진공 흡착 플레이트(180)에 관하여 설명한다, 상기 진공 흡착 플레이트(180)는 도 3 및 도 4에 나타낸 것과 같이(도 2의 경우에는 상기 이송 베이스(120) 내지 상기 중심 회전축(160)의 구성을 잘 나타내기 위하여, 상기 정렬 플레이트(170) 및 상기 진공 흡착 플레이트(180)를 도면 상 생략하여 표현한 점에 유의하여야 한다.), 상기 정렬 플레이트(170) 위에 설치되며, 상기 시트를 진공 흡착 고정하는 기능을 가진다. 상기 진공 흡착 플레이트(180)를 구성하고 실시하는 기술은 본 발명이 속하는 기술분야에서는 널리 알려져 실시되고 있는 수준의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다.
3 and 4 (in the case of FIG. 2, the transfer base 120 to the central rotation axis 160), the vacuum adsorption plate 180 may be formed of a metal, It should be noted that the alignment plate 170 and the vacuum adsorption plate 180 are omitted in order to better illustrate the structure of the vacuum pump 200. The vacuum pump 200 is installed on the alignment plate 170, And has a function of adsorbing and fixing. The vacuum adsorption plate 180 is constructed and implemented by a technique which is well known and practiced in the technical field of the present invention, and thus a detailed description thereof will be omitted.

한편, 상기 진공 흡착 플레이트(180)에 연결되는 공압 배관 등이 통과하는 것을 용이하게 하기 위하여, 상기 중심 지지축(160)은 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 정렬 플레이트(170)에 중심 회전 베어링(163)을 통하여 결합되어 연결되는 회전축 지지부재(162)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 이 경우 상기 정렬 플레이트(170)의 중앙부에는 중앙 통공(171)이 더 형성되어 있도록 하는 것이 바람직하다.
2 and 3, in order to facilitate the passage of a pneumatic pipe or the like connected to the vacuum adsorption plate 180, the center support shaft 160 has a center And a rotation shaft support member 162 connected to the rotation shaft 163 through a rotation bearing 163. The center hole 171 is formed at the center of the alignment plate 170 desirable.

또한, 상기 정렬 플레이트(170) 및 상기 이송 베이스(120)의 위치를 측정하여 피이드백하는 것이 가능하도록 하기 위하여 본 발명의 시트 정렬 이송 장치(100)는 도 2 내지 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 이송 베이스(120)의 위치를 측정할 수 있는 이송 위치 센서(112)와, 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측에 더 설치되는 제 1 위치 센서(147);와, 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측에 더 설치되는 제 2 위치 센서(157)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
2 to 4, the sheet sorting and conveying apparatus 100 according to the present invention may be configured such that the position of the aligning plate 170 and the conveying base 120 can be measured and fed back, A transfer position sensor 112 capable of measuring the position of the transfer base 120 and a transfer position sensor 112 installed at the other side of the alignment plate 170 for measuring the position of the one side of the alignment plate 170 And a second position sensor 157 further provided on the other side of the alignment plate 170 so as to measure the position of the other side of the alignment plate 170, It is preferable to further comprise.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Optimal embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been employed herein, they are used for purposes of illustration only and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100: 시트 정렬 이송 장치
110: X축 이송 프레임
111: 이송 가이드 112: 이송 위치 센서
120: 이송 베이스
130: X축 정렬 이송 구동 수단
131: X축 정렬 이송 서보 모터 132: 이송 볼스크류
133: 구동 풀리 134: 종동 풀리
135: 구동 벨트
140: 제 1 Y축 정렬 구동 수단
141: 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터 142: 제 1 볼 스크류
143: 제 1 정렬 블럭 144: 하부 슬라이드 베어링
145: 상부 슬라이드 베어링 146: 제 1 회전 베어링
147: 제 1 위치 센서 148: 제 1 서포트 유니트
150: 제 2 Y축 정렬 구동 수단
151: 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터 152: 제 2 볼 스크류
153: 제 2 정렬 블럭 154: 하부 슬라이드 베어링
155: 상부 슬라이드 베어링 156: 제 2 회전 베어링
157: 제 2 위치 센서 158: 제 2 서포트 유니트
160: 중심 지지축
161: Y축 가이드 162: 회전축 지지부재
163: 중심 회전 베어링
170: 정렬 플레이트 171: 중앙 통공
180: 진공 흡착 플레이트
100: Sheet alignment feed device
110: X-axis feed frame
111: Feed guide 112: Feed position sensor
120: Transfer base
130: X-axis alignment feed drive means
131: X-axis alignment feed servo motor 132: Feed ball screw
133: drive pulley 134: driven pulley
135: drive belt
140: first Y-axis alignment driving means
141: first Y-axis alignment drive servo motor 142: first ball screw
143: first alignment block 144: lower slide bearing
145: upper slide bearing 146: first rotating bearing
147: first position sensor 148: first support unit
150: second Y-axis alignment driving means
151: second Y-axis alignment drive servo motor 152: second ball screw
153: second alignment block 154: lower slide bearing
155: upper slide bearing 156: second rotating bearing
157: second position sensor 158: second support unit
160: center support shaft
161: Y-axis guide 162:
163: center rotating bearing
170: alignment plate 171: central aperture
180: Vacuum adsorption plate

Claims (5)

삭제delete 시트를 X-Y-θ축 방향으로 정렬한 후 이송하는 시트 정렬 이송 장치에 있어서,
X축 이송 프레임(110);
상기 X축 이송 프레임(100) 상에서 X축 정렬 이송 구동 수단(130)에 의하여 구동되는 이송 베이스(120);
상기 이송 베이스(120)에 설치되는 Y축 가이드(161) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 중심 지지축(160);
상기 중심 지지축(160)에 의해 그 중심부가 회전가능하게 지지되어 설치되며, 일 측은 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)에 의해 구동되며, 상기 중심부에 대하여 상기 일측의 대각선 방향에 위치하는 타측은 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)에 의해 구동되는 정렬 플레이트(170);
상기 정렬 플레이트(170) 위에 설치되며, 상기 시트를 진공 흡착 고정하는 진공 흡착 플레이트(180); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하되,

상기 X축 정렬 이송 구동 수단(130)은,
상기 X축 이송 프레임(110)에 설치되는 X축 정렬 이송 서보 모터(131);
상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)와 연결되어 상기 X축 정렬 이송 서보 모터(131)의 작동에 따라 상기 이송 베이스(120)를 X축 방향으로 구동시키는 이송 볼 스크류(132); 를 더 포함하여 구성되고,

상기 제 1 Y축 정렬 구동 수단(140)은,
상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141);
상기 제 1 Y축 정렬 구동 서보 모터(141)에 연결되어 제 1 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 1 볼 스크류(142);
상기 제 1 정렬 블럭(143)과 상기 이송 베이스(120) 사이에 설치되며, Y축 방향으로 직선 작동하는 제 1 하부 슬라이드 베어링(144);
상기 제 1 정렬 블럭(143)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 1 상부 슬라이드 베어링(144);
상기 상부 슬라이드 베어링(144)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 1 회전 베어링(146); 을 더 포함하여 구성되며,

상기 제 2 Y축 정렬 구동 수단(150)은,
상기 이송 베이스(120)에 설치되며, 제어 신호에 따라 구동되는 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151);
상기 제 2 Y축 정렬 구동 서보 모터(151)에 연결되어 제 2 정렬 블럭(143)을 Y축 방향으로 직선 구동시키는 제 2 볼 스크류(152);
상기 제 2 정렬 블럭(153)과 상기 이송 베이스(120) 사이에 설치되며, Y축 방향으로 직선 작동하는 제 2 하부 슬라이드 베어링(154);
상기 제 2 정렬 블럭(153)의 상측에 결합되어 설치되며, X축 방향으로 직선 작동하는 제 2 상부 슬라이드 베어링(154);
상기 제 2 상부 슬라이드 베어링(154)과 상기 정렬 플레이트(170) 사이에 설치되는 제 2 회전 베어링(146); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치(100).
A sheet aligning and conveying apparatus for aligning and conveying a sheet in the XY-theta axis direction,
An X-axis transfer frame 110;
A transfer base 120 driven by the X-axis aligning and conveying driving means 130 on the X-axis transfer frame 100;
A center support shaft 160 installed to be movable in the Y-axis direction on a Y-axis guide 161 installed in the transfer base 120;
A center portion of which is rotatably supported by the center support shaft 160, one side of which is driven by the first Y-axis alignment driving means 140, and the other side of which is located in the diagonal direction with respect to the center portion An alignment plate 170 driven by a second Y-axis alignment driving means 150;
A vacuum adsorption plate 180 installed on the alignment plate 170 for vacuum-fixing the sheet; And a control unit,

The X-axis aligning and conveying drive means (130)
An X-axis alignment feed servomotor 131 installed on the X-axis feed frame 110;
A transfer ball screw 132 connected to the X-axis alignment transfer servomotor 131 for driving the transfer base 120 in the X-axis direction in accordance with the operation of the X-axis alignment transfer servomotor 131; Further comprising:

The first Y-axis alignment driving means 140,
A first Y-axis alignment drive servo motor 141 installed in the transfer base 120 and driven according to a control signal;
A first ball screw 142 connected to the first Y axis alignment drive servomotor 141 to linearly drive the first alignment block 143 in the Y axis direction;
A first lower slide bearing (144) installed between the first aligning block (143) and the transfer base (120) and operating linearly in the Y axis direction;
A first upper slide bearing 144 coupled to the upper side of the first aligning block 143 and linearly operating in the X axis direction;
A first rotation bearing 146 installed between the upper slide bearing 144 and the alignment plate 170; Further comprising:

The second Y-axis alignment driving means (150)
A second Y-axis alignment drive servomotor (151) installed in the transfer base (120) and driven according to a control signal;
A second ball screw 152 connected to the second Y axis alignment drive servomotor 151 to linearly drive the second alignment block 143 in the Y axis direction;
A second lower slide bearing (154) installed between the second aligning block (153) and the transfer base (120) and linearly operating in the Y axis direction;
A second upper slide bearing 154 coupled to the upper side of the second aligning block 153 and linearly operating in the X-axis direction;
A second rotation bearing 146 installed between the second upper slide bearing 154 and the alignment plate 170; (100). ≪ / RTI >
청구항 제 2항에 있어서,
상기 중심 지지축(160)에 더 형성되어 있으며, 상기 정렬 플레이트(170)에 중심 회전 베어링(163)을 통하여 결합되어 연결되는 회전축 지지부재(162);
상기 정렬 플레이트(170)의 중앙부에 더 형성되어 있는 중앙 통공(171); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치(100).
The method according to claim 2,
A rotation axis support member 162 further formed on the center support shaft 160 and coupled to the alignment plate 170 through a center rotation bearing 163;
A central through hole 171 further formed at the center of the alignment plate 170; (100). ≪ / RTI >
청구항 제 3항에 있어서,
상기 X축 이송 프레임(110)과 상기 이송 베이스(120)사이에 설치되는 이송 가이드(111); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치(100).
The method of claim 3,
A transfer guide 111 installed between the X-axis transfer frame 110 and the transfer base 120; (100). ≪ / RTI >
청구항 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이송 베이스(120)의 위치를 측정할 수 있는 이송 위치 센서(112);
상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 일 측에 더 설치되는 제 1 위치 센서(147);
상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측의 위치를 측정할 수 있도록 상기 정렬 플레이트(170)의 상기 타 측에 더 설치되는 제 2 위치 센서(157); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시트 정렬 이송 장치(100).
The method according to any one of claims 2 to 4,
A transfer position sensor 112 capable of measuring the position of the transfer base 120;
A first position sensor (147) further provided on one side of the alignment plate (170) so as to measure the position of the one side of the alignment plate (170);
A second position sensor (157) further provided on the other side of the alignment plate (170) so as to measure the position of the other side of the alignment plate (170); (100). ≪ / RTI >
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