KR101408379B1 - Apparatus and Method of Forming Patterns Using Bonded Glass, and Manufacturing Apparatus and Method of Flat Panel Display Having the Same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법, 및 이를 구비한 평판디스플레이 제조 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치는 복수의 합착 시트 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 포토 인라인 장치; 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 이송 부재; 및 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 순차적으로 회수하는 회수 부재를 포함하되, 상기 복수의 합착 시트는 각각 베어 글래스가 캐리어 글래스 상에 합착된 합착 글래스이거나 또는 유연성 필름이 상기 캐리어 글래스 상에 합착된 합착 필름인 것을 특징으로 한다.The present invention discloses an apparatus and method for pattern formation using a laminating sheet, and an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display having the same.
An apparatus for pattern formation using a cigarette sheet according to the present invention comprises: a photoinline device for forming at least one pattern on each of a plurality of cushion sheets; A transfer member for sequentially supplying the plurality of liner sheets to a loading section of the photoinline device; And a collecting member for sequentially collecting the plurality of the laminating sheets on which the at least one pattern is formed from the unloading portion of the photoinline apparatus, wherein each of the plurality of lining sheets has a bare glass bonded to a carrier glass Or a flexible film is a cemented film bonded on the carrier glass.
Description
본 발명은 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법, 및 이를 구비한 평판디스플레이 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pattern forming apparatus and method using a liner sheet, and an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display having the pattern forming apparatus and method.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 베어 글래스 또는 필름을 캐리어 글래스 상에 합착한 합착 시트를 포토 공정에 제공함으로써, 종래 기술에서 베어 글래스의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하고, 그에 따라 베어 글래스의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되며, 대면적 평판디스플레이의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능하며, 필름과 같은 유연성 재질에도 적용이 가능한 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법, 및 이를 구비한 평판디스플레이 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.More specifically, the present invention relates to a process for forming a protective film for reducing the thickness of a bare glass after a photolithography process in the prior art, by providing a photolithographic process in which a bare glass or a film having a predetermined thin thickness is laminated on a carrier glass It is unnecessary to use a complicated and cumbersome process such as a process, an etching process, a cleaning process, and a protective film stripping process, thereby preventing breakage of the bare glass, The present invention relates to a pattern forming apparatus and method using a cushioning sheet suitable for manufacturing a large area flat panel display and capable of mass production, and also applicable to a flexible material such as a film, and an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display will be.
정보화 사회의 발전에 따라, 영상 정보를 출력하는 디스플레이 장치에 대한 요구가 다양해지면서 기존의 음극선관(CRT: Cathode Ray Tube)를 대체하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel), 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 전계 방출 디스플레이(FED: Field Emission Display), 유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), PC용 모니터, 태블릿(Tablet) PC용 모니터, 휴대폰, 및 스마트폰 등과 같은 여러가지 평판디스플레이(FPD)가 등장하였다.2. Description of the Related Art [0002] With the development of an information society, demands for a display device for outputting image information have been diversified, and plasma display panels (PDPs), liquid crystal displays (LCDs), and the like, which replace conventional cathode ray tubes (CRTs) Various flat panel displays such as a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), an organic light emitting diode (OLED), a monitor for a PC, a monitor for a PC for a tablet, (FPD) has emerged.
상술한 여러 가지 FPD 중에서 휴대폰 화면에서부터 대형 TV 화면에까지 다양하게 쓰이고 있는 PDP, LCD, 또는 유기발광소자(OLED)가 가장 대표적인 평판디스플레이(FPD)로 사용되고 있다.PDPs, LCDs, or organic light emitting devices (OLEDs), which are widely used in various FPDs ranging from a mobile phone screen to a large-sized TV screen, are used as flat panel displays (FPDs).
상술한 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 베어 글래스(bare glass)의 상부에 다양한 패턴을 형성한 후 커버 글래스(cover glass)를 합착하여야 한다.In order to manufacture the above-described flat panel display (FPD), various patterns are first formed on the bare glass, and a cover glass is attached thereto.
좀 더 구체적으로, 도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다. More particularly, FIG. 1A schematically illustrates a photoinline device used to manufacture a flat panel display (FPD) according to the prior art, FIGS. 1B-1C show a flat panel display (FPD) Which is a schematic view for explaining a method for manufacturing the same.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 복수의 베어 글래스(110)를 포토 인라인 장치(101)로 제공한다(도 1a 참조). 그 후, 베어 글래스(110)를 포토 인라인 장치(101) 상에서 화살표 방향을 따라 순차적으로 이송하면서 베어 글래스(110) 상에 필요한 다양한 패턴(120)을 형성한다(도 1b 참조). 이 경우, 베어 글래스(110)는 예를 들어 0.8mm의 초기 두께(Ti)를 갖는다. Referring to FIGS. 1A to 1C, in order to manufacture a flat panel display (FPD), a plurality of
그 후, 포토 인라인 장치(101)로부터 베어 글래스(110)를 보호막 증착 장치(미도시)로 이송하여 패턴(120)을 보호하기 위해 보호막(130)을 형성한다(도 1b 참조). 그 후, 베어 글래스(110)를 식각 장치(미도시)로 이송한 후, 베어 글래스(110)의 두께를 감소시키기 위해 식각액(142)이 담긴 식각조(140) 내로 이송한다(도 1b 참조). 그 후, 베어 글래스(110)의 하부면이 식각액(142)에 의해 식각되어 두께(Tf)가 예를 들어 0.4mm로 감소된다(도 1c 참조).Thereafter, the
그 후, 베어 글래스(110)의 하부면에 대한 세정 공정이 이루어지고, 베어 글래스(110)의 패턴(120) 상부에 형성된 보호막(130)이 제거된다(도 1c 참조). 그 후, 베어 글래스(110)는 예를 들어 커버 글래스 합착과 같은 후속 공정에 사용되어 최종적으로 평판디스플레이(FPD)가 제조될 수 있다.Thereafter, a cleaning process is performed on the lower surface of the
상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)의 제조에서는, 포토 인라인 장치(101)에서 베어 글래스(110) 상에 패턴(120)을 형성하는 선포토 공정이 수행된 후, 식각액(142)을 이용한 식각 공정을 통해 베어 글래스(110)의 두께를 줄이는 공정이 수행된다.As described above, in the manufacture of the flat panel display (FPD) according to the prior art, after the line photo process of forming the
좀 더 구체적으로, 베어 글래스(110)의 선포토 공정 후 두께를 감소시키기 위해 보호막(130) 형성 공정, 식각 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 필수적으로 요구된다.More specifically, it is necessary to use complicated and cumbersome processes such as a process for forming the
또한, 상술한 보호막(130) 형성 공정, 식각 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정을 수행하는 도중에 베어 글래스(110) 상에 형성된 패턴(120)이 오염 또는 손상 발생 가능성이 높으며, 그로 인하여 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다.The
또한, 종래 기술에서는 상술한 문제점들로 인하여 평판디스플레이(FPD)의 제조 시간 및 비용이 증가하고 또한 양산이 어렵다는 문제가 발생한다.In addition, in the prior art, there is a problem that the manufacturing time and cost of a flat panel display (FPD) increases and the mass production is difficult due to the above-described problems.
또한, 종래 기술에서는 베어 글래스(110)와 같은 단단한 재질이 아닌 필름과 같은 유연성 재질의 경우, 상술한 포토 공정을 진행하기 위해 예를 들어 공급롤과 회수롤, 장력을 제어하기 위한 복수의 보조롤, 필름 상에 패턴을 형성하기 위해 필름을 스테이지 상에서 고정시키기 위한 진공 흡착 장치 등이 사용되어야 하므로 필름 상에 패턴 형성을 위한 전체 장비의 구성이 복잡하고 비용이 증가한다는 문제가 있었다.In the prior art, in the case of a flexible material such as a film that is not a rigid material such as the
따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, there is a need for a new method for solving the problems of the above-described conventional techniques.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 베어 글래스 또는 필름을 캐리어 글래스 상에 합착한 합착 시트를 포토 공정에 제공함으로써, 종래 기술에서 베어 글래스의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하고, 그에 따라 베어 글래스의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되며, 대면적 평판디스플레이의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능하며, 필름과 같은 유연성 재질에도 적용이 가능한 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법, 및 이를 구비한 평판디스플레이 제조 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a photolithographic process in which a bare glass or film having a predetermined thickness is stuck on a carrier glass, It is unnecessary to use a complicated and troublesome process such as a protective film forming process, an etching process, a cleaning process, and a protective film stripping process for reducing the thickness, thereby preventing breakage of the bare glass, A pattern forming apparatus and method using a cushioning sheet which can be applied to a flexible material such as a film which is suitable for mass production of a large area flat panel display and which is greatly reduced in manufacturing cost and manufacturing time, And to provide a display manufacturing apparatus and method.
본 발명의 제 1 특징에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치는 복수의 합착 시트 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 포토 인라인 장치; 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 이송 부재; 및 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 순차적으로 회수하는 회수 부재를 포함하되, 상기 복수의 합착 시트는 각각 베어 글래스가 캐리어 글래스 상에 합착된 합착 글래스이거나 또는 유연성 필름이 상기 캐리어 글래스 상에 합착된 합착 필름인 것을 특징으로 한다.An apparatus for pattern formation using a cigarette sheet according to a first aspect of the present invention includes: a photoinline device for forming one or more patterns on a plurality of cigarette sheets; A transfer member for sequentially supplying the plurality of liner sheets to a loading section of the photoinline device; And a recovering member that sequentially recovers the plurality of the laminating sheets on which the at least one pattern is formed from the unloading portion of the photoinline device, wherein the plurality of liner sheets are each formed of a laminated glass having a bare glass bonded to a carrier glass Or a flexible film is a cemented film bonded on the carrier glass.
본 발명의 제 2 특징에 따른 평판디스플레이 제조 장치는 베어 글래스 또는 유연성 필름을 합착액이 도포된 캐리어 글래스 상에 합착시켜 복수의 합착 시트를 형성하는 합착 장치; 상기 복수의 합착 시트를 구성하는 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 포토 인라인 장치; 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 이송 부재; 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 순차적으로 회수하는 회수 부재; 상기 회수 부재에서 회수된 상기 복수의 합착 시트로부터 상기 합착액 및 상기 캐리어 글래스를 분리시키는 스트리핑 장치; 및 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 커버 부재를 부착하는 제 2 합착 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a flat panel display, comprising: a lidding apparatus for forming a plurality of lidding sheets by bonding a bare glass or a flexible film onto a carrier glass coated with a lidding liquid; A photoinline device for forming at least one pattern on each of the bare glass or the flexible film constituting the plurality of liner sheets; A transfer member for sequentially supplying the plurality of liner sheets to a loading section of the photoinline device; A recovering member for sequentially recovering the plurality of laminating sheets on which the at least one pattern is formed from an unloading portion of the photoinline device; A stripping device for separating the coagulating liquid and the carrier glass from the plurality of cohesive sheets recovered in the recovering member; And a second laminating device for attaching the cover member on the bare glass or the flexible film on which the at least one pattern is formed.
본 발명의 제 3 특징에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 방법은 a) 합착 장치에 의해 베어 글래스 또는 유연성 필름이 캐리어 글래스 상에 도포된 합착액에 의해 합착된 복수의 합착 시트를 형성하는 단계; b) 이송 부재를 이용하여 상기 복수의 합착 시트를 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 단계; c) 상기 복수의 합착 시트를 구성하는 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계; 및 d) 회수 부재를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 순차적으로 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A pattern forming method using a cushioning sheet according to a third aspect of the present invention comprises the steps of: a) forming a plurality of cushioning sheets in which a bare glass or a flexible film is adhered to a carrier glass by a cementing solution; b) sequentially supplying the plurality of laminating sheets to a loading section of the photo-inline device using a transferring member; c) forming at least one pattern on the bare glass or the flexible film constituting the plurality of the cushioning sheets, respectively; And d) sequentially recovering the plurality of laminating sheets having the at least one pattern formed thereon from the unloading portion of the photoinline apparatus using the recovering member.
본 발명의 제 4 특징에 따른 평판디스플레이 제조 방법은 a) 합착 장치에 의해 베어 글래스 또는 유연성 필름이 캐리어 글래스 상에 도포된 합착액에 의해 합착된 복수의 합착 시트를 형성하는 단계; b) 이송 부재를 이용하여 상기 복수의 합착 시트를 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 단계; c) 상기 복수의 합착 시트를 구성하는 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계; d) 회수 부재를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 순차적으로 회수하는 단계; e) 스트리핑 장치를 이용하여 상기 캐리어 글래스를 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 f) 제 2 합착 장치를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 커버 부재를 부착하여 평판디스플레이를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a flat panel display according to a fourth aspect of the present invention comprises the steps of: a) forming a plurality of cigarette sheets in which a bare glass or a flexible film is adhered to a carrier glass by a coagulating liquid; b) sequentially supplying the plurality of laminating sheets to a loading section of the photo-inline device using a transferring member; c) forming at least one pattern on the bare glass or the flexible film constituting the plurality of the cushioning sheets, respectively; d) sequentially recovering the plurality of laminating sheets on which the one or more patterns have been formed from the unloading unit of the photoinline apparatus using a recovering member; e) separating the carrier glass from the bare glass or the flexible film using a stripping device; And f) attaching a cover member on the bare glass or the flexible film on which the at least one pattern is formed by using a second laminating apparatus to obtain a flat panel display.
본 발명에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 평판디스플레이 제조 장치 및 제조 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.The following effects can be achieved by using the pattern forming apparatus and the cementing method using the cushioning sheet according to the present invention, and the flat panel display manufacturing apparatus and method using the same.
1. 얇은 두께의 베어 글래스를 사용하더라도 캐리어 글래스에 의해 합착 글래가 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하다.1. Even if a thin bare glass is used, it is possible to secure a sufficient thickness for the laminating glass to be used in the subsequent photo process by the carrier glass.
2. 베어 글래스의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 종래 기술의 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하다.2. It is unnecessary to use the complicated and troublesome processes of the prior art to reduce the thickness of the bare glass after the photolithography process.
3. 베어 글래스의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소된다.3. Breakage of bare glass is prevented and the overall manufacturing cost and manufacturing time of the final product are greatly reduced.
4. 대면적 평판디스플레이의 제조에 적합할 뿐만 아니라 양산이 가능하다.4. It is not only suitable for manufacturing large-area flat panel displays but also mass-produced.
5. 필름과 같은 유연성 재질에도 적용이 가능하다.5. It can be applied to flexible materials like film.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 3c 및 도 3d는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치 및 방법을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.1A is a schematic view of a photo inline device used to manufacture a flat panel display (FPD) according to the prior art.
1B to 1C are schematic views for explaining a method for manufacturing a flat panel display (FPD) according to the prior art.
2A to 2E are views showing an apparatus and method for manufacturing a cigarette sheet according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3A and 3B are diagrams for explaining a pattern forming apparatus and method using a cushioning sheet according to an embodiment of the present invention.
3C and 3D are diagrams for explaining an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention.
4A is a diagram showing a flowchart of a pattern forming method using a cushioning sheet according to an embodiment of the present invention.
4B is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flat panel display according to an exemplary embodiment of the present invention.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 도시한 도면이다.2A to 2E are views showing an apparatus and method for manufacturing a cigarette sheet according to an embodiment of the present invention.
도 2a 내지 도 2e를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 장치(201)에서는 먼저 제 1 카세트(220a)에 적재된 복수의 캐리어 글래스(220)를 제 1 이송 부재(270)를 이용하여 순차적으로 스테이지(224) 상으로 이송한다. 이 경우, 스테이지(224)는 캐리어 글래스(220)을 진공 흡착 방식으로 고정 장착한다. 그 후, 노즐 장치(226)를 이용하여 캐리어 글래스(220) 상에 합착액(221)을 도포한 후, 복수의 제 1 얼라인 장치(228a)를 이용하여 캐리어 글래스(220)를 얼라인시킨다(도 2a 참조).2A to 2E, in the
한편, 흡착 스테이지(211)를 이용하여 제 2 카세트(210a)에 적재된 복수의 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)을 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 제 2 이송 부재(272)를 이용하여 순차적으로 스테이지(224) 상에 고정 장착된 캐리어 글래스(220) 상으로 이송한다. 그 후, 복수의 제 2 얼라인 장치(228b)를 이용하여 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)을 캐리어 글래스(220)에 대해 얼라인시킨다(도 2b 참조). 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)과 캐리어 글래스(220)가 얼라인된 상태가 도 2c에 도시되어 있다.On the other hand, after a plurality of
도 2c 및 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 장치(201)에 사용되는 합착 장치(200)가 도시되어 있다. 이러한 합착 장치(200)는 캐리어 글래스(220)가 장착되는 스테이지(224); 상기 캐리어 글래스(220)를 상기 스테이지(224) 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재(270); 상기 캐리어 글래스(220) 상에 합착액(221)을 도포하기 위한 노즐 장치(226); 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)을 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 베어 글래스(210) 또는 상기 복수의 유연성 필름(미도시)을 상기 캐리어 글래스(220)에 합착시키는 흡착 스테이지(211); 상기 흡착 스테이지(211)를 상기 캐리어 글래스(220) 상으로 이동시키는 제 2 이동 부재(272); 및 상기 흡착 스테이지(211) 상에 제공되며, 상기 합착액(221)을 경화시키는 경화 장치(290)를 포함한다.2C and 2D, there is shown a cigarette lighter 200 used in an
상술한 흡착 스테이지(211)는 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)을 캐리어 글래스(220) 상에 도포된 합착액(221)에 접촉시킨다. 이를 위해, 흡착 스테이지(211)는 예를 들어 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 구비한다. 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)은 각각 예를 들어 관로(281)를 통해 진공 펌핑 장치(280)와 연결된다. 또한, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)과 각각 연결되는 관로(281) 상에는 복수의 개폐 밸브(284)가 제공되어 있으며, 이러한 복수의 개폐 밸브(284)의 순차적인 개방 및 폐쇄 동작을 통해 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)의 진공 흡착 상태 및 진공 해제 상태가 제어된다.The
또한, 복수의 개폐 밸브(284)는 각각 예를 들어 복수의 에어 관로(283)를 통해 에어 공급 장치(282)와 추가적으로 연결될 수 있다.The plurality of on-off
상술한 바와 같이, 흡착 스테이지(211)의 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)은 진공 펌핑 장치(280)에 의해 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)을 진공 흡착 상태로 지지한 상태에서, 복수의 개폐 밸브(284)를 순차적으로 개방한다, 그 결과, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 순차적으로 진공 상태가 해제되면서 베어 글래스(210)는 자중에 의해 캐리어 글래스(220) 상에 도포된 합착액(221)에 접촉된다. 이 때, 상술한 에어 공급 장치(282)를 사용하는 경우, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 순차적으로 진공 상태가 해제됨과 동시에 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 통해 에어 가압력이 순차적으로 인가되므로 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)은 자중 및 에어 가압력에 의해 캐리어 글래스(220) 상에 도포된 합착액(221)에 더욱 견고하게 접촉된다. 이러한 에어 공급 장치(282)는 특히 복수의 유연성 필름(미도시)을 사용할 경우에 유용하다.As described above, the plurality of adsorption regions Z1, Z2, Z3, and Z4 of the
상술한 진공 펌핑 장치(280)의 진공 펌핑 동작 및 해제, 복수의 개폐 밸브(284)의 순차적인 개방 및 폐쇄 동작, 및 에어 공급 장치(282)의 에어 공급 동작은 모두 진공 펌핑 장치(280), 복수의 개폐 밸브(284), 및 에어 공급 장치(282)와 각각 연결되는 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다.The vacuum pumping operation and release of the above-described
그 후, 흡착 스테이지(211) 상에 제공되는 경화 장치(290)를 이용하여 합착액(221)을 경화시킴으로써 베어 글래스(210) 또는 복수의 유연성 필름(미도시)이 캐리어 글래스(220)에 합착된 합착 시트(215)가 얻어진다(도 2d 참조).The
그 후, 합착 시트(215)는 검사 장치(292)를 이용하여 검사된 후, 제 3 이송 부재(274)에 의해 제 3 카세트(294)로 이송된다(도 2e 참조).Thereafter, the
상술한 본 발명의 실시예에 의해 제조된 합착 시트(215)는 베어 글래스(210) 또는 유연성 필름(미도시)과 캐리어 글래스(210)가 합착된 것으로 그 두께가 캐리어 글래스(220)에 의해 증가되므로, 후속 포토 인라인 장치에 사용하기에 충분한 두께를 갖는다.The
좀 더 구체적으로, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치 및 방법을 도시한 도면이다.More specifically, FIGS. 3A and 3B illustrate an apparatus and method for pattern formation using a liner sheet according to an embodiment of the present invention.
도 3a 및 도 3b를 도 2a 내지 도 2e와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치(301)는 복수의 합착 시트(315) 상에 각각 하나 이상의 패턴(325)을 형성하는 포토 인라인 장치(301); 상기 복수의 합착 시트(315)를 상기 포토 인라인 장치(301)의 로딩부(L)에 순차적으로 공급하는 이송 부재(376); 및 상기 포토 인라인 장치(301)의 언로딩부(UL)로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트(315)를 순차적으로 회수하는 회수 부재(378)를 포함한다.Referring to FIGS. 3A and 3B, a
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치(301)에 사용되는 복수의 합착 시트(315)는 각각 베어 글래스(310)가 캐리어 글래스(320) 상에 합착된 합착 글래스이거나 또는 유연성 필름(미도시)이 캐리어 글래스(320) 상에 합착된 합착 필름일 수 있다. 이러한 복수의 합착 시트(315)는 도 2c 및 도 2d를 참조하여 상세히 기술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 장치(200)의 흡착 스테이지(211)를 이용하여 진공 흡착과 해제, 및 선택적으로 에어 공급을 이용하여 합착함으로써 제조될 수 있다.The plurality of the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 장치(301)에서는, 합착 시트(315)로 베어 글래스(310)가 사용되는 경우 베어 글래스(310)의 두께(Tb)는 예를 들어 미리 정해진 0.1 내지 0.4mm의 범위를 가질 수 있다. 따라서, 베어 글래스(310)의 두께(Tb)가 예를 들어 0.4mm의 얇은 두께를 갖더라도 예를 들어 캐리어 글래스(320)의 두께(Tc)가 0.5mm인 경우 합착 시트(315)의 두께(T)는 0.9mm이다. 그에 따라, 충분히 두꺼운 합착 글래스(315)가 패턴 형성 장치(301)에 사용되므로 베어 글래스(310)는 패턴 형성 장치(301)로의 이송 공정, 패턴 형성 공정, 및 패턴 형성 완료 후의 회수 공정에서 파손 등이 방지된다.In the
한편, 합착 시트(315)로 유연성 필름(미도시)이 사용되는 경우, 필름이 캐리어 글래스(320)에 합착되므로 합착 시트(315)는 그 전체로 강성(rigidity)을 갖게 되어 필름을 글래스와 같은 방식으로 이송, 패턴 형성, 및 회수가 가능할 뿐만 아니라, 필름을 패턴 형성 장치(301) 상에서 별도로 진공 흡착 등을 이용하여 고정시킬 필요가 전혀 없다는 장점이 달성된다. When a flexible film (not shown) is used as the
또한, 상술한 이송 부재(376) 및 회수 부재(378)는 각각 예를 들어 로봇 암(robot arm) 또는 진공을 이용하여 탈부착이 가능한 픽업 부재(pick-up element)로 구현될 수 있다. 또한, 이송 부재(376) 및 회수 부재(378)는 서로 별개의 부재이거나 또는 하나의 동일한 부재일 수 있다.The transporting member 376 and the recovering
도 3c 및 도 3d는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치 및 방법을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 3C and 3D are diagrams for explaining an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention.
도 3c 및 도 3d를 도 2a 내지 도 2e 및 도 3a 내지 도 3b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치는 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)을 합착액(321)이 도포된 캐리어 글래스(320) 상에 합착시켜 복수의 합착 시트(315)를 형성하는 합착 장치(200); 상기 복수의 합착 시트(315)를 구성하는 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시) 상에 각각 하나 이상의 패턴(325)을 형성하는 포토 인라인 장치(301); 상기 복수의 합착 시트(315)를 상기 포토 인라인 장치(301)의 로딩부(L)에 순차적으로 공급하는 이송 부재(376); 상기 포토 인라인 장치(301)의 언로딩부(UL)로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트(315)를 순차적으로 회수하는 회수 부재(378); 상기 회수 부재에서 회수된 상기 복수의 합착 시트(315)로부터 상기 합착액(321) 및 상기 캐리어 글래스를 분리시키는 스트리핑 장치(stripping device: 미도시); 및 상기 하나 이상의 패턴(325)이 형성된 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시) 상에 커버 부재(326)를 부착하는 제 2 합착 장치(미도시)를 포함한다. 여기서, 합착 장치(200)는 도 2c 및 도 2d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 장치(200)로 구현될 수 있다.Referring to FIGS. 3C and 3D, with reference to FIGS. 2A to 2E and 3A to 3B, a flat panel display manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치에 사용되는 커버 부재(326)는 커버 글래스 또는 유연성 커버 시트(또는 유연성 필름)로 구현될 수 있다.The
또한, 스트리핑 장치는 예를 들어 히터와 같은 가열 장치 또는 광조사 장치로 구현될 수 있으며, 제 2 합착 장치는 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 장치(200)로 구현될 수 있다.In addition, the stripping device may be realized by a heating device such as a heater, for example, or a light irradiation device, and the second lacquer device may be implemented by the
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치의 구체적인 구성 및 동작에 대해 상세히 기술한다.Hereinafter, a specific configuration and operation of the flat panel display manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
다시 도 3c 및 도 3d를 도 2a 내지 도 2e 및 도 3a 내지 도 3b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 장치에서는 먼저, 도 2c 및 도 2d를 참조하여 도시된 합착 장치(200)에 의해 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)이 캐리어 글래스(320) 상에 도포된 합착액(321)에 의해 합착된 복수의 합착 시트(315)가 형성된다(도 2c 및 도 2d 참조).Referring again to Figures 3C and 3D with Figures 2A to 2E and 3A to 3B, in a flat panel display manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, firstly, as shown in Figures 2C and 2D, A plurality of cemented
그 후, 복수의 합착 시트(315)는 이송 부재(376)에 의해 포토 인라인 장치(301)의 로딩부(L)에 순차적으로 공급된다. 그 후, 포토 인라인 장치(301)에서는 복수의 합착 시트(315)를 구성하는 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시) 상에 각각 하나 이상의 패턴(325)이 형성된다(도 3b 참조). 그 후, 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트(315)는 회수 부재(378)에 의해 포토 인라인 장치(301)의 언로딩부(UL)로부터 순차적으로 회수된다(도 3a 참조).Thereafter, a plurality of the
그 후, 히터 또는 광조사 장치로 구현되는 스트리핑 장치(미도시)를 이용하여 회수된 복수의 합착 시트(315)의 합착액(321)을 가열하거나 광조사하여 캐리어 글래스(320)를 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)으로부터 분리시킨다. 이 경우, 분리를 용이하게 하기 위해 상술한 합착액(321)은 예를 들어 3M사의 포스트잇에 사용되는 저점도 접착제가 사용되거나 또는 감압 접착제(pressure-sensitive adhesive)가 사용될 수 있다. 이러한 저점도 접착제 또는 감압 접착제가 사용되는 경우, 합착액(321)이 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)으로부터 분리되더라도 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)의 하부면에 합착액(321)의 점착 성분이 남아있지 않으므로 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)의 하부면을 세정할 필요가 없다.Thereafter, the
그 후, 제 2 합착 장치(미도시)를 이용하여 하나 이상의 패턴(325)이 형성된 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시) 상에 커버 부재(326)를 부착하여 최종적으로 평판디스플레이(316)가 얻어진다.Thereafter, the
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.4A is a diagram showing a flowchart of a pattern forming method using a cushioning sheet according to an embodiment of the present invention.
도 4a를 도 2a 내지 도 2e 및 도 3a 내지 도 3b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 방법(400)은 a) 합착 장치(200)에 의해 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)이 캐리어 글래스(320) 상에 도포된 합착액(321)에 의해 합착된 복수의 합착 시트(315)를 형성하는 단계(410); b) 이송 부재(376)를 이용하여 상기 복수의 합착 시트(315)를 포토 인라인 장치(301)의 로딩부(L)에 순차적으로 공급하는 단계(420); c) 상기 복수의 합착 시트(315)를 구성하는 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시) 상에 각각 하나 이상의 패턴(325)을 형성하는 단계(430); 및 d) 회수 부재(378)를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트(315)를 상기 포토 인라인 장치(301)의 언로딩부(UL)로부터 순차적으로 회수하는 단계(440)를 포함한다.Referring to FIG. 4A, a
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트를 이용한 패턴 형성 방법(400)에서, 상기 베어 글래스(310)는 미리 정해진 두께(Tb)를 갖는다. 또한, 미리 정해진 두께(Tb)는 0.1 내지 0.4mm의 범위를 가질 수 있다.In the
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.4B is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flat panel display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4b를 도 2a 내지 도 2e 및 도 3a 내지 도 3d와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 방법(401)은 a) 합착 장치(200)에 의해 베어 글래스(310) 또는 유연성 필름(미도시)이 캐리어 글래스(320) 상에 도포된 합착액(321)에 의해 합착된 복수의 합착 시트(315)를 형성하는 단계(410); b) 이송 부재(376)를 이용하여 상기 복수의 합착 시트(315)를 포토 인라인 장치(301)의 로딩부(L)에 순차적으로 공급하는 단계(420); c) 상기 복수의 합착 시트(315)를 구성하는 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시) 상에 각각 하나 이상의 패턴(325)을 형성하는 단계(430); d) 회수 부재(378)를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트(315)를 상기 포토 인라인 장치(301)의 언로딩부(UL)로부터 순차적으로 회수하는 단계(440); e) 스트리핑 장치(미도시)를 이용하여 상기 캐리어 글래스(320)를 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시)으로부터 분리시키는 단계(450); 및 f) 제 2 합착 장치(미도시)를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴(325)이 형성된 상기 베어 글래스(310) 또는 상기 유연성 필름(미도시) 상에 커버 부재(326)를 부착하여 평판디스플레이(316)를 얻는 단계(460)를 포함한다.Referring to FIG. 4B, with reference to FIGS. 2A to 2E and 3A to 3D, a method 401 for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention includes the steps of: a) forming a bare glass 310 A step (410) of forming a plurality of laminating sheets (315), in which a flexible film (not shown) is bonded together by a luting solution (321) applied on a carrier glass (320); b) sequentially supplying (420) said plurality of sheets of bonded sheets (315) to loading section (L) of photoinline device (301) using transfer member (376); c) forming (430) at least one pattern (325) on each of the bare glass (310) or the flexible film (not shown) constituting the plurality of the luting sheets (315); d) sequentially recovering (440) the plurality of the laminating sheets (315) formed with the at least one pattern using the recovering member (378) sequentially from the unloading unit (UL) of the photoinline device (301); e) separating (450) the carrier glass (320) from the bare glass (310) or the flexible film (not shown) using a stripping device (not shown); And f) attaching a cover member 326 on the bare glass 310 or the flexible film (not shown) on which the one or more patterns 325 are formed by using a second laminating apparatus (not shown) 316). ≪ / RTI >
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 방법(401)에서, 상기 e) 단계는 상기 회수된 복수의 합착 시트(315)의 상기 합착액(321)을 가열하거나 광조사하여 이루어질 수 있다.In the flat panel display manufacturing method 401 according to the embodiment of the present invention, the step e) may be performed by heating or irradiating the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조 방법(401)에서, 상기 합착액(321)은 저점도 접착제 또는 감압 접착제로 구현될 수 있다.Further, in the flat panel display manufacturing method (401) according to an embodiment of the present invention, the liquefied liquid (321) may be embodied as a low viscosity adhesive or a pressure sensitive adhesive.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
101: 포토 인라인 장치 110,210,310: 베어 글래스
120,325: 패턴 130: 보호막 140: 식각조
142: 식각액 200: 합착 장치 215,315: 합착 시트
220,320: 캐리어 글래스 221,321: 합착액 224: 스테이지
211: 흡착 스테이지 210a,220a,294: 카세트 226; 노즐 장치
228a,228b: 얼라인 장치 270,272,274,376,378: 이송 부재
280: 진공 펌핑 장치 281: 관로 282: 에어 공급 장치
283: 에어 관로 284: 개폐 밸브 290: 경화 장치 292: 검사 장치101: Photo
120, 325: pattern 130: protective film 140: etching bath
142: etching liquid 200: laminating
220, 320:
211:
228a, 228b:
280: Vacuum pumping device 281: Duct 282: Air supply device
283: air duct 284: opening / closing valve 290: hardening device 292: inspection device
Claims (16)
베어 글래스 또는 유연성 필름을 합착액이 도포된 캐리어 글래스 상에 합착시켜 복수의 합착 시트를 형성하는 합착 장치;
상기 복수의 합착 시트를 구성하는 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 포토 인라인 장치;
상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 이송 부재;
상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 순차적으로 회수하는 회수 부재;
상기 회수 부재에서 회수된 상기 복수의 합착 시트로부터 상기 합착액 및 상기 캐리어 글래스를 분리시키는 스트리핑 장치; 및
상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 커버 부재를 부착하는 제 2 합착 장치
를 포함하는 평판디스플레이 제조 장치.A flat panel display manufacturing apparatus comprising:
A laminating apparatus for bonding a bare glass or a flexible film onto a carrier glass coated with a lacquer to form a plurality of laminating sheets;
A photoinline device for forming at least one pattern on each of the bare glass or the flexible film constituting the plurality of liner sheets;
A transfer member for sequentially supplying the plurality of liner sheets to a loading section of the photoinline device;
A recovering member for sequentially recovering the plurality of laminating sheets on which the at least one pattern is formed from an unloading portion of the photoinline device;
A stripping device for separating the coagulating liquid and the carrier glass from the plurality of cohesive sheets recovered in the recovering member; And
A second laminating device for attaching the cover member to the bare glass or the flexible film on which the at least one pattern is formed,
And a flat display device.
상기 합착 장치는
상기 캐리어 글래스가 장착되는 스테이지;
상기 캐리어 글래스를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재;
상기 캐리어 글래스 상에 상기 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치;
상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름을 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름을 상기 캐리어 글래스에 합착시키는 흡착 스테이지;
상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 글래스 상으로 이동시키는 제 2 이동 부재; 및
상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치
를 포함하고,
상기 흡착 스테이지에 연결되는 에어 공급 장치를 선택적으로 포함하는
평판디스플레이 제조 장치.6. The method of claim 5,
The laminating apparatus
A stage on which the carrier glass is mounted;
A first transfer member for transferring the carrier glass onto the stage;
A nozzle device for applying the cement solution onto the carrier glass;
An adsorption stage for adsorbing the bare glass or the flexible film by a vacuum adsorption method and sequentially releasing the vacuum adsorption state to adhere the bare glass or the flexible film to the carrier glass;
A second moving member for moving the adsorption stage onto the carrier glass; And
A curing device provided on the adsorption stage for curing the cement liquid,
Lt; / RTI >
And optionally an air supply device connected to the adsorption stage
A flat panel display manufacturing apparatus.
상기 이송 부재 및 상기 회수 부재는 각각 로봇 암 또는 진공을 이용하여 탈부착이 가능한 픽업 부재로 구현되고, 상기 이송 부재 및 상기 회수 부재는 서로 별개의 부재이거나 또는 하나의 동일한 부재이며,
상기 스트리핑 장치는 가열 장치 또는 광조사 장치로 구현되는
평판디스플레이 제조 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the conveying member and the collecting member are each realized by a pick-up member capable of being detached and attached using a robot arm or a vacuum, and the conveying member and the collecting member are separate members or one and the same member,
The stripping device may be implemented as a heating device or a light irradiation device
A flat panel display manufacturing apparatus.
상기 합착액은 저점도 접착제 또는 감압 접착제로 구현되는 평판디스플레이 제조 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the cement solution is embodied as a low viscosity adhesive or a pressure sensitive adhesive.
상기 베어 글래스의 두께는 미리 정해진 두께를 갖는 평판디스플레이 제조 장치.9. The method according to any one of claims 5 to 8,
Wherein the thickness of the bare glass has a predetermined thickness.
상기 미리 정해진 두께는 0.1 내지 0.4mm의 범위인 평판디스플레이 제조 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the predetermined thickness is in the range of 0.1 to 0.4 mm.
a) 합착 장치에 의해 베어 글래스 또는 유연성 필름이 캐리어 글래스 상에 도포된 합착액에 의해 합착된 복수의 합착 시트를 형성하는 단계;
b) 이송 부재를 이용하여 상기 복수의 합착 시트를 포토 인라인 장치의 로딩부에 순차적으로 공급하는 단계;
c) 상기 복수의 합착 시트를 구성하는 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 각각 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계;
d) 회수 부재를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 복수의 합착 시트를 상기 포토 인라인 장치의 언로딩부로부터 순차적으로 회수하는 단계;
e) 스트리핑 장치를 이용하여 상기 캐리어 글래스를 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름으로부터 분리시키는 단계; 및
f) 제 2 합착 장치를 이용하여 상기 하나 이상의 패턴이 형성된 상기 베어 글래스 또는 상기 유연성 필름 상에 커버 부재를 부착하여 평판디스플레이를 얻는 단계
를 포함하는 평판디스플레이 제조 방법.A flat panel display manufacturing method,
comprising the steps of: a) forming a plurality of cemented sheets in which a bare glass or a flexible film is adhered to a carrier glass by a lacquer applied by a laminating apparatus;
b) sequentially supplying the plurality of laminating sheets to a loading section of the photo-inline device using a transferring member;
c) forming at least one pattern on the bare glass or the flexible film constituting the plurality of the cushioning sheets, respectively;
d) sequentially recovering the plurality of laminating sheets on which the one or more patterns have been formed from the unloading unit of the photoinline apparatus using a recovering member;
e) separating the carrier glass from the bare glass or the flexible film using a stripping device; And
f) attaching a cover member on the bare glass or the flexible film on which the at least one pattern is formed using a second laminating apparatus to obtain a flat panel display
≪ / RTI >
상기 e) 단계는 상기 회수된 복수의 합착 시트의 상기 합착액을 가열하거나 광조사하여 이루어지는 평판디스플레이 제조 방법.15. The method of claim 14,
Wherein the step (e) comprises heating or irradiating the cemented liquid of the recovered plurality of the cushioning sheets.
상기 합착액은 저점도 접착제 또는 감압 접착제로 구현되는 평판디스플레이 제조 방법.16. The method according to claim 14 or 15,
Wherein the cement solution is embodied as a low viscosity adhesive or a pressure sensitive adhesive.
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KR1020120138452A KR101408379B1 (en) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | Apparatus and Method of Forming Patterns Using Bonded Glass, and Manufacturing Apparatus and Method of Flat Panel Display Having the Same |
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KR20050104812A (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-03 | 삼성에스디아이 주식회사 | Method of manufacturing flat panel display device |
KR20120051313A (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | Apparatus manufacturing for flat panel display device and mathod for manufacturing the same |
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- 2012-11-30 KR KR1020120138452A patent/KR101408379B1/en active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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