KR101400817B1 - Solar silicon wafer detection machine - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양 에너지 실리콘 칩 테스터에 관한 것이며, 상기 테스터는 다수의 로드위치가 형성된 하나의 베이스; 실리콘 칩의 제1 면으로부터 피검사 실리콘 칩을 흡착하는 흡착 피드장치; 피검사 실리콘 칩의 제2 면을 인계받아 실리콘 칩의 제1 면 특성을 검사하는 로딩 검사장치; 로딩 검사장치로부터의 피검사 실리콘 칩을 흡착하는 흡착 분류장치; 로드위치에 위치하여 실리콘 칩을 인계받는 다수의 로더; 소정의 단부위치를 가진 공급장치; 소정의 수납위치를 가진 수납장치; 로더를 이송하는 이송장치; 및 한 조의 처리장치를 포함한다. 이로써 본 발명은 기기를 빈번하게 정지시켜 로더를 교체할 필요가 없이 기기의 자동화 성능을 대폭 향상시킬 수 있는 최적의 검사 공정을 진행할 수 있는 테스터를 제공한다.The present invention relates to a solar energy silicon chip tester, said tester comprising: a base on which a plurality of load locations are formed; An adsorption feed device for adsorbing the silicon chips to be inspected from the first surface of the silicon chip; A loading inspection device taking over the second surface of the silicon chip to be inspected and inspecting the first surface characteristics of the silicon chip; An adsorption / sorting device for adsorbing the silicon chips to be inspected from the loading inspection device; A plurality of loaders positioned at a load position to take over the silicon chips; A feeding device having a predetermined end position; A storage device having a predetermined storage position; A transfer device for transferring the loader; And a set of processing apparatuses. Thus, the present invention provides a tester capable of performing an optimum inspection process that can greatly improve the automation performance of the device without stopping the device frequently and replacing the loader.

Description

태양 에너지 실리콘 칩 테스터{SOLAR SILICON WAFER DETECTION MACHINE}Solar energy silicon chip tester {SOLAR SILICON WAFER DETECTION MACHINE}

본 발명은 테스터에 관한 것으로 특히 태양 에너지 실리콘 칩 테스터에 관한 것이다.The present invention relates to a tester, and more particularly to a solar energy silicon chip tester.

원유와 같은 광물 자원은 점점 고갈되어 가고 있으며, 정제 과정에서 오염이 끊이질 않고 있다. 태양 에너지와 같은 천연 자원은 고갈되지 않고 친환경적인 장점을 가지고 있어 차세대의 주요 에너지로 되고 있다. 태양 에너지판은 광-전 변환이 가능하여 광학 에너지를 전기 에너지로 변환시켜 이용하는 것으로 하나의 바람직한 대체 에너지이다. Mineral resources such as crude oil are becoming increasingly depleted, and pollution does not cease during the refining process. Natural resources, such as solar energy, are becoming depleted and environmentally friendly, making them the next generation of major energy sources. The solar energy plate is a preferred alternative energy by converting the optical energy into electric energy by being able to perform the light-to-electric conversion.

태양 에너지판을 구성하는 주요 부품은 태양 에너지 실리콘 칩이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 도면 중 좌측은 태양 에너지 실리콘 칩(1)의 수광면을 나타내며 이하 제1 면(12)으로 호칭하고, 우측은 태양 에너지 실리콘 칩(1)을 180도로 반전시킨 비수광면을 나타내며 이하 제2 면(14)으로 호칭한다. 광전류를 유도하기 위해 태양 에너지 실리콘 칩(1)의 제1 면(12)과 제2 면(14)에는 각각 전극(122, 142)이 배치된다. 따라서 태양 에너지 실리콘 칩(1)의 양면에 대해 모두 검사를 진행할 필요가 있다. The main component of the solar energy plate is the solar energy silicon chip. 1, the left side of the drawing shows the light receiving surface of the solar energy silicon chip 1 and is hereinafter referred to as a first surface 12, and the right side is a non-light receiving surface obtained by inverting the solar energy silicon chip 1 by 180 degrees. And is referred to as a second surface 14 hereinafter. Electrodes 122 and 142 are disposed on the first surface 12 and the second surface 14, respectively, of the solar energy silicon chip 1 to induce photocurrent. Therefore, it is necessary to conduct inspection for both sides of the solar energy silicon chip 1.

검사는 주로 외관(printing) 검사, 분색(分色) 검사 및 발광율 검사로 구분된다. 외관 부분은 주로 자동화 기기의 광학적 판독에 의해 태양 에너지 실리콘 칩의 스크래치, 물 흔적(wash marking), 백점(white dot), 단선, 오물에 의한 오염 및 정렬위치의 편향(alignment offset) 등 상황을 검사한다. 또한 태양 에너지 실리콘 칩 공정 및 원료 등의 요소로 인해 하나의 각 실리콘 칩이 나타내는 색상은 어느 정도 차이가 있으며, 반사광의 주요 주파수에 따라 담청색(light blue), 군청색, 바이올렛(violet), 자주색, 갈색 등 다수의 색상으로 구분된다. 색상은 비록 광-전 변환 효과에 영향을 미치지 않으나 추후 조립시 미관에 영향을 주므로, 태양 에너지 실리콘 칩의 구매업자는 대부분 분색 검사를 진행할 것을 요구한다. 광-전 변환 효과와 전기적 성능은 영향을 미치는 상당히 중요한 요소이나, 검사 절차가 특별하여 다른 장소에 별도로 설치할 수 있다. The inspection is mainly divided into printing inspection, colorimetric inspection and luminous efficiency inspection. The exterior part is mainly used for optical inspection of automation equipment to check the status such as scratch, wash marking, white dot, disconnection, contamination by dirt and alignment offset of solar energy silicon chip do. In addition, due to factors such as solar energy silicon chip process and raw materials, there is some difference in the color represented by each silicon chip, and light blue, And so on. Although color does not affect the light-to-electrical conversion effect, it affects the aesthetics of subsequent assemblies, so most purchasers of solar energy silicon chips are required to carry out colorimetric tests. The effect of light-to-electrical conversion and electrical performance is a very important factor to affect, but the inspection procedure is special and can be installed separately at different locations.

종래의 태양 에너지 실리콘 칩 테스터는 대부분 외관 검사를 주로 진행하며, 통상의 조작 모드는 어느 한 면을 검사한 후 기기로 태양 에너지 실리콘 칩을 직접 또는 용기(16)에 넣어 수차(水車)형의 로드 구성으로 180도로 반전시켜 도 2와 같이 다른 한 면을 검사한 후 다시 반전시키는 것이다. 연속되는 반전 과정에서 중력방향의 하단에 응력 집중 효과가 발생하고, 속도가 빠른 경우 주변 가장자리가 훼손되거나 구조상 미소 균열(micro crack)이 일어날 수 있다. 여기서 전자는 육안으로 검사해낼 수 있으나 후자는 검사하기 곤란하다. Conventional solar energy silicon chip testers mainly conduct appearance inspections. In a normal operation mode, after one side is inspected, a solar energy silicon chip is directly placed in a container or a device 16 to form a water- The configuration is inverted 180 degrees to inspect another side as shown in FIG. In the continuous reversal process, the stress concentration effect occurs at the lower end of the gravity direction. If the speed is high, the peripheral edge may be damaged or a micro crack may occur in the structure. Here, the former can be examined visually, but the latter is difficult to be inspected.

더욱이, 2차 반전하는 수차는 반경이 너무 작으면 중력 관련방향에서의 각가속도가 커서 쉽게 손상을 입으며, 반경이 너무 크면 거대한 공간을 점하게 된다. 반경을 최소화한 경우라 해도 공정 진행 방향에서 적어도 태양 에너지 실리콘 칩의 3배인 거치 공간 및 수차의 반전 직경의 2배인 운전공간을 점해야 하므로 테스터의 전체 크기를 감소할 수 없다. Furthermore, if the radius is too small, the second-order aberration will be easily damaged due to the large angular acceleration in the gravity-related direction, and if the radius is too large, a large space will be obtained. Even if the radius is minimized, the total size of the tester can not be reduced since at least the operating space which is twice the inverting diameter of the aberration and the stationary space, which is three times the solar energy silicon chip, must be located in the process direction.

또한, 태양 에너지 실리콘 칩의 길이 및 폭의 사이즈가 5~6인치에 달할 수 있으나 두께는 단지 십분의 몇 미리미터(mm)뿐이므로 충격에 상당히 약하다. 따라서, 종래의 기술에서는 예를 들어 나누어 담는 용기로서 스티로폼 박스를 사용하여 매 박스 하나하나에 수십 내지 수백 피스의 실리콘 칩을 적층하여 담고, 스티로폼 박스의 완충 기능에 의해 적층된 전체 실리콘 칩의 이송 중 안전을 확보한다. In addition, the length and width of the solar energy silicon chip can range from 5 to 6 inches, but the thickness is only a few tenths of a millimeter (mm), which is considerably weaker to impact. Therefore, in the prior art, for example, a stacked box is used as a container for dividing, and each of the boxes is stacked with several tens to several hundreds of pieces of silicon chips, and the entire silicon chip stacked by the buffer function of the styrofoam box is transferred Ensure safety.

특히, 태양 에너지 실리콘 칩의 사용이 보급된 후 광-전 변환율 등의 실질적 성능 외에도 소비자는 또한 미적 요소로서 전체 물량의 색상이 일치할 것을 요구한다. 따라서 실제 생산된 태양 에너지 실리콘 칩은 분류 기기에서 관련 전기적 성능과 색상에 관한 검사 및 분류를 거치게 되는데, 분류 기기에 의해 외관 틴트 및 양품 또는 불량품 등의 전기적 성능 요소에 따라 분류하고, 분류 기기의 기계 아암으로 검사 및 분류를 거친 실리콘 칩을 흡착하며, 다수의 스티로폼 박스는 분류 기기에 각각 설치되어 기계 아암이 방출한, 검사 및 분류가 완료된 실리콘 칩을 받아 로딩한다. Particularly, besides the practical performance such as the light-to-electricity conversion rate after the use of the solar energy silicon chip has been popularized, the consumer also needs to match the color of the whole quantity as an aesthetic element. Therefore, the actually produced solar energy silicon chip is subjected to the inspection and classification of the related electric performance and color in the classifying device. It is classified according to the electrical performance factor such as appearance tint and good or defective product by the classifying device, And the plurality of styrofoam boxes are respectively installed in the sorting machine to receive and load the silicon chips that have been inspected and sorted and emitted by the mechanical arms.

그 중 하나의 스티로폼 박스가 만재(滿載)한 경우 분류 기기는 잠시 운전을 정지하고 조작자가 만재한 스티로폼 박스를 꺼내고 빈 스티로폼 박스를 그 위치에 추가하는데, 이로 인해 분류 기기의 검사율 UPH(Unit per Hour)이 한정을 받는다. 따라서 일부 제조상은 아이들 빈도를 줄이기 위해 예를 들어 600 피스의 태양 에너 지 실리콘 칩을 로딩할 수 있는 고용량 카세트를 용기로서 이용하고 있다. If one of the styrofoam boxes is loaded, the sorting machine stops the operation for a while, removes the styrofoam box loaded by the operator, and adds the empty styrofoam box to the position. As a result, the inspection rate UPH ) Is limited. Thus, some manufacturers use a high capacity cassette as a container to load 600 pieces of solar energy silicon chips, for example, to reduce idle frequency.

다만, 한 측면에서 볼 때 태양 에너지 실리콘 칩이 매우 쉽게 손상을 받고, 또한 미세한 충격에 의한 미소 균열 (micro-crack)을 육안으로 관찰하기 어려우며, 제품의 전기적 성능에 크게 영향을 미칠 수 있으며, 수백 피스의 실리콘 칩이 적층된 경우 자체 중력에 의한 눌림에 의해 대규모의 미소 균열이 발생하여 실리콘 칩이 대량으로 훼손되는 것을 방지하기 위해, 600 피스의 실리콘 칩의 적층 구성에서 예를 들어 50 피스마다 하나의 얇은 스티로폼 시트를 완충재로서 끼워 넣어야 하는데, 이러한 삽입 공정은 실제 조작의 번거로움을 증가한다. 다른 한 측면에서 볼 때, 수백 피스의 실리콘 칩을 로딩한 카세트로부터 실리콘 칩을 일괄 인출하는 경우, 조작자의 가벼운 실수로 인해 카세트가 충격을 받아 칩이 파손되기 쉽다. 또한 태양 에너지 실리콘 칩의 재질과 극히 얇은 두께로 인해 조작자의 안전에도 상당한 위험을 조성한다. 따라서 시중에는 저용량 카세트를 이용하는 방법이 성행하였으나, 고용량 카세트를 이용하든 저용량 카세트를 이용하든 모두 카세트가 만재하면 기기의 운전을 정지시켜야 하는 동일한 문제점이 여전히 남아 있다. However, in one aspect, the solar energy silicon chip is very easily damaged, and it is difficult to visually observe the micro-crack due to the microscopic impact, which may greatly affect the electrical performance of the product, In order to prevent large-scale microcracks from being generated due to the gravity-caused pressing when the silicon chips of the pieces are stacked, it is preferable to use a silicon wafer having a thickness of, for example, one Of the thin styrofoam sheet as a cushioning material. Such an inserting process increases the hassle of actual operation. In another aspect, when a silicon chip is taken out from a cassette loaded with hundreds of pieces of silicon chips, the cassette is easily damaged due to a slight mistake of the operator and the chip is likely to be broken. In addition, the material and extremely thin thickness of the solar energy silicon chip creates a significant risk to operator safety. Therefore, although a method using a low-capacity cassette has been popular in the market, the same problem of stopping the operation of the apparatus when the cassette is full, whether using the high-capacity cassette or the low-capacity cassette, still remains.

한 연구자가 분류 카세트를 배가시켜 각 하나의 분류에 2개의 카세트를 각각 대응시키고 그 중 하나를 현재 사용용 카세트로 하고 다른 하나를 비축용 카세트로 함으로써, 현재 사용용 카세트가 만재한 경우 비축용 카세트를 현재 사용용으로 이용하고, 그 사이에 조작자가 만재한 카세트를 갱신하여 다시 비축용 카세트로 재설정하고, 이와 같이 반복 교체함으로써 기기를 정지시키지 않고 계속 운전하도록 한 방법을 고안하였다. 다만 기계 아암, 흡입 노즐, 이송 레일, 카세트 등 장치의 가 격이 저렴하지 않아 이와 같이 구성을 크게 증가시키면 자동화 기기의 경쟁력이 떨어지게 된다. A researcher doubles the classification cassette so that two cassettes are associated with each one of the cassettes and one of them is used as a cassette for current use and the other is used as a cassette for stocking, Is used for the current use, the cassette loaded by the operator is renewed in the meantime, and the cassette is again reset to the cassette for stockpiling, and the apparatus is continuously operated without stopping the apparatus by repeating such replacement. However, since the price of the device such as the mechanical arm, the suction nozzle, the feed rail, and the cassette is not cheap, if the configuration is greatly increased, the competitiveness of the automation equipment becomes poor.

심입(深入)된 검사를 통해 발견할 수 있는 바, 실제 분류시, 가장 많이 검사되는 유형은 의외로 80/20 규칙에 대체로 부합한다. 즉 전기적 성능과 틴트 등 요소에 따라 가장 흔히 검사 및 분류되는 상위 몇 개 류가 차지하는 백분율이 매우 크고, 비교적 부차적인 몇 개 류는 단지 매우 적은 수의 실리콘 칩에만 관련된다. 가장 빈번하게 나타나는 2종 내지 3종 분류는 통상 전체 실리콘 칩의 6할 내지 7할 이상을 점한다. In the actual classification, the type that is most frequently inspected is unexpectedly in compliance with the 80/20 rule, which can be found through inspections. In other words, the percentage of the top few classes that are most frequently examined and classified depends on factors such as electrical performance and tint, and relatively few classes are related only to very few silicon chips. The most frequently occurring two or three classifications usually account for 60 to 70% or more of the total silicon chips.

따라서 검사기구와 공정 배치를 최적화하여 태양 에너지 실리콘 칩이 순서에 따라 고속으로 양면 검사를 받도록 할 수 있고, 용기를 사용할 필요가 없고, 더욱이 다양한 검사 모듈을 삽입할 수 있거나, 또는 검사 의뢰자의 요구에 따라 더욱 정밀한 분류를 할 수 있으면 이러한 검사의 융통성, 효율 및 수율을 대폭 향상시킬 수 있다. Therefore, it is possible to optimize the inspection apparatus and the process layout so that the solar energy silicon chip can be subjected to double-sided inspection at high speed in order, and it is not necessary to use a container, furthermore, various inspection modules can be inserted, If more precise classification is possible, the flexibility, efficiency and yield of such inspection can be greatly improved.

또한, 실리콘 칩 로드 용기를 자동으로 제공 및 교체하고 중도에서 로드 용기를 추가하는 기능을 구비하고, 종래의 테스터에 모듈화로 연결될 수 있는 분류 모드를 함께 제공할 수 있으며, 가장 일반적인 분류에 대해서는 전면적인 자동화 제어를 진행하고, 상대적으로 부차적인 분류에 대해서는 비용을 고려하여 고용량 카세트로 수납하여 대응할 수 있다. 이와 같이 비용과 효율 이 두가지 고려 요소 사이에서 기기 관리를 융통성 있게 진행하고, 실리콘 칩의 자동화 검사의 효율을 더욱 높이고 소중한 작업시간을 더이상 낭비하지 않는 분류 시스템은 최적의 해결 책으로 될 것이다. It is also possible to provide a sorting mode which has the function of automatically providing and replacing the silicon chip rod container and adding the rod container in the middle and which can be modularly connected to the conventional tester, Automation control is carried out, and a relatively secondary classification can be accommodated in a high capacity cassette by considering the cost. This sort of cost and efficiency will be the optimal solution between the two considerations, allowing for flexible device management, increasing the efficiency of automated inspection of silicon chips, and no longer wasting valuable work time.

따라서 본 발명의 하나의 목적은, 전체 공정에서 칩을 반전시키지 않고 태양 에너지 실리콘 칩의 손상 위험을 감소하고 양면 검사를 진행할 수 있는 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is therefore an object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester capable of reducing the risk of damaging the solar energy silicon chip and conducting double-sided inspection without inverting the chip in the entire process.

본 발명의 다른 목적은, 검사 공정을 최적화하여 로더를 자동 추가 및 이송하고 분류 효율을 대폭 향상시킴으로써 가장 짧은 시간 내에 태양 에너지 실리콘 칩에 대한 모든 검사를 완료할 수 있는 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester capable of completing all tests on a solar energy silicon chip in the shortest time by optimizing the inspection process to automatically add and transport the loader and significantly improve sorting efficiency will be.

본 발명의 다른 목적은, 다양한 검사 항목을 증가할 수 있도록 검사 모듈을 탄성적으로 확충할 수 있는 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester capable of elastically expanding inspection modules so as to increase various inspection items.

본 발명의 또 다른 목적은, 분류를 결합시켜, 검사와 함께 색상 분류도 함께 진행하여 지정한 검사 수요에 부응할 수 있으며 검사를 완료한 후 바로 포장 출하 대기 상태로 되도록 하는 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester which can combine the classification and proceed with the color classification together with the inspection so that it can meet the designated inspection demand, .

본 발명의 또 하나의 목적은, 로더를 자동으로 추가 및 이동시키고 분류 효율을 대폭 향상시킴으로써 태양 에너지 실리콘 칩의 검사 분류에 대한 전면 자동화를 실현할 수 있는 로더 이송장치를 구비한 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester equipped with a loader transfer device capable of realizing front automation for inspection and classification of solar energy silicon chips by automatically adding and moving the loader and greatly improving the sorting efficiency .

본 발명의 또 다른 목적은, 테스터 구성과 비축 물품의 거치공간을 간소화하고 공장 공간과 기기 관리인력 등 관련 자원을 절감할 수 있는 로더 이송장치를 구비한 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to provide a solar energy silicon chip tester having a tester configuration, a loader transfer device that can simplify the space for storing stock items, and reduce related resources such as factory space and equipment management personnel.

본 발명의 또 다른 목적은, 모듈화할 수 있고 필요에 따라 종래 테스터의 중하류측 검사 공정에 연결하여 이용할 수 있는 로더 이송장치를 구비한 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a solar energy silicon chip tester equipped with a loader transfer device that can be modularized and connected to a middle-downstream inspection process of a conventional tester as needed.

본 발명의 다른 목적은, 기기의 정지 시간과 횟수를 대폭 감소시켜, 효과 대 비용 비율이 종래의 태양 에너지 실리콘 칩의 검사 및 분류 시스템에 비해 훨씬 높은 로더 이송장치를 구비한 태양 에너지 실리콘 칩 분류 시스템을 제공하는 것이다. It is a further object of the present invention to provide a solar energy silicon chip classification system with a loader transfer device with a significantly higher cost / effect ratio than the conventional solar energy silicon chip inspection and classification system, .

따라서 본 발명은, 각각 전극이 설치되고 서로 상반되는 하나의 제1 면과 하나의 제2 면을 가진 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 하나씩 검사하기 위한 태양 에너지 실리콘 칩 테스터에 있어서, 하나의 베이스; 상기 베이스에 설치되어 상기 제1 면으로부터 피검사 실리콘 칩을 흡착하기 위한 한 조의 흡착 피드장치; 상기 베이스에 설치되어 상기 흡착 피드장치로부터의 피검사 실리콘 칩의 제2 면을 전달받아 하나의 반지름 방향으로 이송하면서 상기 실리콘 칩의 제1 면의 특성을 검사하기 위한 한 조의 로딩 검사장치; 상기 베이스에 설치되어 상기 로딩 검사장치로부터의 상기 피검사 실리콘 칩을 상기 제1 면으로부터 흡착하는 한 조의 흡착 분류장치; 상기 베이스에 설치되고 상기 흡착 피드장치 또는 흡착 분류장치 중 하나에 대응하는 한 조의 제2 면 검사장치; 및 상기 로딩 검사장치 및 제2 면 검사장치로부터 정보를 수신받아 상기 흡착 분류장치에 명령하는 한 조의 처리장치를 포함하는 테스터를 제공한다. Accordingly, the present invention provides a solar energy silicon chip tester for inspecting each solar energy silicon chip to be inspected having one first surface and one second surface, each of which is provided with electrodes and which are opposite to each other, the solar energy silicon chip tester comprising: A set of adsorption feed devices installed on the base for adsorbing the silicon chips to be inspected from the first surface; A pair of loading inspection devices installed on the base for receiving a second surface of the silicon chip to be inspected from the absorption feeder and transferring the second surface of the silicon chip to be inspected in one radial direction to inspect characteristics of the first surface of the silicon chip; A pair of adsorption / sorting devices installed on the base for adsorbing the silicon chips to be inspected from the loading inspection device from the first surface; A pair of second surface inspection devices installed on the base and corresponding to one of the adsorption feed device or adsorption / sorting device; And a set of processing apparatuses receiving information from the loading inspection apparatus and the second surface inspection apparatus and instructing the adsorption sorter apparatus.

상기 테스터를 이용한 태양 에너지 실리콘 칩의 검사방법에 있어서, 각각 전극이 형성되고 서로 상반되는 하나의 제1 면과 하나의 제2 면을 가진 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 하나씩 검사한다. 상기 테스터는 한 조의 흡착 피드장치; 한 조의 상기 흡착 피드장치에 대응하는 제2 면 검사장치; 한 조의 로딩 검사장치; 한 조의 흡착기 및 다수의 로더를 포함하는 한 조의 흡착 분류장치; 및 한 조의 처리장치를 포함한다. 상기 방법은 아래 단계를 포함한다. a)상기 흡착 피드장치로 상기 피검사 태양 에너지 실리콘 칩의 제2 면이 노출된 상태로 상기 제1 면으로부터 상기 실리콘 칩을 흡착하는 단계; b)상기 제2 면 검사장치로 상기 태양 에너지 실리콘 칩의 제2 면을 검사하고 수득한 데이터를 상기 처리장치에 출력하는 단계; c)상기 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 그 제2 면이 아래로 향한 상태로 상기 로딩 검사장치에 로딩되는 방식으로 상기 로딩 검사장치에 이송하는 단계; d)상기 로딩 검사장치로 상기 태양 에너지 실리콘 칩의 제1 면 특성을 검사하여 상기 처리장치에 전송하는 단계; e)상기 처리장치가 상기 피검사 태양 에너지 실리콘 칩의 분류를 판단하고 흡착 분류장치의 흡착기에 명령하여 상기 로딩 검사장치로부터 상기 태양 에너지 실리콘 칩의 제1 면을 흡착하여 제2 면이 아래로 향한 자세로 대응 분류의 로더에 놓도록 하는 단계를 포함한다. In the method for inspecting a solar energy silicon chip using the tester, the inspecting solar energy silicon chips each having one first surface and one second surface, each of which has electrodes formed thereon and are opposite to each other, are inspected one by one. The tester includes a set of adsorption feed devices; A second surface inspection device corresponding to a set of the adsorption feed devices; A set of loading inspection devices; A set of adsorption and sorting devices including a set of adsorbers and a plurality of loaders; And a set of processing apparatuses. The method includes the following steps. a) adsorbing the silicon chips from the first surface with the second surface of the solar energy silicon chip being inspected exposed with the adsorption feeder; b) inspecting the second side of the solar energy silicon chip with the second side inspection apparatus and outputting the obtained data to the processing apparatus; c) transferring the inspected solar energy silicon chip to the loading inspection apparatus in such a manner as to be loaded on the loading inspection apparatus with its second surface facing downward; d) inspecting the first surface characteristics of the solar energy silicon chip with the loading inspection apparatus and transmitting the inspection result to the processing apparatus; e) the processing device judges the classification of the solar energy silicon chip to be inspected and instructs the adsorption device of the adsorption sorter to adsorb the first side of the solar energy silicon chip from the loading inspection device, To the loader of the corresponding classification.

본 발명은 로더 이송장치를 구비한 태양 에너지 실리콘 칩 테스터를 개시하며, 이 테스터는, 다수의 로드위치가 형성된 하나의 베이스； 상기 베이스에 설치되어 상기 로딩 검사장치로부터의 피검사 실리콘 칩을 제1 면으로부터 흡착하는 한 조의 흡착 분류장치; 상기 로드위치에 각각 설치되어 전송 흡착장치가 내보낸 태양 에너지 실리콘 칩을 인계받아 전송하는 다수의 로더; 다수의 로더를 적층하도록 마련되고, 하나의 소정의 단부위치를 가짐으로써 단부위치에 위치한 로더가 상기 적층된 로더로부터 송출된 경우 다른 로더를 승강시켜 그 다음 로더가 단부위치에 위치하도록 하는 한 조의 공급장치; 다수의 로더를 적층하도록 마련되고, 하나의 소정 수납위치를 가짐으로써, 그 수납위치에 하나의 로더가 위치한 경우 다른 로더를 이동시켜 그 수납위치가 비도록 하는 한 조의 수납장치；및 로더를 단부위치, 로드위치 및 수납위치 사이에서 이송하는 이송장치를 포함하는 한 조의 로더 이송장치를 포함한다. The present invention discloses a solar energy silicon chip tester with a loader transfer device comprising a base on which a plurality of load locations are formed, a silicon chip mounted on the base, A pair of adsorption and sorting devices adsorbed from the surface; A plurality of loaders installed at the respective load positions to take over and transfer the solar energy silicon chips emitted by the transfer adsorption device; A plurality of loaders arranged to stack, and having a predetermined end position so that when a loader positioned at the end position is dispatched from the stacked loader, the other loader is lifted up and the next loader is positioned at the end position, Device; A plurality of loaders which are stacked so as to stack a plurality of loaders and have one predetermined storage position so that when one loader is located at the storage position, And a pair of loader transfer devices including a transfer device for transferring between a load position and a storage position.

흡착 피드장치에 의해，태양 에너지 실리콘 칩을 신속하게 제공하여 피딩할 수 있고, 로딩 검사장치는 태양 에너지 실리콘 칩을 이송할 뿐만 아니라 관련 광학장치를 통해 동기 검사를 진행할 수 있다. 검사가 완료되면 흡착 분류장치는 설정에 따라 직접 상이한 색상 또는 레벨의 태양 에너지 실리콘 칩을 구분하여 로더에 이송할 수 있고, 또한 로더 이송장치를 통해 공급장치 및 수납장치에 위치한 로더를 이송한다. 또한, 빈번하게 나타나는 실리콘 칩 분류를 처리하고, 종래의 테스터와의 관련 인터페이스를 조정하는 것만을 통해 종래 테스터의 자동화 효율을 대폭 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 면 검사장치는 흡착 피드장치 측에 배치되든 또는 흡착 분류장치 측에 배치되든 모두 태양 에너지 실리콘 칩을 반전시키지 않는 상태에서 제2 면에 대한 검사를 진행할 수 있으므로, 이로부터 본 발명의 효과를 더욱 발휘할 수 있다.With the aid of the adsorption feed device, the solar energy silicon chip can be fed and fed quickly, and the loading inspection device can carry out the synchronous inspection through the relevant optical device as well as transfer the solar energy silicon chip. Upon completion of the inspection, the adsorption sorter can directly separate solar energy chips of different colors or levels into the loader according to the setting, and also transfer the loader located in the supply device and the storage device through the loader transfer device. In addition, it is possible to greatly improve the automation efficiency of the conventional tester through only processing the frequently appearing silicon chip classification and adjusting the interface with the conventional tester. In addition, since the second surface inspection apparatus can be inspected on the second surface in a state in which the solar energy silicon chip is not reversed, whether it is disposed on the adsorption feed apparatus side or on the adsorption sorter apparatus side, The effect can be further exerted.

도 1은 통상의 태양 에너지 실리콘 칩의 정면 및 반면의 외관 사시도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front and an exterior perspective view of a conventional solar energy silicon chip. FIG.

도 2는 통상의 태양 에너지 실리콘 칩의 수차식 피검사 방식을 나타낸 사시도이다. Fig. 2 is a perspective view showing a water-based inspection method of a conventional solar energy silicon chip.

도 3은 본 발명에 따른 태양 에너지 실리콘 칩 테스터의 외관 사시도이다. 3 is an external perspective view of a solar energy silicon chip tester according to the present invention.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스터의 블록도이다. 4 is a block diagram of a tester according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스터의 주요부분에 대한 사시도이다. 5 is a perspective view of a main part of a tester according to a first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 실시예의 흡착 피드장치의 사시도이다. 6 is a perspective view of the adsorption feed apparatus of the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시예의 로딩 검사장치의 사시도이다. 7 is a perspective view of the loading inspection apparatus of the first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제1 실시예의 흡착 분류장치의 사시도이다. 8 is a perspective view of the adsorption and desorption apparatus of the first embodiment of the present invention.

도 9는 도 8의 흡착 분류장치의 블록도이다. FIG. 9 is a block diagram of the adsorption and sorting apparatus of FIG. 8. FIG.

도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스터의 검사 흐름도이다. 10 is a flowchart of a test of a tester according to the first embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스터의 블록도이다. 11 is a block diagram of a tester according to a second embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스터의 주요부분에 대한 사시도이다. 12 is a perspective view of a main part of a tester according to a second embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스터의 조감도(planform)이다. 13 is a plan view of a tester according to the third embodiment of the present invention.

도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스터의 측면도이다. 14 is a side view of a tester according to a third embodiment of the present invention.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스터의 평면도(ichnography)이다. 15 is a top view of a tester according to a third embodiment of the present invention.

도 16은 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스터의 블록도이다. 16 is a block diagram of a tester according to a third embodiment of the present invention.

도 17은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이송장치의 사시도이다. 17 is a perspective view of a transfer device according to a third embodiment of the present invention.

도 18은 본 발명의 제3 실시예에 따른 공급장치와 수납장치의 연동시 동작을 측방향에서 나타낸 도면이다. FIG. 18 is a side view of the operation of the supplying apparatus and the receiving apparatus in the interlocking operation according to the third embodiment of the present invention.

도 19 ~ 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이송장치의 작동을 나타낸 도면이다. 19 to 20 are views showing the operation of the transfer device according to the third embodiment of the present invention.

도 21 ~ 23은 본 발명의 제4 실시예를 나타낸 도면이다. 21 to 23 are views showing a fourth embodiment of the present invention.

[주요부품의 도면부호 설명][Explanation of major parts]

1 : 태양 에너지 실리콘 칩 12 : 제1 면1: solar energy silicon chip 12: first side

14 : 제2 면 122, 142 : 전극14: second surface 122, 142: electrode

16 : 용기 16: container

2, 2', 2" : 태양 에너지 실리콘 칩 테스터2, 2 ', 2 ": Solar Energy Silicon Chip Tester

22, 22' : 기압변환장치 29" : 경보장치22, 22 ': Pressure transducer 29 ": Alarm device

3, 3', 3" : 베이스 322", 322"' : 로드위치3, 3 ', 3 ": Base 322", 322 "': Load position

35" : 공급장치 351", 351"' : 단부위치35 ": Feeder 351 ", 351" ': End position

36" : 수납장치 361", 361"' : 수납위치36 ": storage device 361 ", 361" ': storage position

37", 37"' : 이송장치 371" : 승강기37 ", 37 "': Feeding device 371": Lift

372" : 이송벨트372 ": Feed Belt

4, 4' : 흡착 피드장치 42 : 피벗 축4, 4 ': Adsorption feed device 42: Pivot axis

44 : 고리모양 화살표(loop) 46 : 흡입노즐44: looped loop 46: suction nozzle

48 : 피드 시트 482 : 피더48: Feedsheet 482: Feeder

5, 5' : 로딩 검사장치 52 : 광학 검측기5, 5 ': Loading inspection device 52: Optical detector

54 : 로딩 이동부재 542 : 벨트54: loading shifting member 542: belt

544 : 풀리 56 : 광-전 특성 검측기544: Pulley 56: Optical-electrical characteristic detector

6, 6' : 흡착 분류장치 62, 62" : 이송부재6, 6 ': Adsorption / sorting device 62, 62 ": Feeding member

60 : 스토퍼 64 : 기계 아암60: stopper 64: mechanical arm

66, 66", 66"' : 로더 68 : 슬라이드 가이드부재66, 66 ", 66 "': Loader 68: Slide guide member

642, 642" : 흡착기642, 642 ": adsorber

7, 7' : 제2 면 검사장치 8, 8' : 처리장치7, 7 ': second side inspection device 8, 8': processing device

900~908 : 단계900 to 908: Step

본 발명에 대한 상기 내용과 기타 기술적 사항, 특징 및 기능효과는, 이하 도면과 결부하여 진행한 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명을 통해 명확하게 확인할 수 있다. The above and other technical features, features, and functions of the present invention can be clearly understood from the following detailed description of preferred embodiments with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 외관 사시도이다. 태양 에너지 실리콘 칩 테스터(2)는 베이스(3), 흡착 피드장치(4), 로딩 검사장치(5), 흡착 분류장치(6), 제2 면 검사장치(7) 및 처리장치를 포함하며, 각 장치의 기능과 장치 간 연관성에 대해서는 후술할 부분에서 설명하고자 한다.  3 is an external perspective view of the present invention. The solar energy silicon chip tester 2 includes a base 3, an adsorption feed device 4, a loading inspection device 5, a adsorption sorption device 6, a second side inspection device 7, The function of each device and the correspondence between the devices will be described later.

[제1 실시예][First Embodiment]

도 4 및 도 5는 본 발명의 제1 실시예를 나타낸 도면이다. 제2 면 검사장치(7)는 흡착 피드장치(4)에 대응하여 설치되고, 처리장치(8)는 태양 에너지 실리콘 칩 테스터(2)의 베이스(3) 내에 설치된다. 기압변환장치(22)는 전체 기기의 적어도 일부분의 정압, 부압 조절을 진행하며, 도면상 관련 배선의 혼란을 방지하기 위해 연결용 배선은 그리지 않았다. 4 and 5 are views showing a first embodiment of the present invention. The second surface inspection apparatus 7 is provided corresponding to the adsorption feed apparatus 4 and the processing apparatus 8 is installed in the base 3 of the solar energy silicon chip tester 2. [ The atmospheric pressure converter 22 performs the regulation of the positive pressure and the negative pressure of at least a part of the entire apparatus, and the connection wiring is not drawn in order to prevent confusion of the related wiring in the drawing.

도 6은 흡착 피드장치(4)의 사시도이다. 흡착 피드장치(4)는 중력방향에서 회전하는 피벗 축(42) 및 피벗 축(42)에 설치된 다수 조의 흡입노즐(46)을 포함한다. 본 실시예에서는 4조의 흡입노즐(46)은 서로 직각을 이루면서 이격되어 피벗 축(42)과 함께 하나의 고리모양 화살표(44)를 따라 시계반대방향으로 회전하면서 피검사체를 흡착하도록 마련된다. 제2 면 검사장치(7)는 고리모양 화살표(44)와 대응하는 제1 위치에 설치되며, 다시 말하면 고리모양 화살표(44) 방향을 따라 시계반대방향으로 90도로 회전한 곳에 위치한다. 흡착 피드장치(4)는 또한 다수의 피드 시트(48)를 포함한다. 본 실시예에서는 피벗 축(42)의 접선방향으로 슬라이드하는 2조의 피드 시트(48)를 설치함으로써，그 중 한 조의 피더(482)가 흡입노즐(46)의 흡착위치에 있을 때 다른 한 조의 피더가 피검사물을 새롭게 장전할 수 있도록 한다. Fig. 6 is a perspective view of the adsorption feeder 4. Fig. The adsorption feed device 4 includes a pivot shaft 42 which rotates in the direction of gravity and a plurality of suction nozzles 46 which are provided on the pivot shaft 42. In this embodiment, the four sets of suction nozzles 46 are arranged at right angles to each other so as to be spaced apart from each other and to be attracted to the subject while being rotated counterclockwise along one annular arrow 44 together with the pivot shaft 42. The second surface inspection apparatus 7 is installed at a first position corresponding to the annular arrow 44, that is, at a position rotated 90 degrees counterclockwise along the direction of the annular arrow 44. The adsorption feed device 4 also includes a plurality of feed sheets 48. In this embodiment, by providing two feed sheets 48 that slide in the tangential direction of the pivot shaft 42, when one of the feeders 482 is at the suction position of the suction nozzle 46, So that the inspected object can be newly loaded.

로딩 검사장치(5)는 도 7과 같이 한 조의 광학 검측기(52), 로딩 이동부재(54) 및 한 조의 광-전(光-電) 특성 검측기(56)를 포함한다. 광학 검측기(52)는 피검사체 제1 면의 외관, 심지어 색상까지도 분석 및 검사하도록 마련된다. 베이스에 설치된 로딩 이동부재(54)는 검사방향에서 서로 평행으로 배치된 2가닥의 벨트(542)와, 이 2가닥의 벨트(542)를 구동하는 풀리(544)를 포함한다. 흡착 분류장치(6)는 도 8에 나타낸 바와 같이 검사방향에서 상기 로딩 검사장치와 연결되어 설치된 이송부재(62)를 포함한다. 본 실시예의 분류 방향과 검사 및 이송방향은 서로 수직되며, 기계 아암(64)은 이송부재(62)로부터 피검사체를 흡착하여 로더(66)에 방출하는 한 조의 흡착기(642)를 구비한다. The loading inspection apparatus 5 includes a set of optical detectors 52, a loading movable member 54 and a set of photo-electric characteristic detectors 56 as shown in FIG. The optical detector 52 is provided to analyze and inspect the appearance of the first side of the subject, even the color. The loading and moving member 54 provided on the base includes two strands 542 disposed parallel to each other in the inspection direction and a pulley 544 for driving the two strands 542. The adsorption and sorting device 6 includes a conveying member 62 connected to the loading inspection apparatus in the inspection direction as shown in FIG. The sorting direction and inspection and conveying direction of this embodiment are perpendicular to each other and the mechanical arm 64 has a pair of adsorbers 642 that adsorb the object from the conveying member 62 and emit the object to the loader 66.

본 실시예에서 로더(66)는 다수 조로 구분되며, 하방에는 분류방향에서 로더(66)를 베이스 외부로 송출하여 로더(66)를 쉽게 취급할 수 있도록 슬라이드 가이드부재(68)가 마련된다. 제1 실시예에서는 단일 조로 구성된 흡착 분류장치(6)를 보여주었으나, 본 발명을 실시할 경우에는 분류상 필요에 따라 연결방식으로 흡착 분류장치(6)의 조를 증가할 수 있다. 흡착 분류장치(6)에 포함된 로더가 도 3에 나타낸 바와 같이 3열로 구분되는 경우, 각 열의 로더(66)를 베이스(3) 밖으로 각각 송출할 때 필요 이상의 뜻밖의 상황이 발생하는 것을 방지하기 위해 본 발명은 도 9에 나타낸 바와 같이 각 열의 로더를 각각 한 조로 구성하고, 각 조의 로더에 한 조의 버튼을 스토퍼(60)로서 설치한다. 조작자가 버튼을 누르면 처리장치(8)가 구동하여 해당 조의 기계 아암(64)이 그 대응 조의 로더에 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 방출하는 것을 정지시키나, 다른 조의 기계 아암과 로더의 정상적인 공급 및 이송을 유지할 수 있어 생산성을 향상시킨다. In this embodiment, the loader 66 is divided into a plurality of groups, and a slide guide member 68 is provided below the loader 66 in order to easily handle the loader 66 by sending the loader 66 out of the base. In the first embodiment, the adsorption and sorting device 6 composed of a single device is shown. However, when the present invention is carried out, the number of the adsorption and sorting devices 6 can be increased by a connecting method as needed. When the loader included in the adsorption fractionator 6 is divided into three columns as shown in FIG. 3, it is possible to prevent unnecessary situations from occurring more than necessary when the loader 66 of each column is sent out of the base 3 9, each loader of each row is constituted as one set, and a set of buttons is provided as a stopper 60 on each set of loaders. When the operator presses the button, the processing apparatus 8 is driven to stop the machine arm 64 of the corresponding group from emitting the solar energy silicon chips to be inspected to the loader of the corresponding group, but the normal supply and conveyance of the machine arm and the loader So that productivity is improved.

상기 구성을 이용한 실제 조작 공정은 도 10에 나타낸 바와 같다. 초기단계 900에서는 피검사 태양 에너지 실리콘 칩의 제2 면이 노출된 상태로 흡착 피드장치로 실리콘 칩을 제1 면으로부터 흡착한다. 다음, 단계 902에서는 제2 면 검사장치로 태양 에너지 실리콘 칩의 제2 면을 검사하고 수득한 데이터를 처리장치에 전송한다. 이어서 단계 904에서는 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 제2 면이 아래로 향하게하고 로딩 검사장치에 로딩된 자세로 로딩 검사장치에 이송한다. 단계 906을 진행할 경우에는 로딩 검사장치로 태양 에너지 실리콘 칩의 제1 면 특성을 검사 하여 처리장치에 전송한다. The actual operation process using the above configuration is as shown in Fig. In an initial step 900, the silicon chip is adsorbed from the first side by the adsorption feed device with the second side of the silicon wafer being inspected exposed. Next, in step 902, the second surface inspection apparatus checks the second surface of the solar energy silicon chip and transmits the obtained data to the processing apparatus. Next, in step 904, the inspected solar energy silicon chip is transported to the loading inspection apparatus in a posture in which the second surface faces downward and loaded on the loading inspection apparatus. In step 906, the loading inspection apparatus checks the first surface characteristics of the solar energy silicon chip and transmits the inspection result to the processing apparatus.

마지막 단계 908에서는，처리장치로 피검사 태양 에너지 실리콘 칩의 분류를 판단하고 흡착 분류장치의 흡착기에 명령하여 로딩 검사장치로부터 태양 에너지 실리콘 칩의 제1 면을 흡착하여 제2 면이 아래로 향하게 하여 다수의 로더 중 대응 분류의 로더에 놓이도록 한다. 그리고, 상기 단계 900 내지 단계 908을 반복하면서 실리콘 칩에 대해 차례로 자동화 검사를 진행한다. 현재 발명자의 시운전 결과에 따르면 원형기(prototype)의 검사속도는 2400 피스/시간에 달할 수 있으며, 통상의 제품과 비교할 때 효율은 이미 배율로써 형용할 수 없는 정도에 이르렀다. In a final step 908, the treatment device determines the classification of the solar energy silicon chip to be inspected and instructs the adsorption device of the adsorption sorter to adsorb the first side of the solar energy silicon chip from the loading inspection device and face the second side down The loader of the corresponding class among the plurality of loaders. Then, the automatic inspection is sequentially performed on the silicon chips while repeating steps 900 to 908. According to the results of the trial run by the present inventor, the inspection speed of the prototype can reach 2400 pieces / hour, and the efficiency has already reached a level that can not be used as the magnification ratio in comparison with the normal product.

[제2 실시예][Second Embodiment]

본 발명의 제2 실시예에 대해서는 도 11에 나타낸 제2 실시예의 블록도를 참조하기 바란다. 제2 실시예의 구성은 제1 실시예와 유사한 바, 태양 에너지 실리콘 칩 테스터(2')는 베이스(3'), 흡착 피드장치(4'), 로딩 검사장치(5') 및 흡착 분류장치(6')를 포함한다. 본 실시예에서는，제2 면 검사장치(7')를 흡착 분류장치(6')의 선단에 배치하였는데 본 발명의 장점을 발휘할 수 있음을 마찬가지이다. 처리장치(8')는 검사 신호를 송수신하고 처리하는 기능을 제공하는 것으로 자동화 검사의 중추 부분이다. For the second embodiment of the present invention, please refer to the block diagram of the second embodiment shown in Fig. The configuration of the second embodiment is similar to that of the first embodiment except that the solar energy silicon chip tester 2 'includes a base 3', an adsorption feed device 4 ', a loading inspection device 5' 6 '). In this embodiment, the second surface inspection apparatus 7 'is disposed at the tip of the adsorption fractionator 6', but the advantages of the present invention can be exhibited. The processing unit 8 'provides the function of sending, receiving and processing inspection signals, and is the central part of the automated inspection.

제2 실시예를 더 상세하게 설명하면 다음과 같다. 도 12를 참조하면，태양 에너지 실리콘 칩 테스터(2')의 베이스(3') 내측에는 처리장치(8')와 기압변환장치(22')가 배치되고， 베이스(3')의 상부 좌측에는 흡착 피드장치(4')가 설치되며, 본 실시예는 직선형 피드 방식을 취한다. 로딩 검사장치(5')는 이송과 검사 기능 을 수행하고, 제2 면 검사장치(7')는 제2 면을 검사하며，흡착 분류장치(6')는 최종 분류를 진행한다. 본 실시예의 기본 구상은 제1 실시예와 유사한 것으로 다시 설명하지 않겠다. The second embodiment will be described in more detail as follows. 12, a processing device 8 'and an atmospheric pressure converting device 22' are disposed inside the base 3 'of the solar energy silicon chip tester 2', and on the upper left side of the base 3 ' An adsorption feed device 4 'is provided, and this embodiment adopts a linear feed method. The loading inspection apparatus 5 'performs a transporting and inspecting function, the second surface inspecting apparatus 7' inspects the second surface, and the adsorbing sorter 6 'proceeds the final sorting. The basic idea of this embodiment is similar to that of the first embodiment and will not be described again.

[제3 실시예][Third Embodiment]

도 13 및 도 14는 각각 제3 실시예에 따른 테스터(2")의 평면도와 세로방향 측면도를 나타낸다. 그 후단의 분류 시스템은 모듈화 설계로 상기 테스터(2")와 융합된 것으로, 통상의 테스터(미도시)의 개량 구성에도 이용할 수 있음은 물론이다. 실질적으로 상기 분류 시스템은 테스터(2")의 검사장치의 분류단측에 연결되고, 적절한 위치에 경보 지시등과 같은 경보장치(29")가 설치된다. 13 and 14 show a plan view and a longitudinal side view, respectively, of a tester 2 "according to a third embodiment. The latter classification system is a modular design fused with the tester 2" (Not shown). Substantially, the sorting system is connected to the sorting end of the inspecting device of the tester 2 ", and an alarm device 29 "

도 15, 도 16 및 도 17을 동시에 참조하면, 이 분류 시스템은 상기 검사를 마친 검사 신호에 접속하여, 검사를 거쳐 수득한 태양 에너지 실리콘 칩의 분류 정보에 따라 기기의 구동 제어와 분류 조작을 수행하는 것으로, 다수의 로드위치(322")를 가진 베이스(3")상의 수납장치(36")와 공급장치(35")를 구비하는 것 외에도 이송장치(37")를 이용하여 공급장치(35")와 수납장치(36") 사이에서 다수의 로더(66")를 이송한다. 15, 16, and 17, the classification system connects to the inspection signal that has been inspected, performs drive control and sorting operations of the apparatus according to classification information of the solar energy silicon chips obtained through inspection In addition to having a receiving device 36 "and a feeding device 35" on a base 3 "having a plurality of load positions 322 ", a feeding device 37" Quot;) and the accommodating device 36 ".

도 15를 통해 평면에서 자세히 관찰하면 본 실시예 3의 상기 베이스(3")에는 6개의 로드위치(322")가 서로 이격되게 배치되며, 각 하나의 로드위치(322")는 하나의 상기 로더를 수용하도록 마련된다. 그리고 도 17과 같이，매 한 조의 로더(66")에 대응하여 수평으로 이동하면서 실리콘 칩을 흡착할 수 있도록 흡착기(642")가 마련되고, 이송부재(62")로 실리콘 칩을 대응하는 로드위치(322")에 이 송한 경우，흡착기(642")는 흡입노즐로 실리콘 칩을 흡착하여 상기 로드위치(322") 중의 대응하는 로더(66")에 내보낼 수 있다. 15, six load locations 322 " are spaced apart from each other in the base 3 "of the third embodiment, and one load position 322 " As shown in Fig. 17, an adsorption device 642 "is provided so as to adsorb a silicon chip while horizontally moving in correspondence with each set of the loader 66 ", and a transfer member 62" When the silicon chip is transferred to the corresponding load position 322 ", the adsorber 642 "can suck the silicon chip with the suction nozzle and export it to the corresponding loader 66" in the load position 322 ".

물론, 도 16 및 도 17을 통해 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 본 실시예 3의 분류 시스템은 처리장치의 구동을 이용하여 공급장치(35")와 수납장치(36")를 연결하고, 공급장치(35")와 수납장치(36")는 로더(66")의 만재 여부에 따라 승강기(371") 및 이송벨트(372")에 의해 도 18에 표시된 수납위치(361")에 이동할 것인지를 결정하고, 또한 이와 동시에 공급장치(35")에 수용된 적층 로더 중에서 맨 위에 있는 로더가 이송장치에 대응하는 단부위치(351")로 떠받쳐 올라가 이송부재로부터 전달된 실리콘 칩을 흡착기가 흡착하기를 대기한다. 물론, 당업자라면 쉽게 이해할 수 있는 바, 공급장치(35")에 수용할 수 있는 로더의 수는 6개에 한정되지 않으며, 로더를 전달받는 부분도 공급장치(35")의 하부에 위치하도록 할 수 있다. 또한 도면에 표시된 빈 공간 부분도 본 실시예의 설명을 위한 것이지 필수 요건은 아니다. Of course, as can be clearly seen from Figs. 16 and 17, the classification system of the third embodiment connects the feeding device 35 "and the receiving device 36" using the driving of the processing device, The device 35 "and the accommodating device 36" can be moved by the elevator 371 "and the conveyor belt 372" to the storage position 361 "shown in FIG. 18 depending on whether the loader 66" At the same time, at the same time, the loader at the top among the stacked loaders housed in the supply device 35 " rises up to the end position 351 "corresponding to the transfer device, and the silicon chip transferred from the transfer member is sucked . Of course, those skilled in the art will readily understand that the number of loaders that can be accommodated in the feed device 35 "is not limited to six, . Also, the blank space portion shown in the drawing is for explanation of the present embodiment, but is not a necessary requirement.

도 19 및 도 20에서 선후로 나타낸 바와 같이, 전술한 6개 로드위치 중 어느 하나의 로더가 소정의 만재 용량에 도달한 경우, 예를 들어 중앙의 흡착기(642")에 대응하는 로더(66")가 이미 만재한 경우 처리장치는 하나의 빈 로더(66")를 구동하여 대체용으로 마련하고, 당해 로드위치에 대응하는 승강기(371")에 명령하여 로더(66")를 하강시키도록 한다. 이로써 이송벨트(372")는 만재한 로더(66")를 도면 기준으로 오른쪽 상방으로 이동시켜 도 18을 기준으로 오른쪽의 수납장치(36") 방향으로 진행하도록 하고, 빈 로더(66")를 원래 위치에 추가한다. 물론, 전술한 바 와 같이 수납장치(36")의 맨 위층 위치도 항상 빈 상태를 유지하므로, 만재한 로더는 수납장치(36")의 수납위치(361")에 도착한 후 수납장치(36") 중 기존의 적층 로더의 상방에 적층되면, 수납장치(36")는 곧바로 이 적층 로더를 하강시킴으로써 수납위치(361")가 비도록 한다. 19 and 20, when any one of the six load positions described above reaches a predetermined full load capacity, for example, the loader 66 "corresponding to the central adsorber 642" ) Has already been loaded, the processing apparatus drives one blank loader 66 "for replacement, instructs the elevator 371 " corresponding to the load position to lower the loader 66" So that the conveyor belt 372 " moves the loaded loader 66 " in the direction of the upper right in Fig. 18 and advances in the direction of the right accommodating device 36 " Of course, the position of the uppermost layer of the accommodating device 36 "is always kept empty as described above, so that the loaded loader is placed in the accommodating position 361" of the accommodating device 36 " Upon arrival, the stacking device 36 "is stacked on top of the existing stacking loader among the stacking devices 36 " Thereby to lower the loader and stacked to the collapsed position (361 ") ratio.

상기 문단의 설명과 같이 반복 진행함으로써 분류 시스템은 공급장치(35")중의 전체 로더가 모두 송출되거나 얼마 남지 않을 때까지, 또는 수납장치(36")의 수납 공간이 가득 차거나 곧 차게 되어 조작자(미도시)에게 알려 공급장치(35")에 부족한 로더를 추가하거나 또는 로더가 곧 차게 될 수납장치(36")로부터 태양 에너지 실리콘 칩이 만재된 적층 로더를 반출하도록 할 때까지 분류동작을 끊임없이 진행한다. By repeating the procedure as described in the paragraphs above, the sorting system is started until all of the loaders in the feeder 35 "are released or remain short, or the storage space of the storage device 36" Quot ;, until the loader 35 "is ready to add a loader that is insufficient to the supply device 35 ", or until the loader leaves the stacked loader with the solar energy silicon chip loaded from the storage device 36 " .

[제4 실시예][Fourth Embodiment]

도 21 내지 도 23에 따른 제4 실시예는 위치 이동기를 가진 오버헤드 크레인이 장착된 이송장치(37"')를 나타낸다. 도 21에서 실리콘 칩이 수용된 어느 한 로더(66"')가 이미 만재하였고, 베이스 상의 단부위치(351"')와 수납위치(361"')가 모두 빈 상태임을 볼 수 있다. 도 22 및 도 23에서 이송장치(37"')를 이용하여 이미 칩이 만재한 로더(66"')를 수납위치(361"')에 이송하고, 전술한 바와 같은 승강기구가 단부위치(351"')에서 하나의 빈 로더(66"')를 실은 후 이송장치(37"')로 빈 로더(66"')를 남겨진 로드위치(322"')에 이송하고 수납위치(361"')에 있는 만재한 로더(66"')가 하강하도록 한다. A fourth embodiment according to Figures 21 to 23 shows a transfer device 37 "'on which an overhead crane with a position shifter is mounted. In Figure 21, a loader 66" , And it can be seen that both the end position 351 "'on the base and the storage position 361' 'are empty. The loader 66 "'already loaded with chips is transferred to the storage position 361"' by using the transfer device 37 "'in FIGS. 22 and 23 and the lift device as described above is moved to the end position 351 '', And then transfers the blank loader 66 '' 'to the remaining load position 322' '' with the transfer device 37 '' 'and loads the empty loader 66' '' So that the loader 66 "'on the load side is lowered.

전술한 각 실시예에 대한 설명에 따르면, 제2 면 검사장치를 전단에 설치하 든 또는 후단에 설치하든 모두 태양 에너지 실리콘 칩을 반전시키지 않는 상황에서 다른 면에 대한 검사를 진행할 수 있으므로, 태양 에너지 실리콘 칩이 파손될 염려가 당연히 없게 된다. 또한, 로더의 로드 및 언로드 동작이 모두 후단 분류 시스템에 위치한 공급장치와 수납장치 위치에서 진행되므로, 태양 에너지 실리콘 칩 분류 시스템의 연속 진행되고 있는 분류 동작을 교란하지 않으면서도 흡착기는 여전히 실리콘 칩을 대응하는 로더에 이송할 수 있다. 다시 말하면 조작자 한 명이 다수의 기기를 동시에 관리하는 경우에도 어느 하나의 기기를 고정적으로 지키지 않아도 되며, 경보장치의 경보 발생시에만 적절한 처리를 진행할 수 있다. 따라서 조작자는 다수의 기기를 동시에 쉽게 관리할 수 있으므로 본 발명의 전술한 목적을 효과적으로 이룰 수 있다. According to the description of each of the embodiments described above, it is possible to conduct inspection on the other surface in a state in which the solar energy silicon chip is not reversed whether the second surface inspection apparatus is installed at the front stage or the rear stage, There is no risk of the silicon chip being damaged. In addition, since both the load and unload operations of the loader proceed at the location of the supply device and the storage device located in the rear end sorting system, the adsorber can still cope with the silicon chip without disturbing the continuous sorting operation of the solar silicon chip sorting system To the loader. In other words, even when one operator manages a plurality of apparatuses at the same time, it is not necessary to stably keep any one apparatus, and appropriate processing can be performed only when an alarm of the alarm apparatus occurs. Therefore, the operator can easily manage a plurality of devices at the same time, so that the above-described object of the present invention can be achieved effectively.

이상 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나 상기 실시예로 본 발명의 실시 범위를 한정해서는 안된다. 본 발명의 특허청구범위 및 명세서 내에 기재된 내용에 기초한 단순한 균등 변경은 모두 본 발명의 보호범위에 해당된다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention should not be construed as limiting the scope of the present invention. All changes that come within the meaning and range of equivalency of the claims are to be embraced within their scope of protection.

본 발명에 의하면, 기기를 빈번하게 정지시켜 로더를 교체할 필요가 없이 기기의 자동화 성능을 대폭 향상시킬 수 있는 최적의 검사 공정을 진행할 수 있는 테스터가 제공된다.According to the present invention, there is provided a tester capable of performing an optimal inspection process that can greatly improve the automation performance of a device without stopping the device frequently and replacing the loader.

Claims (8)

각각 전극이 설치되고 서로 상반되는 하나의 제1 면과 하나의 제2 면을 가진 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 하나씩 검사하기 위한, 태양 에너지 실리콘 칩 테스터에 있어서, 1. A solar energy silicon chip tester for inspecting individually inspected solar energy silicon chips each having a first surface and a second surface opposite to each other and provided with electrodes, 하나의 베이스;One base; 상기 베이스에 설치되고, 상기 제1 면으로부터 피검사 실리콘 칩을 흡착하기 위한 흡착 피드장치;An adsorption feed device installed in the base for adsorbing the silicon chips to be inspected from the first surface; 상기 베이스에 설치되고, 상기 흡착 피드장치로부터의 피검사 실리콘 칩의 제2 면을 전달받아 하나의 반지름 방향(radial direction)으로 이송하면서 상기 피검사 실리콘 칩의 제1 면의 특성을 검사하기 위한 로딩 검사장치;And a loading for inspecting the characteristics of the first surface of the silicon chip to be inspected while transferring the second surface of the silicon chip to be inspected from the absorption feeder in a radial direction, Inspection equipment; 상기 베이스에 설치되고, 상기 제1 면으로부터 로딩 검사장치로부터의 상기 피검사 실리콘 칩을 흡착하는 흡착 분류장치;An adsorption / sorting device installed in the base, for adsorbing the silicon chips to be inspected from the loading inspection device from the first surface; 상기 베이스에 설치되고, 상기 흡착 피드장치 또는 흡착 분류장치에 대응되는 제2 면 검사장치; 및A second surface inspection device installed on the base and corresponding to the adsorption feed device or adsorption and sorting device; And 상기 로딩 검사장치 및 상기 제2 면 검사장치로부터의 정보를 수신하고 상기 흡착 분류장치를 명령하는 처리장치;A processing device for receiving information from the loading inspection apparatus and the second surface inspection apparatus and for instructing the adsorption sorption apparatus; 를 포함하고,Lt; / RTI > 상기 흡착 분류장치가, Wherein the adsorption / 상기 반지름 방향에서 상기 로딩 검사장치와 연결되어 상기 베이스에 설치된 이송부재;A transfer member connected to the loading inspection apparatus in the radial direction and installed on the base; 상기 반지름 방향과 소정 각도를 이루면서 상기 이송부재를 가로지른 하나의 분류 방향을 따라, 상기 이송부재에 대응되는 하나의 칩 인출 위치와 이송부재로부터 떨어진 칩 방출 위치 사이에서 이동하며, 칩 인출 위치에서 상기 이송부재로부터 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 흡착하여 칩 방출 위치로 내보내는 한 조의 흡착기를 구비한 기계 아암; 및 And moves between one chip withdrawing position corresponding to the conveying member and a chip releasing position spaced apart from the conveying member along one sorting direction crossing the conveying member at a predetermined angle with the radial direction, A mechanical arm having a pair of adsorbers for sucking the solar energy silicon chips to be inspected from the transferring member and for discharging the silicon chips to the chip discharging position; And 상기 기계 아암의 분류 방향에서 상기 베이스에 분리 가능하게 각각 형성되어 상기 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 로딩하기 위한 다수의 로더를 포함하는, 태양 에너지 실리콘 칩 테스터. And a plurality of loaders, each of which is removably formed on the base in the direction of division of the machine arm, for loading the inspected solar energy silicon chip. 각각 전극이 설치되고 서로 상반되는 하나의 제1 면과 하나의 제2 면을 가진 피검사 태양 에너지 실리콘 칩을 하나씩 검사하기 위한, 태양 에너지 실리콘 칩 테스터에 있어서, 1. A solar energy silicon chip tester for inspecting individually inspected solar energy silicon chips each having a first surface and a second surface opposite to each other and provided with electrodes, 하나의 베이스;One base; 상기 베이스에 설치되고, 상기 제1 면으로부터 피검사 실리콘 칩을 흡착하기 위한 흡착 피드장치;An adsorption feed device installed in the base for adsorbing the silicon chips to be inspected from the first surface; 상기 베이스에 설치되고, 상기 흡착 피드장치로부터의 피검사 실리콘 칩의 제2 면을 전달받아 하나의 반지름 방향(radial direction)으로 이송하면서 상기 피검사 실리콘 칩의 제1 면의 특성을 검사하기 위한 로딩 검사장치;And a loading for inspecting the characteristics of the first surface of the silicon chip to be inspected while transferring the second surface of the silicon chip to be inspected from the absorption feeder in a radial direction, Inspection equipment; 상기 베이스에 설치되고, 상기 제1 면으로부터 로딩 검사장치로부터의 상기 피검사 실리콘 칩을 흡착하는 흡착 분류장치;An adsorption / sorting device installed in the base, for adsorbing the silicon chips to be inspected from the loading inspection device from the first surface; 상기 베이스에 설치되고, 상기 흡착 피드장치 또는 흡착 분류장치에 대응되는 제2 면 검사장치; 및A second surface inspection device installed on the base and corresponding to the adsorption feed device or adsorption and sorting device; And 상기 로딩 검사장치 및 상기 제2 면 검사장치로부터의 정보를 수신하고 상기 흡착 분류장치를 명령하는 처리장치;A processing device for receiving information from the loading inspection apparatus and the second surface inspection apparatus and for instructing the adsorption sorption apparatus; 를 포함하고,Lt; / RTI > 상기 베이스는 다수의 로드위치를 가지고, The base has a plurality of load locations, 상기 흡착 분류장치가, Wherein the adsorption / 로드위치에 각각 설치되어 흡착기가 내보낸 태양 에너지 실리콘 칩을 전달받는 다수의 로더;A plurality of loaders respectively installed at the load locations to receive the solar energy silicon chips emitted by the adsorber; 상기 다수의 로더를 적층하도록 마련되고, 하나의 소정의 단부(端部)위치를 가짐으로써, 상기 단부위치에 위치한 로더가 적층된 로더로부터 송출된 경우 다른 로더를 승강시켜 그 다음 로더가 상기 단부위치에 위치하도록 하는 공급장치; The loader provided at the end position is raised from the stacked loader so that the other loader is lifted and then the loader is moved to the end position To be positioned at a predetermined position; 상기 다수의 로더를 적층하도록 마련되고, 하나의 소정 수납위치를 가짐으로써, 상기 수납위치에 하나의 로더가 위치한 경우 다른 로더를 이동시켜 상기 수납위치가 비도록 하는 수납장치; 및A storage device which is provided to stack the plurality of loaders and has one predetermined storage position so that when one loader is located at the storage position, the other storage device is moved to empty the storage position; And 각 로더를 상기 단부위치, 로드위치 및 수납위치 사이에서 이송하는 이송장치를 포함하는, 태양 에너지 실리콘 칩 테스터. And a transfer device for transferring each loader between the end position, the load position and the storage position. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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