KR101399331B1 - 진공퍼지식 가압질화로 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공퍼지식 가압질화로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질화처리 대상물이 수용된 포트 내로의 공기 침투를 차단하여 그 질화처리 대상물의 산화를 방지하는 한편, 그 질화처리 대상물의 냉각이 빠르게 이루어질 수 있도록 하기 위한 진공퍼지식 가압질화로에 관한 것이다.
Description
본 발명은 진공퍼지식 가압질화로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질화처리 대상물이 수용된 포트 내로의 공기 침투를 차단하여 그 질화처리 대상물의 산화를 방지하는 한편, 그 질화처리 대상물의 냉각이 빠르게 이루어질 수 있도록 하기 위한 진공퍼지식 가압질화로에 관한 것이다.
일반적으로 질화로는 질화 과정이 진행되는 노를 일컬으며, 질화는 표면 경화법의 하나로 질소를 강(鋼)에 침투시켜 그 표면을 경화시키는 가공법이다.
대한민국 등록특허공보 제10-414542호에는 이와 같은 질화로가 개시되어 있다.
그러나, 종래의 질화로는 질화열처리 전에 포트내에 잔존하는 공기를 외부로 쉽게 배출하지 못하면서 질화처리 대상물에 산화가 발생될 수 있는 문제점이 있다.
또한, 포트 내에서 데워진 질소가 냉각되어 재유입되는 과정에서 공기가 유입되면서 질화처리 대상물에 산화가 발생될 수 있는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 본 발명의 목적은 질화처리 대상물이 수용된 포트 내로의 공기 침투를 차단하여 그 질화처리 대상물의 산화를 방지하는 한편, 그 질화처리 대상물의 냉각이 빠르게 이루어질 수 있도록 하기 위한 진공퍼지식 가압질화로를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 상부가 개구되는 아웃케이싱과, 개구된 상기 아웃케이싱의 상부를 개폐하는 뚜껑을 포함하는 아웃케이싱부; 상기 아웃케이싱의 내측에 위치되어 그 아웃케이싱과의 사이로 공간부를 형성하며, 상부가 개구되어 상기 뚜껑에 의해 개폐되고, 외부로부터 질소가 공급되며, 질화열처리가 이루어지는 포트; 및 상기 포트의 내측에 위치되며, 상부가 개구되어 내측으로 질화처리 대상물이 수용되고, 하부가 개구되어 상기 포트의 내부와 연통되는 인케이싱 및 상기 뚜껑에 연결되며, 상기 인케이싱의 상부를 개폐하는 보조뚜껑을 구비하는 인케이싱부를 포함하는 질화로로서, 상기 포트 내에 잔존하는 공기를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 공기배기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로를 제공한다.
본 발명에 따른 상기 공기배기부는, 일단부가 상기 아웃케이싱을 관통하여 상기 포트의 내부와 연통되도록 연결되는 배기관; 및 상기 배기관의 타단부에 연결되는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 공기배기부는, 상기 배기관의 양단부 사이에 구비되는 진공배기밸브; 상기 배기관에 연결되며, 상기 진공배기밸브의 전방에 위치되는 질소퍼지 복압밸브; 및 상기 포트 내의 압력을 감지하는 압력센서를 더 포함하며, 상기 질소퍼지 복압밸브는, 상기 포트에 잔존하는 공기가 제거된 상태에서 상기 압력센서의 감지신호에 따라 상기 포트 내의 압력이 일정압력으로 유지되도록 개폐되며, 상기 진공배기밸브는, 상기 질소퍼지 복압밸브의 개방에 따라 닫힌 상태를 유지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 포트 내에서 발생되는 미분해가스를 외부로 배출하여 그 포트 내의 압력이 일정하게 유지되도록 하는 가압방출부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 가압방출부는, 일단부가 상기 뚜껑을 관통하여 상기 포트와 연통되도록 연결되는 가압방출관; 및 상기 가압방출관의 양단부 사이에 연결되는 가압방출밸브를 포함하며, 상기 가압방출밸브는, 상기 압력센서의 감지신호에 따라 상기 포트의 적정압력 상태를 조절하기 위해 개폐되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 가압방출부는, 양단부가 상기 가압방출관에 연결되되, 일단부가 상기 가압방출밸브의 전방에 연결되고, 타단부가 그 가압방출밸브의 후방에 연결되는 보조방출관; 및 상기 보조방출관에 연결되는 보조가압방출밸브를 더 포함하며, 상기 보조가압방출밸브는, 상기 가압방출밸브가 닫힌 상태에서 개방되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 포트에서 가열된 질소를 냉각하여 그 포트로 재공급하기 위한 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 냉각부는, 양단부를 가지며, 일단부가 상기 아웃케이싱을 관통하여 상기 포트의 내부와 연통되도록 연결되는 제1냉각관; 상기 제1냉각관의 타단부에 연결되는 진공식 송풍기; 상기 제1냉각관의 양단부 사이에 연결되는 열교환기; 및 양단부를 가지며, 일단부가 상기 진공식 송풍기에 연결되고, 타단부가 상기 배기관과 연통되도록 연결되는 제2냉각관을 포함하며, 상기 진공식 송풍기는, 상기 포트 내에 수용되는 질소를 흡입하여 상기 제1냉각관, 상기 열교환기 및 상기 제2냉각관 그리고, 다시 상기 포트로의 순환이 순차적으로 이루어질 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 외부로부터 공기를 공급받아 상기 질화처리 대상물을 냉각하기 위한 공기공급부를 더 포함하되, 상기 공기공급부는, 상기 공간부로 공기를 공급하는 복수의 냉각팬; 상기 공간부로 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출관; 및 상기 배출관을 개폐하는 배기밸브를 포함하며, 상기 배기밸브는, 상기 복수의 냉각팬과 연동되어 개폐되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 질화처리 대상물이 수용된 포트 내로의 공기 침투를 차단함으로써 그 질화처리 대상물의 산화를 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 질화처리 대상물의 냉각시 포트 내에서 가열된 질소가 열교환기를 통과하면서 냉각되어 다시 포트 내부로 공급되는 것은 물론, 포트와 아웃케이싱 사이로 냉각에 필요한 공기가 원활하게 공급될 수 있음으로써 그 질화처리 대상물의 냉각 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 진공퍼지식 가압질화로를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공퍼지식 가압질화로에서 공기공급부를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 3는 본 발명에 따른 질화로를 개략적으로 나타낸 사용 상태도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공퍼지식 가압질화로에서 공기공급부를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 3는 본 발명에 따른 질화로를 개략적으로 나타낸 사용 상태도이다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 보면, 본 발명에 따른 진공퍼지식 가압질화로(이하 "질화로"라 한다)(1)는 상부가 개구되는 아웃케이싱(11)과, 개구된 상기 아웃케이싱(11)의 상부를 개폐하는 뚜껑(12)을 포함하는 아웃케이싱부(10), 상기 아웃케이싱(11)의 내측에 위치되어 그 아웃케이싱(11)과의 사이로 공간부(21)를 형성하며 상부가 개구되어 상기 뚜껑(12)에 의해 개폐되는 포트(20), 상기 포트(20)의 내측에 위치되며 상,하부가 개구되어 상기 포트(20)의 내부와 연통되며, 내측으로 질화처리 대상물(100)이 수용되는 인케이싱(31)과, 상기 뚜껑(12)에 연결되며, 상기 인케이싱(31)의 상부를 개폐하는 보조뚜껑(32)을 구비하는 인케이싱부(30)를 포함한다.
상기 질화처리 대상물(100)은 질소를 침투시켜 표면을 경화시키기 위한 금속재로 이해될 수 있으며, 질화처리 전에 세척된 상태를 유지하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 질화처리 대상물(100)은 상기 포트(20)의 내부 바닥면에 안착되면서 상기 인케이싱(31)의 내부에 위치되는 것으로 이해되는 것이 바람직하다.
상기 아웃케이싱부(10)는 상기 뚜껑(12)에 구비되는 순환 팬(13), 외부로부터 상기 포트(20)로 질소를 공급하기 위한 공급관(14) 및 상기 뚜껑(12)을 개폐하는 개폐장치(15)를 더 포함할 수 있다.
상기 공급관(14)으로는 외부로부터 질화처리에 필요한 질소, 암모니아, 이산화탄소 등이 유입될 수 있다.
상기 순환팬(13)은 그 공급관(14)을 통해 공급되는 질소가 상기 공간부(21)에서 대류작용에 의해 구석구석 균일하게 분포되면서 상기 질화처리 대상물(100)과의 접촉이 원활하게 이루어질 수 있도록 한다. 이로 인한, 상기 질화처리 대상물(100)의 표면경도 향상을 기대할 수 있음은 물론이다.
상기 질화로(1)는 상기 개폐장치(15)를 조작하여 상기 뚜껑(12)을 열면 동시에 상기 보조뚜껑(32)이 열리면서 상기 포트(20) 내의 상기 인케이싱(31) 안에 상기 질화처리 대상물(100)을 수용할 수 있다.
그리고, 상기 질화처리 대상물(100)이 상기 인케이싱(31) 내에 수용되면 상기 개폐장치(15)를 조작하여 상기 보조또껑 및 상기 뚜껑(12)을 닫을 수 있다.
이러한, 상기 개폐장치(15) 및 상기 질화로(1)에서의 질화열처리 순서는 이미 공지되어 사용되고 있으므로 이에 대한 더 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 질화로(1)는 질화열처리 작업 전에 상기 포트(20) 내에 잔존하는 공기를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 공기배기부(40)를 더 포함할 수 있다.
상기 공기배기부(40)는 양단부를 가지며, 일단부가 상기 아웃케이싱(11)을 관통하여 상기 포트(20)와 연통되도록 연결되는 배기관(41) 및 상기 배기관(41)의 타단부에 연결되는 진공펌프(42)를 포함한다.
상기 진공펌프(42)는 외부로부터 전원을 공급받아 구동되는 일반적인 형태를 이룬다.
상기 공기배기부(40)는 상기 진공펌프(42)를 구동하여 상기 포트(20) 내에 잔존하는 공기를 흡입하여 외부로 배출한다. 예를 들면, 상기 공기배기부(40)는 상기 진공펌프(42)를 10분 내지 15분 정도 구동하여 상기 포트(20)에 잔존하는 공기를 제거한다.
여기서, 상기 공기배기부(40)는 상기 보조뚜껑(32)이 상기 인케이싱(31)을 개방한 상태에서 구동되면서 상기 포트(20) 및 상기 인케이싱(31)의 내부에 잔존하는 공기를 흡입하여 외부로 배출할 수 있다.
상기 질화로(1)는 상기 포트(20)에 잔존하는 공기를 제거한 후, 그 내부에 질소를 일정 압력으로 채운 후, 질화열처리를 시작한다.
이를 위해, 상기 공기배기부(40)는 상기 배기관(41)의 양단부 사이에 구비되는 진공배기밸브(43), 상기 배기관(41)에 연결되는 질소퍼지 복압밸브(44) 및 상기 포트(20) 내의 압력을 감지하는 압력센서(45)를 더 포함할 수 있다.
상기 질소퍼지 복압밸브(44)는 상기 포트(20)에 잔존하는 공기가 제거된 상태에서 상기 압력센서(45)의 감지신호에 따라 상기 포트(20) 내의 압력이 일정압력으로 유지될 수 있도록 하며, 상기 진공배기밸브(43)는 상기 질소퍼지 복압밸브(44)가 개방되면 닫힌 상태를 유지하면서 그 진공배기밸브(43)와 상기 진공펌프(42)가 연통되는 것을 차단한다.
이로 인해, 상기 포트(20)는 공기가 잔존하지 않는 진공상태를 유지하게 됨으로 인해 상기 열처리 대상물(100)의 가열 상승시 산화를 방지할 수 있다.
상기 질화로(1)는 상기 포트(20) 내의 압력을 일정하게 유지하기 위한 가압방출부(50)를 더 포함할 수 있다.
상기 가압방출부(50)는 양단부를 가지며, 일단부가 상기 뚜껑(12)을 관통하여 상기 포트(20)와 연통되는 가압방출관(51) 및 상기 가압방출관(51)의 양단부 사이에 연결되는 가압방출밸브(52)를 포함한다.
상기 가압방출밸브(52)는 상기 포트(20) 내의 압력을 일정하게 유지하고, 그 포트(20) 내에서 발생되는 미분해가스를 외부로 빠르게 배출한다.
다시 말하면, 상기 가압방출밸브(52)는 질화열처리시 상기 포트(20) 내로의 공기 침투를 막아야 하므로 초기부터 작업 종료까지 상기 포트(20) 내의 압력을 일정하게 유지하고, 그 포트(20) 내에서 발생되는 미분해가스를 외부로 빠르게 배출하여 적정 압력이 유지되도록 한다.
이는, 상기 압력센서(45)의 감지신호를 받아 별도의 다른 제어부(미도시)에서 상기 포트(20)의 적정압력 상태에 따라 상기 가압방출밸브(52)를 개폐하는 것으로 이해될 수 있다.
이로 인해, 상기 질화로(1)는 상기 포트(20)로의 공기의 유입을 방지할 수 있는 것은 물론, 상기 질화처리 대상물(100)에 대한 질화처리 시간 등을 단축할 수 있다.
이때, 상기 가압방출부(50)는 양단부가 상기 가압방출관(51)에 연결되되, 일단부가 상기 가압방출밸브(51)의 전방에 연결되고, 타단부가 그 가압방출밸브(52)의 후방에 연결되는 보조방출관(53) 및 상기 보조방출관(53)에 연결되는 보조가압방출밸브(54)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 보조가압방출밸브(54)는 비상시나, 전원이 인가되지 않는 경우 등 상기 가압방출밸브(51)가 닫힌 상태에서 자동으로 개방되면서 미분해가스를 외부로 배출한다.
이는, 정전 등과 같은 비상사태 발생시, 상기 포트(20)의 내부로 공기가 침투되어 상기 질화처리 대상물(100)이 산화되는 것을 방지하기 위함으로 이해될 수 있다.
상기 질화로(1)는 상기 포트(20)에서 가열된 질소를 냉각하여 상기 포트(20)로 재공급하기 위한 냉각부(60)를 더 포함할 수 있다.
상기 냉각부(60)는 상기 포트(20)에서 열처리시 가열된 질소를 냉각하여 그 포트(20)로 재공급함으로써 상기 질화처리 대상물(100)의 빠른 냉각효과를 기대할 수 있다.
상기 냉각부(60)는 양단부를 가지며, 일단부가 상기 아웃케이싱(11)을 관통하여 상기 포트(20)의 내부와 연통되는 제1냉각관(61), 상기 제1냉각관(61)의 타단부에 연결되는 진공식 송풍기(62), 상기 제1냉각관(61)의 양단부 사이에 연결되는 열교환기(63) 및 양단부를 가지며 일단부가 상기 진공식 송풍기(62)에 연결되고 타단부가 상기 배기관(41)과 연통되도록 연결되는 제2냉각관(64)을 포함한다.
상기 진공식 송풍기(62)는 외부로부터 전원을 공급받아 구동되는 일반적인 형태를 이루며, 상기 포트(20) 내에 수용되는 질소를 흡입하여 상기 제1냉각관(61), 상기 열교환기(63) 및 상기 제2냉각관(64) 그리고, 다시 상기 포트(20)로의 순환이 순차적으로 이루어질 수 있도록 한다.
싱기 제2냉각관(64)은 타단부가 상기 진공배기밸브(43)와 상기 배기관(41)의 일단부 사이에 연결되는 것이 바람직하다. 이때에는, 상기 질소퍼지 복압밸브(44)는 상기 제2냉각관(64)에 연결되어도 무방하다.
상기 열교환기(63)는 공랭식 또는 수냉식으로 이루어질 수 있다.
상기 냉각부(60)는 상기 열교환기(63)와 상기 진공식 송풍기(62) 사이에 위치되며, 상기 제1냉각관(61)에 연결되는 제1유량조절밸브(65) 및 상기 제2냉각관(64)의 양단부 사이에 연결되는 제2유량조절밸브(66)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1,2유량조절밸브(65,66)는 각각 상기 진공식 송풍기(62) 및 상기 포트(20)로 재유입되는 질소의 양을 조절하여 그 흐름의 속도를 적절하게 제어하는 것으로 이해될 수 있다.
상기 질화로(1)는 상기 진공식 송풍기(62)의 구동에 따라 상기 포트(20)에서 가열된 질소가 상기 열교환기(63)를 통과하면서 냉각되어 다시 상기 포트(20)로 재공급될 수 있음으로써 상기 질화처리 대상물(100)의 빠른 냉각효과를 기대할 수 있다.
또한, 상기 질소의 순환이 진공상태에 이루어짐으로써 공기의 유입에 의한 상기 질화처리 대상물(100)의 산화를 방지할 수 있다.
상기 질화로(1)는 외부로부터 공기를 공급받아 상기 질화처리 대상물(100)을 냉각하기 위한 공기공급부(70)를 더 포함할 수 있다.
상기 공기공급부(70)는 상기 공간부(21)로 외부공기를 공급하기 위한 복수의 냉각팬(71), 상기 공간부(21)로 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출관(72) 및 상기 배출관(72)을 개폐하는 배기밸브(73)를 포함할 수 있다.
상기 냉각팬(71)은 한 쌍으로 이루어지며, 상기 아웃케이싱(11)을 정면에서 바라볼 때, 양측에 각각 배치되는 것이 가장 바람직하다.
상기 배출관(72)은 양단부를 가지며, 일단부가 상기 공간부(21)와 연통되도록 상기 아웃케이싱(11)에 연결되고, 타단부가 상방향으로 연장 형성된다.
상기 배기밸브(73)는 상기 배출관(72)의 타단부를 밀폐하는 개폐판(74) 및 구동에 따라 상기 개폐판(74)을 개폐하는 실린더(75)로 이루어질 수 있다.
상기 실린더(75)는 상기 복수의 냉각팬(71)의 구동과 동시에 구동되며, 그 구동에 따라 상기 개폐판(74)은 상기 배출관(72)의 타단부를 개폐한다.
상기 질화로(1)는 상기 인케이싱부(30)에서 질화열처리된 상기 질화처리 대상물(100)을 냉각하기 위해 상기 냉각팬(71)을 구동시키면, 외부로부터 찬 외부공기가 상기 공간부(21)로 유입된다.
상기 공간부(21)로 유입되는 공기는 상기 공간부(21)를 따라 선회하여 통과되면서 상기 포트(20) 및 상기 아웃케이싱(11)을 냉각시킨다.
상기 인케이싱부(30)의 내부에 수용되는 상기 질화처리 대상물(100)은 상기 포트(20) 및 상기 아웃케이싱(11)이 냉각됨에 따라 자연스럽게 냉각이 이루어지며, 상기 포트(20) 및 상기 아웃케이싱부(10)를 냉각시킨 공기는 열을 흡수한 고온공기 상태로 상기 배출관(72)을 통해 외부로 배출된다.
이로 인해, 상기 질화로(1)는 상기 배기밸브(73)가 자동으로 개폐됨으로써 고온 상태로 변화된 공기가 역류되면서 발생될 수 있는 상기 냉각팬(71) 등의 파손을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 진공퍼지식 가압질화로를 실시하기 위한 실시 예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
1 : 질화로 10 : 아웃케이싱부 11 : 아웃케이싱
12 : 뚜껑 15 : 개폐장치 20 : 포트
21 : 공간부 30 : 인케이싱부 31 : 인케이싱
40 : 공기배기부 41 : 배기관 42 : 진공펌프
43 : 진공배기밸브 44 : 질소퍼지 복압밸브 45 : 압력센서
50 : 가압방출부 51 : 가압방출관 52 : 가압방출밸브
53 : 보조방출관 54 : 보조가압방출밸브 60 : 냉각부
62 : 진공식 송풍기 63 : 열교환기 70 : 공기공급부
71 : 냉각팬 72 : 배출관 73 : 배기밸브
100 : 질화처리 대상물
12 : 뚜껑 15 : 개폐장치 20 : 포트
21 : 공간부 30 : 인케이싱부 31 : 인케이싱
40 : 공기배기부 41 : 배기관 42 : 진공펌프
43 : 진공배기밸브 44 : 질소퍼지 복압밸브 45 : 압력센서
50 : 가압방출부 51 : 가압방출관 52 : 가압방출밸브
53 : 보조방출관 54 : 보조가압방출밸브 60 : 냉각부
62 : 진공식 송풍기 63 : 열교환기 70 : 공기공급부
71 : 냉각팬 72 : 배출관 73 : 배기밸브
100 : 질화처리 대상물
Claims (9)
- 상부가 개구되는 아웃케이싱과, 개구된 상기 아웃케이싱의 상부를 개폐하는 뚜껑을 포함하는 아웃케이싱부;
상기 아웃케이싱의 내측에 위치되어 그 아웃케이싱과의 사이로 공간부를 형성하며, 상부가 개구되어 상기 뚜껑에 의해 개폐되고, 외부로부터 질소가 공급되며, 질화열처리가 이루어지는 포트; 및
상기 포트의 내측에 위치되며, 상부가 개구되어 내측으로 질화처리 대상물이 수용되고, 하부가 개구되어 상기 포트의 내부와 연통되는 인케이싱 및 상기 뚜껑에 연결되며, 상기 인케이싱의 상부를 개폐하는 보조뚜껑을 구비하는 인케이싱부를 포함하는 질화로로서,
상기 포트 내에 잔존하는 공기를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 공기배기부; 및
상기 포트에서 가열된 질소를 냉각하여 그 포트로 재공급하기 위한 냉각부를 더 포함하며,
상기 공기배기부는,
일단부가 상기 아웃케이싱을 관통하여 상기 포트의 내부와 연통되도록 연결되는 배기관;
상기 배기관의 타단부에 연결되는 진공펌프;
상기 배기관의 양단부 사이에 구비되는 진공배기밸브;
상기 배기관에 연결되며, 그 배기관의 일단부와 상기 진공배기밸브 사이에 위치되는 질소퍼지 복압밸브; 및
상기 포트 내의 압력을 감지하는 압력센서를 포함하며,
상기 질소퍼지 복압밸브는,
상기 포트에 잔존하는 공기가 제거된 상태에서 상기 압력센서의 감지신호에 따라 상기 포트 내의 압력이 일정압력으로 유지되도록 개폐되며,
상기 진공배기밸브는,
상기 질소퍼지 복압밸브의 개방에 따라 닫힌 상태를 유지하고,
상기 냉각부는,
양단부를 가지며, 일단부가 상기 아웃케이싱을 관통하여 상기 포트의 내부와 연통되도록 연결되는 제1냉각관;
상기 제1냉각관의 타단부에 연결되는 진공식 송풍기;
상기 제1냉각관의 양단부 사이에 연결되는 열교환기;
양단부를 가지며, 일단부가 상기 진공식 송풍기에 연결되고, 타단부가 상기 배기관과 연통되도록 연결되는 제2냉각관;
상기 열교환기와 상기 진공식 송풍기 사이에 위치되며, 상기 제1냉각관에 연결되는 제1유량조절밸브; 및
상기 제2냉각관의 양단부 사이에 연결되는 제2유량조절밸브를 포함하며,
상기 진공식 송풍기는,
상기 진공배기밸브가 닫힌 상태에서 제1,2유량조절밸브의 개방에 따라 상기 포트 내에 수용되는 질소를 흡입하여 상기 제1냉각관, 상기 열교환기 및 상기 제2냉각관 그리고, 다시 상기 포트로의 순환이 순차적으로 이루어질 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로.
- 삭제
- 삭제
- 제 1항에 있어서,
상기 포트 내에서 발생되는 미분해가스를 외부로 배출하여 그 포트 내의 압력이 일정하게 유지되도록 하는 가압방출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로.
- 제 4항에 있어서,
상기 가압방출부는,
일단부가 상기 뚜껑을 관통하여 상기 포트와 연통되도록 연결되는 가압방출관; 및
상기 가압방출관의 양단부 사이에 연결되는 가압방출밸브를 포함하며,
상기 가압방출밸브는,
상기 압력센서의 감지신호에 따라 상기 포트의 적정압력 상태를 조절하기 위해 개폐되는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로.
- 제 5항에 있어서,
상기 가압방출부는,
양단부가 상기 가압방출관에 연결되되, 일단부가 상기 가압방출밸브의 전방에 연결되고, 타단부가 그 가압방출밸브의 후방에 연결되는 보조방출관; 및
상기 보조방출관에 연결되는 보조가압방출밸브를 더 포함하며,
상기 보조가압방출밸브는,
상기 가압방출밸브가 닫힌 상태에서 개방되는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로.
- 삭제
- 삭제
- 제 1, 4, 5, 6항 중 어느 한 항에 있어서,
외부로부터 공기를 공급받아 상기 질화처리 대상물을 냉각하기 위한 공기공급부를 더 포함하되,
상기 공기공급부는,
상기 공간부로 공기를 공급하는 복수의 냉각팬;
상기 공간부로 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출관; 및
상기 배출관을 개폐하는 배기밸브를 포함하며,
상기 배기밸브는,
상기 복수의 냉각팬과 연동되어 개폐되는 것을 특징으로 하는 진공퍼지식 가압질화로.
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